JP3084274B2 - Magneto-optical recording medium and reproducing method of magneto-optical recording medium - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録装置に
適用される光磁気ディスク、光磁気テープ、光磁気カー
ド等の光磁気記録媒体及び光磁気記録媒体の再生方法に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical disk, a magneto-optical tape, a magneto-optical card, and a method for reproducing a magneto-optical recording medium applied to a magneto-optical recording apparatus. Things.

【０００２】[0002]

【従来の技術】光磁気ディスクは、書き換え可能な光デ
ィスクとして研究開発が進められており、その一部は既
に、コンピューター用の外部メモリーとして実用化がな
されている。2. Description of the Related Art Magneto-optical disks are being researched and developed as rewritable optical disks, and some of them have already been put into practical use as external memories for computers.

【０００３】光磁気ディスクは、記録媒体として垂直磁
化膜を用い、光を利用して記録再生を行うため、面内磁
化膜を用いたフロッピーディスクあるいはハードディス
クに比べて、大記録容量を実現できる。A magneto-optical disk uses a perpendicular magnetization film as a recording medium and performs recording and reproduction using light. Therefore, a large recording capacity can be realized as compared with a floppy disk or a hard disk using an in-plane magnetization film.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、光磁気ディスクの記録密度が、記録再生
に使用される光ビームの記録媒体上での大きさに依存す
るため、今まで以上に記憶容量を大きくできないという
問題点を有している。However, in the above-mentioned conventional configuration, the recording density of the magneto-optical disk depends on the size of the light beam used for recording and reproduction on the recording medium. There is a problem that the storage capacity cannot be increased.

【０００５】つまり、記録ビットの大きさ及び記録ビッ
トの間隔が光ビームスポット径に比べて小さくなってく
ると、光ビームスポットの中に、隣接する記録ビットを
含めた複数の記録ビットが入ってくるため、雑音が増加
し、一つ一つの記録ビットを分離して再生することがで
きなくなってしまうという問題点を有している。In other words, when the size of the recording bit and the interval between the recording bits become smaller than the diameter of the light beam spot, a plurality of recording bits including adjacent recording bits are included in the light beam spot. Therefore, there is a problem that noise increases and it becomes impossible to separate and reproduce each recording bit.

【０００６】記録密度を上げるために、光ビームスポッ
ト径を小さくする手段としては、光源であるレーザーの
波長を短くすること、対物レンズの開口数（ＮＡ）を大
きくし、光の絞り込みの角度を大きくすること等が上げ
られる。In order to increase the recording density, means for reducing the diameter of the light beam spot include shortening the wavelength of the laser as a light source, increasing the numerical aperture (NA) of the objective lens, and reducing the angle of narrowing down the light. It is possible to increase the size.

【０００７】レーザーの短波長化については、短波長用
半導体レーザーの開発が精力的に行われている。しか
し、未だ出射強度が弱く、光磁気ディスクの記録再生用
の光源として用いることができない。[0007] With regard to shortening the wavelength of a laser, development of a semiconductor laser for a short wavelength has been energetically performed. However, the emission intensity is still weak and cannot be used as a light source for recording / reproducing a magneto-optical disk.

【０００８】また、ＮＡを大きくした場合、光ビームを
光ビームスポットに収斂させる対物レンズと光磁気ディ
スクの面との傾きをできるだけ小さくする必要がある。
さもないと、記録媒体上の光ビームスポット径が逆に大
きくなってしまう。つまり、ＮＡを大きくすると、光磁
気ディスク装置の光学系の組立精度、あるいは、光磁気
ディスクの反り量を従来以上に厳しく管理しなければ、
光ビームスポット径が大きくなってしまうという新たな
問題が発生する。When the NA is increased, it is necessary to minimize the inclination between the objective lens for converging the light beam to the light beam spot and the surface of the magneto-optical disk.
Otherwise, the diameter of the light beam spot on the recording medium will increase. In other words, if the NA is increased, unless the assembly accuracy of the optical system of the magneto-optical disk device or the amount of warpage of the magneto-optical disk is controlled more strictly than before,
A new problem that the light beam spot diameter becomes large occurs.

【０００９】このため、現状の光磁気ディスクで用いら
れる半導体レーザーの波長は７８０〜８３０ｎｍになっ
ており、対物レンズのＮＡは０．４５〜０．５５になっ
ている。したがって、記録媒体上の光ビームスポット径
は１．７〜２．０μｍとなる。For this reason, the wavelength of the semiconductor laser used in the current magneto-optical disk is 780 to 830 nm, and the NA of the objective lens is 0.45 to 0.55. Therefore, the light beam spot diameter on the recording medium is 1.7 to 2.0 μm.

【００１０】この光ビームスポット径との兼ね合いで、
光磁気ディスクのトラックピッチ、すなわち、光磁気デ
ィスクの半径方向の記録ビット間隔が１．４〜１．６μ
ｍに設定されている。In consideration of the light beam spot diameter,
The track pitch of the magneto-optical disk, that is, the recording bit interval in the radial direction of the magneto-optical disk is 1.4 to 1.6 μ.
m.

【００１１】トラックピッチをこれより小さくすると、
再生時、隣接トラックに記録された情報が漏れるクロス
トークを押さえる必要がある。このために特別な波形処
理を行う補償回路を設けなればならず、光磁気ディスク
装置が複雑化するという問題が発生する。If the track pitch is made smaller than this,
At the time of reproduction, it is necessary to suppress crosstalk in which information recorded on an adjacent track leaks. For this reason, a compensation circuit for performing a special waveform processing must be provided, which causes a problem that the magneto-optical disk device becomes complicated.

【００１２】次に、光磁気ディスクに磁界変調オーバー
ライトを行う場合、十分な大きさの磁界を得るために、
磁界発生機構を光磁気ディスクに近接させなくてはなら
ないという問題点を有していると共に、高速で磁界を変
調することができないという問題点を有している。Next, when performing magnetic field modulation overwriting on a magneto-optical disk, in order to obtain a sufficiently large magnetic field,
In addition to the problem that the magnetic field generating mechanism must be brought close to the magneto-optical disk, there is a problem that the magnetic field cannot be modulated at high speed.

【００１３】そこで、これらを解決するために、特開昭
６２−１７５９４８号公報では、垂直磁化膜を使用した
記録層と記録補助層からなる２層構造の光磁気記録媒体
を用い、レーザーパワーのみを変調してオーバーライト
を行う、光変調オーバーライト方法が提案されている。In order to solve these problems, Japanese Patent Laid-Open Publication No. Sho 62-175948 discloses a magneto-optical recording medium having a two-layer structure including a recording layer using a perpendicular magnetization film and a recording auxiliary layer. There is proposed a light modulation overwrite method of performing overwrite by modulating light.

【００１４】ところが、この光変調オーバーライト方法
では、オーバーライトを行う際、記録補助層の磁化方向
も変わってしまうため、オーバーライト前に、毎回、記
録補助層の磁化方向を揃える必要がある。このため、記
録磁界発生機構に加え、初期化磁界発生機構も必要とな
るので、光磁気ディスク装置の大型化を招くとともに、
コストアップにもつながるという問題点を有している。However, in this light modulation overwriting method, the magnetization direction of the recording auxiliary layer changes when overwriting is performed, so that it is necessary to align the magnetization direction of the recording auxiliary layer every time before overwriting. For this reason, in addition to the recording magnetic field generating mechanism, an initializing magnetic field generating mechanism is also required, which causes an increase in the size of the magneto-optical disk drive, and
There is a problem that it leads to an increase in cost.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の光磁気
記録媒体は、情報を光磁気記録する記録層と、室温で面
内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行し
て、上記記録層の磁化が転写される読み出し層と、を有
しており、上記読み出し層と上記記録層の間には、該読
み出し層と該記録層の交換結合を解除する、非磁性膜か
らなる中間層が設けられていることを特徴とする。A magneto-optical device according to claim 1, wherein :
The recording medium has a recording layer for magneto-optical recording of information and a surface at room temperature.
While showing internal magnetization, it shifts to perpendicular magnetization with increasing temperature.
A readout layer to which the magnetization of the recording layer is transferred.
Between the readout layer and the recording layer.
A non-magnetic film that releases the exchange coupling between the exposed layer and the recording layer
Characterized in that an intermediate layer made of such a material is provided .

【００１６】請求項２に記載の光磁気記録媒体は、上記
中間層が、５０ｎｍ以下の膜厚に形成されていることを
特徴とする。[0016] The magneto-optical recording medium according to claim 2 is characterized in that:
That the intermediate layer is formed to a thickness of 50 nm or less.
Features .

【００１７】請求項３に記載の光磁気記録媒体は、上記
中間層が、誘電体材料からなることを特徴とする。The magneto-optical recording medium according to the third aspect is characterized in that
The intermediate layer is made of a dielectric material .

【００１８】請求項４に記載の光磁気記録媒体は、上記
中間層は、非磁性金属材料からなることを特徴とする。The magneto-optical recording medium according to the fourth aspect is characterized in that
The intermediate layer is made of a non-magnetic metal material .

【００１９】請求項５に記載の光磁気記録媒体の再生方
法は、情報を光磁気記録する記録層と、室温で面内磁化
を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行してする読
み出し層と、を有しており、上記読み出し層と上記記録
層の間には、該読み出し層と該記録層の交換結合を解除
する、非磁性膜からなる中間層が設けられている光磁気
記録媒体の再生方法であって、該光磁気記録媒体に光ビ
ームを照射して、上記読み出し層に、上記記録層の磁化
の転写された垂直磁化を示す領域を形成するこ とを特徴
とする。 A reproducing method of the magneto-optical recording medium according to claim 5.
The method uses a recording layer for magneto-optical recording of information and in-plane magnetization at room temperature.
While reading the transition to perpendicular magnetization with increasing temperature.
A readout layer and the recording
The exchange coupling between the readout layer and the recording layer is released between the layers.
Magneto-optic provided with an intermediate layer made of a non-magnetic film
A method for reproducing a recording medium, comprising:
And irradiates the read layer with the magnetization of the recording layer.
Characterized that you form a region showing transcribed perpendicular magnetization of
And

【００２０】[0020]

【００２１】[0021]

【００２２】[0022]

【００２３】[0023]

【００２４】[0024]

【００２５】[0025]

【００２６】[0026]

【００２７】[0027]

【００２８】本発明によれば、再生動作時に、読み出し
層に光ビームが照射されると、照射された部位の温度分
布は、ほぼガウス分布になるので、光ビームの径より小
さい中心近傍領域のみの温度が上昇する。According to the present invention, when the reading layer is irradiated with the light beam during the reproducing operation, the temperature distribution of the irradiated portion becomes substantially Gaussian distribution. Temperature rises.

【００２９】この温度上昇に伴って、温度上昇部位の磁
化は、面内磁化から垂直磁化に移行する。この時、記録
層の磁化の向きに読み出し層の磁化の向きが従う。As the temperature rises, the magnetization at the temperature rise site shifts from in-plane magnetization to perpendicular magnetization. At this time, the magnetization direction of the readout layer follows the magnetization direction of the recording layer.

【００３０】温度上昇部位が面内磁化から垂直磁化に移
行すると、温度上昇部位のみが極カー効果を示すように
なり、該部位からの反射光に基づいて情報が再生され
る。When the temperature rising portion shifts from the in-plane magnetization to the perpendicular magnetization, only the temperature rising portion shows the polar Kerr effect, and information is reproduced based on light reflected from the portion.

【００３１】そして、光ビームが移動して次の記録ビッ
トを再生するときは、先の再生部位の温度は低下し、垂
直磁化から面内磁化に移行するため、極カー効果を示さ
なくなる。このことは、記録層に記録された磁化が読み
出し層の面内磁化によりマスクされて読み出されないと
いうことを意味している。これにより、雑音の原因とな
り、再生の分解能を低下させる隣接記録ビットからの信
号混入がなくなる。When the light beam moves and reproduces the next recording bit, the temperature of the preceding reproducing portion decreases, and the magnetization shifts from perpendicular magnetization to in-plane magnetization, so that the polar Kerr effect is not exhibited. This means that the magnetization recorded on the recording layer is masked by the in-plane magnetization of the reading layer and cannot be read. As a result, signal mixing from adjacent recording bits which causes noise and lowers the resolution of reproduction is eliminated.

【００３２】以上のように、所定温度以上に昇温された
領域のみを再生に関与させるので、従来より小さい記録
ビットの再生を行うことが可能になり、記録密度が著し
く向上する。As described above, since only the region heated to a predetermined temperature or higher is involved in the reproduction, it is possible to reproduce the recording bits smaller than before, and the recording density is remarkably improved.

【００３３】[0033]

【００３４】[0034]

【００３５】[0035]

【００３６】[0036]

【００３７】[0037]

【００３８】[0038]

【００３９】[0039]

【００４０】[0040]

【００４１】[0041]

【００４２】[0042]

【００４３】[0043]

【００４４】[0044]

【発明の実施の形態】本発明の前提となる第１参考形態
を図１ないし図３８に基づいて説明すれば、以下の通り
である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first reference embodiment on which the present invention is based will be described below with reference to FIGS. 1 to 38. FIG.

【００４５】本参考形態の光磁気ディスク（光磁気記録
媒体）は、図１に示すように、基板１（基体）、透明誘
電体層２、読み出し層３、記録層４、保護層５、オーバ
ーコート層６がこの順に積層された構成を有している。As shown in FIG. 1, the magneto-optical disk (magneto-optical recording medium) of this embodiment has a substrate 1 (base), a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3, a recording layer 4, a protective layer 5, It has a configuration in which the coat layers 6 are stacked in this order.

【００４６】読み出し層３として使用される希土類遷移
金属合金は、図２の磁気状態図に示すように、垂直磁化
を示す組成範囲（図中、Ａで示す）は非常に狭い。これ
は、希土類金属と遷移金属のモーメントがつりあう補償
組成（図中、Ｐで示す）の近辺でしか垂直磁化が現れな
いからである。The rare earth transition metal alloy used as the readout layer 3 has a very narrow composition range (indicated by A in the figure) showing perpendicular magnetization as shown in the magnetic phase diagram of FIG. This is because perpendicular magnetization appears only in the vicinity of the compensation composition (indicated by P in the figure) where the moments of the rare earth metal and the transition metal balance.

【００４７】希土類金属と遷移金属の磁気モーメント
は、それぞれの温度特性が異なり、高温では遷移金属の
磁気モーメントが希土類金属に比べて大きくなる。この
ため、室温の補償組成よりも希土類金属の含有量を多く
しておき、室温では垂直磁化を示さずに面内磁化を示す
ようにしておく。この場合、光ビームが照射されること
により、照射部位の温度が上昇すると、遷移金属の磁気
モーメントが相対的に大きくなって、希土類金属の磁気
モーメントとつりあうようになり、垂直磁化を示すよう
になる。The magnetic moments of the rare earth metal and the transition metal have different temperature characteristics. At a high temperature, the magnetic moment of the transition metal becomes larger than that of the rare earth metal. For this reason, the content of the rare earth metal is set to be larger than the compensating composition at room temperature, and at room temperature, in-plane magnetization is exhibited instead of perpendicular magnetization. In this case, when the light beam is irradiated, the temperature of the irradiated portion rises, and the magnetic moment of the transition metal becomes relatively large, comes to balance with the magnetic moment of the rare earth metal, and shows perpendicular magnetization. Become.

【００４８】図３ないし図６は、読み出し層３のヒステ
リシス特性の一例を示しており、横軸は、読み出し層３
の膜面に垂直方向に印加される外部磁界（Ｈ_ex）であ
り、縦軸は、同じく膜面に垂直な方向から光を入射させ
た場合の極カー回転角（θｋ）である。FIGS. 3 to 6 show an example of the hysteresis characteristic of the readout layer 3. The horizontal axis indicates the readout layer 3.
Is the external magnetic field (H _ex ) applied to the film surface in the vertical direction, and the vertical axis is the polar Kerr rotation angle (θk) when light is incident from the direction also perpendicular to the film surface.

【００４９】図３は、図２の磁気状態図における組成Ｐ
の読み出し層３の、室温から温度Ｔ₁までの間のヒステ
リシス特性を示しており、図４ないし図６は、それぞ
れ、温度Ｔ₁から温度Ｔ₂までのヒステリシス特性、温度
Ｔ２から温度Ｔ３までのヒステリシス特性、及び温度Ｔ
₃からキュリー温度Ｔ_cまでのヒステリシス特性を示して
いる。FIG. 3 shows the composition P in the magnetic phase diagram of FIG.
Of the readout layer 3 shows the hysteresis characteristic between from room temperature to temperatures T _1, 4 to 6, respectively, the hysteresis characteristic from temperatures T ₁ to the temperature T _2, from temperature T2 to temperature T3 Hysteresis characteristics and temperature T
Hysteresis characteristics from ₃ to the Curie temperature _Tc are shown.

【００５０】温度Ｔ₁から温度Ｔ₃の温度範囲では、外部
磁界に対して極カー回転角の立ち上がりが急峻なヒステ
リシス特性を示すが、それ以外の温度範囲では極カー回
転角はほとんど０である。In the temperature range from the temperature T ₁ to the temperature T ₃ , the rise of the polar Kerr rotation angle with respect to the external magnetic field shows a hysteresis characteristic that is steep, but in other temperature ranges, the pole Kerr rotation angle is almost zero. .

【００５１】上記の特性を備えた希土類遷移金属を読み
出し層３に使用することで、光磁気ディスクの記録密度
を高くなる。すなわち、光ビームの大きさよりも小さな
記録ビットの再生が可能になる。これについて、以下に
説明する。By using the rare earth transition metal having the above characteristics for the readout layer 3, the recording density of the magneto-optical disk can be increased. That is, it is possible to reproduce a recording bit smaller than the size of the light beam. This will be described below.

【００５２】再生動作時に、基板１（図１）の側から集
光レンズ８を介して再生光ビーム７が読み出し層３に照
射される。再生光ビーム７が照射された読み出し層３の
部位は、その中心部近傍が最も温度が上昇し、周辺の部
位の温度よりも高くなる。これは、再生光ビーム７が、
集光レンズ８により回折限界まで絞り込まれているた
め、その光強度分布がガウス分布になり、光磁気ディス
ク上の再生部位の温度分布もほぼガウス分布になるから
である。At the time of the reproducing operation, the readout layer 3 is irradiated with the reproducing light beam 7 from the side of the substrate 1 (FIG. 1) via the condenser lens 8. The temperature of the portion of the readout layer 3 irradiated with the reproduction light beam 7 is the highest near the center thereof and is higher than the temperature of the surrounding portions. This is because the reproduction light beam 7
This is because the light intensity distribution becomes a Gaussian distribution and the temperature distribution of the reproducing portion on the magneto-optical disk also becomes almost a Gaussian distribution since the light is narrowed down to the diffraction limit by the condenser lens 8.

【００５３】中心近傍の温度がＴ₁以上に達し、周辺部
位の温度がＴ₁以下になるように再生光ビーム７の強度
が設定されている場合、Ｔ₁以上の温度を有する領域の
みを再生に関与させるので、再生光ビーム７の径よりも
小さな記録ビットの再生が行え、記録密度は著しく向上
することになる。[0053] center temperature in the vicinity of above T ₁ is reached, when the intensity of the reproducing light beam 7 so that the temperature of the surrounding site is T ₁ or less is set, playback only area having above T ₁ temperature Therefore, recording bits smaller than the diameter of the reproducing light beam 7 can be reproduced, and the recording density is significantly improved.

【００５４】つまり、Ｔ₁以上の温度を有する領域の磁
化は、面内磁化から垂直磁化に移行する（極カー回転角
のヒステリシス特性は図３から図４もしくは図５に移行
する）。この時、読み出し層３及び記録層４の２層間の
交換結合力により、記録層４の磁化の向きが読み出し層
３に転写される。一方、再生光ビーム７の中心近傍に対
応した領域以外の、周辺部位では温度がＴ₁以下である
ため、面内磁化の状態（図３）が保持される。この結
果、膜面に垂直方向から照射された再生光ビーム７に対
しては、極カー効果を示さない。That is, the magnetization in the region having a temperature equal to or higher than T ₁ shifts from in-plane magnetization to perpendicular magnetization (the hysteresis characteristic of the polar Kerr rotation angle shifts from FIG. 3 to FIG. 4 or FIG. 5). At this time, the magnetization direction of the recording layer 4 is transferred to the reading layer 3 by the exchange coupling force between the two layers of the reading layer 3 and the recording layer 4. On the other hand, other than the area corresponding to the vicinity of the center of the reproducing light beam 7, because the surrounding site is the temperature T ₁ or less, in-plane magnetization state (FIG. 3) is held. As a result, the polar Kerr effect is not exhibited with respect to the reproduction light beam 7 irradiated to the film surface from the vertical direction.

【００５５】このようにして、温度上昇部位が面内磁化
から垂直磁化に移行すると、再生光ビーム７の中心近傍
のみが極カー効果を示すようになり、該部位からの反射
光に基づいて、記録層４に記録された情報が再生され
る。As described above, when the temperature rising portion shifts from the in-plane magnetization to the perpendicular magnetization, only the vicinity of the center of the reproduction light beam 7 shows the polar Kerr effect, and based on the reflected light from the portion, The information recorded on the recording layer 4 is reproduced.

【００５６】再生光ビーム７が移動して（実際には光磁
気ディスクが回転して）、次の記録ビットを再生する時
は、先の再生部位の温度はＴ₁以下に下がり、垂直磁化
から面内磁化に移行する。これに伴い、この温度が低下
した部位は極カー効果を示さなくなる。従って、該温度
の低下した部位からは情報が再生されなくなり、雑音の
原因である隣接記録ビットからの信号混入がなくなる。[0056] moving the reproducing light beam 7 (actually magneto-optical disk is rotated), when to reproduce the next recording bit, the temperature of the previous reproducing portion drops to T ₁ or less, from the perpendicular magnetization Transition to in-plane magnetization. Along with this, the portion where the temperature has decreased no longer exhibits the polar Kerr effect. Therefore, information is not reproduced from the portion where the temperature is lowered, and signal mixing from adjacent recording bits which causes noise is eliminated.

【００５７】以上のように、本発明の光磁気ディスクを
用いれば、再生光ビーム７の径よりも小さい記録ビット
の再生が確実に行え、隣接する記録ビットの影響を受け
ないため、記録密度を著しく高めることが可能である。As described above, when the magneto-optical disk of the present invention is used, the recording bit smaller than the diameter of the reproducing light beam 7 can be reliably reproduced, and the recording density is not affected by the adjacent recording bits. It can be significantly increased.

【００５８】次に、本参考形態の光磁気ディスクの具体
例を示す。Next, a specific example of the magneto-optical disk of the present embodiment will be described.

【００５９】基板１は、直径８６ｍｍ、内径１５ｍｍ、
厚さ１．２ｍｍの円盤状のガラスからなっている。基板
１の片側の表面には、図示していないが、光ビーム案内
用の凹凸状のガイドトラックが、ピッチが１．６μｍ、
グルーブ（凹部）の幅が０．８μｍ、ランド（凸部）の
幅が０．８μｍで形成されている。すなわち、グルーブ
の幅とランドの幅が１：１になるように形成されてい
る。The substrate 1 has a diameter of 86 mm, an inner diameter of 15 mm,
It is made of a disc-shaped glass having a thickness of 1.2 mm. Although not shown, an uneven guide track for guiding a light beam has a pitch of 1.6 μm on one surface of the substrate 1.
The groove (recess) has a width of 0.8 μm and the land (convex) has a width of 0.8 μm. That is, the width of the groove and the width of the land are formed to be 1: 1.

【００６０】基板１のガイドトラックが形成されている
側の面に、透明誘電体層２として、Ａ１Ｎが厚さ８０ｎ
ｍで形成されている。On the surface of the substrate 1 on which the guide tracks are formed, A1N having a thickness of 80 n is formed as the transparent dielectric layer 2.
m.

【００６１】透明誘電体層２上に、係る読み出し層３と
して、希土類遷移金属合金薄膜であるＧｄＦｅＣｏが、
厚さ５０ｎｍで形成されている。ＧｄＦｅＣｏの組成
は、Ｇｄ_0.26（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74であり、そのキ
ュリー温度は約３００℃である。On the transparent dielectric layer 2, GdFeCo, which is a rare earth transition metal alloy thin film, is used as the readout layer 3.
It is formed with a thickness of 50 nm. The composition of GdFeCo is Gd _0.26 (Fe _0.82 Co _0.18 ) _0.74 , and its Curie temperature is about 300 ° C.

【００６２】読み出し層３上に、記録層４として、希土
類遷移金属合金薄膜であるＤｙＦｅＣｏが、厚さ５０ｎ
ｍで形成されている。ＤｙＦｅＣｏの組成は、Ｄｙ_0.23
（Ｆｅ_0.78Ｃｏ_0.22）_0.77であり、そのキュリー温度は
約２００℃である。DyFeCo, which is a rare earth transition metal alloy thin film, is formed on the readout layer 3 as the recording layer 4 by a thickness of 50 n.
m. The composition of DyFeCo is Dy _0.23
(Fe _0.78 Co _0.22 ) _0.77 , and its Curie temperature is about 200 ° C.

【００６３】上記の読み出し層３と記録層４の組み合わ
せにより、読み出し層３の磁化の方向は、室温ではほぼ
面内（つまり、読み出し層３の層方向）にあり、１００
〜１２５℃程度の温度で面内方向から垂直方向に移行す
る。Due to the combination of the readout layer 3 and the recording layer 4, the direction of magnetization of the readout layer 3 is substantially in-plane at room temperature (that is, the layer direction of the readout layer 3).
The transition from the in-plane direction to the vertical direction occurs at a temperature of about 125 ° C.

【００６４】記録層４上には、保護層５として、Ａ１Ｎ
が厚さ２０ｎｍで形成されている。On the recording layer 4, as a protective layer 5, A1N
Is formed with a thickness of 20 nm.

【００６５】保護層５上には、オーバーコート層６とし
て、ポリウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂
が、厚さ５μｍで形成されている。On the protective layer 5, a polyurethane acrylate-based ultraviolet-curable resin having a thickness of 5 μm is formed as the overcoat layer 6.

【００６６】上記の光磁気ディスクは、以下の手順で製
造された。The above magneto-optical disk was manufactured by the following procedure.

【００６７】ガラスの基板１の表面のガイドトラック
は、反応性イオンエッチング法により形成された。The guide tracks on the surface of the glass substrate 1 were formed by a reactive ion etching method.

【００６８】透明誘電体層２、読み出し層３、記録層４
及び保護層５は、いずれもスパッター法により、同一ス
パッター装置内で、真空を破らずに形成された。透明誘
電体層２及び保護層５のＡ１Ｎは、Ａ１ターゲットをＮ
₂ガス雰囲気中でスパッターする反応性スパッター法に
より形成された。読み出し層３及び記録層４は、ＦｅＣ
ｏ合金ターゲット上にＧｄあるいはＤｙのチップを並べ
た、いわゆる複合ターゲット、若しくはＧｄＦｅＣｏ及
びＤｙＦｅＣｏの３元合金ターゲットを用いて、Ａｒガ
スでスパッターすることにより形成された。[0068] Transparent dielectric layer 2, readout layer 3, recording layer 4
The protective layer 5 and the protective layer 5 were both formed by a sputtering method in the same sputtering apparatus without breaking vacuum. A1N of the transparent dielectric layer 2 and the protective layer 5 is obtained by setting the A1 target to N
It was formed by a reactive sputtering method in which sputtering was performed in a _two- gas atmosphere. The readout layer 3 and the recording layer 4 are made of FeC
A so-called composite target in which Gd or Dy chips are arranged on an o-alloy target, or a ternary alloy target of GdFeCo and DyFeCo, is formed by sputtering with Ar gas.

【００６９】オーバーコート層６は、スピンコーターに
よりポリウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂を
塗布した後、紫外線照射装置で紫外線を当て、硬化させ
ることにより形成された。The overcoat layer 6 was formed by applying a polyurethane acrylate-based UV-curable resin with a spin coater, and then irradiating and curing the UV-ray with an ultraviolet irradiation device.

【００７０】次に、上記の光磁気ディスクを用いて行っ
た、動作確認結果を説明する。Next, the results of an operation check performed using the above-described magneto-optical disk will be described.

【００７１】上記の読み出し層３と記録層４の組み合わ
せにより、読み出し層３の磁化の方向は、室温ではほぼ
面内にあり、１００〜１２５℃程度の温度で面内方向か
ら垂直方向に移行する。Due to the combination of the readout layer 3 and the recording layer 4, the magnetization direction of the readout layer 3 is almost in-plane at room temperature, and shifts from the in-plane direction to the vertical direction at a temperature of about 100 to 125 ° C. .

【００７２】図７及び図８は、実際に極カー回転角のヒ
ステリシス特性を、温度を変えて測定した結果を表す図
である。図７は、室温（２５℃）でのヒステリシス特性
であり、外部磁界（Ｈ_ex）がゼロのときの極カー回転角
は、ほとんどゼロである。これは、磁化の方向が膜面に
垂直な方向にはほとんどなく、面内方向にあることを示
している。図８は、１２０℃でのヒステリシス特性であ
る。外部磁化がゼロのときでも、０．５ｄｅｇ程度の極
カー回転角があり、垂直磁化に移行していることがわか
る。FIGS. 7 and 8 are graphs showing the results of actually measuring the hysteresis characteristics of the polar Kerr rotation angle at different temperatures. FIG. 7 shows the hysteresis characteristics at room temperature (25 ° C.). When the external magnetic field (H _ex ) is zero, the polar Kerr rotation angle is almost zero. This indicates that the direction of magnetization is hardly in the direction perpendicular to the film surface but in the in-plane direction. FIG. 8 shows the hysteresis characteristics at 120 ° C. It can be seen that even when the external magnetization is zero, there is a polar Kerr rotation angle of about 0.5 deg, and the state shifts to perpendicular magnetization.

【００７３】以上が、静的特性の確認であるが、次に、
光ピックアップを用いて動的な測定を行った結果を説明
する。尚、測定に使用した光ピックアップの半導体レー
ザーの波長は７８０ｎｍ、対物レンズの開口数（Ｎ．
Ａ．）は０．５５である。The above is the confirmation of the static characteristics.
The result of dynamic measurement using an optical pickup will be described. The wavelength of the semiconductor laser of the optical pickup used for the measurement was 780 nm, and the numerical aperture (N.
A. ) Is 0.55.

【００７４】まず、上記の光磁気ディスクの半径２６．
５ｍｍの位置のランド部に、回転数１８００ｒｐｍ（線
速５ｍ／ｓｅｃ）の下で、０．７６５μｍの長さの単一
周波数記録ビットを予め記録した。記録は、まず、記録
層４の磁化の方向を一方向に揃えて（消去状態）から、
記録用外部磁界の方向を消去方向とは逆方向に固定して
おいて、０．７６５μｍの長さに相当する記録周波数
（この場合は、約３．３ＭＨｚ）でレーザーを変調する
ことで行った。記録レーザーパワーは、８ｍＷ程度であ
った。First, the radius of the magneto-optical disk is 26.
A single-frequency recording bit having a length of 0.765 μm was previously recorded on a land portion at a position of 5 mm at a rotation speed of 1800 rpm (linear velocity of 5 m / sec). Recording is performed by first aligning the magnetization direction of the recording layer 4 in one direction (erased state).
The direction of the external magnetic field for recording was fixed in a direction opposite to the erasing direction, and the laser was modulated at a recording frequency (in this case, about 3.3 MHz) corresponding to a length of 0.765 μm. . The recording laser power was about 8 mW.

【００７５】この記録ビット列を再生レーザーパワーを
変えて再生して、再生信号波形の振幅を調べた結果を図
９に示す。横軸が再生レーザーパワーであり、０．５ｍ
Ｗから３ｍＷの範囲で測定した。縦軸が再生信号振幅を
示しており、再生レーザーパワーが０．５ｍＷの時の振
幅で規格化して示している。FIG. 9 shows the result of examining the amplitude of the reproduced signal waveform by reproducing the recorded bit string by changing the reproducing laser power. The horizontal axis is the reproduction laser power, 0.5 m
It was measured in the range of W to 3 mW. The vertical axis indicates the reproduction signal amplitude, which is normalized by the amplitude when the reproduction laser power is 0.5 mW.

【００７６】図中、Ａと記した曲線が本発明の光磁気デ
ィスクでの結果であり、図中、Ｂの曲線は、比較のため
に作製し測定を行った従来の光磁気ディスクの結果であ
る。従来の光磁気ディスクは、上記と同じガラスの基板
１上に、Ａ１Ｎを８０ｎｍ、ＤｙＦｅＣｏを２０ｎｍ、
Ａ１Ｎを２５ｎｍ、Ａ１Ｎｉを３０ｎｍをこの順に積層
し、Ａ１Ｎｉ上に上記と同じオーバーコート層を設けた
構成になっている。In the figure, the curve indicated by A is the result for the magneto-optical disk of the present invention, and the curve B in the figure is the result for the conventional magneto-optical disk prepared for comparison and measured. is there. A conventional magneto-optical disk has a structure in which A1N is 80 nm, DyFeCo is 20 nm,
A1N of 25 nm and A1Ni of 30 nm are laminated in this order, and the same overcoat layer as described above is provided on A1Ni.

【００７７】この従来の光磁気ディスクの構成は、希土
類遷移金属合金であるＤｙＦｅＣｏ磁性層が１層だけあ
り、その両側を透明誘電体層であるＡ１Ｎでサンドイッ
チし、最後に反射膜であるＡ１Ｎｉを設けた構造であ
る。この構造は、反射膜構造と呼ばれ、既に市販がなさ
れている３．５インチサイズ単板仕様の光磁気ディスク
の代表的な構成である。また、周知の如く、従来の光磁
気ディスクにおけるＤｙＦｅＣｏからなる記録層は、室
温から高温まで垂直磁化を有している。The structure of this conventional magneto-optical disk is such that there is only one DyFeCo magnetic layer, which is a rare earth transition metal alloy, sandwiched on both sides by A1N, which is a transparent dielectric layer, and finally, A1Ni, which is a reflecting film, is formed. It is a structure provided. This structure is called a reflective film structure, and is a typical configuration of a commercially available 3.5-inch size single-plate magneto-optical disk. Further, as is well known, the recording layer made of DyFeCo in a conventional magneto-optical disk has perpendicular magnetization from room temperature to high temperature.

【００７８】図９において、図中の破線で示されている
直線は、０点（原点）と０．５ｍＷでの振幅規格値を結
んだ直線であり、光磁気信号の再生信号振幅と再生レー
ザーパワーとの関係を表す直線である。In FIG. 9, a straight line indicated by a broken line in the figure is a straight line connecting the point 0 (origin) and the amplitude standard value at 0.5 mW. It is a straight line representing a relationship with power.

【００７９】 再生信号振幅 ∝ 媒体反射光量 × 極カー回転角 この式で、媒体反射光量は、再生レーザーパワーに比例
して増加するものであるから、再生レーザーパワーで置
き換えることができる。In this formula, the medium reflected light amount increases in proportion to the reproduced laser power, and can be replaced with the reproduced laser power.

【００８０】従来の光磁気ディスクの測定結果曲線
（Ｂ）が、この直線より下にあるのは次の理由による。
すなわち、再生レーザーパワーを上げると媒体反射光量
はそれにつれて増加するが、一方で記録媒体の温度が上
昇する。磁性体の磁化は、一般には温度が上がるにつれ
減少し、キュリー温度でゼロになる性質を持っている。
したがって、従来の光磁気ディスクにおいては、温度が
上昇するにつれ極カー回転角が小さくなるため、図中の
直線には乗らず、下側になる。The measurement result curve (B) of the conventional magneto-optical disk is below this straight line for the following reason.
That is, when the reproducing laser power is increased, the amount of reflected light from the medium increases accordingly, while the temperature of the recording medium increases. The magnetization of a magnetic material generally has the property of decreasing as the temperature rises and becoming zero at the Curie temperature.
Therefore, in the conventional magneto-optical disk, the polar Kerr rotation angle becomes smaller as the temperature rises, so that it does not follow the straight line in the figure, but is on the lower side.

【００８１】一方、本発明の光磁気ディスクの測定結果
曲線（Ａ）は、再生レーザーパワーが上がるにつれ、急
激に信号振幅が上昇し、２〜２．２５ｍＷ程度で振幅が
最大になっている。また、３ｍＷでの値以外は、全て上
記直線より上側にあり、再生レーザーパワーの増加分以
上の振幅の増加が得られていることがわかる。この結果
は、温度が低い時には極カー回転角がほとんど無く、温
度上昇に伴い急激に面内磁化から垂直磁化に移行してく
るという、本発明の読み出し層３の特性を反映してお
り、その動作を裏付けるものである。On the other hand, in the measurement result curve (A) of the magneto-optical disk of the present invention, as the reproducing laser power increases, the signal amplitude sharply increases, and reaches a maximum at about 2 to 2.25 mW. Except for the value at 3 mW, all values are above the straight line, and it can be seen that an increase in the amplitude that is equal to or greater than the increase in the reproduction laser power is obtained. This result reflects the characteristic of the readout layer 3 of the present invention that the polar Kerr rotation angle hardly occurs when the temperature is low, and the magnetization rapidly shifts from in-plane magnetization to perpendicular magnetization as the temperature rises. This confirms the operation.

【００８２】上記の測定結果はランド部に対して得られ
たが、同様の測定をグルーブ部に対しても行ったとこ
ろ、同様の結果が得られた。Although the above measurement results were obtained for the land portion, the same measurement was performed for the groove portion, and the same result was obtained.

【００８３】次に、記録ビットをより小さくしていった
場合の再生信号品質を調べた結果について説明する。よ
り小さな記録ビットの再生が可能になるということは、
記録密度の向上を意味する。Next, a description will be given of the result of examining the reproduction signal quality when the recording bit is made smaller. The ability to play smaller recorded bits means that
It means improvement of recording density.

【００８４】図１０は、記録ビット長さに対する再生信
号品質（Ｃ／Ｎ）を測定した結果を示すグラフである。
光磁気ディスクの線速は先の実験と同じく５ｍ／ｓｅｃ
にしておいて、記録周波数を変えて記録を行い、そのＣ
／Ｎを測定した。光ピックアップ及び記録方法は、先の
実験と同じである。FIG. 10 is a graph showing the result of measuring the reproduction signal quality (C / N) with respect to the recording bit length.
The linear velocity of the magneto-optical disk was 5 m / sec as in the previous experiment.
And recording is performed by changing the recording frequency.
/ N was measured. The optical pickup and the recording method are the same as in the previous experiment.

【００８５】図中、Ａと記した曲線は本発明の光磁気デ
ィスクの測定結果であり、再生レーザーパワーは２．２
５ｍＷとした。図中、Ｂと記した曲線は、先の実験と同
じく従来の光磁気ディスクの測定結果であり、再生レー
ザーパワーは１ｍＷとした。In the figure, the curve denoted by A is the measurement result of the magneto-optical disk of the present invention, and the reproducing laser power was 2.2.
5 mW. In the figure, the curve indicated by B is the measurement result of the conventional magneto-optical disk as in the previous experiment, and the reproducing laser power was 1 mW.

【００８６】記録ビット長さが０．６μｍ以上の長い記
録ビットにおいては、両者のＣ／Ｎにほとんど差はない
が、０．６μｍ以下になると、従来の光磁気ディスクで
は急激にＣ／Ｎが低下してくる。これは、記録ビット長
さが小さくなるにつれ、光ビームの照射径の中に存在す
る記録ビットの数（面積）が増え、ひとつひとつの記録
ビットを識別できなくなるからである。For long recording bits having a recording bit length of 0.6 μm or more, there is almost no difference in C / N between the two, but when the recording bit length is 0.6 μm or less, the C / N sharply increases in a conventional magneto-optical disk. It is going down. This is because as the recording bit length becomes smaller, the number (area) of recording bits existing in the irradiation diameter of the light beam increases, and it becomes impossible to identify each recording bit.

【００８７】光ピックアップの光学的分解能を表す一つ
の指標として、カットオフ空間周波数があり、これは、
光源であるレーザーの波長と対物レンズの開口数により
定まる。本実験に用いた光ピックアップにおけるレーザ
ーの波長と対物レンズの開口数（それぞれ７８０ｎｍ、
０．５５）を用いて、カットオフ周波数を求め、これを
記録ビット長さに換算すると、７８０ｎｍ／（２×０．
５５）／２＝０．３５５μｍになる。言い換えると、本
実験に用いた光ピックアップの光学的分解能の限界は、
記録ピット長さで０．３５５μｍである。上記の従来の
光磁気ディスクの結果はこのことを反映して、０．３５
μｍでのＣ／Ｎがほぼゼロになっている。As one index indicating the optical resolution of the optical pickup, there is a cutoff spatial frequency.
It is determined by the wavelength of the laser as the light source and the numerical aperture of the objective lens. In the optical pickup used in this experiment, the wavelength of the laser and the numerical aperture of the objective lens (780 nm, respectively)
0.55), the cut-off frequency is calculated and converted to the recording bit length, which is 780 nm / (2 × 0.
55) /2=0.355 μm. In other words, the limit of the optical resolution of the optical pickup used in this experiment is
The recording pit length is 0.355 μm. The result of the conventional magneto-optical disk described above reflects this fact and is 0.35
The C / N at μm is almost zero.

【００８８】一方、本発明の光磁気ディスクでは、記録
ビット長さが短くなるにつれてＣ／Ｎは減少するもの
の、光学的分解能である０．３５５μｍよりも短い記録
ビットにおいても３０ｄＢ近いＣ／Ｎが得られている。On the other hand, in the magneto-optical disk of the present invention, although the C / N decreases as the recording bit length decreases, the C / N close to 30 dB also occurs for recording bits shorter than the optical resolution of 0.355 μm. Have been obtained.

【００８９】なお、測定は、ランド、グルーブの双方に
対して行い、Ｃ／Ｎの値、傾向共にほぼ同じ結果であっ
た。The measurement was performed for both the land and the groove, and the C / N value and tendency were almost the same.

【００９０】以上の結果から、本発明の光磁気ディスク
を用いることで、光学的解析限界より小さな記録ビット
の再生が行なえることが確認された。これにより、従来
の光磁気ディスクに比べて記録ビット密度を大きく向上
させることが可能である。From the above results, it was confirmed that by using the magneto-optical disk of the present invention, it was possible to reproduce recorded bits smaller than the optical analysis limit. As a result, the recording bit density can be greatly improved as compared with the conventional magneto-optical disk.

【００９１】次に、上記実験で確かめられた本発明に加
えて、もうひとつの重要な効果であるクロストーク量に
ついて調べた結果について説明する。Next, a result of examining the crosstalk amount, which is another important effect, in addition to the present invention confirmed in the above experiment, will be described.

【００９２】光磁気ディスクにおいては、一般には、例
えば、ランド仕様であれば、ランドの幅をできるだけ広
く取り、グルーブを狭くしたガイドトラックを形成し
て、ランド部のみを記録、再生に用いる。したがって、
ランド仕様の光磁気ディスクでのクロストークとは、任
意のランドを再生している場合に、両隣のランドに書か
れた記録ビットからの漏れのことである。グルーブ仕様
の光磁気ディスクでのクロストークとは、任意のグルー
ブを再生している場合に、両隣のグルーブに書かれた記
録ビットからの漏れのことである。In the case of a magneto-optical disk, for example, in the case of a land specification, a guide track in which the width of the land is made as wide as possible and the groove is narrowed is formed, and only the land portion is used for recording and reproduction. Therefore,
Crosstalk in a land-specific magneto-optical disk refers to leakage from recording bits written on adjacent lands when an arbitrary land is reproduced. Crosstalk in a groove-specific magneto-optical disk refers to leakage from recording bits written in adjacent grooves when reproducing an arbitrary groove.

【００９３】例えば、ＩＳ１００８９規格（ＩＳＯの
５．２５書き換え型光ディスクについて定めた規格）お
いては、１．６μｍピッチのガイドトラックにおいて、
最短記録ビット（０．７６５μｍ）に対するクロストー
ク量が−２６ｄＢ以下であるように定められている。For example, according to the IS10089 standard (standard defined for the 5.25 rewritable optical disk of the ISO), a guide track having a 1.6 μm pitch
The crosstalk amount with respect to the shortest recording bit (0.765 μm) is determined to be −26 dB or less.

【００９４】本参考形態では、このＩＳ１００８９規格
に定められたクロストーク測定法に基づき、０．７６５
μｍの記録ビットに対するクロストーク量を測定した。
ただし、本発明の光磁気ディスクの効果を確かめるた
め、トラックピッチ１．６μｍ、ランド幅とグルーブ幅
が同じ０．８μｍである前述のガラスの基板１におい
て、ランド部を再生したときの両隣接グルーブからのク
ロストーク量と、グルーブ部を再生したときの両隣接ラ
ンドからのクロストーク量とをそれぞれ測定した。In the present embodiment , 0.765 is set based on the crosstalk measurement method defined in the IS10089 standard.
The crosstalk amount for the recording bit of μm was measured.
However, in order to confirm the effect of the magneto-optical disk of the present invention, in the above-mentioned glass substrate 1 having a track pitch of 1.6 μm and the same land width and groove width of 0.8 μm, both adjacent grooves when the land portion was reproduced were used. And the amount of crosstalk from both adjacent lands when the groove portion was reproduced was measured.

【００９５】図１１にランド部を再生したときの測定結
果を示す。横軸は再生レーザーパワーであり、縦軸がク
ロストーク量である。図中、Ａと記した曲線は、本発明
の光磁気ディスクの測定結果であり、Ｂと記した曲線
は、上記の従来の光磁気ディスクの測定結果である。FIG. 11 shows a measurement result when the land portion is reproduced. The horizontal axis is the reproduction laser power, and the vertical axis is the crosstalk amount. In the figure, the curve indicated by A is the measurement result of the magneto-optical disk of the present invention, and the curve indicated by B is the measurement result of the above-described conventional magneto-optical disk.

【００９６】従来の光磁気ディスク（Ｂ）では、クロス
トーク量が−１５ｄＢ程度と大きいのに対して、本発明
の光磁気ディスク（Ａ）では、−３０ｄＢ程度と上記Ｉ
ＳＯ規格で定められた−２６ｄＢをクリアする値が得ら
れた。The conventional magneto-optical disk (B) has a large crosstalk amount of about -15 dB, whereas the magneto-optical disk (A) of the present invention has a crosstalk amount of about -30 dB.
A value that cleared -26 dB defined by the SO standard was obtained.

【００９７】また、グルーブ部を再生したときのクロス
トークについても、同様の結果が得られた。Similar results were obtained for the crosstalk when the groove portion was reproduced.

【００９８】このような結果が得られた理由を、図１２
を基づいて説明する。FIG. 12 shows the reason why such a result was obtained.
It will be described based on.

【００９９】図１２は、光磁気ディスクを真上からみた
ときの概略平面図であり、真ん中のランド部と両隣のグ
ループ部の円形（点線）で示された記録ビットが記録さ
れている。図中の大きい円（実線）が集光された再生光
ビーム７の光スポットであり、光スポットがランドに追
従するようにサーボがかけられている。図において、ラ
ンド幅及びグループ幅は０．８μｍ、光スポット径（光
ビーム直径）は１．７３μｍ（＝エアリーディスク径＝
１．２２×７８０ｎｍ／０．５５）、記録ビット直径は
説明の便宜上、０．３３５μｍの大きさで示している。FIG. 12 is a schematic plan view when the magneto-optical disk is viewed from directly above, in which recording bits indicated by circles (dotted lines) in the middle land portion and the adjacent group portions are recorded. The large circle (solid line) in the figure is the condensed light spot of the reproduction light beam 7, and servo is applied so that the light spot follows the land. In the figure, the land width and the group width are 0.8 μm, and the light spot diameter (light beam diameter) is 1.73 μm (= Airy disk diameter =
1.22 × 780 nm / 0.55), and the recording bit diameter is shown as 0.335 μm for convenience of explanation.

【０１００】同図において、再生光ビーム７の中には７
個の記録ビットが入って来ている。従来の光磁気ディス
クであれば、それぞれが垂直磁化（例えば記録ビット部
の磁化の向きが紙面に垂直上向きで、記録ビット以外の
領域で（消去部）の磁化は同下向き）を示し、極カー効
果を示すので、光ビーム内のそれぞれの信号を分離する
ことはできなくなる。このことが、前述の実験結果で従
来の光磁気ディスクの０．３５μｍでのＣ／Ｎが小さか
った理由及び隣接トラックからのクロストークが大きか
った理由である。In the figure, the reproduction light beam 7 includes
Incoming recording bits. In the case of a conventional magneto-optical disk, each shows a perpendicular magnetization (for example, the magnetization direction of the recording bit portion is upward perpendicular to the plane of the paper, and the magnetization of the (erase portion) is downward in the region other than the recording bit). Because of the effect, the individual signals in the light beam cannot be separated. This is the reason why the C / N at 0.35 μm of the conventional magneto-optical disk is small and the crosstalk from the adjacent track is large in the above experimental results.

【０１０１】一方、本発明の光磁気ディスクであれば、
再生光ビーム７の中心近傍の、周囲より温度の高い領域
では読み出し層３の磁化が垂直になり、それ以外の領域
では面内磁化のままである。従って、同図のように再生
光ビーム７の中に７個の記録ビットがあっても、再生に
寄与するのは再生光ビーム７の中心に位置する一つのみ
であるので、０．３３５μｍと非常に小さな記録ビット
であっても、Ｃ／Ｎが約３０ｄＢも得られる。さらに、
両隣接トラックからのクロストークも非常に小さくな
る。On the other hand, with the magneto-optical disk of the present invention,
The magnetization of the readout layer 3 becomes perpendicular in a region near the center of the reproduction light beam 7 and higher in temperature than the surroundings, and remains in-plane magnetization in other regions. Therefore, even if there are seven recording bits in the reproduction light beam 7 as shown in FIG. 3, only one located at the center of the reproduction light beam 7 contributes to reproduction. Even with very small recording bits, a C / N of about 30 dB can be obtained. further,
Crosstalk from both adjacent tracks is also very small.

【０１０２】以上、説明した通り、上記の読み出し層３
および記録層４を、ピッチが１．６μｍでランドとグル
ーブの幅の比を１：１としたトラック形状を有する基板
１の上に形成した光磁気ディスクにおいて、Ｃ／Ｎの値
がランド上でもグルーブ上でも変わらず、両方とも記録
再生に用いることができることと、ランド上およびグル
ーブ上の記録層４に情報を記録した場合においてもクロ
ストークは充分小さいことが実験により確認された。As described above, the readout layer 3
In a magneto-optical disk in which the recording layer 4 is formed on the substrate 1 having a track shape with a pitch of 1.6 μm and a land-to-groove width ratio of 1: 1 even when the value of C / N is on the land, It has been confirmed by experiments that both of them can be used for recording and reproduction without any change on the groove, and that the crosstalk is sufficiently small even when information is recorded on the recording layer 4 on the land and on the groove.

【０１０３】これにより、トラック長手方向の記録密度
およびトラック密度を上げることができ、かつ、ラン
ド、グルーブの両方を記録再生に用いるため、従来の光
磁気ディスクに比べて記録密度を大幅に増大させること
が可能になる。As a result, the recording density and the track density in the longitudinal direction of the track can be increased, and both the land and the groove are used for recording / reproducing. Therefore, the recording density is greatly increased as compared with the conventional magneto-optical disk. It becomes possible.

【０１０４】上記の読み出し層３のＧｄＦｅＣｏの組成
は、Ｇｄ_0.26（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74に限定されるも
のではない。読み出し層３は、室温でほぼ面内磁化を有
し、室温以上の温度で面内磁化から垂直磁化に移行すれ
ば良い。希土類遷移金属合金においては、希土類と遷移
金属の比率を変えれば、希土類と遷移金属の磁化が釣り
合う補償温度が変わる。ＧｄＦｅＣｏはこの補償温度付
近で垂直磁化を示す材料系であることからＧｄとＦｅＣ
ｏの比率を変えて補償温度を変えてやれば、面内磁化か
ら垂直磁化に移行する温度もこれにつれて変わる。The composition of GdFeCo in the readout layer 3 is not limited to Gd _0.26 (Fe _0.82 Co _0.18 ) _0.74 . The readout layer 3 has substantially in-plane magnetization at room temperature, and may shift from in-plane magnetization to perpendicular magnetization at a temperature equal to or higher than room temperature. In the rare earth transition metal alloy, if the ratio of the rare earth and the transition metal is changed, the compensation temperature at which the magnetization of the rare earth and the transition metal is balanced changes. Since GdFeCo is a material system that exhibits perpendicular magnetization near this compensation temperature, Gd and FeC
If the compensation temperature is changed by changing the ratio of o, the temperature at which the in-plane magnetization shifts to the perpendicular magnetization also changes accordingly.

【０１０５】図１３は、Ｇｄ_X（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_1-X
の系においてＸ、すなわちＧｄの組成を変えた場合の補
償温度及びキュリー温度を調べた結果である。FIG. 13 shows Gd _x (Fe _0.82 Co _0.18 ) _1-X
2 shows the results of examining the compensation temperature and the Curie temperature when the composition of X, that is, Gd, was changed in the system No.

【０１０６】補償温度が室温（２５℃）以上にある組成
範囲は、同図からあきらかなようにＸが０．１８以上で
ある。このうち、好ましくは、０．１９＜Ｘ＜０．２９
の範囲である。この範囲であれば、読み出し層３上に記
録層４を積層した実使用構成において、面内から垂直方
向に磁化の向きが移動する温度が室温〜２００℃程度の
範囲となる。この温度があまり高すぎると、再生用のレ
ーザーパワーが記録用のレーザーパワーと同じくらい高
くなってしまうので、記録層４に記録が行われて記録情
報が乱される恐れがある。In the composition range where the compensation temperature is equal to or higher than room temperature (25 ° C.), as is apparent from FIG. Of these, preferably, 0.19 <X <0.29
Range. Within this range, the temperature at which the direction of magnetization moves from the in-plane to the vertical direction in a practical configuration in which the recording layer 4 is stacked on the readout layer 3 is in the range of room temperature to 200 ° C. If the temperature is too high, the laser power for reproduction becomes as high as the laser power for recording, so that recording may be performed on the recording layer 4 and the recorded information may be disturbed.

【０１０７】次に、上記のＧｄＦｅＣｏ系において、Ｆ
ｅとＣｏの比率を変えた場合、すなわち、Ｇｄ_X（Ｆｅ
_1-YＣｏ_Y）_1-Xにおいて、Ｙを変えた場合における、特
性（補償温度及びキュリー温度）の変化について説明す
る。Next, in the above-mentioned GdFeCo system, F
When the ratio between e and Co is changed, that is, Gd _x (Fe
_1-Y Co _Y ) In _1-X , changes in characteristics (compensation temperature and Curie temperature) when Y is changed will be described.

【０１０８】図１４は、Ｙが０の場合、すなわち、Ｇｄ
_XＦｅ_1-Xの特性を示す図である。同図において、例え
ば、Ｇｄ組成がＸ＝０．３の場合、補償温度は約１２０
℃で、キュリー温度は約２００℃である。FIG. 14 shows the case where Y is 0, that is, Gd
Is a diagram showing characteristics of _X Fe _1-X. In the figure, for example, when the Gd composition is X = 0.3, the compensation temperature is about 120.
In ° C., the Curie temperature is about 200 ° C.

【０１０９】図１５は、Ｙが１の場合、すなわち、Ｇｄ
_XＣｏ_1-Xの特性を示す図である。同図において、例え
ば、Ｇｄ組成がＸ＝０．３の場合、補償温度は約２２０
℃で、キュリー温度は約４００℃である。FIG. 15 shows the case where Y is 1, ie, Gd
Is a diagram showing characteristics of _X Co _1-X. In the figure, for example, when the Gd composition is X = 0.3, the compensation temperature is about 220
In ° C., the Curie temperature is about 400 ° C.

【０１１０】以上のことから、Ｇｄ組成が同じであって
も、Ｃｏ量が増えると、補償温度及びキュリー温度が上
昇することがわかる。From the above, it can be seen that, even if the Gd composition is the same, the compensation temperature and the Curie temperature rise as the Co amount increases.

【０１１１】再生時の極カー回転角ができるだけ大きい
ほうが高いＣ／Ｎを得られるので、読み出し層３のキュ
リー温度は、高い方が有利である。ただし、あまりＣｏ
量を増やし過ぎると、面内から垂直に磁化方向が移行す
る温度も高くなるので注意が必要である。The higher the Curie temperature of the readout layer 3 is, the more advantageous it is because the larger the polar Kerr rotation angle at the time of reproduction is, the higher C / N can be obtained. However, not much Co
If the amount is excessively increased, the temperature at which the magnetization direction shifts from the in-plane to the perpendicular direction becomes high.

【０１１２】これらの点を考慮して、Ｇｄ_X（Ｆｅ_1-YＣ
ｏ_Y）_1-XにおけるＹの値は、０．１＜Ｙ＜０．５の範囲
が良い。Considering these points, Gd _x (Fe _{1 -Y} C
o _Y ) The value of Y in _1-X is preferably in the range of 0.1 <Y <0.5.

【０１１３】上記の読み出し層３において、面内磁化か
ら垂直磁化に移行する温度等の特性は、当然のことなが
ら、記録層４の組成、膜厚等の影響を受ける。これは、
両層の間に磁気的な交換結合力が働くからである。した
がって、記録層４の材料、組成、膜厚により、読み出し
層３の最適な組成、膜厚が変わる。In the readout layer 3, the characteristics such as the temperature at which the in-plane magnetization shifts to the perpendicular magnetization are naturally affected by the composition and thickness of the recording layer 4. this is,
This is because a magnetic exchange coupling force acts between the two layers. Therefore, the optimum composition and thickness of the readout layer 3 change depending on the material, composition and thickness of the recording layer 4.

【０１１４】以上説明した通り、本発明の光磁気ディス
クの読み出し層３の材料としては、面内磁化から垂直磁
化への急峻であるＧｄＦｅＣｏが最適である。但し、以
下に述べる希土類遷移金属合金も、使用可能である。As described above, as the material of the readout layer 3 of the magneto-optical disk of the present invention, GdFeCo which is steep from in-plane magnetization to perpendicular magnetization is optimal. However, the rare earth transition metal alloys described below can also be used.

【０１１５】Ｇｄ_XＦｅ_1-Xは、図１４に示すような特性
を有しており、０．２４＜Ｘ＜０．３５の範囲で室温以
上に補償温度を有する。Gd _x Fe ₁ -x has characteristics as shown in FIG. 14, and has a compensation temperature above room temperature in the range of 0.24 <X <0.35.

【０１１６】Ｇｄ_XＣｏ_1-Xは、図１５に示すような特性
を有しており、０．２０＜Ｘ＜０．３５の範囲で室温以
上に補償温度を有する。Gd _X Co _{1 -X} has characteristics as shown in FIG. 15, and has a compensation temperature above room temperature in the range of 0.20 <X <0.35.

【０１１７】遷移金属としてＦｅＣｏ合金を用いている
場合、Ｔｂ_X（Ｆｅ_YＣｏ_1-Y）_1-Xは、０．２０＜Ｘ＜
０．３０（このとき、Ｙは任意）の範囲で室温以上で補
償温度を有する。Ｄｙ_X（Ｆｅ_YＣｏ_1-Y）_1-Xは、０．２
４＜Ｘ＜０．３３（このとき、Ｙは任意）の範囲で室温
以上で補償温度を有する。Ｈｏ_X（Ｆｅ_YＣｏ_1-Y）
_1-Xは、０．２５＜Ｘ＜０．４５（このとき、Ｙは任
意）の範囲で室温以上で補償温度を有する。When an FeCo alloy is used as the transition metal, Tb _x (Fe _Y Co _{1 -Y} ) _{1 -X} is 0.20 <X <
It has a compensation temperature above room temperature in the range of 0.30 (where Y is arbitrary). Dy _X (Fe _Y Co _1-Y ) _1-X is 0.2
It has a compensation temperature above room temperature in the range of 4 <X <0.33 (where Y is arbitrary). Ho _X (Fe _Y Co _1-Y )
_1-X has a compensation temperature above room temperature in the range of 0.25 <X <0.45 (where Y is arbitrary).

【０１１８】以上の材料に加えて、光ピックアップの光
源である半導体レーザーの波長が、前述の７８０ｎｍよ
り短くなった場合に、その波長での極カー回転角が大き
な材料も、本発明の読み出し層３の材料として好適であ
る。In addition to the above materials, when the wavelength of the semiconductor laser, which is the light source of the optical pickup, is shorter than the above-mentioned 780 nm, the material having a large polar Kerr rotation angle at the wavelength is also used in the readout layer of the present invention. 3 is suitable as the material.

【０１１９】既に、説明した通り、光磁気ディスク等の
光ディスクにおいて、その記録密度を制限するのは光ビ
ームの大きさであり、これはレーザー波長と対物レンズ
の開口数により決まるものである。従って、今よりも波
長の短い半導体レーザーが出現すれば、それだけで光磁
気ディスクの記録密度は向上する。現在では、既に６７
０〜６８０ｎｍの波長の半導体レーザーがほぼ実用化レ
ベルにあり、波長４００ｎｍ以下のＳＨＧレーザーも精
力的に研究が進められている。As described above, in an optical disk such as a magneto-optical disk, the recording density is limited by the size of the light beam, which is determined by the laser wavelength and the numerical aperture of the objective lens. Therefore, if a semiconductor laser having a shorter wavelength than now appears, the recording density of the magneto-optical disk will be improved by itself. At present, 67
Semiconductor lasers having a wavelength of 0 to 680 nm are almost at the practical level, and SHG lasers having a wavelength of 400 nm or less are being energetically studied.

【０１２０】希土類遷移金属合金の極カー回転角は、波
長依存性を有しており、一般には、波長が短くなると、
極カー回転角は減少してしまう。短波長で極カー回転角
の大きい膜を用いると、信号強度が大きくなり高品質の
再生信号が得られることになる。The polar Kerr rotation angle of a rare-earth transition metal alloy has wavelength dependence. In general, as the wavelength becomes shorter,
The polar car rotation angle decreases. When a film having a short polarizer and a large polar Kerr rotation angle is used, the signal intensity is increased and a high-quality reproduced signal is obtained.

【０１２１】上述の読み出し層３の材料にＮｄ，Ｐｔ，
Ｐｒ，Ｐｄのうち少なくとも１種類の元素を微量添加す
ることで、読み出し層３として要求される特性をほとん
ど損なわずに、短波長での極カー回転角を増加すること
ができ、短波長レーザーを用いた場合でも高品質な再生
信号が得られる光磁気ディスクを提供できる。The materials of the above-mentioned readout layer 3 include Nd, Pt,
By adding a trace amount of at least one element of Pr and Pd, the polar Kerr rotation angle at a short wavelength can be increased without substantially impairing the characteristics required for the readout layer 3. It is possible to provide a magneto-optical disk capable of obtaining a high-quality reproduction signal even when used.

【０１２２】上記元素を添加した読み出し層３として
は、具体的には、例えば、Ｎｄ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｐｔ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｐｒ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｐｄ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95がある。As the readout layer 3 to which the above elements are added, specifically, for example, Nd _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , Pt _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , Pr _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , Pd _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 .

【０１２３】上記の光磁気ディスクの読み出し層３の材
料をＧｄ_0.26（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74からＮｄ
_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95に代え
て上記と同一の動作確認を行ったところ、ほぼ同じ結果
が得られた。The material of the readout layer 3 of the magneto-optical disk was changed from Gd _0.26 (Fe _0.82 Co _0.18 ) _0.74 to Nd
_The same operation as above was performed in place of _0.05 [Gd _0.26 (Fe _0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , and almost the same results were obtained.

【０１２４】更に、上述の読み出し層３の材料に、微量
のＣｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｎ，Ｂｅ，Ｎｉのうち少なくとも
１種類の元素を添加することで、読み出し層３自体の耐
環境性が向上する。すなわち、水分、酸素侵入による読
み出し層３の材料の酸化による特性の劣化を少なくし、
長期信頼性に優れた光磁気ディスクを提供できる。Further, by adding at least one element of a very small amount of Cr, V, Nb, Mn, Be and Ni to the above-mentioned material of the readout layer 3, the environmental resistance of the readout layer 3 itself is improved. I do. That is, deterioration of characteristics due to oxidation of the material of the readout layer 3 due to moisture and oxygen penetration is reduced,
A magneto-optical disk excellent in long-term reliability can be provided.

【０１２５】上記元素を添加した読み出し層３として
は、具体的には、例えば、Ｃｒ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｖ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｎｂ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｍｎ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｂｅ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95、Ｎｉ_0.05〔Ｇｄ_0.26（Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74〕_0.95がある。As the readout layer 3 to which the above elements are added, specifically, for example, Cr _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , V _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , Nb _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , Mn _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , Be _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 , Ni _0.05 [Gd _0.26 (Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.74 ] _0.95 .

【０１２６】ここで、読み出し層３の材料に上記元素を
添加したときのカー回転角の増大効果を調べるために行
った実験について説明する。Here, an experiment conducted for examining the effect of increasing the Kerr rotation angle when the above element is added to the material of the readout layer 3 will be described.

【０１２７】実験で用いたサンプルの構成を、図３０に
示す。FIG. 30 shows the structure of a sample used in the experiment.

【０１２８】サンプルは、ガラスの基板１上に透明誘導
体層２であるＡｌＮを８０ｎｍ形成し、その上に読み出
し層３としてＸ_0.1［Ｇｄ_0.28（Ｆｅ_0.8Ｃ
ｏ_0.2）_0.72］_0.9の組成の膜を５０ｎｍ堆積し、次に、
記録層４としてＤｙ_0.23Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_0.77を５０
ｎｍ堆積して、さらに全体を２０ｎｍのＡｌＮの保護層
５でコーティングすることにより、作製された。ここ
で、Ｘは添加元素であり、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｐｔ，Ｐｄのい
ずれかである。In the sample, AlN, which is a transparent dielectric layer 2, is formed to a thickness of 80 nm on a glass substrate 1, and X _0.1 [Gd _0.28 (Fe _0.8 C
o _0.2 ) _0.72 ] A film having a composition of _0.9 was deposited to a thickness of 50 nm, and then
Dy _0.23 Fe _0.82 Co _0.18 ) _0.77 for the recording layer 4
It was made by depositing in nm and further coating the whole with a protective layer 5 of AlN of 20 nm. Here, X is an additional element, and is one of Nd, Pr, Pt, and Pd.

【０１２９】ガラスの基板１側から測定したθＫ（カー
回転角）の波長依存性を図３１に示す。比較例として、
読み出し層３に上記添加物を含まないサンプルについて
の結果も同図に併せて示す。FIG. 31 shows the wavelength dependence of θK (Kerr rotation angle) measured from the glass substrate 1 side. As a comparative example,
The results for a sample containing no additive in the readout layer 3 are also shown in FIG.

【０１３０】添加物を含まないサンプルでは、θＫは長
波長域で大きいが、短波長域で小さくなる。一方、Ｎ
ｄ，Ｐｒ，Ｐｔ，Ｐｄを加えると短波長域でθＫが大き
くなる。In the sample containing no additive, θK is large in the long wavelength region, but becomes small in the short wavelength region. On the other hand, N
When d, Pr, Pt, and Pd are added, θK increases in a short wavelength range.

【０１３１】一般に、短波長レーザーを用いて光磁気デ
ィスクを再生すると、長波長レーザーを用いて光磁気デ
ィスクを再生する場合に比べてレーザー光を小さく絞り
込むことができるので、高密度に記録された記録ビット
を再生することができる。このとき、短波長でθＫの大
きい材料からなる読み出し層３を用いると、再生信号強
度が大きくなり、高品質の再生信号が得られる。Generally, when a magneto-optical disk is reproduced using a short-wavelength laser, the laser beam can be narrowed down as compared with the case where a magneto-optical disk is reproduced using a long-wavelength laser. The recorded bits can be reproduced. At this time, when the readout layer 3 made of a material having a short wavelength and a large θK is used, the intensity of the reproduced signal is increased, and a high-quality reproduced signal is obtained.

【０１３２】したがって、上記の実験結果によれば、短
波長レーザーを用いた記録再生には上記の添加元素を加
えることが有効な手段となる。なお、添加元素の添加量
を増やすほど、短波長域でθＫが増加する効果は顕著と
なる。Therefore, according to the above experimental results, it is effective means to add the above-mentioned additional element for recording / reproducing using a short wavelength laser. The effect of increasing θK in a short wavelength region becomes more remarkable as the amount of the additional element is increased.

【０１３３】Ｘ_0.1［Ｇｄ_0.28（Ｆｅ_0.8Ｃ
ｏ_0.2）_0.72］_0.9の組成では、６００ｎｍ以下の波長域
でのθＫの大きさは、θＫ（Ｐｔを添加）θＫ（Ｎｄを
添加）＞θＫ（Ｐｄを添加）θＫ（Ｐｒを添加）なる関
係がある（図３１参照）。したがって、少量のＰｔ、Ｎ
ｄを添加すれば、θＫを大きくできる。さらに、Ｐｔ添
加は読み出し層３の耐湿性を向上させる効果がある。つ
まり、Ｐｔ添加は短波長域でのθＫを大きくするととも
に、耐湿性を向上させる効果も合わせ持つ。X _0.1 [Gd _0.28 (Fe _0.8 C
In the composition of o _0.2 ) _0.72 ] _0.9 , the magnitude of θK in the wavelength range of 600 nm or less is such that θK (adding Pt), θK (adding Nd)> θK (adding Pd), and θK (adding Pr). (See FIG. 31). Therefore, a small amount of Pt, N
If d is added, θK can be increased. Further, the addition of Pt has an effect of improving the moisture resistance of the readout layer 3. That is, the addition of Pt has the effect of increasing θK in the short wavelength range and also has the effect of improving moisture resistance.

【０１３４】Ｘａ［Ｇｄ_0.28（Ｆｅ_0.8Ｃｏ_0.2）_0.72］
_1-aの組成の材料が非晶質から結晶質へと変化する添加
量を表１に示す。Xa [Gd _0.28 (Fe _0.8 Co _0.2 ) _0.72 ]
Table 1 shows the amount of addition of the material having the composition _1-a , which changes from amorphous to crystalline.

【０１３５】[0135]

【表１】 [Table 1]

【０１３６】表１から、ＮｄはＰｔよりも多量に添加可
能なことが分かる。即ち、Ｐｔを多量に添加すると、そ
の材料は非晶質から結晶質になり、このために、結晶粒
界によるノイズが増えるが、Ｎｄを多量に添加しても、
その材料は非晶質のままであり、組織は均一である。し
たがって、Ｎｄを多量に添加することが可能である。Table 1 shows that Nd can be added in a larger amount than Pt. That is, if a large amount of Pt is added, the material changes from amorphous to crystalline, which increases noise due to crystal grain boundaries.
The material remains amorphous and the texture is uniform. Therefore, it is possible to add a large amount of Nd.

【０１３７】Ｐｄ添加は、読み出し層３の耐湿性を向上
させる効果があり、しかも、Ｐｔよりも埋蔵量が多いた
め、安価である。ＰｒはＮｄと同様に多量に添加して
も、その材料は非晶質のままであり、多量に添加するこ
とが可能である。しかも、Ｎｄよりも読み出し層３の耐
湿性を向上させる効果がある。The addition of Pd has the effect of improving the moisture resistance of the readout layer 3, and is inexpensive because it has a larger reserve than Pt. Even if Pr is added in a large amount as in the case of Nd, the material remains amorphous and can be added in a large amount. Moreover, there is an effect of improving the moisture resistance of the readout layer 3 more than Nd.

【０１３８】次に、読み出し層３の材料に上記元素を添
加したときの耐湿性の改善効果を調べるために行った実
験について説明する。Next, an experiment conducted to examine the effect of improving the moisture resistance when the above element is added to the material of the readout layer 3 will be described.

【０１３９】実験で用いたサンプルの構成を、図３２に
示す。FIG. 32 shows the structure of a sample used in the experiment.

【０１４０】サンプルは、３．５インチ直径のグループ
付きのガラスの基板１上に透明誘導体層２であるＡｌＮ
を８０ｎｍ形成し、その上に読み出し層３としてＸ_0.1
［Ｇｄ_0.28（Ｆｅ_0.8Ｃｏ_0.2）_0.72］_0.9の組成の膜を
５０ｎｍ堆積し、次に、記録層４としてＤｙ_0.23Ｆｅ
_0.82Ｃｏ_0.18）_0.77を５０ｎｍ堆積して、さらに２０ｎ
ｍのＡｌＮの保護層５でコーティングし、５μｍのオー
バーコート層６でコーティングすることにより、作製さ
れた。ここで、Ｘは添加元素であり、Ｐｔ，Ｐｄ，Ｎ
ｄ，Ｐｒ，Ｎｉ，Ｍｎ，Ｂｅ，Ｖ，Ｎｂ，Ｃｒのいずれ
かである。A sample was prepared by forming a transparent dielectric layer 2 of AlN on a glass substrate 1 having a group of 3.5 inches in diameter.
Is formed to a thickness of 80 nm, and X _0.1
A film having a composition of [Gd _0.28 (Fe _0.8 Co _0.2 ) _0.72 ] _0.9 was deposited to a thickness of 50 nm, and then Dy _0.23 Fe
_0.82 Co _0.18 ) _0.77 is deposited to a thickness of 50 nm, and further 20 n
m of AlN and coated with a 5 μm overcoat layer 6. Here, X is an additive element, and Pt, Pd, N
d, Pr, Ni, Mn, Be, V, Nb, or Cr.

【０１４１】上記光磁気ディスクのサンプルを１２０
℃、２気圧（湿度１００％）の恒温槽に放置し、再生信
号のＣ／Ｎ比の時間変化を調べた。７８０ｎｍの光を用
い、０．７６μｍ長の記録ビットを記録再生した際のＣ
／Ｎ比の時間変化を図３３に示す。Ｃ／Ｎ比は、初期値
を０ｄＢとして、プロットされている。比較例として、
読み出し層３に上記添加物を含まないサンプルについて
の結果も同図に併せて示す。A sample of the above-mentioned magneto-optical disk was set to 120
The sample was left in a thermostat at 2 ° C. and 2 atm (humidity: 100%), and the change over time of the C / N ratio of the reproduced signal was examined. C at the time of recording and reproducing 0.76 μm long recording bits using 780 nm light
FIG. 33 shows the time change of the / N ratio. The C / N ratio is plotted with an initial value of 0 dB. As a comparative example,
The results for a sample containing no additive in the readout layer 3 are also shown in FIG.

【０１４２】図から明らかなように、Ｃｒ，Ｖ，Ｎｂ，
Ｍｎ，Ｂｅ，Ｎｉ，Ｐｔ，Ｐｄを添加した場合、耐湿性
が向上する。Ｃｒ添加は耐湿性向上に最も効果がある。As is apparent from the figure, Cr, V, Nb,
When Mn, Be, Ni, Pt, and Pd are added, the moisture resistance is improved. The addition of Cr is most effective in improving moisture resistance.

【０１４３】表２は、上記の光磁気ディスクのサンプル
のカー回転角（単位は度）であり、波長７８０ｎｍの光
で測定された。比較例として、読み出し層３に添加物を
含まない光磁気ディスクのサンプルのカー回転角も併せ
て示す。Table 2 shows the Kerr rotation angle (unit: degrees) of the sample of the above-described magneto-optical disk, which was measured with light having a wavelength of 780 nm. As a comparative example, the Kerr rotation angle of a sample of a magneto-optical disk containing no additive in the readout layer 3 is also shown.

【０１４４】[0144]

【表２】 [Table 2]

【０１４５】表から明らかなように、Ｎｉ添加は、耐湿
性向上に対して効果は少ないが、カー回転角を大きくす
る効果がある。As is clear from the table, the addition of Ni has little effect on improving the moisture resistance, but has the effect of increasing the Kerr rotation angle.

【０１４６】表３は、Ｘａ［Ｇｄ_0.28（Ｆｅ_0.8Ｃ
ｏ_0.2）_0.72］_1-aの組成の材料が非晶質から結晶質へと
変化する添加量ａを示す。Table 3 shows that Xa [Gd _0.28 (Fe _0.8 C
o _0.2 ) _0.72 ] indicates the added amount a at which the material having the composition of _1-a changes from amorphous to crystalline.

【０１４７】[0147]

【表３】 [Table 3]

【０１４８】表から明らかなように、Ｖを多量に添加し
ても非晶質のままであり、結晶粒界によるノイズを抑え
ることができ、しかも耐湿性を向上させることができ
る。As is clear from the table, even if a large amount of V is added, the amorphous state remains, the noise due to the crystal grain boundaries can be suppressed, and the moisture resistance can be improved.

【０１４９】表４は、Ｘ_0.05［Ｇｄ_0.28（Ｆｅ_0.8Ｃｏ
_0.2）_0.72］_0.95の組成の材料の結晶化温度Ｔｃｒｙｓ
ｔ（非晶質が結晶質へと変化する温度、単位は℃）を示
す。Table 4 shows that X _0.05 [Gd _0.28 (Fe _0.8 Co
_0.2 ) _0.72 ] The crystallization temperature Tcrys of the material having the composition of _0.95
t (temperature at which amorphous changes to crystalline, unit is ° C).

【０１５０】[0150]

【表４】 [Table 4]

【０１５１】表から明らかなように、Ｎｂ添加は結晶化
温度を上げる作用がある。このため、繰り返し記録再生
を行っても読み出し層３の劣化を抑えることができ、し
かも、耐湿性を向上させることができる。Ｍｎは土中の
埋蔵量が多く安価である。As is clear from the table, the addition of Nb has the effect of increasing the crystallization temperature. Therefore, the deterioration of the readout layer 3 can be suppressed even when recording and reproduction are repeatedly performed, and the moisture resistance can be improved. Mn has a large reserve in the soil and is inexpensive.

【０１５２】表５は、上記の光磁気ディスクのサンプル
のノイズレベル（単位はｄＢ）を示す。比較例として、
読み出し層３に添加物を含まない光磁気ディスクのサン
プルのノイズレベルも併せて示す。なお、比較例のサン
プルのノイズレベルを０ｄＢとした。Table 5 shows the noise level (unit: dB) of the sample of the magneto-optical disk. As a comparative example,
The noise level of a sample of a magneto-optical disk containing no additive in the readout layer 3 is also shown. The noise level of the sample of the comparative example was set to 0 dB.

【０１５３】[0153]

【表５】 [Table 5]

【０１５４】Ｂｅ，Ｎｉ添加によりノイズレベルが下が
る。Ｂｅ添加はＮｉ添加より耐湿性を向上させることが
できる。The addition of Be and Ni lowers the noise level. Be addition can improve moisture resistance more than Ni addition.

【０１５５】次に、上記の光磁気ディスクのサンプルを
用いて繰り返し記録再生を行った際の信号品質の劣化を
調べた。Next, the deterioration of signal quality when recording and reproduction were repeatedly performed using the sample of the magneto-optical disk was examined.

【０１５６】表６は、室温で１００万回繰り返し記録再
生後のＣ／Ｎ比（単位はｄＢ）を示す。比較例として、
読み出し層３に添加物を含まない光磁気ディスクのサン
プルのＣ／Ｎ比も併せて示す。なお、比較例のサンプル
のＣ／Ｎ比を０ｄＢとした。Table 6 shows the C / N ratio (unit: dB) after recording and reproducing 1 million times repeatedly at room temperature. As a comparative example,
The C / N ratio of a sample of a magneto-optical disk containing no additive in the readout layer 3 is also shown. In addition, the C / N ratio of the sample of the comparative example was set to 0 dB.

【０１５７】[0157]

【表６】 [Table 6]

【０１５８】次に、本参考形態においては、読み出し層
３の膜厚を５０ｎｍとしたが、膜厚はこれに限定される
ものではない。情報の記録再生は、図１の通り、読み出
し層３側からなされるが、読み出し層３の膜厚が薄すぎ
ると、記録層４の情報が透けてしまう。すなわち、読み
出し層３の面内磁化によるマスク効果が小さくなる。Next, in the present embodiment , the thickness of the readout layer 3 is set to 50 nm, but the thickness is not limited to this. Recording and reproduction of information are performed from the readout layer 3 side, as shown in FIG. 1. However, if the thickness of the readout layer 3 is too small, the information in the recording layer 4 will be transparent. That is, the mask effect due to the in-plane magnetization of the readout layer 3 is reduced.

【０１５９】前述の通り、読み出し層３の磁気特性は記
録層４の影響を受けるため、各々の材料、組成によって
読み出し層３の膜厚は変わってくるが、読み出し層３の
厚みとしては、２０ｎｍ以上が必要である。また、好適
には５０ｎｍ以上であれば良く、あまり厚すぎると記録
層の情報が転写されなくなるので１００ｎｍ程度以下の
膜厚が好適である。As described above, since the magnetic properties of the readout layer 3 are affected by the recording layer 4, the thickness of the readout layer 3 varies depending on each material and composition, but the thickness of the readout layer 3 is 20 nm. The above is necessary. The thickness is preferably 50 nm or more. If the thickness is too large, the information on the recording layer will not be transferred. Therefore, the thickness is preferably about 100 nm or less.

【０１６０】読み出し層３の膜厚が２０ｎｍ、３０ｎ
ｍ、４０ｎｍ、５０ｎｍの光磁気ディスク（図１）を作
製し、基板１側から測定した室温での極カー・ヒステリ
シス・ループを図３４（ａ）〜（ｄ）にそれぞれ示す。The readout layer 3 has a thickness of 20 nm and 30 n
34 (a) to 34 (d) show polar Kerr hysteresis loops at room temperature, measured from the substrate 1 side, by manufacturing magneto-optical disks of m, 40 nm and 50 nm (FIG. 1), respectively.

【０１６１】記録層４の組成は室温で補償組成に近い値
に調整されているため室温での記録層４の保磁力は非常
に大きいが、充分大きな磁界を印加すると記録層４の磁
化方向は反転する。このため、読み出し層３が記録層４
の磁化方向に交換結合力による影響を受け、図のような
極カー・ヒステリシス・ループを示す。Since the composition of the recording layer 4 is adjusted to a value close to the compensation composition at room temperature, the coercive force of the recording layer 4 at room temperature is very large. However, when a sufficiently large magnetic field is applied, the magnetization direction of the recording layer 4 changes. Invert. For this reason, the readout layer 3 is
Is affected by the exchange coupling force in the magnetization direction of the magnetic field, and shows a polar Kerr hysteresis loop as shown in the figure.

【０１６２】どの場合も交換結合力が働いているが、読
み出し層３の膜厚が薄い場合（図３４（ａ）および
（ｂ））、印加磁界がゼロのとき読み出し層３の磁化が
完全に記録層４の磁化と同じ方向に向き、記録層４の情
報が読み出し層３によりマスクされていないことが分か
る。これに対し、読み出し層３の膜厚が厚くなると（同
図（ｃ））、マスク効果が次第に現れ、読み出し層３の
膜厚が５０ｎｍである同図（ｄ）では、記録層４の情報
が読み出し層３によりほぼ完全にマスクされていること
が分かる。In all cases, the exchange coupling force acts, but when the thickness of the readout layer 3 is small (FIGS. 34A and 34B), the magnetization of the readout layer 3 is completely reduced when the applied magnetic field is zero. It can be seen that the information is oriented in the same direction as the magnetization of the recording layer 4 and the information of the recording layer 4 is not masked by the readout layer 3. On the other hand, when the thickness of the readout layer 3 is increased (FIG. 3C), the mask effect gradually appears, and in FIG. It can be seen that the mask is almost completely masked by the readout layer 3.

【０１６３】次に、読み出し層３のＧｄＦｅＣｏの組成
を変えて補償温度を変化させ、同時に膜厚も変化させた
ときのマスク効果の度合いを調べるために、図１の構成
の光磁気ディスクを作製し、基板１側から測定した室温
での極カー・ヒステリシス・ループより、角形比を求め
た。結果を図３５に示す。図中の温度は、補償温度を示
している。Next, in order to examine the degree of the mask effect when the compensation temperature is changed by changing the composition of GdFeCo of the readout layer 3 and at the same time the film thickness is changed, a magneto-optical disk having the structure shown in FIG. Then, the squareness ratio was determined from the polar Kerr hysteresis loop at room temperature measured from the substrate 1 side. The results are shown in FIG. The temperature in the figure indicates the compensation temperature.

【０１６４】なお、角形比は、図３６に示すように、角
形比＝θｋｒ（磁場ゼロでのカー回転角）／θｋｓ（磁
場１５ｋＯｅでのカー回転角）より計算した。角形比＝
１のとき、マスク効果が全くないことを表しており、角
形比＝０のとき、完全に情報がマスクされていることを
表している。The squareness ratio was calculated from the squareness ratio = θkr (Kerr rotation angle at zero magnetic field) / θks (Kerr rotation angle at 15 kOe magnetic field) as shown in FIG. Squareness ratio =
When it is 1, it indicates that there is no masking effect, and when the squareness ratio = 0, it indicates that the information is completely masked.

【０１６５】図より、補償温度が高いほど、また、読み
出し層３の膜厚が厚いほどマスク効果が大きいことが分
かる。読み出し層３の膜厚が１００ｎｍ以下の場合、補
償温度が１００℃以下では全くマスク効果はない。マス
ク効果を得るためには、補償温度が１２５℃以上である
必要があり、好ましくは１５０℃以上の補償温度が必要
である。同様に、マスク効果を得るためには、読み出し
層３の膜厚を１０ｎｍ以上にする必要があることが分か
り、好ましくは２０ｎｍ以上が必要である。It can be seen from the figure that the higher the compensation temperature and the greater the thickness of the readout layer 3, the greater the mask effect. When the thickness of the readout layer 3 is 100 nm or less, there is no mask effect at a compensation temperature of 100 ° C. or less. In order to obtain a mask effect, the compensation temperature needs to be 125 ° C. or higher, and preferably a compensation temperature of 150 ° C. or higher. Similarly, in order to obtain a mask effect, it is found that the thickness of the readout layer 3 needs to be 10 nm or more, preferably 20 nm or more.

【０１６６】次に、読み出し層３のＧｄＦｅＣｏの組成
を変えて、その磁気的な特性が室温からキュリー温度に
至る温度域で希土類副格子の磁化が過多となるようにし
て、すなわち、補償温度を持たない組成にして、膜厚を
変化させたときのマスク効果の度合いを調べるために、
角形比を求めた。結果を図３７に示す。図中の温度は、
キュリー温度を示している。Next, the composition of GdFeCo of the readout layer 3 is changed so that the magnetic properties of the rare-earth sublattice become excessive in the temperature range from room temperature to the Curie temperature, that is, the compensation temperature is reduced. To investigate the degree of the mask effect when changing the film thickness to a composition that does not have
The squareness ratio was determined. The results are shown in FIG. The temperature in the figure is
Curie temperature is shown.

【０１６７】図より、キュリー温度が高いほど、また、
読み出し層３の膜厚が厚いほどマスク効果が大きいこと
が分かる。読み出し層３の膜厚が１００ｎｍ以下の場
合、キュリー温度が１００℃以下では全くマスク効果は
ない。マスク効果を得るためには、キュリー温度が１３
０℃以上である必要があり、好ましくは２００℃以上の
キュリー温度が必要である。同様に、マスク効果を得る
ためには、読み出し層３の膜厚を１０ｎｍ以上にする必
要があることが分かり、好ましくは２０ｎｍ以上が必要
である。From the figure, it can be seen that the higher the Curie temperature,
It can be seen that the greater the thickness of the readout layer 3, the greater the mask effect. When the thickness of the readout layer 3 is 100 nm or less, there is no mask effect at a Curie temperature of 100 ° C. or less. In order to obtain the mask effect, the Curie temperature must be 13
The temperature must be 0 ° C. or higher, and preferably a Curie temperature of 200 ° C. or higher. Similarly, in order to obtain a mask effect, it is found that the thickness of the readout layer 3 needs to be 10 nm or more, preferably 20 nm or more.

【０１６８】上記においては、読み出し層３の膜厚が１
００ｎｍ以下の場合について説明したが、読み出し層３
の膜厚を２００ｎｍした場合も、良好なマスク効果が得
られる。しかしながら、読み出し層３および記録層４を
昇温するために、非常に大きなレーザーパワーが必要と
なる。半導体レーザーの性能を考えると、読み出し層３
の膜厚は２００ｎｍ以下が好ましく、１５０ｎｍ以下が
より好ましい。また、半導体レーザーの性能から読み出
し層３の補償温度、キュリー温度は５００℃以下が好ま
しく、４５０℃以下がより好ましい。In the above, the thickness of the readout layer 3 is 1
Although the case of not more than 00 nm has been described, the readout layer 3
Even when the film thickness is 200 nm, a good mask effect can be obtained. However, in order to raise the temperature of the readout layer 3 and the recording layer 4, a very large laser power is required. Considering the performance of the semiconductor laser, the readout layer 3
Is preferably 200 nm or less, more preferably 150 nm or less. Further, the compensation temperature and the Curie temperature of the readout layer 3 are preferably 500 ° C. or less, more preferably 450 ° C. or less, from the performance of the semiconductor laser.

【０１６９】記録層４の材料は、室温からキュリー温度
まで垂直磁化を示す材料で、そのキュリー温度が記録に
適した温度範囲、すなわち１５０〜２５０℃程度であれ
ば良い。上記参考形態では、記録層４としてＤｙＦｅＣ
ｏを採用したが、ＤｙＦｅＣｏは、その垂直磁気異方性
が小さい材料であり、そのため、記録の際に必要な外部
磁界が低くても記録が行える。これは、特に、後述する
磁界変調オーバーライト記録方式においては、非常に有
利な点となり、記録用外部磁界発生装置の小型化、低消
費電力化が可能となる。The material of the recording layer 4 is a material exhibiting perpendicular magnetization from room temperature to the Curie temperature, and the Curie temperature may be in a temperature range suitable for recording, that is, about 150 to 250 ° C. In the above embodiment , the recording layer 4 is made of DyFeC
Although o was adopted, DyFeCo is a material having a small perpendicular magnetic anisotropy, so that recording can be performed even when the external magnetic field required for recording is low. This is a very advantageous point particularly in the magnetic field modulation overwrite recording method described later, and it is possible to reduce the size and power consumption of the recording external magnetic field generator.

【０１７０】ＤｙＦｅＣｏ以外では、ＴｂＦｅＣｏ，Ｇ
ｄＴｂＦｅ，ＮｄＤｙＦｅＣｏ，ＧｄＤｙＦｅＣｏ，Ｇ
ｄＴｂＦｅＣｏが記録層４に好適である。一例を挙げれ
ば、Ｔｂ_X（Ｆｅ_YＣｏ_1-Y）_1-Xにおいて、任意のＹに対
し、０．１０≦Ｘ≦０．３０を満足しておれば良い。よ
り具体的には、例えば、Ｔｂ_0.18（Ｆｅ_0.88Ｃｏ_0.12）
_0.82がある。Except for DyFeCo, TbFeCo, G
dTbFe, NdDyFeCo, GdDyFeCo, G
dTbFeCo is suitable for the recording layer 4. For example, in Tb _x (Fe _Y Co _1-Y ) _1-X, it suffices that 0.10 ≦ X ≦ 0.30 is satisfied for an arbitrary Y. More specifically, for example, Tb _0.18 (Fe _0.88 Co _0.12 )
There is _0.82 .

【０１７１】上記の光磁気ディスクの記録層４の材料を
Ｄｙ_0.23（Ｆｅ_0.78Ｃｏ_0.22）_0.77からＴｂ_0.18（Ｆｅ
_0.88Ｃｏ_0.12）_0.82に代えて上記と同一の動作確認を行
ったところ、ほぼ同じ結果が得られた。The material of the recording layer 4 of the magneto-optical disk was changed from Dy _0.23 (Fe _0.78 Co _0.22 ) _0.77 to Tb _0.18 (Fe
_0.88 Co _0.12 ) When the same operation as above was performed in place of _0.82 , almost the same results were obtained.

【０１７２】ＴｂＦｅＣｏは、その垂直磁気異方性Ｋｕ
が約３〜４×１０⁶ｅｒｇ／ｃｃと大きい材料であり、
高温でのカーループの角形が崩れず、再生信号品質が非
常に高い光磁気記録媒体を供給することができる。TbFeCo has a perpendicular magnetic anisotropy Ku.
Is a material as large as about 3 to 4 × 10 ⁶ erg / cc,
It is possible to supply a magneto-optical recording medium having a very high reproduction signal quality without breaking the square shape of the car loop at a high temperature.

【０１７３】参考までに、上記ＴｂＦｅＣｏを記録層４
として用いた光磁気ディスクで得られたカーループを図
３８（ａ）に示し、垂直磁気異方性Ｋｕが約１×１０⁶
ｅｒｇ／ｃｃであるＤｙＦｅＣｏを記録層４として用い
た光磁気ディスクで得られたカーループを図３８（ｂ）
に示す。なお、カーループは、１８０℃の下で、光磁気
ディスクの基板１に対して記録層４側から測定された。For reference, the above TbFeCo was added to the recording layer 4.
FIG. 38 (a) shows a Kerr loop obtained with the magneto-optical disk used as the disk, and has a perpendicular magnetic anisotropy Ku of about 1 × 10 ⁶
FIG. 38B shows a Kerr loop obtained from a magneto-optical disk using DyFeCo of erg / cc as the recording layer 4.
Shown in The Kerr loop was measured at 180 ° C. from the recording layer 4 side with respect to the substrate 1 of the magneto-optical disk.

【０１７４】ＤｙＦｅＣｏでは角形が悪くなっているの
に対し、ＴｂＦｅＣｏの角形は垂直磁気異方性Ｋｕが大
きいことを示している。このため、記録ビットはきれい
なエッジ形状となり、再生信号品質が高くなる。[0174] While the square shape of DyFeCo is worse, the square shape of TbFeCo indicates that the perpendicular magnetic anisotropy Ku is large. For this reason, the recording bit has a clean edge shape, and the reproduction signal quality is improved.

【０１７５】また、上記の記録層４の材料に、Ｃｒ，
Ｖ，Ｎｂ，Ｍｎ，Ｂｅ，Ｎｉのうち少なくとも１種類の
元素を添加すると、より長期信頼性を向上させることが
できる。また、記録層４の膜厚は、読み出し層３の材
料、組成、膜厚との兼ね合いで決まるものであるが、２
０ｎｍ程度以上で１００ｎｍ以下が好適である。The material of the recording layer 4 is Cr,
By adding at least one element of V, Nb, Mn, Be, and Ni, long-term reliability can be further improved. The thickness of the recording layer 4 is determined in consideration of the material, composition, and thickness of the readout layer 3.
The thickness is preferably about 0 nm or more and 100 nm or less.

【０１７６】透明誘電体２のＡｌＮの膜厚は、８０ｎｍ
に限定されるものではない。The film thickness of AlN of the transparent dielectric 2 is 80 nm.
However, the present invention is not limited to this.

【０１７７】透明誘電体層２の膜厚は、光磁気ディスク
を再生する際、読み出し層３からの極カー回転角を光の
干渉効果を利用して増大させる、いわゆるカー効果エン
ハンスメントを考慮して決定される。再生時の信号品質
（Ｃ／Ｎ）をできるだけ大きくさせるには、極カー回転
角を大きくさせることが必要であり、このため、透明誘
電体層２の膜厚は、極カー回転角が最も大きくなるよう
に設定される。The thickness of the transparent dielectric layer 2 is determined in consideration of the so-called Kerr effect enhancement in which the polar Kerr rotation angle from the readout layer 3 is increased by utilizing the light interference effect when reproducing the magneto-optical disk. It is determined. In order to maximize the signal quality (C / N) during reproduction, it is necessary to increase the polar Kerr rotation angle. Therefore, the film thickness of the transparent dielectric layer 2 is the largest at the polar Kerr rotation angle. Is set to

【０１７８】この膜厚は、再生光の波長、透明誘電体層
２の屈折率により変化する。本参考形態の場合は、７８
０ｎｍの再生光波長に対して、屈折率２．０のＡｌＮを
用いているので、透明誘電体層２のＡｌＮの膜厚を３０
〜１２０ｎｍ程度にすると、カー効果エンハンスメント
の効果が大きくなる。尚、好ましくは、透明誘電体層２
のＡｌＮの膜厚は、７０〜１００ｎｍであり、この範囲
であれば極カー回転角がほぼ最大になる。This film thickness changes depending on the wavelength of the reproduction light and the refractive index of the transparent dielectric layer 2. In the case of the present embodiment , 78
Since AlN having a refractive index of 2.0 is used for the reproduction light wavelength of 0 nm, the thickness of the AlN of the transparent dielectric layer 2 is set to 30.
When the thickness is about 120 nm, the effect of the Kerr effect enhancement is increased. Preferably, the transparent dielectric layer 2
Has a thickness of 70 to 100 nm, and within this range, the polar Kerr rotation angle becomes almost maximum.

【０１７９】上記の説明は、波長が７８０ｎｍの再生光
に対するものであったが、例えば波長が半分の４００ｎ
ｍの再生光に対しては、透明誘電体層２の膜厚もほぼ半
分にすれば良い。The above description has been made with respect to reproduction light having a wavelength of 780 nm.
For the reproduction light of m, the thickness of the transparent dielectric layer 2 may be reduced to almost half.

【０１８０】更に、透明誘電体層２の材料の違いあるい
は製法により透明誘電体層２の屈折率が変わった場合
は、屈折率と膜厚を乗じた値（光路長）が同じになるよ
うに、透明誘電体層２の膜厚を設定すれば良い。Further, when the refractive index of the transparent dielectric layer 2 is changed due to the difference in the material of the transparent dielectric layer 2 or the manufacturing method, the value (optical path length) obtained by multiplying the refractive index by the film thickness is made equal. The thickness of the transparent dielectric layer 2 may be set.

【０１８１】すなわち、本参考形態においては、透明誘
電体層２のＡｌＮの屈折率２と膜厚８０ｎｍを乗じた、
１６０ｎｍが透明誘電体層２の光路長となるが、このＡ
ｌＮの屈折率が２から２．５に変わった場合は、１６０
ｎｍ／２．５＝６４ｎｍ程度に膜厚を設定すれば良いこ
とになる。That is, in this embodiment , the refractive index 2 of AlN of the transparent dielectric layer 2 is multiplied by the film thickness of 80 nm.
The optical path length of the transparent dielectric layer 2 is 160 nm.
If the refractive index of 1N changes from 2 to 2.5, 160
It suffices to set the film thickness to about nm / 2.5 = 64 nm.

【０１８２】上記の説明からわかるように、透明誘電体
層２の屈折率は大きいほど、その膜厚は少なくて済む。
また、屈折率が大きいほど、極カー回転角のエンハンス
効果も大きくなる。As can be seen from the above description, the larger the refractive index of the transparent dielectric layer 2, the smaller the thickness of the transparent dielectric layer 2.
Also, the larger the refractive index, the greater the effect of enhancing the polar Kerr rotation angle.

【０１８３】ＡｌＮは、スパッター時のスパッターガス
であるＡｒとＮ２の比率、ガス圧力等を変えることによ
り、その屈折率が変わるが、おおむね１．８〜２．１程
度と比較的屈折率が大きな材料であり、透明誘電体層２
の材料として好適である。AlN changes its refractive index by changing the ratio of Ar and N2, which are sputter gases at the time of sputtering, and the gas pressure. However, AlN has a relatively large refractive index of about 1.8 to 2.1. A transparent dielectric layer 2
It is suitable as a material for.

【０１８４】また、透明誘電体層２は、上記のカー効果
エンハンスメントだけでなく、保護層５とともに読み出
し層３と記録層４の希土類遷移金属合金磁性層の酸化を
防止する役割がある。The transparent dielectric layer 2 has a role of not only enhancing the Kerr effect but also preventing the rare-earth transition metal alloy magnetic layers of the readout layer 3 and the recording layer 4 from being oxidized together with the protective layer 5.

【０１８５】希土類遷移金属からなる磁性膜は、非常に
酸化されやすく、特に希土類が酸化されやすい。このた
め外部からの酸素、水分侵入を極力防止しなければ、酸
化によりその特性が著しく劣化してしまう。The magnetic film made of a rare-earth transition metal is very easily oxidized, and particularly rare earth is easily oxidized. Therefore, unless the intrusion of oxygen and moisture from the outside is prevented as much as possible, the characteristics are significantly deteriorated by oxidation.

【０１８６】そのため、本参考形態においては、読み出
し層３と記録層４の両側をＡｌＮで挟み込む形の構成を
取っている。ＡｌＮは、その成分に酸素を含まない窒化
膜であり、非常に耐湿性に優れた材料である。For this reason, in this embodiment , both sides of the readout layer 3 and the recording layer 4 are sandwiched by AlN. AlN is a nitride film containing no oxygen in its component, and is a material having extremely excellent moisture resistance.

【０１８７】更に、ＡｌＮは、屈折率が２前後と比較的
大きく、かつ透明であり、その酸素をその成分に含まな
いので、長期安定性に優れた光磁気ディスクを提供でき
る。加えて、Ａ１ターゲットを用いて、Ｎ２ガスもしく
はＡｒとＮ２の混合ガスを導入して反応性ＤＣ（直流電
流）スパッタリングを行うことが可能であり、ＲＦ（高
周波）スパッターに比べて成膜速度が大きいこと点でも
有利である。Further, since AlN has a relatively large refractive index of about 2 and is transparent, and does not contain oxygen in its component, it can provide a magneto-optical disk excellent in long-term stability. In addition, it is possible to perform reactive DC (direct current) sputtering by introducing an N2 gas or a mixed gas of Ar and N2 using an A1 target, and the deposition rate is higher than that of RF (high frequency) sputtering. It is also advantageous in that it is large.

【０１８８】ＡｌＮ以外の透明誘電体層２としては、比
較的屈折率が大きいＳｉＮ、ＡｌＳｉＮ、ＡｌＴａＮ、
ＳｉＡｌＯＮ、ＴｉＮ、ＴｉＯＮ、ＢＮ、ＺｎＳ、Ｔｉ
Ｏ₂、ＢａＴｉＯ₃、ＳｒＴｉＯ₃等が好適である。この
うち特にＳｉＮ、ＡｌＳｉＮ、ＡｌＴｉＮ、ＴｉＮ、Ｂ
Ｎ、ＺｎＳは、その成分に酸素を含まず、耐湿性に優れ
た光磁気ディスクを提供することができる。As the transparent dielectric layer 2 other than AlN, SiN, AlSiN, AlTaN,
SiAlON, TiN, TiON, BN, ZnS, Ti
O ₂ , BaTiO ₃ , SrTiO _{3 and the} like are suitable. Of these, SiN, AlSiN, AlTiN, TiN, B
N and ZnS do not contain oxygen in their components and can provide a magneto-optical disk having excellent moisture resistance.

【０１８９】ＳｉＮ、ＡｌＳｉＮ、ＡｌＴａＮ、ＳｉＡ
ｌＯＮ、ＴｉＮ、ＴｉＯＮ、ＢＮ、ＺｎＳ、ＴｉＯ₂、
ＢａＴｉＯ₃、ＳｒＴｉＯ₃は、スパッタリングにより形
成される。ＡｌＳｉＮ、ＡｌＴａＮ、ＴｉＮ、ＴｉＯ₂
は、反応性ＤＣスパッタリングを行うことが可能であ
り、ＲＦ（高周波）スパッターに比べて成膜速度が大き
いこと点でも有利である。なお、ＳｉＮ、ＡｌＳｉＮ、
ＡｌＴａＮ、ＢＮ、ＳｉＡｌＯＮの屈折率は、１．８〜
２．１、ＴｉＮの屈折率は、２〜２．４、ＺｎＳ、Ｔｉ
ＯＮの屈折率は、２〜２．５、ＴｉＯ₂、ＢａＴｉＯ₃、
ＳｒＴｉＯ₃の屈折率は、２．２〜２．８であり、これ
らの屈折率はスパッタリング条件により変わる。SiN, AlSiN, AlTaN, SiA
1ON, TiN, TiON, BN, ZnS, TiO ₂ ,
BaTiO ₃ and SrTiO ₃ are formed by sputtering. AlSiN, AlTaN, TiN, TiO ₂
Is capable of performing reactive DC sputtering, and is also advantageous in that the film formation rate is higher than that of RF (high frequency) sputtering. In addition, SiN, AlSiN,
The refractive index of AlTaN, BN, and SiAlON is 1.8 to
2.1, the refractive index of TiN is 2 to 2.4, ZnS, Ti
ON has a refractive index of 2 to 2.5, TiO ₂ , BaTiO ₃ ,
SrTiO _{3 has} a refractive index of 2.2 to 2.8, and these refractive indexes vary depending on sputtering conditions.

【０１９０】ＳｉＮ、ＡｌＳｉＮは、熱伝導率が比較的
小さいため、高記録感度光磁気ディスクに適している。
ＡｌＴａＮ、ＴｉＮはそれぞれＴａ、Ｔｉが含まれてい
るため、耐食性（孔食性）に優れた光磁気ディスクが得
られる。ＢＮは非常に硬く、摩耗に強いので、傷の発生
を防ぎ、長期安定性に優れた光磁気ディスクが得られ
る。ＺｎＳ、ＳｉＡｌＯＮ、ＴｉＯＮは、ターゲットが
安価である。ＴｉＯ₂、ＢａＴｉＯ₃、ＳｒＴｉＯ₃は、
屈折率が非常に大きいので、再生信号品質に優れた光磁
気ディスクが得られる。Since SiN and AlSiN have relatively low thermal conductivity, they are suitable for high recording sensitivity magneto-optical disks.
Since AlTaN and TiN contain Ta and Ti, respectively, a magneto-optical disk having excellent corrosion resistance (pitting corrosion) can be obtained. Since BN is very hard and resistant to wear, scratches are prevented and a magneto-optical disk with excellent long-term stability can be obtained. ZnS, SiAlON, and TiON have inexpensive targets. TiO ₂ , BaTiO ₃ , SrTiO ₃ are
Since the refractive index is very large, a magneto-optical disk having excellent reproduction signal quality can be obtained.

【０１９１】上記の光磁気ディスクの透明誘電体層２の
材料をＡｌＮからＳｉＮに代えて上記と同一の動作確認
を行ったところ、ほぼ同じ結果が得られた。When the same operation as above was confirmed by changing the material of the transparent dielectric layer 2 of the magneto-optical disk from AlN to SiN, almost the same results were obtained.

【０１９２】保護層５のＡｌＮの膜厚は、本参考形態で
は２０ｎｍとしたが、これに限定するものでは無い。保
護層５の膜厚の範囲としては、１〜２００ｎｍが好適で
ある。The thickness of AlN of the protective layer 5 is set to 20 nm in the present embodiment , but is not limited to this. The thickness of the protective layer 5 is preferably in the range of 1 to 200 nm.

【０１９３】本参考形態においては、読み出し層３と記
録層４の両磁性層あわせた膜厚は１００ｎｍであり、こ
の膜厚になると光ピックアップから入射された光はほと
んど磁性層を透過しない。したがって、保護層５の膜厚
に特に制限はなく、磁性層の酸化を長期に渡って防止す
るに必要な膜厚であれば良い。酸化防止能力が低い材料
であれば膜厚を厚く、高ければ薄くすれば良い。In this embodiment , the total thickness of both the readout layer 3 and the recording layer 4 is 100 nm. At this thickness, light incident from the optical pickup hardly passes through the magnetic layer. Therefore, the thickness of the protective layer 5 is not particularly limited, and may be any thickness as long as it is necessary to prevent the oxidation of the magnetic layer for a long time. If the material has a low oxidation preventing ability, the film thickness may be large, and if it is high, the material may be thin.

【０１９４】保護層５は、透明誘導体層２ととものその
熱伝導率が、光磁気ディスクの記録感度特性に影響を及
ぼす。記録感度特性とは、記録、あるいは消去に必要な
レーザーパワーがどの程度必要かを意味する。光磁気デ
ィスクに入射された光はそのほとんどが、透明誘導体層
２を通過し、吸収膜である読み出し層３・記録層４に吸
収されて、熱に変わる。このとき、読み出し層３・記録
層４の熱が透明誘導体層２、保護層５に熱伝導により移
動する。したがって、透明誘導体層２、保護層５の熱伝
導率および熱容量（比熱）が記録感度に影響を及ぼす。The thermal conductivity of the protective layer 5 together with the transparent dielectric layer 2 affects the recording sensitivity characteristics of the magneto-optical disk. The recording sensitivity characteristic means how much laser power is required for recording or erasing. Most of the light incident on the magneto-optical disk passes through the transparent dielectric layer 2 and is absorbed by the readout layer 3 and the recording layer 4, which are absorption films, and is converted into heat. At this time, heat of the readout layer 3 and the recording layer 4 moves to the transparent dielectric layer 2 and the protective layer 5 by heat conduction. Therefore, the thermal conductivity and heat capacity (specific heat) of the transparent dielectric layer 2 and the protective layer 5 affect the recording sensitivity.

【０１９５】このことは、光磁気ディスクの記録感度を
保護層５の膜厚である程度制御できるということを意味
し、例えば、記録感度を上げる（低いレーザーパワーで
記録消去を行える）目的であれば保護層５の膜厚を薄く
すれば良い。通常は、レーザー寿命を延ばすため、記録
感度はある程度高い方が有利であり、保護層５の膜厚は
薄い方が良い。This means that the recording sensitivity of the magneto-optical disk can be controlled to some extent by the thickness of the protective layer 5, and for example, if the purpose is to increase the recording sensitivity (record and erase with a low laser power) What is necessary is just to make the film thickness of the protective layer 5 thin. Usually, in order to prolong the laser life, it is advantageous that the recording sensitivity is somewhat high, and it is better that the protective layer 5 has a small thickness.

【０１９６】ＡｌＮはこの意味でも好適で、耐湿性に優
れるので、保護層５として用いた場合、膜厚を薄くする
ことができ、記録感度の高い光磁気ディスクを提供する
ことができる。AlN is also suitable in this sense and has excellent moisture resistance. Therefore, when used as the protective layer 5, the thickness can be reduced, and a magneto-optical disk with high recording sensitivity can be provided.

【０１９７】本参考形態では、保護層５を透明誘導体層
２と同じＡｌＮとすることで、耐湿性に優れた光磁気デ
ィスクを提供でき、かつ保護層５と透明誘導体層２を同
じ材料で形成することで、生産性も向上させることがで
きる。ＡｌＮは、前述の通り、非常に耐湿性に優れた材
料であるので、比較的薄い膜厚である２０ｎｍに設定す
ることができる。生産性を考慮しても薄いほうが有利で
ある。In this embodiment , a magneto-optical disk having excellent moisture resistance can be provided by using the same AlN for the protective layer 5 as the transparent dielectric layer 2, and the protective layer 5 and the transparent dielectric layer 2 are formed of the same material. By doing so, the productivity can also be improved. As described above, AlN is a material having extremely excellent moisture resistance, and thus can be set to a relatively thin film thickness of 20 nm. The thinner is more advantageous in consideration of productivity.

【０１９８】また、保護層５の材料としては、ＡｌＮ以
外に、前述の目的、効果を考慮すれば、上述の透明誘導
体層２の材料として用いられる、ＳｉＮ、ＡｌＳｉＮ、
ＡｌＴａＮ、ＳｉＡｌＯＮ、ＴｉＮ、ＴｉＯＮ、ＢＮ、
ＺｎＳ、ＴｉＯ₂、ＢａＴｉＯ₃、ＳｒＴｉＯ₃が好適で
ある。In addition to AlN, the material of the protective layer 5 is SiN, AlSiN, or SiN which is used as the material of the transparent dielectric layer 2 in consideration of the above objects and effects.
AlTaN, SiAlON, TiN, TiON, BN,
ZnS, TiO ₂ , BaTiO ₃ and SrTiO ₃ are preferred.

【０１９９】また、透明誘導体層２と同じ材料を用いれ
ば生産性の点でも有利である。The use of the same material as the transparent dielectric layer 2 is also advantageous in terms of productivity.

【０２００】このうち特に、ＳｉＮ、ＡｌＳｉＮ、Ａｌ
ＴａＮ、ＴｉＮ、ＢＮ、ＺｎＳは、その成分に酸素を含
まず、耐湿性に優れた光磁気ディスクを提供することが
できる。Of these, SiN, AlSiN, Al
TaN, TiN, BN, and ZnS do not contain oxygen in their components and can provide a magneto-optical disk having excellent moisture resistance.

【０２０１】基板１の材料としては、上記のガラス以外
に、化学強化されたガラス、これらのガラス基板上に紫
外線硬化型樹脂層を形成した、いわゆる２Ｐ層付きガラ
ス基板、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタク
リレート（ＰＭＭＡ）、アモルファスポリオレフィン
（ＡＰＯ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビフェニ
ール（ＰＶＣ）、エポキシ等の基板１を使用することが
可能である。Examples of the material of the substrate 1 include, in addition to the above-mentioned glass, chemically strengthened glass, a glass substrate having a 2P layer formed by forming an ultraviolet-curable resin layer on these glass substrates, polycarbonate (PC), It is possible to use a substrate 1 of methyl methacrylate (PMMA), amorphous polyolefin (APO), polystyrene (PS), polychlorinated biphenyl (PVC), epoxy or the like.

【０２０２】基板１に化学強化されたガラスを採用した
場合、機械特性（光磁気ディスクの場合、面振れ、偏
心、反り、傾き等）に優れていること、硬度が大きく、
砂や埃により傷が付きにくいこと、化学的に安定なた
め、各種溶剤に溶けないこと、プラスチックに比べ帯電
しにくいので埃や塵が付着しにくいこと、化学的に強化
されているので割れにくいこと、耐湿性、耐酸化性、耐
熱性に優れているので、光磁気記録媒体の長期信頼性が
向上すること、光学特性に優れており、高い信号品質が
得られること等が利点として挙げられる。When chemically strengthened glass is used for the substrate 1, the substrate 1 is excellent in mechanical properties (in the case of a magneto-optical disk, excellent in surface runout, eccentricity, warpage, tilt, etc.), and has high hardness.
It is hard to be damaged by sand and dust, it is chemically stable, it does not dissolve in various solvents, it is hard to be charged compared to plastic, so it is difficult for dust and dust to adhere, and it is chemically reinforced and it is hard to break Advantages include excellent long-term reliability of the magneto-optical recording medium, excellent optical characteristics, and high signal quality because of its excellent moisture resistance, oxidation resistance, and heat resistance. .

【０２０３】尚、基板１として、上記のガラス、化学強
化ガラスを用いた場合に、光ビーム案内用のガイドトラ
ック、及びアドレス信号等の情報を得るために予め基板
に形成されるプリピットと呼ばれる凹凸信号を基板上に
形成する方法としては、これらガラス基板表面を反応性
ドライエッチングすることにより形成される。また、２
Ｐ層と呼ばれる紫外線硬化型樹脂を照射して樹脂を硬化
させた後、スタンパーをはがして樹脂層上に上記のガイ
ドトラック、プリピット等を形成する方法がある。When the above-mentioned glass or chemically strengthened glass is used as the substrate 1, a guide track for guiding a light beam, and irregularities called pre-pits formed on the substrate in advance to obtain information such as address signals and the like. A signal is formed on a substrate by reactive dry etching of the surface of the glass substrate. Also, 2
There is a method of irradiating an ultraviolet curable resin called a P layer to cure the resin, and then removing the stamper to form the above-described guide tracks, pre-pits and the like on the resin layer.

【０２０４】基板１にＰＣを採用した場合、射出成型が
できるため、同一の基板１を大量に、安価に供給できる
こと、ほかのプラスチックに比べ、吸水率が低いので、
光磁気記録媒体の長期信頼性が向上すること、耐熱性、
耐衝撃性に優れていることなどが利点として挙げられ
る。なお、この材料も含め、以下に述べる射出成型が可
能な材料については、ガイドトラック、プリピット等
は、射出成型時にスタンパーを成型金型表面に取り付け
ておけば、成型と同時に基板１の表面に形成される。When PC is used as the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities and at low cost, and the water absorption rate is lower than other plastics.
Improvement of long-term reliability of magneto-optical recording media, heat resistance,
Advantages include excellent impact resistance. In addition, for the materials which can be injection-molded as described below including this material, guide tracks, pre-pits, etc. are formed on the surface of the substrate 1 at the same time as molding if a stamper is attached to the surface of the molding die at the time of injection molding. Is done.

【０２０５】基板１にＰＭＭＡを採用した場合、射出成
型ができるため、同一の基板１を大量に、安価に供給で
きること、他のプラスチックに比べ、複屈折が小さいの
で、光学特性に優れており、高い信号品質が得られるこ
と、耐久性に優れていること等が利点として挙げられ
る。When PMMA is used for the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities and at low cost, and since the birefringence is smaller than other plastics, the optical characteristics are excellent. Advantages include high signal quality and excellent durability.

【０２０６】基板１にＡＰＯを採用した場合、射出成型
ができるため、同一の基板１を大量に、安価に供給でき
ること、他のプラスチックに比べ、吸水率が低いので、
光磁気記録媒体の長期信頼性が向上すること、複屈折が
小さいので、光学特性に優れており、高い信号品質が得
られること、耐熱性、耐衝撃性に優れていること等が利
点として挙げられる。When the APO is used for the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities at low cost, and the water absorption is lower than other plastics.
The advantages include improved long-term reliability of the magneto-optical recording medium, low birefringence, excellent optical characteristics, high signal quality, excellent heat resistance and impact resistance. Can be

【０２０７】基板１にＰＳを採用した場合、射出成型が
できるため、同一の基板１を大量に、安価に供給できる
こと、他のプラスチックに比べ、吸水率が低いので、光
磁気記録媒体の長期信頼性が向上すること等が利点とし
て挙げられる。When PS is used as the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities at low cost, and the water absorption rate is lower than that of other plastics. An advantage is that the property is improved.

【０２０８】基板１にＰＶＣを採用した場合、射出成型
ができるため、同一の基板１を大量に、安価に供給でき
ること、他のプラスチックに比べ、吸水率が低いので、
光磁気記録媒体の長期信頼性が向上すること、難燃性で
あること等が利点として挙げられる。When PVC is used for the substrate 1, injection molding can be performed, so that the same substrate 1 can be supplied in large quantities and at low cost, and since it has a lower water absorption than other plastics,
Advantages include improved long-term reliability of the magneto-optical recording medium, flame retardancy, and the like.

【０２０９】基板１にエポキシを採用した場合、他のプ
ラスチックに比べ、吸水率が低いので、光磁気記録媒体
の長期信頼性が向上すること、熱硬化性樹脂であるた
め、耐熱性に非常に優れていること等が利点として挙げ
られる。When epoxy is used for the substrate 1, the water absorption is lower than other plastics, so that the long-term reliability of the magneto-optical recording medium is improved. An advantage is that it is excellent.

【０２１０】以上のように基板１として、各種材料を使
用することが可能であるが、それらの材料を光磁気ディ
スクの基板１として使用する場合、以下の光学特性、機
械特性を満足していることが望ましい。As described above, various materials can be used for the substrate 1. When those materials are used for the substrate 1 of a magneto-optical disk, the following optical characteristics and mechanical characteristics are satisfied. It is desirable.

【０２１１】屈折率 ：１．４４〜１．６２ 復屈折 ：１００ｎｍ以下（平行光で測定された
往復複屈折） 透過率 ：９０％以上 厚さ変動 ：±０．１ｍｍ チルト ：１０ｍｒａｄ以下 面振れ加速度 ：１０ｍ／ｓ²以下 径方向加速度 ：３ｍ／ｓ²以下 記録層４にレーザー光を集光するための光ピックアップ
は、基板１の屈折率に合わせて設計されるため、基板１
の屈折率の変動が大きくなるとレーザー光を十分に集光
することができなくなる。レーザー光の集光状態が変わ
ってくると記録媒体（つまり、読み出し層３と記録層
４）の温度分布が変化することになり、記録再生に影響
を及ぼす。本発明においては、再生時の記録媒体の温度
分布が特に重要となってくるため、使用する基板１の屈
折率を１．４４〜１．６２の範囲内に抑えることが望ま
しい。Refractive index: 1.44 to 1.62 Birefringence: 100 nm or less (reciprocal birefringence measured with parallel light) Transmittance: 90% or more Thickness variation: ± 0.1 mm Tilt: 10 mrad or less Surface runout acceleration : 10 m / s ² or less Radial acceleration: 3 m / s ² or less Since an optical pickup for condensing a laser beam on the recording layer 4 is designed according to the refractive index of the substrate 1, the substrate 1
When the change in the refractive index of the laser beam becomes large, it becomes impossible to sufficiently focus the laser beam. When the laser light focusing state changes, the temperature distribution of the recording medium (that is, the readout layer 3 and the recording layer 4) changes, which affects recording and reproduction. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium at the time of reproduction becomes particularly important, it is desirable to suppress the refractive index of the substrate 1 used within the range of 1.44 to 1.62.

【０２１２】また、基板１を通してレーザー光を入射さ
せるため、基板１に複屈折が存在すると、レーザー光が
基板１を通過する際、その偏光状態が変わってしまう。
本発明は読み出し層３の磁化状態の変化をカー効果を利
用して偏光状態の変化として再生するため、基板１を通
過する際に偏光状態が変わってしまうと再生することが
できなくなってしまう。そのため、平行光で測定した際
の基板１の往復複屈折は１００ｎｍ以下であることが望
ましい。Further, since the laser beam is made incident through the substrate 1, if the substrate 1 has birefringence, when the laser beam passes through the substrate 1, its polarization state changes.
In the present invention, since the change in the magnetization state of the readout layer 3 is reproduced as a change in the polarization state using the Kerr effect, the reproduction cannot be performed if the polarization state changes when the light passes through the substrate 1. Therefore, it is desirable that the reciprocating birefringence of the substrate 1 when measured with parallel light is 100 nm or less.

【０２１３】また、基板１の透過率が低くなると、例え
ば記録時において、光ピックアップからの光ビームが基
板１を通過する際、その光量が減少してしまう。そのた
め、記録に必要である光量を記録媒体で得ようとする
と、より高出力なレーザー光源が必要となる。特に本発
明においては、記録媒体が記録層４と読み出し層３の２
層からなっており、従来の単層の（読み出し層３のな
い）記録媒体に比べて、記録媒体を昇温するためには、
より多くの光量を必要とするため、基板１の透過率は９
０％以上であることが望ましい。When the transmittance of the substrate 1 is low, for example, when a light beam from an optical pickup passes through the substrate 1 during recording, the amount of light decreases. Therefore, in order to obtain the amount of light required for recording on a recording medium, a laser light source with higher output is required. In particular, in the present invention, the recording medium is composed of the recording layer 4 and the readout layer 3.
In order to raise the temperature of the recording medium as compared with the conventional single-layer recording medium (without the readout layer 3),
Since a larger amount of light is required, the transmittance of the substrate 1 is 9
Desirably, it is 0% or more.

【０２１４】また、記録媒体にレーザー光を集光するた
めの光ピックアップは、基板１の厚さに合わせて設計さ
れるため、基板１の厚さの変動が大きくなるとレーザー
光を十分に集光することができなくなる。レーザー光の
集光状態が変わってくると記録媒体の温度分布が変化す
ることになり、記録再生に悪影響を及ぼす。本発明にお
いては、再生時の記録媒体の温度分布が特に重要となっ
てくるため、使用する基板１の厚さ変動を±０．１ｍｍ
の範囲内に抑えることが望ましい。The optical pickup for condensing the laser light on the recording medium is designed according to the thickness of the substrate 1. Therefore, when the thickness of the substrate 1 changes greatly, the laser light is sufficiently condensed. You can't do that. If the state of focusing of the laser beam changes, the temperature distribution of the recording medium changes, which adversely affects recording and reproduction. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium at the time of reproduction becomes particularly important, the variation in the thickness of the substrate 1 used is ± 0.1 mm.
It is desirable to keep within the range.

【０２１５】また、基板１にチルトが存在すると光ピッ
クアップからのレーザー光は、傾いた記録媒体面に集光
されることになり、チルトの状態に応じて集光状態が変
化することになり、基板１の厚さが変動した場合と同様
に、記録再生に悪影響を及ぼす。そのため、本発明にお
いては、基板１のチルトを１０ｍｒａｄ以下、もっと好
ましくは５ｍｒａｄ以下とすることが望ましい。If the substrate 1 has a tilt, the laser beam from the optical pickup is condensed on the inclined recording medium surface, and the condensing state changes according to the tilt state. As in the case where the thickness of the substrate 1 fluctuates, recording and reproduction are adversely affected. Therefore, in the present invention, the tilt of the substrate 1 is desirably 10 mrad or less, and more desirably 5 mrad or less.

【０２１６】また、基板１が光ピックアップに対して上
下に移動した場合、光ピックアップはその上下動を補償
し記録媒体面にレーザー光を集光すべく動作するが、上
下動が大きくなり過ぎると光ピックアップの補償動作が
不完全なものとなり、記録媒体面でのレーザー光の集光
状態は不完全なものとなる。レーザー光の集光状態が不
完全なものとなると記録媒体の温度分布が変化すること
になり、記録再生に悪影響を及ぼす。本発明において
は、再生時の記録媒体の温度分布が特に重要となってく
るため、使用する基板の回転時の上下動については、そ
の面振れ加速度を１０ｍ／ｓ²以下に抑えることが望ま
しい。When the substrate 1 moves up and down with respect to the optical pickup, the optical pickup operates to compensate for the vertical movement and focus the laser beam on the recording medium surface. The compensating operation of the optical pickup becomes incomplete, and the focusing state of the laser light on the recording medium surface becomes incomplete. If the laser beam is not completely focused, the temperature distribution of the recording medium changes, which adversely affects recording and reproduction. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium at the time of reproduction becomes particularly important, it is desirable to suppress the surface runout acceleration of the substrate to be used to 10 m / s ² or less for the vertical movement during rotation.

【０２１７】また、基板１にはあらかじめ１．０〜１．
６μｍピッチで光ビーム案内用のガイドトラックが設け
られているが、ガイドトラックに偏心が存在すると、回
転時にガイドトラックは光ピックアップに対して半径方
向に移動することになる。この時、光ピックアップはそ
の半径方向の移動を補償しガイドトラックと一定の関係
を保つべくレーザー光を集光させるが、ガイドトラック
の半径方向への移動が大きくなり過ぎると光ピックアッ
プの補償動作が不完全なものとなり、ガイドトラックと
一定の関係を保った状態でレーザー光を集光させること
ができなくなる。本発明においては、再生時の記録媒体
の温度分布が特に重要となってくるため、使用する基板
の回転時の半径方向への移動については、その径方向加
速度を３ｍ／ｓ²以下に抑えることが望ましい。The substrate 1 has 1.0 to 1.
Although guide tracks for guiding the light beam are provided at a pitch of 6 μm, if the guide tracks are eccentric, the guide tracks move in the radial direction with respect to the optical pickup during rotation. At this time, the optical pickup focuses the laser light to compensate for the movement in the radial direction and maintain a constant relationship with the guide track. However, if the movement of the guide track in the radial direction becomes too large, the compensation operation of the optical pickup is performed. It becomes imperfect, and it becomes impossible to focus the laser beam while maintaining a certain relationship with the guide track. In the present invention, since the temperature distribution of the recording medium during reproduction becomes particularly important, the radial acceleration during rotation of the substrate to be used should be suppressed to 3 m / s ² or less. Is desirable.

【０２１８】集光されたレーザー光を光磁気ディスクの
所定の位置に導く方法として、スパイラル状、または、
同心円状のガイドトラックを利用した連続サーボ方式
と、スパイラル状、または、同心円状のピット列を利用
したサンプルサーボ方式が考えられる。As a method of guiding the condensed laser light to a predetermined position on the magneto-optical disk, a spiral or
A continuous servo system using concentric guide tracks and a sample servo system using spiral or concentric pit rows are conceivable.

【０２１９】連続サーボ方式の場合、図１６に示すよう
に、１．２〜１．６μｍピッチで、０．２〜０．６μｍ
幅のグループが、λ／（８ｎ）程度の深さで形成され、
ランド部分で情報の記録再生が行われるのが一般的であ
る。これはランド仕様の光磁気ディスクと呼ばれる。こ
こで、λはレーザビームの波長であり、ｎは使用される
基板の屈折率である。In the case of the continuous servo system, as shown in FIG. 16, the pitch is 1.2 to 1.6 μm and the pitch is 0.2 to 0.6 μm.
Groups of width are formed with a depth of about λ / (8n),
Generally, information is recorded / reproduced in a land portion. This is called a land-specific magneto-optical disk. Here, λ is the wavelength of the laser beam, and n is the refractive index of the substrate used.

【０２２０】このような、一般的な方式に本発明を適用
することは十分に可能である。本発明においては、隣接
トラックの記録ビットのよるクロストークが大幅に低減
されることにより、例えば、ランド仕様の光磁気ディス
クにおいては、０．５〜１．２μｍピッチで、０．１〜
０．４μｍ幅のグループを形成した場合でも、隣接記録
ビットからのクロストークに影響されることなく、記録
再生を行うことが可能になり、記録密度は大幅に向上す
る。The present invention can be sufficiently applied to such a general system. In the present invention, since the crosstalk due to the recording bit of the adjacent track is greatly reduced, for example, in a land type magneto-optical disk, the pitch is 0.5 to 1.2 μm and the pitch is 0.1 to 1.2 μm.
Even when a group having a width of 0.4 μm is formed, recording and reproduction can be performed without being affected by crosstalk from adjacent recording bits, and the recording density is greatly improved.

【０２２１】更に、図１７に示すように、０．８〜１．
６μｍピッチで、同一幅のグループとランドを形成し、
グループ部分とランド部分の両方で記録再生を行った場
合においても隣接トラックの記録ビットからのクロスト
ークに影響されることなく、グループ部分とランド部分
の両方で記録再生を行うことが可能となり、記録密度は
大幅に向上する。Further, as shown in FIG.
Form groups and lands of the same width at a pitch of 6 μm,
Even when recording and reproduction are performed in both the group portion and the land portion, recording and reproduction can be performed in both the group portion and the land portion without being affected by crosstalk from recording bits of an adjacent track. Density is greatly increased.

【０２２２】一方、サンプルサーボ方式の場合は、図１
８に示すように、１．２〜１．６μｍピッチでもってウ
ォブルピットが（λ／（４ｎ））程度の深さで形成さ
れ、レーザビームが常にウォブルピットの中心を走査す
るように情報の記録再生が行われるのが一般的である。On the other hand, in the case of the sample servo system, FIG.
As shown in FIG. 8, wobble pits are formed at a pitch of 1.2 to 1.6 μm and have a depth of about (λ / (4n)), and information is recorded so that the laser beam always scans the center of the wobble pits. Regeneration is generally performed.

【０２２３】このような一般的な方式に本発明を適用す
ることは十分に可能である。本発明においては、隣接す
る記録ビットからのクロストークが大幅に低減されるこ
とにより、０．５〜１．２μｍピッチで、ウォブルピッ
トを形成した場合でも、隣接する記録ビットからのクロ
ストークに影響される事なく、記録再生を行うことが可
能となり、記録密度は大幅に向上する。It is sufficiently possible to apply the present invention to such a general system. In the present invention, since the crosstalk from the adjacent recording bits is greatly reduced, even if wobble pits are formed at a pitch of 0.5 to 1.2 μm, the crosstalk from the adjacent recording bits is affected. Recording and reproduction can be performed without being performed, and the recording density is greatly improved.

【０２２４】さらに、図１９に示すように、０．８〜
１．６μｍピッチで、ウォブルピットを形成し、ウォブ
ルピットが逆極性で存在する位置に情報の記録再生を行
った場合において隣接記録ビットからのクロストークに
影響される事なく記録再生を行うことが可能となり、記
録密度は大幅に向上する。Further, as shown in FIG.
When wobble pits are formed at a pitch of 1.6 μm and information is recorded and reproduced at a position where the wobble pits have the opposite polarity, recording and reproduction can be performed without being affected by crosstalk from adjacent recording bits. It is possible, and the recording density is greatly improved.

【０２２５】また、図２０に示すように、連続サーボ方
式において、グルーブをウォブリングさせることにより
光磁気ディスクの位置情報を得る場合は、ウォブリング
状態が逆位相となった部分において、隣接グルーブに存
在する記録ビットからのクロストークが大きくなるとい
う問題が存在したが、本発明を適用することによりウォ
ブリング状態が逆位相となった部分においても、隣接グ
ルーブに存在する記録ビットからのクロストークが発生
する事なく、良好な記録再生を行うことが可能となる。As shown in FIG. 20, when position information of a magneto-optical disk is obtained by wobbling a groove in a continuous servo system, the wobbling state exists in an adjacent groove in a portion where the wobbling state is in an opposite phase. Although there was a problem that the crosstalk from the recording bit became large, the crosstalk from the recording bit existing in the adjacent groove occurs even in a portion where the wobbling state is in the opposite phase by applying the present invention. And good recording and reproduction can be performed.

【０２２６】本参考形態の光磁気ディスクは、また、以
下に説明するような種々の記録再生用光ピックアップに
も好適である。The magneto-optical disk of the present embodiment is also suitable for various recording / reproducing optical pickups as described below.

【０２２７】例えば、複数の光ビームを使用したマルチ
ビーム方式の光ピックアップを採用する場合、図２１に
示すように、複数の光ビームの両端の光ビームがガイド
トラック上を走査するように位置決めし、その間に位置
する複数の光ビームで記録再生を行う方法が一般的であ
るが、本発明の光磁気ヘッドディスクを用いることによ
り、光ビームの間隔を狭くしても隣接記録ビットからの
クロストークの影響を受けることなく再生することが可
能となり、ガイドトラックのピッチを短くすることが可
能となるか、又は、一対のガイドトラックの間により多
くのレーザビームで記録再生することが可能となり、記
録密度は大幅に向上する。For example, when a multi-beam optical pickup using a plurality of light beams is employed, as shown in FIG. 21, the light beams at both ends of the plurality of light beams are positioned so as to scan the guide track. Generally, a method of performing recording / reproducing with a plurality of light beams located therebetween is used. However, by using the magneto-optical head disk of the present invention, even if the interval between the light beams is narrowed, crosstalk from adjacent recording bits can be achieved. It is possible to reproduce without being affected by the above, and it is possible to shorten the pitch of the guide track, or it is possible to perform recording and reproduction with more laser beams between a pair of guide tracks, Density is greatly increased.

【０２２８】以上の説明では、使用する光ピックアップ
の対物レンズの開口数（Ｎ．Ａ．）が一般的な値である
０．４〜０．６を有するとし、また、レーザー光の波長
が６７０ｎｍ〜８４０ｎｍであるとして、ガイドトラッ
クのピッチ等について議論しているが、Ｎ．Ａ．を更に
大きく０．６〜０．９５とすることで、レーザー光を更
に小さく絞り込み、本発明の光磁気ディスクを適用する
ことにより、ガイドトラックのピッチ及び幅を更に狭く
することが可能となり、更に高密度な記録再生が可能と
なる。In the above description, it is assumed that the numerical aperture (NA) of the objective lens of the optical pickup used has a general value of 0.4 to 0.6, and the wavelength of the laser beam is The pitch of the guide track and the like are discussed assuming that the wavelength is 670 nm to 840 nm. A. Is set to be 0.6 to 0.95, the laser beam can be further narrowed down, and the pitch and width of the guide track can be further reduced by applying the magneto-optical disk of the present invention. High-density recording / reproduction becomes possible.

【０２２９】また、波長４８０ｎｍのアルゴンレーザー
光やＳＨＧ素子を利用した３３５ｎｍ〜６００ｎｍの波
長のレーザ光を使用することにより、レーザー光を更に
小さく絞り込み、本発明を適用することにより、ガイド
トラックのピッチ及び幅を更に狭くすることが可能とな
り、更に高密度な記録再生が可能となる。Further, by using an argon laser beam having a wavelength of 480 nm or a laser beam having a wavelength of 335 nm to 600 nm using an SHG element, the laser beam can be further narrowed down. By applying the present invention, the pitch of the guide track can be reduced. And the width can be further reduced, and higher-density recording and reproduction can be performed.

【０２３０】ａ／ｗに関しては、０．３〜１．０のもの
が使える。ここで、ａはレンズの光学的に有効な直径、
ｗはレンズに入る光束の直径でガウス分布している場合
は中心強度の１／ｅ２の強度になる半径である。As for a / w, a value of 0.3 to 1.0 can be used. Where a is the optically effective diameter of the lens,
w is the radius of 1 / e2 of the center intensity when the light beam entering the lens has a Gaussian distribution.

【０２３１】次に、本参考形態の光磁気ディスクに適用
する際のディスクフォーマットについて記述する。Next, a disk format when applied to the magneto-optical disk of the present embodiment will be described.

【０２３２】一般に、光磁気ディスクにおいては、異な
るメーカー間、あるいは、異なる光磁気ディスク間の互
換性を維持するために、それぞれの半径位置での記録、
消去パワーをどのような値あるいは、デューティーに設
定するかを、内外周の一部に（λ／（４ｎ））程度の深
さのプリピット列であらかじめ記録されている。また、
読み取ったそれらの値を元に、実際に記録再生を行える
テスト領域が内外周に設けられている（例えば、ＩＳ１
００８９規格を参照）。In general, in a magneto-optical disk, in order to maintain compatibility between different manufacturers or different magneto-optical disks, recording at respective radial positions is performed.
The value or duty to be set for the erasing power is recorded in advance in a part of the inner and outer peripheries in a pre-pit row having a depth of about (λ / (4n)). Also,
Based on these read values, test areas in which recording and reproduction can be actually performed are provided on the inner and outer circumferences (for example, IS1
0089).

【０２３３】一方、再生パワーについても、特定の再生
パワーとするための情報が、内外周の一部にプリピット
列であらかじめ記録されている。On the other hand, as for the reproduction power, information for setting a specific reproduction power is recorded in advance in a part of the inner and outer circumferences in a pre-pit string.

【０２３４】本発明の光磁気ディスクにおいては、再生
時の記録媒体の温度分布が再生特性に大きな影響を及ぼ
すため、再生パワーの設定方法が非常に重要である。In the magneto-optical disk of the present invention, the method of setting the reproduction power is very important because the temperature distribution of the recording medium during reproduction has a great effect on the reproduction characteristics.

【０２３５】再生パワーの設定方法として、例えば、再
生パワーについても記録パワーと同様に、内外周に再生
パワーを設定するためのテスト領域を設け、テスト領域
において得られた再生パワーからそれぞれの半径位置で
の再生パワーを最適化するための情報を、内外周の一部
にピット列で予め記録しておく方が望ましい。As a method of setting the reproduction power, for example, similarly to the recording power, the reproduction power is provided with test areas for setting the reproduction power on the inner and outer circumferences, and the respective radial positions are determined from the reproduction power obtained in the test area. It is preferable to record information for optimizing the reproduction power in the pit train in a part of the inner and outer circumferences in advance.

【０２３６】特に光磁気ディスクの回転数が常に一定で
あるＣＡＶ方式を用いる光磁気ディスク・ドライブにお
いては、半径位置に応じて光磁気ディスクの線速が変わ
るため、半径位置に応じて再生レーザーパワーを変えた
ほうがより好ましい。したがって、できるだけ多くの半
径方向領域に区切った情報をプリピット列として記録し
ておいたほうが良い。In particular, in a magneto-optical disk drive using the CAV method in which the number of rotations of the magneto-optical disk is always constant, the linear velocity of the magneto-optical disk changes according to the radial position, so that the reproduction laser power depends on the radial position. It is more preferable to change. Therefore, it is better to record information divided into as many radial areas as possible as a pre-pit string.

【０２３７】また、同じく、各半径位置でより最適な再
生レーザーパワーを設定する方法として、記録領域を半
径位置により複数のゾーンに分けて、ゾーンとゾーンの
境界部分にそれぞれのゾーンごとに記録パワー及び再生
パワーをテスト領域において最適化することにより、再
生時の記録媒体の温度分布をより正確に制御することが
可能となり、良好な記録再生が可能となる。Similarly, as a method of setting a more optimal reproduction laser power at each radial position, the recording area is divided into a plurality of zones according to the radial position, and the recording power is set for each zone at the boundary between the zones. By optimizing the reproduction power in the test area, the temperature distribution of the recording medium during reproduction can be more accurately controlled, and good recording and reproduction can be performed.

【０２３８】次に、本参考形態の光磁気ディスクは、以
下に説明する種々の記録方式に適応するものである点に
ついて説明する。Next, the point that the magneto-optical disk of the present embodiment is adapted to the various recording methods described below will be described.

【０２３９】まず、オーバーライトができない第１世代
の光磁気ディスクの記録方法について説明する。First, a recording method for a first generation magneto-optical disk that cannot be overwritten will be described.

【０２４０】第１世代の光磁気ディスクは、ＩＳ１００
８９規格（ＩＳＯの５．２５”書き換え型光ディスクに
ついて定めた規格）に準拠して、既に多く市販されてお
り、オーバーライトができないため、すでに情報が記録
されている所に、新たに情報を記録する場合には、一旦
その部分の消去を行い、次に記録を行うという動作が必
要になる。そのため、最低２回の光磁気ディスクの回転
が必要になり、データ転送速度が遅いという欠陥があ
る。The first generation magneto-optical disk is IS100
In accordance with the 89 standard (a standard for ISO 5.25 "rewritable optical discs), many are already on the market and overwriting is not possible, so new information is recorded where information has already been recorded. In such a case, it is necessary to perform an operation of erasing the portion once and then performing recording, which requires a minimum of two rotations of the magneto-optical disk, and has a defect that the data transfer speed is low. .

【０２４１】しかしながら、磁性膜に要求される性能
は、次に説明するオーバーライト可能な光磁気ディスク
に比べて、それほど高くないという利点はある。However, there is an advantage that the performance required of the magnetic film is not so high as compared with the overwritable magneto-optical disk described below.

【０２４２】オーバーライトができない欠点を無くすた
めに、例えば複数個の光学ヘッドを配して、回転待ちの
ロスを無くし、データ転送速度を向上させる方法は一部
の装置で採用されている。In order to eliminate the disadvantage that overwriting cannot be performed, for example, a method of arranging a plurality of optical heads to eliminate a rotation waiting loss and improve a data transfer speed is adopted in some devices.

【０２４３】例えば、２個の光学ヘッドを用いて、先行
する光学ヘッドで既に記録されている情報を消去し、後
から追いかける光学ヘッドで新しい情報を記録する方法
である。再生の際は、どちらか一方の光学ヘッドを用い
て再生する。For example, a method in which two optical heads are used to erase information already recorded by a preceding optical head, and new information is recorded by an optical head following afterwards. At the time of reproduction, reproduction is performed using one of the optical heads.

【０２４４】また、３個の光学ヘッドを用いて記録する
場合は、先行する光学ヘッドが既に記録されている情報
を消去し、次の光学ヘッドで新しい情報を記録し、残り
の光学ヘッドでベリファイ（新しい情報が正しく記録さ
れているかを確認）する。In the case of recording using three optical heads, the preceding optical head erases the already recorded information, the next optical head records new information, and the remaining optical heads verify. (Check that the new information is recorded correctly).

【０２４５】また、複数の光学ヘッドを用いる代わり
に、１個の光学ヘッドをビームスプリッターを用いて複
数のビームを作り出し、これを上記複数の光学ヘッドと
同じように用いても良い。Instead of using a plurality of optical heads, one optical head may generate a plurality of beams by using a beam splitter, and these may be used in the same manner as the plurality of optical heads.

【０２４６】これにより、既に記録されている情報の消
去過程を経ることなく、新たな情報の記録が行え、第１
世代の光磁気ディスクを用いての疑似オーバーライトが
実現できる。As a result, new information can be recorded without going through the process of erasing the already recorded information.
Pseudo overwrite using a next generation magneto-optical disk can be realized.

【０２４７】本参考形態の光磁気ディスクは、既に実験
結果説明の所で示した通り、記録、再生、消去が行える
事が確認できており、本記録方式に適用できる光磁気デ
ィスクとなっている。The magneto-optical disk according to the present embodiment has been confirmed to be capable of recording, reproducing, and erasing, as described in the experimental results, and is a magneto-optical disk applicable to the present recording method. .

【０２４８】次に、磁界変調オーバーライト記録方式に
ついて説明をする。Next, the magnetic field modulation overwrite recording method will be described.

【０２４９】磁界変調オーバーライト記録方式とは、光
磁気記録媒体に一定のパワーのレーザーを照射しなが
ら、情報に応じて磁界強度を変調して記録する方法であ
り、図２２に基づいて説明すれば、以下の通りである。The magnetic field modulation overwrite recording method is a method of recording by modulating a magnetic field intensity according to information while irradiating a laser of constant power to a magneto-optical recording medium, and will be described with reference to FIG. It is as follows.

【０２５０】図２２は、光磁気ディスクに磁界変調オー
バーライトを行う光磁気ディスク装置の一例を示す模式
図であり、記録及び再生時にレーザー光を照射するレー
ザー光源（図示されていない）、及び記録及び再生時に
光磁気ディスクからの反射光を受光する受光素子（図示
されていない）等を内蔵した光学ヘッド１１と、光学ヘ
ッド１１と機械的、もしくは電気的に連結された浮上型
磁気ヘッド１２を備えている。FIG. 22 is a schematic diagram showing an example of a magneto-optical disk device for performing magnetic field modulation overwriting on a magneto-optical disk. A laser light source (not shown) for irradiating a laser beam during recording and reproduction, and a recording device An optical head 11 including a light receiving element (not shown) for receiving reflected light from the magneto-optical disk during reproduction, and a floating magnetic head 12 mechanically or electrically connected to the optical head 11. Have.

【０２５１】浮上型磁気ヘッド１２は浮上スライダー１
２ａとＭｎＺｎフェライト等からなるコアにコイルが巻
回された磁気ヘッド１２ｂから構成され、浮上型磁気ヘ
ッド１２はサスペンション１３により光磁気ディスク１
４に押圧され、数μｍ〜数１０μｍ程度の一定の間隙で
浮上している。The flying magnetic head 12 is a flying slider 1
2a and a magnetic head 12b in which a coil is wound around a core made of MnZn ferrite or the like.
4 and floats at a constant gap of about several μm to several tens μm.

【０２５２】この状態で浮上型磁気ヘッド１２および光
学ヘッド１１を光磁気ディスク１４の記録領域内の所望
の半径位置に移動させ、光学ヘッド１１から光磁気ディ
スク１４の記録層に２〜１０ｍＷ程度のレーザー光を集
光して照射し、記録層４をキュリー温度（又は保磁力が
ほぼ“０”になる温度）近傍まで昇温させた上で、記録
すべき情報に応じて上向きと下向きとに反転する磁界を
磁気ヘッド１２ｂにより印加する。これにより、既に記
録されている情報の消去過程を経ることなく、オーバー
ライト記録方式で情報の記録を行うことができる。In this state, the flying magnetic head 12 and the optical head 11 are moved to a desired radial position in the recording area of the magneto-optical disk 14, and the optical head 11 moves the recording layer of the magneto-optical disk 14 to about 2 to 10 mW. The laser beam is condensed and irradiated to raise the temperature of the recording layer 4 to near the Curie temperature (or a temperature at which the coercive force becomes almost “0”). Then, the recording layer 4 is turned upward and downward according to the information to be recorded. A reversing magnetic field is applied by the magnetic head 12b. Thus, information can be recorded by the overwrite recording method without going through the process of erasing the already recorded information.

【０２５３】尚、本参考形態では、磁界変調オーバーラ
イト時に、レーザーパワーを一定としたが、磁界の極性
が切り替わる時にレーザーパワーを記録されないパワー
まで下げて、記録がなされないようにすると、記録され
る記録ビット形状がよりきれいになり、再生信号品質が
向上する。In this embodiment , the laser power is kept constant during magnetic field modulation overwriting. However, when the polarity of the magnetic field is switched, the laser power is reduced to a power at which no recording is performed so that the recording is not performed. The recording bit shape becomes clearer, and the reproduction signal quality is improved.

【０２５４】磁界変調オーバーライトにおいては、高速
記録を行おうとする場合には、高速で磁界を変調する必
要があるが、磁気ヘッド１２ｂの消費電力、大きさの点
で制約があり、あまり大きな磁界を、発生させることは
困難である。従って、光磁気ディスク１４には、比較的
小さな磁界で記録できることが要求される。In the magnetic field modulation overwrite, in order to perform high-speed recording, it is necessary to modulate the magnetic field at a high speed. However, there are restrictions on the power consumption and the size of the magnetic head 12b. Is difficult to generate. Therefore, the magneto-optical disk 14 is required to be able to record with a relatively small magnetic field.

【０２５５】本参考形態の光磁気ディスクにおいては、
記録層４のキュリー温度を１５０〜２５０℃と比較的低
く押さえ、記録がなされやすくするとともに、垂直磁気
異方性の小さい材料であるＤｙＦｅＣｏを採用すること
で、記録時の磁界をより低く押さえることができ、磁界
変調オーバーライト方式に非常に適した構成となってい
る。In the magneto-optical disk of the present embodiment ,
The Curie temperature of the recording layer 4 is kept relatively low at 150 to 250 ° C. to facilitate recording, and the magnetic field at the time of recording is further suppressed by using DyFeCo, which is a material having small perpendicular magnetic anisotropy. This makes the configuration very suitable for the magnetic field modulation overwrite method.

【０２５６】次に、光変調オーバーライト記録方式につ
いて説明する。Next, the light modulation overwrite recording method will be described.

【０２５７】光変調オーバーライト記録方式とは、磁界
変調オーバーライト記録方式とは全く逆であり、光磁気
記録媒体に一定の磁界強度を印加し、情報に応じてレー
ザーパワーを変調して記録する方法である。これについ
て、図２３ないし図２７に基づいて説明すれば、以下の
通りである。The light modulation overwrite recording method is completely opposite to the magnetic field modulation overwrite recording method, in which a constant magnetic field intensity is applied to the magneto-optical recording medium, and the laser power is modulated according to the information for recording. Is the way. This will be described below with reference to FIGS. 23 to 27.

【０２５８】図２４は、以下に説明する光変調オーバー
ライト記録方式に適した、読み出し層３及び記録層４の
膜面に垂直方向の保磁力の温度依存性および記録磁場Ｈ
Ｗを示している。FIG. 24 shows the temperature dependence of the coercive force in the direction perpendicular to the film surfaces of the readout layer 3 and the recording layer 4 and the recording magnetic field H suitable for the optical modulation overwrite recording method described below.
W is shown.

【０２５９】記録は、記録磁場Ｈ_Wを印加しながら、高
低、２レベルに強度変調されたレーザー光を照射するこ
とにより行う。すなわち、図２５に示すように、高レベ
ルＩのレーザー光が照射されると、読み出し層３及び記
録層４がともにキュリー点Ｔ_C1、Ｔ_C2付近またはそれ以
上となる温度Ｔ_Hまで昇温し、低レベルＩＩのレーザー
光が照射されると、記録層４のみがキュリー点Ｔ_C2以上
となる温度Ｔ_Lまで昇温するように設定されている。[0259] recording is performed while applying a recording magnetic field H _W, height, by irradiating the two levels of intensity modulated laser beam. That is, as shown in FIG. 25, when the laser light of high level I is irradiated, both the readout layer 3 and the recording layer 4 are heated to a temperature T _H near or above the Curie points T _C1 and T _C2. When the low-level II laser beam is irradiated, only the recording layer 4 is set to rise to a temperature _TL at which the recording layer 4 has a Curie point T _C2 or higher.

【０２６０】したがって、低レベルＩＩのレーザー光が
照射されると、読み出し層３の保磁力Ｈ₁は十分小さい
ので、磁化は記録磁場Ｈ_Wの向きに従い、さらに冷却の
過程で記録層４に転写される。すなわち、図２３に示す
ように、磁化は上向きになる。次に、高レベルＩのレー
ザー光が照射されると、補償温度を越えているので、読
み出し層３の磁化の向きは記録磁場Ｈ_Wにより、低レベ
ルＩＩのレーザー光の場合とは逆向き、すなわち、下向
きとなる。冷却の過程では低レベルＩＩのレーザー光と
同じ温度迄下がるが、読み出し層３と記録層４の冷却過
程が異なる（記録層４の方が速く冷却される）ため、ま
ず記録層４のみ低レベルＩＩのレーザー光が照射された
温度Ｔ_Lとなり読み出し層３の磁化の向きが記録層４に
転写され、下向きとなる。その後、読み出し層３が低レ
ベルＩＩののレーザー光と同じ温度迄下がり、記録磁場
Ｈ_Wの向きに従い、上向きとなる。この時、記録層４の
磁化の向きはその保磁力Ｈ₂が記録磁場Ｈ_Wより十分大き
いので、記録磁場Ｈ_Wの向きには従わない。[0260] Therefore, when the laser beam of low level II is projected, since the coercive force H ₁ of the readout layer 3 is sufficiently small, the magnetization in accordance with the direction of the recording magnetic field H _W, further transferred to the recording layer 4 in the cooling process Is done. That is, the magnetization is directed upward as shown in FIG. Next, when the laser beam of high level I is projected, since beyond the compensation temperature, the magnetization direction of the readout layer 3 by the recording magnetic field H _W, opposite to the case of the laser beam of low level II, That is, it faces downward. In the cooling process, the temperature drops to the same temperature as the low-level II laser beam. However, the cooling process of the reading layer 3 and the recording layer 4 is different (the recording layer 4 is cooled faster). The temperature _TL at which the laser beam II is applied becomes the temperature _TL , and the magnetization direction of the readout layer 3 is transferred to the recording layer 4 and becomes downward. Then, down to the same temperature as the laser beam of the readout layer 3 is low II, in accordance with the direction of the recording magnetic field H _W, facing upward. At this time, since the magnetization direction of the recording layer 4 has its coercive force H ₂ sufficiently larger than the recording magnetic field H _W, it does not follow the direction of the recording magnetic field H _W has.

【０２６１】再生時、レーザー光の強度が図２５のレベ
ルIIIのレーザー光が照射されると、読み出し層３の温
度はＴ_R（図２４）となり、読み出し層３の磁化が面内
磁化から垂直磁化に移行し、記録層４及び読み出し層３
の両層とも垂直磁気異方性を示す。この時、記録磁場Ｈ
_Wは印加されないか、または、印加されても記録層４の
保磁力Ｈ₂より十分小さいので、再生時には読み出し層
３の磁化の向きは記録層４との界面に作用する交換力に
より記録層４の向きと一致する。At the time of reproduction, when a laser beam having a laser beam intensity of level III in FIG. 25 is irradiated, the temperature of the readout layer 3 becomes T _R (FIG. 24), and the magnetization of the readout layer 3 changes from the in-plane magnetization to the perpendicular. The transition to magnetization causes the recording layer 4 and the readout layer 3
Both layers exhibit perpendicular magnetic anisotropy. At this time, the recording magnetic field H
Or _W is not applied, or, since be applied sufficiently smaller than the coercive force of H ₂ recording layer 4, the magnetization direction of the readout layer 3 at the time of reproducing the recording layer by the exchange force acting on the interface between the recording layer 4 4 Matches the direction of.

【０２６２】これにより、既に記録されている情報の消
去過程を経ることなく、オーバーライト記録方式で情報
の記録を行うことができる。Thus, information can be recorded by the overwrite recording method without going through the process of erasing already recorded information.

【０２６３】尚、記録は、記録磁場Ｈ_Wを印加しなが
ら、図２６または、図２７に示すような変調された２タ
イプのレーザー光を照射して行ってもよい。[0263] Incidentally, recording, while applying a recording magnetic field H _W, FIG. 26 or may be performed by irradiating a laser beam modulated two types as shown in FIG. 27.

【０２６４】すなわち、タイプＩの高レベルのレーザー
光が照射されると、読み出し層３及び記録層４がともに
キュリー点Ｔ_C1、Ｔ_C2付近またはそれ以上となる温度Ｔ
Ｈまで昇温し、タイプＩＩの低レベルのレーザー光が照
射されると、記録層４のみがキュリー点Ｔ_C2以上となる
温度Ｔ_Lまで昇温するように設定されている。このよう
にすると、特にタイプＩの高レベルのレーザー光が照射
された時の読み出し層３と記録層４の冷却過程を大きく
相違させることができる。すなわち、記録層４の方が速
く冷却される。このため、より容易に重ね書きを行うこ
とができる。That is, when a high-level laser beam of type I is irradiated, the temperature T at which the readout layer 3 and the recording layer 4 are both near or above the Curie points T _C1 and T _C2 is obtained.
When the temperature is raised to H and a low-level laser beam of type II is applied, only the recording layer 4 is heated to a temperature _TL at which the recording layer 4 has a Curie point T _C2 or higher. By doing so, the cooling process of the readout layer 3 and the recording layer 4 when the high-level laser light of type I is irradiated can be greatly different. That is, the recording layer 4 is cooled faster. For this reason, overwriting can be performed more easily.

【０２６５】但し、タイプＩの高レベルのレーザー光が
照射された後、しばらく照射されるレーザー光の強度
は、高レベル以下であればよい。However, after the high-level laser light of type I is irradiated, the intensity of the laser light which is irradiated for a while may be lower than the high level.

【０２６６】以上の記録方式によれば、光変調オーバー
ライト時に、一般には必要となる初期化用磁界を印加す
る必要がなくなる利点がある。According to the above recording method, there is an advantage that it is not necessary to apply a generally required initialization magnetic field at the time of light modulation overwriting.

【０２６７】上記光磁気ディスク（図１）は、一般には
片面タイプと呼ばれる。この光磁気ディスクは、透明誘
電体層２、読み出し層３、記録層４、保護層５の薄膜部
分を総じて記録媒体層と称することにすると、図２８に
示すように、基板１、記録媒体層９、オーバーコート層
６の構造となる。The above-mentioned magneto-optical disk (FIG. 1) is generally called a single-sided type. In this magneto-optical disk, when the thin film portions of the transparent dielectric layer 2, the readout layer 3, the recording layer 4, and the protective layer 5 are collectively referred to as a recording medium layer, as shown in FIG. 9, the structure of the overcoat layer 6 is obtained.

【０２６８】これに対して、図２９に示すように、基板
１の上に記録媒体層９を形成したものを２枚、記録媒体
層９・９が対向するように接着層１０で接着した光磁気
ディスクは、両面タイプと呼ばれている。On the other hand, as shown in FIG. 29, two recording medium layers 9 formed on the substrate 1 are bonded by an adhesive layer 10 so that the recording medium layers 9.9 face each other. The magnetic disk is called a double-sided type.

【０２６９】尚、接着層１０の材料はポリウレタンアク
リレート系接着剤が特に良い。この接着剤は紫外線、熱
及び嫌気性の３タイプの硬化機能が組み合わされたもの
であり、紫外線が透過しない記録媒体層９の影になる部
分の硬化が熱及び嫌気性硬化機能により硬化されるとい
う利点を持っており、極めて高い耐湿性を有し、長期安
定性に極めて優れた両面タイプの光磁気ディスクを提供
することができる。The material of the adhesive layer 10 is particularly preferably a polyurethane acrylate adhesive. This adhesive is a combination of three types of curing functions of ultraviolet light, heat and anaerobic, and the curing of the shadowed portion of the recording medium layer 9 through which ultraviolet light does not pass is cured by the heat and anaerobic curing function. Thus, a double-sided magneto-optical disk having extremely high moisture resistance and extremely excellent long-term stability can be provided.

【０２７０】片面タイプは、両面タイプと比べて光磁気
ディスクの厚みが半分で済むため、例えば小型化が要求
される記録再生装置に有利である。[0270] The single-sided type requires only half the thickness of the magneto-optical disk as compared with the double-sided type, and is therefore advantageous, for example, for a recording / reproducing apparatus which is required to be miniaturized.

【０２７１】両面タイプは、両面再生が可能なため、例
えば大容量を要求される記録再生装置に有利である。[0271] The double-sided type is capable of performing double-sided reproduction, and is therefore advantageous for a recording / reproducing apparatus that requires a large capacity, for example.

【０２７２】片面タイプ、両面タイプのいずれを採用す
るかは上記のような光磁気ディスクの厚さ、容量を考慮
する以外に、以下に説明するように、記録方式にも大き
く依存する。Whether the single-sided type or the double-sided type is adopted depends not only on the thickness and capacity of the magneto-optical disk as described above but also on the recording method as described below.

【０２７３】光磁気ディスクへの情報の記録には、周知
のごとく、光ビームと磁界が用いられる。図２２に示す
ように、光磁気ディスク装置においては、半導体レーザ
ー等の光源からの光ビームを集光レンズ８で基板１を通
して記録媒体層９上に集光させて照射し、これと対峙し
た位置に設けられた磁石、電磁石等の磁界発生装置（例
えば、浮上型磁気ヘッド１２）により磁界が記録媒体層
９に印加されるようになっている。記録の際には光ビー
ム強度を再生時よりも高くすることで、集光された部分
の記録媒体層９の温度が上昇し、その部分の磁性膜の保
磁力が小さくなる。この時に外部から保磁力以上の大き
さの磁界を印加すると、印加された磁界の方向に磁性膜
の磁化がならい、記録が完了する。As is well known, a light beam and a magnetic field are used for recording information on a magneto-optical disk. As shown in FIG. 22, in the magneto-optical disk drive, a light beam from a light source such as a semiconductor laser is condensed on the recording medium layer 9 through the substrate 1 by the condensing lens 8 and irradiated. A magnetic field is applied to the recording medium layer 9 by a magnetic field generator (for example, a floating magnetic head 12) such as a magnet or an electromagnet provided in the recording medium layer 9. By making the light beam intensity higher at the time of recording than at the time of reproduction, the temperature of the condensed portion of the recording medium layer 9 rises, and the coercive force of the magnetic film in that portion decreases. At this time, when a magnetic field having a magnitude larger than the coercive force is applied from the outside, the magnetization of the magnetic film is aligned in the direction of the applied magnetic field, and the recording is completed.

【０２７４】例えば、情報に応じて記録用磁界を変調す
る磁界変調オーバーライト方式では、磁界発生装置（多
くは電磁石）を極力記録媒体層９に近づける必要があ
る。これは、電磁石のコイルの発熱、装置消費電力、大
きさ等の制限により、記録に必要な周波数（一般には数
百ｋＨｚ〜数十ＭＨｚ）で変調し、記録に必要な磁界
（一般的には５００ｅ〜数百Ｏｅ程度）を発生させよう
とすると、記録媒体に０．２ｍｍ以下程度、多くの場合
は５０μｍ程度まで近づける必要が生じる。このため、
両面タイプの光磁気ディスクでは、基板１の厚さが一般
に１．２ｍｍ前後であり薄くても０．５ｍｍ程度必要な
ため、光ビームを対峙させて電磁石を配した場合、記録
磁界強度が不足してしまい、記録を行えない。従って、
記録変調オーバーライト方式に適した記録媒体層９を採
用した場合は、片面タイプの光磁気ディスクが多く用い
られる。For example, in a magnetic field modulation overwrite system for modulating a recording magnetic field in accordance with information, it is necessary to bring a magnetic field generator (often an electromagnet) as close to the recording medium layer 9 as possible. This is because the temperature required for recording is modulated (generally, several hundred kHz to several tens of MHz) and the magnetic field required for recording (generally, (E.g., 500e to several hundred Oe), it is necessary to approach the recording medium to about 0.2 mm or less, and in many cases to about 50 μm. For this reason,
In a double-sided magneto-optical disk, the thickness of the substrate 1 is generally around 1.2 mm and needs to be as thin as about 0.5 mm. Therefore, when an electromagnet is arranged to face the light beam, the recording magnetic field strength is insufficient. I cannot record. Therefore,
When the recording medium layer 9 suitable for the recording modulation overwrite method is employed, a single-sided type magneto-optical disk is often used.

【０２７５】これに対して、情報に応じて光ビームを変
調する光変調オーバーライト方式では、記録用の磁界が
一方向を向いたまま、あるいは記録用磁界が不要であ
る。よって、発生磁界の強い、例えば永久磁石を用いる
ことができ、磁界変調オーバーライト方式の場合のよう
に記録媒体層９に極力近づけて配置せずとも、記録媒体
層９から数ｍｍ程度離して配置できる。従って、片面タ
イプだけでなく、両面タイプも採用できる。On the other hand, in the light modulation overwrite method in which the light beam is modulated according to the information, the recording magnetic field remains in one direction, or the recording magnetic field is unnecessary. Therefore, a permanent magnet having a strong generated magnetic field, for example, a permanent magnet can be used. it can. Therefore, not only a single-sided type but also a double-sided type can be adopted.

【０２７６】本参考形態の光磁気ディスクを片面ディス
クとして用いる場合、構造上、以下に説明するようなバ
リエーションが可能である。When the magneto-optical disk of the present embodiment is used as a single-sided disk, the following structural variations are possible.

【０２７７】第１のバリエーションは、オーバーコート
層６上にハードコート層（図示されていない）を形成し
た光磁気ディスクであり、基板１／記録媒体層９／オー
バーコート層６／ハードコート層の構造を有している。
ハードコート層として、例えばアクリレート系の紫外線
硬化型ハードコート樹脂膜を、例えばポリウレタンアク
リレート系の紫外線硬化型樹脂からなり膜厚が約６μｍ
のオーバーコート層６の上に形成する。ハードコート層
の膜厚は、例えば３μｍである。A first variation is a magneto-optical disk in which a hard coat layer (not shown) is formed on the overcoat layer 6, and is composed of a substrate 1, a recording medium layer 9, an overcoat layer 6, and a hard coat layer. It has a structure.
As the hard coat layer, for example, an acrylate-based UV-curable hard coat resin film is formed of, for example, a polyurethane acrylate-based UV-curable resin having a thickness of about 6 μm.
On the overcoat layer 6. The thickness of the hard coat layer is, for example, 3 μm.

【０２７８】オーバーコート層６を形成することで、記
録媒体層９の酸化による特性劣化を防ぎ、長期信頼性を
確保することができる。これに加えて、ハードコート膜
を設けることで、例えば記録用の磁石がディスクに接触
してしまっても、硬度の高い、耐摩耗性にすぐれたハー
ドコート膜の作用で、傷を付きにくくし、また傷が発生
しても、それが記録媒体層９にまで達することを防ぐこ
とができる。By forming the overcoat layer 6, deterioration of characteristics due to oxidation of the recording medium layer 9 can be prevented, and long-term reliability can be secured. In addition, by providing a hard coat film, even if a recording magnet comes into contact with the disc, the hard coat film, which has high hardness and excellent abrasion resistance, makes it hard to be scratched. In addition, even if a scratch occurs, it can be prevented from reaching the recording medium layer 9.

【０２７９】また、当然のことながら、オーバーコート
層６にハードコート層の機能を付加させてオーバーコー
ト層６だけで済ませても良い。[0279] Needless to say, the function of the hard coat layer may be added to the overcoat layer 6 and only the overcoat layer 6 may be used.

【０２８０】第２のバリエーションは、オーバーコート
層６上にハードコート層を形成すると共に、基板１の記
録媒体層９とは反対側の面にハードコート層（図示され
ていない）を形成した光磁気ディスクであり、ハードコ
ート層／基板１／記録媒体層９／オーバーコート層６／
ハードコート層の構造を有している。A second variation is a light in which a hard coat layer is formed on the overcoat layer 6 and a hard coat layer (not shown) is formed on the surface of the substrate 1 opposite to the recording medium layer 9. A magnetic disk, a hard coat layer / substrate 1 / recording medium layer 9 / overcoat layer 6 /
It has the structure of a hard coat layer.

【０２８１】光磁気ディスク用の基板１の材料として、
ＰＣをはじめとするプラスチックが多く用いられるが、
これらの材料はガラスに比べて、非常に柔らかく、爪で
こすっただけでも傷が入ってしまう。この傷は、光ビー
ムで記録再生を行う際にひどい場合には、サーボ飛びを
生じさせ、情報の記録再生が不可能になる場合もある。As a material for the substrate 1 for a magneto-optical disk,
PC and other plastics are often used,
These materials are much softer than glass and can be scratched by rubbing with your nails. If the scratches are severe when recording and reproducing with a light beam, servo jumps may occur, making it impossible to record and reproduce information.

【０２８２】本参考形態の光磁気ディスクにおいては、
光ビームの中心近傍だけを利用して再生を行うので、基
板１の表面の傷等の欠陥が再生に及ぼす影響が従来の光
磁気ディスクよりも大きくなってしまう。このため、ハ
ードコート層を基板１の記録媒体層９とは反対側の面に
設けることで、傷発生が防ぐことができる本構成は非常
に有効である。In the magneto-optical disk of the present embodiment ,
Since the reproduction is performed using only the vicinity of the center of the light beam, the influence of a defect such as a scratch on the surface of the substrate 1 on the reproduction is greater than that of the conventional magneto-optical disk. For this reason, by providing the hard coat layer on the surface of the substrate 1 on the side opposite to the recording medium layer 9, the present configuration in which the generation of scratches can be prevented is very effective.

【０２８３】また、両面タイプにおいても、光磁気ディ
スクのそれぞれの基板１・１の表面にハードコート層を
設ければ、同様の効果があることは明らかである。It is apparent that the same effect can be obtained also in the double-sided type by providing a hard coat layer on the surface of each substrate 1 of the magneto-optical disk.

【０２８４】第３のバリエーションは、上記第１、第２
のバリエーションのオーバーコート層６上、あるいは、
ハードコート層上に更に、帯電防止コート層（図示され
ていない）、あるいは、帯電防止機能を付加させた層を
形成した光磁気ディスクである。The third variation is the first and second variations.
On the overcoat layer 6 in a variation of
This is a magneto-optical disk in which an antistatic coat layer (not shown) or a layer having an added antistatic function is further formed on the hard coat layer.

【０２８５】基板１の表面にゴミ、ほこりが付くと、傷
と同様に情報の記録再生が不可能となる場合がある。ま
た、オーバーコート膜６上にほこりが付くと、磁界変調
オーバーライト方式の場合に、磁石を浮上型磁気ヘッド
１２（図２２）として、オーバーコート膜６上を数μｍ
のギャップで配置しているような場合には、ゴミ、ほこ
りが浮上型磁気ヘッド１２、記録媒体層９の損傷を生じ
させてしまう。If dust or dust adheres to the surface of the substrate 1, it may be impossible to record and reproduce information as in the case of scratches. Further, when dust is formed on the overcoat film 6, in the case of the magnetic field modulation overwrite method, the magnet is used as a floating magnetic head 12 (FIG. 22) to cover the overcoat film 6 by several μm.
In such a case, dust and dirt cause damage to the flying magnetic head 12 and the recording medium layer 9.

【０２８６】本構成のように、基板１側の表面または記
録媒体層９側表面に帯電防止機能を有する層が設けられ
た構成を取れば、空気中のゴミ、ほこり等が基板１の表
面あるいはオーバーコート層６上に付着するのを防止す
ることができる。If a layer having an antistatic function is provided on the surface on the substrate 1 side or the surface on the recording medium layer 9 side as in this configuration, dust and dirt in the air can be removed from the surface of the substrate 1 or the surface of the substrate 1. Adhesion on the overcoat layer 6 can be prevented.

【０２８７】本参考形態の光磁気ディスクにおいては、
光ビームの中心近傍だけを利用して再生を行うので、基
板１の表面のゴミ、ほこり等の欠陥が再生に及ぼす影響
が従来の光磁気ディスクよりも大きいので、本構成は極
めて有効である。In the magneto-optical disk of the present embodiment ,
Since the reproduction is performed using only the vicinity of the center of the light beam, a defect such as dust or dust on the surface of the substrate 1 has a greater effect on the reproduction than a conventional magneto-optical disk, and thus this configuration is extremely effective.

【０２８８】帯電防止層としては、例えば、導電性フィ
ラーを混入したアクリル系ハードコート樹脂を使用する
ことができ、その膜厚は約２〜３μｍが適当である。As the antistatic layer, for example, an acrylic hard coat resin mixed with a conductive filler can be used, and its thickness is suitably about 2 to 3 μm.

【０２８９】また、帯電防止層は、プラスチックの基板
１、ガラスの基板１を問わず、表面抵抗率を下げ、ゴ
ミ、ほこり等を付きにくくする目的で設けられる。The antistatic layer is provided for the purpose of lowering the surface resistivity and making it difficult for dust and the like to adhere, regardless of the plastic substrate 1 or the glass substrate 1.

【０２９０】また、当然のことながら、オーバーコート
層６またはハードコート層に帯電防止効果を付加させて
も良い。Further, as a matter of course, an antistatic effect may be added to the overcoat layer 6 or the hard coat layer.

【０２９１】また、両面タイプにおいても、光磁気ディ
スクのそれぞれの基板１・１の表面に対して、本構成を
適用できることは明らかである。It is apparent that the present configuration can be applied to the surface of each substrate 1 of the magneto-optical disk also in the double-sided type.

【０２９２】第４のバリエーションは、オーバーコート
層６上に潤滑層（図示されていない）を形成した光磁気
ディスクであり、基板１／記録媒体層９／オーバーコー
ト層６／潤滑層の構造を有している。潤滑層としては、
例えば、フッ素系樹脂を使用することができ、その膜厚
は約２が適当である。A fourth variation is a magneto-optical disk in which a lubricating layer (not shown) is formed on the overcoat layer 6, and the structure of the substrate 1, the recording medium layer 9, the overcoat layer 6, and the lubricating layer is changed. Have. As the lubrication layer,
For example, a fluorine-based resin can be used, and its film thickness is suitably about 2.

【０２９３】潤滑層を設けることで、磁界変調オーバー
ライト方式で浮上型磁気ヘッド１２を用いた場合、浮上
型磁気ヘッド１２と光磁気ディスクとの間の潤滑性を向
上させることができる。By providing the lubricating layer, when the floating type magnetic head 12 is used by the magnetic field modulation overwrite method, the lubricity between the floating type magnetic head 12 and the magneto-optical disk can be improved.

【０２９４】すなわち、浮上型磁気ヘッド１２は記録媒
体層９上に数μｍから数十μｍのギャップを保ちながら
情報の記録を行うために配置されるものであり、浮上型
磁気ヘッド１２を記録媒体層９に押し付けるよう働くサ
スペンション１３による押圧と、光磁気ディスクの高速
回転による空気流により発生して浮上型磁気ヘッド１２
を記録媒体層９から離すように働く浮上力をバランスし
て、上記ギャップが保たれる。That is, the floating magnetic head 12 is arranged to record information on the recording medium layer 9 while maintaining a gap of several μm to several tens μm. The levitation type magnetic head 12 generated by the air pressure due to the high speed rotation of the magneto-optical disk and the pressure by the suspension 13 acting to press the layer 9.
The above-mentioned gap is maintained by balancing the levitation force acting to separate the recording medium from the recording medium layer 9.

【０２９５】このような浮上型磁気ヘッド１２を用い
て、光磁気ディスクの回転開始時、所定回転数に達する
までの時間、及び、回転終了時、所定回転数より停止に
至るまでの間、浮上型磁気ヘッド１２と光磁気ディスク
とが接するＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ−Ｓｔａｒｔ−Ｓｔ
ｏｐ）方式を採用する場合には、浮上型磁気ヘッド１２
と光磁気ディスクとが吸着すると、光磁気ディスクの回
転開始時、浮上型磁気ヘッド１２が破損されることがあ
る。しかしながら、本参考形態の光磁気ディスクによれ
ば、オーバーコート層６上に潤滑膜を設けたので、浮上
型磁気ヘッド１２と光磁気ディスクとの間の潤滑性が向
上し、吸着による浮上型磁気ヘッド１２の破損を防止で
きる。With the use of such a floating magnetic head 12, the time required to start rotation of the magneto-optical disk and reach a predetermined number of rotations, and at the end of rotation the time required to stop the rotation from the predetermined number of rotations to stop. (Contact-Start-St) where the magnetic head 12 contacts the magneto-optical disk
op) method, the floating magnetic head 12
When the magneto-optical disk is attracted, the flying magnetic head 12 may be damaged when the magneto-optical disk starts rotating. However, according to the magneto-optical disk of the present embodiment , since the lubricating film is provided on the overcoat layer 6, the lubricity between the floating magnetic head 12 and the magneto-optical disk is improved, and the floating magnetic The breakage of the head 12 can be prevented.

【０２９６】当然のことながら、記録媒体層９の劣化を
防ぐ、耐湿保護性能も兼ね備えた材料であれば、オーバ
ーコート層６と潤滑層を別々に設ける必要はない。As a matter of course, it is not necessary to separately provide the overcoat layer 6 and the lubricating layer as long as the material prevents moisture of the recording medium layer 9 and also has the moisture resistance protection performance.

【０２９７】第５のバリエーションは、基板１の記録媒
体層９とは反対側の面に透湿防止層（図示されていな
い）と第２のオーバーコート層（図示されていない）と
を積層した光磁気ディスクであり、オーバコート層／透
湿防止層／基板１／記録媒体層９／オーバコート層６の
構造を有している。In a fifth variation, a moisture-permeable layer (not shown) and a second overcoat layer (not shown) are laminated on the surface of the substrate 1 opposite to the recording medium layer 9. This is a magneto-optical disk and has a structure of overcoat layer / moisture-permeable layer / substrate 1 / recording medium layer 9 / overcoat layer 6.

【０２９８】透湿防止層には、例えば、Ａ１Ｎ，Ａ１Ｓ
ｉＮ，ＳｉＮ，Ａ１ＴａＮ，ＳｉＯ，ＺｎＳ，ＴｉＯ₂
等の透明誘電体材料を使用でき、その膜厚は５ｎｍ程度
が適当である。第２のオーバコート層は、特に基板１と
してＰＣ等の吸湿性の高いプラスチックを基板１に用い
た場合に有効である。For the moisture permeation preventing layer, for example, A1N, A1S
iN, SiN, A1TaN, SiO, ZnS, TiO ₂
Or the like, and a film thickness of about 5 nm is appropriate. The second overcoat layer is particularly effective when a highly hygroscopic plastic such as PC is used for the substrate 1.

【０２９９】透湿防止層は、環境湿度変化に対する光磁
気ディスクの反り変化を低く押さえる効果を有してい
る。これについて、以下に説明する。The moisture permeation preventing layer has an effect of suppressing a change in warpage of the magneto-optical disk due to a change in environmental humidity. This will be described below.

【０３００】基板１の光入射側にこの透湿防止膜がない
場合は、例えば環境湿度が大きく変化した場合に、記録
媒体層９のない側、すなわち基板１の入射光側からのみ
プラスチックの基板１に水分が吸湿されたり放湿された
りする。この吸湿、放湿によりプラスチックの基板１に
は局部的な体積変化が生じ、プラスチックの基板１に反
りが生じてしまう。In the case where the moisture permeation preventing film is not provided on the light incident side of the substrate 1, for example, when the environmental humidity is greatly changed, the plastic substrate is provided only from the side where the recording medium layer 9 is not provided, ie, from the incident light side of the substrate First, moisture is absorbed or released. Due to this moisture absorption and release, the plastic substrate 1 locally changes in volume, and the plastic substrate 1 is warped.

【０３０１】この光磁気ディスクの反りは、情報の再
生、記録等に用いられる光ビームの光軸に対して基板１
が傾いた状態になるため、サーボがずれて信号品質が劣
化したり、ひどい場合にはサーボ飛びが生じたりしてし
まう。The warpage of the magneto-optical disk is caused by the substrate 1 being moved with respect to the optical axis of the light beam used for reproducing and recording information.
Is tilted, so that the servo deviates and the signal quality deteriorates, or in severe cases, the servo jump occurs.

【０３０２】また、基板１にチルトが存在すると光学ヘ
ッド１１（図２２）からのレーザー光は、傾いた記録媒
体層９の面に集光されることになり、チルトの状態に応
じて集光状態が変化することになり、記録再生に悪影響
を及ぼす。If the substrate 1 has a tilt, the laser beam from the optical head 11 (FIG. 22) is focused on the inclined surface of the recording medium layer 9, and is focused according to the tilt state. The state changes, which adversely affects recording and reproduction.

【０３０３】更に、基板１が光学ヘッド１１に対して上
下に移動した場合、光学ヘッド１１はその上下動を補償
し記録媒体層９の面にレーザー光を集光すべく動作する
が、上下動が大きくなり過ぎると光学ヘッド１１の補償
動作が不完全なものとなり、記録媒体層９の面でのレー
ザー光の集光状態は不完全なものとなる。レーザー光の
集光状態が不完全なものとなると記録媒体層９の温度分
布が変化することになり、記録再生に影響を及ぼす。本
参考形態においては、再生時の記録媒体層９の温度分布
が特に重要となってくるため、極力基板１の反り、環境
による反り変化を押さえることが必要となってくる。Further, when the substrate 1 moves up and down with respect to the optical head 11, the optical head 11 operates to compensate for the up and down movement and focus the laser beam on the surface of the recording medium layer 9, but the up and down movement Becomes too large, the compensating operation of the optical head 11 becomes incomplete, and the focusing state of the laser light on the surface of the recording medium layer 9 becomes incomplete. If the laser beam is not completely focused, the temperature distribution of the recording medium layer 9 changes, which affects recording and reproduction. Book
In the reference embodiment , since the temperature distribution of the recording medium layer 9 during reproduction becomes particularly important, it is necessary to minimize the warpage of the substrate 1 and the change in warpage due to the environment.

【０３０４】本構成の光磁気ディスクであれば、透湿防
止層があることにより基板１の表面側における水分の吸
湿、放出がなくなるため、環境変化時の基板１の反りを
大幅に押さえることができ、上記説明の通り、本発明の
光磁気ディスクに特に適した構成となる。In the case of the magneto-optical disk of this configuration, the presence of the moisture permeation preventing layer eliminates the absorption and release of moisture on the surface side of the substrate 1, so that the warpage of the substrate 1 when the environment changes can be greatly suppressed. As described above, the configuration is particularly suitable for the magneto-optical disk of the present invention.

【０３０５】尚、透湿防止層上の第２のオーバコート層
は、透湿防止層への傷発生の防止、基板１の表面の保護
等の目的で設けられており、その材料は、記録媒体層９
上のオーバコート層６と同じでも良い。The second overcoat layer on the moisture permeation prevention layer is provided for the purpose of preventing scratches on the moisture permeation prevention layer, protecting the surface of the substrate 1, and the like. Medium layer 9
It may be the same as the overcoat layer 6 above.

【０３０６】更に、本構成に加えて前述の、例えば、ハ
ードコート層あるいは帯電防止層を第２のオーバコート
層の代わりに、あるいはその上に設けても良い。Further, in addition to this structure, for example, the above-mentioned hard coat layer or antistatic layer may be provided instead of or on the second overcoat layer.

【０３０７】以上の参考形態では、基板１にピッチが
１．６μｍのグルーブを形成したが、１．２μｍのグル
ーブにしても、実用上問題のない記録再生特性が得られ
ることを確認した。In the above embodiment , grooves having a pitch of 1.6 μm were formed on the substrate 1. However, it was confirmed that even if the grooves were formed to have a pitch of 1.2 μm, recording / reproducing characteristics without practical problems could be obtained.

【０３０８】したがって、例えば、レーザー波長が７８
０ｎｍよりも短い短波長レーザーを用い、Ｎ．Ａ．が
０．５５より大きな集光レンズ８を用いて、再生光ビー
ム７のスポット径を小さくすれば、１．２μｍ以下のピ
ッチ（例えば、０．８μｍのピッチ）のグルーブにして
も、実用上問題のない記録再生が可能になる。Therefore, for example, when the laser wavelength is 78
A short-wavelength laser shorter than 0 nm is used. A. If the spot diameter of the reproduction light beam 7 is reduced by using the condenser lens 8 having a diameter larger than 0.55, even if the groove has a pitch of 1.2 μm or less (for example, a pitch of 0.8 μm), there is a practical problem. Recording and playback without any problems are possible.

【０３０９】なお、ランドの幅およびグルーブの幅に
は、製造上、少なくとも±０．０５μｍの誤差を考慮す
る必要がある。It is necessary to consider at least an error of ± 0.05 μm in the width of the land and the width of the groove in manufacturing.

【０３１０】また、ランドの幅とグルーブの幅の比は、
ランド上でのＣ／Ｎとグルーブ上でのＣ／Ｎがほぼ同じ
なるように設定することが好ましい。したがって、グル
ーブの深さとの兼ね合いで、その比を１：１から若干ず
らしてもかまわない。The ratio of the land width to the groove width is
It is preferable that the C / N on the land and the C / N on the groove are set to be substantially the same. Therefore, the ratio may be slightly shifted from 1: 1 in consideration of the groove depth.

【０３１１】１本の光ビームで記録再生を行う光磁気デ
ィスク装置では、トラッキング・サーボをランド上のト
ラックからグルーブ上のトラックに切り換えるには、ト
ラッキング・サーボの極性を切り換える必要がある。In a magneto-optical disk drive that performs recording and reproduction with one light beam, in order to switch the tracking servo from a track on a land to a track on a groove, it is necessary to switch the polarity of the tracking servo.

【０３１２】記録方法としては、まず、ランド上のトラ
ックに記録を行い、すべてのランド上のトラックに記録
が行われた後、トラッキング・サーボの極性を切り換
え、グルーブ上のトラックに記録を行う。また、トラッ
クを光磁気ディスクの半径方向に論理的領域に分割し、
まず、ある論理分割領域のランド上のトラックに記録を
行い、その論理分割領域のすべてのランド上のトラック
に記録が行われた後、その論理分割領域のグルーブ上の
トラックに記録を行うようにすれば、アクセス速度が向
上する。As a recording method, first, recording is performed on tracks on lands, and after recording is performed on all tracks on lands, the polarity of the tracking servo is switched to perform recording on tracks on grooves. Also, the track is divided into logical areas in the radial direction of the magneto-optical disk,
First, recording is performed on a track on a land of a certain logical division area, and after recording is performed on tracks on all lands of the logical division area, recording is performed on a track on a groove of the logical division area. Then, the access speed improves.

【０３１３】２本以上の光ビームを用い、それぞれの光
ビームをランド上のトラックとグルーブ上のトラックと
にトラッキング・サーボをかける光磁気ディスク装置で
は、トラッキング・サーボの極性を切り換える必要はな
く、しかも、データの高速転送が可能になる。なお、記
録の際の熱干渉により記録ビットの形状が乱れることが
ないように、複数の光ビームをある程度離すことが必要
である。In a magneto-optical disk drive which uses two or more light beams and applies tracking servo to tracks on lands and tracks on grooves, it is not necessary to switch the polarity of the tracking servo. Moreover, high-speed data transfer becomes possible. Note that it is necessary to separate a plurality of light beams to some extent so that the shape of the recording bit is not disturbed by thermal interference during recording.

【０３１４】本発明の前提となる第２参考形態を図３９
に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明
の便宜上、前記の参考形態の図面に示した部材と同一の
機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明
を省略する。FIG. 39 shows a second reference embodiment on which the present invention is based .
This will be described below. For convenience of explanation, members having the same functions as those shown in the drawings of the above-mentioned reference embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【０３１５】本参考形態の光磁気ディスクは、図３９に
示すように、基板１、透明誘電体層２、読み出し層３、
記録層４、放熱層２０、オーバコート層６がこの順に積
層された構成を有している。As shown in FIG. 39, the magneto-optical disk of the present embodiment has a substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3,
The recording layer 4, the heat radiation layer 20, and the overcoat layer 6 are laminated in this order.

【０３１６】放熱層２０には、例えば、Ａｌを使用で
き、その膜厚は、約１００ｎｍが適当である。基板１、
透明誘電体層２、読み出し層３、記録層４、オーバコー
ト層６には、前記参考形態と同一の材料を使用できる。For example, Al can be used for the heat radiation layer 20, and its thickness is suitably about 100 nm. Substrate 1,
For the transparent dielectric layer 2, the readout layer 3, the recording layer 4, and the overcoat layer 6, the same materials as those of the above-described embodiment can be used.

【０３１７】記録層４上に放熱層２０を設けたので、記
録の際に、記録ビット形状をよりシャープにする効果が
ある。これは、次の理由による。Since the heat radiation layer 20 is provided on the recording layer 4, there is an effect of sharpening the recording bit shape at the time of recording. This is for the following reason.

【０３１８】入射面側から入射された光ビームは、その
ほとんどが読み出し層３及び記録層４に吸収され熱に変
わる。この時、熱は読み出し層３及び記録層４の厚さ方
向に伝導するとともに、層内方向、つまり横方向にも伝
導する。この横方向への熱伝導量が多く、かつ、熱伝導
する速度が遅いと、例えば、より高速に、高い記録密度
で記録を行おうとする場合、次に記録しようとする記録
ビットに対して熱的な悪影響を及ぼす。このため、既定
の長さよりも長い記録ビットになってしまったり、ある
いはガイドトラックに対して横方向に広がった記録ビッ
トが形成されたりする。横方向に記録ビットが広がって
しまうと、クロストーク量の増加につながり、良好な記
録再生が行えなくなる。Most of the light beam incident from the incident surface side is absorbed by the readout layer 3 and the recording layer 4 and converted into heat. At this time, the heat is conducted in the thickness direction of the readout layer 3 and the recording layer 4 and also conducted in the layer direction, that is, in the lateral direction. If the amount of heat conduction in the lateral direction is large and the speed of heat conduction is low, for example, when recording is to be performed at a higher speed and with a higher recording density, heat is applied to the next recording bit to be recorded. Adverse effects. For this reason, the recording bit becomes longer than a predetermined length, or a recording bit spread in a lateral direction with respect to the guide track is formed. When the recording bits spread in the horizontal direction, the amount of crosstalk increases, and good recording and reproduction cannot be performed.

【０３１９】本参考形態では、熱伝導の高いＡｌからな
る放熱層２０を記録層４上に形成しているので、横方向
への熱の広がりを放熱層２０側、つまり厚さ方向へ逃が
すことができ、上記のような横方向への熱の広がりを低
減させることができる。したがって、より密度の高い、
より高速な記録条件下で、熱干渉のない記録を行うこと
が可能になる。In the present embodiment , the heat radiation layer 20 made of Al having high heat conductivity is formed on the recording layer 4, so that the spread of heat in the lateral direction is released to the heat radiation layer 20 side, that is, in the thickness direction. Thus, the spread of heat in the lateral direction as described above can be reduced. Therefore, the denser,
Under higher-speed recording conditions, recording without thermal interference can be performed.

【０３２０】また、放熱層２０を設けると、以下に説明
するように、光変調オーバーライト記録の際にも、有利
となる。The provision of the heat radiation layer 20 is also advantageous in light modulation overwrite recording as described below.

【０３２１】放熱層２０があることにより、記録の過程
で、光ビーム照射により一旦昇温した領域が冷えると
き、読み出し層３と記録層４のそれぞれの層の温度変化
に、よりはっきりとした差をもたせることができる。こ
の効果は、特に高レベルのレーザー光が照射された時の
読み出し層３と記録層４の冷却過程を大きく相違させる
ことができるため（記録層４の方が速く冷却される）、
より容易に重ね書きを行うことができる。The presence of the heat radiation layer 20 allows a clearer difference between the temperature changes of the readout layer 3 and the recording layer 4 when the region once heated by the light beam irradiation cools down during the recording process. Can be provided. This effect is because the cooling process of the readout layer 3 and the recording layer 4 when a high-level laser beam is irradiated can be greatly different (the recording layer 4 is cooled faster).
Overwriting can be performed more easily.

【０３２２】放熱層２０の材料であるＡｌは、読み出し
層３、記録層４に用いられる希土類遷移金属合金膜より
もその熱伝導率が高く、放熱層２０に適した材料であ
る。加えて、透明誘電体層２にＡｌＮを用いる場合、こ
のＡｌＮは、ＡｌターゲットをＡｒおよびＮ２ガスで反
応性スパッターすることにより形成されるので、同じＡ
ｌターゲットをＡｒガスでスパッターすることで放熱層
２０を容易に形成できる。また、Ａｌは非常に安価な材
料でもある。Al, which is a material of the heat radiation layer 20, has a higher thermal conductivity than the rare earth transition metal alloy film used for the readout layer 3 and the recording layer 4, and is a material suitable for the heat radiation layer 20. In addition, when AlN is used for the transparent dielectric layer 2, this AlN is formed by reactively sputtering an Al target with Ar and N2 gases, so that the same AN is used.
The heat radiation layer 20 can be easily formed by sputtering the target with Ar gas. Al is also a very inexpensive material.

【０３２３】放熱層２０の材料は、Ａｌ以外にＡｕ，Ａ
ｇ，Ｃｕ，ＳＵＳ，Ｔａ，Ｃｒ等のように、読み出し層
３、記録層４より熱伝導率が大きい材料であればよい。The material of the heat radiation layer 20 is Au, A in addition to Al.
Any material such as g, Cu, SUS, Ta, Cr or the like having a higher thermal conductivity than the readout layer 3 and the recording layer 4 may be used.

【０３２４】放熱層にＡｕ，Ａｇ，Ｃｕを採用した場
合、耐酸化性、耐湿性、耐孔食性に優れているので、長
期信頼性が向上する。[0324] When Au, Ag, and Cu are used for the heat dissipation layer, the oxidation resistance, moisture resistance, and pitting corrosion resistance are excellent, so that the long-term reliability is improved.

【０３２５】放熱層にＳＵＳ，Ｔａ，Ｃｒを採用した場
合、耐酸化性、耐湿性、耐孔食性に極めて優れているの
で、長期信頼性が向上する。When SUS, Ta, or Cr is used for the heat radiation layer, long-term reliability is improved because of excellent oxidation resistance, moisture resistance, and pitting corrosion resistance.

【０３２６】尚、本参考形態では、放熱層２０の膜厚を
１００ｎｍとしたが、厚くするほど放熱効果は高くな
り、加えて、長期信頼性も向上する。しかしながら、既
に説明した通り、光磁気ディスクの記録感度にも影響を
及ぼすので、材料の熱伝導率、比熱に応じた膜厚の設定
が必要であり、５〜２００ｎｍの範囲が良い。とりわ
け、１０〜１００ｎｍが好適である。熱伝導率が比較的
高く、耐食性に優れた材料であれば、膜厚は１０〜１０
０ｎｍ程度と薄くて済み、製造時の膜形成に要する時間
も短縮することができる。In the present embodiment , the thickness of the heat radiation layer 20 is set to 100 nm. However, the heat radiation effect increases as the thickness increases, and the long-term reliability also improves. However, as already described, since it also affects the recording sensitivity of the magneto-optical disk, it is necessary to set the film thickness in accordance with the thermal conductivity and specific heat of the material, and the range of 5 to 200 nm is preferable. In particular, 10 to 100 nm is preferable. If the material has relatively high thermal conductivity and excellent corrosion resistance, the film thickness is 10 to 10
It can be made as thin as about 0 nm, and the time required for film formation at the time of manufacturing can be shortened.

【０３２７】また、記録層４と放熱層２０の間に誘電体
層（図示されていない）を挿入してもかまわない。誘電
体層には、透明誘電体層２と同じ材料を用いれば良く、
Ａ１Ｎ，ＳｉＮ，Ａ１ＳｉＮ等第１参考形態で説明した
材料を使用できる。特に、Ａ１Ｎ，ＳｉＮ，Ａ１Ｓｉ
Ｎ、ＴｉＮ、Ａ１ＴａＮ，ＺｎＳ，ＢＮ等の成分に酸素
を含まない窒化膜を用いれば、長期信頼性により優れた
光磁気ディスクを提供することができる。誘電体層の膜
厚は、１０〜１００ｎｍの範囲が良い。[0327] A dielectric layer (not shown) may be inserted between the recording layer 4 and the heat radiation layer 20. The same material as the transparent dielectric layer 2 may be used for the dielectric layer.
The materials described in the first embodiment such as A1N, SiN, and A1SiN can be used. In particular, A1N, SiN, A1Si
If a nitride film containing no oxygen is used for components such as N, TiN, A1TaN, ZnS, and BN, a magneto-optical disk with more excellent long-term reliability can be provided. The thickness of the dielectric layer is preferably in the range of 10 to 100 nm.

【０３２８】本発明の前提となる第３参考形態を図４０
に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明
の便宜上、前記参考形態の図面に示した部材と同一の機
能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を
省略する。FIG. 40 shows a third embodiment which is a premise of the present invention .
This will be described below. For convenience of explanation, members having the same functions as the members shown in the drawings of the aforementioned reference embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【０３２９】本参考形態の光磁気ディスクは、図４０に
示すように、基板１、透明誘電体層２、読み出し層３、
記録層４、透明誘電体層２１、反射層２２、オーバコー
ト層６がこの順に積層された構成を有している。As shown in FIG. 40, the magneto-optical disk of this embodiment has a substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3,
The recording layer 4, the transparent dielectric layer 21, the reflective layer 22, and the overcoat layer 6 are laminated in this order.

【０３３０】透明誘電体層２１には、例えば、ＡｌＮを
使用でき、その膜厚は、約３０ｎｍが適当である。反射
層２２には、例えば、Ａｌを使用でき、その膜厚は、約
３０ｎｍが適当である。基板１、透明誘電体層２、読み
出し層３、記録層４、オーバコート層６には、前記参考
形態と同一の材料を使用できる。ただし、読み出し層３
の膜厚を前記第１参考形態の半分の１５ｎｍ、記録層４
の膜厚を前記第１参考形態の半分の１５ｎｍにしてお
り、両層合わせて３０ｎｍと非常に薄い膜厚にしてい
る。For example, AlN can be used for the transparent dielectric layer 21, and its thickness is suitably about 30 nm. For example, Al can be used for the reflective layer 22, and its thickness is suitably about 30 nm. Substrate 1, the transparent dielectric layer 2, the readout layer 3, a recording layer 4, the overcoat layer 6, the reference
The same material as the form can be used. However, the readout layer 3
The thickness of the recording layer 4 is 15 nm, which is half that of the first embodiment.
Is 15 nm, which is half that of the first embodiment , and the total thickness of both layers is as extremely small as 30 nm.

【０３３１】つまり、本参考形態の光磁気ディスクにお
いては、入射した光ビームの一部が、読み出し層３及び
記録層４を透過して、透明誘電体層２１を透過し、反射
層２２で反射されるようになっている。That is, in the magneto-optical disk of the present embodiment , a part of the incident light beam passes through the readout layer 3 and the recording layer 4, passes through the transparent dielectric layer 21, and reflects on the reflection layer 22. It is supposed to be.

【０３３２】これにより、読み出し層３の表面で反射し
た光と、反射層２２により反射され再び記録層４及び読
み出し層３を透過した光とが干渉して、磁気光学効果が
エンハンスされて極カー回転角が大きくなる。このた
め、より高精度に情報の再生が行え、再生信号の品質が
向上する。As a result, the light reflected on the surface of the readout layer 3 and the light reflected by the reflective layer 22 and transmitted again through the recording layer 4 and the readout layer 3 interfere with each other, and the magneto-optical effect is enhanced and The rotation angle increases. Therefore, information can be reproduced with higher accuracy, and the quality of a reproduced signal is improved.

【０３３３】本構成においては、エンハンス効果を上げ
るためには、透明誘電体層２の膜厚は、７０〜１００ｎ
ｍが最適で、この時、透明誘電体層２１の膜厚は１５〜
５０ｎｍが好適である。In this configuration, in order to enhance the enhancement effect, the thickness of the transparent dielectric layer 2 should be 70 to 100 n.
m is optimal, and at this time, the thickness of the transparent dielectric layer 21 is 15 to
50 nm is preferred.

【０３３４】透明誘電体層２の膜厚を７０〜１００ｎｍ
とすれば良い理由は、第１参考形態において既に説明し
たように、最も極カー回転角のエンハンス効果が大きく
なるからである。The transparent dielectric layer 2 has a thickness of 70 to 100 nm.
The reason for this is that, as already described in the first embodiment , the enhancement effect of the polar car rotation angle becomes the largest.

【０３３５】透明誘電体層２１の膜厚は、膜厚を厚くす
ればするほど、極カー回転角が大きくなるが、反射率が
小さくなる。反射率をあまり小さくし過ぎると、ガイド
トラックにサーボをかけるための信号が小さくなり、安
定したサーボがかけられなくなってしまう。このため、
透明誘電体層２１の膜厚は１５〜５０ｎｍ程度が適して
いる。As the film thickness of the transparent dielectric layer 21 increases, the polar Kerr rotation angle increases, but the reflectance decreases. If the reflectance is too small, the signal for applying servo to the guide track becomes small, and stable servo cannot be applied. For this reason,
The thickness of the transparent dielectric layer 21 is preferably about 15 to 50 nm.

【０３３６】また、透明誘電体層２の屈折率よりも透明
誘電体層２１の屈折率を大きくすれば、よりエンハンス
効果を高めることができる。If the refractive index of the transparent dielectric layer 21 is made larger than the refractive index of the transparent dielectric layer 2, the enhancement effect can be further enhanced.

【０３３７】また、読み出し層３及び記録層４は、どち
らも希土類遷移金属合金からなる光吸収率の高い層であ
るので、これらを合わせた膜厚が、５０ｎｍ以上になる
とほとんど光が透過せず、エンハンス効果が得られなく
なる。従って、これら２層を合わせた膜厚は、１０〜５
０ｎｍが好適である。Since the readout layer 3 and the recording layer 4 are both layers made of a rare-earth transition metal alloy and have a high light absorptivity, when the combined film thickness is 50 nm or more, almost no light is transmitted. , The enhancement effect cannot be obtained. Therefore, the combined film thickness of these two layers is 10 to 5
0 nm is preferred.

【０３３８】また、反射層２２の膜厚は、あまり薄すぎ
ると反射層２２を光が透過してしまい、エンハンス効果
が低下するので、最低でも２０ｎｍ程度は必要である。
また、あまり厚すぎると記録、再生等に必要なレーザパ
ワーが高くなり、光磁気ディスクの記録感度を低下させ
てしまうので、１００ｎｍ以下程度が好ましい。従っ
て、反射層２２に好適な膜厚は２０〜１００ｎｍの範囲
である。If the thickness of the reflective layer 22 is too small, light is transmitted through the reflective layer 22 and the enhancement effect is reduced. Therefore, at least about 20 nm is required.
On the other hand, if the thickness is too large, the laser power required for recording, reproduction and the like becomes high, and the recording sensitivity of the magneto-optical disk is reduced. Therefore, the preferred film thickness for the reflective layer 22 is in the range of 20 to 100 nm.

【０３３９】反射層２２の材料として、Ａｌを採用した
理由は、半導体レーザーの波長範囲で反射率が約８０％
と大きいこと、スパッタリングによる形成の際に、透明
誘電体層２のＡｌＮと共通のＡｌターゲットを使用する
ことが可能となること等が挙げられる。前述の通り、Ａ
ｌＮを成膜するときには、ＡｒとＮ₂の混合ガスあるい
はＮ₂ガスにより反応性スパッタリングを行い、反射層
２２のＡ１を成膜するときには、Ａｒガスを導入してス
パッタリングを行う。The reason for using Al as the material of the reflection layer 22 is that the reflectance is about 80% in the wavelength range of the semiconductor laser.
And the fact that it is possible to use an Al target common to the AlN of the transparent dielectric layer 2 during formation by sputtering. As mentioned above, A
When forming 1N, reactive sputtering is performed using a mixed gas of Ar and N ₂ or N ₂ gas, and when forming A1 of the reflective layer 22, Ar gas is introduced to perform sputtering.

【０３４０】Ａ１以外の反射層としては、Ａｕ，Ｐｔ，
Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｇ，Ｃｕ，ＳＵＳ，Ｔａ，Ｃｒ等のよう
に、光ビームの波長での反射率が５０％以上の材料であ
れば良い。As a reflection layer other than A1, Au, Pt,
Any material, such as Co, Ni, Ag, Cu, SUS, Ta, and Cr, having a reflectance of 50% or more at the wavelength of the light beam may be used.

【０３４１】反射層２２にＡｕ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｏを採
用した場合、耐酸化性、耐湿性、耐孔食性に優れている
ので、長期信頼性が向上する。In the case where Au, Pt, Cu, or Co is used for the reflective layer 22, the long-term reliability is improved because of excellent oxidation resistance, moisture resistance, and pitting corrosion resistance.

【０３４２】反射層２２にＮｉを採用した場合、熱伝導
率が小さいので、光磁気ディスクが高記録感度になり、
耐酸化性、耐湿性、耐孔食性に優れているので、長期信
頼性が向上する。When Ni is used for the reflective layer 22, the magneto-optical disk has a high recording sensitivity because of its low thermal conductivity.
It has excellent oxidation resistance, moisture resistance, and pitting resistance, so that long-term reliability is improved.

【０３４３】反射層２２にＡｇを採用した場合、耐酸化
性、耐湿性、耐孔食性に優れているので、長期信頼性が
向上する。しかも、Ａｇターゲットは廉価である。When Ag is used for the reflective layer 22, the long-term reliability is improved because of excellent oxidation resistance, moisture resistance, and pitting resistance. Moreover, Ag targets are inexpensive.

【０３４４】反射層２２にＳＵＳ，Ｔａ，Ｃｒを採用し
た場合、耐酸化性、耐湿性、耐孔食性に極めて優れてい
るので、より長期信頼性に優れた光磁気ディスクを提供
することができる。When SUS, Ta, or Cr is used for the reflection layer 22, the magneto-optical disk can be provided with more excellent long-term reliability because it is extremely excellent in oxidation resistance, moisture resistance, and pitting corrosion resistance. .

【０３４５】本発明の前提となる第４参考形態を図４１
および４２に基づいて説明すれば、以下の通りである。
なお、説明の便宜上、前記の参考形態の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記
し、その説明を省略する。FIG. 41 shows a fourth embodiment which is a premise of the present invention .
The following is a description based on and.
For convenience of explanation, members having the same functions as those shown in the drawings of the above-mentioned reference embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【０３４６】本参考形態の光磁気ディスクは、図４１に
示すように、基板１、透明誘電体層２、読み出し層３、
記録層４、保護層５、オーバコート層６がこの順に積層
された構成を有している。前記第１参考形態の光磁気デ
ィスクの構造と類似しているが、以下に詳述するよう
に、読み出し層３の磁気特性が異なっている。As shown in FIG. 41, the magneto-optical disk of this embodiment has a substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3,
It has a configuration in which a recording layer 4, a protective layer 5, and an overcoat layer 6 are laminated in this order. Although the structure is similar to the structure of the magneto-optical disk of the first embodiment , the magnetic characteristics of the readout layer 3 are different as described in detail below.

【０３４７】読み出し層３は希土類遷移金属合金からな
っており、希土類金属の副格子磁気モーメントと遷移金
属の副格子磁気モーメントが互いに逆方向を向いている
フェリ磁性体である。これらの副格子磁気モーメントの
温度特性は互いに異なっており、高温では遷移金属の磁
気モーメントが希土類金属の磁気モーメントに比べ相対
的に大きくなる。The readout layer 3 is made of a rare earth transition metal alloy, and is a ferrimagnetic material in which the sublattice magnetic moment of the rare earth metal and the sublattice magnetic moment of the transition metal are opposite to each other. The temperature characteristics of these sublattice magnetic moments are different from each other. At a high temperature, the magnetic moment of the transition metal becomes relatively larger than the magnetic moment of the rare earth metal.

【０３４８】読み出し層３は室温では面内磁化状態とな
るように、室温において補償組成より希土類金属の含有
量を多くしておく。光ビームが照射されると、その部分
の温度が上昇し、遷移金属の副格子磁気モーメントが相
対的に大きくなる。したがって、全体としての磁化が小
さくなり、垂直磁化を示すようになる。At room temperature, the content of the rare-earth metal is made larger than that of the compensating composition so that the readout layer 3 is in an in-plane magnetization state at room temperature. When the light beam is irradiated, the temperature of that portion rises, and the sublattice magnetic moment of the transition metal becomes relatively large. Therefore, the magnetization as a whole becomes smaller, and shows a perpendicular magnetization.

【０３４９】すなわち、図４２の保磁力の温度特性に示
すように、読み出し層３は室温（Ｔ_ROOM）において磁化
が膜面内方向を向いている面内磁化状態であり、ＴＰ１
以上の温度で磁化が膜面に垂直な方向を向いている垂直
磁化状態となり、読み出し温度（Ｔ_READ）において垂直
磁化膜となる。That is, as shown in the temperature characteristics of the coercive force in FIG. 42, the readout layer 3 is in an in-plane magnetization state in which the magnetization is oriented in the in-plane direction at room temperature (T _ROOM ).
At the above temperature, the magnetization becomes a perpendicular magnetization state in which the magnetization is oriented in a direction perpendicular to the film surface, and the film becomes a perpendicular magnetization film at the reading temperature (T _READ ).

【０３５０】そこで、本参考形態の読み出し層３は、室
温において補償組成より希土類金属の含有量が多いＲＥ
リッチな組成にしている。さらに、読み出し層３が室温
からキュリー温度まで、常にＲＥリッチな組成である必
要がある。ここで、ＲＥリッチとは、補償組成より希土
類金属の含有量が多い組成のことであり、後述するＴＭ
リッチとは、補償組成より遷移金属の含有量が多い組成
のことである。Therefore, the readout layer 3 of the present embodiment has a RE content at room temperature which is higher in rare earth metal content than the compensation composition.
It has a rich composition. Further, the readout layer 3 must always have an RE-rich composition from room temperature to the Curie temperature. Here, RE-rich refers to a composition in which the content of the rare earth metal is higher than the compensation composition, and is referred to as TM
The term “rich” refers to a composition having a higher transition metal content than the compensation composition.

【０３５１】記録層４は、垂直磁化膜からなる希土類遷
移金属合金からなっており、室温において、磁化方向と
して記録された情報を安定して保存するため、保磁力Ｈ
Ｃ２（図４２参照）が十分に高い必要がある。外部磁界
等の外乱を考えた場合、１００ｋＡ／ｍ程度の保磁力で
十分であるが、できれば４００ｋＡ／ｍ以上の保磁力を
有することが望ましい。The recording layer 4 is made of a rare earth transition metal alloy composed of a perpendicular magnetization film, and has a coercive force H at room temperature for stably storing information recorded as a magnetization direction.
C2 (see FIG. 42) needs to be sufficiently high. When a disturbance such as an external magnetic field is considered, a coercive force of about 100 kA / m is sufficient, but preferably a coercive force of 400 kA / m or more is desirable.

【０３５２】次に、上記の光磁気ディスクにおける光変
調オーバーライトについて説明する。Next, a description will be given of the optical modulation overwrite in the above-mentioned magneto-optical disk.

【０３５３】光ビームが照射され、記録が行われるキュ
リー温度Ｔ_C2近傍まで記録層４の温度が上昇した時、記
録層４の磁化方向は、記録磁界の方向に記録層４の磁化
方向を揃えようとする静磁結合力と、読み出し層３と記
録層４の副格子磁気モーメントの方向を揃えようとする
交換結合力との釣り合いにより決定される。そのため、
記録が行われるキュリー温度Ｔ_C2近傍において、上記静
磁結合力と交換結合力とが記録層４に及ぼす力の方向は
逆方向である必要がある。すなわち、記録層４のキュリ
ー温度Ｔ_C2近傍において、読み出し層３がＲＥリッチで
あるため、記録層４はＴＭリッチとなる必要がある。When the light beam is irradiated and the temperature of the recording layer 4 rises to near the Curie temperature T _C2 at which recording is performed, the magnetization direction of the recording layer 4 is aligned with the direction of the recording magnetic field. It is determined by the balance between the magnetostatic coupling force to be made and the exchange coupling force to make the directions of the sublattice magnetic moments of the readout layer 3 and the recording layer 4 uniform. for that reason,
In the vicinity of the Curie temperature T _{C2 at which} recording is performed, the direction of the force exerted on the recording layer 4 by the magnetostatic coupling force and the exchange coupling force needs to be opposite. That is, since the readout layer 3 is RE-rich near the Curie temperature T _{C2 of} the recording layer 4, the recording layer 4 needs to be TM-rich.

【０３５４】光磁気ディスクに比較的低い第１のパワー
の光ビームを照射することにより、記録層４の温度がそ
のキュリー温度Ｔ_C2近傍（図４２のＴ_L）まで上昇した
場合、記録層４の磁化は非常に小さくなるか又はなくな
るため、読み出し層３の磁化方向は、記録磁界の方向を
向く。また、光入射側の読み出し層３の温度が記録層４
の温度より高く成るように、すなわち、Ｔ₁₁（読み出し
層３の平均的な温度）＞Ｔ₂₂（記録層４の平均的な温
度）になるように、読み出し層３の膜厚と記録層４の膜
厚を設定しておくと、読み出し層３から記録層４に働く
交換結合力と記録磁界が記録層４に及ぼす静磁結合力と
を比較した場合、記録磁界が記録層４に及ぼす静磁結合
力が相対的に強くなる。その結果、記録層４の磁化方向
を、記録磁界が記録層４に及ぼす静磁結合力により決定
される方向に向けることが可能となる。When the temperature of the recording layer 4 rises to near its Curie temperature T _C2 (T _{L in} FIG. 42) by irradiating the magneto-optical disk with a light beam having a relatively low first power. The magnetization of the readout layer 3 is oriented in the direction of the recording magnetic field because the magnetization of the readout layer 3 becomes very small or disappears. Further, the temperature of the readout layer 3 on the light incident side is
, That is, T ₁₁ (average temperature of the readout layer 3)> T ₂₂ (average temperature of the recording layer 4). When the exchange coupling force acting on the recording layer 4 from the readout layer 3 is compared with the magnetostatic coupling force exerted on the recording layer 4 by the recording magnetic field, the recording magnetic field exerts a static The magnetic coupling force becomes relatively strong. As a result, the magnetization direction of the recording layer 4 can be directed to a direction determined by the magnetostatic coupling force exerted on the recording layer 4 by the recording magnetic field.

【０３５５】次に、光磁気ディスクに比較的高い第２の
パワーの光ビームを照射することにより、記録層４の温
度がそのキュリー温度Ｔ_C2以上（図４２のＴ_H）に上昇
した場合、同様の過程を経て温度上昇するが、温度下降
過程において膜厚方向の温度差は解消され、記録層４の
キュリー温度近傍まで温度が降下した時点において、Ｔ
₁₁＝Ｔ₂₂の状態を実現することが可能である。この時、
記録層４の磁化は非常に小さくなるか又はなくなるた
め、読み出し層３の磁化方向は、記録磁界の方向を向
く。Next, when the temperature of the recording layer 4 is raised to the Curie temperature T _C2 or more (T _{H in} FIG. 42) by irradiating the magneto-optical disk with a light beam having a relatively high second power, The temperature rises through a similar process, but the temperature difference in the film thickness direction is eliminated in the process of decreasing the temperature, and when the temperature drops to near the Curie temperature of the recording layer 4, T
₁₁ = it is possible to realize the state of the T _22. At this time,
Since the magnetization of the recording layer 4 becomes very small or disappears, the magnetization direction of the reading layer 3 is directed to the direction of the recording magnetic field.

【０３５６】この場合、上記比較的低い第１のパワーの
光ビームが照射された場合と比較して、読み出し層３か
ら記録層４に働く交換結合力が相対的に強くなる。その
結果、記録層４の磁化方向を、読み出し層３からの交換
結合力により決定される方向に向けることが可能とな
る。In this case, the exchange coupling force acting on the recording layer 4 from the readout layer 3 becomes relatively strong as compared with the case where the light beam having the relatively low first power is applied. As a result, the magnetization direction of the recording layer 4 can be directed to a direction determined by the exchange coupling force from the readout layer 3.

【０３５７】このようにして、比較的低い第１のパワー
の光ビームが照射された場合と比較的高い第２のパワー
の光ビームが照射された場合とで、記録層４の磁化方向
を変えることが可能となる。つまり、光変調オーバーラ
イトが可能になる。As described above, the magnetization direction of the recording layer 4 is changed between when the light beam having the relatively low first power is irradiated and when the light beam having the relatively high second power is irradiated. It becomes possible. That is, light modulation overwriting becomes possible.

【０３５８】記録された記録層４の磁化方向を読み出す
場合、第１のパワーよりさらに低いパワーの光ビームを
照射する。照射される光ビームの強度は、一般的にガウ
ス分布になっているため、読み出し層３の温度分布もガ
ウス分布となる。このため、光ビーム径よりも小さい中
心部分のみの読み出し層３を垂直磁化状態とすることが
可能である。When reading the recorded magnetization direction of the recording layer 4, a light beam having a lower power than the first power is irradiated. Since the intensity of the irradiated light beam generally has a Gaussian distribution, the temperature distribution of the readout layer 3 also has a Gaussian distribution. Therefore, it is possible to bring the readout layer 3 only in the central portion smaller than the light beam diameter into the perpendicular magnetization state.

【０３５９】読み出し層３の磁化方向は、記録層４との
交換結合により、読み出し層３と記録層４の副格子磁気
モーメントの方向を揃えるように決定される。したがっ
て、光ビームの中心部分の光ビーム径より小さい範囲の
みの記録層４の磁化方向を読み出すことが可能となる。The magnetization direction of the readout layer 3 is determined by exchange coupling with the recording layer 4 so that the directions of the sublattice magnetic moments of the readout layer 3 and the recording layer 4 are aligned. Therefore, it is possible to read out the magnetization direction of the recording layer 4 only in a range smaller than the light beam diameter at the central portion of the light beam.

【０３６０】なお、記録層４がキュリー温度ＴＣ２近傍
においてＲＥリッチである場合、光変調オーバーライト
を行うことはできなくなるが、磁界変調オーバーライト
等の記録方法で記録された情報を読み出すことは可能で
ある。When the recording layer 4 is RE-rich near the Curie temperature TC2, light modulation overwriting cannot be performed, but information recorded by a recording method such as magnetic field modulation overwriting can be read. It is.

【０３６１】以上において、読み出し層３は、室温（Ｔ
_ROOM）において磁化が膜面内方向を向いている面内磁化
状態であり、温度上昇に伴いＴ_P1以上の温度で磁化が膜
面に垂直な方向を向いている垂直磁化状態となる必要が
あり、読み出し温度（Ｔ_READ）において垂直磁化膜とな
る必要があるとした。しかしながら、読み出し時の再生
出力は、読み出し層３の磁化の傾きに依存するため、読
み出し層３は、室温において完全な面内磁化状態とな
り、読み出し温度において完全な垂直磁化状態となる必
要はない。In the above, the readout layer 3 is at room temperature (T
_ROOM ) is an in-plane magnetization state in which the magnetization is in the in-plane direction of the film, and it is necessary to be in a perpendicular magnetization state in which the magnetization is in a direction perpendicular to the film surface at a temperature of T _P1 or more with a rise in temperature. It was determined that the film had to be a perpendicular magnetization film at the reading temperature (T _READ ). However, the read output at the time of reading depends on the inclination of the magnetization of the read layer 3, so that the read layer 3 has a complete in-plane magnetization state at room temperature, and does not need to have a complete perpendicular magnetization state at the read temperature.

【０３６２】すなわち、室温と読み出し温度において、
読み出し層３の磁化の傾きの状態が異なれば、読み出し
時に、光ビームの中心部分の光ビーム径より小さい範囲
のみの記録層４の磁化方向を読み出す効果が得られる。That is, at room temperature and reading temperature,
If the state of the magnetization inclination of the readout layer 3 is different, the effect of reading out the magnetization direction of the recording layer 4 only in a range smaller than the light beam diameter at the center of the light beam at the time of reading can be obtained.

【０３６３】次に、上記光磁気ディスクの具体例および
その製造方法、この光磁気ディスクを用いた光変調オー
バーライトおよびその再生試験について説明する。Next, a specific example of the above-mentioned magneto-optical disk and a method of manufacturing the same, an optical modulation overwrite using the magneto-optical disk, and a reproduction test thereof will be described.

【０３６４】Ａ１，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｆｅ，Ｃｏからなる５
元のターゲットをそなえたスパッター装置内に、プリグ
ルーブ及びプリピットを有するポリカーボネート製の基
板１をターゲットに対向して配置し、スパッター装置内
を１×１０^-6Ｔｏｒｒまで真空排気した後、アルゴンと
窒素の混合ガスを導入し、Ａ１のターゲットに電力を供
給して、４×１０^-3Ｔｏｒｒのガス圧、１２ｎｍ／ｍｉ
ｎのスパッター速度にて、Ａ１Ｎからなる８０ｎｍの膜
厚の透明誘電体層２を形成した。A1, 5 composed of Gd, Dy, Fe, Co
In sputtering apparatus having the original target, and disposed to face the substrate 1 made of polycarbonate having pre-grooves and pre-pits on the target, after evacuating the inside sputtering device to 1 × 10 ^-6 Torr, argon and nitrogen And a power is supplied to the target of A1, and a gas pressure of 4 × 10 ⁻³ Torr, 12 nm / mi
At a sputtering speed of n, a transparent dielectric layer 2 of A1N having a thickness of 80 nm was formed.

【０３６５】次に、再度、１×１０^-6Ｔｏｒｒまで真空
排気した後、アルゴンガスを導入し、Ｇｄ，Ｆｅ，Ｃｏ
のターゲットに電力を供給して、４×１０^-3Ｔｏｒｒの
ガス圧、１５ｎｍ／ｍｉｎのスパッタ速度ーにて、Ｇｄ
ＦｅＣｏからなる５０ｎｍの膜厚の読み出し層３を形成
した。読み出し層３は、ＲＥリッチであり、補償温度を
有さず、そのキュリー温度Ｔ_C1は３００℃であった。Ｇ
ｄＦｅＣｏの組成は、Ｇｄ_0.26（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）
_0.74であった。Next, after evacuating again to 1 × 10 ⁻⁶ Torr, argon gas was introduced, and Gd, Fe, Co
To the target at a gas pressure of 4 × 10 ⁻³ Torr and a sputtering speed of 15 nm / min.
A readout layer 3 made of FeCo and having a thickness of 50 nm was formed. The readout layer 3 was RE-rich, had no compensation temperature, and had a Curie temperature T _C1 of 300 ° C. G
The composition of dFeCo is Gd _0.26 (Fe _0.82 Co _0.18 )
It was _0.74 .

【０３６６】次に、Ｇｄに供給していた電力を停止し、
Ｄｙのターゲットに電力を供給し、同様にしてＤｙＦｅ
Ｃｏからなる５０ｎｍの膜厚の記録層４を形成した。記
録層４は、室温でＴＭリッチであり、保磁力Ｈ_C2を８０
０ｋＡ／ｍとし、補償温度が存在しないものとし、キュ
リー温度Ｔ_C2を１５０℃とした。また、ＤｙＦｅＣｏの
組成はＤｙ_0.23（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_0.77であった。Next, the power supplied to Gd is stopped,
Power is supplied to the Dy target, and DyFe
A recording layer 4 made of Co and having a thickness of 50 nm was formed. The recording layer 4 is TM-rich at room temperature and has a coercive force H _C2 of 80.
The temperature was 0 kA / m, no compensation temperature was present, and the Curie temperature T _C2 was 150 ° C. The composition of DyFeCo was Dy _0.23 (Fe _0.82 Co _0.18 ) _0.77 .

【０３６７】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Ａ１のターゲットに電力を供給して、ガス圧４×１
０^-3Ｔｏｒｒのガス圧、１２ｎｍ／ｍｉｎのスパッター
速度にて、Ａ１Ｎからなる２０ｎｍの膜厚の保護層５を
形成した。保護層５は、読み出し層３および記録層４を
酸化等の腐食から保護することが可能であるように、そ
の膜厚を決定すれば良い。Next, a mixed gas of argon and nitrogen was introduced, power was supplied to the target of A1, and a gas pressure of 4 × 1 was applied.
A protective layer 5 of A1N having a thickness of 20 nm was formed at a gas pressure of 0 ^-3 Torr and a sputtering speed of 12 nm / min. The thickness of the protective layer 5 may be determined so that the readout layer 3 and the recording layer 4 can be protected from corrosion such as oxidation.

【０３６８】次に、紫外線硬化樹脂をスピンコートによ
り塗布して、紫外線を照射することによりオーバーコー
ト層６を形成した。Next, an ultraviolet curable resin was applied by spin coating, and the overcoat layer 6 was formed by irradiating ultraviolet rays.

【０３６９】ここで、読み出し層３、記録層４の膜厚を
それぞれ５０ｎｍとしたが、読み出し層３及び記録層４
を１００ｎｍとすることにより、膜厚方向の温度差をよ
り有効的に利用することが可能であった。Here, the thickness of each of the readout layer 3 and the recording layer 4 was set to 50 nm.
Was set to 100 nm, it was possible to more effectively utilize the temperature difference in the film thickness direction.

【０３７０】上記の光磁気ディスクを光磁気ディスク装
置に取り付け、レーザービーム照射位置において光磁気
ディスクの線速度が１０ｍ／ｓとなるように回転させ、
２５ｋＡ／ｍの記録磁界を印加した状態で、第１のレー
ザーパワーを６ｍＷとし、第２のレーザーパワーを１０
ｍＷとして、５ＭＨｚの周波数でレーザーパワーを変調
して記録を行ったところ、記録層４に２μｍ周期で、１
μｍの長さの反転磁区を形成することができた。The above-mentioned magneto-optical disk was mounted on a magneto-optical disk device, and rotated at a laser beam irradiation position so that the linear velocity of the magneto-optical disk became 10 m / s.
With the recording magnetic field of 25 kA / m applied, the first laser power was set to 6 mW, and the second laser power was set to 10 mW.
When recording was performed by modulating the laser power at a frequency of 5 MHz with mW, 1
Inverted magnetic domains having a length of μm could be formed.

【０３７１】また、レーザパワーを２ｍＷとして、情報
の再生を行ったところ、読み出し層３に形成された反転
磁区にしたがって、５ＭＨｚの光磁気信号を読み出し層
３から得ることができた。When information was reproduced with a laser power of 2 mW, a 5 MHz magneto-optical signal could be obtained from the readout layer 3 in accordance with the reversal magnetic domains formed in the readout layer 3.

【０３７２】次に、５ＭＨｚで形成されている反転磁区
上に、１０ＭＨｚの周波数でレーザーパワーを変調して
オーバーライトを行ったところ、５ＭＨｚで形成されて
いた反転磁区はなくなり、記録層４には、新たに１μｍ
周期で、０．５μｍの長さの反転磁区を形成することが
できた。Next, overwriting was performed by modulating the laser power at a frequency of 10 MHz on the inverted magnetic domain formed at 5 MHz, and the inverted magnetic domain formed at 5 MHz disappeared. , Newly 1μm
Inverted magnetic domains having a length of 0.5 μm could be formed periodically.

【０３７３】再び、レーザーパワーを２ｍＷとして、情
報の再生を行ったところ、記録層４に形成された反転磁
区にしたがって、５ＭＨｚの光磁気信号と同程度の大き
さの１０ＭＨｚの光磁気信号のみを読み出し層３から得
ることができた。このことは、読み出し層３において、
温度上昇して垂直磁化状態となった部分のみの読み出し
層３の磁化状態を再生していることを意味している。When the information was reproduced again with the laser power set to 2 mW, only the 10 MHz magneto-optical signal having the same magnitude as the 5 MHz magneto-optical signal was generated according to the inverted magnetic domain formed in the recording layer 4. It could be obtained from the readout layer 3. This means that in the readout layer 3,
This means that the magnetization state of the readout layer 3 is reproduced only in the portion where the temperature has risen and the magnetization state is perpendicular.

【０３７４】本発明の前提となる第５参考形態を図４３
に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明
の便宜上、前記の参考形態の図面に示した部材と同一の
機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明
を省略する。FIG. 43 shows a fifth embodiment of the present invention .
This will be described below. For convenience of explanation, members having the same functions as those shown in the drawings of the above-mentioned reference embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【０３７５】本参考形態の光磁気ディスクは、図４３に
示すように、基板１、透明誘電体層２、読み出し層３、
面内磁化膜からなる中間層２９、記録層４、保護膜５、
オーバーコート層６がこの順に積層された構成を有して
いる。すなわち、前記第４参考形態の光磁気ディスクの
読み出し層３と記録層４との間に面内磁化膜からなる中
間層２９を設けた構成になっている。As shown in FIG. 43, the magneto-optical disk of the present embodiment has a substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3,
An intermediate layer 29 composed of an in-plane magnetized film, a recording layer 4, a protective film 5,
It has a configuration in which the overcoat layer 6 is laminated in this order. That is, an intermediate layer 29 made of an in-plane magnetized film is provided between the readout layer 3 and the recording layer 4 of the magneto-optical disk of the fourth embodiment .

【０３７６】光変調オーバーライト及び再生は、前記第
４参考形態と同様にして行われるが、面内磁化膜からな
る中間層２９を設けることにより、読み出し層３と記録
層４の交換結合力を制御することが可能となり、膜設計
の自由度が改善される。The light modulation overwriting and reproduction are performed in the same manner as in the fourth embodiment. However, by providing the intermediate layer 29 made of an in-plane magnetized film, the exchange coupling force between the readout layer 3 and the recording layer 4 can be reduced. It is possible to control and the degree of freedom of the film design is improved.

【０３７７】中間層２９は、中間層２９のキュリー温度
まで常に面内磁化状態であればよい。しかしながら、中
間層２９がそのキュリー温度以上になると、読み出し層
３と記録層４の交換結合が解除されるため、より確実な
光変調オーバーライトを実現するためには、中間層２９
のキュリー温度が記録層４のキュリー温度Ｔ_C2と同程
度、すなわち、１５０〜２５０℃であることが望まし
い。The intermediate layer 29 need only be in an in-plane magnetization state up to the Curie temperature of the intermediate layer 29 at all times. However, when the temperature of the intermediate layer 29 becomes equal to or higher than the Curie temperature, the exchange coupling between the readout layer 3 and the recording layer 4 is released, and in order to realize more reliable light modulation overwriting, the intermediate layer 29 is required.
Is preferably about the same as the Curie temperature T _C2 of the recording layer 4, that is, 150 to 250 ° C.

【０３７８】中間層２９には、具体的には例えば、Ｄｙ
ＦｅＣｏからなる面内磁化膜が使用される。ＤｙＦｅＣ
ｏ以外では、ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｅ、ＮｄＤｙＦ
ｅＣｏが好適である。また、これらの材料にＣｒ、Ｖ、
Ｎｂ、Ｍｎ、Ｂｅ、Ｎｉの内、少なくとも１種類の元素
を添加すれば、長期信頼性を改善できる。中間層２９の
膜厚は、読み出し層３の材料、組成、膜厚との兼ね合い
で決定されるが、１〜５０ｎｍが適当である。中間層２
９は、読み出し層３および記録層４と共に、同一スパッ
ター装置内で連続して形成される。The intermediate layer 29 is specifically formed of, for example, Dy
An in-plane magnetized film made of FeCo is used. DyFeC
o, TbFeCo, GdTbFe, NdDyF
eCo is preferred. In addition, Cr, V,
Long-term reliability can be improved by adding at least one element of Nb, Mn, Be, and Ni. The thickness of the intermediate layer 29 is determined in consideration of the material, composition, and thickness of the readout layer 3; Middle layer 2
9 is continuously formed in the same sputtering apparatus together with the readout layer 3 and the recording layer 4.

【０３７９】前記参考形態と同一のスパッター装置で、
ＤｙＦｅＣｏからなる中間層２９を設けた光磁気ディス
クを試作した。その他の、構成は前記参考形態と同一で
ある。中間層２９のキュリー温度は、記録層４と同じ１
５０℃とした。[0379] The same sputtering apparatus as in the above reference embodiment was used.
A magneto-optical disk provided with an intermediate layer 29 made of DyFeCo was prototyped. Other configurations are the same as those of the above-described reference embodiment . The Curie temperature of the intermediate layer 29 is 1
50 ° C.

【０３８０】この光磁気ディスクを光磁気ディスク装置
に取り付け、前記参考形態と同じ記録再生テストを行っ
たところ、良好なオーバーライト特性と再生特性が得ら
れた。ただし、本参考形態においては、中間層９が読み
出し層３と記録層４との交換結合を制御し、交換結合力
が弱くなっている。そのため、最適な記録磁界の大きさ
は、前記参考形態とは異なり、２２ｋＡ／ｍとなった。This magneto-optical disk was mounted on a magneto-optical disk device, and the same recording and reproduction test as in the above-described embodiment was performed. As a result, good overwrite characteristics and reproduction characteristics were obtained. However, in the present embodiment , the intermediate layer 9 controls the exchange coupling between the readout layer 3 and the recording layer 4, and the exchange coupling force is weak. Therefore, the optimum magnitude of the recording magnetic field was 22 kA / m, which was different from the reference embodiment .

【０３８１】本発明の実施の形態を図４４ないし図４６
に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明
の便宜上、前記参考形態の図面に示した部材と同一の機
能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を
省略する。FIGS. 44 to 46 show an embodiment of the present invention.
This will be described below. For convenience of explanation, members having the same functions as the members shown in the drawings of the aforementioned reference embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【０３８２】本実施の形態の光磁気ディスクは、図４４
に示すように、基板１、透明誘電体層２、読み出し層
３、非磁性膜からなる中間層３０、記録層４、保護膜
５、オーバーコート層６がこの順に積層された構成を有
している。The magneto-optical disk of this embodiment is similar to that shown in FIG.
As shown in (1), a substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3, an intermediate layer 30 made of a nonmagnetic film, a recording layer 4, a protective film 5, and an overcoat layer 6 are laminated in this order. I have.

【０３８３】記録時、非磁性膜からなる中間層３０が存
在しないと、読み出し層３から記録層４へ強い交換結合
力が働き、記録特性の劣化を招く。そこで、本実施の形
態の非磁性膜からなる中間層３０を設け、交換結合を解
除しておくことにより安定な記録が可能となる。At the time of recording, if the intermediate layer 30 made of a non-magnetic film does not exist, a strong exchange coupling force acts from the readout layer 3 to the recording layer 4, thereby deteriorating the recording characteristics. Therefore, stable recording can be performed by providing the intermediate layer 30 made of the nonmagnetic film of the present embodiment and releasing the exchange coupling.

【０３８４】中間層３０としては、具体的には例えば、
５ｎｍの膜厚のＡｌＮが使用される。中間層３０は、記
録層４と読み出し層３の交換結合が働かないように形成
されているので、ＡｌＮが記録層４と読み出し層３の間
に単分子層以上形成されておればよい。中間層３０があ
まり厚くなり過ぎると、記録層４から発生し読み出し層
３の磁化を揃えるための磁界が弱くなる。このため、中
間層３０の膜厚は５０ｎｍ以下が適当である。As the intermediate layer 30, specifically, for example,
AlN with a thickness of 5 nm is used. Since the intermediate layer 30 is formed so that exchange coupling between the recording layer 4 and the readout layer 3 does not work, it is sufficient that AlN is formed between the recording layer 4 and the readout layer 3 as a monolayer or more. If the intermediate layer 30 is too thick, the magnetic field generated from the recording layer 4 for aligning the magnetization of the readout layer 3 becomes weak. Therefore, the thickness of the intermediate layer 30 is suitably equal to or less than 50 nm.

【０３８５】本実施の形態の光磁気ディスクでは、具体
的には、基板１は、直径８６ｍｍ、内径１５ｍｍ、厚さ
１．２ｍｍの円盤状のガラスからなっている。基板１の
片側の表面には、図示していないが、光ビーム案内用の
凹凸状のガイドトラックが、ピッチが１．６μｍ、グル
ーブ（凹部）の幅が０．８μｍ、ランド（凸部）の幅が
０．８μｍで形成されている。すなわち、グルーブの幅
とランドの幅が１：１になるように形成されている。In the magneto-optical disk of the present embodiment, specifically, the substrate 1 is made of a disc-shaped glass having a diameter of 86 mm, an inner diameter of 15 mm, and a thickness of 1.2 mm. Although not shown, an uneven guide track for guiding a light beam is provided on one surface of the substrate 1 at a pitch of 1.6 μm, a groove (recess) width of 0.8 μm, and a land (convex portion). The width is 0.8 μm. That is, the width of the groove and the width of the land are formed to be 1: 1.

【０３８６】基板１のガイドトラックが形成されている
側の面に、透明誘電体層２として、Ａ１Ｎが厚さ８０ｎ
ｍで形成されている。On the surface of the substrate 1 on which the guide tracks are formed, A1N having a thickness of 80 n is formed as the transparent dielectric layer 2.
m.

【０３８７】透明誘電体層２上に、読み出し層３とし
て、希土類遷移金属合金薄膜であるＧｄＦｅＣｏが、厚
さ５０ｎｍで形成されている。ＧｄＦｅＣｏの組成は、
Ｇｄ_{0. 26}（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_0.74であり、そのキュリ
ー温度は約３００℃である。On the transparent dielectric layer 2, as the readout layer 3, a rare earth transition metal alloy thin film GdFeCo is formed with a thickness of 50 nm. The composition of GdFeCo is
_{Gd 0. 26 (Fe 0.82 Co 0.18} ) _0.74, the Curie temperature is about 300 ° C..

【０３８８】上記の読み出し層３と記録層４の組み合わ
せにより、読み出し層３の磁化の方向は、室温ではほぼ
面内（つまり、読み出し層３の層方向）にあり、１００
〜１２５℃程度の温度で面内方向から垂直方向に移行す
る。Due to the combination of the readout layer 3 and the recording layer 4, the magnetization direction of the readout layer 3 is substantially in-plane at room temperature (that is, the layer direction of the readout layer 3).
The transition from the in-plane direction to the vertical direction occurs at a temperature of about 125 ° C.

【０３８９】読み出し層３上に、中間層３０として、Ａ
１Ｎが厚さ５ｎｍで形成されている。On the readout layer 3, as the intermediate layer 30, A
1N is formed with a thickness of 5 nm.

【０３９０】中間層３０上に、記録層４として、希土類
遷移金属合金薄膜であるＤｙＦｅＣｏが、厚さ５０ｎｍ
で形成されている。ＤｙＦｅＣｏの組成は、Ｄｙ
_0.23（Ｆｅ_0.78Ｃｏ_0.22）_0.77であり、そのキュリー温
度は約２００℃である。On the intermediate layer 30, as the recording layer 4, a rare earth transition metal alloy thin film DyFeCo was deposited to a thickness of 50 nm.
It is formed with. The composition of DyFeCo is Dy
_0.23 (Fe _0.78 Co _0.22 ) _0.77 , and its Curie temperature is about 200 ° C.

【０３９１】記録層４上には、保護層５として、Ａ１Ｎ
が厚さ２０ｎｍで形成されている。On the recording layer 4, as a protective layer 5, A1N
Is formed with a thickness of 20 nm.

【０３９２】保護層５上には、オーバーコート層６とし
て、ポリウレタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂
が、厚さ５μｍで形成されている。On the protective layer 5, a polyurethane acrylate-based ultraviolet curable resin is formed as the overcoat layer 6 with a thickness of 5 μm.

【０３９３】この光磁気ディスクは、前記第１参考形態
で具体例として示した光磁気ディスクの読み出し層３と
記録層４の間に中間層３０を設けたものであり、前記第
１参考形態と同一の動作確認を行ったところ、ほぼ同様
の結果が得られた。This magneto-optical disk has an intermediate layer 30 provided between the readout layer 3 and the recording layer 4 of the magneto-optical disk shown as a specific example in the first embodiment . When the same operation as in the first embodiment was confirmed, almost the same results were obtained.

【０３９４】ＡｌＮ以外の中間層３０の材料としては、
ＳｉＮ、ＡｌＳｉＮ、ＡｌＴａＮ、ＳｉＡｌＯＮ、Ｔｉ
Ｎ、ＴｉＯＮ、ＢＮ、ＺｎＳ、ＴｉＯ₂、ＢａＴｉＯ₃、
ＳｒＴｉＯ₃等の誘電体材料を使用できる。As a material for the intermediate layer 30 other than AlN,
SiN, AlSiN, AlTaN, SiAlON, Ti
N, TiON, BN, ZnS, TiO ₂ , BaTiO ₃ ,
A dielectric material such as SrTiO ₃ can be used.

【０３９５】また、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ａ
ｕ、Ａｇ、Ｐｔ等の非磁性金属材料、または、それらの
合金材料を使用することができる。Further, Al, Si, Ta, Ti, Cu, A
Non-magnetic metal materials such as u, Ag, and Pt, or alloys thereof can be used.

【０３９６】上記の光磁気ディスクのバリエーションと
して、図４５に示すように、基板１、透明誘電体層２、
読み出し層３、非磁性膜からなる中間層３０、記録層
４、放熱層２０、オーバーコート層６がこの順に積層さ
れた光磁気ディスクがある。放熱層２０については、前
記第１参考形態で詳述した通りである。As a variation of the above magneto-optical disk, as shown in FIG. 45, a substrate 1, a transparent dielectric layer 2,
There is a magneto-optical disk in which a readout layer 3, an intermediate layer 30 made of a nonmagnetic film, a recording layer 4, a heat radiation layer 20, and an overcoat layer 6 are laminated in this order. The heat radiation layer 20 is as described in detail in the first embodiment .

【０３９７】上記の光磁気ディスクの他のバリエーショ
ンとして、図４６に示すように、基板１、透明誘電体層
２、読み出し層３、非磁性膜からなる中間層３０、記録
層４、第２透明誘電体層２１、反射層２２、オーバーコ
ート層６がこの順に積層された光磁気ディスクがある。
この光磁気ディスクは、上記光磁気ディスクの記録層４
とオーバーコート層６の間に第２透明誘電体層２１およ
び反射層２２を設けたものであり、第２透明誘電体層２
１および反射層２２については、前記第１参考形態で詳
述した通りである。As another variation of the above-described magneto-optical disk, as shown in FIG. 46, a substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a readout layer 3, an intermediate layer 30 made of a non-magnetic film, a recording layer 4, and a second transparent layer. There is a magneto-optical disk in which a dielectric layer 21, a reflection layer 22, and an overcoat layer 6 are laminated in this order.
This magneto-optical disk is composed of the recording layer 4 of the magneto-optical disk.
And a second transparent dielectric layer 21 and a reflective layer 22 provided between the first transparent dielectric layer 21 and the overcoat layer 6.
1 and the reflective layer 22 are as described in detail in the first embodiment .

【０３９８】上述の第１〜第５参考形態及び本実施の形
態では、光磁気記録媒体として光磁気ディスクを挙げて
説明したが、光磁気カード、光磁気テープにも本発明を
応用できる。なお、光磁気テープの場合、リジッドな基
板１の代わりに、可撓性のあるテープベース（基体）、
例えば、ポリエチレンテレフタレートからなるテープベ
ースを用いればよい。In the above-described first to fifth embodiments and the present embodiment, a magneto-optical disk has been described as a magneto-optical recording medium. However, the present invention can be applied to a magneto-optical card and a magneto-optical tape. In the case of a magneto-optical tape, instead of the rigid substrate 1, a flexible tape base (substrate),
For example, a tape base made of polyethylene terephthalate may be used.

【０３９９】[0399]

【０４００】[0400]

【０４０１】[0401]

【０４０２】[0402]

【０４０３】[0403]

【０４０４】[0404]

【０４０５】[0405]

【０４０６】[0406]

【０４０７】[0407]

【０４０８】[0408]

【０４０９】[0409]

【０４１０】[0410]

【０４１１】[0411]

【発明の効果】本発明によれば、従来より小さい記録ビ
ットの再生を行うことが可能になり、記録密度が著しく
向上する。これにより、再生時の雑音が小さくなるた
め、より高密度な記録を行うことが可能な光磁気ディス
クを提供できる。 According to the present invention, the recording video is smaller than the conventional one.
And the recording density can be remarkably increased.
improves. This reduces noise during playback.
A magneto-optical disc that can perform higher-density recording.
Can be provided .

【０４１２】[0412]

【０４１３】[0413]

【０４１４】[0414]

【０４１５】[0415]

【０４１６】[0416]

【０４１７】[0417]

【０４１８】[0418]

【０４１９】[0419]

【０４２０】[0420]

【０４２１】また、本発明によれば、読み出し層と記録
層との間の交換結合が解除され、これにより、安定に高
密度記録を行える光磁気ディスクを提供できる。 Further , according to the present invention, the readout layer and the recording
The exchange coupling with the layer is released, which ensures a stable high
A magneto-optical disk capable of performing density recording can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１参考形態を示すものであり、光磁
気ディスクの概略構成及び再生動作を示す説明図であ
る。FIG. 1, showing a first reference embodiment of the present invention, is an explanatory diagram showing a schematic configuration and a reproducing operation of a magneto-optical disk.

【図２】図１の光磁気ディスクの読み出し層の磁気特性
を示す磁気状態の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a magnetic state showing magnetic characteristics of a readout layer of the magneto-optical disk of FIG.

【図３】図２の室温から温度Ｔ₁において、読み出し層
に印加される外部印加磁界と極カー回転角との関係を示
す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a relationship between an externally applied magnetic field applied to a readout layer and a polar Kerr rotation angle from room temperature to temperature T ₁ in FIG. 2;

【図４】図２の温度Ｔ₁から温度Ｔ₂において、読み出し
層に印加される外部印加磁界と極カー回転角との関係を
示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a relationship between an externally applied magnetic field applied to a readout layer and a polar Kerr rotation angle from a temperature T ₁ to a temperature T ₂ in FIG. 2;

【図５】図２の温度Ｔ₂から温度Ｔ₃において、読み出し
層に印加される外部印加磁界と極カー回転角との関係を
示す説明図である。In Figure 5 a temperature T ₃ from the temperature T ₂ in FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the externally applied magnetic field and polar Kerr rotation angle to be applied to the readout layer.

【図６】図２の温度Ｔ₃キュリー温度Ｔ_cにおいて、読み
出し層に印加される外部印加磁界と極カー回転角との関
係を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a relationship between an externally applied magnetic field applied to a readout layer and a polar Kerr rotation angle at a temperature T ₃ Curie temperature T _c in FIG. 2;

【図７】図１の光磁気ディスクの読み出し層の室温での
極カー回転角の外部印加磁界依存性を実測した結果を示
すグラフである。FIG. 7 is a graph showing the results of actually measuring the dependence of the polar Kerr rotation angle of the readout layer of the magneto-optical disk of FIG. 1 at room temperature on the externally applied magnetic field.

【図８】図１の光磁気ディスクの読み出し層の１２０℃
での極カー回転角の外部印加磁界依存性を実測した結果
を示すグラフである。FIG. 8 shows a reading layer of the magneto-optical disk shown in FIG.
6 is a graph showing the results of actually measuring the externally applied magnetic field dependency of the polar Kerr rotation angle in FIG.

【図９】図１の光磁気ディスクの再生信号振幅を再生レ
ーザパワーに対してプロットしたグラフである。FIG. 9 is a graph in which the reproduction signal amplitude of the magneto-optical disk of FIG. 1 is plotted against the reproduction laser power.

【図１０】図１の光磁気ディスクの再生信号品質（Ｃ／
Ｎ）を記録ビット長さに対してプロットしたグラフであ
る。FIG. 10 shows the reproduction signal quality (C / C) of the magneto-optical disk shown in FIG.
9 is a graph in which N) is plotted against the recording bit length.

【図１１】図１の光磁気ディスクのクロストークを測定
した結果を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing a result of measuring crosstalk of the magneto-optical disk of FIG.

【図１２】図１の光磁気ディスクの効果を示す説明図で
ある。FIG. 12 is an explanatory diagram showing an effect of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図１３】Ｇｄ_X（Ｆｅ_0.82Ｃｏ_0.18）_1-Xのキュリー温
度（Ｔ_c）と補償温度（Ｔ_comp）の組成依存性を示した
グラフである。FIG. 13 is a graph showing the composition dependence of the Curie temperature (T _c ) and the compensation temperature (T _comp ) of Gd _x (Fe _0.82 Co _0.18 ) _{1 -X} .

【図１４】Ｇｄ_XＦｅ_1-Xのキュリー温度（Ｔ_c）と補償
温度（Ｔ_comp）の組成依存性を示したグラフである。FIG. 14 is a graph showing the composition dependence of the Curie temperature (T _c ) and the compensation temperature (T _comp ) of Gd _X Fe _{1 -X} .

【図１５】Ｇｄ_XＣｏ_1-Xのキュリー温度（Ｔ_c）と補償
温度（Ｔ_comp）の組成依存性を示したグラフである。FIG. 15 is a graph showing the composition dependence of the Curie temperature (T _c ) and the compensation temperature (T _comp ) of Gd _X Co _{1 -X} .

【図１６】図１の光磁気ディスクの基板上に形成された
ランド、グループ形状の一例を示す説明図である。16 is an explanatory diagram showing an example of land and group shapes formed on the substrate of the magneto-optical disk of FIG.

【図１７】図１の光磁気ディスクの基板上に形成された
ランド、グループ形状の他の例を示す説明図である。FIG. 17 is an explanatory diagram showing another example of the land and group shapes formed on the substrate of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図１８】図１の光磁気ディスクの基板上に形成された
ウォブルピットの配置の一例を示す説明図である。18 is an explanatory diagram showing an example of an arrangement of wobble pits formed on a substrate of the magneto-optical disk of FIG.

【図１９】図１の光磁気ディスクの基板上に形成された
ウォブルピットの配置の他の例を示す説明図である。19 is an explanatory diagram showing another example of the arrangement of wobble pits formed on the substrate of the magneto-optical disk of FIG.

【図２０】図１の光磁気ディスクの基板上に形成された
ウォブルリンググルーブの一例を示す説明図である。20 is an explanatory diagram showing an example of a wobble ring groove formed on a substrate of the magneto-optical disk of FIG.

【図２１】図１の光磁気ディスクにおける、複数の光ビ
ームを用いた場合の記録再生方法を示す説明図である。FIG. 21 is an explanatory diagram showing a recording / reproducing method when a plurality of light beams are used in the magneto-optical disk of FIG.

【図２２】図１の光磁気ディスクを用いた磁界変調オー
バーライト記録方法を示す説明図である。FIG. 22 is an explanatory diagram showing a magnetic field modulation overwrite recording method using the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図２３】図１の光磁気ディスクを用いた光変調オーバ
ーライト記録方法を示すと共に、読み出し層及び記録層
の磁化方法を示す説明図である。FIG. 23 is an explanatory diagram showing an optical modulation overwrite recording method using the magneto-optical disk of FIG. 1 and showing a method of magnetizing the readout layer and the recording layer.

【図２４】図１の光磁気ディスクを用いた光変調オーバ
ーライト記録方法を示すと共に、読み出し層及び記録層
の保持力の温度依存性を示す説明図である。24 is an explanatory diagram showing a light modulation overwrite recording method using the magneto-optical disk of FIG. 1 and showing the temperature dependence of the coercive force of the readout layer and the recording layer.

【図２５】図１の光磁気ディスクに対して、光変調オー
バーライト時、および、再生時に照射される光ビームの
強度の一例を表す説明図である。FIG. 25 is an explanatory diagram showing an example of the intensity of a light beam applied to the magneto-optical disk of FIG. 1 at the time of light modulation overwriting and at the time of reproduction.

【図２６】図１の光磁気ディスクに対して、光変調オー
バーライト時、および、再生時に照射される光ビームの
強度の他の例を表す説明図である。FIG. 26 is an explanatory diagram showing another example of the intensity of the light beam applied to the magneto-optical disk of FIG. 1 at the time of light modulation overwriting and at the time of reproduction.

【図２７】図１の光磁気ディスクに対して、光変調オー
バーライト時、および、再生時に照射される光ビームの
強度のその他の例を表す説明図である。FIG. 27 is an explanatory diagram showing another example of the intensity of the light beam applied to the magneto-optical disk of FIG. 1 at the time of light modulation overwriting and at the time of reproduction.

【図２８】図１の光磁気ディスクの片面タイプを示す説
明図である。FIG. 28 is an explanatory diagram showing a single-sided type of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図２９】図１の光磁気ディスクの両面タイプを示す説
明図である。FIG. 29 is an explanatory diagram showing a double-sided type of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図３０】図１の光磁気ディスクの読み出し層に元素を
添加したときにおける、カー回転角の増大効果を調べる
ためのサンプルの概略の構成を示す説明図である。30 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a sample for examining the effect of increasing the Kerr rotation angle when an element is added to the readout layer of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図３１】図３０のサンプルのカー回転角の波長依存性
を示すグラフである。FIG. 31 is a graph showing the wavelength dependence of the Kerr rotation angle of the sample of FIG. 30.

【図３２】図１の光磁気ディスクの読み出し層に元素を
添加したときにおける、耐湿性の改善効果を調べるため
のサンプルの概略の構成を示す説明図である。FIG. 32 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a sample for examining the effect of improving moisture resistance when an element is added to the readout layer of the magneto-optical disk of FIG. 1;

【図３３】図３２のサンプルのＣ／Ｎ比の時間変化を示
すグラフである。FIG. 33 is a graph showing the time change of the C / N ratio of the sample of FIG. 32;

【図３４】図１の光磁気ディスクの読み出し層の膜厚を
変えて測定したカー・ヒステリシス・ループを示すグラ
フであり、（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、膜厚が２０、
３０、４０、５０ｎｍで得られたカー・ヒステリシス・
ループを示すグラフである。FIG. 34 is a graph showing Kerr hysteresis loop measured by changing the thickness of the readout layer of the magneto-optical disk of FIG. 1;
Kerr hysteresis obtained at 30, 40, 50 nm
It is a graph which shows a loop.

【図３５】図１の光磁気ディスクの読み出し層の角形比
を補償温度毎に膜厚に対してプロットしたグラフであ
る。FIG. 35 is a graph in which the squareness ratio of the readout layer of the magneto-optical disk of FIG. 1 is plotted against the film thickness for each compensation temperature.

【図３６】図２９から角形比を求めるための計算方法を
示す説明図である。FIG. 36 is an explanatory diagram showing a calculation method for obtaining a squareness ratio from FIG. 29;

【図３７】図１の光磁気ディスクの読み出し層の角形比
をキュリー温度毎に膜厚に対してプロットしたグラフで
ある。FIG. 37 is a graph in which the squareness ratio of the readout layer of the magneto-optical disk of FIG. 1 is plotted against the film thickness at each Curie temperature.

【図３８】図１の光磁気ディスクで得られたカーループ
を示すグラフであり、（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、記
録層にＴｂＦｅＣｏ、ＤｙＦｅＣｏを用いた光磁気ディ
スクで得られたカーループである。FIGS. 38A and 38B are graphs showing Kerr loops obtained with the magneto-optical disk of FIG. 1, wherein FIGS. is there.

【図３９】本発明の第２参考形態を示すものであり、光
磁気ディスクの概略の構成図である。FIG. 39 shows a second reference embodiment of the present invention, and is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk.

【図４０】本発明の第３参考形態を示すものであり、光
磁気ディスクの概略の構成図である。FIG. 40, showing a third reference embodiment of the present invention, is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk.

【図４１】本発明の第４参考形態を示すものであり、光
磁気ディスクの概略の構成図である。FIG. 41 shows a fourth reference embodiment of the present invention, and is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk.

【図４２】図４１の読み出し層および記録層の保磁力の
温度特性を示す説明図である。FIG. 42 is an explanatory diagram showing temperature characteristics of coercive force of the readout layer and the recording layer of FIG. 41.

【図４３】本発明の第５参考形態を示すものであり、光
磁気ディスクの概略の構成図である。[Figure 43] and show a fifth reference embodiment of the present invention, a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk.

【図４４】本発明の実施の形態を示すものであり、光磁
気ディスクの概略の構成図である。FIG. 44, showing an embodiment of the present invention , is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk.

【図４５】図４４の光磁気ディスクのバリエーションを
示すものであり、放熱層を有する光磁気ディスクの概略
の構成図である。FIG. 45 shows a variation of the magneto-optical disk of FIG. 44, and is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk having a heat dissipation layer.

【図４６】図４４の光磁気ディスクのバリエーションを
示すものであり、反射層を有する光磁気ディスクの概略
の構成図である。FIG. 46 shows a variation of the magneto-optical disk of FIG. 44 and is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk having a reflective layer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 基板１（基体） ２ 透明誘電体層 ３ 読み出し層 ４ 記録層 ５ 保護層 ６ オーバーコート層 ９ 記録媒体層 １０ 接着層 ２０ 放熱層 ２１ 透明誘電体層（第２透明誘電体層） ２２ 反射層 ２９ 中間層 ３０ 中間層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 1 (base) 2 Transparent dielectric layer 3 Readout layer 4 Recording layer 5 Protective layer 6 Overcoat layer 9 Recording medium layer 10 Adhesive layer 20 Heat dissipation layer 21 Transparent dielectric layer (second transparent dielectric layer) 22 Reflective layer 29 Intermediate layer 30 Intermediate layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 淳策 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 高橋 明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 太田 賢司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 池谷 直泰 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−205336（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−76405（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−342670（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−124500（ＪＰ，Ａ) 特許2839783（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 11/105 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Junsaku Nakajima 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Akira Takahashi 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp shares In-house (72) Inventor Kenji Ota 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Naoyasu Ikeya 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Corporation (56) References JP-A-5-205336 (JP, A) JP-A-6-76405 (JP, A) JP-A-5-342670 (JP, A) JP-A-6-124500 (JP, A) Patent 2879783 (JP) , B2) (58) Field surveyed (Int. Cl. ⁷ , DB name) G11B 11/105

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 情報を光磁気記録する記録層と、室温で
面内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行し
て、上記記録層の磁化が転写される読み出し層と、を有
しており、 上記読み出し層と上記記録層の間には、該読み出し層と
該記録層の交換結合を解除する、非磁性膜からなる中間
層が設けられていることを特徴とする光磁気記録媒体 。1. A recording layer for magneto-optically recording information, and at room temperature
While showing in-plane magnetization, it shifts to perpendicular magnetization with increasing temperature.
A readout layer to which the magnetization of the recording layer is transferred.
Between the readout layer and the recording layer, the readout layer and
An intermediate layer made of a non-magnetic film that releases exchange coupling of the recording layer
A magneto-optical recording medium comprising a layer . 【請求項２】 上記中間層は、５０ｎｍ以下の膜厚に形
成されていることを特徴とする請求項１記載の光磁気記
録媒体。2. The method according to claim 1, wherein the intermediate layer has a thickness of 50 nm or less.
2. The magneto-optical recording device according to claim 1, wherein
Recording medium . 【請求項３】 上記中間層は、誘電体材料からなること
を特徴とする請求項１記載の光磁気記録媒体。3. The intermediate layer is made of a dielectric material.
The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein: 【請求項４】 上記中間層は、非磁性金属材料からなる
ことを特徴とする請求項１記載の光磁気記録媒体。4. The intermediate layer is made of a non-magnetic metal material.
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein: 【請求項５】 情報を光磁気記録する記録層と、室温で
面内磁化を示す一方、温度上昇に伴い垂直磁化に移行し
てする読み出し層と、を有しており、上記読み出し層と
上記記録層の間には、該読み出し層と該記録層の交換結
合を解除する、非磁性膜からなる中間層が設けられてい
る光磁気記録媒体の再生方法であって、 該光磁気記録媒体に光ビームを照射して、上記読み出し
層に、上記記録層の磁化の転写された垂直磁化を示す領
域を形成することを特徴とする光磁気記録媒体の再生方
法 。5. A recording layer for recording information magneto-optically, and at room temperature.
While showing in-plane magnetization, it shifts to perpendicular magnetization with increasing temperature.
A readout layer, and the readout layer and
Between the recording layers, the read-out layer and the recording layer are exchanged.
An intermediate layer made of a non-magnetic film is
A method for reproducing a magneto-optical recording medium , comprising irradiating the magneto-optical recording medium with a light beam,
In the layer, an area indicating the perpendicular magnetization to which the magnetization of the recording layer is transferred is shown.
Method for reproducing a magneto-optical recording medium characterized by forming an area
Law .