JP3093400B2 - Dach surface measuring device - Google Patents
Dach surface measuring deviceInfo
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- JP3093400B2 JP3093400B2 JP03339270A JP33927091A JP3093400B2 JP 3093400 B2 JP3093400 B2 JP 3093400B2 JP 03339270 A JP03339270 A JP 03339270A JP 33927091 A JP33927091 A JP 33927091A JP 3093400 B2 JP3093400 B2 JP 3093400B2
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- coordinate
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、有角プリズムや、２
枚のミラー等の面をほぼ垂直に組み合せて構成される光
学部品のダハ面の精度を測定するダハ面測定装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION This invention, and angled prism, 2
Light composed by combining almost mirrors and other surfaces almost vertically
The present invention relates to a roof surface measuring device for measuring the accuracy of a roof surface of a scientific part.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近時、軽量型の一眼レフカメラには、フ
ァインダー系のペンタプリズムの代わりにミラーを組合
わせたペンタミラーを用いたものがある。ダハミラー
は、このようなペンタミラーの一部を構成する。2. Description of the Related Art Recently, some lightweight single-lens reflex cameras use a pentamirror combined with a mirror in place of a finder type pentaprism. The Dach mirror constitutes a part of such a penta mirror.
【０００３】精度のよいペンタミラーを構成するために
は、ダハミラーの稜線が幅を持たないことと、２枚のミ
ラー面のなす角度が正確に９０゜となることとが要求さ
れる。ペンタプリズム等のガラス研磨によって作られる
ダハプリズムは、ダハ面の平面性が広い領域で保証され
るので、この広い領域での角度を測定することにより、
ダハ面の角度と近似することができるので、このダハミ
ラーのミラー面のなす平均的な角度（ダハ角）は、オー
トコリメーターを利用して測定されている。In order to construct a high-precision pentamirror, it is required that the edge of the roof mirror has no width and that the angle between the two mirror surfaces is exactly 90 °. Made by glass polishing such as pentaprism
The roof prism is guaranteed in a wide area of the roof surface.
So, by measuring the angle in this wide area,
Since it can be approximated to the angle of the roof surface, the average angle (the roof angle) formed by the mirror surface of the roof mirror is measured using an autocollimator.
【０００４】また、ダハミラーを射出成形等によりプラ
スチックで作製する場合には、成形時の局所的な歪みに
よりミラー面に不均一な湾曲やダレが生じる場合がある
ため、干渉計、ニュートン板等を使用して面の平面性を
測定する必要がある。When a roof mirror is made of plastic by injection molding or the like, uneven distortion or sagging may occur on the mirror surface due to local distortion during molding. It must be used to measure the flatness of the surface.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の測定方法では、ダハミラーのダハ角と稜線近傍
での面のダレとの区別が難しく、ダハ面のダハ角とダレ
とを別個の装量で測定しなければならず、測定が煩雑で
ある上、高い精度で測定することが困難であり、加工へ
のフィードバックが難しいという問題がある。However, in the conventional measuring method described above, it is difficult to distinguish the roof angle of the roof mirror from the sag of the surface near the ridge line, and the roof angle of the roof surface and the sag are separated from each other. In addition, there is a problem that the measurement is complicated, it is difficult to measure with high accuracy, and it is difficult to feed back to processing.
【０００６】[0006]
【発明の目的】この発明は、上述した従来技術の課題に
鑑みてなされたものであり、測定者の測定技能レベルに
依らず簡便に、一度の測定でダハ面の平均角度誤差とダ
レに対応する量とを定量的に高精度に測定することがで
きるダハ面測定装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and is intended to reduce the measurement skill level of a measurer.
The average angle error on the roof surface and the
Can be measured quantitatively and with high precision.
It is an object of the present invention to provide a roof surface measuring device that can be used.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１に記載のダハ面測定装置は、照
明光源から発して参照面で反射された参照波面と、照明
光源から発して２枚の面がほぼ垂直に組み合わされたダ
ハ面で反射された被検波面とを干渉させて観察する干渉
計と、干渉波面内において、ダハ面の稜線と垂直な方向
に沿った座標をｘ座標としたときに、ｘ座標に沿って干
渉波面の測定領域を区分して、ダハ面の角度に関係する
各位相量を各区分領域毎に求める位相量検出手段と、ｘ
座標と各区分領域における位相量との関係に基づき、ダ
ハ面の角度に関係する近似関数を生成する近似手段と、
その関数を微分化して、位相量の変化を解析することに
より、ダハ面の平均角度誤差とダハ面の稜線近傍のダレ
に対応する量とをそれぞれ求める解析手段とを備えるこ
とを特徴とする。請求項２に記載のダハ面測定装置は、
請求項１に記載のダハ面測定装置において、解析手段
が、関数に測定領域の端部の座標と稜線部分の座標とを
代入することにより平均角度誤差を求めることを特徴と
する。請求項３に記載のダハ面測定装置は、請求項２に
記載のダハ面測定装置において、その解析手段が以下の
式に基づいて平均角度誤差を求めることを特徴とする。 Ｓ＝｛ｋｆ（ｘ２）−ｋｆ（ｘ１）｝／｛（ｘ２）−
（ｘ１）｝ Ｓ：平均角度誤差 ｋ：角度補正定数 ｆ（ｘ）：ｘ座標と各区分領域における位相量との関係
に基づき生成された、ダハ面の角度に関係する近似関数 ｘ１：稜線におけるｘ座標値 ｘ２：測定領域端部におけるｘ座標値 請求項４に記載のダハ面測定装置は、請求項１に記載の
ダハ面測定装置において、解析手段が関数を微分し、そ
の微分関数に稜線部分の座標を代入することにより稜線
近傍のダレに対応する量を求めることを特徴とする。請
求項５に記載のダハ面測定装置は、請求項４に記載のダ
ハ面測定装置におい て、その解析手段が以下の式に基づ
いてダレに対応する量を求めることを特徴とする。 ダレに対応する量＝Ｔ−Ｓ Ｔ＝ｋｆ’（ｘ１） ｋ：角度補正定数 ｆ（ｘ）：ｘ座標と各区分領域における位相量との関係
に基づき生成された、ダハ面の角度に関係する近似関数 ｘ１：稜線におけるｘ座標値 Ｓ＝｛ｋｆ（ｘ２）−ｋｆ（ｘ１）｝／｛（ｘ２）−
（ｘ１）｝ Ｓ：平均角度誤差 ｘ２：測定領域端部におけるｘ座標 請求項６に記載のダハ面測定装置は、請求項１乃至５に
記載のダハ面測定装置において、位相量検出手段による
位相量の検出と、近似手段による近似関数の生成と、解
析手段による解析とを含む測定工程を、ダハ面の前記稜
線の方向に位置をずらしつつ繰り返し行うことを特徴と
する。 Means for Solving the Problems To achieve the above object,
For this purpose, the roof surface measuring apparatus according to claim 1 of the present invention is a roof surface measuring apparatus in which a reference wavefront emitted from an illumination light source and reflected by a reference surface is almost perpendicularly combined with two surfaces emitted from the illumination light source. Interferometer for observing the wavefront to be measured reflected by the surface, and a direction perpendicular to the ridgeline of the roof surface in the interference wavefront
When the coordinates along the x coordinate are the x coordinates,
Dividing the measurement area of the wavefront and relating to the angle of the roof surface
Phase amount detecting means for obtaining each phase amount for each of the divided areas ; x
Based on the relationship between the coordinates and the amount of phase in each segmented area,
Approximation means for generating an approximation function related to the angle of the c-plane ;
Differentiating the function and analyzing the change in the amount of phase
From the average angle error on the roof surface and the sag near the ridge line on the roof surface,
And analysis means for respectively obtaining the quantities corresponding to The roof surface measuring device according to claim 2,
2. The roof surface measuring apparatus according to claim 1, wherein:
Gives the function the coordinates of the edge of the measurement area and the coordinates of the ridgeline.
It is characterized by finding the average angle error by substituting
I do. The roof surface measuring device according to claim 3 is a device according to claim 2.
In the roof surface measurement device described in the above, the analysis means is as follows:
It is characterized in that the average angle error is obtained based on the equation. S = {kf (x2) -kf (x1)} / {(x2)-
(X1)｝ S: average angle error k: angle correction constant f (x): relationship between x coordinate and phase amount in each divided area
The approximation function x1 related to the angle of the roof surface, generated based on : x1: x-coordinate value at ridge line x2: x-coordinate value at the end of the measurement area , the roof surface measurement device according to claim 1,
In the roof surface measurement device, the analysis means differentiates the function and
Substituting the coordinates of the edge into the differential function of
It is characterized in that an amount corresponding to a nearby sag is obtained. Contract
The roof surface measurement device according to claim 5 is the roof surface measurement device according to claim 4.
Te c surface measuring apparatus odor, based the analysis means of the following formula
And the amount corresponding to the sag is determined. Amount corresponding to sag = T- ST = kf '(x1) k: Angle correction constant f (x): Relationship between x coordinate and phase amount in each segmented region
Function x1: x-coordinate value at the ridge line generated on the basis of the angle of the roof surface S = {kf (x2) −kf (x1)} / ｛(x2) −
(X1)｝ S: average angle error x2: x coordinate at the end of the measurement area The roof surface measurement device according to claim 6, wherein
In the roof surface measuring device described in the above, the phase amount detecting means
Detection of phase amount, generation of approximation function by approximation means, and solution
The measurement step including analysis by the analyzing means.
The feature is to repeat while shifting the position in the direction of the line
I do.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、この発明の実施例を説明する。図１か
ら図６は、この発明の一実施例を示している。Embodiments of the present invention will be described below. 1 to 6 show an embodiment of the present invention.
【０００９】実施例のダハ面測定装置は、図１に示され
るようにＨｅ−Ｎｅレーザー、半導体レーザー等に代表
されるコヒーレントな照明光源１１、ビームエキスパン
ダー１２、ハーフミラー１３、原器１４、観測レンズ１
６、そして受像素子１５とから構成されるいわゆるフィ
ゾータイプの干渉計１０と、位相検出手段２１、近似手
段２２、解析手段２３とから構成される測定手段２０
と、画像処理回路１７及び干渉縞観察用モニター１８と
を備えている。なお、本願発明の適用される干渉計は実
施例のタイプに限定されない。 As shown in FIG. 1, a roof surface measuring apparatus according to an embodiment includes a coherent illumination light source 11, a beam expander 12, a half mirror 13, a prototype 14, an observation device represented by a He-Ne laser, a semiconductor laser, and the like. Lens 1
6 and so-called Fi composed receiver element 15.,
Measuring means 20 composed of zo type interferometer 10, phase detecting means 21, approximating means 22, and analyzing means 23
And an image processing circuit 17 and a monitor 18 for observing interference fringes . The interferometer to which the present invention is applied is actually
It is not limited to the type of the embodiment.
【００１０】照明光源１１から発したコヒーレントな平
行光束は、ビームエキスパンダー１２により拡径され、
ハーフミラー１３で反射されて一部が原器１４のうち参
照面を兼用する面１４ａで反射して参照波となり、残り
が測定対象としてのダハ面３０で反射されて被検波とな
る。これらの波面が干渉して発生する干渉縞は、観測レ
ンズ１６を経て受像素子１５により検出され、干渉縞の
濃淡を示す電気信号に変換される。なお、ダハ面の交差
線である稜線部分と受像素子１５とは、観測レンズ１６
により共役関係となっている。[0010] A coherent parallel light beam emitted from the illumination light source 11 is expanded in diameter by a beam expander 12.
A part of the light is reflected by the half mirror 13 and a part of the original 14 is reflected by the surface 14a also serving as the reference surface to become a reference wave, and the rest is reflected by the roof surface 30 as a measurement target to become a test wave. Interference fringes generated by interference of these wavefronts are detected by the image receiving element 15 via the observation lens 16 and converted into electric signals indicating the density of the interference fringes. In addition, the ridge portion which is the intersection line of the roof surface and the image receiving element 15 are connected to the observation lens 16.
To form a conjugate relationship.
【００１１】測定にあたっては、ダハ面３０からの被検
波と参照面からの参照波とにより生じる干渉縞がダハ面
の稜線に関して対称となるようにアライメントする。こ
こでのアライメントは、干渉計１０に対してその光軸に
垂直な平面方向と、稜線回りの回転方向とへのダハミラ
ーの相対的な位置調整である。そして、ダハ面３０を、
ダハ面を構成する２つの面の干渉計１０の光軸に対する
角度が同一となるよう干渉計１０に対してアライメント
する。その結果、アライメント後の干渉縞は稜線を境と
して対称に現れるため、測定は稜線を境とする一方の領
域のみで足りることとなる。In the measurement, alignment is performed so that interference fringes generated by the test wave from the roof surface 30 and the reference wave from the reference surface are symmetric with respect to the ridge line of the roof surface. The alignment here is a relative position adjustment of the roof mirror with respect to the interferometer 10 in a plane direction perpendicular to the optical axis and a rotation direction around the ridge. Then, the roof surface 30 is
The two surfaces constituting the roof surface are aligned with respect to the interferometer 10 so that the angles of the two surfaces with respect to the optical axis of the interferometer 10 are the same. As a result, the interference fringes after the alignment appear symmetrically with the ridgeline as a boundary, so that the measurement is sufficient in only one region with the ridgeline as a boundary.
【００１２】図２は、受像素子により受像された稜線を
境とする一方の領域のみの干渉縞を格子で示される受像
素子１５の単位測定領域と共に表示したものである。こ
こで、観測モニター１８上で稜線Ｐと垂直な方向をｘ
軸、稜線の延びる方向をｙ軸と定義する。図中、単位測
定領域には、ｙ軸方向についてはＡ，Ｂ，Ｃ，…、ｘ軸
方向については稜線位置から頭に１，２，３…の記号が
付けられている。FIG. 2 shows interference fringes in only one area bounded by a ridge line received by the image receiving element, together with a unit measurement area of the image receiving element 15 indicated by a grid. Here, the direction perpendicular to the ridge line P on the observation monitor 18 is x
The direction in which the axis and the ridge line extend is defined as the y-axis. In the figure, the unit measurement areas are denoted by A, B, C,... In the y-axis direction, and 1, 2, 3,.
【００１３】測定領域のｘ軸方向の幅Ｌは、ダハミラー
の評価上必要な大きさに設定されている。この例では、
数ｍｍ程度に設定されている。The width L of the measurement region in the x-axis direction is set to a size necessary for evaluating the roof mirror. In this example,
It is set to about several mm.
【００１４】このように稜線部分から比較的狭い範囲の
みを測定領域として設定しているのは、ダハミラーを用
いたペンタミラーを通して像を観察する場合、稜線近傍
を通過する光線が観察の良否に大きく影響するためであ
る。As described above, only a relatively narrow range from the ridgeline is set as the measurement area. When an image is observed through a pentamirror using a roof mirror, light passing near the ridgeline greatly depends on the quality of observation. Because it has an effect.
【００１５】干渉計１０は、検出された干渉縞をデジタ
ルで処理できるデジタル干渉計である。測定には公知の
フリンジスキャン法などの技術を用いる。The interferometer 10 is a digital interferometer that can digitally process detected interference fringes. For the measurement, a known technique such as a fringe scan method is used.
【００１６】測定された干渉縞の濃淡のデータは、画像
処理回路１７により干渉観察用モニター１８に表示され
ると共に、画像処理回路１７から位相検出手段２１に入
力されて図３に示すように干渉波面の測定領域内の各位
置における位相量が求められる。ここでは、受像手段の
Ａ列のデータを示している。位相検出手段２１は、測定
座標の稜線部分をｘ＝０、測定領域の端部をｘ＝１とな
るようｘ軸方向の測定対象位置を対象領域の距離Ｌで割
って規格化する。図４は、規格化後のｘ座標と位相量と
の関係を示すグラフである。[0016] Data of the shading of the measured interference fringes show is displayed on the Rihi Wataru observation monitor 18 by the image processing circuit 17, is input from the image processing circuit 17 to the phase detector 21 in FIG. 3 Thus, the phase amount at each position in the measurement area of the interference wavefront is obtained. Here, data in column A of the image receiving means is shown. The phase detecting means 21 normalizes the measurement target position in the x-axis direction by the distance L of the target area so that the ridge portion of the measurement coordinates is x = 0 and the end of the measurement area is x = 1. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the normalized x coordinate and the phase amount.
【００１７】位相量は、近似手段２２によって図５に示
されるように規格化されたｘ座標を変数とする連続的な
曲線を示す関数ｆ（ｘ）に近似させられる。具体的に
は、例えば最小自乗法により多項数近似として４次関数
で近似させる。このとき、稜線部分のデータは用いな
い。The phase amount is approximated by the approximation means 22 to a function f (x) showing a continuous curve with the x coordinate normalized as a variable as shown in FIG. Specifically, for example, approximation is made by a quartic function as a polynomial approximation by the method of least squares. At this time, the data of the ridge portion is not used.
【００１８】ダハ面の形状を解析する解析手段２３は、
まず、関数ｆ（ｘ）を微分して関数ｆ’（ｘ）を求め、
次に、下式に示されるように微分係数ｆ’（ｘ）に稜線
部分の座標ｘ＝０を代入して稜線部分におけるダハ面の
角度誤差Ｔを以下の式、 Ｔ＝ｋｆ’（０） により求める。なお、式中の符号ｋは、反射により２倍
で検出された角度を補正するための定数である。The analysis means 23 for analyzing the shape of the roof surface includes:
First, a function f ′ (x) is obtained by differentiating the function f (x),
Next, as shown in the following equation, the coordinate x = 0 of the ridge is substituted for the derivative f ′ (x), and the roof surface at the ridge is
The angle error T is obtained by the following equation: T = kf ′ (0) The symbol k in the equation is a constant for correcting the angle detected twice by reflection.
【００１９】また、解析手段２３は、稜線に直交するｘ
軸方向の１つの線上でのダハ面の角度誤差の平均値Ｓを
求める。平均角度誤差Ｓは、隣接する単位測定領域毎に
角度誤差を測定し、その総和をとることにより求められ
るが、中間部分の値は相殺されるため、下式、 Ｓ＝｛ｋｆ（１）−ｋｆ（０）｝／（１−０） により稜線部分の座標と端部の座標とのみにより角度誤
差を求めることができる。The analyzing means 23 calculates x
An average value S of the angular error of the roof surface on one line in the axial direction is obtained. The average angle error S is obtained by measuring the angle error for each adjacent unit measurement area and taking the sum thereof. However, since the value of the middle part is canceled out, the following equation is obtained: S = ｛kf (1) − kf (0)｝ / (1-0) gives an angle error only due to the coordinates of the ridge line and the coordinates of the end.
The difference can be determined.
【００２０】ダハ面の角度誤差は、Ｓの値自体として得
られ、稜線部分とその他の部分との角度のズレ、すなわ
ち面の歪み（ダレに対応する量）はＴ−Ｓで得られる。The angle error of the roof surface is obtained as the value of S itself, and the deviation of the angle between the ridge portion and the other portion, that is, the surface distortion (the amount corresponding to the sag) is obtained by TS.
【００２１】以上の過程でｙ座標がＡである１列の単位
測定領域群によるデータが得られる。このような演算過
程をｙ座標が異なるＢ，Ｃ，Ｄ，…等の全ての単位測定
領域列について行なうことにより、測定領域全体のデー
タを得ることができる。In the above-described process, data of a unit measurement area group in one row whose y coordinate is A is obtained. By performing such an arithmetic process on all the unit measurement region sequences such as B, C, D,... Having different y coordinates, data of the entire measurement region can be obtained.
【００２２】図６は、測定された領域全体の角度誤差
Ｔ，Ｓの一例を示し、θ０が設計角度、すなわち９０
゜、θ１，θ２がそれぞれ許容誤差の下限角度、上限角
度である。角度の誤差が図６に実線で示した例のように
全て許容範囲に入っていれば良品とし、一部でも許容範
囲から外れている場合には不良品とする。プラスチック
ミラーの場合には、図６に示したように誤差の値が領域
によって不規則に変化する場合があるため、このような
領域全体の判定が必要となる。FIG. 6 shows the angle of the entire measured area.error
9 shows an example of T and S, where θ0 is a design angle, that is, 90
゜, θ1, θ2 are the lower limit angle and the upper limit angle of the permissible error, respectively.
Degrees. As shown in the example of the angle error shown by the solid line in FIG.
If all products are within the allowable range, the product is considered to be good.
If it is out of the box, it is considered defective. plastic
In the case of a mirror, as shown in FIG.
May change irregularly depending on
It is necessary to determine the entire area.
【００２３】なお、製造後時間をおいて複数回測定し、
Ｓ，Ｔの変化を独立して検出することにより、経時変化
によるダハ面の変形を検査することもできる。It should be noted that the measurement is carried out a plurality of times after the production,
By independently detecting changes in S and T, it is also possible to inspect deformation of the roof surface due to aging.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、一度の測定でダハ面の平均角度誤差とダレに対応す
る量とを明確に分離して測定することができるため、加
工工程へのフィードバックが容易となる。また、定量的
に高精度に測定できるため、ダハ面を利用したファイン
ダー等の製品の品質を向上させることができる。As described above, according to the present invention, the average angle error of the roof surface and the droop can be corrected by one measurement .
Since the measurement can be clearly separated from the measured amount , the feedback to the processing step becomes easy. In addition, since the measurement can be performed quantitatively with high accuracy, the quality of products such as a finder using the roof surface can be improved.
【図１】 この発明にかかるダハ面測定装置の一実施例
を示す装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of an apparatus showing an embodiment of a roof surface measuring apparatus according to the present invention.
【図２】 観測モニター上での測定領域と干渉縞との関
係を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a relationship between a measurement area on an observation monitor and interference fringes.
【図３】 単位測定領域の番号と位相量との相関を示す
グラフである。FIG. 3 is a graph showing a correlation between a unit measurement region number and a phase amount.
【図４】 ｘ軸方向の測定範囲の距離Ｌを１に規格化し
た場合の位相量を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing a phase amount when a distance L of a measurement range in the x-axis direction is normalized to 1;
【図５】 位相量を近似させた関数ｆ（ｘ）の曲線を示
すグラフである。FIG. 5 is a graph showing a curve of a function f (x) in which a phase amount is approximated.
【図６】 測定された稜線方向の各位置における角度
Ｔ，Ｓを示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing measured angles T and S at respective positions in the ridge line direction.
１０…干渉計 １６…観測レンズ １７…画像処理回路 １８…干渉観測用モニター ２１…位相検出手段 ２２…近似手段 ２３…解析手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Interferometer 16 ... Observation lens 17 ... Image processing circuit 18 ... Monitor for interference observation 21 ... Phase detection means 22 ... Approximation means 23 ... Analysis means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野口 正人 東京都板橋区前野町２丁目36番９号旭光 学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−18207（ＪＰ，Ａ) 特開 昭47−16150（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−130603（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Masato Noguchi 2-36-9 Maenocho, Itabashi-ku, Tokyo Asahi Gaku Kogyo Co., Ltd. (56) References JP-A-63-18207 (JP, A) JP-A-63-18207 47-17150 (JP, A) JP-A-3-130603 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01B 11/00-11/30
Claims (6)
照波面と、前記照明光源から発して２枚の面がほぼ垂直
に組み合わされたダハ面で反射された被検波面とを干渉
させて観察する干渉計と、干渉波面内において、前記ダハ面の稜線と垂直な方向に
沿った座標をｘ座標としたときに、該ｘ座標に沿って前
記干渉波面の測定領域を区分して、前記ダハ面の角度に
関係する各位相量を前記各区分領域毎に求める 位相量検
出手段と、前記ｘ座標と前記各区分領域における前記位相量との関
係に基づき、前記ダハ面の角度に関係する近似関数を生
成する 近似手段と、前記関数を微分化して、前記位相量の変化を解析するこ
とにより、前記ダハ面の平均角度誤差と前記ダハ面の前
記稜線近傍のダレに対応する量とをそれぞれ求める 解析
手段とを備えることを特徴とするダハ面測定装置。An interference is caused between a reference wavefront emitted from an illumination light source and reflected by a reference surface and a wavefront to be detected emitted from the illumination light source and reflected by a roof surface in which two surfaces are almost vertically combined. Interferometer to observe in a direction perpendicular to the edge of the roof surface in the interference wave plane.
When the coordinate along is the x coordinate, the previous along the x coordinate
Dividing the measurement area of the interference wave front, the angle of the roof surface
A phase amount detecting means for obtaining each related phase amount for each of the divided areas; and a relation between the x coordinate and the phase amount in each of the divided areas.
Based on the relationship, an approximate function related to the angle of the roof surface is generated.
An approximate means for forming, by differentiating the said function, child analyze changes in the phase amount
By this, the average angle error of the roof surface and the front of the roof surface
A roof surface measuring device, comprising: analysis means for respectively obtaining an amount corresponding to sag near the ridge line .
の端部の座標と前記稜線部分の座標とを代入することに
より前記平均角度誤差を求めることを特徴とする請求項
１に記載のダハ面測定装置。 2. The apparatus according to claim 1 , wherein said analyzing means includes :
To the coordinates of the edge of
The average angle error is obtained from
2. The roof surface measuring device according to 1.
平均角度誤差を求めることを特徴とする請求項２に記載
のダハ面測定装置。 Ｓ＝｛ｋｆ（ｘ２）−ｋｆ（ｘ１）｝／｛（ｘ２）−
（ｘ１）｝ Ｓ：平均角度誤差 ｋ：角度補正定数 ｆ（ｘ）：ｘ座標と各区分領域における位相量との関係
に基づき生成された、ダハ面の角度に関係する近似関数 ｘ１：稜線におけるｘ座標値 ｘ２：測定領域端部におけるｘ座標値 3. The analysis means according to claim 1 , wherein:
3. The average angle error is determined.
Roof surface measuring device. S = {kf (x2) -kf (x1)} / {(x2)-
(X1)｝ S: average angle error k: angle correction constant f (x): relationship between x coordinate and phase amount in each divided area
Function x1: x-coordinate value at edge line x2: x-coordinate value at end of measurement area generated based on
分関数に前記稜線部分の座標を代入Substitute the coordinates of the edge line into the minute function することにより前記By doing
稜線近傍のダレに対応する量を求めることを特徴とするIt is characterized by calculating the amount corresponding to the sag near the ridgeline
請求項１に記載のダハ面測定装置。The roof surface measuring device according to claim 1.
ダレに対応する量を求めることを特徴とする請求項４に5. The method according to claim 4, wherein an amount corresponding to sag is obtained.
記載のダハ面測定装置。The roof surface measurement device according to the above. ダレに対応する量＝Ｔ−ＳAmount corresponding to sag = TS Ｔ＝ｋｆ’（ｘ１）T = kf '(x1) ｋ：角度補正定数k: Angle correction constant ｆ（ｘ）：ｘ座標と各区分領域における位相量との関係f (x): Relationship between x coordinate and phase amount in each divided area
に基づき生成された、ダハ面の角度に関係する近似関数Function related to the angle of the roof surface generated based on ｘ１：稜線におけるｘ座標値x1: x coordinate value at the ridge line Ｓ＝｛ｋｆ（ｘ２）−ｋｆ（ｘ１）｝／｛（ｘ２）−S = {kf (x2) -kf (x1)} / {(x2)-
（ｘ１）｝(X1)｝ Ｓ：平均角度誤差S: Average angle error ｘ２：測定領域端部におけるｘ座標x2: x coordinate at the end of the measurement area
と、When, 前記近似手段による近似関数の生成と、Generation of an approximation function by the approximation means; 前記解析手段による解析とを含む測定工程を、前記ダハThe measuring step including the analysis by the analyzing means.
面の前記稜線の方向に位置をずらしつつ繰り返し行うこRepeatedly shifting the position in the direction of the ridgeline of the surface
とを特徴とする請求項１乃至５に記載のダハ面測定装The roof surface measuring device according to any one of claims 1 to 5,
置。Place.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03339270A JP3093400B2 (en) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | Dach surface measuring device |
| US07/964,959 US5379105A (en) | 1991-10-24 | 1992-10-22 | Roof surface measuring apparatus |
| DE4235832A DE4235832B4 (en) | 1991-10-24 | 1992-10-23 | Apparatus and method for checking a roof angle of an optical element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03339270A JP3093400B2 (en) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | Dach surface measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0650739A JPH0650739A (en) | 1994-02-25 |
| JP3093400B2 true JP3093400B2 (en) | 2000-10-03 |
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ID=18325865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP03339270A Expired - Fee Related JP3093400B2 (en) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | Dach surface measuring device |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3093400B2 (en) |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP03339270A patent/JP3093400B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
| JPH0650739A (en) | 1994-02-25 |
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