JP3111030U

JP3111030U - 検査装置

Info

Publication number: JP3111030U
Application number: JP2005001897U
Authority: JP
Inventors: 英民洪
Original assignee: 由田新技股▲ふん▼有限公司
Priority date: 2005-04-04
Filing date: 2005-04-04
Publication date: 2005-07-07
Anticipated expiration: 2015-04-04

Abstract

【課題】被検査物の位置を自動的に調整可能な検査装置を提供する。
【解決手段】相互に平行する一対の跨架ガイドレール、距離検知器、CCDカメラを積載する基板、該基板のガイドレールを走行駆動する駆動器を有する。駆動器は基板をガイドレールに設定するルート上でスライド移動させるため、距離検知器は被検査物に接近し、該被検査物との間の距離、位置、角度のズレの数値を検知しCPUに伝送する。該CPUのソフトは基板の調整機構を演算し、該基板は自動的に補正と位置の調整を行い、被検査物はCCDカメラにより正確な検査画面を撮影される。基板の調整機構は、三組以上のジンバル可動軸を含み、1対2の比率で基板の両側に設置する。第一ジンバル可動軸は動力を設置しない支点で、第二、第三ジンバル可動軸は駆動器により該基板と連動し、CCDカメラが被検査物に対して完全に対称するまで、基板はある指定の方向へと移動或いは回転する。
【選択図】図２

Description

本考案は、検査装置に係り、特に検査装置と被検査物との間の距離、位置、或いは角度のずれを補正し、検査装置の位置を被検査物に対して完全に対称させ、正確に自動検査作業を行うことができるようにした被検査物の位置を自動的に調整可能な検査装置に関する。

LCMの表示品質検査は、初期は主に目視判断で行われていた。このような目視検査においては、LCMはベルトコンベアーにより目視検査機内に送られ、該検査機に設置された顕微鏡により、LCMが点灯後にムラ或いはドットなどの欠点がないかを検査し、検査完了後は、再びベルトコンベアーにより出荷装置に送られるようになっていた。しかしながら、このような目視による品質検査は、検査速度が緩慢であるばかりでなく、誤判断が発生し易く出荷製品のの品質に影響を及ぼしかねないという不都合がある。

製品の品質検査の効率を確実に向上させ、品質管理の自動化を達成するため、本考案人はかつて「液晶モニタ用パネル点灯後の表示品質自動検査装置」を開発し、台湾において実用新案登録第3097783号を取得した。この実用新案では、「跨架運動機構により上下或いは左右の移動方式で定点に移動後、数組のデジタル撮影機により、機体上に定位される既に点灯した液晶モニタ用パネルが表示する映像を静止方式で逐次、完全に撮影し、適時、コンピュータソフトによる分析識別を提供し、パネルのムラやドットなどの欠点を識別し、自動化検査を達成する。」ことができる。
台湾実用新案登録第３０９７７８３号

従来の検査装置には、次の欠点があった。すなわち、上記自動化検査装置は、品質検査の効率を大幅に向上させたが、LCMNO生産ライン及び送出の搭載具が、被送出物に対して正確な定位を提供していないために、デジタル撮影機器がLCMを撮影する時の画面がしばしば位置と角度のズレにより、焦点が合っていないためひずみが生じており、コンピュータソフトの分析と判読の結果に直接的な影響を与えている。

本考案はこれらの事情に鑑みてなされたもので、前述の欠点を解決した被検査物の位置を自動的に調整可能な検査装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するため、本考案による検査装置は、相互に平行かつ対称の一対の跨架ガイドレール、距離検知器及びCCDカメラを積載する基板、該基板のガイドレールに沿った走行を駆動させる第一駆動器を含み、
上記第一駆動器は上記基板を上記ガイドレールに設定するルートにおいてスライド移動させ、上記距離検知器を被検査物(LCM)に接近させ、該被検査物(LCM)との間の距離、位置、或いは角度のズレの数値を検知してCPUに伝送し、該CPUのコンピュータプログラムによって上記基板の調整機構を演算し、該基板の補正と位置の調整を行い、
上記基板の調整機構は、少なくとも三組のジンバル可動軸を含み、1対2の比率でそれぞれ該基板の両側に設置し、
その内、第一ジンバル可動軸は動力を設置しない支点で、第二、第三ジンバル可動軸はそれぞれ駆動器により上記基板と連動し、CCDカメラが被検査物(LCM)に対して完全に対称になるまで、該基板をある指定の方向へ移動或いは回転させることを特徴とする。

上記のように、本考案の検査装置は、被検査物(LCM)との間の位置或いは角度の偏りを事前に確実に補正可能で、しかもその補正角度と方位は全角度、全方位の調整が可能であるため、死角がなく、さらに、CCDカメラの位置を調整するときには、複数のCCDカメラを積載する基板により移動或いは回転を行うため、各CCDカメラの固体と被検査物(LCM)間の対称距離には偏りが生じることがない。よって、検査結果はより一層正確、かつ確実となる。

以下、図面を参照して本考案の実施例を説明する。

図１に示すように、本考案における一実施例の自動検査装置１は、その台座１０を生産ラインの製品送出レール１１上に設置する。この送出レール１１上には、被検査物積載具１２により被検査物(LCM)１３の完成品が積載される。この被検査物積載具１２は、設置位置を固定せず、また正確に定位していないため、積載する被検査物(LCM)１３は検査装置１を通過するとき、該検査装置１との距離、位置、或いは角度は固定されていないが、本実施例の検査装置１では被検査物(LCM)１３に対して自動的に位置を合わせを行うようにしているため、検査の結果にひずみが生じることはない。

次に、図２に示すように、上記自動検査装置１は、相互に平行かつ対称する一対の跨架２０のガイドレール２０１と、距離検知器３１及びCCDカメラ３２を積載する基板３０と、該基板３０をして上記ガイドレール２０１上を走行させる第一駆動器２１とを備えている。

上記第一駆動器２１は、上記基板３０をガイドレール２０１に設定するルートにおいてスライド移動させ、これにより上記距離検知器３１は被検査物(LCM)１３に接近し、該被検査物(LCM)１３との間の距離、位置、角度のズレの数値を検知し、CPU(図示なし)に伝送するようになっている。こうして、CPUのコンピュータソフトは、基板３０の調整機構(後述)の演算を行って、この基板３０を駆動し、該基板３０は自動的に補正と位置の調整を行い、被検査物(LCM)１３はCCDカメラ３２により正確な検査画面が撮影される。

上記において、第一駆動器２１は、第一サーバーモーター２１１と、聯軸器２１２と、第一駆動ネジ２１３と、ガイドブロック２１０と備えている。上記ガイドブロック２１０の一端と上記基板３０との間は、スライド台３０１により接続されている。上記基板３０は、スライド台３１０上の跨架２０のガイドレール２０１と相互に対応する形状でガイドレール２０１に沿って走行するようなっている。上記ガイドレール２０１の反対端は、第一駆動ネジ２１３上に螺接されている。また、ガイドブロック２１０は、第一駆動ネジ２１３の回転動作を通して移動するようになっている。

モーター２１は、上記第一駆動ネジ２１３が聯軸器２１３と上記第一サーバーモーター２１１との軸芯連結されていることにより、軸芯により第一駆動ネジ２１３の回転を連動し、さらにガイドブロック２１０の連動を受ける基板３０に直線移動を生じさせる。

上記基板３０は、自動的に移動可能であるため、距離感知器のサポート台３１１により基板３０片側の距離検知器３１においてオーバーハングされ、被検査物(LCM)１３(本実施例ではLCM)に接近することができる。さらに、距離検知器３１が検知した該被検査物(LCM)１３との間の距離、位置、或いは角度が対称しているかどうかと、そのずれの数値とをCPU(図示なし)に伝送する。このようにして、CPUのコンピュータソフトは演算後に、上記基板３０の調整機構(後述)に伝送し、該基板３０を制御して被検査物(LCM)１３に対して対称する方向、位置に調整、補正する。

上記距離検知器３１が検知した被検査物(LCM)１３との間の距離、位置、或いは角度のズレを得た後、CPUは電子信号を上記基板３０の調整機能に送出し、基板３０の方向を調整し、被検査物(LCM)１３と対称する位置に調整する。

上記基板３０の調整機構４は、少なくとも三組のジンバル可動軸４１、４２、４３を備えている。それは、1対2の比率で、跨架２０のガイドレール２０１の基板３０両側３３、３４にそれぞれ設置されている。その内、第一ジンバル可動軸４１は動力を設置しない支点であり、第二、第三ジンバル可動軸４２、４３はそれぞれ駆動器により基板３０を連動させ、CCDカメラ３２が被検査物(LCM)１３に対して完全に対称するまで、基板３０はある指定の方向へと移動し、或いは回転するようになっている。

続いて、図３、４に示すように、第一ジンバル可動軸４１は、第一可動台４１１、第一スイングアーム４１２、及び上記第一可動台４１１、上記第一スイングアーム４１２を可動接続する第一嵌台４１３、第一ジンバルベアリング４１４を備えている。第二、及び該第三ジンバル可動軸４２、４３は、それぞれ第二、第三可動台４２１、４３１、第二、第三ジンバルベアリング４２２、４３２、第二、第三嵌台４２３、４３３備えている。かつ、第二、第三可動台４２１、４３１は、第二、第三ジンバルベアリング４２２、４３２と第二、第三嵌台４２３、４３３により、第二スイングアーム４４の異なる位置に可動接続されている。これにより、第二、第三可動台４２１、４３１は、第二スイングアーム４４との連動関係を備える。上記第二スイングアーム４４は、基板３０に連結する(図２参照)ため、基板３０と第二、第三可動台４２１、４３１も連動関係を持っている。

上記第一可動台４１１の一端は、スライド台３０１に接続し、反対端は第一スイングアーム４１２と可動接続する。第一スイングアーム４１２の反対端は、上記基板３０に接続する。

第一可動台４１１と該第一スイングアーム４１２の可動接続方式は、第一嵌台４１３と第一ジンバルベアリング４１４とを通し、上記第一ジンバルベアリング４１４は第一嵌台４１３一端の外縁に包設して第一嵌台４１３中に埋設する。上記第一嵌台４１３は、上記第一可動台４１１と上記第一スイングアーム４１２間において穿設され、２本のボルト４１５、４１６によりそれぞれ第一嵌台４１３と第一ジンバルベアリング４１４とを穿通し、それぞれ第一嵌台４１３と第一スイングアーム４１２、第一ジンバルベアリング４１４、第一嵌台４１３を固定している。こうして、上記第一スイングアーム４１２は、第一可動台４１１に対してすべての方向への揺れ或いは回転動作ができるようになっている。

次に、図５、６、８に示すように、上記第二、及び第三ジンバル可動軸４２、４３は、それぞれ第二、第三可動台４２１、４３１、第二、第三ジンバルベアリング４２２、４３２、第二、第三嵌台４２３、４３３を備えている。かつ、上記第二、第三可動台４２１、４３１は、該第二、第三ジンバルベアリング４２２、４３２と該第二、第三嵌台４２３、４３３により該第二スイングアーム４４の異なる位置に可動接続される。これにより、上記第二、第三可動台４２１、４３１は、該第二スイングアーム４４との連動関係を備える。上記第二スイングアーム４４は、上記基板３０に連結する(図２参照)ため、該基板３０と上記第二、第三可動台４２１、４３１と連動関係を持っている。

さらに、図７、８に示すように、上記第二ジンバルベアリング４２２は、第二可動台４２１内に埋設され、該第二ジンバルベアリング４２２中において第二嵌台４２３を嵌接し、ボルト４２５により固定される。上記第二嵌台４２３の反対端は、別のボルト４２４と上記第二スイングアーム４４により連結される。上記第二ジンバルベアリング４２２の内部には、球台４２２１を有するため、上記第二嵌台４２３は任意の方向に揺動が可能である。よって、上記第二スイングアーム４４は、駆動された状況でも任意の方向に揺動或いは回転が可能である。上記第三可動台４３１と該第二スイングアーム４４との連結関係は、上記第二可動台４２１の場合と完全に同一であるためここでは説明を省略する。

さらにまた、上記第二、第三ジンバル可動軸４２、４３と隣接するガイドレール２０１間には、ガイド板４５が設置されている。該ガイド板４５上には、上記ガイドレール２０１とスライド対応状態を呈する形状のスライド槽４５１を設置している。これにより、上記ガイド板４５は、ガイドレール２０１上においてスライド移動が可能となる。

上記ガイド板４５の一端は、第三可動台４３１と平行の方向に向かい第一スライド台４５２を延伸している。上記第一スライド台４５２と上記第三可動台４３１間には、第一スライドブロック４５３を設置し、該第三可動台４３１と上記第一スライドブロック４５３の間は、スライドレール４７１により接続されている。上記第三可動台４３１は、上記スライドブロック４５３上において、スライド台４５２とスライド接続関係を形成し、上記基板３０の作動時に適度な延伸を提供している。

かつ、上記第三可動台４３１は、第一スライドブロック４５３により第一スライド台４５２内において三次元空間のZ軸方向のスライド移動を行う。上記ガイド板４５は、基板３０の片側にスライド槽４５４を別に設置し、該スライド槽４５４は別のスライド板４６をスライド接続している。上記スライド板４６の一端は、第二可動台４２１と平行の方向に向かって第二スライド台４６１を延伸している。上記スライド台４６１と第二可動台４２１間は、第二スライドブロック４６２によりスライド接続されている。上記第二可動台４２１と該第二スライドブロック４６２間は、スライドレール４７２により接続され、該第二可動台４２１は該基板３０の作動時にも適度な延伸が可能となり、かつ第二可動台４２１は第二スライドブロック４６２により第二スライド台４６１内において三次元空間のZ軸方向のスライド移動を行うようになっている。

上記スライド板４６の頂点面において第二駆動器５を連結している。該第二駆動器５は第二サーバーモーター５０、聯軸器５１、第二駆動ネジ５２、ガイドブロック５３を備えている。上記ガイドブロック５３は、スライド板４６に接続している。上記ガイドブロック５３の反対端は、第二駆動ネジ５２上に螺接し、該第二駆動ネジ５２の回転動作によりガイドブロック５３の移動を連動させている。上記第二駆動ネジ５２は、聯軸器５１と第二サーバーモーター５０の軸芯に連結し、第二サーバーモーター５０の運転時には、その軸芯により第二駆動ネジ５２の回転を連動するようになっている。さらに、上記ガイドブロック５３が連動するスライド板４６を牽引し直線移動を行わせる。

さらに、図８、９に示すように、上記第二駆動器５が起動すると、連動しているスライド板４６は、第二スイングアーム４４を牽引して特定の方向への回転運動を生じる。上記第二ジンバル可動軸４２と第三ジンバル可動軸４３は、一点で第二スイングアーム４４上に連結するため、上記第二駆動器５に隣接する第二ジンバル可動軸４２が移動する行程は、第三ジンバル可動軸４３に比べ長い(図９参照)。上記において図２に示す実施例においては、第二駆動器５の起動は第二スイングアーム４４の基板３０に対する連動を促し、これにより第一ジンバル可動軸４１を支点とし、第一スイングアーム４１２を連動させ、上記基板３０を三次元空間のZ軸をY軸の方向に回転させる。つまり、前記の距離検知器３１は、被検査物(LCM)１３との間の位置、或いは角度のズレを検知後、CPUは電子信号を該基板３０の調整機構(すなわち第二駆動器５)に送信し、基板３０は被検査物(LCM)１３が傾斜している角度、或いは位置方向に傾き、該基板３０上に積載するCCDカメラ３２は被検査物(LCM)１３に完全に焦点を合わせることができる。すなわち、各CCDカメラ３２と被検査物(LCM)１３間の距離は、平行かつ対称となり、画像が不一致となりひずみが生じる状態を防止することができる。

上記の調整動作は、また図１０、１１に示すように、被検査物(LCM)１３が置かれた生産ライン上の位置と該CCDカメラ３２の元々の設定位置にズレがある時(すなわち図１０中のα角)、第二駆動器５の動作により、基板３０は該検査物(LCM)１３の偏った角度の方向へと調整される(図１１参照)。すなわち、本実施例の検査装置により事前に自動的に補正が可能で、CCDカメラ３２が撮影する内容は最もリアルな状態とすることが可能である。

続いて、図５、６に示すように、上記第一スライド台４５２の頂点面には、第三駆動器６を設置している。該第三駆動器６は、前記第二駆動器５と同様、第三サーバーモーター６０、聯軸器６１、第三駆動ネジ６２、ガイドブロック６３を備えている。上記ガイドブロック６３は、スライドブロック４５３と相互に連接し、該ガイドブロック４５３の反対端は該第三駆動ネジ６２上に螺接している。また、第三駆動ネジ６２の回転動作は、ガイドブロック６３の移動を生じさせる。

上記第三駆動ネジ６２は、聯軸器６１と第三サーバーモーター６０の軸芯により連結するため、第三サーバーモーター６０の起動運転時には、その軸芯により第三駆動ネジ６２の回転と連動し、上記ガイドブロック６３により連動される第一スライドブロック４５３を牽引して直線移動を生じさせる(関連部品の位置と連結関係については図１２、１３を参照)。

また、図１２、１３に示すように該第三駆動器６が起動すると、連動する第一スライドブロック４５３は、第二スイングアーム４４を牽引し特定の方向へと移動させる(図１３参照)。前記図２で示す実施例においては、第三駆動器６の起動により、第二スイングアーム４４は基板３０と連動し、第一ジンバル可動軸４１を支点として、第一スイングアーム４１２と連動し、該基板３０を三次元空間のZ軸をX軸方向に回転させる。すなわち、距離検知器３１が被検査物(LCM)１３との間の位置或いは角度のずれを検知後、CPUは電子信号を基板３０の調整機構(ここでは該第三駆動器６)に送信する。これにより、該基板３０は、被検査物(LCM)１３が傾斜する角度或いは位置の方向の偏りに向かい、該基板３０上に積載するCCDカメラ３２は完全に被検査物(LCM)１３に焦点を合わせることができるようになる。すなわち、各CCDカメラ３２と被検査物(LCM)１３間の距離は、平行かつ対称となり、それぞれの映像が一致しないためのひずみの発生を防止することができる。

さらに、図１４、１５に示すように、上記の調整動作において、被検査物(LCM)１３の生産ライン上の位置と元々のCCDカメラ３２の設定にズレがある場合には(図１４のβ角参照)、第三駆動器６の動作は基板３０を被検査物(LCM)１３との偏った角度方向に調整する。すなわち、本実施例の検査装置は、事前に自動的に補正が可能で、CCDカメラ３２が撮影する内容は最もリアルな状態となる。

本考案の実施例において注目すべきは、隣り合った第二、第三ジンバル可動軸４２，４３の跨架２０のガイドレール２０１片側において、第四駆動器７を増設可能なことである。

図２、１６、１７に示すように、第四駆動器７は、前記の任意の駆動器同様、第四サーバーモーター７０、聯軸器７１、第四駆動ネジ７２、ガイドブロック７３を備えている。上記ガイドブロック７３は、ガイド板４５に連接し、該ガイドブロック７３の反対端は第四駆動ネジ７２上に螺接している。これにより、第四駆動ネジ７２の回転動作によりガイドブロック７３の移動と連動する。

上記第四駆動ネジ７２は、聯軸器７１と該第四サーバーモーター７０の軸芯に連結し、第四サーバーモーター７０が運転されると、その軸芯は第四駆動ネジ７２の回転と連動し、ガイドブロック７３の連動を受けるガイド板４５を牽引し移動させる。

次に、図１６、１７に示すように、上記第四駆動器７が起動すると、連動するガイド板４５は、第二スイングアーム４４を牽引し特定の方向への移動させる。図２に示す実施例においては、もし第四駆動器７のみの起動であれば(該第一駆動器２１は起動しない)、第二スイングアーム４４は基板３０と連動し、同様に第一ジンバル可動軸４１を支点とし、第一スイングアーム４１２と連動し、基板３０に三次元空間のY軸方向への回転を行わせる。すなわち、距離検知器３１が被検査物(LCM)１３との間の位置或いは角度のズレ(図中のθ角)を検知後、CPUは電子信号を基板３０の調整機構(すなわち第四駆動器７)に送信し、該基板３０は、被検査物(LCM)１３が傾斜する角度或いは位置の方向の偏りに向かい、基板３０上に積載する該CCDカメラ３２は被検査物(LCM)１３に対して完全に焦点を合わせることができる。こうして、各CCDカメラ３２と被検査物(LCM)１３間の距離は平行かつ対称となり、画像が不一致となりひずみが生じる状態を防止することができる。

さらに、被検査物(LCM)１３が置かれた生産ライン上の位置とCCDカメラ３２の元々の設定位置にズレがある場合(図１６参照)、第四駆動器７の動作により、基板３０は被検査物(LCM)１３の偏った角度(図中のθ角)の方向へと調整される(図１７参照)。すなわち、本実施例の検査装置により事前に自動的に補正が可能で、CCDカメラ３２が撮影する内容はもリアルな状態となる。

本考案の一実施例の検査装置を生産ラインの送出レールに設置状態を示す説明図である。一実施例の検査装置を示す全体外観図である。本実施例の第一ジンバル可動軸と第一スイングアームをを示す構造図である。第一ジンバル可動軸と第一スイングアームとの作動状態を示す図３のA-A’位置における断面図である。本実施例の第二、三ジンバル可動軸と第二スイングアームとの構造関係を示す説明図である。別の角度から見た本実施例の第二、三ジンバル可動軸と第二スイングアームとを示す説明図である。本実施例の第二ジンバル可動軸と第二スイングアームとの構造関係を示す説明図である。本実施例の第二、三ジンバル可動軸と第二、三駆動器との構造関係を示す説明図である。本実施例の第二駆動器を起動後に対応する第二、三ジンバル可動軸と第二スイングアームとの連動関係を示す説明図である。被検査物と本実施例の検査装置の位置或いは角度がまだ対称となっていないときの参考図である。本実施例の第二駆動器を起動後に、本実施例検査装置が既に被検査物と位置を合わせをした状態の作動状態を示す参考図である。本実施例の第二、三ジンバル可動軸と第二、三駆動器との別の角度から見た結合関係を示す説明図である。本実施例の第三駆動器を起動後に対応する部品と第二スイングアームとの連動関係を示す説明図である。被検査物と本実施例の検査装置の位置或いは角度がまだ対称していないときを示す参考図である。本実施例の第三駆動器を起動後に、本実施例検査装置が既に被検査物と位置を合わせた状態の作動状態を示す参考図である。特別に第四句同期の位置関係を示す被検査物と本実施例検査装置の位置或いは角度がまだ対称していない状態を示す参考図である。本実施例の第四駆動器を起動後に、本実施例検査装置が既に被検査物と位置を合わせた状態の作動状態を示す参考図である。

符号の説明

１自動位置調整検査装置
１０台座
１１送出レール
１２被検査物積載具
１３被検査物(LCM)
２０跨架
２０１ガイドレール
２１第一駆動器
２１１第一サーバモーター
２１２聯軸器
２１３第一駆動ネジ
２１０ガイドブロック
３０基板
３０１基板のスライド台
３１距離検知器
３２ CCDカメラ
３１１距離感知器のサポート台
４基板の調整ユニット
４１第一ジンバル可動軸
４１１第一可動台
４１２第一スイングアーム
４１３第一嵌台
４１４第一ジンバルベアリング
４１５ボルト
４１６ボルト
４２第二ジンバル可動軸
４２１第二可動台
４２２第二ジンバルベアリング
４２２１球台
４２３第二嵌台
４２４ボルト
４２５ボルト
４３第三ジンバル可動軸
４３１第三可動台
４３２第三ジンバルベアリング
４３３第三嵌台
４４第二スイングアーム
４５ガイド板
４５１スライド槽
４５４スライド槽
４５２スライド台
４５３第一スライドブロック
４６スライド板
４６１第二スライド台
４６２第二スライドブロック
４７１スライドレール
４７２スライドレール
５第二駆動器
５０第二サーバーモーター
５１聯軸器
５２第二駆動ネジ
５３ガイドブロック
６第三駆動器
６０第三サーバーモーター
６１聯軸器
６２第三駆動ネジ
６３ガイドブロック
７第四駆動器
７０第四サーバーモーター
７１聯軸器
７２第四駆動ネジ
７３ガイドブロック

Claims

相互に平行かつ対称な一対の跨架ガイドレール、距離検知器及びCCDカメラを積載する基板、該基板のガイドレールに沿った移動をさせる第一駆動器を含み、
上記第一駆動器は上記基板を上記ガイドレールに設定するルートにおいてスライド移動させて、上記距離検知器を被検査物(LCM)に接近させ、該被検査物(LCM)との間の距離、位置、或いは角度のズレの数値を検知してCPUに伝送し、該CPUのコンピュータプログラムによって上記基板の調整機構を演算し、該基板の補正と位置の調整を行い、
上記基板の調整機構は、少なくとも三組のジンバル可動軸を含み、1対2の比率でそれぞれ該基板の両側に設置し、
その内、第一ジンバル可動軸は動力を設置しない支点で、第二、第三ジンバル可動軸はそれぞれ駆動器により上記基板と連動し、CCDカメラが被検査物(LCM)に対して完全に対称になるまで、該基板をある指定の方向へ移動或いは回転させることを特徴とする検査装置。
上記第一駆動器は、第一サーバーモーター、聯軸器、第一駆動ネジ、ガイドブロックを含み、
上記ガイドブロックの一端と該基板との間をスライド台により接続し、上記基板を上記スライド台上の跨架ガイドレールと相互に対応する形状で該ガイドレールに沿って移動可能とし、該ガイドレールの反対端を第一駆動ネジ上に螺接し、
上記第一ジンバル可動軸は第一可動台、第一スイングアーム、及び該第一可動台、該第一スイングアームを可動接続する第一嵌台、第一ジンバルベアリングを含み、
上記第一可動台の一端を上記スライド台に接続し、反対端を上記第一スイングアームに可動接続し、該第一スイングアームの反対端を上記基板に接続し、
上記第一可動台と上記第一スイングアームとの可動接続は第一嵌台と第一ジンバルベアリングを通し、該第一ジンバルベアリングは該第一嵌台の一端の外縁に包設して該第一嵌台中に埋設し、該第一嵌台は上記第一可動台と上記第一スイングアーム間において穿設され、２本のボルトによりそれぞれ第一嵌台と第一ジンバルベアリングを穿通し、それぞれ第一嵌台と第一スイングアーム、第一ジンバルベアリング、第一嵌台を固定し、上記第一スイングアームを第一可動台に対してあらゆる方向への揺れ或いは回転動作を可能としたことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
上記第二、第三ジンバル可動軸は、それぞれ第二、第三可動台、第二、第三ジンバルベアリング、第二、第三嵌台を含み、かつ上記第二、第三可動台は該第二、第三ジンバルベアリングと該第二、第三嵌台により第二スイングアームの異なる位置に可動接続され、上記第二、第三可動台は該第二スイングアームとの連動関係を備え、上記第二スイングアームは上記基板に連結するため、この基板と上記第二、第三可動台と連動関係を持ち、
上記第二、第三ジンバルベアリングはそれぞれ第二、第三可動台内に埋設され、該第二、第三ジンバルベアリング中において第二、第三嵌台を嵌接してボルトにより固定され、上記第二、第三嵌台の反対端は別のボルトと上記第二スイングアームにより連結され、
上記第二、第三ジンバル可動軸に隣接する上記ガイドレール間には、ガイド板を設置し、該ガイド板上には上記ガイドレールとスライド対応状態を呈する形状のスライド槽を設置し、該ガイド板は上記ガイドレール上においてスライド移動を可能とし、
上記ガイド板の一端は、第三可動台と平行の方向に向かって第一スライド台に延伸し、該第一スライド台と第三可動台間とには第一スライドブロックを設置し、該第三可動台と該第一スライドブロックの間はスライドレールにより接続し、該第三可動台は該第一スライドブロック上において、該第一スライド台とスライド接続関係を形成し、該第三可動台は該第一スライド台内において、三次元空間のZ軸方向のスライド移動を行うことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
上記ガイド板は上記基板の片側にスライド槽を有し、該スライド槽はスライド板をスライド接続し、該スライド板の一端は上記第二可動台と平行方向に第二スライド台を延伸し、該第二スライド台と前記第二可動台間は第二スライドブロックによりスライド接続し、上記第二可動台は該第二スライド台内において三次元空間のZ軸方向のスライド移動を行い、
第二駆動器は上記スライド板の頂点面に連結し、該第二駆動器は第二サーバーモーター、聯軸器、第二駆動ネジ、ガイドブロックを含み、
上記ガイドブロックは上記スライド板に接続し、該ガイドブロックの反対端は第二駆動ネジ上に螺接し、該第二駆動ネジの回転動作によりガイドブロックの移動と連動し、該第二駆動ネジは聯軸器と第二サーバーモーターの軸芯に連結し、該第二サーバーモーターの運転時には、その軸芯により該第二駆動ネジの回転と連動し、さらに、上記ガイドブロックが連動するスライド板を牽引し直線移動を行わせ、
第三駆動器は上記第一スライド台の頂点面に設置し、該第三駆動器は第三サーバーモーター、聯軸器、第三駆動ネジ、ガイドブロックを含み、
上記ガイドブロックは上記スライドブロックと相互に連接し、該ガイドブロックの反対端は上記第三駆動ネジ上に螺接し、また該第三駆動ネジの回転動作は上記ガイドブロックの移動を生じさせ、
上記第三駆動ネジは聯軸器と第三サーバーモーターの軸芯に連結するため、第三サーバーモーターの起動運転時には、その軸芯により第三駆動ネジの回転と連動し、上記ガイドブロックにより連動される第一スライドブロックを牽引して直線移動を生じさせることを特徴とする請求項３記載の検査装置。
上記第二、第三ジンバル可動軸に隣接する跨架ガイドレールの片側には、上記ガイド板を連動する第四駆動器を設置し、該第四駆動器は第四サーバーモーター、聯軸器、第四駆動ネジ、ガイドブロックを含み、
上記ガイドブロックはガイド板に連接し、該ガイドブロックの反対端は第四駆動ネジ上に螺接し、該第四駆動ネジの回転動作によりガイドブロックの移動と連動し、
上記第四駆動ネジは聯軸器と第四サーバーモーターの軸芯に連結するため、該第四サーバーモーターが運転すると、その軸芯は第四駆動ネジの回転と連動し、上記ガイドブロックの連動を受ける上記ガイド板を移動牽引することを特徴とする請求項１記載の検査装置。