JP3084513B2 - Vacuum pump and driving method thereof - Google Patents
Vacuum pump and driving method thereofInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は真空排気用のオイル
フリー真空ポンプに係り、特に、発塵や、毒性ガス、腐
食性ガス、放射性ガス等の漏洩を極度に嫌う、クリーン
度の要求される環境に好適な真空ポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oil-free vacuum pump for evacuating a vacuum, and in particular, is required to have a high degree of cleanliness, which extremely dislikes generation of dust, toxic gas, corrosive gas, radioactive gas and the like. The present invention relates to a vacuum pump suitable for an environment.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、低真空排気用として用いられてい
る真空ポンプは、油回転真空ポンプが一般的である。こ
のポンプには、機械的摺動部分の潤滑を目的として潤滑
油が用いられており、ケーシング内が潤滑油で満たされ
ている。そのため、油の拡散による真空環境の汚染が問
題となっていた。また、この油回転真空ポンプの摺動部
分からの発塵は、ポンプ周辺の環境を汚染するという問
題があることを指摘されていた。これらの問題を解決す
べくなされた従来技術には以下の例がある。特開昭６１
−２９１７８７号公報記載の真空ポンプは、往復運動す
る中心軸の両端にベローズが取り付けられた構造になっ
ており、中心軸が往復運動することにより、両端に取り
付けられたベローズが交互に伸縮して排気を行う真空ポ
ンプである。また、特開平４−１２８５７８号公報記載
の真空ポンプは、往復運動する可動板の一方の端面に一
段目のベローズを取り付け、他方の端面に二段目のベロ
ーズを取り付けた二段型排気機構を二つ並列に並べた真
空ポンプである。2. Description of the Related Art Conventionally, an oil rotary vacuum pump is generally used as a vacuum pump for low vacuum evacuation. In this pump, lubricating oil is used for the purpose of lubricating a mechanical sliding portion, and the casing is filled with the lubricating oil. Therefore, contamination of the vacuum environment due to diffusion of the oil has been a problem. In addition, it has been pointed out that dust generated from sliding parts of the oil rotary vacuum pump has a problem of polluting the environment around the pump. Prior art techniques for solving these problems include the following examples. JP 61
The vacuum pump described in Japanese Patent No. 291787 has a structure in which bellows are attached to both ends of a reciprocating central shaft. By reciprocating the central shaft, the bellows attached to both ends alternately expand and contract. It is a vacuum pump that evacuates. The vacuum pump described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-128578 has a two-stage exhaust mechanism in which a first-stage bellows is attached to one end surface of a reciprocating movable plate, and a second-stage bellows is attached to the other end surface. Two vacuum pumps arranged in parallel.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】これらの先行技術にあ
っても、なお改善を要する技術的課題がある。特開昭６
１−２９１７８７号公報記載の真空ポンプでは、一方の
ベローズが伸びきり、他方のベローズが伸び始める間、
すなわち、真空排気を行うベローズが入れ替わるときに
は、どちらのベローズも排気をしないため、連続的に排
気を行うことができないという第一の課題があった。ま
た、特開平４−１２８５７８号公報記載の真空ポンプで
は、二つの排気機構をそれぞれの駆動手段のみで駆動し
ているため、ポンプの効率が低いという第二の課題があ
った。本発明の目的は、排気状態が途切れることなく、
連続して効率的に行うことのできる真空ポンプを提供す
ることである。Even with these prior arts, there are technical problems that still need to be improved. JP 6
In the vacuum pump described in JP-A-1-2291787, while one bellows is fully extended and the other bellows is beginning to extend,
That is, when the bellows for performing the vacuum evacuation are exchanged, there is a first problem that since neither of the bellows is evacuated, the exhaust cannot be continuously performed. Further, the vacuum pump described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-128578 has a second problem that the efficiency of the pump is low because the two exhaust mechanisms are driven only by the respective driving means. An object of the present invention is to prevent the exhaust state from being interrupted,
An object of the present invention is to provide a vacuum pump that can be continuously and efficiently operated.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、２個のベロー
ズが個別に伸縮可能であり、第一のベローズが排気して
いる間に第二のベローズが排気を開始し、かつ、第二の
ベローズが排気している間に第一のベローズが排気を開
始する真空ポンプである。また、本発明の真空ポンプ
は、２個の固定コイルは同じ方向の磁界を発生し続け、
２個の可動板の可動コイルが前記固定コイルと同方向、
または、逆方向の磁界をタイミング良く各々発生するこ
とにより、相互に駆動を補助する真空ポンプである。前
記の第一の課題は２個のベローズのうち、一方が排気を
行っている間に他方が排気をし始めることにより解決さ
れる。また、前記の第二の課題は、一方の可動板の駆動
手段である可動コイルが、他方の可動板の駆動を補助す
ることにより解決される。しかも、本発明の真空ポンプ
によれば、ベローズを用いて気室を形成することによ
り、摺動部分を皆無にしたので、潤滑油を不要としかつ
発塵もなく、完全気密構造を実現している。加えて、連
続的な排気が可能であり、ポンプの効率を向上すること
ができる。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, two bellows are individually extendable and retractable, while a second bellows starts exhausting while a first bellows exhausts, and Is a vacuum pump in which the first bellows starts pumping while the bellows pumps. In the vacuum pump of the present invention, the two fixed coils continue to generate a magnetic field in the same direction,
The movable coils of the two movable plates have the same direction as the fixed coil,
Alternatively, they are vacuum pumps that mutually assist the driving by generating magnetic fields in opposite directions with good timing. The first problem is solved by that one of the two bellows is evacuating while the other starts evacuating. Further, the above-mentioned second problem is solved by a movable coil serving as a driving means of one movable plate assisting driving of the other movable plate. Moreover, according to the vacuum pump of the present invention, since the air chamber is formed by using the bellows, the sliding portion is completely eliminated, so that no lubricating oil is required, no dust is generated, and a completely airtight structure is realized. I have. In addition, continuous exhaust is possible, and the efficiency of the pump can be improved.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を、図面
を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の真空ポン
プを構成する吸排気手段１７０を示す構造図である。図
に示すように、ベローズ固定部となる固定板１１０は、
吸込口弁１２１および吐出口弁１２２を有し、固定板１
１０と対向する位置に可動板１３０を配置し、固定板１
１０と可動板１３０の間にベローズ１４０を配置する。
ここで、ベローズ１４０と固定板１１０および可動板１
３０とは、気密に接合されて気室１５０が形成される。
固定板１１０には電磁石の固定コイル１６１が設けられ
ており、可動板１３０には電磁石の可動コイル１６２が
設けられている。なお、固定板１１０および可動板１３
０は各々可動コイル１６１および固定コイル１６２のヨ
ークとなる磁性体材料であることが好ましい。また、可
動板１１０の駆動手段の一つとして、ここでは電磁力を
用いているが、空気圧、油圧等、可動板を往復駆動でき
る他の駆動手段を用いてもよい。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a structural view showing the suction / exhaust means 170 constituting the vacuum pump of the present invention. As shown in the figure, a fixing plate 110 serving as a bellows fixing portion is
It has a suction port valve 121 and a discharge port valve 122,
The movable plate 130 is arranged at a position facing the fixed plate 10 and the fixed plate 1
Bellows 140 is arranged between 10 and movable plate 130.
Here, the bellows 140, the fixed plate 110, and the movable plate 1
The air chamber 150 is formed by being hermetically joined with the air chamber 30.
The fixed plate 110 is provided with a fixed coil 161 of an electromagnet, and the movable plate 130 is provided with a movable coil 162 of an electromagnet. The fixed plate 110 and the movable plate 13
0 is preferably a magnetic material that becomes a yoke for the movable coil 161 and the fixed coil 162, respectively. In addition, although one of the driving means of the movable plate 110 uses an electromagnetic force here, other driving means that can reciprocally drive the movable plate, such as air pressure and oil pressure, may be used.
【０００６】固定コイル１６１と可動コイル１６２に同
方向の磁界を発生させると、可動板１３０は固定板１１
０の方へ引き寄せられる。このとき、ベローズ１４０は
収縮するため、気室１５０は容積が減少して圧縮状態と
なり、吸込口弁１２１は閉、吐出口弁１２２は開とな
り、吐出口弁１２２から流体を吐出する。逆に、固定コ
イル１６１と可動コイル１６２に逆方向の磁界を発生さ
せると、可動板１３０は固定板１１０の方から引き離さ
れる。このとき、ベローズ１４０は伸張するため、気室
１５０は容積が増加して膨張状態となり、吸込口弁１２
１は開、吐出口弁１２２閉となり、吸込口弁１２１から
流体を吸い込む。図２は、図１に示す吸排気手段１７０
の動作を示す図である。図中において、横軸は時間、縦
軸は吸排気手段の吸い込みおよび吐き出しの状態を示
す。図に示すように、吸排気手段１７０の吐出時間は、
吸込時間の１／２である。本発明の真空ポンプは、以上
のような吸排気手段により構成されている。When a magnetic field in the same direction is generated in the fixed coil 161 and the movable coil 162, the movable plate 130
It is drawn toward zero. At this time, since the bellows 140 contracts, the volume of the air chamber 150 is reduced and the air chamber 150 is compressed, the suction valve 121 is closed, the discharge valve 122 is opened, and the fluid is discharged from the discharge valve 122. Conversely, when a magnetic field in the opposite direction is generated in the fixed coil 161 and the movable coil 162, the movable plate 130 is separated from the fixed plate 110. At this time, since the bellows 140 expands, the volume of the air chamber 150 increases, and the air chamber 150 expands, and the air intake valve 12
1 is opened and the discharge port valve 122 is closed, and fluid is sucked from the suction port valve 121. FIG. 2 shows the intake / exhaust means 170 shown in FIG.
It is a figure which shows operation | movement. In the figure, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the state of suction and discharge of the intake and exhaust means. As shown in the figure, the discharge time of the intake / exhaust means 170 is:
It is 1/2 of the suction time. The vacuum pump of the present invention is constituted by the above-described intake and exhaust means.
【０００７】図３は、本発明の真空ポンプの一実施形態
を示す構造図である。本実施形態の真空ポンプは、２つ
の吸排気手段１７０Ａ、１７０Ｂを並列に構成し、吸込
口弁１２１Ａ、１２１Ｂおよび吐出口弁１２２Ａ、１２
２Ｂを、各々配管１８１および配管１８２にて接続した
構造となっている。図４は、本発明の真空ポンプを構成
する２つの吸排気手段の動作を説明するための図であ
る。図中において、横軸は時間、縦軸は吸排気手段の吸
い込みおよび吐き出しの状態を示している。図中の実線
Ａおよび点線Ｂは、それぞれ吸排気手段１７０Ａ、１７
０Ｂの動作タイミングを示している。ここで、吸排気手
段１７０Ａ、１７０Ｂは、少なくともいずれか一方は必
ず吸込動作を行っており、吸い込み時間の１／２を越
え、かつ吸い込み時間未満で吸い込み動作を始める。本
実施形態によれば、２個のベローズが個別に伸縮可能で
あり、第一のベローズが排気している間に第二のベロー
ズが排気を開始し、かつ、第二のベローズが排気してい
る間に第一のベローズが排気を開始するため、連続的に
排気を行うことができる。FIG. 3 is a structural view showing one embodiment of the vacuum pump of the present invention. The vacuum pump according to the present embodiment includes two intake / exhaust units 170A and 170B arranged in parallel, and has suction ports 121A and 121B and discharge ports 122A and 122A.
2B are connected by a pipe 181 and a pipe 182, respectively. FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the two intake / exhaust means constituting the vacuum pump of the present invention. In the figure, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the state of suction and discharge of the intake and exhaust means. The solid line A and the dotted line B in the figure are the intake / exhaust means 170A,
The operation timing of 0B is shown. Here, at least one of the suction / exhaust means 170A and 170B always performs the suction operation, and starts the suction operation in more than half of the suction time and less than the suction time. According to this embodiment, the two bellows can be individually expanded and contracted, the second bellows starts exhausting while the first bellows exhausts, and the second bellows exhausts. During this time, the first bellows starts exhausting, so that exhaust can be performed continuously.
【０００８】図５は、本発明の真空ポンプの他の実施形
態を示す構造図である。本実施形態の真空ポンプは、図
１の吸排気手段の２つを、可動板どうしを対向させて直
列に配置したものである。また、固定コイル１６１Ａ、
１６１Ｂは、同方向の磁界を発生し続けており、可動コ
イル１６２Ａ、１６２Ｂが、固定コイルの発生する磁界
の方向と同方向の場合、可動板１３０Ａ、１３０Ｂは、
各々固定板１１０Ａ、１１０Ｂに接近する方向へ移動す
る。逆に、可動コイル１６２Ａ、１６２Ｂが固定コイル
の発生する磁界の方向と逆方向の場合、可動板１３０
Ａ、１３０Ｂは、各々固定板１１０Ａ、１１０Ｂから離
れる方向へ移動する。FIG. 5 is a structural view showing another embodiment of the vacuum pump of the present invention. The vacuum pump of the present embodiment has two of the intake / exhaust means of FIG. 1 arranged in series with the movable plates facing each other. Also, the fixed coil 161A,
161B continues to generate a magnetic field in the same direction. When the movable coils 162A and 162B are in the same direction as the direction of the magnetic field generated by the fixed coil, the movable plates 130A and 130B
Each moves in a direction approaching the fixing plates 110A and 110B. Conversely, when the movable coils 162A and 162B are in the opposite direction to the direction of the magnetic field generated by the fixed coil, the movable plate 130
A and 130B move in directions away from the fixed plates 110A and 110B, respectively.
【０００９】以下、図６〜図８を参照し、図５に示した
実施形態について、吸排気動作における可動板の状態と
電磁コイルの磁界の方向について説明する。図６は、吸
排気手段１７０Ａが吸込動作、吸排気手段１７０Ｂが吐
出動作をしている状態を示している。このとき、固定コ
イル１６１Ａ、１６１Ｂと、可動コイル１６２Ｂとは同
方向の磁界を発生しており、可動板１３０Ｂは固定板１
１０Ｂに接近し、一方、可動コイル１６２Ａは逆方向の
磁界を発生しており、可動板１３０Ａは固定板１１０Ａ
から離れる方向に移動する。図７は、吸排気手段１７０
Ａおよび１７０Ｂが、共に吸込動作をしている状態を示
している。このとき、固定コイル１６１Ａ、１６１Ｂに
対して、可動コイル１６２Ａ、１６２Ｂはいずれも逆方
向の磁界を発生しており、可動板１３０Ａ、１３０Ｂは
各々固定板１１０Ａ、１１０Ｂから離れる方向に移動す
る。図８は、吸排気手段１７０Ａが吐出動作、吸排気手
段１７０Ｂが吸込動作をしている状態を示している。こ
のとき、固定コイル１６１Ａ、１６１Ｂと、可動コイル
１６２Ａとは同方向の磁界を発生しており、可動板１３
０Ａは固定板１１０Ａに接近し、一方、可動コイル１６
２Ｂは逆方向の磁界を発生しており、可動板１３０Ｂは
固定板１１０Ｂから離れる方向に移動する。Referring to FIGS. 6 to 8, the state of the movable plate and the direction of the magnetic field of the electromagnetic coil in the intake and exhaust operations will be described for the embodiment shown in FIG. FIG. 6 shows a state in which the suction / exhaust means 170A performs a suction operation and the suction / exhaust means 170B performs a discharge operation. At this time, the fixed coils 161A and 161B and the movable coil 162B generate a magnetic field in the same direction, and the movable plate 130B is
10B, while the movable coil 162A is generating a magnetic field in the opposite direction, and the movable plate 130A is
Move away from. FIG.
A and 170B both show a state of performing a suction operation. At this time, the movable coils 162A and 162B generate magnetic fields in opposite directions to the fixed coils 161A and 161B, and the movable plates 130A and 130B move in directions away from the fixed plates 110A and 110B, respectively. FIG. 8 shows a state in which the suction / exhaust means 170A performs a discharge operation, and the suction / exhaust means 170B performs a suction operation. At this time, the fixed coils 161A and 161B and the movable coil 162A generate a magnetic field in the same direction.
0A approaches the fixed plate 110A while the movable coil 16A
2B generates a magnetic field in the opposite direction, and the movable plate 130B moves away from the fixed plate 110B.
【００１０】ここで、図６および図８では、可動板１３
０Ａと１３０Ｂとは同じ方向に移動しており、このと
き、可動コイル１６２Ａおよび１６２Ｂは逆方向の磁界
を発生している。そのため、可動コイル１６２Ａと１６
２Ｂには互いに反発する力が働く。すなわち、図６の場
合、可動板１３０Ａには固定板１１０Ａに接近する力が
働き、図８の場合、可動板１３０Ｂには固定板１１０Ｂ
に接近する力が働く。また、図７では、可動板１３０Ａ
と１３０Ｂは逆の方向に移動しており、このとき、可動
コイル１６２Ａおよび１６２Ｂは同方向の磁界を発生し
ている。そのため、可動板１３０Ａと１３０Ｂには互い
に接近する力が働く。このように、図５に示した直列対
向型の実施形態では、２個の固定コイルは同じ方向の磁
界を発生し続け、２個の可動板の可動コイルが、それぞ
れ、固定コイルと同方向または逆方向の磁界をタイミン
グよく発生することにより、相互に駆動を補助すること
が可能となり、ポンプ効率を向上させることができる。Here, in FIG. 6 and FIG.
0A and 130B are moving in the same direction, and at this time, movable coils 162A and 162B are generating magnetic fields in opposite directions. Therefore, the movable coils 162A and 16
A repulsive force acts on 2B. That is, in the case of FIG. 6, a force approaching the fixed plate 110A acts on the movable plate 130A, and in the case of FIG.
The force approaching to works. In FIG. 7, the movable plate 130A
And 130B are moving in opposite directions, and at this time, movable coils 162A and 162B are generating magnetic fields in the same direction. Therefore, forces approaching each other act on the movable plates 130A and 130B. Thus, in the embodiment of the series opposition type shown in FIG. 5, the two fixed coils continue to generate a magnetic field in the same direction, and the movable coils of the two movable plates respectively have the same direction or the same direction as the fixed coil. By generating a magnetic field in the opposite direction with good timing, it becomes possible to mutually assist the driving, and the pump efficiency can be improved.
【００１１】[0011]
【発明の効果】上述のとおり本発明の真空ポンプによれ
ば、２個のベローズを個別に伸縮可能とし、第一のベロ
ーズの排気中に第二のベローズが排気を開始し、かつ、
第二のベローズの排気中に第一のベローズが排気を開始
するため、連続的に排気を行うことができる。しかも、
２個の固定コイルは同方向の磁界を連続して発生し、２
個の可動コイルが、それぞれ固定コイルと同方向または
逆方向の磁界を、タイミングよく発生することにより、
電磁力により相互に駆動を補助することが可能となり、
ポンプの効率を向上させることができる。As described above, according to the vacuum pump of the present invention, the two bellows can be individually extended and contracted, the second bellows starts exhausting while the first bellows is exhausted, and
Since the first bellows starts exhausting during the exhausting of the second bellows, exhausting can be performed continuously. Moreover,
The two fixed coils continuously generate a magnetic field in the same direction,
Each of the movable coils generates a magnetic field in the same or opposite direction as the fixed coil, with good timing,
Driving can be mutually assisted by electromagnetic force,
The efficiency of the pump can be improved.
【図１】本発明の真空ポンプを構成する吸排気手段を示
す構造図である。FIG. 1 is a structural diagram showing intake and exhaust means constituting a vacuum pump of the present invention.
【図２】図１の吸排気手段の動作を説明する図である。FIG. 2 is a view for explaining the operation of the intake / exhaust means of FIG. 1;
【図３】本発明の真空ポンプの一実施形態を示す構造図
である。FIG. 3 is a structural view showing one embodiment of a vacuum pump of the present invention.
【図４】図３の真空ポンプの動作を説明する図である。FIG. 4 is a view for explaining the operation of the vacuum pump of FIG. 3;
【図５】本発明の真空ポンプの他の実施形態を示す構造
図である。FIG. 5 is a structural view showing another embodiment of the vacuum pump of the present invention.
【図６】図５の真空ポンプの一動作状態を説明する図で
ある。FIG. 6 is a diagram illustrating an operation state of the vacuum pump of FIG.
【図７】図５の真空ポンプの他の動作状態を説明する図
である。FIG. 7 is a diagram illustrating another operation state of the vacuum pump in FIG. 5;
【図８】図５の真空ポンプのさらに他の動作状態を説明
する図である。8 is a diagram illustrating still another operation state of the vacuum pump in FIG.
１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ 固定板 １２１、１２１Ａ、１２１Ｂ 吸込口弁 １２２、１２２Ａ、１２２Ｂ 吐出口弁 １３０、１３０Ａ、１３０Ｂ 可動板 １４０、１４０Ａ、１４０Ｂ ベローズ １５０、１５０Ａ、１５０Ｂ 気室 １６１、１６１Ａ，１６１Ｂ 固定コイル １６２、１６２Ａ、１６２Ｂ 可動コイル １７０、１７０Ａ、１７０Ｂ 吸排気手段 １８１、１８２ 配管 110, 110A, 110B Fixed plate 121, 121A, 121B Suction port valve 122, 122A, 122B Discharge port valve 130, 130A, 130B Movable plate 140, 140A, 140B Bellows 150, 150A, 150B Air chamber 161, 161A, 161B Fixed coil 162, 162A, 162B Moving coil 170, 170A, 170B Intake / exhaust means 181, 182 Piping
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−122172（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−88092（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−332232（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−128578（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−40804（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−104193（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04B 45/02 F04B 1/00 - 15/08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-57-122172 (JP, A) JP-A-51-88092 (JP, A) JP-A-7-332232 (JP, A) JP-A-4- 128578 (JP, A) JP-A-52-40804 (JP, A) JP-A-3-104193 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) F04B 45/02 F04B 1 / 00-15/08
Claims (2)
よび吐出口弁を有するベローズ固定部に固定するととも
に、前記ベローズの他端に可動板を設けることによって
気室を形成し、前記ベローズの伸縮により吸排気を行う
吸排気手段の二つを一対に組み合わせ、前記可動板を前
記ベローズ固定部方向へ往復運動させる駆動手段を備え
た真空ポンプであって、前記二つの吸排気手段（Ａ，
Ｂ）は、それぞれの可動板（Ａ，Ｂ）を互いに対向させ
且つ分離させた直列の構成で一対に組み合わせられ、そ
れぞれの給排気手段が有するベローズ固定部（Ａ，Ｂ）
には、互いに同一方向の磁界を発生し続ける電磁石の固
定コイル（Ａ，Ｂ）を備え、前記可動板（Ａ，Ｂ）のそ
れぞれは、前記固定コイル（Ａ，Ｂ）の同一方向の磁界
に対して、同方向と逆方向との磁界を交互に発生する電
磁石の可動コイル（Ａ）または可動コイル（Ｂ）を備え
てなり、かつ、前記可動コイル（Ａ）および前記可動コ
イル（Ｂ）の動作タイミングをずらして一定に設定する
ことにより、前記二つの吸排気手段のベローズ（Ａ）と
ベローズ（Ｂ）とは、それぞれ個別に伸縮可能であると
ともに、前記２つの可動コイル（Ａ，Ｂ）は、磁界の方
向が切り替えられることにより互いに反発または接近す
る駆動力が補助されてなる真空ポンプ。1. A fixing Then together the end of the stretchable bellows the bellows fixed part having a suction plug mouth valve and the discharge port valve
An air chamber is formed by providing a movable plate at the other end of the bellows, and a pair of suction and exhaust means for performing intake and exhaust by expansion and contraction of the bellows are combined in a pair, and the movable plate is moved toward the bellows fixing portion. a vacuum pump comprising a drive means for reciprocating the two intake and exhaust means (a,
B) makes each movable plate (A, B) face each other.
Bellows fixing parts (A, B) which are combined in a pair in a separated serial configuration and which each air supply / exhaust means has
Are provided with fixed coils (A, B) of electromagnets that continuously generate magnetic fields in the same direction, and each of the movable plates (A, B) receives a magnetic field in the same direction of the fixed coils (A, B). On the other hand, a movable coil (A) or a movable coil (B) of an electromagnet which alternately generates a magnetic field in the same direction and a reverse direction is provided, and the movable coil (A) and the movable coil (B) Stagger the operation timing and set it constant
By the bellows of the two intake and exhaust means (A) and the bellows (B) is respectively are extendable individually
In both cases, the two movable coils (A, B) are
Rebound or approach each other by switching directions
Vacuum pump with assisted driving force .
よび吐出口弁を有する固定板に固定し、他端に可動板を
設けて気室を形成し、前記ベローズの伸縮により吸排気
を行う吸排気手段の二つを分離して直列に組み合わせた
真空ポンプの駆動方法であって、固定板および可動板は
それぞれ電磁石コイルを備え、２個の固定板には互いに
同一方向の磁界を発生させ、２個の対抗配置した可動板
のそれぞれには、固定板の磁界に対して同方向と逆方向
との磁界を交互に発生させて、可動板を固定板方向へ往
復動させることにより吐出動作および吸込動作を行わ
せ、吐出動作の時間を吸込時間の１／２とし、２個の可
動板相互の動作タイミングを１／２ずらして設定するこ
とにより、第一のベローズが排気している間に第二のベ
ローズが排気を開始し、第二のベローズが排気している
間に第一のベローズが排気を開始するとともに、前記可
動板の磁界が切り替わることにより、可動板どうしの間
に反発または接近する磁力が発生するようにした真空ポ
ンプの駆動方 法。 2. An end of a telescopic bellows is connected to a suction port valve.
And a fixed plate having a discharge port valve, and a movable plate at the other end.
To form an air chamber, and air intake and exhaust due to the expansion and contraction of the bellows.
The two intake and exhaust means are separated and combined in series
A method for driving a vacuum pump, wherein the fixed plate and the movable plate are
Each has an electromagnetic coil and the two fixed plates
A movable plate that generates a magnetic field in the same direction and is opposed to two movable plates
In the same direction and opposite direction to the magnetic field of the fixed plate
Alternately generate a magnetic field to move the movable plate toward the fixed plate.
Performing discharge operation and suction operation by returning
The discharge operation time to half of the suction time
Set the operation timing of the moving plates to be shifted by 1/2.
The second bellows while the first bellows is exhausting.
Rose starts exhausting, second bellows exhausts
In the meantime, the first bellows starts exhausting,
By switching the magnetic field of the moving plates,
Vacuum port that generates a magnetic force that repels or approaches
Driving how the pump.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3456597A JP3084513B2 (en) | 1997-02-19 | 1997-02-19 | Vacuum pump and driving method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3456597A JP3084513B2 (en) | 1997-02-19 | 1997-02-19 | Vacuum pump and driving method thereof |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH10231784A JPH10231784A (en) | 1998-09-02 |
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|---|---|---|---|---|
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1997
- 1997-02-19 JP JP3456597A patent/JP3084513B2/en not_active Expired - Fee Related
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