JP3100003B2 - Synchrotron radiation generator - Google Patents
Synchrotron radiation generatorInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、放射光発生装置に係
り、特に、電子蓄積リング内の偏向磁石として超電導磁
石を用いた放射光発生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a synchrotron radiation generator, and more particularly to a synchrotron radiation generator using a superconducting magnet as a deflection magnet in an electron storage ring.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、超ＬＳＩ製造のためのＸ線リソグ
ラフィー用の強力なＸ線として、シンクロトロン放射光
（ＳＯＲ光）が注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, synchrotron radiation (SOR light) has attracted attention as a powerful X-ray for X-ray lithography for VLSI manufacturing.
【０００３】一般的なシンクロトロン放射光発生装置の
概略構成を図４に示す。図４において、入射用電子加速
器１で加速された電子ビームは電子ビーム輸送部２で輸
送され、分岐用磁石３によって分岐させられて各電子蓄
積リング４へ導かれる。各電子蓄積リング４に導かれた
電子ビームは、偏向磁石５、５により真空ダクト６内の
中心近傍を通る所定のビーム閉軌道７を描くように、加
速制御される。電子ビームが周回運動を行う結果、ＳＯ
Ｒ光８が放射される。ＳＯＲ光８はビームライン９を通
って電子蓄積リング４から取り出される。ビームライン
９にはＳＯＲ光８の強度を検出する放射光モニター１０
が設けられている。また、電子蓄積リング４中の電子ビ
ームの強度はビーム電流モニター１３によって検出され
る。符号１２は電子ビームを加速するための高周波加速
空洞を示す。符号１４は制御部であって、放射光モニタ
ー１０やビーム電流モニター１３による検出結果に基づ
き入射用電子加速器１や分岐用磁石３を制御する。FIG. 4 shows a schematic configuration of a general synchrotron radiation light generating apparatus. In FIG. 4, an electron beam accelerated by an electron accelerator for incidence 1 is transported by an electron beam transport unit 2, branched by a branching magnet 3, and guided to each electron storage ring 4. The electron beam guided to each electron storage ring 4 is accelerated by the deflecting magnets 5 and 5 so as to draw a predetermined beam closed orbit 7 passing near the center of the vacuum duct 6. As a result of the orbital movement of the electron beam, SO
R light 8 is emitted. The SOR light 8 is extracted from the electron storage ring 4 through the beam line 9. A radiation light monitor 10 for detecting the intensity of the SOR light 8 is provided on the beam line 9.
Is provided. The intensity of the electron beam in the electron storage ring 4 is detected by a beam current monitor 13. Reference numeral 12 denotes a high-frequency acceleration cavity for accelerating an electron beam. Reference numeral 14 denotes a control unit which controls the electron accelerator 1 for incidence and the magnet 3 for splitting based on the detection results by the radiation light monitor 10 and the beam current monitor 13.
【０００４】このようなシンクロトロン放射光発生装置
から放射されるＳＯＲ光８を半導体製造装置の光源とし
て利用するためには、ＳＯＲ光８の強度やビームパター
ンが安定している必要がある。このため、電子蓄積リン
グ４内において、電子ビームは許容範囲内で所定の閉軌
道をとり、ビーム電流は許容範囲内で所定のビーム電流
値をとるように制御されることが重要である。ビーム電
流値については、ビーム電流モニター１３によってビー
ム電流値をモニターし、必要に応じて入射用電子加速器
１から電子ビームを追加入射させることによって許容範
囲内になるように制御される。また、電子ビームの軌道
については、偏向磁石５として従来の常電導磁石を用い
る場合や永久電流モードでないモードで運転される超電
導磁石を用いる場合には、偏向磁石５のコイルに流れる
電流を電源装置により一定の値に制御することが可能で
ある。In order to use the SOR light 8 emitted from such a synchrotron radiation light generator as a light source for a semiconductor manufacturing apparatus, the intensity and beam pattern of the SOR light 8 need to be stable. Therefore, in the electron storage ring 4, it is important that the electron beam is controlled to take a predetermined closed trajectory within an allowable range and the beam current is controlled to take a predetermined beam current value within the allowable range. The beam current value is controlled by monitoring the beam current value by the beam current monitor 13 and adding an electron beam from the electron accelerator 1 for incidence as needed so as to be within an allowable range. In addition, regarding the trajectory of the electron beam, when a conventional normal conducting magnet is used as the deflecting magnet 5 or when a superconducting magnet operated in a mode other than the permanent current mode is used, the current flowing through the coil of the deflecting magnet 5 is supplied to the power supply device. Can be controlled to a constant value.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】一方、超ＬＳＩ製造等
に用いる場合のように運転コストを削減する必要のある
量産型の放射光発生装置においては、偏向磁石５として
永久電流モードで運転される超電導磁石を用いることが
考えられる。On the other hand, in a mass-produced synchrotron radiation generator that requires a reduction in operating costs, such as when it is used in the manufacture of VLSI, etc., the deflection magnet 5 is operated in a permanent current mode. It is conceivable to use a superconducting magnet.
【０００６】しかしながら、永久電流モードで運転され
る超電導磁石を偏向磁石５として用いる場合には、永久
電流モードでないモードで運転される場合と同じように
偏向磁石５のコイルに流れる電流を制御することはでき
ない。何も手段をとらなければ、長時間運転を行う間に
時間とともにコイル電流が減衰し、偏向磁石５の磁場の
強度が減少する。このため、電子ビームの軌道はリング
１１の中心軌道からずれ、リング１１のアクセプタンス
が減少し、電子ビームの入射効率が減少するという問題
点がある。また、電子ビームが所定のビーム閉軌道をと
らないため、放射線の遮蔽手段を複雑にしなければなら
ないという問題点がある。However, when the superconducting magnet operated in the permanent current mode is used as the deflecting magnet 5, it is necessary to control the current flowing through the coil of the deflecting magnet 5 in the same manner as when operating in the non-permanent current mode. Can not. If no measures are taken, the coil current will attenuate over time during a long operation, and the strength of the magnetic field of the deflecting magnet 5 will decrease. For this reason, the trajectory of the electron beam deviates from the center trajectory of the ring 11, and the acceptance of the ring 11 decreases, which causes a problem that the electron beam incidence efficiency decreases. In addition, since the electron beam does not take a predetermined beam closed trajectory, there is a problem that the radiation shielding means must be complicated.
【０００７】そこで、本発明の目的は、偏向磁石として
永久電流モードで運転される超電導磁石を用いた場合で
も電子ビームが安定して所定のビーム閉軌道をとり得る
ようにした放射光発生装置を提供することである。Accordingly, an object of the present invention is to provide a synchrotron radiation generator capable of stably taking a predetermined beam closed orbit even when a superconducting magnet operated in a permanent current mode is used as a deflecting magnet. To provide.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による放射光発生装置は、電子ビームが前記
電子蓄積リング内の所定のビーム閉軌道を通るように前
記電子蓄積リング内の偏向磁石によって電子ビームの軌
道を制御し、放射光を発生させる放射光発生装置におい
て、前記偏向磁石として超電導磁石を用い、この超電導
磁石を永久電流モードで駆動したときの永久電流の変動
を検出する永久電流変動検出手段と、この永久電流変動
検出手段によって検出された信号に基づき、電子ビーム
の軌道の所定の軌道からの歪みを補正するビーム軌道修
正手段とを備えることを特徴とする。In order to achieve the above object, a synchrotron radiation generating apparatus according to the present invention comprises: an electron beam generating means for transmitting an electron beam through a predetermined beam closed trajectory in the electron storage ring; In a synchrotron radiation generating apparatus that controls the trajectory of an electron beam by a deflecting magnet and generates synchrotron radiation, a superconducting magnet is used as the deflecting magnet, and a fluctuation of a permanent current when the superconducting magnet is driven in a permanent current mode is detected. It is characterized by comprising permanent current fluctuation detecting means and beam trajectory correcting means for correcting distortion of a trajectory of an electron beam from a predetermined trajectory based on a signal detected by the permanent current fluctuation detecting means.
【０００９】[0009]
【作用】偏向磁石として用いる超電導磁石を永久電流モ
ードで駆動し、永久電流変動検出手段によって永久電流
の変動を検出する。永久電流変動検出手段によって検出
された信号に基づき、電子ビームの軌道の所定の軌道か
らの歪みをビーム軌道修正手段によって補正するので、
超電導磁石を永久電流モードで駆動した場合でも、電子
ビームの軌道を所定のビーム閉軌道に維持することがで
きる。The superconducting magnet used as the deflecting magnet is driven in the permanent current mode, and the fluctuation of the permanent current is detected by the permanent current fluctuation detecting means. Based on the signal detected by the permanent current fluctuation detecting means, the distortion of the trajectory of the electron beam from a predetermined trajectory is corrected by the beam trajectory correcting means.
Even when the superconducting magnet is driven in the permanent current mode, the trajectory of the electron beam can be maintained at a predetermined beam closed trajectory.
【００１０】[0010]
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明
する。まず、図１を参照して本発明の第１実施例を説明
する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００１１】入射用電子加速器１で発生された電子ビ−
ムは電子ビーム輸送部２を経て複数の電子蓄積リング４
へ導かれる。複数の電子蓄積リング４はそれぞれが同様
に構成されているので以下では一つの電子蓄積リング４
について説明する。The electron beam generated by the electron accelerator 1 for incidence
The electron beam is transported through the electron beam transport unit 2 to the plurality of electron storage rings 4.
Led to. Since each of the plurality of electron storage rings 4 has the same configuration, one electron storage ring 4 will be described below.
Will be described.
【００１２】電子蓄積リング４内には偏向磁石として超
電導磁石２０が設けられている。超電導磁石２０は永久
電流モードで運転される。電子蓄積リング４には、永久
電流の変動を検出するための永久電流変動検出手段２１
が設けられている。永久電流変動検出手段２１として
は、超電導磁石２０のコイル電流を検出するコイル電流
モニター、または磁場の強度を測定する偏向磁場測定装
置が用いられる。この永久電流変動検出手段２１は制御
部１４に接続されている。A superconducting magnet 20 is provided in the electron storage ring 4 as a deflection magnet. Superconducting magnet 20 is operated in a permanent current mode. The electron storage ring 4 has a permanent current fluctuation detecting means 21 for detecting a fluctuation of the permanent current.
Is provided. As the permanent current fluctuation detecting means 21, a coil current monitor for detecting the coil current of the superconducting magnet 20, or a deflection magnetic field measuring device for measuring the strength of the magnetic field is used. This permanent current fluctuation detecting means 21 is connected to the control unit 14.
【００１３】所定のビーム閉軌道としてのリング１１の
中心軌道からのずれは、電子蓄積リング４の真空ダクト
６に配置された静電型ピックアップモニターであるビー
ム位置モニター２３によって検出される。なお、リング
１１の中心軌道からのずれ量の検出は、ビーム位置モニ
ター２３だけでなく放射光モニター１０によっても可能
である。The deviation from the center trajectory of the ring 11 as a predetermined beam closed trajectory is detected by a beam position monitor 23 which is an electrostatic pickup monitor arranged in the vacuum duct 6 of the electron storage ring 4. The amount of deviation of the ring 11 from the center trajectory can be detected not only by the beam position monitor 23 but also by the synchrotron radiation monitor 10.
【００１４】超電導磁石２０の両端部近傍にはビーム軌
道修正手段として電子ビームの軌道を補正するための修
正用磁石２２が載置されている。修正用磁石２２により
生じる磁界の方向は超電導磁石２０により生じる磁界の
方向と同じ方向である。修正用磁石２２に流す駆動電流
の大きさは、永久電流変動検出手段２３による検出値に
基づいて制御部１３で制御され、リング１１の中心軌道
からのずれ量が大きいほど大きくなる。Near the ends of the superconducting magnet 20, correction magnets 22 for correcting the trajectory of the electron beam are mounted as beam trajectory correction means. The direction of the magnetic field generated by the correction magnet 22 is the same as the direction of the magnetic field generated by the superconducting magnet 20. The magnitude of the drive current flowing through the correction magnet 22 is controlled by the control unit 13 based on the value detected by the permanent current fluctuation detection means 23, and increases as the amount of deviation of the ring 11 from the center track increases.
【００１５】次に本実施例の作用について説明する。永
久電流変動検出手段２１によって偏向磁場の強度または
コイル電流を検出し、超電導磁石２０を流れる永久電流
の変動量が検出される。永久電流変動検出手段２１によ
る検出値が許容範囲にあるか否かが制御部１４で判断さ
れる。永久電流変動検出手段２１による検出値が許容範
囲を外れた場合には、ビーム位置モニター２３によって
検出した中心軌道からのずれ量が許容範囲に入るよう
に、制御部１４を介して修正用磁石２２を駆動制御す
る。永久電流変動検出手段２１による検出値が許容範囲
内にある場合には、修正用磁石２２を駆動しない。Next, the operation of this embodiment will be described. The permanent current fluctuation detecting means 21 detects the intensity of the deflecting magnetic field or the coil current, and detects the fluctuation amount of the permanent current flowing through the superconducting magnet 20. The controller 14 determines whether or not the value detected by the permanent current fluctuation detecting means 21 is within an allowable range. When the value detected by the permanent current fluctuation detecting means 21 is out of the allowable range, the correction magnet 22 is controlled via the control unit 14 so that the deviation amount from the center trajectory detected by the beam position monitor 23 falls within the allowable range. Drive control. When the value detected by the permanent current fluctuation detecting means 21 is within the allowable range, the correction magnet 22 is not driven.
【００１６】本実施例の構成によれば、永久電流の変動
を検出するための永久電流変動検出手段２１と電子ビー
ムの軌道を補正するための修正用磁石２２とを設けたの
で、時間とともにコイル電流が減衰してリング１１のア
クセプタンスが減少することを防止することができ、電
子蓄積リング４内の電子ビームの軌道が所定のビーム閉
軌道になるようにすることができる。この結果、電子ビ
ームの入射効率が減少することを防止できるとともに、
放射線の遮蔽手段を簡略化することができる。According to the configuration of the present embodiment, the permanent current fluctuation detecting means 21 for detecting the fluctuation of the permanent current and the correction magnet 22 for correcting the trajectory of the electron beam are provided, so that the coil can be used with time. It is possible to prevent the current from attenuating and reduce the acceptance of the ring 11, and to make the trajectory of the electron beam in the electron storage ring 4 a predetermined beam closed trajectory. As a result, the electron beam incidence efficiency can be prevented from decreasing, and
Radiation shielding means can be simplified.
【００１７】また、このように電子ビームの軌道をリン
グ１１の中心軌道になるように補正することにより、長
期間に渡って電子ビームを電子蓄積リング４内に蓄積す
ることができる。この結果、長い期間に渡って電子蓄積
リング４を再び立ち上げなおす必要がなくなり、量産型
の放射光発生装置として有利になる。By correcting the trajectory of the electron beam so as to be the center trajectory of the ring 11, the electron beam can be stored in the electron storage ring 4 for a long period of time. As a result, there is no need to restart the electron storage ring 4 over a long period of time, which is advantageous as a mass-produced synchrotron radiation generator.
【００１８】次に図２および図３を参照して本発明の第
２実施例を説明する。第１実施例は、超電導磁石２０に
よる磁界の強度を補正しようとするものではなく、超電
導磁石２０の端部近傍に載置した修正磁石２２によって
電子ビームの軌道がリング１１の中心軌道となるように
修正するものであった。これに対して第２実施例では、
永久電流の減衰により減少する超電導磁石３０の磁界に
補助磁石３２、３３による磁界を加えて、全体としての
磁界の強さを実効的に一定にしようとするものである。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The first embodiment does not attempt to correct the intensity of the magnetic field generated by the superconducting magnet 20, but the correction magnet 22 placed near the end of the superconducting magnet 20 so that the trajectory of the electron beam becomes the center trajectory of the ring 11. Was to be corrected. On the other hand, in the second embodiment,
The magnetic field generated by the auxiliary magnets 32 and 33 is added to the magnetic field of the superconducting magnet 30 that is reduced by the attenuation of the permanent current, so that the strength of the magnetic field as a whole is effectively made constant.
【００１９】図３は図２のＡ−Ａ線断面図を示す。図３
において、超電導磁石３０による磁界は２個の一対のコ
イル３４ａ、３４ｂおよび３５ａ、３５ｂで作られる。
超電導磁石３０の超電導磁石容器３１の上方には一対の
コイル３２ａ、３２ｂからなる補助磁石３１が設けられ
ている。また、超電導磁石容器３１の下方にはコイル３
３ａ、３３ｂからなる補助磁石３３が設けられている。
補助磁石３２、３３による磁界の方向は超電導磁石３０
による磁界の方向と同じとなるようにされている。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. FIG.
In, the magnetic field generated by the superconducting magnet 30 is created by two pairs of coils 34a, 34b and 35a, 35b.
An auxiliary magnet 31 composed of a pair of coils 32a and 32b is provided above the superconducting magnet container 31 of the superconducting magnet 30. A coil 3 is provided below the superconducting magnet container 31.
An auxiliary magnet 33 composed of 3a and 33b is provided.
The direction of the magnetic field generated by the auxiliary magnets 32 and 33 is
In the same direction as the direction of the magnetic field.
【００２０】次に本実施例の作用について説明する。コ
イル電流モニターまたは偏向磁場測定装置からなる永久
電流変動検出手段２１によって偏向磁場の強度またはコ
イル電流を検出し、超電導磁石３０を駆動する永久電流
の変動量を検出する。永久電流変動検出手段２１による
検出値が許容範囲にあるかないかを制御部１４で判断す
る。永久電流変動検出手段２１による検出値が許容範囲
にない場合には、ビーム位置モニター２３によって検出
した中心軌道からのずれ量が許容範囲に入るように、制
御部１４を介して補助磁石３２、３３を駆動制御する。
中心軌道からのずれ量が大きいほど補助磁石３２、３３
による磁界は強く加えられる。中心軌道からのずれ量が
許容範囲に入ると、補助磁石３２、３３の駆動を停止す
る。Next, the operation of this embodiment will be described. The intensity of the deflecting magnetic field or the coil current is detected by the permanent current fluctuation detecting means 21 comprising a coil current monitor or a deflecting magnetic field measuring device, and the amount of fluctuation of the permanent current for driving the superconducting magnet 30 is detected. The control unit 14 determines whether or not the value detected by the permanent current fluctuation detecting means 21 is within an allowable range. If the value detected by the permanent current fluctuation detecting means 21 is not within the allowable range, the auxiliary magnets 32 and 33 are controlled via the control unit 14 so that the deviation amount from the center trajectory detected by the beam position monitor 23 falls within the allowable range. Drive control.
The larger the deviation amount from the central orbit, the larger the auxiliary magnets 32 and 33
Is strongly applied. When the deviation from the center trajectory falls within the allowable range, the driving of the auxiliary magnets 32 and 33 is stopped.
【００２１】本実施例の構成によれば、永久電流変動検
出手段２１の他に補助磁石３２、３３を設けたので、全
体として磁界の強度を実効的に一定にすることができ
る。この結果、電子ビームの入射効率が減少することを
防止できるとともに、放射線の遮蔽手段を簡略化するこ
とができる。また、長い期間に渡って電子蓄積リング４
を再び立ち上げなおす必要がなくなり、量産用の放射光
発生装置として有利になる。According to the configuration of the present embodiment, since the auxiliary magnets 32 and 33 are provided in addition to the permanent current fluctuation detecting means 21, the strength of the magnetic field can be effectively kept constant as a whole. As a result, it is possible to prevent the incidence efficiency of the electron beam from being reduced, and to simplify the radiation shielding means. In addition, for a long period of time, the electron storage ring 4
Need not be restarted, which is advantageous as a synchrotron radiation generator for mass production.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
永久電流の変動を検出するための永久電流変動検出手段
と、電子ビームの軌道の所定の軌道からの歪みを補正す
るビーム軌道修正手段とを設けたので、偏向磁石として
永久電流モードで運転される超電導磁石を用いた場合で
も電子ビームが安定したビーム閉軌道をとるようにする
ことができる。この結果、電子ビームの入射効率が減少
することを防止できるとともに、放射線の遮蔽手段を簡
略化することができる。また、長い期間に渡って電子蓄
積リングを再び立ち上げなおす必要がなくなる。As described above, according to the present invention,
Since the permanent current fluctuation detecting means for detecting the fluctuation of the permanent current and the beam trajectory correcting means for correcting the distortion of the trajectory of the electron beam from a predetermined trajectory are provided, the deflecting magnet is operated in the permanent current mode. Even when a superconducting magnet is used, the electron beam can take a stable beam closed orbit. As a result, it is possible to prevent the incidence efficiency of the electron beam from being reduced, and to simplify the radiation shielding means. Further, it is not necessary to restart the electron storage ring over a long period.
【図１】本発明による放射光発生装置の第１実施例を示
す概略構成図。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of a radiation light generating device according to the present invention.
【図２】本発明による放射光発生装置の第２実施例を示
す概略構成図。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a second embodiment of the radiation light generating apparatus according to the present invention.
【図３】本発明の第２実施例における補助磁石を示す図
２のＡ−Ａ線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2 showing an auxiliary magnet in a second embodiment of the present invention.
【図４】従来の放射光発生装置を示す概略構成図。FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a conventional synchrotron radiation generator.
１ 入射用電子加速器 ２ 電子ビーム輸送部 ３ 分岐用磁石 ４ 電子蓄積リング ５ 偏向磁石 ６ 真空ダクト ７ ビーム閉軌道 ８ ＳＯＲ光 ９ ビームライン １０ 放射光モニター １１ リング １２ 高周波加速空洞 １３ ビーム電流モニター １４ 制御部 ２０ 偏向磁石としての超電導磁石 ２１ 永久電流変動検出手段 ２２ 補正用磁石 ２３ ビーム位置モニター ３０ 偏向磁石としての超電導磁石 ３１ 超電導磁石容器 ３２ 補助磁石 ３２ａ コイル ３２ｂ コイル ３３ 補助磁石 ３３ａ コイル ３３ｂ コイル ３４ａ コイル ３４ｂ コイル ３５ａ コイル ３５ｂ コイル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Incident electron accelerator 2 Electron beam transport part 3 Branching magnet 4 Electron storage ring 5 Deflection magnet 6 Vacuum duct 7 Beam closed orbit 8 SOR light 9 Beam line 10 Synchrotron radiation monitor 11 Ring 12 High frequency accelerating cavity 13 Beam current monitor 14 Control Unit 20 Superconducting magnet as deflection magnet 21 Permanent current fluctuation detecting means 22 Correction magnet 23 Beam position monitor 30 Superconducting magnet as deflection magnet 31 Superconducting magnet container 32 Auxiliary magnet 32a Coil 32b Coil 33 Auxiliary magnet 33a Coil 33b Coil 34a Coil 34b Coil 35a Coil 35b Coil
Claims (1)
ーム閉軌道を通るように前記電子蓄積リング内の偏向磁
石によって電子ビームの軌道を制御し、放射光を発生さ
せる放射線発生装置において、前記偏向磁石として超電
導磁石を用い、この超電導磁石を永久電流モードで駆動
したときの永久電流の変動を検出する永久電流変動検出
手段と、この永久電流変動検出手段によって検出された
信号に基づき、電子ビームの軌道の所定の軌道からの歪
みを補正するビーム軌道修正手段とを備えることを特徴
とする放射光発生装置。1. A radiation generating apparatus for controlling the trajectory of an electron beam by a deflecting magnet in the electron storage ring so that the electron beam passes through a predetermined beam closed trajectory in the electron storage ring to generate radiation light. A superconducting magnet is used as a deflecting magnet, a permanent current fluctuation detecting means for detecting a fluctuation of a permanent current when the superconducting magnet is driven in a permanent current mode, and an electron beam based on a signal detected by the permanent current fluctuation detecting means. A beam trajectory correcting means for correcting distortion of the trajectory from a predetermined trajectory.
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| JP20219992A JP3100003B2 (en) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | Synchrotron radiation generator |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000728 |
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