JP3088833U - Moving table device and machine tool using the same - Google Patents
Moving table device and machine tool using the sameInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リニアモータから生じる磁力によって生
じるテーブルへの悪影響を減少させた小型の移動テーブ
ル装置及びそれを用いた工作機械を提供する。
【解決手段】 基台部分と、該基台部分に対して所定の
直線に沿って移動可能なテーブルと、該基台部分と該テ
ーブルとのいずれか一方を他方に対して相対的に該所定
の直線に沿って駆動するリニアモータと、を備え、該リ
ニアモータの該テーブルに存する可動部と該基台部分に
存する固定部とが対峙する面と、該テーブルの載置面
と、がなす角が１０度乃至８０度である、移動テーブル
装置である。また、該移動テーブル装置を有するもので
ある、工作機械である。
(57) [Object] To provide a small-sized moving table device in which an adverse effect on a table caused by a magnetic force generated from a linear motor is reduced, and a machine tool using the same. SOLUTION: A base portion, a table movable along a predetermined straight line with respect to the base portion, and one of the base portion and the table is relatively fixed to the other with respect to the other. A linear motor driven along a straight line of the table, wherein a surface of the linear motor where a movable portion existing on the table and a fixed portion existing on the base portion face each other and a mounting surface of the table are formed. A moving table device having an angle of 10 degrees to 80 degrees. A machine tool having the moving table device.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、移動テーブル装置及びそれを用いた工作機械に関し、より詳細には 、リニアモータを用いた移動テーブル装置及びそれを用いた工作機械に関する。 The present invention relates to a moving table device and a machine tool using the same, and more particularly, to a moving table device using a linear motor and a machine tool using the same.
【０００２】[0002]
載置面に様々な物を載置し、該物の位置を調節する移動テーブル装置が様々な 分野で用いられている。 例えば、金属等の工作物を、切削や研磨等によって、又は電気その他のエネル ギーを利用して不要部を取り除き、所要の形状につくりあげるのに用いられる工 作機械は、工作物の所定部分を工作するため工作物の位置を様々に変化させる必 要から、かかる移動テーブル装置が多用されてきた。 このような移動テーブル装置は、通常、基台部分と、該基台部分に対して所定 の直線に沿って移動可能なテーブルと、該基台部分と該テーブルとのいずれか一 方を他方に対して相対的に該所定の直線に沿って駆動する駆動手段と、を有して おり、駆動手段としてはボールねじやリニアモータ等が用いられるが、とりわけ リニアモータを用いた場合、機械的な構造を簡単にすることができるため、最近 では多用される傾向にある。 2. Description of the Related Art A moving table apparatus for mounting various objects on a mounting surface and adjusting the positions of the objects is used in various fields. For example, a machine tool used to remove unnecessary portions of a workpiece such as metal by cutting or polishing, or by using electricity or other energy to form a desired shape, a predetermined portion of the workpiece is used. Such a moving table device has been frequently used because it is necessary to change the position of a workpiece in various ways in order to machine the workpiece. Such a moving table device generally includes a base portion, a table movable along a predetermined straight line with respect to the base portion, and one of the base portion and the table as the other. A driving means for driving along the predetermined straight line relatively to the driving means, and a ball screw, a linear motor, or the like is used as the driving means. Recently, it has been used frequently because the structure can be simplified.
【０００３】 図４は、従来の移動テーブル装置の一例を示す断面図である。図４を参照して 従来の移動テーブル装置の一例について説明する。図４は、後述の基台部分１０ ３に対するテーブル１０５の移動方向に対して垂直な切断面を示している（即ち 、テーブル１０５は図４の図面に対して前後に移動する。）。従来の移動テーブ ル装置１０１は、基台部分１０３と、基台部分１０３に対して所定の直線（ここ では図４の図面に対して垂直な直線）に沿って移動可能なテーブル１０５と、基 台部分１０３とテーブル１０５とのいずれか一方を他方に対して相対的に該所定 の直線に沿って駆動する駆動手段たるリニアモータ１０７、１０９を有している 。 そして、リニアモータ１０７、１０９はいずれも、基台部分１０３に存する固 定部たる永久磁石１０７ｂ、１０９ｂと、テーブル１０５に存する可動部たるコ イル１０７ａ、１０９ａと、を有しており（固定部たる永久磁石１０７ｂ、１０ ９ｂと可動部たるコイル１０７ａ、１０９ａとのいずれも該所定の直線（ここで は図４の図面に対して垂直な直線）に沿って連続して配設されている。）、これ ら固定部たる永久磁石１０７ｂ、１０９ｂと可動部たるコイル１０７ａ、１０９ ａとによって、基台部分１０３に対してテーブル１０５が該所定の直線（ここで は図４の図面に対して垂直な直線）に沿って駆動される。 さらに、図４に示す移動テーブル装置１０１では、リニアモータ１０７、１０ ９のテーブル１０５に存する可動部たるコイル１０７ａ、１０９ａと基台部分１ ０３に存する固定部たる永久磁石１０７ｂ、１０９ｂとが対峙する面（該対峙す る面を含む平面を面１０７ｆ、１０９ｆとして示した。）と、テーブル１０５の 載置面（該載置面を含む平面を面１０５ａとして示した。）と、がなす角１０７ ｄ、１０９ｄ（なお、この角は、該対峙する面を含む平面１０７ｆ、１０９ｆと 、該載置面を含む平面１０５ａと、がなす角のうち０乃至９０度の角度をいう。 なお、両平面の片方又は両方を適宜平行移動してよいことは言うまでもない。ま た、両平面が平行であるときには、該なす角は０である。）は約９０度にされて いる。FIG. 4 is a sectional view showing an example of a conventional moving table device. An example of a conventional moving table device will be described with reference to FIG. FIG. 4 shows a cross section perpendicular to the moving direction of the table 105 with respect to a base portion 103 described later (that is, the table 105 moves back and forth with respect to the drawing of FIG. 4). The conventional moving table device 101 includes a base portion 103, a table 105 movable along a predetermined straight line (here, a straight line perpendicular to the drawing in FIG. 4) with respect to the base portion 103, Linear motors 107 and 109 are provided as driving means for driving one of the base portion 103 and the table 105 relative to the other along the predetermined straight line. Each of the linear motors 107 and 109 has permanent magnets 107b and 109b as fixed parts in the base part 103 and coils 107a and 109a as movable parts in the table 105 (fixed part). Both the permanent magnets 107b and 109b and the coils 107a and 109a as the movable parts are continuously arranged along the predetermined straight line (here, a straight line perpendicular to the drawing of FIG. 4). The table 105 is fixed to the base portion 103 by the permanent magnets 107b and 109b as the fixed portions and the coils 107a and 109a as the movable portions (here, perpendicular to the drawing in FIG. 4). Along a straight line). Further, in the moving table device 101 shown in FIG. 4, the coils 107a and 109a as the movable portions of the tables 105 of the linear motors 107 and 109 face the permanent magnets 107b and 109b as the fixed portions of the base portion 103. An angle 107 formed between a surface (a plane including the facing surface is shown as surfaces 107f and 109f) and a mounting surface of the table 105 (a plane including the mounting surface is shown as a surface 105a). d, 109d (Note that this angle refers to an angle of 0 to 90 degrees among angles formed by the planes 107f, 109f including the opposing surfaces and the plane 105a including the mounting surface. Needless to say, one or both of them may be appropriately translated, and when both planes are parallel, the angle between them is 0.) is about 90 degrees.
【０００４】 図５は、従来の移動テーブル装置の他の一例を示す断面図である。図５を参照 して従来の移動テーブル装置の他の一例について説明する。図５は、図４と同様 、後述の基台部分２０３に対するテーブル２０５の移動方向に対して垂直な切断 面を示している（即ち、テーブル２０５は図５の図面に対して前後に移動する。 ）。従来の移動テーブル装置２０１は、基台部分２０３と、基台部分２０３に対 して所定の直線（ここでは図５の図面に対して垂直な直線）に沿って移動可能な テーブル２０５と、基台部分２０３とテーブル２０５とのいずれか一方を他方に 対して相対的に該所定の直線に沿って駆動する駆動手段たるリニアモータ２０７ 、２０９を有している。 そして、リニアモータ２０７、２０９はいずれも、基台部分２０３に存する固 定部たる永久磁石２０７ｂ、２０９ｂと、テーブル２０５に存する可動部たるコ イル２０７ａ、２０９ａと、を有しており（固定部たる永久磁石２０７ｂ、２０ ９ｂと可動部たるコイル２０７ａ、２０９ａとのいずれも該所定の直線（ここで は図５の図面に対して垂直な直線）に沿って連続して配設されている。）、これ ら固定部たる永久磁石２０７ｂ、２０９ｂと可動部たるコイル２０７ａ、２０９ ａとによって、基台部分２０３に対してテーブル２０５が該所定の直線（ここで は図５の図面に対して垂直な直線）に沿って駆動される。 さらに、図５に示す移動テーブル装置２０１では、リニアモータ２０７、２０ ９のテーブル２０５に存する可動部たるコイル２０７ａ、２０９ａと基台部分２ ０３に存する固定部たる永久磁石２０７ｂ、２０９ｂとが対峙する面（該対峙す る面を含む平面を面２０７ｆ、２０９ｆとして示した。）と、テーブル２０５の 載置面（該載置面を含む平面を面２０５ａとして示した。）と、がなす角（なお 、この角は、該対峙する面を含む平面２０７ｆ、２０９ｆと、該載置面を含む平 面２０５ａと、がなす角のうち０乃至９０度の角度をいう。なお、両平面の片方 又は両方を適宜平行移動してよいことは言うまでもない。また、両平面が平行で あるときには、該なす角は０である。）は約０度（両平面が平行）にされている 。FIG. 5 is a sectional view showing another example of the conventional moving table device. Another example of the conventional moving table device will be described with reference to FIG. FIG. 5 shows a cross section perpendicular to the moving direction of the table 205 with respect to the base portion 203 described later, similarly to FIG. 4 (that is, the table 205 moves back and forth with respect to the drawing of FIG. 5). ). The conventional moving table device 201 includes a base portion 203, a table 205 movable along a predetermined straight line (here, a straight line perpendicular to the drawing in FIG. 5) with respect to the base portion 203, Linear motors 207 and 209 are driving means for driving one of the table portion 203 and the table 205 relatively along the predetermined straight line with respect to the other. Each of the linear motors 207 and 209 has permanent magnets 207b and 209b as fixed parts in the base 203 and coils 207a and 209a as movable parts in the table 205 (fixed parts). Both the permanent magnets 207b, 209b and the coils 207a, 209a, which are movable parts, are arranged continuously along the predetermined straight line (here, a straight line perpendicular to the drawing of FIG. 5). ), The fixed magnets 207b and 209b as the fixed parts and the coils 207a and 209a as the movable parts move the table 205 with respect to the base part 203 in a predetermined straight line (here, perpendicular to the drawing of FIG. 5). Along a straight line). Further, in the moving table device 201 shown in FIG. 5, the coils 207a and 209a, which are movable portions, of the tables 205 of the linear motors 207, 209 are opposed to the permanent magnets 207b, 209b, which are fixed portions of the base portion 203. An angle formed between a surface (a plane including the opposed surface is shown as surfaces 207f and 209f) and a mounting surface of the table 205 (a plane including the mounting surface is shown as a surface 205a) ( Note that this angle refers to an angle of 0 to 90 degrees among the angles formed by the flat surfaces 207f and 209f including the facing surfaces and the flat surface 205a including the mounting surface. Needless to say, both may be appropriately translated, and when both planes are parallel, the angle between them is 0.) is set to about 0 degrees (both planes are parallel).
【０００５】[0005]
しかしながら、上記したリニアモータ１０７、１０９、２０７、２０９を用い た移動テーブル装置は、リニアモータ１０７、１０９、２０７、２０９が移動方 向に対する垂直な面（即ち、上記の図４及び図５）においてある程度の幅（図４ 及び図５に示した幅Ｗ）を有していることから、図４のようにリニアモータ１０ ７、１０９を配置すれば、基台部分１０３とテーブル１０５とをある程度離して 配設する必要があることから移動テーブル装置１０１が大型化する問題があった 。 また、図５のようにリニアモータ２０７、２０９を配置すれば、基台部分１０ ３とテーブル１０５とを離す必要がないことから移動テーブル装置２０１を小型 化することができる反面、リニアモータ２０７、２０９（永久磁石２０７ｂ、２ ０９ｂ）から生じる強力な磁力をテーブル２０５がまともに受け（永久磁石２０ ７ｂ、２０９ｂから生じる磁力の方向にテーブル２０５が存すると共に、永久磁 石２０７ｂ、２０９ｂとテーブル２０５との距離が小さい。）、通常、鋼製のテ ーブル２０５がリニアモータ２０７、２０９（永久磁石２０７ｂ、２０９ｂ）側 に吸引されることで該側に湾曲する問題があった（かかるテーブル２０５の湾曲 は、移動テーブル装置２０１が工作機械に用いられ、テーブル２０５上面（載置 面）に工作物が載置された状態で該工作物が工作される場合、該工作物の工作精 度を著しく低下させる。）。 However, the moving table device using the linear motors 107, 109, 207, and 209 described above has a structure in which the linear motors 107, 109, 207, and 209 are perpendicular to the moving direction (that is, FIGS. 4 and 5 described above). Since it has a certain width (width W shown in FIGS. 4 and 5), if the linear motors 107 and 109 are arranged as shown in FIG. Therefore, there is a problem that the moving table apparatus 101 becomes large in size because it needs to be disposed. Further, if the linear motors 207 and 209 are arranged as shown in FIG. 5, it is not necessary to separate the base portion 103 from the table 105, so that the moving table device 201 can be downsized. The table 205 receives the strong magnetic force generated by the permanent magnets 207b and 209b (the table 205 exists in the direction of the magnetic force generated by the permanent magnets 207b and 209b), and the permanent magnets 207b and 209b and the table 205 In general, there is a problem that the steel table 205 is bent toward the linear motors 207 and 209 (permanent magnets 207b and 209b) by being attracted to the side thereof (the bending of the table 205). The moving table device 201 is used for a machine tool, and a workpiece is placed on the upper surface (mounting surface) of the table 205. If the workpiece is engineered with the location state, significantly reduces the work accuracy of the workpiece.).
【０００６】 そこで本考案では、リニアモータから生じる磁力によって生じるテーブルへの 悪影響を減少させた小型の移動テーブル装置及びそれを用いた工作機械を提供す ることを目的とする。In view of the above, an object of the present invention is to provide a small-sized moving table device in which an adverse effect on a table caused by a magnetic force generated by a linear motor is reduced, and a machine tool using the same.
【０００７】[0007]
本考案の移動テーブル装置（以下、「本装置」という。）は、基台部分と、該 基台部分に対して所定の直線に沿って移動可能なテーブルと、該基台部分と該テ ーブルとのいずれか一方を他方に対して相対的に該所定の直線に沿って駆動する リニアモータと、を備え、該リニアモータの該テーブルに存する可動部と該基台 部分に存する固定部とが対峙する面と、該テーブルの載置面と、がなす角が１０ 度乃至８０度である、移動テーブル装置である。 なお、ここにいう「可動部と固定部とが対峙する面」とは、可動部表面（固定 部に面する面をいう。）に存する点から固定部表面（可動部に面する面をいう。 ）への垂線の中点が集合して形成される面をいう（該垂線の長さが実質的に０で ある場合を含む。）。 そして、「該リニアモータの該テーブルに存する可動部と該基台部分に存する 固定部とが対峙する面と、該テーブルの載置面と、がなす角」とは、該対峙する 面を含む平面と、該載置面を含む平面と、がなす角のうち０乃至９０度の角度を いう（なお、両平面の片方又は両方を適宜平行移動してよいことは言うまでもな い。また、両平面が平行であるときには、該なす角は０である。）。 The moving table device of the present invention (hereinafter referred to as “the present device”) includes a base portion, a table movable along a predetermined straight line with respect to the base portion, the base portion and the table. A linear motor that drives one of the linear motor and the other relative to the other along the predetermined straight line, wherein a movable portion of the linear motor on the table and a fixed portion of the linear motor on the base portion are provided. A moving table device, wherein an angle formed between an opposing surface and a mounting surface of the table is 10 degrees to 80 degrees. Here, the “surface where the movable portion and the fixed portion face each other” refers to the surface of the fixed portion (the surface facing the movable portion) from the point existing on the surface of the movable portion (the surface facing the fixed portion). ) Means a plane formed by the midpoints of perpendiculars to the group (including the case where the length of the perpendicular is substantially 0). The “angle formed by the surface of the linear motor, at which the movable portion on the table and the fixed portion of the base portion face each other, and the mounting surface of the table” includes the facing surface. An angle of 0 to 90 degrees among the angles formed by the plane and the plane including the mounting surface (one or both of the two planes may be moved in parallel as needed. Are parallel, the angle is zero.)
【０００８】 このようにテーブルに存する可動部と基台部分に存する固定部とが対峙する面 と、テーブルの載置面と、がなす角を１０度乃至８０度とすることで、リニアモ ータから生じる磁力によって生じるテーブルへの悪影響を減少させることと、移 動テーブル装置を小型化すること、をうまく両立することができる。 そして、該なす角は４５度に近い方が、リニアモータから生じる磁力によって 生じるテーブルへの悪影響を減少させることと、移動テーブル装置を小型化する こと、を一層うまく両立させることができるので、該なす角は、より好ましくは ３０度乃至６０度であり、最も好ましくは４０度乃至５０度である。[0008] By setting the angle between the surface where the movable portion on the table and the fixed portion on the base portion face each other and the mounting surface of the table to be 10 to 80 degrees, the linear motor can be formed. Thus, it is possible to successfully balance the reduction of the adverse effect on the table caused by the magnetic force generated from the moving table and the downsizing of the moving table device. When the angle formed is closer to 45 degrees, it is possible to more effectively reduce the adverse effect on the table caused by the magnetic force generated by the linear motor and to reduce the size of the moving table device. The angle formed is more preferably between 30 and 60 degrees, most preferably between 40 and 50 degrees.
【０００９】 前記リニアモータを対で備え、該対をなすリニアモータのうち一方の可動部と 固定部とが対峙する面と、該対をなすリニアモータのうち他方の可動部と固定部 とが対峙する面と、が前記テーブルの載置面に対して垂直な平面に関し略面対称 の関係になるものであってもよい。 こうすることで対で備えられるリニアモータの一方の該対峙する面と他方の該 対峙する面とが、テーブルの載置面に対して垂直な平面に関し略面対称になるの で、該垂直な平面に関し略面対称になるように駆動力が生じるように少なくとも １対以上のリニアモータによって基台部分とテーブルとのいずれか一方を他方に 対して相対的に駆動することから、１のリニアモータによって駆動する場合より も円滑に駆動することができ、さらに、同じ駆動力を得る場合であっても１のリ ニアモータよりもテーブルへの磁力を分散させテーブルへの悪影響を減少させる ようにリニアモータを配設することが容易になる。 なお、ここにいう「対」とは、１対（リニアモータ２個）のみならず、２対（ リニアモータ４個）、３対以上の全てを含むものである。The linear motor is provided in a pair, and a surface of one of the pair of linear motors facing the movable portion and the fixed portion, and the other of the pair of linear motors has a movable portion and the fixed portion. The facing surface may be substantially symmetrical with respect to a plane perpendicular to the mounting surface of the table. In this manner, one of the opposed surfaces of the linear motors provided as a pair and the other of the opposed surfaces are substantially plane-symmetric with respect to a plane perpendicular to the table mounting surface. At least one pair of linear motors drives one of the base portion and the table relatively to the other so that a driving force is generated so as to be substantially plane-symmetric with respect to a plane. In addition, even if the same driving force is obtained, the linear motor can disperse the magnetic force on the table to reduce the adverse effect on the table even when the same driving force is obtained. Can be easily arranged. The “pair” here includes not only one pair (two linear motors) but also two pairs (four linear motors) and all three or more pairs.
【００１０】 前記リニアモータを対で備え、該対をなすリニアモータのうち一方の可動部と 固定部とが対峙する面と、該対をなすリニアモータのうち他方の可動部と固定部 とが対峙する面と、が前記テーブルの載置面方向に向かって近づくよう位置する ものであってもよい。 対で備えられるリニアモータの一方の該対峙する面と他方の該対峙する面とが 、テーブルの載置面方向に向かって近づくので、一方のリニアモータから生じる 磁力と他方のリニアモータから生じる磁力とがテーブルの載置面方向では重なり にくい状態で生じ、一方のリニアモータから生じる磁力と他方のリニアモータか ら生じる磁力とがテーブルの載置面方向に向かって分散されることで（両磁力が 該載置面方向に向かって広がる。）、テーブルへの磁力を分散させテーブルへの 悪影響を一層減少させることができる。[0010] The linear motor is provided in a pair, and a surface of one of the paired linear motors in which the movable part and the fixed part face each other, and the other movable part and the fixed part of the linear motor in the pair are formed of a pair. The opposite surface may be positioned so as to approach toward the mounting surface of the table. One of the opposed surfaces of the linear motors provided as a pair and the other of the opposed surfaces approach each other in the direction of the table mounting surface, so that the magnetic force generated by one linear motor and the magnetic force generated by the other linear motor And the magnetic force generated by one linear motor and the magnetic force generated by the other linear motor are dispersed toward the table mounting surface (both magnetic forces). Spreads in the direction of the mounting surface.), Thereby dispersing the magnetic force on the table and further reducing the adverse effect on the table.
【００１１】 前記テーブルと前記基台部分とが、前記テーブルと前記基台部分との一方に前 記所定の直線に沿って形成された溝部と、前記テーブルと前記基台部分との他方 に該溝部に嵌入され該溝部に沿って移動可能に形成された嵌入部と、によって互 いに相対的に移動可能にされており、該溝部と該嵌入部との間に、加圧された油 が供給されることで、該間に油膜が形成されるもの（以下、「本ガイド」という 。）であってもよい。 本ガイドは、静圧軸受の原理を直線運動に用いる案内（ガイド）に用いたもの で、いわゆる静圧案内や静圧ガイド等と呼ばれているものである。即ち、加圧さ れた油を溝部と嵌入部との間の摺動面に供給することで、該間に油膜を形成し（ 嵌入部を溝部から浮かせる。）、溝部と嵌入部との間の摩擦を大幅に減少させ、 両者を小さな力ですばやく円滑に相対的に動かすことを可能ならしめる。 このような本ガイドを本装置に用いることで、本装置のリニアモータによる駆 動の際に生じる振動を大幅に減衰させることができ、リニアモータによる駆動の 際に生じる振動の影響を極めて小さくすることができる。このことは本ガイド自 身が有する真直性（溝部に沿って真っ直ぐに嵌入部を案内する性質）と、リニア モータによる振動を減衰させる性質（減衰性）と、溝部と嵌入部との間の低い摩 擦と、が相俟って、本装置の高速かつ高精度な動作を可能ならしめる。The table and the base portion may include a groove formed on one of the table and the base portion along the predetermined straight line, and a groove formed on the other of the table and the base portion. And a fitting portion which is fitted into the groove portion and formed to be movable along the groove portion, and is relatively movable with respect to each other, and pressurized oil flows between the groove portion and the fitting portion. An oil film may be formed during the supply (hereinafter, referred to as “the guide”). This guide is used for a guide (guide) that uses the principle of a hydrostatic bearing for linear motion, and is called a so-called static pressure guide or a static pressure guide. That is, by supplying the pressurized oil to the sliding surface between the groove and the fitting portion, an oil film is formed therebetween (the fitting portion is floated from the groove), and the oil film is formed between the groove and the fitting portion. Greatly reduces the friction of the two, making it possible to move them relatively quickly and smoothly with a small force. By using such a guide in this device, the vibration generated when driven by the linear motor of this device can be greatly attenuated, and the effect of the vibration generated when driven by the linear motor is extremely reduced. be able to. This is due to the straightness of the guide itself (the property of guiding the fitting portion straight along the groove), the property of damping the vibration by the linear motor (attenuation), and the lowness between the groove and the fitting portion. The friction, together with the rubbing, enables the device to operate at high speed and with high accuracy.
【００１２】 本ガイドを本装置に用いる場合、前記テーブルが、前記溝部と前記嵌入部との 前記間に前記油膜が形成される前記溝部と前記嵌入部とによってのみ前記基台部 分に支持されるものであってもよい（即ち、前記テーブルが本ガイドによっての み前記基台部分に支持される。）。 こうすることで本ガイドを用いた場合の前述した利点である真直性、減衰性及 び低摩擦とがさらに相俟って、本装置が一層高速かつ高精度に動作することを可 能ならしめる。When the guide is used in the present apparatus, the table is supported by the base portion only by the groove and the fitting portion in which the oil film is formed between the groove and the fitting portion. (Ie, the table is supported by the base only by the guide). This makes it possible for the device to operate at higher speeds and with higher precision, in combination with the aforementioned advantages of using this guide, such as straightness, damping, and low friction. .
【００１３】 本装置は単独で用いられてもよいが、２以上のものを組み合わせて用いるよう にしてもよい。例えば、第１及び第２の本装置を含んでなり、該第１の本装置の テーブルと、該第２の本装置の基台部分とが取り付けられており、かつ該第１の 本装置の前記所定の直線を平行移動させると、該第２の本装置の前記所定の直線 に直交するものである、移動テーブル装置としてもよい。 こうすることで第２の本装置のテーブルは、互いに直交するＸ軸及びＹ軸（第 １の本装置の前記所定の直線を一方の軸と平行になるようにし、かつ第２の本装 置の前記所定の直線を他方の軸と平行になるようにする。）に沿って自由に移動 させることができ、ＸＹ面のうち所定の範囲内であれば任意の位置に移動させる ことができ極めて便利である（ＸＹテーブルを構成することができる）。The present device may be used alone, or two or more devices may be used in combination. For example, it comprises a first and a second main unit, wherein a table of the first main unit and a base portion of the second main unit are attached, and When the predetermined straight line is translated, the moving table device may be orthogonal to the predetermined straight line of the second present apparatus. In this way, the X-axis and the Y-axis (the first straight line of the first straight line is parallel to one axis and the second straight line of the second straight line) The above-mentioned predetermined straight line is made parallel to the other axis.), And can be moved to any position within a predetermined range on the XY plane. It is convenient (the XY table can be configured).
【００１４】 本装置は、テーブルの位置（テーブルに載置された物の位置）を調節する目的 であれば広く用いられることができ、その用途は、何ら制限されるものではない が、とりわけ工作機械（本装置が用いられた工作機械を「本工作機械」という。 ）に用いることが好ましい。 本工作機械は、通常、本装置により工作物（工作される物。通常、本装置のテ ーブルの載置面に載置される。）の工作位置を調節されるが、リニアモータから 生じる磁力によって生じるテーブルへの悪影響を減少させることで高精度の工作 が可能になると共に、本装置が小型化されることに伴い小型化されることができ る。 また、前述した種々の態様の本装置を工作機械に用いれば、それぞれの態様の 本装置が有する利点をいかした工作機械を構成することができる。The present device can be widely used for the purpose of adjusting the position of a table (the position of an object placed on the table), and its use is not limited at all. It is preferable to use it for a machine (a machine tool using this apparatus is referred to as “the machine tool”). In this machine tool, the work position of the work piece (the work to be machined, usually placed on the mounting surface of the table of this machine) is adjusted by the machine, but the magnetic force generated by the linear motor is adjusted. By reducing the adverse effects on the table caused by this, high-precision machining can be performed, and the apparatus can be miniaturized as the apparatus is miniaturized. Further, if the above-described various aspects of the present apparatus are used in a machine tool, it is possible to configure a machine tool that takes advantage of the advantages of each aspect of the present apparatus.
【００１５】[0015]
【考案の実施の形態】 本考案の実施の形態を図面を参照して詳述するが、本考案はこれに限定される ものではない。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.
【００１６】 図１は、工作機械（本工作機械）に用いられる本考案の移動テーブル装置（本 装置）の一例を示す一部省略断面図であり（前述の図４及び図５と同様に、後述 の基台部分１３に対するテーブル１５の移動方向に対して垂直な切断面を図１は 示している。即ち、テーブル１５は図１の図面に対して前後に移動する。）、図 ２は図１の円Ａ中の拡大断面図であり、図３は後述のリニアモータ１７、１９部 分の拡大断面図である。図１乃至図３を参照して、本装置１１について説明する 。なお、本装置１１は、上面に金属製の工作物（図示しない）が載置され、該工 作物の位置を本装置１１によって調節しつつ工具（図示しない）により該工作物 を切削加工するための工作機械に用いられるものの一例である。そして、図１は 、図示及び理解を容易にするため、説明に不用なハッチングは省略している。FIG. 1 is a partially omitted cross-sectional view showing an example of the moving table device (the present device) of the present invention used in a machine tool (the present machine tool) (similar to FIGS. 4 and 5 described above, FIG. 1 shows a cross section perpendicular to the direction of movement of the table 15 with respect to the base portion 13 to be described later, that is, the table 15 moves back and forth with respect to the drawing of FIG. 3 is an enlarged sectional view of a linear motor 17, 19, which will be described later. The present device 11 will be described with reference to FIGS. The apparatus 11 has a metal workpiece (not shown) mounted on the upper surface thereof, and is used for cutting the workpiece with a tool (not shown) while adjusting the position of the workpiece by the apparatus 11. This is an example of a machine tool used in a machine tool. In FIG. 1, hatching unnecessary for description is omitted for ease of illustration and understanding.
【００１７】 本装置１１は、基台部分１３と、基台部分１３に対して所定の直線（ここでは 図１の図面に対して垂直な直線）に沿って移動可能なテーブル１５と、基台部分 １３とテーブル１５とのいずれか一方を他方に対して相対的に該所定の直線に沿 って駆動するリニアモータ１７、１９と、を有している。The apparatus 11 includes a base portion 13, a table 15 movable along a predetermined straight line (here, a straight line perpendicular to the drawing in FIG. 1) with respect to the base portion 13, It has linear motors 17 and 19 for driving one of the portion 13 and the table 15 relative to the other along the predetermined straight line.
【００１８】 そして、リニアモータ１７、１９はいずれも、基台部分１３に存する（基台部 分１３に固定された）固定部たる永久磁石１７ｂ、１９ｂと、テーブル１５に存 する（テーブル１５に固定された）可動部たるコイル１７ａ、１９ａと、を有し ており（固定部たる永久磁石１７ｂ、１９ｂと可動部たるコイル１７ａ、１９ａ とのいずれも該所定の直線（ここでは図１の図面に対して垂直な直線）に沿って 連続して配設されている。）、これら固定部たる永久磁石１７ｂ、１９ｂと可動 部たるコイル１７ａ、１９ａとによって、基台部分１３に対してテーブル１５が 該所定の直線（ここでは図１の図面に対して垂直な直線）に沿って駆動される。Each of the linear motors 17 and 19 has a permanent magnet 17 b, 19 b which is a fixed part (fixed to the base part 13) in the base part 13, and a permanent magnet 17 b, 19 b in the table 15. Each of the permanent magnets 17b, 19b (fixed portion) and the coils 17a, 19a (movable portion) has a predetermined straight line (here, the drawing of FIG. 1). The permanent magnets 17b and 19b as fixed parts and the coils 17a and 19a as movable parts make the table 15 relative to the base part 13. Is driven along the predetermined straight line (here, a straight line perpendicular to the drawing of FIG. 1).
【００１９】 さらに、図１に示す本装置１１では、リニアモータ１７のテーブル１５に存す る可動部たるコイル１７ａと基台部分１３に存する固定部たる永久磁石１７ｂと が対峙する面と、テーブル１５の載置面１５ａと、がなす角１７ｄが略４５度に されている。なお、この角１７ｄは、該対峙する面を含む平面１７ｆと、該載置 面１５ａを含む平面１５ａａと、がなす角のうち０乃至９０度の角度をいう（な お、両平面の片方又は両方を適宜平行移動してよいことは言うまでもない。なお 、図３においては図示を容易にするため、該載置面１５ａを含む平面１５ａａを リニアモータ１７、１９方向に平行移動したものを平面１５ａａとして示してい る。また、両平面が平行であるときには、該なす角は０である。）。 同様に、図１に示す本装置１１では、リニアモータ１９のテーブル１５に存す る可動部たるコイル１９ａと基台部分１３に存する固定部たる永久磁石１９ｂと が対峙する面と、テーブル１５の載置面１５ａと、がなす角１９ｄが略４５度に されている。なお、この角１９ｄは、該対峙する面を含む平面１９ｆと、該載置 面１５ａを含む平面１５ａａと、がなす角のうち０乃至９０度の角度をいう（な お、両平面の片方又は両方を適宜平行移動してよいことは言うまでもない。なお 、図３においては図示を容易にするため、該載置面１５ａを含む平面１５ａａを リニアモータ１７、１９方向に平行移動したものを平面１５ａａとして示してい る。また、両平面が平行であるときには、該なす角は０である。）。 以上のように、本装置１１では、リニアモータ１７のテーブル１５に存する可 動部たるコイル１７ａと基台部分１３に存する固定部たる永久磁石１７ｂとが対 峙する面を含む平面１７ｆと、リニアモータ１９のテーブル１５に存する可動部 たるコイル１９ａと基台部分１３に存する固定部たる永久磁石１９ｂとが対峙す る面を含む平面１９ｆと、は垂直に交わる。Further, in the present apparatus 11 shown in FIG. 1, the surface of the linear motor 17 where the coil 17 a as the movable portion of the table 15 and the permanent magnet 17 b as the fixed portion of the base portion 13 face each other. An angle 17d between the mounting surface 15a of the device 15 and the mounting surface 15a is approximately 45 degrees. The angle 17d is an angle between 0 and 90 degrees between the plane 17f including the opposing surface and the plane 15aa including the mounting surface 15a. Needless to say, both may be moved in parallel as needed, and in Fig. 3, the plane 15aa including the mounting surface 15a is translated in the direction of the linear motors 17 and 19 into the plane 15aa for ease of illustration. When both planes are parallel, the angle between them is 0.) Similarly, in the present apparatus 11 shown in FIG. 1, the surface of the linear motor 19 where the coil 19 a as the movable part in the table 15 and the permanent magnet 19 b as the fixed part in the base portion 13 face each other. An angle 19d between the mounting surface 15a and the mounting surface 15a is approximately 45 degrees. The angle 19d refers to an angle of 0 to 90 degrees between the plane 19f including the opposing surface and the plane 15aa including the mounting surface 15a (one of the two planes or Needless to say, in order to facilitate illustration, a plane 15aa including the mounting surface 15a is translated in the direction of the linear motors 17 and 19 into a plane 15aa. When both planes are parallel, the angle between them is 0.) As described above, in the present apparatus 11, the linear motor 17 has a flat surface 17f including a surface where the coil 17a as the movable portion of the table 15 and the permanent magnet 17b as the fixed portion of the base portion 13 face each other. A plane 19f, which includes a surface where the coil 19a as the movable portion of the table 15 of the motor 19 and the permanent magnet 19b as the fixed portion of the base portion 13 face each other, intersects perpendicularly.
【００２０】 また、本装置１１では、リニアモータを対で備え（リニアモータ１７とリニア モータ１９とが一対をなしている。）、対をなすリニアモータ１７、１９のうち 一方１７の可動部たるコイル１７ａと固定部たる永久磁石１７ｂとが対峙する面 １７ｆと、対をなすリニアモータのうち他方１９の可動部たるコイル１９ａと固 定部たる永久磁石１９ｂとが対峙する面１９ｆと、がテーブル１５の載置面１５ ａに対して垂直な平面１５ｐに関し略面対称の関係になっている。Further, the apparatus 11 includes a pair of linear motors (the linear motor 17 and the linear motor 19 form a pair), and one of the paired linear motors 17 is a movable portion of one of the linear motors 17. The surface 17f where the coil 17a faces the permanent magnet 17b as the fixed portion, and the surface 19f where the coil 19a as the movable portion and the permanent magnet 19b as the fixed portion of the other linear motor of the paired linear motor 19 face each other. The surfaces 15 are substantially symmetrical with respect to a plane 15p perpendicular to the mounting surface 15a.
【００２１】 さらに、本装置１１では、リニアモータを対で備え（リニアモータ１７とリニ アモータ１９とが一対をなしている。）、対をなすリニアモータ１７、１９のう ち一方１７の可動部たるコイル１７ａと固定部たる永久磁石１７ｂとが対峙する 面１７ｆと、対をなすリニアモータのうち他方１９の可動部たるコイル１９ａと 固定部たる永久磁石１９ｂとが対峙する面１９ｆと、がテーブル１５の載置面１ ５ａ方向に向かって近づくようになっている（図３では、対峙する面１７ｆと対 峙する面１９ｆとの距離は、テーブル１５の載置面１５ａから遠いところの距離 ２１ａよりも、テーブル１５の載置面１５ａから近いところの距離２１ｂの方が 小さくなっている。）。Further, the apparatus 11 includes a pair of linear motors (a linear motor 17 and a linear motor 19 form a pair), and one of the paired linear motors 17, 19 has a movable portion 17. The table 17f includes a surface 17f where the barrel coil 17a and the permanent magnet 17b as the fixed portion face each other, and a surface 19f where the coil 19a as the movable portion of the other linear motor 19 and the permanent magnet 19b as the fixed portion face each other. The distance between the facing surface 17f and the facing surface 19f is closer to the mounting surface 15a of the table 15 in FIG. The distance 21b closer to the mounting surface 15a of the table 15 is smaller than that of the table 15).
【００２２】 加えて、テーブル１５と基台部分１３とが、テーブル１５と基台部分１３との 一方（ここでは基台部分１３）に前記所定の直線（ここでは図１の図面に対して 垂直な直線）に沿って形成された溝部１４と、テーブル１５と基台部分１３との 他方（ここではテーブル１５）に溝部１４に嵌入され溝部１４に沿って移動可能 に形成された嵌入部１６と、によって互いに相対的に移動可能にされている。そ して、溝部１４と嵌入部１６との間１８に、加圧された油（図示せず）が供給さ れることで、間１８に油膜（図示せず）が形成されるようになっている。 なお、嵌入部１６に前記所定の直線（ここでは図１の図面に対して垂直な直線 ）に沿って形成された溝１６ａ（図２を参照されたい）には、図示しない油圧ユ ニット（油を加圧し供給する装置）から油が供給され、該供給された油が、溝部 １４と嵌入部１６との間１８に満たされることにより間１８に油膜（図示せず） が形成される。 また、ここではテーブル１５が、溝部１４と嵌入部１６との間に油膜が形成さ れる溝部１４と嵌入部１６とによってのみ基台部分１３に支持されるようになっ ている（図１中の円Ｇ中の溝部１４と嵌入部１６とは、図１中の円Ａ中の溝部１ ４と嵌入部１６と同様の構造（図２に示された構造）を有している。）。In addition, the table 15 and the base portion 13 are connected to one of the table 15 and the base portion 13 (here, the base portion 13) by the predetermined straight line (here, perpendicular to the drawing of FIG. 1). And a fitting portion 16 formed in the other of the table 15 and the base portion 13 (here, the table 15) so as to be fitted into the groove portion 14 and to be movable along the groove portion 14. , Are movable relative to each other. The pressurized oil (not shown) is supplied between the groove portion 14 and the fitting portion 16, so that an oil film (not shown) is formed in the space 18. I have. A groove 16a (see FIG. 2) formed along the predetermined straight line (in this case, a straight line perpendicular to the drawing of FIG. 1) in the fitting portion 16 has a hydraulic unit (not shown). The oil is supplied from a device for pressurizing and supplying the oil, and the supplied oil fills the space 18 between the groove 14 and the fitting portion 16 to form an oil film (not shown) in the space 18. Also, here, the table 15 is supported by the base portion 13 only by the groove portion 14 and the fitting portion 16 in which an oil film is formed between the groove portion 14 and the fitting portion 16 (see FIG. 1). The groove portion 14 and the fitting portion 16 in the circle G have the same structure (the structure shown in FIG. 2) as the groove portion 14 and the fitting portion 16 in the circle A in FIG.
【００２３】 なお、ここで示した本装置１１は、第１及び第２の本装置を含んでおり、上述 のように説明したリニアモータ１７、１９等は第１の本装置を構成している。 第２の本装置は、第１の本装置の上方（本装置１１の上部）に位置しており、 具体的には、中間テーブル２３は、第１の本装置のテーブルと、第２の本装置の 基台部分と、を兼ねている（第１の本装置のテーブルと、第２の本装置の基台部 分と、が取り付けられている。）。そして、第２の本装置におけるテーブル（最 上部テーブル２５）の移動方向は、図１中、矢印Ｂ方向になるようにされており （第１の本装置の所定の直線（ここでは図１の図面に対して垂直な直線）を平行 移動させると、第２の本装置の所定の直線に直交する。）、本装置１１全体では ＸＹテーブルを構成している。The present apparatus 11 shown here includes first and second present apparatuses, and the linear motors 17 and 19 described above constitute the first present apparatus. . The second main apparatus is located above the first main apparatus (above the main apparatus 11). Specifically, the intermediate table 23 includes the table of the first main apparatus and the second main apparatus. It also serves as a base portion of the device (the table of the first present device and the base portion of the second present device are attached). The direction of movement of the table (the uppermost table 25) in the second apparatus is set to be in the direction of arrow B in FIG. 1 (a predetermined straight line of the first apparatus (here, FIG. 1). When a straight line perpendicular to the drawing is moved in parallel, it is orthogonal to the predetermined straight line of the second apparatus.), And the entire apparatus 11 constitutes an XY table.
【００２４】 以上のように、本装置１１は、リニアモータ１７のテーブル１５に存する可動 部たるコイル１７ａと基台部分１３に存する固定部たる永久磁石１７ｂとが対峙 する面と、テーブル１５の載置面１５ａと、がなす角１７ｄが略４５度にされる と共に、リニアモータ１９のテーブル１５に存する可動部たるコイル１９ａと基 台部分１３に存する固定部たる永久磁石１９ｂとが対峙する面と、テーブル１５ の載置面１５ａと、がなす角１９ｄが略４５度にされており、それらリニアモー タ１７、１９により十分な駆動力を得つつ小型化されている。また、このように なす角１７ｄ、１９ｄを略４５度にすることで、リニアモータ１７、１９によっ て生じるコギングによるテーブル１５の載置面１５ａへの影響を減少させること ができる（コギングによる吸引力変化が載置面１５ａに対して略４５度方向に向 く。）。 そして、本装置１１は本ガイドを有することにより、リニアモータ１７、１９ による駆動の際に生じる振動を大幅に減衰させることができ、リニアモータ１７ 、１９による駆動の際に生じる振動の影響を極めて小さくすることができる。こ のことは本ガイド自身が有する真直性（溝部１４に沿って真っ直ぐに嵌入部１６ を案内する性質）と、リニアモータ１７、１９による振動を減衰させる性質（減 衰性）と、溝部１４と嵌入部１６との間の低い摩擦と、が相俟って、本装置１１ の高速かつ高精度（例えば、駆動時のテーブル１５の実際の変位が、命令に極め て忠実に従う。）な動作を可能ならしめる。As described above, the present apparatus 11 has a surface where the coil 17 a as the movable portion of the table 15 of the linear motor 17 and the permanent magnet 17 b as the fixed portion of the base portion 13 face each other. The mounting surface 15a is formed so that an angle 17d between the mounting surface 15a and the permanent magnet 19b as a fixed portion in the base portion 13 and the coil 19a as a movable portion in the table 15 of the linear motor 19 face each other. The angle 19d formed between the mounting surface 15a of the table 15 and the mounting surface 15a is set to approximately 45 degrees, and the linear motors 17 and 19 are downsized while obtaining a sufficient driving force. Further, by setting the angles 17d and 19d to be approximately 45 degrees, it is possible to reduce the influence of the cogging generated by the linear motors 17 and 19 on the mounting surface 15a of the table 15 (attraction by cogging). The force change is directed in the direction of approximately 45 degrees with respect to the mounting surface 15a.) Since the device 11 has this guide, the vibration generated when driven by the linear motors 17 and 19 can be greatly attenuated, and the influence of the vibration generated when driven by the linear motors 17 and 19 is extremely reduced. Can be smaller. This is due to the straightness of the guide itself (the property of guiding the fitting portion 16 straight along the groove 14), the property of attenuating the vibration caused by the linear motors 17 and 19 (attenuating property), The low friction between the fitting portion 16 and the combination of the two causes the high-speed and high-precision operation of the device 11 (for example, the actual displacement of the table 15 during driving is extremely faithful to the command). Make it possible.
【図１】本工作機械に用いられる本考案の移動テーブル
装置（本装置）の一例を示す一部省略断面図である。FIG. 1 is a partially omitted cross-sectional view showing an example of a moving table device (the present device) of the present invention used in the present machine tool.
【図２】図１の円Ａ中の拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along a circle A in FIG.
【図３】リニアモータ部分の拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a linear motor portion.
【図４】従来の移動テーブル装置の一例を示す断面図で
ある。FIG. 4 is a sectional view showing an example of a conventional moving table device.
【図５】従来の移動テーブル装置の他の一例を示す断面
図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of the conventional moving table device.
１１ 本装置 １３ 基台部分 １４ 溝部 １５ テーブル １５ａ 載置面 １５ａａ 平面 １５ｐ 垂直な平面 １６ 嵌入部 １６ａ 溝 １７、１９ リニアモータ １７ａ、１９ａ コイル １７ｂ、１９ｂ 永久磁石 １７ｄ、１９ｄ なす角 １７ｆ、１９ｆ 対峙する面 １８ 間 ２１ａ、２１ｂ 距離 ２３ 中間テーブル ２５ 最上部テーブル １０１、２０１ 従来の移動テーブル装置 １０３、２０３ 基台部分 １０５、２０５ テーブル １０５ａ、２０５ａ 面 １０７、１０９、２０７、２０９ リニアモータ １０７ａ、１０９ａ、２０７ａ、２０９ａ コイル １０７ｂ、１０９ｂ、２０７ｂ、２０９ｂ 永久磁石 １０７ｄ、１０９ｄ なす角 １０７ｆ、１０９ｆ、２０７ｆ、２０９ｆ 面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 This apparatus 13 Base part 14 Groove part 15 Table 15a Mounting surface 15aa Plane 15p Vertical plane 16 Fitting part 16a Groove 17, 19 Linear motor 17a, 19a Coil 17b, 19b Permanent magnet 17d, 19d Angle 17f, 19f confronts Surface 18 Between 21a, 21b Distance 23 Intermediate table 25 Uppermost table 101, 201 Conventional moving table device 103, 203 Base part 105, 205 Table 105a, 205a Surface 107, 109, 207, 209 Linear motor 107a, 109a, 207a , 209a Coil 107b, 109b, 207b, 209b Permanent Magnet 107d, 109d Angle 107f, 109f, 207f, 209f Surface
Claims (9)
線に沿って移動可能なテーブルと、該基台部分と該テー
ブルとのいずれか一方を他方に対して相対的に該所定の
直線に沿って駆動するリニアモータと、を備え、 該リニアモータの該テーブルに存する可動部と該基台部
分に存する固定部とが対峙する面と、該テーブルの載置
面と、がなす角が１０度乃至８０度である、移動テーブ
ル装置。1. A base portion, a table movable along a predetermined straight line with respect to the base portion, and one of the base portion and the table being relatively moved with respect to the other. A linear motor that is driven along a predetermined straight line, wherein a surface of the linear motor where a movable portion of the linear motor and a fixed portion of the base portion face each other, and a mounting surface of the table, A moving table device having an angle of 10 to 80 degrees.
求項１に記載の移動テーブル装置。2. The moving table device according to claim 1, wherein said angle is 30 degrees to 60 degrees.
求項１に記載の移動テーブル装置。3. The moving table device according to claim 1, wherein the angle is 40 degrees to 50 degrees.
が対峙する面と、該対をなすリニアモータのうち他方の
可動部と固定部とが対峙する面と、が前記テーブルの載
置面に対して垂直な平面に関し略面対称の関係になるも
のである、請求項１乃至３のいずれかに記載の移動テー
ブル装置。4. A linear motor comprising a pair of linear motors, a surface of one of the pair of linear motors facing a movable portion and a fixed portion, and the other movable portion and a fixed portion of the pair of linear motors. 4. The moving table device according to claim 1, wherein a surface facing the table has a substantially plane-symmetric relationship with respect to a plane perpendicular to the mounting surface of the table.
が対峙する面と、該対をなすリニアモータのうち他方の
可動部と固定部とが対峙する面と、が前記テーブルの載
置面方向に向かって近づくよう位置するものである、請
求項１乃至４のいずれかに記載の移動テーブル装置。5. A linear motor comprising a pair of linear motors, a surface of one of the paired linear motors facing a movable portion and a fixed portion, and the other of the paired linear motors a movable portion and a fixed portion. The moving table device according to any one of claims 1 to 4, wherein a surface facing the moving table is positioned so as to approach toward a mounting surface direction of the table.
ーブルと前記基台部分との一方に前記所定の直線に沿っ
て形成された溝部と、前記テーブルと前記基台部分との
他方に該溝部に嵌入され該溝部に沿って移動可能に形成
された嵌入部と、によって互いに相対的に移動可能にさ
れており、 該溝部と該嵌入部との間に、加圧された油が供給される
ことで、該間に油膜が形成されるものである、請求項１
乃至５のいずれかに記載の移動テーブル装置。6. The table and the base portion include a groove formed along one of the table and the base portion along the predetermined straight line, and a groove formed on the other of the table and the base portion. And a fitting portion which is fitted into the groove portion and is formed so as to be movable along the groove portion, and is relatively movable with each other, and pressurized oil is supplied between the groove portion and the fitting portion. 2. An oil film is formed therebetween by performing the heat treatment.
6. The moving table device according to any one of claims 1 to 5,
の前記間に前記油膜が形成される前記溝部と前記嵌入部
とによってのみ前記基台部分に支持されるものである、
請求項６に記載の移動テーブル装置。7. The table is supported on the base portion only by the groove and the fitting portion in which the oil film is formed between the groove and the fitting portion.
The moving table device according to claim 6.
び第２の前記移動テーブル装置を含んでなり、 該第１の移動テーブル装置のテーブルと、該第２の移動
テーブル装置の基台部分とが取り付けられており、かつ
該第１の移動テーブル装置の前記所定の直線を平行移動
させると、該第２の移動テーブル装置の前記所定の直線
に直交するものである、移動テーブル装置。8. A table of the first moving table device and a table of the second moving table device, comprising the first and second moving table devices according to claim 1. A moving table, to which a base portion is attached, and which, when the predetermined straight line of the first moving table device is translated in parallel, is orthogonal to the predetermined straight line of the second moving table device. apparatus.
ーブル装置を有するものである、工作機械。9. A machine tool comprising the moving table device according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002001622U JP3088833U (en) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | Moving table device and machine tool using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002001622U JP3088833U (en) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | Moving table device and machine tool using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3088833U true JP3088833U (en) | 2002-10-04 |
Family
ID=43240114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002001622U Expired - Lifetime JP3088833U (en) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | Moving table device and machine tool using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3088833U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0463486U (en) * | 1990-10-09 | 1992-05-29 | ||
| JP2010064897A (en) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Siemens Ag | Transfer device with dynamically changeable drive range |
-
2002
- 2002-03-26 JP JP2002001622U patent/JP3088833U/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0463486U (en) * | 1990-10-09 | 1992-05-29 | ||
| JP2010064897A (en) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Siemens Ag | Transfer device with dynamically changeable drive range |
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