JP3083675B2 - Manufacturing method of magnetic head - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気テープにデータを
書き込み、または書き込まれたデータを読み込む記録・
再生用の磁気ヘッド、とくに磁気ギャップ内に高飽和磁
束密度の磁性体膜を設けたＭＩＧ（Ｍetal Ｉn Ｇap）
型の磁気ヘッドの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording and reading apparatus for writing data on a magnetic tape or reading the written data.
Magnetic head for reproduction, especially MIG (Metal In Gap) provided with a magnetic film of high saturation magnetic flux density in the magnetic gap
The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head of a die type.
【０００２】[0002]
【従来の技術】データを高密度で磁気的に記録し、また
は再生するためには、記録媒体は大きい保磁力を有し、
磁気ヘッドは高い飽和磁束密度（以下Ｂｓという）を有
していることが重要である。従来の磁気ヘッドは主とし
てフェライトからなる磁性体コアを備え、そのＢｓは
０．５Ｔ程度である。このため、８０ｋＡ／ｍ以上の高
保磁力を示すメタルテ−プを使用すると磁気飽和が起こ
り、満足すべき記録処理ができない。そこで、Ｂｓがフ
ェライト材よりも大きいセンダスト合金膜（Ｂｓは約
１．０Ｔ）、Ｃｏ系アモルファス膜（Ｂｓは約０．８〜
１．１Ｔ）、さらにはＢｓが１．３Ｔ以上のＣｏ系超構
造窒化合金膜、Ｆｅ系超構造窒化膜、Ｆｅ系窒化膜等の
新材料をコアに用いた磁気ヘッド、とくにＭＩＧ型磁気
ヘッドの研究・開発がすすめられている。2. Description of the Related Art In order to magnetically record or reproduce data at high density, a recording medium has a large coercive force,
It is important that the magnetic head has a high saturation magnetic flux density (hereinafter referred to as Bs). A conventional magnetic head has a magnetic core mainly made of ferrite, and its Bs is about 0.5T. Therefore, when a metal tape having a high coercive force of 80 kA / m or more is used, magnetic saturation occurs, and satisfactory recording processing cannot be performed. Therefore, a Sendust alloy film (Bs is about 1.0T) in which Bs is larger than a ferrite material, and a Co-based amorphous film (Bs is about 0.8 to
1.1T) Further, a magnetic head using a core of a new material such as a Co-based superstructure nitride film, Fe-based superstructure nitride film, or Fe-based nitride film having a Bs of 1.3T or more, particularly a MIG type magnetic head Research and development are being promoted.
【０００３】図１４にＭＩＧ型磁気ヘッドの構成例を示
す。磁気ギャップ１を介して対向配置された１対の凸状
磁性体コア２、３はそれぞれ、フェライトからなる凸状
のコア本体４、５と、その突出端面およびこれに続く両
サイド面を覆う高飽和磁束密度の磁性体膜６、７とから
なり、両磁性体コア２、３はその両サイドに設けられた
１対のガラス質ブロック８、９によって相互に結合され
ている。１０はコイル挿通用の窓穴を示す。FIG. 14 shows a configuration example of a MIG type magnetic head. Each of the pair of convex magnetic cores 2 and 3 opposed to each other with the magnetic gap 1 interposed therebetween has a convex core body 4 and 5 made of ferrite and a protruding end surface and a high surface covering both side surfaces subsequent thereto. The magnetic cores 2 and 3 are connected to each other by a pair of vitreous blocks 8 and 9 provided on both sides thereof. Reference numeral 10 denotes a window for coil insertion.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の磁
気ヘッドにおいては図１５に示すように、１対のコア本
体４、５のトラック溝４ａ、５ａの加工精度や、組み立
て精度等の製造上誤差により、トラックずれｄ１、ｄ２
を生じやすい。そのうえ、両磁性体コア２、３の突出端
面と両サイド面とが交わるエッジ部２ａ、２ｂ、３ａ、
３ｂでの磁性体膜部分に丸みを帯びることから、トラッ
ク幅ＴＷにばらつきを生じやすいという課題があった。In this type of magnetic head, as shown in FIG. 15, the manufacturing accuracy of the track grooves 4a, 5a of the pair of core bodies 4, 5 and the assembling accuracy and the like are reduced. Due to errors, track deviations d1 and d2
Tends to occur. In addition, the edge portions 2a, 2b, 3a where the protruding end surfaces of the magnetic cores 2, 3 intersect with both side surfaces,
Since the magnetic film portion 3b is rounded, there is a problem that the track width TW tends to vary.
【０００５】一方、データ記録の高密度化がすすむのに
伴い、とくにトラック幅とその精度に対する要求がきび
しくなり、トラック幅１０μm 以下、精度±０．３μm
という要求もあって、このような要求に従来技術を踏襲
して応えることは至難となってきた。[0005] On the other hand, as the density of data recording has increased, the requirements for the track width and its accuracy have become particularly severe. The track width is 10 μm or less, and the accuracy is ± 0.3 μm.
Therefore, it has been extremely difficult to respond to such a request by following the conventional technology.
【０００６】したがって本発明は、データの高密度化、
磁気ヘッドの狭トラック幅化に対応できるＭＩＧ型磁気
ヘッドおよびその製造方法の提供を目的とする。Accordingly, the present invention provides a method for increasing the density of data,
It is an object of the present invention to provide a MIG type magnetic head which can cope with a narrow track width of a magnetic head and a method of manufacturing the same.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は上述した目的を
達成するために、フェライトからなる凸状のコア本体の
少なくとも突出端面を高飽和磁束密度の磁性体膜で覆
い、凸状の磁性体コアを得る工程と、１対の磁性体コア
の突出端面同士を直接または磁気ギャップを介して突き
合わせ、両磁性体コアの磁性体膜のエッジ部をトラック
幅方向に直交した方向に切り揃える工程と、両磁性体コ
アを、それぞれの突出端面が磁気ギャップを介して向き
合うように対向配置し、両磁性体コアを相互に結合する
ための１対のガラス質ブロックを両磁性体コアの両サイ
ドに設ける工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッド
の製造方法を提供するものである。According to the present invention, in order to achieve the above object, at least a protruding end surface of a convex core body made of ferrite is covered with a magnetic film having a high saturation magnetic flux density, and a convex magnetic material is provided. A step of obtaining a core, and a step of abutting the protruding end faces of the pair of magnetic cores directly or via a magnetic gap, and trimming the edge portions of the magnetic films of both magnetic cores in a direction orthogonal to the track width direction. A pair of vitreous blocks for connecting the two magnetic cores to each other so that the projecting end faces face each other via a magnetic gap, and a pair of vitreous blocks for coupling the two magnetic cores to each other; And providing a method for manufacturing a magnetic head.
【０００８】[0008]
【作用】本発明によると、１対の凸状磁性体コアの突出
端面における磁性体膜が、磁気ギャップの長手方向両端
部に対応したエッジ部で、所定の食い込み量を有する切
欠部によってトラック幅方向に直交した方向に切り揃え
られるので、両磁性体コアの突き合わせ時に生じたトラ
ック幅方向の位置ずれによるトラック幅のばらつきをな
くすことができ、常に所定のトラック幅を有する磁気ヘ
ッドを精度よく得ることができる。According to the present invention, the magnetic film on the protruding end surfaces of the pair of convex magnetic cores has a track width formed by notches having a predetermined bite amount at edges corresponding to both ends in the longitudinal direction of the magnetic gap. Since the trimming is performed in the direction perpendicular to the direction, it is possible to eliminate variations in track width due to misalignment in the track width direction caused when the two magnetic cores are butted, and to obtain a magnetic head having a predetermined track width with high accuracy. be able to.
【０００９】とくに、ＭＩＧ型磁気ヘッドの磁気特性は
高飽和磁束密度の磁性体膜に依存するところ大であり、
そのエッジ部での不規則的なはみ出しが切り揃えられる
ので、切り落とし量がたとえ微少であってもトラック幅
の規制に大きく役立ち、ＭＩＧ型磁気ヘッド本来の長所
を生かしつつトラック幅の狭小化に対応できる磁気ヘッ
ドを得ることができる。In particular, the magnetic characteristics of a MIG type magnetic head largely depend on a magnetic film having a high saturation magnetic flux density.
Irregular protrusions at the edges are trimmed, which is very useful for regulating the track width even if the trimming amount is very small, and responds to the narrowing of the track width while taking advantage of the original advantages of the MIG magnetic head. A magnetic head that can be obtained can be obtained.
【００１０】[0010]
【実施例】つぎに、本発明の実施例を図面を参照して説
明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１１】図１および図２に示す磁気ヘッドが、図１
４および図１５に示した従来の磁気ヘッドと基本的に異
なるところは、１対の凸状磁性体コア１１、１２が、そ
の磁気テープスライド面に２個の穴１３、１４を有して
いる点と、この穴１３、１４によってトラック幅ＴＷが
規制されている点とである。The magnetic head shown in FIG. 1 and FIG.
4 and the conventional magnetic head shown in FIG. 15 is that a pair of convex magnetic cores 11 and 12 have two holes 13 and 14 on the magnetic tape slide surface. And the point that the track width TW is regulated by the holes 13 and 14.
【００１２】磁気ギャップ１を介して対向配置された１
対の凸状磁性体コア１１、１２は、その両サイドに設け
られた１対のガラス質ブロック１５、１６によって相互
に結合されており、両磁性体コア１１、１２の磁気テー
プスライド面には２個の穴１３、１４が設けられてい
る。この穴１３、１４は後述するようにトラック幅を規
制する。なお、両磁性体コア１１、１２は、フェライト
からなる凸状のコア本体１７、１８と、その突出端面お
よびこれに続く両サイド面を覆う高飽和磁束密度の磁性
体膜１９、２０とからなる。１７ａ、１８ａはトラック
溝を示す。[0012] The 1 arranged oppositely via a magnetic gap 1
The pair of convex magnetic cores 11 and 12 are connected to each other by a pair of vitreous blocks 15 and 16 provided on both sides of the magnetic cores 11 and 12. Two holes 13, 14 are provided. The holes 13 and 14 regulate the track width as described later. The two magnetic cores 11 and 12 are composed of convex core bodies 17 and 18 made of ferrite, and magnetic films 19 and 20 of high saturation magnetic flux density covering the protruding end surfaces and the following two side surfaces. . Reference numerals 17a and 18a denote track grooves.
【００１３】２個の穴１３、１４の各内側部分は、磁気
テープスライド面からみた磁気ギャップ１の長手方向両
端部に位置し、両磁性体コア１１、１２の磁性体膜１
９、２０のエッジ部に側面から食い込んで該部をトラッ
ク幅方向に直交した方向に切り揃える湾入した切欠部１
３ａ、１４ａを形成している。このため、両磁性体膜１
９、２０のうち、少なくとも磁気テープスライド面近傍
のエッジ部の位置ずれや丸みによるトラック幅への影響
がなくなる。そして、２個の穴１３、１４の相互間距離
によってトラック幅ＴＷが決まり、穴１３、１４は高い
精度で形成できるので、トラック幅を高い精度で規制す
ることが可能となる。The inner portions of the two holes 13 and 14 are located at both ends in the longitudinal direction of the magnetic gap 1 as viewed from the magnetic tape slide surface.
Indented notch 1 that cuts into the edges of 9 and 20 from the side and trims them in the direction perpendicular to the track width direction
3a and 14a are formed. Therefore, the two magnetic films 1
The influence on the track width due to the displacement or roundness of at least the edge portion near the magnetic tape slide surface is eliminated among 9, 20. The track width TW is determined by the distance between the two holes 13 and 14, and the holes 13 and 14 can be formed with high precision, so that the track width can be regulated with high precision.
【００１４】２個の穴１３、１４は、コイル挿通用の窓
穴２１に達している必要はなく、磁気テープのスライド
による磨耗で消失しない程度の深さ、つまり、１５μｍ
の深さがあれば十分である。また、穴１３、１４内にガ
ラス材を充填しておくと、耐磨耗性を向上させることが
できる。The two holes 13 and 14 do not need to reach the window 21 for inserting the coil, and have a depth such that they do not disappear due to abrasion caused by sliding of the magnetic tape, that is, 15 μm.
It is enough if the depth is sufficient. In addition, when the holes 13 and 14 are filled with a glass material, the abrasion resistance can be improved.
【００１５】両磁性体膜１９、２０の素材としては、セ
ンダスト合金膜、Ｃｏ系アモルファス膜、Ｃｏ系超構造
窒化膜、Ｆｅ系超構造窒化膜またはＦｅ系窒化膜等を使
用することができる。これらは蒸着、イオンプレーティ
ング、スパッタリング等の方法によってコア本体１７、
１８に付設される。As a material of the magnetic films 19 and 20, a sendust alloy film, a Co-based amorphous film, a Co-based superstructure nitride film, an Fe-based superstructure nitride film, an Fe-based nitride film, or the like can be used. These are formed by a method such as evaporation, ion plating, or sputtering.
18 attached.
【００１６】両磁性体コア１１、１２は、少なくともそ
の一方の突出端面に付設された膜状のギャップスペーサ
（図示せず）を介して相互に突き合わされている。この
ギャップスペーサの素材としては、ＳｉＯ2 、Ｚｒ
Ｏ2 、Ｔａ2 ０5 およびガラスから選ばれた少なくとも
一つを用いることができ、Ｃｒ等が複合されていてもよ
い。The two magnetic cores 11 and 12 abut each other via a film-like gap spacer (not shown) attached to at least one protruding end face. The material of the gap spacer is SiO 2 , Zr
O 2, Ta 2 0 5 and may be at least one selected from glass, Cr or the like may be combined.
【００１７】図３に示す実施例のものでは、１対のガラ
ス質ブロック１５、１６のモールド成形時に、これと同
一のガラス質材で２個の穴１３、１４を埋める構成をと
っている。また、図４に示す実施例のものでは、１対の
凸状コア本体１７、１８の各突出端面にのみ磁性体膜１
９、２０を設ける構成をとっている。In the embodiment shown in FIG. 3, when the pair of vitreous blocks 15 and 16 are molded, two holes 13 and 14 are filled with the same vitreous material. In the embodiment shown in FIG. 4, the magnetic film 1 is formed only on each protruding end face of the pair of convex core bodies 17 and 18.
The configuration in which 9, 20 are provided is adopted.
【００１８】上述した磁気ヘッドの製造方法を図５ない
し図８を参照して説明すると以下のとおりである。The method of manufacturing the above-described magnetic head will be described below with reference to FIGS.
【００１９】まず、表面をラップ処理等によって平行度
よく、かつ平滑に加工処理された例えばＭｎ−Ｚｎフェ
ライトからなる１対の基板を用意する。それぞれには図
５に示すように、互いに並行な複数条のトラック溝１７
ａ、１８ａが、回転砥石等によって形成され、これによ
って１対の凸状コア本体１７、１８ができあがる。な
お、両コア本体１７、１８の少なくとも一方には、コイ
ル挿通用の窓穴２１が設けられる。First, a pair of substrates made of, for example, Mn-Zn ferrite, whose surfaces are processed with good parallelism and smoothness by lapping or the like, are prepared. As shown in FIG. 5, a plurality of track grooves 17 parallel to each other are provided.
a, 18a are formed by a rotary grindstone or the like, whereby a pair of convex core bodies 17, 18 are completed. In addition, at least one of the core bodies 17 and 18 is provided with a window hole 21 for coil insertion.
【００２０】つぎに図６に示すように、両コア本体１
７、１８の一側面に高飽和磁束密度の磁性体膜１９、２
０が、真空薄膜形成技術によってそれぞれに被着形成さ
れ、これによって１対の磁性体コア１１、１２が完成す
る。Next, as shown in FIG.
Magnetic films 19, 2 having a high saturation magnetic flux density
Nos. 0 are respectively formed by the vacuum thin film forming technique, whereby a pair of magnetic cores 11 and 12 are completed.
【００２１】つぎに、１対の磁性体コア１１、１２の少
なくとも一方に、磁気ギャップを形成するための膜状の
ギャップスペーサ（図示せず）が付設される。そして、
このギャップスペーサを介して両磁性体コア１１、１２
が図７に示すように対向配置される。ギャップスペーサ
の素材としては、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ｔａ2 ０5 およ
びガラスから選ばれた少なくとも一つを用いることがで
きる。複合物としてＣｒ等が混入していてもよい。Next, at least one of the pair of magnetic cores 11 and 12 is provided with a film-like gap spacer (not shown) for forming a magnetic gap. And
The two magnetic cores 11 and 12 are interposed via the gap spacer.
Are arranged facing each other as shown in FIG. As a material for the gap spacer, it may be at least one selected from SiO 2, ZrO 2, Ta 2 0 5 and glass. Cr or the like may be mixed as a composite.
【００２２】つぎに図８に示すように、１対の磁性体コ
ア１１、１２が、１対のガラス質ブロック１５、１６に
よって相互に結合される。このガラス質ブロック１５、
１６はモールドガラスとして注入固化され、両磁性体コ
ア１１、１２の両サイドに溶着されるものである。Next, as shown in FIG. 8, a pair of magnetic cores 11 and 12 are connected to each other by a pair of vitreous blocks 15 and 16. This vitreous block 15,
Reference numeral 16 denotes a mold glass which is injected and solidified, and is welded to both sides of the magnetic cores 11 and 12.
【００２３】つぎに、図９に示すようにトラック幅を規
制するための２個の穴１３、１４が形成されたのち、一
点鎖線で示す位置でチップ単位にスライスされる。そし
て、コイル挿通用の窓穴２１にコイルが装着される。な
お、トラック幅規制用の穴１３、１４はレーザー加工、
ドライエッチングまたは放電加工等によって形成され
る。Next, as shown in FIG. 9, after two holes 13 and 14 for regulating the track width are formed, the chip is sliced in units of chips at the position indicated by the dashed line. Then, the coil is mounted in the window hole 21 for coil insertion. The holes 13 and 14 for regulating the track width are formed by laser processing.
It is formed by dry etching or electric discharge machining.
【００２４】トラック幅規制用の穴１３、１４の形成位
置は、図２に示すようにガラス質ブロック１５（または
１６）と磁性体膜１９（または２０）とにまたがる場合
と、さらに中央部寄りに拡大させてコア本体１７、１８
にも若干食い込ませる場合（図１２参照）とがある。前
者では、加工対象物が磁性体膜１９、２０とガラス質ブ
ロック１５、１６との２種となるので、後者に比べて加
工速度および加工面精度の点で有利である。The positions where the holes 13 and 14 for regulating the track width are formed are, as shown in FIG. 2, a case where the holes straddle the vitreous block 15 (or 16) and the magnetic film 19 (or 20). And the core bodies 17 and 18
In some cases (see FIG. 12). In the former case, since there are two types of objects to be processed, the magnetic films 19 and 20 and the vitreous blocks 15 and 16, it is advantageous in terms of processing speed and processing surface accuracy compared to the latter.
【００２５】また、前者では磁性体膜１９、２０が凸状
のコア本体１７、１８の突出端面だけでなく、これに続
く両サイド面にも存在するので、データ記録時における
磁気ギャップ面での磁束密度飽和がほとんどなく、記録
能力に優れるというＭＩＧ型磁気ヘッド本来の特長を十
分に生かすことができる。後者の場合、ガラス質ブロッ
ク１５、１６の溶着時におけるトラック位置ずれが大き
くても、トラック幅規制用の穴１３、１４によって補正
できるので、いずれを選択しても、トラック位置にずれ
のない高精度の磁気ヘッドを得ることができる。In the former, the magnetic films 19 and 20 are present not only on the protruding end surfaces of the convex core bodies 17 and 18 but also on both side surfaces following the protruding end surfaces. It is possible to make full use of the inherent characteristics of the MIG type magnetic head, which has almost no magnetic flux density saturation and excellent recording performance. In the latter case, even if the track position deviation at the time of welding the vitreous blocks 15 and 16 is large, the deviation can be corrected by the track width regulating holes 13 and 14, so that no matter which one is selected, the track position is high without deviation. An accurate magnetic head can be obtained.
【００２６】上述した製造方法では、最終的な形状とし
てトラック幅規制用の穴１３、１４が開いたままにな
る。この穴１３、１４をガラス等で埋めてもよいが、そ
うすると加工工程が増える。In the above-described manufacturing method, the holes 13 and 14 for regulating the track width remain open as the final shape. The holes 13 and 14 may be filled with glass or the like, but doing so increases the number of processing steps.
【００２７】以下に述べる製造方法によると、１回のガ
ラスボンディング加工によって穴が残留しない磁気テー
プスライド面を得ることができる。According to the manufacturing method described below, a magnetic tape slide surface free of holes can be obtained by one glass bonding process.
【００２８】この場合、図５ないし図７を参照して説明
した工程を経て、突き合わされた状態にある１対の磁性
体コアに対し、図１０に示すようにトラック幅規制用の
切欠部２２が形成される。この切欠部２２はレーザー加
工、ドライエッチングまたは放電加工等によって得るこ
とができ、その深さは１５μｍもあれば十分である。In this case, through the steps described with reference to FIGS. 5 to 7, the pair of magnetic cores in the butted state are notched as shown in FIG. Is formed. The notch 22 can be obtained by laser machining, dry etching, electric discharge machining, or the like, and a depth of 15 μm is sufficient.
【００２９】つぎに図１１に示すように、ガラス質ブロ
ック１５、１６を形成するためのモールドガラスが注入
され、その固化後に一点鎖線で示す位置でチップ単位に
スライスされる。そして、コイルが装着される。Next, as shown in FIG. 11, mold glass for forming the vitreous blocks 15 and 16 is injected, and after being solidified, sliced into chips at the position indicated by the dashed line. Then, the coil is mounted.
【００３０】切欠部２２の形成位置としては、図３に示
すように磁性体膜１９、２０にのみ側方から食い込ませ
てトラック幅Ｔｗを規制する場合と、図１３に示すよう
にコア本体１７、１８にも食い込ませる場合との２通り
がある。The notch 22 is formed at a position where the track width Tw is restricted by being cut into only the magnetic films 19 and 20 from the side as shown in FIG. 3, or as shown in FIG. , 18 are also available.
【００３１】前者では、加工対象物が磁性体膜だけとな
るので、加工速度および加工面精度の点で有利である。
また、磁性体膜が凸状コア本体の突出端面のみならずこ
れに続く両サイドにも存在するので、データ記録時の磁
気テープスライド面での磁気飽和をより一層抑制するこ
とができる。In the former, since the object to be processed is only the magnetic film, it is advantageous in terms of processing speed and processing surface accuracy.
Further, since the magnetic film exists not only on the protruding end face of the convex core body but also on both sides following the protruding core body, it is possible to further suppress magnetic saturation on the magnetic tape slide surface during data recording.
【００３２】本発明は上述した実施例に限定されるもの
でなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を
加え得るのはいうまでもない。The present invention is not limited to the embodiments described above, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
【００３３】[0033]
【発明の効果】上述のように本発明によると、データ記
録の高密度化に伴う狭トラック幅化に対応できるトラッ
クずれのない磁気ヘッド、特にＭＩＧ型磁気ヘッドを、
歩留まりよく低コストで提供することができる。As described above, according to the present invention, there is provided a magnetic head having no track shift, particularly a MIG type magnetic head, capable of coping with a narrower track width accompanying a higher density of data recording.
It can be provided with good yield at low cost.
【図１】本発明の一実施例における磁気ヘッド用チップ
の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head chip according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例における磁気ヘッド用チップ
の一部分の平面図。FIG. 2 is a plan view of a part of a magnetic head chip according to an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チッ
プの一部分の平面図。FIG. 3 is a plan view of a part of a magnetic head chip according to another embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チッ
プの一部分の平面図。FIG. 4 is a plan view of a part of a magnetic head chip according to another embodiment of the present invention.
【図５】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。FIG. 5 is a perspective view for explaining a manufacturing process in one embodiment of the present invention.
【図６】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。FIG. 6 is a perspective view for explaining a manufacturing process in one embodiment of the present invention.
【図７】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。FIG. 7 is a perspective view for explaining a manufacturing process in one embodiment of the present invention.
【図８】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。FIG. 8 is a perspective view for explaining a manufacturing process in one embodiment of the present invention.
【図９】本発明の一実施例における製造工程を説明する
ための斜視図。FIG. 9 is a perspective view for explaining a manufacturing process in one embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の他の実施例における製造工程を説明
するための斜視図。FIG. 10 is a perspective view for explaining a manufacturing process in another embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の他の実施例における製造工程を説明
するための斜視図。FIG. 11 is a perspective view for explaining a manufacturing process in another embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チ
ップの一部分の平面図。FIG. 12 is a plan view of a part of a magnetic head chip according to another embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の他の実施例における磁気ヘッド用チ
ップの一部分の平面図。FIG. 13 is a plan view of a part of a magnetic head chip according to another embodiment of the present invention.
【図１４】従来の磁気ヘッド用チップの斜視図。FIG. 14 is a perspective view of a conventional magnetic head chip.
【図１５】従来の磁気ヘッド用チップの一部分の平面
図。FIG. 15 is a plan view of a part of a conventional magnetic head chip.
１ 磁気ギャップ １１、１２ 磁性体コア １３、１４ 穴 １３ａ、１４ａ 切欠部 １５、１６ ガラス質ブロック １７、１８ コア本体 １９、２０ 磁性体膜 ２２ 切欠部 Reference Signs List 1 magnetic gap 11, 12 magnetic core 13, 14 hole 13a, 14a cutout 15, 16 vitreous block 17, 18 core body 19, 20 magnetic film 22 cutout
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−145519（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−143919（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−153706（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−235012（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−272005（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−101319（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−215310（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−295412（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-56-145519 (JP, A) JP-A-5-143919 (JP, A) JP-A-63-153706 (JP, A) JP-A-1- 235012 (JP, A) JP-A-3-272005 (JP, A) JP-A-5-101319 (JP, A) JP-A-6-215310 (JP, A) JP-A-6-295412 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 5/127-5/255
Claims (2)
なくとも突出端面を高飽和磁束密度の磁性体膜で覆い、
凸状の磁性体コアを得る工程と、 １対の磁性体コアの突出端面同士を直接または磁気ギャ
ップを介して突き合わせ、両磁性体コアの磁性体膜のエ
ッジ部をトラック幅方向に直交した方向に切り揃える工
程と、 両磁性体コアを、それぞれの突出端面が磁気ギャップを
介して向き合うように対向配置し、両磁性体コアを相互
に結合するための１対のガラス質ブロックを両磁性体コ
アの両サイドに設ける工程とを備えたことを特徴とする
磁気ヘッドの製造方法。 At least a protruding end surface of a convex core body made of ferrite is covered with a magnetic film having a high saturation magnetic flux density,
A step of obtaining a convex magnetic core, and abutting the protruding end faces of the pair of magnetic cores directly or via a magnetic gap, and making the edges of the magnetic films of both magnetic cores perpendicular to the track width direction. And disposing the two magnetic cores opposite each other such that their protruding end faces face each other via a magnetic gap, and forming a pair of vitreous blocks for coupling the two magnetic cores to each other. Providing a process on both sides of the core.
て切り揃えることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘ
ッドの製造方法。 2. A method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, the edge portion of the magnetic film, characterized in that trimmed by laser processing.
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