JP3099032B2 - ラジアル磁気軸受 - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は潤滑油の使用を避けるよ
うな高真空が要求される、例えばＬＳＩ製造工程に使用
されるターボ分子ポンプ、或いはドライガスシールと組
み合わせて使用することにより潤滑油給油装置を必要と
しないターボ圧縮機の回転軸を支持するラジアル磁気軸
受に関するものである。
うな高真空が要求される、例えばＬＳＩ製造工程に使用
されるターボ分子ポンプ、或いはドライガスシールと組
み合わせて使用することにより潤滑油給油装置を必要と
しないターボ圧縮機の回転軸を支持するラジアル磁気軸
受に関するものである。
【０００２】
【従来技術】図３は従来のスラスト磁気軸受及びラジア
ル磁気軸受により支持した回転軸の縦断面図であり、図
４（ａ）はその横断面図、図４（ｂ）は同図（ａ）のＡ
ＯＡ線上断面図である。
ル磁気軸受により支持した回転軸の縦断面図であり、図
４（ａ）はその横断面図、図４（ｂ）は同図（ａ）のＡ
ＯＡ線上断面図である。
【０００３】図３において、１は回転軸であり、該回転
軸１にはラジアル軸受ロータ継鉄１７，１７及び磁性材
料製のスラストディスク２７が固着されている。ラジア
ル軸受ロータ継鉄１７，１７に対向してラジアル軸受ケ
ーシング２に固着されたラジアル軸受継鉄１６，１６が
配置されて、該ラジアル軸受継鉄１６，１６にはそれぞ
れラジアル用励磁コイル１５，１５が固着されている。
軸１にはラジアル軸受ロータ継鉄１７，１７及び磁性材
料製のスラストディスク２７が固着されている。ラジア
ル軸受ロータ継鉄１７，１７に対向してラジアル軸受ケ
ーシング２に固着されたラジアル軸受継鉄１６，１６が
配置されて、該ラジアル軸受継鉄１６，１６にはそれぞ
れラジアル用励磁コイル１５，１５が固着されている。
【０００４】また、スラストディスク２７に微小隙間を
設けて対向しスラスト軸受ケーシング３に固着された断
面コ字状の一対のスラスト軸受継鉄リング２６，２６が
配置され、該スラスト軸受継鉄リング２６，２６の凹部
にはそれぞれスラスト用励磁コイル２５，２５が挿入さ
れている。
設けて対向しスラスト軸受ケーシング３に固着された断
面コ字状の一対のスラスト軸受継鉄リング２６，２６が
配置され、該スラスト軸受継鉄リング２６，２６の凹部
にはそれぞれスラスト用励磁コイル２５，２５が挿入さ
れている。
【０００５】また、１１，１１は回転軸１の軸方向と直
交する方向（ラジアル方向）の変位を検出するラジアル
変位センサであり、該ラジアル変位センサ１１の出力は
ラジアルセンサアンプ１２で増幅され、ラジアル方向補
償回路１３，１３及びラジアル用電力増幅器１４，１４
を通して、ラジアル用励磁コイル１５，１５に供給され
る。
交する方向（ラジアル方向）の変位を検出するラジアル
変位センサであり、該ラジアル変位センサ１１の出力は
ラジアルセンサアンプ１２で増幅され、ラジアル方向補
償回路１３，１３及びラジアル用電力増幅器１４，１４
を通して、ラジアル用励磁コイル１５，１５に供給され
る。
【０００６】また、２１は回転軸１の軸方向の変位を検
出するスラスト変位センサであり、該スラスト変位セン
サ２１の出力はスラストセンサアンプ２２で増幅され、
スラスト方向補償回路２３及びスラスト用電力増幅器２
４，２４を通して、スラスト用励磁コイル２５，２５に
供給される。
出するスラスト変位センサであり、該スラスト変位セン
サ２１の出力はスラストセンサアンプ２２で増幅され、
スラスト方向補償回路２３及びスラスト用電力増幅器２
４，２４を通して、スラスト用励磁コイル２５，２５に
供給される。
【０００７】図５は磁気軸受支持の回転軸の曲げ固有振
動モードを示す図である。上記のように従来のラジアル
磁気軸受は、ラジアル軸受ロータ継鉄１７，１７に微小
隙間を設けて対向してラジアル用励磁コイル１５，１５
を挿入したリング状のラジアル軸受継鉄１６，１６を直
接ラジアル軸受ケーシング３に固定する構成では、図示
するように、回転軸の曲げ固有振動数の発振現象（不安
定振動）が発生していた。
動モードを示す図である。上記のように従来のラジアル
磁気軸受は、ラジアル軸受ロータ継鉄１７，１７に微小
隙間を設けて対向してラジアル用励磁コイル１５，１５
を挿入したリング状のラジアル軸受継鉄１６，１６を直
接ラジアル軸受ケーシング３に固定する構成では、図示
するように、回転軸の曲げ固有振動数の発振現象（不安
定振動）が発生していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の磁
気軸受で支持された回転軸１は、しばしば回転軸１の曲
げ固有振動数の発振現象（不安定振動）が発生してい
た。その原因の多くは磁気軸受の制御力が比較的周波数
領域に限られているため、回転軸の曲げ固有振動数のよ
うな比較的高周波数の振動には無力であったためであ
る。磁気軸受を極端に大きくするとか、或いはその電力
増幅機の容量を大きくするとかにより、このような問題
を防止できる可能性がない訳でもないが、これは非経済
的である。
気軸受で支持された回転軸１は、しばしば回転軸１の曲
げ固有振動数の発振現象（不安定振動）が発生してい
た。その原因の多くは磁気軸受の制御力が比較的周波数
領域に限られているため、回転軸の曲げ固有振動数のよ
うな比較的高周波数の振動には無力であったためであ
る。磁気軸受を極端に大きくするとか、或いはその電力
増幅機の容量を大きくするとかにより、このような問題
を防止できる可能性がない訳でもないが、これは非経済
的である。
【０００９】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、回転軸に発生する回転軸の曲げ振動を防止できるラ
ジアル磁気軸受を提供することにある。
で、回転軸に発生する回転軸の曲げ振動を防止できるラ
ジアル磁気軸受を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、回転軸に固着した磁性材料製ラジアル継鉄
と、該ラジアル継鉄に対して微小隙間を設けて対向し励
磁コイルを挿入した突起を有し且つラジアル軸受ケーシ
ングに固着された電磁石継鉄リングを具備し、前記回転
軸の半径方向の変位を計測するラジアル変位センサの出
力信号をセンサアンプで増幅し、該増幅した変位信号を
ラジアル方向補償回路及び電力増幅器を通して、励磁コ
イルに供給するように構成されたラジアル磁気軸受にお
いて、電磁石継鉄リングとラジアル軸受ケーシングとの
間に、回転軸の円周方向にラジアル方向の力を発生する
圧電形アクチュエータを挿入し、ラジアル変位センサの
出力信号を該信号を基に位相補償を行う補償回路及び電
力増幅器を通して圧電形アクチュエータに供給し、電磁
石継鉄リングをラジアル方向に変位させるように構成し
たことを特徴とする。
本発明は、回転軸に固着した磁性材料製ラジアル継鉄
と、該ラジアル継鉄に対して微小隙間を設けて対向し励
磁コイルを挿入した突起を有し且つラジアル軸受ケーシ
ングに固着された電磁石継鉄リングを具備し、前記回転
軸の半径方向の変位を計測するラジアル変位センサの出
力信号をセンサアンプで増幅し、該増幅した変位信号を
ラジアル方向補償回路及び電力増幅器を通して、励磁コ
イルに供給するように構成されたラジアル磁気軸受にお
いて、電磁石継鉄リングとラジアル軸受ケーシングとの
間に、回転軸の円周方向にラジアル方向の力を発生する
圧電形アクチュエータを挿入し、ラジアル変位センサの
出力信号を該信号を基に位相補償を行う補償回路及び電
力増幅器を通して圧電形アクチュエータに供給し、電磁
石継鉄リングをラジアル方向に変位させるように構成し
たことを特徴とする。
【００１１】
【作用】上記のように、電磁石継鉄リングとラジアル軸
受ケーシングとの間に、回転軸円周方向にラジアル方向
の力を発生する圧電形アクチュエータを挿入し、ラジア
ル変位センサの出力信号を該信号を基に位相補償を行う
補償回路及び電力増幅器を通して圧電形アクチュエータ
に供給し、電磁石継鉄リングをラジアル方向に変位させ
るように構成したので、この圧電形アクチュエータがラ
ジアル方向に伸縮することにより、ラジアル継鉄と電磁
石継鉄リングとの間の隙間を変えることができる。電磁
石の吸引力は、励磁電流とラジアル継鉄と電磁石継鉄リ
ングとの間の隙間の関数となっており、この隙間が小さ
くなると磁気吸引力は大きくなる。この隙間変化を利用
して、発生した回転軸の曲げ振動を制振するよう回転軸
に力を加えることにより曲げ固有振動数の発振を防止す
る。その結果、回転軸に発生する曲げ固有振動数の自励
振動を防止できる。
受ケーシングとの間に、回転軸円周方向にラジアル方向
の力を発生する圧電形アクチュエータを挿入し、ラジア
ル変位センサの出力信号を該信号を基に位相補償を行う
補償回路及び電力増幅器を通して圧電形アクチュエータ
に供給し、電磁石継鉄リングをラジアル方向に変位させ
るように構成したので、この圧電形アクチュエータがラ
ジアル方向に伸縮することにより、ラジアル継鉄と電磁
石継鉄リングとの間の隙間を変えることができる。電磁
石の吸引力は、励磁電流とラジアル継鉄と電磁石継鉄リ
ングとの間の隙間の関数となっており、この隙間が小さ
くなると磁気吸引力は大きくなる。この隙間変化を利用
して、発生した回転軸の曲げ振動を制振するよう回転軸
に力を加えることにより曲げ固有振動数の発振を防止す
る。その結果、回転軸に発生する曲げ固有振動数の自励
振動を防止できる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の実施例を示す図で、図１（ａ）は
ラジアル磁気軸受の横断面図、図１（ｂ）は同図（ａ）
のＡＯＡ線上断面図である。同図において、図３及び図
４と同一符号を符した部分同一又は相当部分を示す。以
下他の図面においても同様とする。
する。図１は本発明の実施例を示す図で、図１（ａ）は
ラジアル磁気軸受の横断面図、図１（ｂ）は同図（ａ）
のＡＯＡ線上断面図である。同図において、図３及び図
４と同一符号を符した部分同一又は相当部分を示す。以
下他の図面においても同様とする。
【００１３】図１において、ラジアル軸受継鉄１６はと
ラジアル軸受ケーシング２の間に回転軸１の円周方向に
複数個のラジアル方向（半径方向）の力を発生する圧電
形アクチュエータ３５が配置される。
ラジアル軸受ケーシング２の間に回転軸１の円周方向に
複数個のラジアル方向（半径方向）の力を発生する圧電
形アクチュエータ３５が配置される。
【００１４】ラジアル変位センサ１１により、回転軸１
のラジアル方向の変位が検出され、この検出信号はラジ
アルセンサアンプ１２で増幅され、ラジアル方向補償回
路１３及びラジアル用電力増幅器１４，１４を通してラ
ジアル用励磁コイル１５に供給される。該ラジアル用励
磁コイル１５からの磁束はラジアル軸受継鉄１６を通っ
てラジアル軸受ロータ継鉄１７に作用し、回転軸１のラ
ジアル方向の位置制御を行う。
のラジアル方向の変位が検出され、この検出信号はラジ
アルセンサアンプ１２で増幅され、ラジアル方向補償回
路１３及びラジアル用電力増幅器１４，１４を通してラ
ジアル用励磁コイル１５に供給される。該ラジアル用励
磁コイル１５からの磁束はラジアル軸受継鉄１６を通っ
てラジアル軸受ロータ継鉄１７に作用し、回転軸１のラ
ジアル方向の位置制御を行う。
【００１５】他方、ラジアルセンサアンプ１２で増幅さ
れたラジアル変位センサ１１の変位検出信号の差信号を
バンドパス、微分等の回路含み、主として回転軸の曲げ
固有振動数の近傍周波数のみを選択的に補償する機能を
備えた補償回路３３に導く。該補償回路３３からの出力
信号を圧電アクチュエータ駆動用電力増幅器３４，３４
で増幅して、回転軸１を挟んで互いに対向する圧電形ア
クチュエータ３５，３５に供給する。
れたラジアル変位センサ１１の変位検出信号の差信号を
バンドパス、微分等の回路含み、主として回転軸の曲げ
固有振動数の近傍周波数のみを選択的に補償する機能を
備えた補償回路３３に導く。該補償回路３３からの出力
信号を圧電アクチュエータ駆動用電力増幅器３４，３４
で増幅して、回転軸１を挟んで互いに対向する圧電形ア
クチュエータ３５，３５に供給する。
【００１６】これにより、圧電形アクチュエータ３５，
３５は伸縮され、ラジアル軸受継鉄１６をラジアル方向
に変位駆動する。その結果、ラジアル軸受継鉄１６と回
転軸１に固着されたラジアル軸受ロータ継鉄１７との間
の隙間をラジアル方向（半径方向）に変化させることが
できる。これにより、回転軸１のラジアル軸受ロータ継
鉄１７とラジアル軸受継鉄１６との間に作用する磁気吸
引力も変化し、制御力を回転軸１に作用させることがで
きる。この制御力により回転軸１の曲げ固有振動を低減
する。
３５は伸縮され、ラジアル軸受継鉄１６をラジアル方向
に変位駆動する。その結果、ラジアル軸受継鉄１６と回
転軸１に固着されたラジアル軸受ロータ継鉄１７との間
の隙間をラジアル方向（半径方向）に変化させることが
できる。これにより、回転軸１のラジアル軸受ロータ継
鉄１７とラジアル軸受継鉄１６との間に作用する磁気吸
引力も変化し、制御力を回転軸１に作用させることがで
きる。この制御力により回転軸１の曲げ固有振動を低減
する。
【００１７】上記図１に示す実施例では、ラジアル変位
センサ１１からの信号により、対向する圧電形アクチュ
エータ３５をプッシュプルで伸縮させ、ラジアル磁気軸
受用の電磁石（ラジアル用励磁コイル１５とラジアル軸
受継鉄１６で構成される。）を駆動している。
センサ１１からの信号により、対向する圧電形アクチュ
エータ３５をプッシュプルで伸縮させ、ラジアル磁気軸
受用の電磁石（ラジアル用励磁コイル１５とラジアル軸
受継鉄１６で構成される。）を駆動している。
【００１８】図２は本発明の他の実施例を示す図で、図
２（ａ）はラジアル磁気軸受の横断面図、図２（ｂ）は
同図（ａ）のＡＯＡ線上断面図である。
２（ａ）はラジアル磁気軸受の横断面図、図２（ｂ）は
同図（ａ）のＡＯＡ線上断面図である。
【００１９】本実施例では、図示するように、圧電アク
チュエータ３５の反対側には、予荷重を圧電アクチュエ
ータ３５に付加すると共にラジアル軸受継鉄１６をラジ
アル軸受ケーシング２に固定するためにラジアル方向に
作用する予荷重弾性材５１をラジアル軸受継鉄とラジア
ル軸受ケーシング２の間に挿入している。
チュエータ３５の反対側には、予荷重を圧電アクチュエ
ータ３５に付加すると共にラジアル軸受継鉄１６をラジ
アル軸受ケーシング２に固定するためにラジアル方向に
作用する予荷重弾性材５１をラジアル軸受継鉄とラジア
ル軸受ケーシング２の間に挿入している。
【００２０】ラジアル変位センサ１１により、回転軸１
のラジアル方向の変位が検出され、この検出信号はラジ
アルセンサアンプ１２で増幅され、ラジアル方向補償回
路１３及びラジアル用電力増幅器１４，１４を通してラ
ジアル用励磁コイル１５に供給される。該ラジアル用励
磁コイル１５からの磁束はラジアル軸受継鉄１６を通っ
てラジアル軸受ロータ継鉄１７に作用し、回転軸１のラ
ジアル方向の位置制御を行う点は図１の場合と同一であ
る。
のラジアル方向の変位が検出され、この検出信号はラジ
アルセンサアンプ１２で増幅され、ラジアル方向補償回
路１３及びラジアル用電力増幅器１４，１４を通してラ
ジアル用励磁コイル１５に供給される。該ラジアル用励
磁コイル１５からの磁束はラジアル軸受継鉄１６を通っ
てラジアル軸受ロータ継鉄１７に作用し、回転軸１のラ
ジアル方向の位置制御を行う点は図１の場合と同一であ
る。
【００２１】他方、ラジアルセンサアンプ１２で増幅さ
れたラジアル変位センサ１１の変位検出信号の差信号を
バンドパス、微分等の回路含み、主として回転軸の曲げ
固有振動数の近傍周波数のみを選択的に補償する機能を
備えた補償回路３３に導く。該補償回路３３からの出力
信号を圧電アクチュエータ駆動用電力増幅器３４で増幅
して、アクチュエータ３５に供給する。
れたラジアル変位センサ１１の変位検出信号の差信号を
バンドパス、微分等の回路含み、主として回転軸の曲げ
固有振動数の近傍周波数のみを選択的に補償する機能を
備えた補償回路３３に導く。該補償回路３３からの出力
信号を圧電アクチュエータ駆動用電力増幅器３４で増幅
して、アクチュエータ３５に供給する。
【００２２】この場合、圧電アクチュエータ３５の反対
側には、予荷重を圧電アクチュエータ３５に付加すると
共にラジアル軸受継鉄１６をラジアル軸受ケーシング２
に固定するためにラジアル方向に作用する予荷重弾性材
５１をラジアル軸受継鉄とラジアル軸受ケーシング２の
間に挿入する。
側には、予荷重を圧電アクチュエータ３５に付加すると
共にラジアル軸受継鉄１６をラジアル軸受ケーシング２
に固定するためにラジアル方向に作用する予荷重弾性材
５１をラジアル軸受継鉄とラジアル軸受ケーシング２の
間に挿入する。
【００２３】その結果、ラジアル軸受継鉄１６と回転軸
１に固着されたラジアル軸受ロータ継鉄１７との間の隙
間をラジアル方向（半径方向）に変化させることができ
る。これにより、回転軸１のラジアル軸受ロータ継鉄１
７とラジアル軸受継鉄１６との間に作用する磁気吸引力
も変化し、制御力を回転軸１に作用させることができ
る。この制御力により回転軸１の曲げ固有振動を低減す
る。
１に固着されたラジアル軸受ロータ継鉄１７との間の隙
間をラジアル方向（半径方向）に変化させることができ
る。これにより、回転軸１のラジアル軸受ロータ継鉄１
７とラジアル軸受継鉄１６との間に作用する磁気吸引力
も変化し、制御力を回転軸１に作用させることができ
る。この制御力により回転軸１の曲げ固有振動を低減す
る。
【００２４】上記図２に示す実施例では、ラジアル変位
センサ１１からの信号により、ラジアル軸受継鉄１６の
片側のみに設置した圧電形アクチュエータ３５を伸縮さ
せ、ラジアル軸受用の電磁石を駆動している。
センサ１１からの信号により、ラジアル軸受継鉄１６の
片側のみに設置した圧電形アクチュエータ３５を伸縮さ
せ、ラジアル軸受用の電磁石を駆動している。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
磁石継鉄リングとラジアル軸受ケーシングとの間に、回
転軸円周方向にラジアル方向の力を発生する圧電形アク
チュエータを挿入し、ラジアル変位センサの出力信号を
該信号を基に位相補償を行う補償回路及び電力増幅器を
通して圧電形アクチュエータに供給し、ラジアル継鉄と
電磁石継鉄リングとの間の隙間を変化させ、その間に作
用する磁気吸引力を変化させるので、回転軸の曲げ固有
振動数の発振を防止する。その結果、回転軸に発生する
曲げ固有振動数の自励振動を防止できるという優れた効
果が得られる。
磁石継鉄リングとラジアル軸受ケーシングとの間に、回
転軸円周方向にラジアル方向の力を発生する圧電形アク
チュエータを挿入し、ラジアル変位センサの出力信号を
該信号を基に位相補償を行う補償回路及び電力増幅器を
通して圧電形アクチュエータに供給し、ラジアル継鉄と
電磁石継鉄リングとの間の隙間を変化させ、その間に作
用する磁気吸引力を変化させるので、回転軸の曲げ固有
振動数の発振を防止する。その結果、回転軸に発生する
曲げ固有振動数の自励振動を防止できるという優れた効
果が得られる。
【図１】本発明の実施例を示す図で、図１（ａ）はラジ
アル磁気軸受の横断面図、図１（ｂ）は同図（ａ）のＡ
ＯＡ線上断面図である。
アル磁気軸受の横断面図、図１（ｂ）は同図（ａ）のＡ
ＯＡ線上断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す図で、図２（ａ）は
ラジアル磁気軸受の横断面図、図２（ｂ）は同図（ａ）
のＡＯＡ線上断面図である。
ラジアル磁気軸受の横断面図、図２（ｂ）は同図（ａ）
のＡＯＡ線上断面図である。
【図３】従来のスラスト磁気軸受及びラジアル磁気軸受
により支持した回転軸の縦断面図である。
により支持した回転軸の縦断面図である。
【図４】図４（ａ）は図３のラジアル軸受部の横断面
図、図４（ｂ）は同図（ａ）のＡＯＡ線上断面図であ
る。
図、図４（ｂ）は同図（ａ）のＡＯＡ線上断面図であ
る。
【図５】回転軸の曲げ固有振動モードを示す図である。
１ 回転軸 ２ ラジアル軸受ケーシング ３ スラスト軸受ケーシング １１ ラジアル変位センサ １２ ラジアルセンサアンプ １３ ラジアル方向補償回路 １４ ラジアル用電力増幅器 １５ ラジアル用励磁コイル １６ ラジアル軸受継鉄 １７ ラジアル軸受ロータ継鉄 ２０ スラストセンサディスク ２１ スラスト変位センサ ２２ スラストセンサアンプ ２３ スラスト方向補償回路 ２４ スラスト用電力増幅器 ２５ スラスト用励磁コイル ２７ スラストディスク ３３ 補償回路 ３４ 圧電アクチュエータ駆動用電力増幅器 ３５ 圧電形アクチュエータ ５１ 予荷重用弾性材
Claims (1)
- 【請求項１】回転軸に固着した磁性材料製ラジアル継鉄
と、該ラジアル継鉄に対して微小隙間を設けて対向し励
磁コイルを挿入した突起を有し且つラジアル軸受ケーシ
ングに固着された電磁石継鉄リングを具備し、前記回転
軸の半径方向の変位を計測するラジアル変位センサの出
力信号をセンサアンプで増幅し、該増幅した変位信号を
ラジアル方向補償回路及び電力増幅器を通して、前記励
磁コイルに供給するように構成されたラジアル磁気軸受
において、 前記電磁石継鉄リングと前記ラジアル軸受ケーシングと
の間に、前記回転軸円周方向にラジアル方向の力を発生
する圧電形アクチュエータを挿入し、前記ラジアル変位
センサの出力信号を該信号を基に位相補償を行う補償回
路及び電力増幅器を通して前記圧電形アクチュエータに
供給し、前記電磁石継鉄リングをラジアル方向に変位さ
せるように構成したことを特徴とするラジアル磁気軸
受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03033650A JP3099032B2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | ラジアル磁気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03033650A JP3099032B2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | ラジアル磁気軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04254014A JPH04254014A (ja) | 1992-09-09 |
| JP3099032B2 true JP3099032B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=12392326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03033650A Expired - Fee Related JP3099032B2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | ラジアル磁気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3099032B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101200067B1 (ko) | 2010-07-13 | 2012-11-12 | 한국기계연구원 | 전자기 베어링 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109854622B (zh) * | 2019-03-26 | 2020-04-28 | 中国船舶科学研究中心（中国船舶重工集团公司第七0二研究所） | 一种基于智能材料可控制轴系径向振动的主动磁轴承*** |
-
1991
- 1991-02-01 JP JP03033650A patent/JP3099032B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101200067B1 (ko) | 2010-07-13 | 2012-11-12 | 한국기계연구원 | 전자기 베어링 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04254014A (ja) | 1992-09-09 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |