JP3114432B2 - Terminal I / O system - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、装置制御の端末部の入
出力システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an input / output system for a terminal for controlling an apparatus.

【０００２】[0002]

【従来の技術】一般に、半導体製造装置等の制御装置に
おいては、センサ等の出力をメインコンピュータが取り
込んだり、この取り込んだデータに応じてリレーやソレ
ノイド等をメインコンピュータが駆動させるために情報
乃至データの転送がネットワーク的に行われる。この場
合、被制御系は一般的には複数のスレーブ側伝送系を有
し、この伝送系はこれとメインコンピュータとの間のイ
ンタフェースを行うためにマスタ側伝送系と直接或いは
間接的に接続されることになる。このマスタ側伝送系と
スレーブ側伝送系との通信は、それぞれの側に例えばマ
イクロコンピュータ等よりなる制御部を設けておいて、
汎用的なインタフェース、例えば直列伝送用として広く
用いられている伝送方式ＲＳ２３２Ｃ等を使用してデー
タ伝送を行う。In general, the semiconductor in the control device of the manufacturing apparatus or the like, or capture the output of the sensor such as the main computer, the information or data to drive the relay or solenoid or the like is the main computer in response to the captured data Is transferred over a network. In this case, the controlled system generally has a plurality of slave-side transmission systems, which are directly or indirectly connected to the master-side transmission system to provide an interface between the slave-side transmission system and the main computer. Will be. For communication between the master side transmission system and the slave side transmission system, a control unit such as a microcomputer is provided on each side,
Data transmission is performed using a general-purpose interface, for example, a transmission method RS232C widely used for serial transmission.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、一般的には
各種の被制御装置、例えば半導体制御装置にあっては、
種々のセンサや駆動系が組み込まれており、これらの作
動状態をオペレータがモニタしたい場合があるが、上記
のようなシステムにあっては、上記ネットワークのメイ
ンコンピュータがインタフェースを介して常にその状態
を監視していることから、このコンピュータにＬＥＤ等
の発光素子によりこのオン・オフ状態を表示できる表示
部を有している場合には、このメインコンピュータを操
作することによりモニタは可能である。By the way, generally, in various controlled devices, for example, a semiconductor control device,
Various sensors and drive systems are incorporated, and there are cases where the operator wants to monitor these operating conditions. In such a system, the main computer of the network always monitors the status via an interface. Since the computer is monitored, if the computer has a display unit capable of displaying the on / off state by a light-emitting element such as an LED, the monitor can be performed by operating the main computer.

【０００４】しかしながら、メインコンピュータにその
ような表示部を有していない場合には、作動状態のモニ
タを行うことができないという問題点があった。この場
合には、スレーブ側自体のスレーブバスラインに割り込
みをかけて作動状態をモニタすることも考えられるが、
このデータラインの入出力はメインコンピュータのコン
トロール下に置かれているために、スレーブ側から自由
にアクセスすることができない。[0004] However, when the main computer does not have such a display unit, there is a problem that the operation state cannot be monitored. In this case, it is conceivable to monitor the operation state by interrupting the slave bus line of the slave itself.
Since the input / output of this data line is under the control of the main computer, it cannot be freely accessed from the slave side.

【０００５】また、メインコンピュータが上述のような
表示部を有していても、例えばネットワーク自体がダウ
ンしている場合や或いはネットワークが接続される以前
におけるスレーブ側自体のデバック時にはメインコンピ
ュータ側から被制御装置側の作動状態をモニタできない
という問題点があった。本発明は、以上のような問題点
に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものであ
る。本発明の目的は、モニタ用のスレーブサブバスを設
けることによってスレーブ側の動作状態を容易にモニタ
できるようにした端末部の入出力システムを提供するこ
とにある。[0005] Even if the main computer has the above-mentioned display section, the main computer side receives the data when the network itself is down or when the slave side itself is debugged before the network is connected. There is a problem that the operation state of the control device cannot be monitored. The present invention has been devised in view of the above problems and effectively solving them. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an input / output system of a terminal unit in which a slave sub-bus for monitoring is provided so that an operation state of a slave can be easily monitored.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、メインコンピュータを有するネットワ
ークとの間で通信を行なうネットワークインタフェース
部を有するスレーブ側伝送系と、半導体製造装置の各種
センサや各種駆動系との間でデータの入出力を行なうた
めの端末部との間でスレーブバスを介してデータの入出
力を行なうための入出力システムにおいて、 前記スレ
ーブバスに沿ってスレーブサブバスを設けると共にこの
スレーブサブバスのデータをモニタするモニタ用治具を
設け、前記端末部は、前記各種センサからのデータを入
力する入力端子と、この入力されたデータを前記スレー
ブバスに向けて出力する入力セレクタと、前記入力端子
と前記セレクタとの間に設けられた入力側モニタ部と、
前記スレーブバスからのデータをラッチするラッチと、
前記各種駆動系に向けてデータを出力する出力端子と、
前記ラッチと前記出力端子との間に設けられた出力側モ
ニタ部と、所望のアドレス情報によってチップセレクト
信号を作るチップセレクタとを有し、前記入力側モニタ
部及び出力側モニタ部は、前記チップセレクト信号に対
応したチャネルのポート出力を前記スレーブサブバスに
出力するように構成したものである。本発明は、以上の
ように構成したので、例えば８ビットのスレーブサブバ
スにデータを乗せ、これからモニタ部にて所望するビッ
トをセレクトし、これによりスレーブバス内のオン・オ
フ状態をモニタすることが可能となる。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and has an object to provide a network having a main computer.
Network interface that communicates with the network
Slave transmission system with a section and various types of semiconductor manufacturing equipment
Data input / output with sensors and various drive systems
Data in and out of the terminal via the slave bus
In output system for performing the force, said thread
Along with the slave sub-bus
A monitoring jig for monitoring data on the slave sub-bus
And the terminal unit inputs data from the various sensors.
Input terminal, and the input data
An input selector for outputting to the bus, and the input terminal
An input-side monitor unit provided between the selector and the selector;
A latch for latching data from the slave bus;
An output terminal for outputting data to the various drive systems;
An output-side module provided between the latch and the output terminal.
Chip select based on the address and desired address information
A chip selector for generating a signal;
Unit and the output side monitor unit respond to the chip select signal.
The port output of the corresponding channel is sent to the slave sub bus.
It is configured to output . Since the present invention is configured as described above, for example, data is placed on an 8-bit slave sub-bus, and a desired bit is selected from the monitor section, thereby monitoring the on / off state in the slave bus. Becomes possible.

【０００７】[0007]

【実施例】以下に、本発明の端末部の入出力システムの
一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１はスレー
ブ側の入出力システムを示す構成図、図２は、図１中に
設けたサブオペレーション部を示す構成図である。本実
施例においては、この入出力システムは、例えば半導体
製造装置等における各種センサや駆動系とこれらを制御
するメインコンピュータとの間で使用される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the input / output system for a terminal unit according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing an input / output system on the slave side, and FIG. 2 is a configuration diagram showing a sub-operation unit provided in FIG. In the present embodiment, this input / output system is used, for example, between various sensors and drive systems in a semiconductor manufacturing apparatus and the like and a main computer that controls them.

【０００８】図示するようにスレーブ側伝送系２は、内
部に、ネットワークインタフェース部４を有し、このイ
ンタフェース部４は、メインコンピュータを有するネッ
トワーク側と端子６、８を介してデータの送受信が可能
に接続されている。スレーブ側伝送系２は、ネットワー
クに対して通常、複数個接続されている。このスレーブ
側伝送系２はスレーブバス１０と接続されており、端末
部１１、例えば半導体製造装置等の各種センサや駆動系
との間でデータやコントロール信号の送受信を行う。そ
のために、このバス１０は例えば４ビットのアドレス線
１２、８ビットのデータ入力線１４、８ビットのデータ
出力線１６及びリード、ライト、リセットを行う信号を
送出するコントロール線１８を有している。また、ネッ
トワークインタフェース部４にはボードアドレス設定部
２０が接続されており、当該スレーブ側伝送系２を特定
するためのアドレスを設定するようになっている。As shown in the figure, the slave-side transmission system 2 has a network interface unit 4 inside, and the interface unit 4 can transmit and receive data to and from a network having a main computer via terminals 6 and 8. It is connected to the. Usually, a plurality of slave-side transmission systems 2 are connected to the network. The slave-side transmission system 2 is connected to a slave bus 10, and transmits and receives data and control signals to and from a terminal unit 11 , for example, various sensors and a driving system such as a semiconductor manufacturing apparatus. For this purpose, the bus 10 has, for example, a 4-bit address line 12, an 8-bit data input line 14, an 8-bit data output line 16, and a control line 18 for sending out signals for reading, writing and resetting. . Further, a board address setting unit 20 is connected to the network interface unit 4 so that an address for specifying the slave side transmission system 2 is set.

【０００９】端末部１１の入力端子２２は入力側のアイ
ソレータ２４、入力側のインタロックマトリクス２６及
び本発明の特長とする入力側モニタ部２８を介して入力
セレクタ３０に接続され、このセレクタ３０はスレーブ
バス１０のアドレス線１２、データ入力線１４及びリー
ドのためのコントロール線１８に接続される。また、端
末部１１のラッチ３２にはアドレス線１２、データ出力
線１６及びライトのためのコントロール線１８が接続さ
れ、この後段は上記入力側インタロックマトリクス２６
と相互に関連する出力側インタロックマトリクス３４、
本発明の特長とする出力側モニタ部３６及び出力側アイ
ソレータ３８を介して出力端子４０へ接続される。The input terminal 22 of the terminal unit 11 is connected to an input selector 30 via an input isolator 24, an input interlock matrix 26, and an input monitor 28 which is a feature of the present invention. The slave bus 10 is connected to an address line 12, a data input line 14, and a control line 18 for reading. The latch 32 of the terminal unit 11 is connected to the address line 12, the data output line 16, and the control line 18 for writing.
An output interlock matrix 34 correlated with
Via an output-side monitor unit 36 and the output-side isolator 38 that features of the present invention is connected to the output terminal 40.

【００１０】データ入出力線１４、１６における信号状
態すなわち各種センサ等の動作状態をモニタするために
は、スレーブ側バス１０の入出力はネットワーク側のコ
ンピュータに占有されているのでスレーブ側からは任意
に制御することはできない。そこで、本実施例において
は補助的に独立したモニタ専用のスレーブサブバス４２
をスレーブバス１０に沿って設けてある。このスレーブ
サブバス４２としては例えば８ビットが使用され、サブ
オペレーション部４４を介してインタフェース部４へ接
続される。このスレーブサブバス４２に沿って例えば４
ビットのスレーブサブバス用のサブバスアドレスセレク
タ４６を形成する。このセレクタ４６は、チップセレク
タ４８を介して入力側モニタ部２８及び出力側モニタ部
３６へ接続され、これらを選択可能にしている。そし
て、各モニタ部２８、３６の各出力は、上記スレーブサ
ブバス４２に接続されており、必要に応じてモニタし得
るようになっている。In order to monitor the signal state on the data input / output lines 14 and 16, ie, the operation state of various sensors, the input / output of the slave bus 10 is occupied by the computer on the network side. Can not be controlled. Therefore, in this embodiment, a slave sub-bus 42 dedicated to an independent monitor is used as an auxiliary.
Are provided along the slave bus 10. For example, 8 bits are used as the slave sub-bus 42, and the slave sub-bus 42 is connected to the interface unit 4 via the sub-operation unit 44. Along this slave sub-bus 42, for example,
A sub-bus address selector 46 for a bit slave sub-bus is formed. The selector 46 is connected to the input-side monitor unit 28 and the output-side monitor unit 36 via a chip selector 48, so that these can be selected. Each output of each monitor portion 2 8, 36 is connected to the slave sub-bus 42, and is able to monitor if necessary.

【００１１】一方、上記サブオペレーション部４４は図
２に示すように構成される。図中右側は端末部１１内側
を表し、スレーブサブバス４２は、スリーステートバッ
ファ５０、出力ロジック５２、ロジック回路５４、５
６、ロジック素子５８Ａ、５８Ｂ、５８Ｃ、５８Ｄを介
してネットワークインタフェース部４へ接続されてお
り、この実施例においてはネットワークを接続する前の
デバッグ時やネットワークがダウンした時においてもス
レーブ側伝送系２に対してスレーブサブバス４２側から
出力データを書き込めるようになっている。尚、図中ロ
ジック回路に示される番号は、素子の製品番号である。
図３はスレーブ側におけるデータ入出力線のモニタを行
ったり、出力データを書き込むためのモニタ用治具を示
し、コネクタ６０を介して上記サブオペレーション部４
４及びサブバスアドレスセレクタ４６へ接続される。On the other hand, the sub-operation section 44 is configured as shown in FIG. The right side in the figure represents the inside of the terminal unit 11, and the slave sub-bus 42 includes a three-state buffer 50, an output logic 52, a logic circuit 54,
6, connected to the network interface unit 4 via the logic elements 58A, 58B, 58C, 58D. In this embodiment, even when debugging before connecting the network or when the network goes down, the slave transmission system 2 is connected. , The output data can be written from the slave sub-bus 42 side. The numbers shown in the logic circuits in the figure are the product numbers of the elements.
FIG. 3 shows a monitoring jig for monitoring data input / output lines on the slave side and for writing output data.
4 and the sub bus address selector 46 .

【００１２】このモニタ用治具には、８ビット毎の切り
換えをアドレス設定により行うアドレス設定ロータリス
イッチ６２、モニタ／コントロール切替スイッチ６４、
Ｉ／Ｏモニタリード／ライト切替スイッチ６６、スレー
ブ側にて書き込み時に使用するライトスイッチ６８、８
ビットデータにそれぞれ対応してオン・オフを示す８個
のＬＥＤ素子７０及びこれらに対応したトグルスイッチ
７２等が設けられる。本実施例においては、スレーブ側
においては例えば１ボードあたり４チャネル有する基板
が４枚設けられていることから全てモニタ等するには１
６チャネルの切替が必要であり、そのため、アドレス設
定ロータリスイッチ６２は１６チャネル切替可能になっ
ている。The monitor jig includes an address setting rotary switch 62 for switching every 8 bits by address setting, a monitor / control switch 64,
I / O monitor read / write changeover switch 66, write switches 68, 8 used for writing on the slave side
Eight LED elements 70 indicating ON / OFF corresponding to the bit data and a toggle switch 72 corresponding thereto are provided. In this embodiment, the slave side is provided with, for example, four boards having four channels per board.
Switching of 6 channels is necessary, and therefore, the address setting rotary switch 62 can be switched to 16 channels.

【００１３】図４は、図１におけるインタロックマトリ
クス２６、３４を示す図であり、図１中の部材と同一部
分については同一符号を付す。この実施例にあっては、
液面レベルセンサ７４と給水ラインに設けたバルブを駆
動するソレノイド７６との関係を例にとって説明する。
この種のインタロックが使用される装置の一例は図５に
示されており、例えば槽体７８内に給水ライン８０より
給水を行う場合、このラインの開閉を行うバルブ８２を
ソレノイド７６により制御するものであり、この時の給
水の上限は液面レベルセンサ７４により検出され、必要
以上の給水を禁止するものである。FIG. 4 is a diagram showing the interlock matrices 26 and 34 in FIG. 1. The same reference numerals are given to the same parts as those in FIG. In this example,
The relationship between the liquid level sensor 74 and the solenoid 76 that drives a valve provided in the water supply line will be described as an example.
An example of an apparatus using this type of interlock is shown in FIG. 5. For example, when water is supplied from a water supply line 80 into a tank 78, a valve 82 for opening and closing this line is controlled by a solenoid 76. The upper limit of the water supply at this time is detected by the liquid level sensor 74, and the water supply more than necessary is prohibited.

【００１４】レベルセンサ７４には、電源より例えば＋
１２Ｖの電力の供給を受けた駆動部８２が接続され、こ
の出力はトランジスタ８４のベースへ接続される。この
トランジスタ８４のコレクタには、例えばフォトカプラ
よりなるアイソレーション２４（図１参照）の発光ダイ
オード側に接続される。このアイソレーション２４の受
光素子側は、入力セレクタ３０の一部を構成するスリー
ステートバッファ８６を介してスレーブバスのデータ出
力線側へ接続される。また、ソレノイド７６は電源と例
えばフォトカプラよりなるアイソレーション３８のトラ
ンジスタ側を介してグランドに接続されており、このア
イソレーション３８の発光ダイオード側は、スレーブバ
スのデータ入力線に接続されたラッチ３２が接続されて
おり、ソレノイド駆動信号が入力された時に、アイソレ
ーション３８のトランジスタをオンにして、ソレノイド
７６に駆動電流を流すようになっている。The level sensor 74 receives, for example, +
The driving unit 82 supplied with power of 12 V is connected, and this output is connected to the base of the transistor 84. The collector of the transistor 84 is connected to the light emitting diode side of the isolation 24 (see FIG. 1) composed of, for example, a photocoupler. The light-receiving element side of the isolation 24 is connected to the data output line side of the slave bus via a three-state buffer 86 forming a part of the input selector 30 . The solenoid 76 is connected to the power supply and the ground via the transistor side of the isolation 38 composed of, for example, a photocoupler. The light emitting diode side of the isolation 38 is connected to the latch 32 connected to the data input line of the slave bus. Are connected, and when a solenoid drive signal is input, the transistor of the isolation 38 is turned on and a drive current flows through the solenoid 76.

【００１５】そして、アイソレーション２４と一方のス
リーステートバッファ８６との間のラインと、ラッチ３
２と他方のアイソレーション３８との間のラインを接続
して非反転オープンコレクタゲート８８が設けられてい
る。このオープンコレクタゲート８８は、オープンの時
はハイインピーダンス状態となり、入力がローの時は、
オン状態となる。また、この部分をターミナルとして反
転オープンコレクタゲート９０を並設させておけば、論
理を反対にする時にはこの反転オープンコレクタゲート
９０を用いればよい。A line between the isolation 24 and one of the three-state buffers 86 and the latch 3
A non-inverting open collector gate 88 is provided by connecting a line between the second and the other isolations 38. The open collector gate 88 is in a high impedance state when open, and when the input is low,
It turns on. If this part is used as a terminal and the inverted open collector gate 90 is arranged in parallel, the inverted open collector gate 90 may be used to reverse the logic.

【００１６】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について説明する。まず、図１において通常の動作
においては、例えばアドレス線１２によってアドレスが
確定され、その後、コントロール線１８を介してライト
イネーブル信号或いはリードイネーブル信号が送出され
て、書き込みや読み出しのタイミングが決定される。例
えば、入出力系統にそれぞれ４バイトが割り振られてお
れば合計として６４本のデータを持つことになる。そし
て、アドレス線１２のアドレス情報の下位２ビットによ
ってチップ、例えば図４中のスリーステートバッファ８
６やラッチ３２等が選択され、対応するデータの入出力
が行われる。この種の入出力動作は一般的に周知の動作
である。 Next, the operation of the embodiment constructed as described above will be described. First, in the normal operation in FIG. 1, an address is determined by, for example, the address line 12, and then a write enable signal or a read enable signal is transmitted via the control line 18 to determine the timing of writing or reading. . For example, if 4 bytes are allocated to each input / output system,
Then, a total of 64 data items will be stored. Then, a chip , for example, the three-state buffer 8 in FIG.
6 and the latch 32 are selected, and the corresponding data is input / output. This type of input / output operation is a commonly known operation
It is.

【００１７】一方、スレーブ側においてモニタやデータ
の書き込みを行う場合には、モニタ用治具からモニタ制
御信号を入力してサブアドレスセレクタ４６に所望のア
ドレス情報を流すことによりチップセレクタ４８は、チ
ップセレクタ信号を作る。これにより対応するチャネル
のポート出力がスレーブサブバス４２に出力されてくる
ことになる。そして、この内容がモニタ部２８、３６に
おいてモニタされることになる。例えば上記チップセレ
クタ４８により、モニタ部２８と３６の内のいずれか一
方のモニタ部が選択される。このモニタ部２８、３６は
例えばスリーステートバッファ等のチップよりなる。具
体的には、この場合のサブバスアドレス信号としては、
４ビットが用いられ、下位の２ビットで１つのモニタ部
（チップ）を選択する。この選択されたモニタ部２８或
いは３６のデータ内容は、スレーブサブバス４２及びサ
ブオペレーション部４４を介してモニタ用治具へ送られ
る。これにより、図３に示すモニタ用治具におけるＬＥ
Ｄ素子７０はデータ状態に対応して点滅状態となり、こ
れを視認することにより、データをモニタすることがで
きる。Meanwhile, in the case of writing the monitor and data in the slave side, the monitor system from monitoring jig
The chip selector 48 generates a chip selector signal by inputting a control signal and flowing desired address information to the sub-address selector 46. As a result, the port output of the corresponding channel is output to the slave sub bus 42. Then, the contents are monitored by the monitor units 28 and 36. For example, the above chip selection
One of the monitor units 28 and 36 by the
Monitor unit is selected. The monitor units 28 and 36
For example, it is formed of a chip such as a three-state buffer. Ingredient
Specifically, as the sub-bus address signal in this case,
4 bits are used, one monitor unit 2 bits of subordinate
Select (Chip) . The selected monitor unit 28 or
Or the data content of the sub-bus 42 and the slave sub-bus 42
Sent to the monitor jig via the
You. Thereby, the LE in the monitor jig shown in FIG.
The D element 70 blinks according to the data state, and the data can be monitored by visually recognizing the blinking state.

【００１８】この場合、モニタしたいチャネルを切り替
えたい場合には、アドレス設定ロータリスイッチ６２を
操作することにより８ビット毎に切り替えて別の所望す
るチャネルのデータをモニタする。また、ネットワーク
を接続する前のスレーブ側のデバック時やネットワーク
がダウンした状態で出力データを書き込む場合には、ロ
ータリスイッチ６２で所望のアドレスを特定すると共に
モニタ／コントロール切替スイッチ６４をコントロール
側へ切り替え、更に、ドグルスイッチ７２及びライトス
イッチ６８を操作することにより、モニタ用治具から所
望の出力データを入力し、このデータをサブオペレーシ
ョン部４４を介してネットワークインタフェース部４へ
入力し、これよりデータ入力線１４を介してデータを書
き込むことができる。一方、図４に示すインタロック動
作は、表１に示す動作態様となる。In this case, when it is desired to switch the channel to be monitored, the address setting rotary switch 62 is operated to switch every eight bits and monitor data of another desired channel. When writing output data at the time of debugging on the slave side before connecting the network or when the network is down, the desired address is specified by the rotary switch 62 and the monitor / control switch 64 is switched to the control side. Further, by operating the toggle switch 72 and the light switch 68, desired output data is input from the monitor jig , and this data is sub-operated.
To the network interface unit 4 via the option unit 44
And data can be written through the data input line 14 therefrom. On the other hand, the interlock operation shown in FIG.

【００１９】[0019]

【表１】 [Table 1]

【００２０】ここでは、槽体７８内の貯水が上限レベル
に達して液面レベルセンサ７４によって検出された状態
において、制御系の誤信号により給水のためにバルブ８
２を開くようにソレノイド７６に対して駆動指令が入力
された場合を示す。表１に示すようにセンサ７４が非検
出の場合（給水の上限まで達していない）には、センサ
側のトランジスタ８４はオフなのでポイントＡ１はハイ
となり、ポイントＡ２のアイソレーション２４はオフ、
ポイントＡ３はハイとなる。故にポイントＡ４である非
反転オープンコレクタゲート８８はオープン状態（ハイ
インピーダンス状態）となる。すなわちポイントＡ４は
開放開放状態と同じとなる。従って、データ入力線１４
より入力されてくる指令側の信号に応じてポイントＡ５
であるアイソレーション３８はオン・オフし、この指令
に従ってソレノイドはオン・オフ駆動される。Here, in a state where the water stored in the tank body 78 reaches the upper limit level and is detected by the liquid level sensor 74, the valve 8 for supplying water is supplied by an erroneous signal of the control system.
2 shows a case where a drive command is input to the solenoid 76 to open the solenoid valve 2. As shown in Table 1, when the sensor 74 is not detected (the upper limit of the water supply is not reached), the transistor 84 on the sensor side is off, so that the point A1 becomes high, and the isolation 24 at the point A2 is off.
Point A3 goes high. Therefore, the non-inverting open collector gate 88 at the point A4 is in an open state (high impedance state). That is, point A4 is
Open Same as open state. Therefore, the data input line 14
Point A5 according to the command side signal input from
Is turned on and off, and the solenoid is driven on and off according to this command.

【００２１】これに対して、センサ７４が検出の場合
（給水の上限まで達している場合）には、センサ側のト
ランジスタ８４はオンなのでポイントＡ１はローとな
り、ポイントＡ２のアイソレーション２４はオン、ポイ
ントＡ３はローとなる。故にポイントＡ４の非反転オー
プンコレクタゲート８８はロー、すなわちオン状態とな
ってゼロボルトに接続された状態となる。従って、ポイ
ント５であるアイソレーション３８には、データ入力線
１４より入力されてくる指令側の信号のハイ・ローに関
係なく常にロー状態となって電流は流れず、オフ状態が
維持される。従って、ポイントＡ６はハイ状態、すなわ
ちラインが切断されたと同様な状態となるのでソレノイ
ド７６には、電源側より電流が流れず、この駆動を阻止
してインタロックをかけることができる。この場合、動
作論理を逆にしたい場合には、非反転オープンコレクタ
ゲート８８にかえて反転オープンコレクタゲート９０を
用いるようにすればよい。尚、上記実施例においては、
半導体製造装置の制御系の入出力システムを例にとって
説明したが、これに限定されないのは勿論である。On the other hand, when the sensor 74 detects (when the upper limit of the water supply has been reached), the transistor A 84 on the sensor side is on, the point A 1 is low, and the isolation 24 at the point A 2 is on. Point A3 goes low. Thus the non-inverting open collector gate 88 points A4 sounds low, i.e. an on state
Is connected to zero volts . Therefore, the data input line is connected to the isolation 38 at the point 5.
Regardless of whether the signal on the command side input from 14 is high or low, the signal is always in the low state, no current flows, and the off state is maintained. Therefore, point A6 is in a high state , that is ,
That is, since the state is the same as when the line is cut off, no current flows from the power supply side to the solenoid 76, and this drive can be prevented to perform interlock. In this case, if it is desired to reverse the operation logic, an inverting open collector gate 90 may be used instead of the non-inverting open collector gate 88. In the above embodiment,
The input / output system of the control system of the semiconductor manufacturing apparatus has been described as an example, but is not limited to this.

【００２２】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の入出力シ
ステムによれば、次のように優れた作用効果を発揮する
ことができる。モニタ用のスレーブサブバスを設けるよ
うにしたので、ネットワークの制御を阻害することなく
スレーブバス内のデータをモニタすることができる。As described above, according to the input / output system of the present invention, the following excellent functions and effects can be obtained. Since the slave sub-bus for monitoring is provided, data in the slave bus can be monitored without obstructing the control of the network.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】スレーブ側の入出力システムを示す構成図であ
る。FIG. 1 is a configuration diagram showing an input / output system on a slave side.

【図２】図１中に設けたサブオペレーション部を示す構
成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a sub-operation unit provided in FIG.

【図３】モニタ用治具を示す図である。FIG. 3 is a view showing a monitor jig.

【図４】インタロックシステムを説明するための説明図
である。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining an interlock system.

【図５】インタロックシステムに用いられるソレノイド
とセンサとの関係を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a solenoid used in an interlock system and a sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２ スレーブ側伝送系 ４ ネットワークインタフェース部 １０ スレーブバス １２ アドレス線 １４ データ入力線 １６ データ出力線 １８ コントロール線 ２６ 入力側インタロックマトリクス ２８ 入力側モニタ部 ３０ 入力セレクタ ３２ ラッチ ３４ 出力側インタロックマトリクス ３６ 出力側モニタ部 ４２ スレーブサブバス ４４ ザブオペレーション部 ４６ サブバスアドレスセレクタ ４８ チップセレクタ ８８ 非反転オープンコレクタゲート ９０ 反転オープンコレクタゲート 2 Slave side transmission system 4 Network interface unit 10 Slave bus 12 Address line 14 Data input line 16 Data output line 18 Control line 26 Input side interlock matrix 28 Input side monitor unit 30 Input selector 32 Latch 34 Output side interlock matrix 36 Output Side monitor section 42 Slave sub bus 44 Sub operation section 46 Sub bus address selector 48 Chip selector 88 Non-inverted open collector gate 90 Inverted open collector gate

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 メインコンピュータを有するネットワー
クとの間で通信を行なうネットワークインタフェース部
を有するスレーブ側伝送系と、半導体製造装置の各種セ
ンサや各種駆動系との間でデータの入出力を行なうため
の端末部との間でスレーブバスを介してデータの入出力
を行なうための入出力システムにおいて、 前記スレーブバスに沿ってスレーブサブバスを設けると
共にこのスレーブサブバスのデータをモニタするモニタ
用治具を設け、 前記端末部は、 前記各種センサからのデータを入力する入力端子と、 この入力されたデータを前記スレーブバスに向けて出力
する入力セレクタと、 前記入力端子と前記セレクタとの間に設けられた入力側
モニタ部と、 前記スレーブバスからのデータをラッチするラッチと、 前記各種駆動系に向けてデータを出力する出力端子と、 前記ラッチと前記出力端子との間に設けられた出力側モ
ニタ部と、 所望のアドレス情報によってチップセレクト信号を作る
チップセレクタとを有し、 前記入力側モニタ部及び出力側モニタ部は、前記チップ
セレクト信号に対応したチャネルのポート出力を前記ス
レーブサブバスに出力するように 構成したことを特徴と
する端末部の入出力システム。1. A network having a main computer.
Network interface that communicates with the network
Slave-side transmission system with
To input and output data with sensors and various drive systems
Input / output of data to / from the terminal via slave bus
In the input / output system for performing the operation, a slave sub-bus is provided along the slave bus.
Both monitors monitor this slave sub-bus data
A terminal for inputting data from the various sensors and outputting the input data to the slave bus.
And an input side provided between the input terminal and the selector.
A monitor section, a latch for latching data from the slave bus, an output terminal for outputting data to the various drive systems, and an output side monitor provided between the latch and the output terminal.
Create a chip select signal based on the address and desired address information
A chip selector, wherein the input-side monitor unit and the output-side monitor unit
The port output of the channel corresponding to the select signal is
An input / output system for a terminal unit, wherein the input / output system is configured to output to a slave sub bus . 【請求項２】 前記入力端子と入力セレクタとを結ぶラ
インと、前記出力端子とラッチとを結ぶラインとには、
これらのラインを結ぶように誤動作を防止するためのイ
ンタロックマトリクスが介在されていることを特徴とす
る請求項１記載の端末部の入出力システム。 2. A line connecting the input terminal and an input selector.
And a line connecting the output terminal and the latch,
Connect these lines to prevent malfunction.
Interlock matrix is interposed
The input / output system of a terminal unit according to claim 1.