JP3105899B2 - レーザ光学系装置 - Google Patents
レーザ光学系装置Info
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- JP3105899B2 JP3105899B2 JP595690A JP595690A JP3105899B2 JP 3105899 B2 JP3105899 B2 JP 3105899B2 JP 595690 A JP595690 A JP 595690A JP 595690 A JP595690 A JP 595690A JP 3105899 B2 JP3105899 B2 JP 3105899B2
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- JP
- Japan
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- rod lens
- light source
- rod
- laser light
- laser
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、シート材の表面検査や線状欠陥の検出等に
用いるレーザ光学系装置に関するものである。
用いるレーザ光学系装置に関するものである。
［従来の技術］ レーザ光源からのレーザビームをロッドレンズの中心
部に照射させると、線状ビームは左右対称に広がり、そ
の光強度分布も左右対称になる。
部に照射させると、線状ビームは左右対称に広がり、そ
の光強度分布も左右対称になる。
［発明が解決しようとする課題］ 上記レーザ光源とロッドレンズとを２組設け、ロッド
レンズからの線状ビームを合成した場合、使用部分のビ
ームパワーが半減し、光強度の均一部分の幅を大きく取
ることができないという問題がある。
レンズからの線状ビームを合成した場合、使用部分のビ
ームパワーが半減し、光強度の均一部分の幅を大きく取
ることができないという問題がある。
本発明は、上述の点に鑑みて提供したものであって、
合成した線状ビームの光強度を平滑化することを目的と
したレーザ光学系装置を提供するものである。
合成した線状ビームの光強度を平滑化することを目的と
したレーザ光学系装置を提供するものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、レーザ光源と、レーザ光源からのレーザビ
ームを線状ビームにするロッドレンズとを備え、上記レ
ーザ光源とロッドレンズとを２組並設し、２つのロッド
レンズを各ロッドレンズの軸が互いに平行となるように
配置し、レーザ光源からのレーザビームのロッドレンズ
への照射位置をそのロッドレンズの半径方向における外
側であって両ロッドレンズの外側となる端部にずらし、
各ロッドレンズからの線状ビームが斜めに照射する一の
面上で両ロッドレンズからの線状ビームを合成したもの
である。
ームを線状ビームにするロッドレンズとを備え、上記レ
ーザ光源とロッドレンズとを２組並設し、２つのロッド
レンズを各ロッドレンズの軸が互いに平行となるように
配置し、レーザ光源からのレーザビームのロッドレンズ
への照射位置をそのロッドレンズの半径方向における外
側であって両ロッドレンズの外側となる端部にずらし、
各ロッドレンズからの線状ビームが斜めに照射する一の
面上で両ロッドレンズからの線状ビームを合成したもの
である。
［作 用］ 而して、２組のレーザ光源からのレーザビームをロッ
ドレンズの外側の端部に夫々照射して、１つのロッドレ
ンズからの線状ビームの強度を傾斜させ、２つのロッド
レンズからの線状ビームを合成することで、光強度を平
滑化するようにしている。
ドレンズの外側の端部に夫々照射して、１つのロッドレ
ンズからの線状ビームの強度を傾斜させ、２つのロッド
レンズからの線状ビームを合成することで、光強度を平
滑化するようにしている。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第
３図はレーザ光源１とロッドレンズ２とを夫々１つ配置
して、レーザ光源１からのレーザビームのロッドレンズ
２への照射位置を端部にずらしたものである。従って、
この構成による線状ビームの光強度は第４図に示すよう
に、片寄った光強度分布を得る。
３図はレーザ光源１とロッドレンズ２とを夫々１つ配置
して、レーザ光源１からのレーザビームのロッドレンズ
２への照射位置を端部にずらしたものである。従って、
この構成による線状ビームの光強度は第４図に示すよう
に、片寄った光強度分布を得る。
そこで、第１図に示すように、レーザ光源１とロッド
レンズ２とを２組配置し、レーザ光源１からのレーザビ
ームがロッドレンズ２の外側の端部に夫々照射されるよ
うに配置している。そして、両ロッドレンズ２からの線
状ビームを合成することで、第２図に示すように、光強
度を平滑化したビームを得ることができる。
レンズ２とを２組配置し、レーザ光源１からのレーザビ
ームがロッドレンズ２の外側の端部に夫々照射されるよ
うに配置している。そして、両ロッドレンズ２からの線
状ビームを合成することで、第２図に示すように、光強
度を平滑化したビームを得ることができる。
第５図は、金属等不透明なシート材３の表面検査を行
う際、本発明の光学系を光源として、その反射光をカメ
ラ式，密着式等のラインセンサー４で捕えるようにした
構成図を示すものである。ラインセンサー４は、正反射
位置もしくは非正反射位置に設置し、シート材３上に照
射された線状ビームに対して、レンズの焦点を合わせて
いる。そして、ラインセンサー４の受光量を平滑化する
ように、レンズ光源１とロッドレンズ２の位置関係を決
定している。
う際、本発明の光学系を光源として、その反射光をカメ
ラ式，密着式等のラインセンサー４で捕えるようにした
構成図を示すものである。ラインセンサー４は、正反射
位置もしくは非正反射位置に設置し、シート材３上に照
射された線状ビームに対して、レンズの焦点を合わせて
いる。そして、ラインセンサー４の受光量を平滑化する
ように、レンズ光源１とロッドレンズ２の位置関係を決
定している。
上記第５図の構成において、カメラ式ラインセンサー
で細長い線状欠陥を検出する場合、欠陥の長手方向がレ
ーザ照射方向と平行であると、照射ラインの端部で検出
し難くなる。そこで、第６図に示すように、照射ライン
を２方向とし、照射ラインのなす角度φを与えることに
より、線状欠陥の方向性によらず、十分な検出力を得る
ことができる。
で細長い線状欠陥を検出する場合、欠陥の長手方向がレ
ーザ照射方向と平行であると、照射ラインの端部で検出
し難くなる。そこで、第６図に示すように、照射ライン
を２方向とし、照射ラインのなす角度φを与えることに
より、線状欠陥の方向性によらず、十分な検出力を得る
ことができる。
［発明の効果］ 本発明は上述のように、レーザ光源と、レーザ光源か
らのレーザビームを線状ビームにするロッドレンズとを
備え、上記レーザ光源とロッドレンズとを２組並設し、
２つのロッドレンズを各ロッドレンズの軸が互いに平行
となるように配置し、レーザ光源からのレーザビームの
ロッドレンズへの照射位置をそのロッドレンズの半径方
向における外側であって両ロッドレンズの外側となる端
部にずらし、各ロッドレンズからの線状ビームが斜めに
照射する一の面上で両ロッドレンズからの線状ビームを
合成したものであるから、２組のレーザ光源からのレー
ザビームをロッドレンズの外側の端部に夫々照射して、
１つのロッドレンズからの線状ビームの強度を傾斜さ
せ、２つのロッドレンズからの線状ビームを合成するこ
とで、光強度を平滑化することができ、光強度を平滑化
された線状ビームを得ることができ、また、レーザビー
ムを片寄らせることで、ビームパワーを有効に利用でき
ると共に、片側への広がり角が大きくなり、２組の光学
系を離して幅の大きい線状ビームを得ることができる効
果を奏するものである。
らのレーザビームを線状ビームにするロッドレンズとを
備え、上記レーザ光源とロッドレンズとを２組並設し、
２つのロッドレンズを各ロッドレンズの軸が互いに平行
となるように配置し、レーザ光源からのレーザビームの
ロッドレンズへの照射位置をそのロッドレンズの半径方
向における外側であって両ロッドレンズの外側となる端
部にずらし、各ロッドレンズからの線状ビームが斜めに
照射する一の面上で両ロッドレンズからの線状ビームを
合成したものであるから、２組のレーザ光源からのレー
ザビームをロッドレンズの外側の端部に夫々照射して、
１つのロッドレンズからの線状ビームの強度を傾斜さ
せ、２つのロッドレンズからの線状ビームを合成するこ
とで、光強度を平滑化することができ、光強度を平滑化
された線状ビームを得ることができ、また、レーザビー
ムを片寄らせることで、ビームパワーを有効に利用でき
ると共に、片側への広がり角が大きくなり、２組の光学
系を離して幅の大きい線状ビームを得ることができる効
果を奏するものである。
第１図は本発明の実施例の配置構成図、第２図は同上の
特性図、第３図は同上の１組の場合の配置構成図、第４
図は同上の特性図、第５図は同上のラインセンサーによ
るシート材表面を検査する場合の構成図、第６図は同上
の線状欠陥を検出する場合の説明図である。 １はレーザ光源、２はロッドレンズである。
特性図、第３図は同上の１組の場合の配置構成図、第４
図は同上の特性図、第５図は同上のラインセンサーによ
るシート材表面を検査する場合の構成図、第６図は同上
の線状欠陥を検出する場合の説明図である。 １はレーザ光源、２はロッドレンズである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G02B 27/00 - 27/64
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ光源と、レーザ光源からのレーザビ
ームを線状ビームにするロッドレンズとを備え、上記レ
ーザ光源とロッドレンズとを２組並設し、２つのロッド
レンズを各ロッドレンズの軸が互いに平行となるように
配置し、レーザ光源からのレーザビームのロッドレンズ
への照射位置をそのロッドレンズの半径方向における外
側であって両ロッドレンズの外側となる端部にずらし、
各ロッドレンズからの線状ビームが斜めに照射する一の
面上で両ロッドレンズからの線状ビームを合成したこと
を特徴とするレーザ光学系装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595690A JP3105899B2 (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595690A JP3105899B2 (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210461A JPH03210461A (ja) | 1991-09-13 |
| JP3105899B2 true JP3105899B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=11625346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP595690A Expired - Fee Related JP3105899B2 (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3105899B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100956351B1 (ko) * | 2008-05-27 | 2010-05-07 | 서창환 | 광선을 이용한 기하 도형 형성 방법 및 형성 장치 |
-
1990
- 1990-01-13 JP JP595690A patent/JP3105899B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03210461A (ja) | 1991-09-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |