JP3084020B1 - Lens evaporation equipment - Google Patents
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Abstract
【要約】
【課題】 簡単な構成によって、被成膜体の複数の被成
膜面をそれぞれ成膜に適した方向に正確に向けて高品質
の成膜ができるようにした成膜装置及びレンズの蒸着装
置を提供する。
【解決手段】 真空容器１内の下部に蒸着源２を配する
と共に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを
保持するレンズ保持機構１０を配したレンズの蒸着装置
において、レンズ保持機構１０が、水平旋回フレーム１
１と多数のレンズホルダユニット２０とからなる。レン
ズホルダユニット２０には、初期位置と反転位置との間
で回動可能とされたレンズホルダと、レンズホルダを弾
性体の力で初期位置から反転位置まで回動させる反転機
構と、レンズホルダを初期位置に位置決め係止する初期
位置係止手段と、レンズホルダを反転位置に位置決め係
止する反転位置係止手段とが装備されている。更に、初
期位置係止手段の係止を水平旋回フレームの旋回動作を
利用して解除する係止解除機構５０を具備する。Kind Code: A1 Abstract: A film forming apparatus and a lens capable of accurately orienting a plurality of film forming surfaces of a film forming object in directions suitable for film forming with a simple configuration and a lens. And a vapor deposition apparatus. SOLUTION: In a lens vapor deposition apparatus, a vapor deposition source 2 is disposed in a lower part of a vacuum vessel 1 and a lens retaining mechanism 10 for retaining a lens on which a vapor deposition film is to be formed is disposed in an upper part of the vacuum vessel. 10 is a horizontal swivel frame 1
It comprises one and a number of lens holder units 20. The lens holder unit 20 includes a lens holder rotatable between an initial position and a reversing position, a reversing mechanism for rotating the lens holder from the initial position to the reversing position by the force of an elastic body, and a lens holder. An initial position locking means for positioning and locking at the initial position, and a reverse position locking means for positioning and locking the lens holder at the reverse position are provided. Further, there is provided a lock release mechanism 50 for releasing the lock of the initial position locking means using the turning operation of the horizontal turning frame.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、眼鏡レン
ズ等の被成膜体に反射防止膜その他の蒸着膜等を形成す
るために使用する成膜装置及びレンズの蒸着装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film forming apparatus used for forming an antireflection film and other vapor-deposited films on a film-forming body such as an eyeglass lens, and a lens vapor-depositing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】眼鏡レンズに反射防止膜を形成する場合
等には、当然のことながら、レンズの両面に反射防止膜
を形成する必要がある。又、例えば、各種の光学フィル
ターやプリズム等にフィルター作用を行う多層膜や反射
防止膜等を形成する場合にも必要な各面に所定の薄膜を
形成する必要がある。ここで、眼鏡レンズに対しての反
射防止膜の形成には、通常、真空容器を用いた蒸着装置
が採用されている。この場合、レンズの両面に反射防止
膜を形成する上での時間短縮の要請等から、レンズの片
面に反射防止膜を形成した後に、真空雰囲気を破らず
に、真空容器内でレンズを反転させて、他の面に反射防
止膜を形成するのが好ましい。2. Description of the Related Art When an antireflection film is formed on a spectacle lens, it is naturally necessary to form an antireflection film on both surfaces of the lens. Also, for example, when forming a multilayer film or an antireflection film for performing a filter action on various optical filters and prisms, it is necessary to form a predetermined thin film on each required surface. Here, for forming the antireflection film on the spectacle lens, a vapor deposition apparatus using a vacuum container is usually employed. In this case, after forming the anti-reflection film on one side of the lens, the lens is turned upside down in a vacuum vessel without breaking the vacuum atmosphere because of a demand for shortening the time for forming the anti-reflection film on both sides of the lens. Preferably, an antireflection film is formed on another surface.
【０００３】そのために、真空容器内でレンズを反転さ
せることのできる反転機構を具備した蒸着装置が開発さ
れている。[0003] For this purpose, a vapor deposition apparatus having a reversing mechanism capable of reversing a lens in a vacuum vessel has been developed.
【０００４】特開平１０−６８０６４号公報には、真空
容器の上部にモータ駆動式の反転機構を装備し、その反
転機構に対して、各レンズホルダに設けた回転軸を着脱
自在に装着し、反転機構で各レンズホルダを回転させる
ことにより、レンズホルダに保持されたレンズを反転さ
せるようにした蒸着装置が開示されている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-68064 discloses a motor-driven reversing mechanism provided above a vacuum vessel, and a rotating shaft provided on each lens holder is detachably mounted on the reversing mechanism. There is disclosed a vapor deposition apparatus in which a lens held by a lens holder is inverted by rotating each lens holder by an inversion mechanism.
【０００５】また、米国特許５１３８９７４号公報に
は、真空容器の上部に設けたレンズ保持用のドームを複
数の扇形の部品に分割し、この分割した扇型の部品を、
ドームの中心部に設けたモータ駆動式の反転機構で回転
させることにより、扇形の部品に保持されたレンズを反
転させるようにした蒸着装置が開示されている。In US Pat. No. 5,138,974, a dome for holding a lens provided on an upper portion of a vacuum vessel is divided into a plurality of fan-shaped parts.
A vapor deposition apparatus is disclosed in which a lens held by a fan-shaped part is inverted by rotating the lens by a motor-driven inversion mechanism provided at the center of the dome.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、眼鏡レンズ
などの光学レンズに反射防止膜を形成するような場合に
は、同一物を大量に生産できるよう精密に膜を形成する
必要がある。そのためには、蒸着源に対するレンズの保
持姿勢を一定に保つことが重要である。When an antireflection film is formed on an optical lens such as an eyeglass lens, it is necessary to form the film precisely so that the same product can be mass-produced. For that purpose, it is important to keep the holding posture of the lens with respect to the evaporation source constant.
【０００７】この点、上記公報に記載の蒸着装置では、
１個のモータ駆動式の反転機構によって全部のレンズを
反転させるようにしているため、個々のレンズホルダや
扇形部品の取り付け状態によっては、反転した際のレン
ズの保持姿勢に狂いが出る可能性がある。即ち、個別に
セットされる全部のレンズの保持姿勢を１つの反転機構
で制御することは非常に難しく、結果的に、レンズ毎に
保持姿勢が微妙に違ってしまう可能性がある。また、上
記公報の蒸着装置では、モータの回転で直接レンズを反
転させるようにしているため、反転駆動のための機構が
複雑になるという問題もある。In this respect, in the vapor deposition apparatus described in the above publication,
Since all the lenses are inverted by one motor-driven inversion mechanism, the holding posture of the inverted lens may be out of order depending on the mounting state of the individual lens holders and fan-shaped parts. is there. That is, it is very difficult to control the holding postures of all the individually set lenses by one reversing mechanism, and as a result, the holding postures may be slightly different for each lens. Further, in the vapor deposition apparatus disclosed in the above publication, since the lens is directly inverted by rotation of the motor, there is a problem that a mechanism for inversion driving is complicated.
【０００８】また、特に前者の公報に記載の装置の場合
は、レンズホルダを１つずつ真空容器内の反転機構に装
着しなくてはならないから、レンズホルダのセットをク
リーンブース内で行うことができず、レンズにゴミが付
着する可能性が高いという問題もあった。In the case of the apparatus disclosed in the former publication, the lens holders must be mounted one by one on the reversing mechanism in the vacuum vessel. Therefore, the lens holders can be set in a clean booth. However, there is also a problem that dust is likely to adhere to the lens.
【０００９】本発明は、上記事情を考慮し、簡単な構成
によって、被成膜体の複数の被成膜面をそれぞれ成膜に
適した方向に正確に向けて高品質の成膜ができるように
した成膜装置及びレンズの蒸着装置を提供することを目
的とする。The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and enables a plurality of deposition surfaces of a deposition target to be accurately oriented in a direction suitable for deposition with a simple configuration, thereby achieving high-quality deposition. It is an object of the present invention to provide a film forming apparatus and a lens evaporation apparatus.
【００１０】上述の改題を解決するための手段として第
１の手段は、真空容器内の下部に蒸着源を配すると共
に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを保持
するレンズ保持機構を配したレンズの蒸着装置におい
て、前記レンズ保持機構は、前記真空容器に装備された
駆動機構の旋回部に着脱自在に装着されて該駆動機構に
より水平旋回さられる水平旋回フレームと、該水平旋回
フレームに該フレームの周方向に沿って間隔的に取り付
けられた多数のレンズホルダユニットとを有し、前記レ
ンズホルダユニットは、レンズ両面を露出させた状態で
レンズを保持する開口部を持ち、且つ、保持したレンズ
の片面を下に向けた初期位置と他方の片面を下に向けた
反転位置との間で回動可能とされたレンズホルダと、こ
のレンズホルダに取り付けられて該レンズホルダを所期
位置から反転位置に回動する軸である反転軸と、この反
転軸と一体回転するように該反転軸に取り付けられた位
置決めカムと、この位置決めカムを初期位置及び反転位
置でそれぞれ位置決めして係止する初期位置係止手段及
び反転位置係止手段と、前記反転軸にギアセットを介し
て反転方向に回転力を与える渦巻きバネと、前記初期位
置での係止を解除する係止解除手段とを有し、前記位置
決めカムは、半円を越えた大きさにカットされた横断面
を有する半円柱部と、この半円柱部の円弧面の周方向一
端部に径方向外方に突出するように設けられた板状に近
い三角柱部とを有し、前記初期位置係止手段は、前記位
置決めカムの三角柱部の一方の面を当接して初期位置の
位置決めをする初期位置ストッパブロックとこの初期位
置ストッパブロックに回動可能に取付られた略トの字形
をなしたストッパアームとを有し、このストッパアーム
は下端がストッパブロックに回動自在に取付られた直線
アーム部とこの直線アーム部の側部に斜めに突き出した
斜めアーム部とを有し、この斜めアーム部を前記位置決
めカムの三角柱部の他方の面に当接させて前記三角柱部
を前記初期位置ストッパブロックとの間に挟むようにし
て位置決めする機構を有するものであり、前記反転位置
係止手段は、前記位置決めカムの三角柱部の他方の面を
当接して反転方向への回転を止めて位置決めする反転位
置ストッパブロックと、前記位置決めカムが反転位置に
あるときこの位置決めカムの半円柱部の平面部に当接し
て位置決めカムが反転方向と逆の方向に回転するのを止
めるストッパ板とを有し、このストッパ板と前記反転位
置ストッパブロックとの間に前記三角柱部を挟むように
して位置決めする機構を有するものであり、前記係止解
除手段は、前記ストッパアームの直線アーム部の上部に
前記旋回方向と反対方向の力を加えて該ストッパアーム
を回動させて斜めアーム部の前記三角柱への当接を解除
する機構を有するものであるレンズの蒸着装置である。As a means for solving the above-mentioned problem, a first means is a lens holding mechanism for arranging an evaporation source at a lower part in a vacuum vessel and holding a lens on which an evaporation film is to be formed at an upper part in the vacuum vessel. Wherein the lens holding mechanism is removably mounted on a revolving part of a driving mechanism provided in the vacuum vessel and is horizontally revolved by the driving mechanism; A plurality of lens holder units attached to the frame at intervals along the circumferential direction of the frame, the lens holder unit having an opening for holding the lens with both surfaces of the lens exposed, and A lens holder that is rotatable between an initial position with one side of the held lens facing down and an inverted position with the other side facing down. A reversing shaft that is pivoted to rotate the lens holder from a desired position to a reversing position; a positioning cam attached to the reversing shaft so as to rotate integrally with the reversing shaft; An initial position locking means and a reverse position locking means for positioning and locking at the reverse position, a spiral spring for applying a rotational force to the reverse shaft via a gear set in a reverse direction, and a lock at the initial position. The positioning cam includes a semi-cylindrical portion having a cross section cut to a size exceeding a semi-circle, and one end in a circumferential direction of an arc surface of the semi-cylindrical portion. A triangular prism portion close to a plate provided so as to protrude radially outward, and the initial position locking means abuts one surface of the triangular prism portion of the positioning cam to position the initial position. Initial position stopper block A stopper arm having a substantially T-shape, which is rotatably mounted on the stopper block at the initial position, the lower end of which has a straight arm portion rotatably mounted on the stopper block, and An oblique arm protruding obliquely on the side of the arm, and contacting the oblique arm with the other surface of the triangular prism of the positioning cam so that the triangular prism intersects the initial position stopper block. A reversing position stopper block, wherein the reversing position locking means abuts the other surface of the triangular prism portion of the positioning cam to stop rotation in the reversing direction and position the reversing position, When the positioning cam is at the reverse position, the positioning cam comes into contact with the flat portion of the semi-cylindrical portion of the positioning cam to stop the positioning cam from rotating in the direction opposite to the reverse direction. A stopper plate, and a mechanism for positioning the triangular prism portion between the stopper plate and the reversing position stopper block, wherein the locking release means is provided with a linear arm portion of the stopper arm. A lens vapor deposition apparatus having a mechanism for applying a force to the upper part in a direction opposite to the turning direction to rotate the stopper arm to release the contact of the oblique arm with the triangular prism.
【００１１】[0011]
【００１２】[0012]
【００１３】[0013]
【００１４】[0014]
【００１５】[0015]
【００１６】[0016]
【００１７】[0017]
【００１８】[0018]
【００１９】[0019]
【００２０】[0020]
【００２１】[0021]
【００２２】[0022]
【００２３】[0023]
【００２４】[0024]
【００２５】[0025]
【００２６】[0026]
【００２７】[0027]
【００２８】[0028]
【００２９】[0029]
【００３０】[0030]
【００３１】[0031]
【００３２】[0032]
【００３３】[0033]
【００３４】[0034]
【００３５】[0035]
【００３６】[0036]
【００３７】[0037]
【００３８】第２の手段は、前記レンズホルダユニット
は、前記被蒸着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に
適した方向に向いている面を除く面を覆うカバーを有す
ることを特徴とする第１の手段にかかるレンズの蒸着装
置である。第３の手段は、前記水平旋回フレームに、前
記レンズホルダユニットがそれぞれ着脱自在に取り付け
られていることを特徴とする第１及び第２の手段にかか
るレンズの蒸着装置である。第４の手段は、前記レンズ
ホルダが、２枚の眼鏡レンズを１組として装着し得る２
つの開口部を備えていることを特徴とする第１〜第３の
いずれかの手段にかかるレンズの蒸着装置である。A second means is that the lens holder unit has a cover for covering a surface of the plurality of deposition surfaces of the deposition lens other than a surface facing a direction suitable for vapor deposition. This is a lens vapor deposition apparatus according to the first means. A third means is a lens vapor deposition apparatus according to the first and second means, wherein the lens holder unit is detachably attached to the horizontal revolving frame. Fourth means is that the lens holder can mount two spectacle lenses as one set.
A lens vapor deposition apparatus according to any one of the first to third means, comprising: one opening;
【００３９】上述の第１の手段によれば、前記初期位置
係止手段が、位置決めカムの三角柱部をストッパアーム
の斜めアーム部と初期位置ストッパブロックとの間に挟
むようにして位置決めする機構を有し、かつ、反転位置
係止手段が、位置決めカムの三角柱部を反転位置ストッ
パブロックと位置決めカムが反転方向と逆の方向に回転
するのを止めるストッパ板との間に挟むようにして位置
決めする機構を有するものであることから、初期位置及
び反転位置での位置決めをコンパクトな構造で極めて正
確かつ確実に行うことを可能にしている。また、第２の
手段によれば、前記レンズホルダユニットは、前記被蒸
着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に適した方向に
向いている面を除く面を覆うカバーを有することから、
１つの面に蒸着している間に他の面に異物が付着するお
それを防止するできる。さらに、第３の手段によれば、
前記水平旋回フレームに、前記レンズホルダユニットが
それぞれ着脱自在に取り付けられているので、レンズの
交換がやりやすくなる。また、レンズに応じたタイプの
レンズホルダユニットを自由に選択して取り付けること
ができるようになる。第４の手段によれば、前記レンズ
ホルダが、２枚の眼鏡レンズを１組として装着し得る２
つの開口部を備えていることから、眼鏡レンズに対する
蒸着工程を極めて効率よくかつ歩留まりよく行うことを
可能にする。すなわち、通常、眼鏡レンズは、２枚１組
で少量多品種生産されることを常とし、これらをもしバ
ラバラにレンズホルダにセットすると、セットした位置
を正確に記録しておかなければならない。この点、この
発明の装置では、２枚１組の眼鏡レンズを１個のレンズ
ホルダに装着できるようにしている。従って、１組の眼
鏡レンズごとにレンズホルダを用意することで、特に記
録しないでも、取り扱いが容易になる。また、同じレン
ズホルダに１組の眼鏡レンズをセットできることから、
各組の眼鏡レンズ毎に蒸着条件を揃えることもできる。According to the first means, the initial position locking means has a mechanism for positioning the triangular prism portion of the positioning cam so as to be sandwiched between the oblique arm portion of the stopper arm and the initial position stopper block. And a mechanism in which the reversing position locking means has a mechanism for positioning the triangular prism portion of the positioning cam so as to be sandwiched between the reversing position stopper block and a stopper plate for stopping the positioning cam from rotating in the direction opposite to the reversing direction. Therefore, the positioning at the initial position and the reversing position can be performed extremely accurately and reliably with a compact structure. According to the second means, since the lens holder unit has a cover that covers a surface of the plurality of deposition surfaces of the deposition lens except for a surface facing a direction suitable for deposition,
It is possible to prevent foreign matter from adhering to another surface during vapor deposition on one surface. Further, according to the third means,
Since the lens holder units are detachably attached to the horizontal revolving frame, the lens can be easily replaced. Further, a lens holder unit of a type corresponding to a lens can be freely selected and attached. According to the fourth means, the lens holder is capable of mounting two spectacle lenses as one set.
The provision of the two openings makes it possible to perform the vapor deposition step on the spectacle lens extremely efficiently and with good yield. That is, usually, a small amount of various kinds of eyeglass lenses are usually produced in pairs, and if these are set in the lens holder separately, the set positions must be accurately recorded. In this regard, in the apparatus of the present invention, a pair of spectacle lenses can be mounted on one lens holder. Therefore, by preparing a lens holder for each pair of spectacle lenses, handling becomes easy even without recording. Also, since one set of spectacle lenses can be set in the same lens holder,
The vapor deposition conditions can be made uniform for each set of spectacle lenses.
【００４０】[0040]
【００４１】[0041]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。この実施の形態は、本発明を、眼
鏡レンズ等のレンズに保護膜等の薄膜を成膜するレンズ
蒸着装置に適用した例である。以下図面を参照にしなが
ら本実施の形態にかかるレンズ蒸着装置を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. This embodiment is an example in which the present invention is applied to a lens evaporation apparatus for forming a thin film such as a protective film on a lens such as an eyeglass lens. Hereinafter, a lens deposition apparatus according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.
【００４２】図１は実施形態のレンズ蒸着装置の概略構
成を示す側断面図である。図１に示される蒸着装置は、
真空容器１内の下部に蒸着源２を配すると共に、真空容
器１内の上部に、蒸着膜形成対象のレンズを保持するレ
ンズ保持機構１０を配したものである。FIG. 1 is a side sectional view showing a schematic configuration of a lens evaporation apparatus according to an embodiment. The vapor deposition device shown in FIG.
A deposition source 2 is arranged at a lower part in a vacuum vessel 1, and a lens holding mechanism 10 for holding a lens on which a deposition film is to be formed is arranged at an upper part in the vacuum vessel 1.
【００４３】レンズ保持機構１０は、真空容器１の天井
部に装備された駆動機構３の旋回部４に着脱自在に装着
されて該駆動機構３により水平旋回させられるドーム形
の水平旋回フレーム１１と、図２に示すように、水平旋
回フレーム１１に該フレーム１１の周方向に沿って間隔
的に取り付けられた多数のレンズホルダユニット２０と
により構成されている。水平旋回フレーム１１は、中央
上側に配したボス部１２の上端１２ａを駆動機構３の旋
回部４に係合することで、該旋回部４により保持されて
いる。また、レンズホルダユニット２０は、水平旋回フ
レーム１１にそれぞれ着脱自在に取り付けられている。The lens holding mechanism 10 is removably mounted on the revolving part 4 of the driving mechanism 3 mounted on the ceiling of the vacuum vessel 1 and is revolved horizontally by the driving mechanism 3. 2, a plurality of lens holder units 20 are attached to the horizontal revolving frame 11 at intervals along the circumferential direction of the frame 11. As shown in FIG. The horizontal revolving frame 11 is held by the revolving portion 4 by engaging the upper end 12 a of the boss portion 12 arranged on the upper center with the revolving portion 4 of the drive mechanism 3. The lens holder units 20 are each detachably attached to the horizontal turning frame 11.
【００４４】各レンズホルダユニット２０は、長円形状
の枠材２１と、該枠材２１の長手方向の一端に一体的に
延設された基板２２と、枠材２１の内部に配されて蒸着
対象の眼鏡レンズ１００を保持すると共に初期位置から
反転位置まで反転駆動されるレンズホルダ２３と、レン
ズホルダ２３の上側を覆うカバー２５と、レンズホルダ
２３を反転駆動するために基板２２上に装備された反転
機構組立部３０とから構成されている。Each of the lens holder units 20 has an elliptical frame member 21, a substrate 22 integrally extended at one end of the frame member 21 in the longitudinal direction, and vapor deposition disposed inside the frame member 21. A lens holder 23 that holds the target spectacle lens 100 and is driven to reverse from the initial position to the reverse position, a cover 25 that covers the upper side of the lens holder 23, and is provided on the substrate 22 for driving the lens holder 23 to reverse. And a reversing mechanism assembly 30.
【００４５】枠材２１は、図２に示すように、長円の長
軸方向を水平旋回フレーム１１の半径方向に向けた姿勢
で、基板２２により水平旋回フレーム１１に着脱自在に
取り付けられている。すなわち、図示しないが、例え
ば、水平旋回フレーム１１に取り付け用のピン及びビス
を固定して設け、これらピン及びビスに嵌合する取り付
け孔を基板２２に設け、該基板２２の取り付け孔を上記
ピン及びビスに嵌合させ、さらに必要に応じて同様の取
り付け孔を設けた押さえ板を重ねて上記ビスにナットを
ねじ込んで固定するようになっている。また、上記枠材
２１の内部に、枠材２１よりもやや小さい長円形の板状
に形成されたレンズホルダ２３が収容されている。従っ
て、レンズホルダユニット２０は水平旋回フレーム１１
に放射状に取り付けられている。As shown in FIG. 2, the frame member 21 is detachably attached to the horizontal revolving frame 11 by the substrate 22 in a posture in which the long axis direction of the ellipse is directed to the radial direction of the horizontal revolving frame 11. . That is, although not shown, for example, mounting pins and screws are fixedly provided on the horizontal revolving frame 11, mounting holes for fitting these pins and screws are provided in the substrate 22, and the mounting holes of the substrate 22 are And a screw, and if necessary, a holding plate provided with a similar mounting hole is overlapped, and a nut is screwed into the screw to be fixed. Further, a lens holder 23 formed in an oval plate shape slightly smaller than the frame member 21 is housed inside the frame member 21. Therefore, the lens holder unit 20 is mounted on the horizontal turning frame 11.
Mounted radially.
【００４６】図３、図４はレンズホルダユニット２０の
一部を省略して示す拡大図である。また、図５はレンズ
ホルダユニット２０に装備された反転機構組立部３０の
原理構造を一部省略して示す斜視図である。FIGS. 3 and 4 are enlarged views showing a part of the lens holder unit 20 omitted. FIG. 5 is a perspective view showing a part of the principle structure of the reversing mechanism assembling unit 30 provided in the lens holder unit 20 in a partially omitted manner.
【００４７】図４に示すように、長円形のレンズホルダ
２３には、その長手方向に並べて、２つの円形の開口部
２３ａ、２３ａが設けられている。これら２つの開口部
２３ａ、２３ａは、レンズ両面を露出させた状態で、２
枚１組の眼鏡レンズ１００を着脱自在に保持するための
ものである。眼鏡レンズ１００の保持方法としては、図
示しないが、例えば、開口部２３ａの円形の回りに等間
隔で３カ所に板バネ等を用いた弾性保持機構を設け、眼
鏡レンズ１００の外周側面の３カ所で点接触や線接触あ
るいは面接触で眼鏡レンズ１００を押さえることによっ
て保持する方法等がある。また、円形のレンズホルダ２
３の長軸方向の両端には、長い反転軸２６と短い反転軸
２７とが一体に突設されている。As shown in FIG. 4, the oval lens holder 23 is provided with two circular openings 23a, 23a arranged in the longitudinal direction. These two openings 23a, 23a
This is for holding a pair of spectacle lenses 100 detachably. As a method of holding the spectacle lens 100, although not shown, for example, elastic holding mechanisms using leaf springs or the like are provided at three places at equal intervals around the circle of the opening 23a, and three places on the outer peripheral side surface of the spectacle lens 100 are provided. There is a method of holding the eyeglass lens 100 by pressing it with point contact, line contact, or surface contact. Also, a circular lens holder 2
A long reversing shaft 26 and a short reversing shaft 27 are integrally protruded from both ends in the long axis direction of 3.
【００４８】長い反転軸２６は、枠材２１に設けた貫通
孔２１ａを挿通して基板２２の上方にまで延びている。
また、短い反転軸２７は、枠材２１の内面に設けた凹部
２１ｂに嵌まっている。このように、両端の反転軸２
６、２７が枠材２１の貫通孔２１ａと凹部２１ｂに支持
されていることにより、レンズホルダ２３は、図３
（ｂ）中の矢印で示すように、反転軸２６、２７を軸と
して回動できるようになっている。ここでは、保持した
眼鏡レンズ１００の片面を下に向けた初期位置と、他方
の片面を下に向けた反転位置との間で回動可能となって
いる。The long reversing shaft 26 extends above the substrate 22 through the through hole 21 a provided in the frame member 21.
The short reversing shaft 27 is fitted in a concave portion 21 b provided on the inner surface of the frame member 21. Thus, the reversing shaft 2 at both ends
6 and 27 are supported by the through holes 21a and the recesses 21b of the frame member 21, so that the lens holder 23
As shown by the arrow in (b), it is possible to rotate around the reversing shafts 26 and 27 as axes. Here, the held spectacle lens 100 is rotatable between an initial position in which one surface thereof faces downward and an inverted position in which the other one surface thereof faces downward.
【００４９】長い反転軸２６は、図４に示すように、基
板２２上に装備した反転機構組立部３０に取り込まれて
いる。反転機構組立部３０内において、長い反転軸２６
は軸受部材３１、３２により回転自在に支持されてい
る。また、この反転軸２６と平行に駆動軸３３が、軸受
部材３１、３２により回転自在に支持されている。The long reversing shaft 26 is taken into a reversing mechanism assembly 30 mounted on the substrate 22 as shown in FIG. In the reversing mechanism assembly 30, the long reversing shaft 26
Are rotatably supported by bearing members 31 and 32. A drive shaft 33 is rotatably supported by bearing members 31 and 32 in parallel with the reversing shaft 26.
【００５０】図５に示すように、駆動軸３３には渦巻き
バネ（弾性体）３４が巻き付けられている。渦巻きバネ
３４は、その外周側の一端３４ａが基板２２上に固着さ
れ、その内周側の一端３４ｂが駆動軸３３に固着されて
いる。それにより、渦巻きバネ３４の弾性力によって、
駆動軸３３には、図５の手前から見て左回りしようとす
る回転力が付与されている。As shown in FIG. 5, a spiral spring (elastic body) 34 is wound around the drive shaft 33. The spiral spring 34 has one end 34 a on the outer peripheral side fixed to the substrate 22, and one end 34 b on the inner peripheral side is fixed to the drive shaft 33. Thereby, by the elastic force of the spiral spring 34,
The drive shaft 33 is provided with a rotational force to turn counterclockwise when viewed from the front in FIG.
【００５１】また、この駆動軸３３には小ギヤ３５が取
り付けられており、反転軸２６には大ギヤ３６が取り付
けられている。小ギヤ３５と大ギヤ３６は噛み合ってお
り、このギヤセットの噛み合いにより、前記渦巻きバネ
３４によって駆動軸３３に付与された回転力が、拡大さ
れた上で、反転軸２６に図５の手前から見て右回りの回
転力として伝達されている。従って、小さいバネ力の渦
巻きバネ３４を用いることができる。A small gear 35 is attached to the drive shaft 33, and a large gear 36 is attached to the reversing shaft 26. The small gear 35 and the large gear 36 are meshed with each other. Due to the meshing of this gear set, the rotational force applied to the drive shaft 33 by the spiral spring 34 is enlarged, and then the reversing shaft 26 is viewed from the front in FIG. And transmitted as clockwise rotation force. Therefore, the spiral spring 34 having a small spring force can be used.
【００５２】また、反転軸２６には、該反転軸２６と一
体回転するように位置決めカム４０が取り付けられてい
る。位置決めカム４０は、半円を超えた大きさにカット
された横断面を有する半円柱部４０ａと、板体に近い形
態の三角柱部４０ｂとを一体に結合した異形柱状体とし
て構成されている。A positioning cam 40 is attached to the reversing shaft 26 so as to rotate integrally with the reversing shaft 26. The positioning cam 40 is configured as an irregularly shaped columnar body in which a semicircular columnar portion 40a having a cross section cut to a size exceeding a semicircle and a triangular columnar portion 40b having a shape close to a plate are integrally joined.
【００５３】図６を併せて参照しながら以下説明する。
三角柱部４０ｂは、半円柱部４０ａの円弧面４０ｃの周
方向一端部に、径方向外方に突出するように一体化され
ている。半円柱部４０ａには下面側に位置する円弧面４
０ｃと反対側（上面側）に、カット平面（半円柱を形成
するために円柱を弦でカットした面）があり、そのカッ
ト平面上の三角柱部４０ｂを一体化した側と反対側の略
半分に、カット平面より一段低まった形の切欠部４０ｄ
が形成されている。また、三角柱部４０ｂには、前記カ
ット平面と平行な下面４０ｅと、半円柱部４０ａ側に下
り傾斜した上面４０ｆとがある。This will be described below with reference to FIG.
The triangular prism portion 40b is integrated with one end in the circumferential direction of the arc surface 40c of the semicircular column portion 40a so as to protrude radially outward. The semicircular portion 40a has an arc surface 4 located on the lower surface side.
On the opposite side (upper surface side) from 0c, there is a cut plane (a surface obtained by cutting a cylinder with a chord to form a semi-cylindrical column), and approximately half the opposite side to the side on which the triangular prism portion 40b is integrated on the cut plane. The notch 40d is one step lower than the cut plane.
Are formed. The triangular prism portion 40b has a lower surface 40e parallel to the cut plane and an upper surface 40f inclined downward toward the semicircular column portion 40a.
【００５４】位置決めカム４０の三角柱部４０ｂ側の側
方には、初期位置ストッパブロック４２が配置され、こ
のストッパブロック４２に設けたブラケット４６に、
「ト」字形をなしたストッパアーム４１の下端が、ピン
４７で回動可能に結合されている。ストッパアーム４１
は、前記ピン４７で下端がブラケット４６に連結された
直線アーム４１ａと、直線アーム４１ａの側部に斜めに
突き出した斜めアーム４１ｃとを有する。直線アーム４
１ａの上端４１ｂは、斜めアーム４１ｃの付け根よりも
上に延びており、この部分が後で説明する解除操作部と
なっている。An initial position stopper block 42 is disposed on the side of the positioning cam 40 on the side of the triangular prism portion 40b, and a bracket 46 provided on the stopper block 42
The lower end of the stopper arm 41 having a “G” shape is rotatably connected by a pin 47. Stopper arm 41
Has a linear arm 41a whose lower end is connected to the bracket 46 with the pin 47, and an oblique arm 41c that projects obliquely to the side of the linear arm 41a. Straight arm 4
The upper end 41b of 1a extends above the base of the oblique arm 41c, and this portion serves as a release operation unit described later.
【００５５】位置決めカム４０の反対側の側方には、三
角ピース状の反転位置ストッパブロック４３が配置され
ている。このストッパブロック４３の上面は、斜めの位
置決め面４３ａとなっている。On the side opposite to the positioning cam 40, a reversal position stopper block 43 in the shape of a triangular piece is arranged. The upper surface of the stopper block 43 is an oblique positioning surface 43a.
【００５６】また、前記初期位置ストッパブロック４２
には、位置決めカム４０側を向いた側面に開口したスラ
イド溝４２ａが形成されており、そのスライド溝４２ａ
に、ストッパ板４４が出没方向にスライド自在に挿入さ
れている。このストッパ板４４は、図示しないバネによ
って、位置決めカム４０の円弧面４０ｃに対して押し当
てられている。The initial position stopper block 42
Is formed with a slide groove 42a opened on the side surface facing the positioning cam 40 side.
, A stopper plate 44 is slidably inserted in the retracting direction. The stopper plate 44 is pressed against the arc surface 40c of the positioning cam 40 by a spring (not shown).
【００５７】図６（ａ）に示すように、レンズホルダ２
３が初期位置にあるとき、ストッパブロック４２の上面
に、位置決めカム４０の三角柱部４０ｂの下面４０ｅが
当たり、ストッパアーム４１の斜めアーム４１ｃの下面
が、三角柱部４０ｂの上面４０ｆに当たっている。これ
により、渦巻きバネによって矢印Ｓ方向に回ろうとする
位置決めカム４０は確実に係止され、レンズホルダ２３
が初期位置に位置決めされる。As shown in FIG. 6A, the lens holder 2
When 3 is in the initial position, the lower surface 40e of the triangular prism portion 40b of the positioning cam 40 contacts the upper surface of the stopper block 42, and the lower surface of the oblique arm 41c of the stopper arm 41 contacts the upper surface 40f of the triangular prism portion 40b. Thus, the positioning cam 40 that is about to rotate in the direction of the arrow S by the spiral spring is securely locked, and the lens holder 23
Is positioned at the initial position.
【００５８】この状態で、ストッパアーム４１を位置決
めカム４０と反対方向（以下、解除方向という）に倒し
て位置決めカム４０の押さえを解放するために、係止解
除機構５０が真空容器１の天井部に固定的に設けられて
いる（図１参照）。この係止解除機構５０は、上下に移
動操作される解除ロッド（解除部材）５１を備えてい
る。水平旋回フレーム１１と一緒に移動するレンズホル
ダユニット２０の移動方向は図中矢印で示すＲ方向であ
り、解除ロッド５１は、下方に下げられると、Ｒ方向に
移動するストッパアーム４１の上端（解除操作部）４１
ｂと干渉して、図６（ｂ）に示すように、ストッパアー
ム４１を解除方向に倒す。また、解除ロッド５１は、上
方に持ち上げられると、ストッパアーム４１の上端４１
ｂと非干渉となる。なお、係止解除機構５０は、ストッ
パアーム４１の上端４１ａの通過軌跡上に位置してお
り、円周方向の最低１ヶ所に配置されている。In this state, in order to release the pressing of the positioning cam 40 by tilting the stopper arm 41 in a direction opposite to the positioning cam 40 (hereinafter referred to as a releasing direction), the locking release mechanism 50 (See FIG. 1). The lock release mechanism 50 includes a release rod (release member) 51 that is moved up and down. The moving direction of the lens holder unit 20 that moves together with the horizontal revolving frame 11 is the R direction indicated by the arrow in the figure, and when the release rod 51 is lowered downward, the upper end (release) of the stopper arm 41 that moves in the R direction Operation unit) 41
6B, the stopper arm 41 is tilted in the release direction as shown in FIG. When the release rod 51 is lifted upward, the upper end 41 of the stopper arm 41 is moved.
b and no interference. Note that the lock release mechanism 50 is located on the locus of passage of the upper end 41a of the stopper arm 41, and is arranged at least at one position in the circumferential direction.
【００５９】次に作用を説明する。レンズホルダ２３が
初期位置にあるとき、図６（ａ）に示すように、ストッ
パアーム４１は直立している。このとき、位置決めカム
４０の三角柱部４０ｂが、ストッパアーム４１の斜めア
ーム４１ｃとストッパブロック４２との間に挟持され
る。それにより、渦巻きバネ３４の力でＳ方向に回転し
ようとする位置決めカム４０が、初期位置に確実に位置
決めされて押さえられる。しかも、位置決めカム４０が
Ｓ方向に回転しようとしても、斜めアーム４１ｃの傾斜
面の作用で、ストッパアーム４１には位置決めカム４０
方向に倒れるモーメントが発生することになるので、ス
トッパアーム４１による係止が外れることはない。Next, the operation will be described. When the lens holder 23 is at the initial position, the stopper arm 41 stands upright as shown in FIG. At this time, the triangular prism portion 40b of the positioning cam 40 is sandwiched between the oblique arm 41c of the stopper arm 41 and the stopper block 42. Thereby, the positioning cam 40 that is about to rotate in the S direction by the force of the spiral spring 34 is reliably positioned at the initial position and pressed down. In addition, even if the positioning cam 40 attempts to rotate in the S direction, the positioning arm 40c is attached to the stopper arm 41 by the action of the inclined surface of the oblique arm 41c.
Since the moment of falling in the direction is generated, the locking by the stopper arm 41 is not released.
【００６０】この状態で、各レンズホルダユニット２０
のレンズホルダ２３に保持された眼鏡レンズ１００の片
面（下側の面）に蒸着を施す。このとき、係止解除機構
５の解除ロッド５１は上方に退避させておく。そして、
必要に応じて水平旋回フレーム１１を旋回させて、蒸着
の均一化を図る。In this state, each lens holder unit 20
Is deposited on one surface (lower surface) of the spectacle lens 100 held by the lens holder 23 of FIG. At this time, the release rod 51 of the lock release mechanism 5 is retracted upward. And
The horizontal revolving frame 11 is revolved as needed to achieve uniform deposition.
【００６１】次に、片面の蒸着が終了したら、係止解除
機構５０の解除ロッド５１を下方位置に位置決めし、水
平旋回フレーム１１を回す。そうすると、係止解除機構
５０の位置に到達したレンズホルダユニット２０におい
て、図６（ａ）→（ｂ）→（ｃ）の動作が順に生じる。Next, when the vapor deposition on one side is completed, the release rod 51 of the lock release mechanism 50 is positioned at the lower position, and the horizontal turning frame 11 is turned. Then, in the lens holder unit 20 that has reached the position of the lock release mechanism 50, the operations shown in FIGS. 6A, 6B, and 6C occur sequentially.
【００６２】即ち、まず図６（ａ）の状態から、レンズ
ホルダユニット２０がＲ方向へ移動すると、解除ロッド
５１がストッパアーム４１の上端４１ｂに干渉し、さら
にＲ方向へのユニット２０の移動により、ストッパアー
ム４１が図６（ｂ）のように解除方向へ倒れる。そうす
ると、位置決めカム４０の押さえがとれて、位置決めカ
ム４０がＳ方向へ回り、ストッパ板４４の先端が、位置
決めカム４０の円弧面４０ｃを摺動する。That is, first, when the lens holder unit 20 moves in the R direction from the state of FIG. 6A, the release rod 51 interferes with the upper end 41b of the stopper arm 41, and the movement of the unit 20 further in the R direction. Then, the stopper arm 41 falls down in the release direction as shown in FIG. Then, the positioning cam 40 is released, the positioning cam 40 rotates in the S direction, and the tip of the stopper plate 44 slides on the arc surface 40c of the positioning cam 40.
【００６３】そして、位置決めカム４０が１８０度回転
すると、図６（ｃ）に示すように、位置決めカム４０の
三角柱部４０ｂの斜めの上面４０ｆが、反転位置ストッ
パブロック４３の斜め位置決め面４３ａに当たって止ま
る。このとき、円弧面４０ｃを摺動していたストッパ板
４４が、位置決めカム４０の切欠部４０ｄに係合し、位
置決めカム４０が戻り方向に回転阻止される。そして、
これにより、位置決めカム４０は、反転位置に確実に位
置決め係止される。When the positioning cam 40 rotates by 180 degrees, the oblique upper surface 40f of the triangular prism portion 40b of the positioning cam 40 comes into contact with the oblique positioning surface 43a of the reverse position stopper block 43 and stops as shown in FIG. . At this time, the stopper plate 44 that has slid on the arc surface 40c engages with the notch 40d of the positioning cam 40, and the rotation of the positioning cam 40 in the return direction is prevented. And
Thereby, the positioning cam 40 is securely positioned and locked at the inverted position.
【００６４】この状態で、各レンズホルダユニット２０
のレンズホルダ２３に保持された眼鏡レンズ１００の他
方の片面（新たに下側になった面）に蒸着を施す。この
ときも、必要な全てのレンズホルダ２３の反転が終了し
たら、係止解除機構５の解除ロッド５１を上方に退避さ
せて、必要に応じて水平旋回フレーム１１を旋回させる
ことにより、蒸着の均一化を図る。In this state, each lens holder unit 20
The other side (the newly lower side) of the spectacle lens 100 held by the lens holder 23 is vapor-deposited. At this time, when all the necessary lens holders 23 have been turned over, the release rod 51 of the lock release mechanism 5 is retracted upward, and the horizontal revolving frame 11 is rotated as necessary, thereby achieving uniform deposition. Plan.
【００６５】なお、この装置においては、初期位置スト
ッパブロック４２及びストッパアーム４１が初期位置係
止手段に相当し、反転位置ストッパブロック４３及びス
トッパ板４４が反転位置係止手段に相当する。また、渦
巻きバネ３４と小ギヤ３５と大ギヤ３６とが反転機構を
構成している。In this apparatus, the initial position stopper block 42 and the stopper arm 41 correspond to the initial position locking means, and the reverse position stopper block 43 and the stopper plate 44 correspond to the reverse position locking means. Further, the spiral spring 34, the small gear 35, and the large gear 36 constitute a reversing mechanism.
【００６６】このようにして蒸着を行う際に、全てのレ
ンズホルダユニット２０に保持された眼鏡レンズ１００
が確実に一定の姿勢に保持されるようになるので、精度
良く均一な蒸着膜をレンズ表面に形成することができ
る。また、各レンズホルダユニット２０には、レンズホ
ルダ２３の反転動作を許容する位置に、眼鏡レンズ１０
０の上面側を保護するカバー２５を設けているので、眼
鏡レンズ１００の上側の面にゴミが付かない。When performing vapor deposition in this manner, the spectacle lens 100 held by all the lens holder units 20
Is surely held in a constant posture, so that a uniform vapor deposition film can be formed on the lens surface with high accuracy. In addition, each lens holder unit 20 is provided with a spectacle lens 10 at a position where the inversion operation of the lens holder 23 is allowed.
Since the cover 25 that protects the upper surface of the lens 0 is provided, dust does not adhere to the upper surface of the spectacle lens 100.
【００６７】また、反転機構組立部３０には反転のため
の動力源として渦巻きバネ３４を設けているので、各レ
ンズホルダユニット２０毎の構成が単純になっている。Further, since the spiral spring 34 is provided in the reversing mechanism assembly 30 as a power source for reversing, the configuration of each lens holder unit 20 is simplified.
【００６８】また、水平旋回フレーム１１ごと真空容器
１に対して交換することができるので、クリーンブース
内でレンズの脱着作業を行うことができ、レンズに対す
るゴミの付着を減らせる。特に、各レンズホルダユニッ
ト２０自体を水平旋回フレーム１１に着脱自在に取り付
けているので、レンズの交換がやりやすくなる。Further, since the entire horizontal revolving frame 11 can be replaced with respect to the vacuum vessel 1, the work of attaching and detaching the lens can be performed in the clean booth, and the adhesion of dust to the lens can be reduced. In particular, since each lens holder unit 20 is detachably attached to the horizontal swivel frame 11, it is easy to exchange lenses.
【００６９】また、２枚１組で眼鏡レンズ１００をレン
ズホルダユニット２０にセットできるので、取り扱いが
容易になる上、各組の眼鏡レンズ１００毎に蒸着条件を
揃えることができる。Further, since the pair of spectacle lenses 100 can be set in the lens holder unit 20, the handling is easy, and the vapor deposition conditions can be made uniform for each pair of spectacle lenses 100.
【００７０】なお、以上の説明では、眼鏡レンズ等のレ
ンズに保護膜等の薄膜を成膜するレンズ蒸着装置に適用
した実施の形態に基づいて本発明を説明したが、本発明
はこれに限られるものではない。すなわち、例えば、適
用できる成膜の手法としては、蒸着法やスパッタリング
等の化学的又は物理的成膜法であって、成膜物質源から
飛翔させた成膜物質を被成膜体の被成膜面に堆積させる
ことによって該被成膜面に薄膜を形成する方法が全て含
まれる。In the above description, the present invention has been described based on the embodiment applied to a lens vapor deposition apparatus for forming a thin film such as a protective film on a lens such as an eyeglass lens. However, the present invention is not limited to this. It is not something that can be done. That is, for example, applicable film forming methods include chemical or physical film forming methods such as vapor deposition and sputtering, and a method of forming a film-forming substance by flying a film-forming substance from a film-forming substance source. All the methods for forming a thin film on the film-forming surface by depositing the film on the film surface are included.
【００７１】また、適用できる被成膜体としては、眼鏡
レンズ等の光学レンズのほかに、カラーフィルター等の
光学部品があげられる。また、３面以上の被成膜面を有
するプリズム等の光学部品にも適用可能である。その
他、複数の被成膜面を有し、これら被成膜面に反射防止
膜や偏光膜等の一層又は多層の薄膜を形成するもの全て
に適用できる。３面以上の被成膜面を有するプリズム等
の光学部品に適用する場合には、被成膜体ホルダユニッ
トの姿勢切替機構として、３面以上の被成膜面をそれぞ
れ成膜に適した方向に向けて切り替え固定する機構を備
えたものを採用すればよい。このような機構は、カム機
構を応用して例えば３面のそれぞれに対応して機械的に
位置決めする位置係止手段と、該位置係止手段の係止を
解除する係止解除手段とを有する機構とすればよい。す
なわち、第１面に対応する位置係止手段及びその係止解
除手段と、第２面に対応する位置係止手段及びその係止
解除手段と、第３面の位置係止手段とを設ける。そし
て、第１面の係止を解除すると第２面に切り替わって第
２面の位置係止手段によって係止されるようにし、さら
に、第２面の係止を解除すると、第３面に切り替わって
第３面の位置係止手段によって係止されるようにすれば
よい。Examples of the film-forming object to which the present invention can be applied include not only optical lenses such as spectacle lenses but also optical parts such as color filters. Further, the present invention can be applied to an optical component such as a prism having three or more deposition surfaces. In addition, the present invention can be applied to all devices having a plurality of film formation surfaces and forming a single or multilayer thin film such as an antireflection film or a polarizing film on these film formation surfaces. When applied to an optical component such as a prism having three or more film-forming surfaces, the posture switching mechanism of the film-forming body holder unit is used to set the three or more film-forming surfaces in directions suitable for film formation. What is necessary is just to employ | adopt the thing provided with the mechanism which switches and fixes toward. Such a mechanism includes position locking means for applying a cam mechanism to mechanically position, for example, corresponding to each of three surfaces, and locking release means for releasing the locking of the position locking means. What is necessary is just a mechanism. That is, the position locking means corresponding to the first surface and its unlocking means, the position locking means corresponding to the second surface and its unlocking means, and the position locking means for the third surface are provided. When the lock on the first surface is released, the surface is switched to the second surface and locked by the position locking means on the second surface. When the lock on the second surface is released, the surface is switched to the third surface. In this case, the position may be locked by the position locking means on the third surface.
【００７２】さらに、被成膜体ホルダユニット、被成膜
体保持機構、回転フレーム、被成膜体ホルダ、反転機
構、初期位置停止手段、反転位置係止手段及び係止解除
手段についても、上記実施の形態に掲げた例のほかに、
同様の機能を有する他の機構を採用できることは勿論で
ある。Further, the film-deposited object holder unit, the film-deposited object holding mechanism, the rotating frame, the film-deposited object holder, the reversing mechanism, the initial position stopping means, the reversing position locking means and the locking releasing means are also described above. In addition to the examples listed in the embodiment,
Of course, other mechanisms having similar functions can be adopted.
【００７３】[0073]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
機械的に精密に位置決めできる位置係止手段を用いたこ
とによって、正確かつ確実な位置決めがなされる。これ
によって、正確・確実にかつ再現性よく各被成膜面を成
膜に適した方向に向けて成膜を行うことができるから、
高品質の成膜を容易に行うことができる。しかも、係止
解除手段によって係止を解除することにより、比較的容
易に姿勢を変えて次の被成膜面を所定の方向に正確に向
けることもできる。As described above, according to the present invention,
Accurate and reliable positioning is achieved by using the position locking means that can be precisely positioned mechanically. This makes it possible to form a film in a direction suitable for film formation with accuracy, reliability, and good reproducibility.
High quality film formation can be easily performed. In addition, by releasing the lock by the lock release means, the posture can be changed relatively easily and the next film formation surface can be accurately oriented in a predetermined direction.
【図１】本発明の実施形態の蒸着装置の概略構成を示す
側断面図である。FIG. 1 is a side sectional view showing a schematic configuration of a vapor deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１の蒸着装置におけるレンズ保持機構１０を
上から見た平面図である。FIG. 2 is a plan view of the lens holding mechanism 10 in the vapor deposition apparatus of FIG. 1 as viewed from above.
【図３】図１のレンズホルダユニット２０の反転機構組
立部３０を図示省略した要部構成図で、（ａ）は側面
図、（ｂ）は（ａ）図のＩＩＩｂ矢視図である。FIGS. 3A and 3B are main configuration diagrams in which a reversing mechanism assembly section 30 of the lens holder unit 20 in FIG. 1 is omitted from the illustration, wherein FIG. 3A is a side view, and FIG.
【図４】図１のレンズホルダユニットのカバーを外した
状態を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a state where a cover of the lens holder unit of FIG. 1 is removed.
【図５】図４の点線で囲んだ反転機構組立部３０の原理
構造を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing the principle structure of the reversing mechanism assembly section 30 surrounded by a dotted line in FIG. 4;
【図６】図５の反転機構の動作説明図であり、（ａ）は
レンズホルダが初期位置にあって反転動作が開始する直
前の状態を示す図、（ｂ）は反転動作の途中の状態を示
す図、（ｃ）は反転動作が終了した状態を示す図であ
る。6A and 6B are explanatory diagrams of the operation of the reversing mechanism of FIG. 5, in which FIG. 6A shows a state where the lens holder is at an initial position and immediately before the reversing operation is started, and FIG. And (c) is a diagram showing a state in which the inversion operation has been completed.
１ 真空容器 ２ 蒸着源 ３ 駆動機構 ４ 旋回部 １０ レンズ保持機構 １１ 水平旋回フレーム ２０ レンズホルダユニット ２１ 枠材 ２２ 基板 ２３ レンズホルダ ２５ カバー ２６ 長い反転軸 ３０ 反転機構組立部 ３４ 渦巻きバネ（弾性体） ３５ 小ギヤ ３６ 大ギヤ ４０ 位置決めカム ４１ ストッパアーム（初期位置係止手段） ４２ 初期位置ストッパブロック（初期位置係止手段） ４３ 反転位置ストッパブロック（反転位置係止手段） ４４ ストッパ板（反転位置係止手段） ５０ 係止解除機構 ５１ 解除ロッド（解除部材） １００ 眼鏡レンズ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum container 2 Deposition source 3 Drive mechanism 4 Revolving part 10 Lens holding mechanism 11 Horizontal revolving frame 20 Lens holder unit 21 Frame material 22 Substrate 23 Lens holder 25 Cover 26 Long reversing axis 30 Reversing mechanism assembly part 34 Spiral spring (elastic body) 35 Small gear 36 Large gear 40 Positioning cam 41 Stopper arm (Initial position locking means) 42 Initial position stopper block (Initial position locking means) 43 Reverse position stopper block (Reverse position locking means) 44 Stopper plate (Reverse position engagement means) Locking means) 50 locking release mechanism 51 release rod (release member) 100 spectacle lens
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−271935（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−6273（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−128724（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−86125（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−120556（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−37258（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 G02B 1/11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-5-271935 (JP, A) JP-A-61-2627 (JP, A) JP-A-58-128724 (JP, A) JP-A-2- 86125 (JP, A) JP-A 3-120556 (JP, U) JP-A 4-37258 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C23C 14/00-14 / 58 G02B 1/11
Claims (4)
に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを保持
するレンズ保持機構を配したレンズの蒸着装置におい
て、 前記レンズ保持機構は、前記真空容器に装備された駆動
機構の旋回部に着脱自在に装着されて該駆動機構により
水平旋回さられる水平旋回フレームと、該水平旋回フレ
ームに該フレームの周方向に沿って間隔的に取り付けら
れた多数のレンズホルダユニットとを有し、 前記レンズホルダユニットは、 レンズ両面を露出させた状態でレンズを保持する開口部
を持ち、且つ、保持したレンズの片面を下に向けた初期
位置と他方の片面を下に向けた反転位置との間で回動可
能とされたレンズホルダと、 このレンズホルダに取り付けられて該レンズホルダを初
期位置から反転位置に回動する軸である反転軸と、 この反転軸と一体回転するように該反転軸に取り付けら
れた位置決めカムと、この位置決めカムを初期位置及び
反転位置でそれぞれ位置決めして係止する初期位置係止
手段及び反転位置係止手段と、 前記反転軸にギアセットを介して反転方向に回転力を与
える渦巻きバネと、 前記初期位置での係止を解除する係止解除手段とを有
し、 前記位置決めカムは、半円を越えた大きさにカットされ
た横断面を有する半円柱部と、この半円柱部の円弧面の
周方向一端部に径方向外方に突出するように設けられた
板状に近い三角柱部とを有し、 前記初期位置係止手段は、前記位置決めカムの三角柱部
の一方の面を当接して初期位置の位置決めをする初期位
置ストッパブロックとこの初期位置ストッパブロックに
回動可能に取付られた略トの字形をなしたストッパアー
ムとを有し、このストッパアームは下端がストッパブロ
ックに回動自在に取付られた直線アーム部とこの直線ア
ーム部の側部に斜めに突き出した斜めアーム部とを有
し、この斜めアーム部を前記位置決めカムの三角柱部の
他方の面に当接させて前記三角柱部を前記初期位置スト
ッパブロックとの間に挟むようにして位置決めする機構
を有するものであり、 前記反転位置係止手段は、前記位置決めカムの三角柱部
の他方の面を当接して反転方向への回転を止めて位置決
めする反転位置ストッパブロックと、前記位置決めカム
が反転位置にあるときこの位置決めカムの半円柱部の平
面部に当接して位置決めカムが反転方向と逆の方向に回
転するのを止めるストッパ板とを有し、このストッパ板
と前記反転位置ストッパブロックとの間に前記三角柱部
を挟むようにして位置決めする機構を有するものであ
り、 前記係止解除手段は、前記ストッパアームの直線アーム
部の上部に前記旋回方向と反対方向の力を加えて該スト
ッパアームを回動させて斜めアーム部の前記三角柱への
当接を解除する機構を有するものであるレンズの蒸着装
置。In a lens vapor deposition apparatus, a vapor deposition source is disposed at a lower portion in a vacuum vessel, and a lens retaining mechanism for retaining a lens on which a vapor deposition film is to be formed is disposed at an upper portion in the vacuum vessel. A horizontal revolving frame removably mounted on a revolving portion of a driving mechanism mounted on the vacuum vessel and revolved horizontally by the driving mechanism, and attached to the horizontal revolving frame at intervals along a circumferential direction of the frame. A plurality of lens holder units, the lens holder unit having an opening for holding the lens with both surfaces of the lens exposed, and an initial position in which one side of the held lens faces downward. A lens holder rotatable between a reverse position with the other side facing downward, and a lens holder attached to the lens holder to move the lens holder from an initial position to a reverse position. A reversing shaft which is a rotating shaft, a positioning cam attached to the reversing shaft so as to rotate integrally with the reversing shaft, and an initial position member for positioning and locking the positioning cam at an initial position and a reversing position, respectively. Stopping means and reversing position locking means, a spiral spring for applying a rotational force to the reversing shaft in a reversing direction via a gear set, and locking releasing means for releasing locking at the initial position, The positioning cam has a semi-cylindrical portion having a cross section cut to a size exceeding a semi-circle, and a plate provided at one circumferential end of an arc surface of the semi-cylindrical portion so as to protrude radially outward. An initial position stopper block for abutting one surface of the triangular prism portion of the positioning cam to position an initial position, and a rotation to the initial position stopper block. Moveable A stopper arm having a substantially T-shape attached thereto, the stopper arm having a lower end rotatably mounted on a stopper block and a diagonally projecting obliquely projecting from a side of the linear arm. An arm portion, and a mechanism for positioning the triangular prism portion so as to be sandwiched between the triangular prism portion and the initial position stopper block by contacting the oblique arm portion with the other surface of the triangular prism portion of the positioning cam. The inversion position locking means includes an inversion position stopper block for abutting the other surface of the triangular prism portion of the positioning cam to stop rotation in the inversion direction to perform positioning, and for performing positioning when the positioning cam is in the inversion position. A stopper plate which abuts against the flat portion of the semi-cylindrical portion of the cam to stop the positioning cam from rotating in the direction opposite to the reversing direction; And a mechanism for positioning the triangular prism portion so as to sandwich the triangular prism portion between the stopper arm and the position stopper block. The locking release means applies a force in a direction opposite to the turning direction to an upper portion of the linear arm portion of the stopper arm. A lens vapor deposition device having a mechanism for releasing the contact of the oblique arm portion with the triangular prism by rotating the stopper arm.
着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に適した方向に
向いている面を除く面を覆うカバーを有することを特徴
とする請求項１記載のレンズの蒸着装置。2. The apparatus according to claim 1, wherein the lens holder unit has a cover for covering a surface of the plurality of deposition surfaces of the deposition lens except a surface facing a direction suitable for vapor deposition. An apparatus for vapor deposition of the lens according to the above.
ルダユニットがそれぞれ着脱自在に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１及び２記載のレンズの蒸着装
置。3. The lens vapor deposition apparatus according to claim 1, wherein said lens holder unit is detachably attached to said horizontal revolving frame.
を１組として装着し得る２つの開口部を備えていること
を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレンズの
蒸着装置。4. The lens vapor deposition apparatus according to claim 1, wherein the lens holder has two openings for mounting two spectacle lenses as one set. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11111132A JP3084020B1 (en) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | Lens evaporation equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11111132A JP3084020B1 (en) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | Lens evaporation equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3084020B1 true JP3084020B1 (en) | 2000-09-04 |
| JP2000303167A JP2000303167A (en) | 2000-10-31 |
Family
ID=14553270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11111132A Expired - Fee Related JP3084020B1 (en) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | Lens evaporation equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084020B1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4030213A1 (en) | 2021-01-18 | 2022-07-20 | Hoya Lens Thailand Ltd. | Optical element holder, optical element holding device, and vapor deposition apparatus |
| CN115216738A (en) * | 2022-07-20 | 2022-10-21 | 聚灿光电科技（宿迁）有限公司 | Rotatable plating ring plate pot mechanism and evaporator |
| CN115386841A (en) * | 2022-09-19 | 2022-11-25 | 上饶市豪杰光学有限公司 | Device for coating optical lens |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4373246B2 (en) * | 2004-03-04 | 2009-11-25 | Ｈｏｙａ株式会社 | Optical lens coating equipment |
| JP4743835B2 (en) * | 2004-12-27 | 2011-08-10 | Ｈｏｙａ株式会社 | Optical lens coating equipment |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58128724A (en) * | 1982-01-27 | 1983-08-01 | Hitachi Ltd | Wafer inverting apparatus |
| JPS616273A (en) * | 1984-06-21 | 1986-01-11 | Ulvac Corp | Upsetting device for work |
| JPH0286125A (en) * | 1988-09-21 | 1990-03-27 | Sharp Corp | Vapor deposition apparatus |
| JPH03120556U (en) * | 1990-03-15 | 1991-12-11 | ||
| JPH0437258U (en) * | 1990-07-26 | 1992-03-30 | ||
| JPH05271935A (en) * | 1992-03-26 | 1993-10-19 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Vacuum deposition device for continuous film formation |
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1999
- 1999-04-19 JP JP11111132A patent/JP3084020B1/en not_active Expired - Fee Related
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| CN115386841A (en) * | 2022-09-19 | 2022-11-25 | 上饶市豪杰光学有限公司 | Device for coating optical lens |
| CN115386841B (en) * | 2022-09-19 | 2023-10-03 | 上饶市豪杰光学有限公司 | Device for coating film on optical lens |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000303167A (en) | 2000-10-31 |
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