JP3079953B2 - Method and apparatus for monitoring operation of filter fan unit for clean room - Google Patents
Method and apparatus for monitoring operation of filter fan unit for clean roomInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム用フィル
タファンユニットの運転監視方法及び装置に係り、特に
クリーンルームに面状に行列配置された複数のフィルタ
ファンユニットの運転状況を監視するクリーンルーム用
フィルタファンユニットの運転監視方法及び装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for monitoring the operation of a filter fan unit for a clean room, and more particularly to a filter fan unit for a clean room for monitoring the operation status of a plurality of filter fan units arranged in a matrix in a clean room. Operation monitoring method and apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図９に示すように、半導体製造や食品包
装用のクリーンルーム１０の天井には、多数のフィルタ
ファンユニットＦＦＵ11〜ＦＦＵMNが面状に行列配置さ
れており、これらのフィルタファンユニットＦＦＵ11〜
ＦＦＵMNの運転状況は監視装置によって監視できるよう
になっている。As shown in Prior Art FIG. 9, the ceiling of the clean room 10 for semiconductor manufacturing and food packaging, multiple filters fan unit FFU 11 ~FFU MN are matrix arranged in a planar form, these filters Fans Unit FFU 11 ~
The operation status of the FFU MN can be monitored by a monitoring device.
【０００３】従来、この種のフィルタファンユニットの
運転監視装置は、図９に示すように各フィルタファンユ
ニットＦＦＵ11〜ＦＦＵMNに設けられた検出接点（フィ
ルタファンユニットが稼動しているか否かによって接点
が開閉する運転検出接点Sa11〜SaMN，フィルタファンユ
ニットが故障しているか否かによって接点が開閉する故
障検出接点Sb11〜SbMN）に対して個別に入出力線La11〜
LaMN, Lb11〜LbMNを配線し、これらの入出力線La11〜La
MN, Lb11〜LbMNを介して運転検出接点Sa11〜Sa MN, 故障
検出接点Sb11〜SbMNの接点信号を取り込み、フィルタフ
ァンユニットＦＦＵ11〜ＦＦＵMNの稼動状態、故障の有
無等を監視パネルに表示している。Conventionally, this type of filter fan unit has
As shown in FIG. 9, the operation monitoring device
Knit FFU11~ FFUMNThe detection contact (
Contact depending on whether the Lutafan unit is operating
Open / close operation detection contact Sa11~ SaMN, Filter funyu
The contacts open and close depending on whether the knit is faulty.
Fault detection contact Sb11~ SbMN) Individually for input / output lines La11~
LaMN, Lb11~ LbMNAnd these input / output lines La11~ La
MN, Lb11~ LbMNVia the operation detection contact Sa11~ Sa MN, Malfunction
Detection contact Sb11~ SbMNSignal from the filter
Fan unit FFU11~ FFUMNOperating status, failure
Nothing is displayed on the monitoring panel.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のフィルタファンユニットの運転監視装置によると、
フィルタファンユニット（検出接点）の数に比例して、
運転監視部と各検出接点とを接続する入出力線が増加
し、入出力線の全長が非常に長くなり、クリーンルーム
での入出力線の敷設に多大な作業及び投資が必要になる
という問題があった。また、検出接点の数に比例して運
転監視部における入出力点数も増加していた。However, according to the operation monitoring apparatus for a filter fan unit having the above structure,
In proportion to the number of filter fan units (detection contacts),
The number of input / output lines that connect the operation monitoring unit and each detection contact increases, and the total length of the input / output lines becomes very long. This requires a lot of work and investment in laying the input / output lines in a clean room. there were. In addition, the number of input / output points in the operation monitoring unit also increased in proportion to the number of detection contacts.
【０００５】例えば、１５００ｍ2 程度のクリーンルー
ムにおいては、フィルタファンユニットは２０００台
（２５行８０列）程度となり、運転及び故障検出接点の
点数は４０００点にもなり、また配線ケーブルの全長は
２００ｋｍを越える膨大な監視システムとなる。本発明
はこのような事情に鑑みてなされたもので、フィルタフ
ァンユニットの数が増加しても入出力線の敷設量の増加
を大幅に抑制することができるとともに、運転監視部に
おける入出力点数も減少させることができるクリーンル
ーム用フィルタファンユニットの運転監視方法及び装置
を提供することを目的とする。[0005] For example, in a clean room of about 1500 m 2 , the number of filter fan units is about 2000 (25 rows and 80 columns), the number of operation and failure detection contacts is 4000 points, and the total length of the wiring cable is 200 km. It will be a huge surveillance system. The present invention has been made in view of such circumstances, and even if the number of filter fan units is increased, it is possible to significantly suppress the increase in the amount of laid input / output lines, and to reduce the number of input / output points in the operation monitoring unit. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for monitoring the operation of a filter fan unit for a clean room, which can also reduce the amount of noise.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、クリーンルームに面状に行列配置された複
数のフィルタファンユニットの運転状況を監視するクリ
ーンルーム用フィルタファンユニットの運転監視方法に
おいて、各フィルタファンユニットに設けられた運転監
視用の検出接点に対して、各行又は各列のフィルタファ
ンユニットに設けられた検出接点に沿う入力線と、各列
又は各行のフィルタファンユニットに設けられた検出接
点に沿う出力線とを格子状に配線し、複数の検出接点の
各検出接点に対応する入力線と出力線との間を電気信号
逆流防止器及び検出接点を介して電気的に接続し、各入
力線に接点検出用の接点信号を順次出力し、各出力線か
ら前記接点信号を検出することにより各フィルタファン
ユニットに設けられた検出接点の開閉状態を検出し、前
記検出された各検出接点の開閉状態から各フィルタファ
ンユニットの運転状況を表示することを特徴としてい
る。To achieve the above object, the present invention provides a method for monitoring the operation of a plurality of filter fan units arranged in a matrix in a clean room. With respect to the detection contact for operation monitoring provided in each filter fan unit, an input line along the detection contact provided in the filter fan unit in each row or each column, and an input line provided in the filter fan unit in each column or each row. The output lines along the detection contacts are wired in a grid pattern, and the input and output lines corresponding to each detection contact of the plurality of detection contacts are electrically connected via the electric signal backflow prevention device and the detection contacts. Then, a contact signal for contact detection is sequentially output to each input line, and the contact signal is detected from each output line to be provided in each filter fan unit. Close state of the detection contact is detected with, and characterized by displaying the operation status of each filter fan unit from the switching state of each detection contact which is the detection.
【０００７】また、本発明は、クリーンルームに面状に
行列配置された複数のフィルタファンユニットの運転状
況を監視するクリーンルーム用フィルタファンユニット
の運転監視装置において、各フィルタファンユニットに
設けられた運転監視用の検出接点に対して各行又は各列
のフィルタファンユニットに設けられた検出接点に沿っ
て配線された入力線と、前記検出接点に対して各列又は
各行のフィルタファンユニットに設けられた検出接点に
沿って配線された出力線と、複数の検出接点の各検出接
点にそれぞれ対応する入力線と出力線との間を検出接点
を介して電気的に接続する接続回路と、前記接続回路中
に検出接点と直列接続された電気信号逆流防止器と、各
入力線に接点検出用の接点信号を順次出力する出力手段
と、各出力線から入力する前記接点信号と該接点信号の
出力タイミングとによって各検出接点の開閉状態を検出
する検出手段と、前記検出手段によって検出された各検
出接点の開閉状態に基づいて各フィルタファンユニット
の運転状況を表示する表示手段と、を備えたことを特徴
としている。Further, the present invention relates to an operation monitoring device for a filter fan unit for a clean room, which monitors the operation status of a plurality of filter fan units arranged in a matrix in a clean room. The input line wired along the detection contact provided in the filter fan unit of each row or each column with respect to the detection contact for detection, and the detection line provided in the filter fan unit of each column or each row with respect to the detection contact An output line wired along the contact, a connection circuit for electrically connecting, via the detection contact, an input line and an output line corresponding to each detection contact of the plurality of detection contacts, and An electrical signal backflow prevention device connected in series with a detection contact, output means for sequentially outputting a contact signal for contact detection to each input line, and Detecting means for detecting the open / close state of each detecting contact based on the contact signal to be applied and the output timing of the contact signal; and operating conditions of each filter fan unit based on the open / close state of each detecting contact detected by the detecting means. And a display means for displaying
【０００８】[0008]
【作用】本発明によれば、行列配置された各フィルタフ
ァンユニットに設けられた運転監視用の検出接点に対し
て、各行又は各列のフィルタファンユニットに設けられ
た検出接点に沿う入力線と、各列又は各行のフィルタフ
ァンユニットに設けられた検出接点に沿う出力線とを格
子状に配線する。そして、複数の検出接点の各検出接点
に対応する入力線と出力線との間を電気信号逆流防止器
及び検出接点を介して電気的に接続する。例えば、ｍ行
ｎ列の位置にある検出接点に対しては、第ｍ行目の入力
線又は出力線と、第ｎ列目の出力線又は入力線との間を
電気信号逆流防止器及びｍ行ｎ列の検出接点を介して電
気的に接続する。According to the present invention, an operation monitoring detection contact provided in each filter fan unit arranged in a matrix is connected to an input line along the detection contact provided in each row or column of filter fan units. And output lines along the detection contacts provided in the filter fan units in each column or each row are arranged in a grid. Then, the input line and the output line corresponding to each detection contact of the plurality of detection contacts are electrically connected via the electric signal backflow prevention device and the detection contact. For example, for the detection contact at the position of m row and n column, an electric signal backflow preventer and m between the input line or output line of the m th row and the output line or input line of the n th column are provided. They are electrically connected via the detection contacts in the row n column.
【０００９】このようにして配線された各入力線に接点
検出用の接点信号を順次出力し、各出力線から前記接点
信号を検出することにより各検出接点の開閉状態を検出
する。例えば、第ｍ行目又は第ｎ列目の入力線に接点信
号を出力している期間中に、第ｎ列目又は第ｍ行目の出
力線から検出信号が検出されると、ｍ行ｎ列の位置にあ
る検出接点が閉じていることが検出される。そして、そ
の各検出接点の開閉状態の検出結果により、各フィルタ
ファンユニットの運転状況を表示するようにしている。A contact signal for contact detection is sequentially output to each input line wired in this manner, and the open / close state of each detection contact is detected by detecting the contact signal from each output line. For example, if a detection signal is detected from the output line of the n-th column or the m-th row while the contact signal is being output to the input line of the m-th row or the n-th column, It is detected that the detection contact at the row position is closed. The operation status of each filter fan unit is displayed based on the detection result of the open / close state of each detection contact.
【００１０】[0010]
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルーム用フィルタファンユニットの運転監視方法及び装
置の好ましい実施例を詳述する。図１は本発明に係るク
リーンルーム用フィルタファンユニットの運転監視装置
の要部配線図であり、図２はその運転監視部を示すブロ
ック図である。尚、図１において、図９と共通する部分
には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a method and apparatus for monitoring operation of a filter fan unit for a clean room according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a main part wiring diagram of an operation monitoring device for a filter fan unit for a clean room according to the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing the operation monitoring unit. Note that, in FIG. 1, the same reference numerals are given to portions common to FIG. 9, and detailed description thereof will be omitted.
【００１１】図１に示すようにクリーンルーム１０の天
井には、フィルタファンユニットＦＦＵ11〜ＦＦＵMNが
面状に行列配置され、各フィルタファンユニットＦＦＵ
11〜ＦＦＵMNには、それぞれ運転検出接点Sa11〜SaMN及
び故障検出接点Sb11〜SbMNが設けられている。尚、運転
検出接点Sa11〜SaMNは、例えばフィルタファンユニット
のファンモータに流れる電流の有無によって開閉する接
点であり、故障検出接点Sb11〜SbMNは、例えばフィルタ
ファンユニットのファンモータの過負荷、温度上昇、漏
電等によって開閉する接点である。As shown in FIG. 1, on the ceiling of the clean room 10, filter fan units FFU 11 to FFU MN are arranged in a matrix in a plane, and each filter fan unit FFU
11 The ~FFU MN, respectively operation detecting contacts Sa 11 -SA MN and fault detection contact Sb 11 to SB MN is provided. Incidentally, operation detecting contacts Sa 11 -SA MN is, for example, a contact point for opening and closing by the presence or absence of current flowing in the fan motor of the filter fan unit, fault detection contact Sb 11 to SB MN, for example over the fan motor of the filter fan unit A contact that opens and closes due to load, temperature rise, leakage, etc.
【００１２】これらの運転検出接点Sa11〜SaMNの各行に
沿って入力線LIa1〜 LIaM 配線され、運転検出接点Sa11
〜SaMNの各列に沿って出力線LOa1〜 LOaN が配線され、
同様に故障検出接点Sb11〜SbMNの各行に沿って入力線LI
b1〜 LIbM が配線され、故障検出接点Sb11〜SbMNの各列
に沿って出力線LOb1〜 LObN が配線され、これにより入
力線LIa1〜 LIaM と出力線LOa1〜 LOaN 、及び入力線LI
b1〜 LIbM と出力線LOb1〜 LObN とは格子状となってい
る。[0012] is input lines LIa 1 ~ LIa M lines along each row of these operation detecting contacts Sa 11 ~Sa MN, operation detecting contacts Sa 11
Output lines LOa 1 to LOa N are wired along each column of ~ Sa MN ,
Similarly fault detection contact Sb 11 to SB input line along each row of the MN LI
b 1 ~ LIb M are wired, fault detection contact Sb 11 output lines along each row of ~Sb MN LO b1 ~ LOb N is the wiring, thereby the input lines LIa 1 ~ LIa M output lines LOa 1 ~ LOa N and input line LI
b 1 to LIb M and the output lines LOb 1 to LOb N are in a lattice shape.
【００１３】また、各行の入力線LIa1〜 LIaM , LIb1〜
LIbM は、電気信号逆流防止器（ダイオード）Da11〜Da
MN , Db11 〜DbMNを介してそれぞれ対応する行の検出接
点の一端と電気的に接続され、各列の出力線LOa1〜 LOa
N , LOb1〜 LObN は、それぞれ対応する列の検出接点の
他端と電気的に接続されている。例えば、第１行目の入
力線LIa1はダイオードDa11〜Da1Nを介してそれぞれ第１
行目の運転検出接点Sa 11〜Sa1Nの一端と電気的に接続さ
れ、第１列目の出力線LOa1は第１列目の運転検出接点Sa
11〜SaM1の他端と電気的に接続されている。これによ
り、ｍ行ｎ列の位置にある運転検出接点Samnの一端は、
ダイオードDamnを介して第ｍ行目の入力線LIam と接続
され、運転検出接点Samnの他端は、第ｎ列目の出力線 L
Oan と接続される。Further, the input lines LIa of each row1~ LIaM,LIb1~
LIbMIs an electric signal backflow prevention device (diode) Da11~ Da
MN, Db11~ DbMNThe corresponding row detection connection via
The output line LOa of each column is electrically connected to one end of the point.1~ LOa
N, LOb1~ LObNAre the detection contacts of the corresponding row.
It is electrically connected to the other end. For example, the first line
Line of force Lia1Is the diode Da11~ Da1NThrough each first
Operation detection contact Sa of the line 11~ Sa1NElectrically connected to one end of
Output line LOa in the first column1Is the operation detection contact Sa in the first row
11~ SaM1Is electrically connected to the other end. This
The operation detection contact Sa at the position of m rows and n columnsmnOne end of
Diode DamnThrough the input line Lia of the m-th linemConnect with
Operation detection contact SamnIs the output line L of the n-th column.
OanConnected to
【００１４】一方、運転監視部は、図２に示すようにコ
ントローラ１２と、表示パネル１４とから構成されてい
る。このコントローラ１２は、各入力線LIa1〜 LIaM ,
LIb1〜 LIbM に接点検出用の接点信号Ia1 〜IaM , Ib1
〜IbM を順次出力する出力回路と、各出力線LOa1〜 LOa
N , LOb1〜 LObN から接点信号Oa1 〜OaN ,Ob1〜ObNを
入力する入力回路と、これらの入出力回路における接点
信号の入出力状態に基づいて各検出接点Sa11〜SaMN,Sb
11 〜SbMNの開閉状態を検出する検出回路とを有し、検
出回路での検出結果を表示パネル１４に表示させる。On the other hand, the operation monitoring section comprises a controller 12 and a display panel 14, as shown in FIG. The controller 12 includes input lines LIa 1 to LIa M ,
Contact signals Ia 1 to Ia M , Ib 1 for contact detection are applied to LIb 1 to LIb M
To Ib M , and output lines LOa 1 to LOa
N, LOb 1 ~ LOb N from the contact signal Oa 1 ~Oa N, Ob 1 an input circuit for inputting a ~Ob N, each detection contact Sa 11 -SA based on input and output state of the contact signals in these output circuits MN , Sb
11 to a detection circuit for detecting the open / closed state of the Sb MN , and the detection result of the detection circuit is displayed on the display panel 14.
【００１５】即ち、コントローラ１２の出力回路は、運
転検出接点Sa11〜SaMNの開閉状態を検出するために、図
３に示すように時間ｔだけＨレベルとなる周期Ｔの接点
信号Ia1 〜IaM をそれぞれ各入力線LIa1〜 LIaM に繰り
返し出力する。これらの接点信号Ia1 〜IaM は、それぞ
れ時間ｔだけ出力タイミングがずれており、これにより
出力タイミングが重複することなく各入力線LIa1〜 LIa
M に順次繰り返し出力される。尚、コントローラ１２の
出力回路は、故障検出接点Sb11〜SbMNの開閉状態を検出
するために、上記と同様にして接点信号Ib1 〜IbM をそ
れぞれ各入力線LIb1〜 LIbM に繰り返し出力する。[0015] That is, the output circuit of the controller 12, in order to detect the closed state of the operation detecting contacts Sa 11 -SA MN, contact signals Ia 1 ~ period T as the H level only time t as shown in FIG. 3 Ia M is repeatedly output to each of the input lines LIa 1 to LIa M. The output timings of these contact signals Ia 1 to Ia M are shifted by the time t, so that each of the input lines LIa 1 to LIa can be output without overlapping.
It is output to M sequentially and repeatedly. The output circuit of the controller 12, in order to detect the closed state of the fault detection contact Sb 11 to SB MN, the repeatedly in to the contact signal Ib 1 each input line ～Ib M respectively LIb 1 ~ LIb M similar Output.
【００１６】コントローラ１２の検出回路は、入力回路
を介して各出力線LOa1〜 LOaN ,LOb 1 〜 LObN から入力
する接点信号Oa1 〜OaN ,Ob1〜ObN の有無と、前記接点
信号Ia1 〜IaM ,Ib1〜IbM の出力タイミングとから各検
出接点Sa11〜SaMN,Sb11 〜Sb MNの開閉状態を検出するも
ので、例えば、図４に示すようにアンド回路Aa11〜A
a 1N,Aa21 〜Aa2N, …と、ラッチ回路LA1,LA2,…とから
構成されている。The detection circuit of the controller 12 includes an input circuit
Via each output line LOa1~ LOaN, LOb 1 ~ LObNInput from
Contact signal Oa1~ OaN, Ob1~ ObNThe presence and absence of the contact
Signal Ia1~ IaM, Ib1~ IbMOutput timing and
Outgoing contact Sa11~ SaMN, Sb11~ Sb MNTo detect the open / closed state of
Therefore, for example, as shown in FIG.11~ A
a 1N, Aatwenty one~ Aa2N,… And the latch circuit LA1, LATwo, ... and from
It is configured.
【００１７】アンド回路Aa11〜Aa1N,Aa21 〜Aa2N, …の
一方の入力には、接点信号Oa1 〜Oa N が加えられ、他の
入力には接点信号Ia1,Ia2,…が加えられており、アンド
回路Aa11〜Aa1Nは、接点信号Ia1 が加えられると動作可
能となり、他の入力の接点信号Oa1 〜OaN をラッチ回路
LA1 に出力する。同様に、アンド回路Aa21〜Aa2Nは、接
点信号Ia2 が加えられると動作可能となり、他の入力の
接点信号Oa1 〜OaN をラッチ回路LA2 に出力する。AND circuit Aa11~ Aa1N, Aatwenty one~ Aa2N, …of
One input has a contact signal Oa1~ Oa NIs added to the other
Input is a contact signal Ia1, IaTwo,… Is added, and
Circuit Aa11~ Aa1NIs the contact signal Ia1Operable when is added
And the other input contact signal Oa1~ OaNThe latch circuit
LA1Output to Similarly, the AND circuit Aatwenty one~ Aa2NIs the contact
Point signal IaTwoIs enabled and the other input
Contact signal Oa1~ OaNThe latch circuit LATwoOutput to
【００１８】ラッチ回路LA1,LA2,…は、それぞれ接点信
号Ia1,Ia2,…が加えらるタイミングで、アンド回路Aa11
〜Aa1N,Aa21 〜Aa2N, …の出力信号をラッチし、その出
力信号を次の接点信号Ia1,Ia2,…が加えらるまで（即
ち、図３に示した時間Ｔの間）保持する。表示パネル１
４は、行列配列された検出接点Sa11〜SaMN,Sb11 〜SbMN
と同様に発光ダイオードが行列配列されており（図２参
照）、上記ラッチ回路LA1,LA2,…からの出力信号によ
り、例えば検出接点が閉じている場合には、その検出接
点に対応する位置の発光ダイオードを点灯し、検出接点
が開いている場合には、その検出接点に対応する位置の
発光ダイオードを消灯する。従って、表示パネル１４の
発光ダイオードの点灯状態から各検出接点Sa11〜SaMN,S
b11 〜SbMNの開閉状態、即ち、フィルタファンユニット
ＦＦＵ11〜ＦＦＵMNが稼動しているか否か、及びフィル
タファンユニットＦＦＵ11〜ＦＦＵMNのいずれかに故障
が発生しているか否かを監視することができる。The latch circuits LA 1 , LA 2 ,... Are respectively connected to the AND circuits Aa 11 at the timing when the contact signals Ia 1 , Ia 2 ,.
ラ ッ チ Aa 1N , Aa 21 〜Aa 2N ,... Are latched, and the output signals are latched until the next contact signal Ia 1 , Ia 2 ,. )Hold. Display panel 1
4, the matrix array of detection contact Sa 11 ~Sa MN, Sb 11 ~Sb MN
In the same manner as described above, the light emitting diodes are arranged in a matrix (see FIG. 2), and when the detection contacts are closed by the output signals from the latch circuits LA 1 , LA 2 ,. The light emitting diode at the position is turned on, and when the detection contact is open, the light emitting diode at the position corresponding to the detection contact is turned off. Thus, each detection contact Sa 11 from the lighting state of the light-emitting diode display panel 14 -SA MN, S
Monitor the open / close state of b 11 to Sb MN , that is, whether or not the filter fan units FFU 11 to FFU MN are operating and whether or not any of the filter fan units FFU 11 to FFU MN has a failure. can do.
【００１９】上記構成の運転監視装置によれば、例え
ば、１５００ｍ2 程度のクリーンルームにフィルタファ
ンユニットが２０００台（２５行８０列）配列されてい
る場合には、出力線が５０本、入力線が８０本となり、
運転監視部の入出力点数も出力回路が５０点、入力回路
が８０点となる。また、この時の配線ケーブルの全長
は、従来の２０分の１以下の１０ｋｍ程度で済む監視シ
ステムとなる。According to the operation monitoring apparatus having the above configuration, for example, when 2000 filter fan units (25 rows and 80 columns) are arranged in a clean room of about 1500 m 2 , 50 output lines and 50 input lines are provided. 80,
The number of input / output points of the operation monitoring unit is 50 for the output circuit and 80 for the input circuit. In addition, the total length of the wiring cable at this time is a monitoring system that requires only about 10 km, which is less than 1/20 of the conventional one.
【００２０】尚、行列配置されるフィルタファンユニッ
ト（検出接点）は、正確な行列に限らず、例えば、行列
の一部が欠落した歯抜けの行列であってもよい。次に、
各検出接点Sa11〜SaMN , Sb11 〜SbMNと直列接続された
ダイオードDa11〜DaMN,Db11 〜DbMNの作用について、図
５及び図６を参照しながら説明する。図５及び図６はそ
れぞれダイオードを設けない場合とダイオードを設けた
場合を示す配線図である。図５に示すように検出接点Ｓ
ij, Ｓmj, Ｓmnが閉じており、検出接点Ｓinが開いてい
る場合において、入力線LIi に接点信号Ｉi を出力する
と、その接点信号Ｉi は、矢印で示すように検出接点Ｓ
ijを介して出力線LOjから接点信号Ｏj として出力され
るが、その出力線LOj に現れる接点信号Ｏj は、検出接
点Ｓmj, 入力線LIm 及び検出接点Ｓmnを介して出力線LO
n から接点信号Ｏn として出力される。これにより、検
出接点Ｓinが閉じていると誤検出されることになる。The filter fan units (detection contacts) arranged in a matrix are not limited to an accurate matrix, and may be, for example, a missing matrix in which a part of the matrix is missing. next,
Each detection contact Sa 11 ~Sa MN, Sb 11 ~Sb MN series connected diodes Da 11 ~Da MN, the action of Db 11 Db MN, will be described with reference to FIGS. FIGS. 5 and 6 are wiring diagrams respectively showing a case where no diode is provided and a case where a diode is provided. As shown in FIG.
ij, S mj, S mn is closed, when the detection contact S in is open, and outputs a contact signal I i to the input line LI i, the contact signal I i is detected contact as shown by arrows S
Although ij from the output line LO j via the output as a contact signal O j, contact signal O j appearing on the output line LO j, the detection contact S mj, via the input line LI m and detecting contact point S mn Output Line LO
It is output as a contact signal O n from n. As a result, it is erroneously detected that the detection contact Sin is closed.
【００２１】一方、図６に示すように検出接点Ｓij, Ｓ
mj, Ｓmnが閉じており、検出接点Ｓ inが開いている場合
において、入力線LIi に接点信号Ｉi を出力すると、そ
の接点信号Ｉi は、矢印で示すように検出接点Ｓijを介
して出力線LOj から接点信号Ｏj として出力される。こ
の出力線LOj に現れる接点信号Ｏj は、ダイオードＤ mj
によって入力線LIm には流れず、その結果、出力線LOn
から接点信号Ｏn が出力されることがない。これによ
り、検出接点Ｓinが開いていることが検出されることに
なる。On the other hand, as shown in FIG.ij,S
mj,SmnIs closed and the detection contact S inIs open
At the input line LIiContact signal IiOutput
Contact signal IiIs the detection contact S as shown by the arrow.ijThrough
Output line LOjFrom contact signal OjIs output as This
Output line LOjContact signal O appearing onjIs the diode D mj
By input line LImTo the output line LOn
From contact signal OnIs not output. This
Detection contact SinIs detected as open
Become.
【００２２】次に、行列状に配線される入出力線の一例
について説明する。図７は入出力線の一例を示す図であ
り、同図に示すように２種類の標準ケーブル１６、１８
から構成されている。標準ケーブル１６はフィルタファ
ンユニットＦＦＵの横方向の長さに対応し、標準ケーブ
ル１８はフィルタファンユニットＦＦＵの縦方向の長さ
に対応する長さを有するとともに、各ケーブルの途中か
ら分岐する分岐ケーブル１６Ａ、１８Ａを有している。
また、各ケーブルの一端には雌型コネクタ１６Ｂ、１８
Ｂが設けられ、他端には雄型コネクタ１６Ｃ、１８Ｃが
設けられ、更に標準ケーブル１６の分岐ケーブル１６Ａ
の先端には雌型コネクタ１６Ｄが設けられ、標準ケーブ
ル１８の分岐ケーブル１８Ａの先端には雄型コネクタ１
８Ｄが設けられている。Next, an example of input / output lines arranged in a matrix will be described. FIG. 7 is a diagram showing an example of input / output lines. As shown in FIG.
It is composed of The standard cable 16 has a length corresponding to the length of the filter fan unit FFU in the horizontal direction, and the standard cable 18 has a length corresponding to the length of the filter fan unit FFU in the vertical direction. 16A and 18A.
Also, one end of each cable has female connectors 16B, 18
B, male connectors 16C and 18C are provided at the other end, and a branch cable 16A of the standard cable 16 is provided.
Is provided with a female connector 16D at the end thereof, and a male connector 1D is provided at the end of the branch cable 18A of the standard cable 18.
8D is provided.
【００２３】上記構成の標準ケーブル１６間を接続する
ことにより、横方向に配列されたフィルタファンユニッ
トの各検出接点に沿って標準ケーブル１６を配線するこ
とができ、また標準ケーブル１８間を接続することによ
り、縦方向に配列されたフィルタファンユニットの各検
出接点に沿って標準ケーブル１８を配線することができ
る。そして、標準ケーブル１６の分岐ケーブル１６Ａと
標準ケーブル１８の分岐ケーブル１８Ａとは、図示しな
いダイオード及び検出接点を介して接続される。By connecting the standard cables 16 having the above configuration, the standard cables 16 can be routed along the respective detection contacts of the filter fan units arranged in the horizontal direction, and the standard cables 18 are connected. Thereby, the standard cable 18 can be wired along each detection contact of the filter fan units arranged in the vertical direction. The branch cable 16A of the standard cable 16 and the branch cable 18A of the standard cable 18 are connected via a diode and a detection contact (not shown).
【００２４】上記標準ケーブルを使用すれば、クリーン
ルームにおいてフィルタファンユニットの設置領域を拡
張する場合や、フィルタファンユニットのレイアウトを
変更する場合に、容易に対応することができる。尚、行
列配置されるフィルタファンユニットの行列の一部が欠
落した歯抜けの行列の場合には、その歯抜け部分に対応
する分岐ケーブルはそのままにしておく。また、標準ケ
ーブルから分岐した分岐ケーブルにダイオードを組み込
むようにしてもよい。The use of the above-mentioned standard cable can easily cope with a case where the installation area of the filter fan unit is expanded in a clean room or a case where the layout of the filter fan unit is changed. In the case of a missing tooth matrix in which a part of the matrix of filter fan units arranged in a matrix is missing, the branch cable corresponding to the missing tooth part is left as it is. Further, the diode may be incorporated in a branch cable branched from the standard cable.
【００２５】次に、入出力線の断線検出及びダイオード
の不良検出について説明する。入出力線の断線を検出す
る場合には、検出接点を全て閉じ、各入力線に順次接点
信号を加える。そして、このときの出力線から得られる
検出信号に基づいて入出力線の断線を検出する。また、
入出力線の断線を検出する他の方法としては、図８に示
すように入力線及び出力線に沿ってそれぞれ断線検出用
のケーブルＬ１，Ｌ２を配線し、入力線に沿う断線検出
用のケーブルＬ１と各出力線LOa1〜 LOaN , LOb1〜 LOb
N とをダイオードを介して接続し、出力線に沿う断線検
出用のケーブルＬ２と各入力線LIa1〜 LIaM , LIb1〜 L
IbM とをダイオードを介して接続する。そして、ケーブ
ルＬ１に断線検出信号を出力し、そのときの各出力線LO
a1〜 LOaN , LOb1〜 LObNからの検出信号に基づいて各
出力線LOa1〜 LOaN , LOb1〜 LObN の断線を検出し、ま
た、ケーブルＬ２の出力に基づいて各入力線LIa1〜 LIa
M , LIb1〜 LIbM の断線を検出する。Next, detection of disconnection of input / output lines and detection of failure of a diode will be described. When detecting disconnection of an input / output line, all the detection contacts are closed, and a contact signal is sequentially applied to each input line. Then, the disconnection of the input / output line is detected based on the detection signal obtained from the output line at this time. Also,
As another method for detecting a disconnection of an input / output line, as shown in FIG. 8, cables L1 and L2 for disconnection detection are wired along input and output lines, respectively, and a cable for disconnection detection along the input line is provided. L1 and each output line LOa 1 to LOa N , LOb 1 to LOb
N is connected via a diode, and a cable L2 for detecting disconnection along the output line and each input line LIa 1 to LIa M and LIb 1 to L
Connect to Ib M via a diode. Then, a disconnection detection signal is output to the cable L1, and each output line LO at that time is output.
a 1 ~ LOa N, each output line based on the detection signal from LOb 1 ~ LOb N LOa 1 ~ LOa N, detects the disconnection of LOb 1 ~ LOb N, also the input line based on the output of the cable L2 LIa 1 to LIa
M , LIb 1 to LIb Detect disconnection of M.
【００２６】一方、ダイオードの不良を検出する場合に
は、検出接点を全て閉じるとともに、通常の検出時とは
逆方向（即ち、出力線側）から検出信号を出力する。そ
して、入力線側に現れる検出信号に基づいてダイオード
の不良を検出する。尚、本実施例では、表示手段として
発光ダイオードが配設された表示パネル１４を使用した
が、これに限らず、例えばモニタテレビの画面上に各フ
ィルタファンユニットの稼動状態、故障の有無等を表示
させるようにしてもよい。また、コントロール回路とし
てラッチ回路を使用したが、これをプログラムによりソ
フトウエアで行っても良い。On the other hand, when detecting a failure of the diode, all the detection contacts are closed, and a detection signal is output from the opposite direction (ie, the output line side) from the normal detection. Then, a failure of the diode is detected based on a detection signal appearing on the input line side. In this embodiment, the display panel 14 on which the light emitting diodes are provided is used as the display means. However, the present invention is not limited to this. You may make it display. Although the latch circuit is used as the control circuit, this may be performed by software using a program.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るクリー
ンルーム用フィルタファンユニットの運転監視方法及び
装置によれば、行列配置された複数のフィルタファンユ
ニットに設けられた運転監視用の複数の検出接点に対し
て、各行の検出接点又は各列の検出接点に沿う入力線
と、各列の検出接点又は各行の検出接点に沿う出力線と
を格子状に配線するようにしたため、検出接点の数が増
加しても入出力線の敷設量の増加を大幅に抑制すること
ができ、配線に要する材料費や工事費等が非常に少なく
て済むという利点がある。また、運転監視部における入
出力点数も減少させることができる。As described above, according to the method and apparatus for monitoring the operation of a filter fan unit for a clean room according to the present invention, a plurality of detection contacts for operation monitoring provided in a plurality of filter fan units arranged in rows and columns. In contrast, the input line along the detection contact of each row or the detection contact of each column and the output line along the detection contact of each column or the detection contact of each row are arranged in a grid, so that the number of detection contacts is Even if it increases, an increase in the amount of laying of input / output lines can be greatly suppressed, and there is an advantage that material costs and construction costs required for wiring can be extremely reduced. Also, the number of input / output points in the operation monitoring unit can be reduced.
【図１】図１は本発明に係るクリーンルーム用フィルタ
ファンユニットの運転監視装置の要部配線図である。FIG. 1 is a main part wiring diagram of an operation monitoring device of a filter fan unit for a clean room according to the present invention.
【図２】図２は本発明に係るクリーンルーム用フィルタ
ファンユニットの運転監視装置の運転監視部を示すブロ
ック図である。FIG. 2 is a block diagram showing an operation monitoring unit of the operation monitoring device of the filter fan unit for a clean room according to the present invention.
【図３】図３は図２のコントローラから出力される各接
点信号のタイミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart of each contact signal output from the controller of FIG. 2;
【図４】図４は図２のコントローラの検出回路及び表示
パネルの一例を示す要部回路である。FIG. 4 is a main circuit illustrating an example of a detection circuit and a display panel of the controller in FIG. 2;
【図５】図５は各検出接点にダイオードが直列接続され
ない場合の問題点を説明するために用いた要部配線図で
ある。FIG. 5 is a main part wiring diagram used to explain a problem when a diode is not connected in series to each detection contact.
【図６】図６は各検出接点に直列接続されたダイオード
の作用を説明するために用いた要部配線図である。FIG. 6 is a main part wiring diagram used to explain the function of a diode connected in series to each detection contact;
【図７】図７は本発明に使用される入出力線の一例を示
す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of an input / output line used in the present invention.
【図８】図８は本発明に使用される入出力線の断線を検
出する方法を説明するために用いた要部配線図である。FIG. 8 is a main part wiring diagram used for explaining a method for detecting disconnection of an input / output line used in the present invention.
【図９】図９は従来のクリーンルーム用フィルタファン
ユニットの運転監視装置における配線図である。FIG. 9 is a wiring diagram of a conventional operation monitoring device for a filter fan unit for a clean room.
１０…クリーンルーム １２…コントローラ １４…表示パネル ＦＦＵ11〜ＦＦＵMN…フィルタファンユニット Sa11〜SaMN…運転検出接点 Sb11〜SbMN…故障検出接点 LIa1〜 LIaM , LIb1〜 LIbM …入力線 LOa1〜 LOaN , LOb1〜 LObN …出力線 Da11〜DaMN, Db11〜DbMN…電気信号逆流防止器（ダイオ
ード）10 Clean room 12 Controller 14 Display panel FFU 11 to FFU MN Filter fan unit Sa 11 to Sa MN Operation detection contact Sb 11 to Sb MN Failure detection contact LIa 1 to LIa M , LIb 1 to LIb M … Input Lines LOa 1 to LOa N , LOb 1 to LOb N … Output lines Da 11 to Da MN, Db 11 to Db MN … Electrical signal backflow prevention device (diode)
Claims (3)
複数のフィルタファンユニットの運転状況を監視するク
リーンルーム用フィルタファンユニットの運転監視方法
において、 各フィルタファンユニットに設けられた運転監視用の検
出接点に対して、各行又は各列のフィルタファンユニッ
トに設けられた検出接点に沿う入力線と、各列又は各行
のフィルタファンユニットに設けられた検出接点に沿う
出力線とを格子状に配線し、 複数の検出接点の各検出接点に対応する入力線と出力線
との間を電気信号逆流防止器及び検出接点を介して電気
的に接続し、 各入力線に接点検出用の接点信号を順次出力し、 各出力線から前記接点信号を検出することにより各フィ
ルタファンユニットに設けられた検出接点の開閉状態を
検出し、 前記検出された各検出接点の開閉状態から各フィルタフ
ァンユニットの運転状況を表示することを特徴とするク
リーンルーム用フィルタファンユニットの運転監視方
法。1. A method for monitoring the operation of a plurality of filter fan units arranged in a matrix in a clean room, the method comprising: a detection contact for operation monitoring provided in each filter fan unit; On the other hand, an input line along the detection contact provided on the filter fan unit of each row or each column, and an output line along the detection contact provided on the filter fan unit of each column or each row are wired in a grid, The input and output lines corresponding to each of the multiple detection contacts are electrically connected via an electrical signal backflow prevention device and detection contacts, and contact signals for contact detection are sequentially output to each input line. Detecting the open / closed state of the detection contact provided in each filter fan unit by detecting the contact signal from each output line; Operation monitoring method of the filter fan unit for clean rooms, characterized in that the opening and closing state of the detection contact to display the operation status of each filter fan unit.
検出接点は、フィルタファンユニットが稼動しているか
否かによって接点が開閉する運転検出接点と、フィルタ
ファンユニットが故障しているか否かによって接点が開
閉する故障検出接点とを含む請求項１のクリーンルーム
用フィルタファンユニットの運転監視方法。2. A detection contact provided in each filter fan unit includes an operation detection contact that opens and closes depending on whether the filter fan unit is operating and a detection contact based on whether the filter fan unit has failed. The method for monitoring operation of a filter fan unit for a clean room according to claim 1, further comprising a failure detection contact that opens and closes.
複数のフィルタファンユニットの運転状況を監視するク
リーンルーム用フィルタファンユニットの運転監視装置
において、 各フィルタファンユニットに設けられた運転監視用の検
出接点に対して各行又は各列のフィルタファンユニット
に設けられた検出接点に沿って配線された入力線と、 前記検出接点に対して各列又は各行のフィルタファンユ
ニットに設けられた検出接点に沿って配線された出力線
と、 複数の検出接点の各検出接点にそれぞれ対応する入力線
と出力線との間を検出接点を介して電気的に接続する接
続回路と、 前記接続回路中に検出接点と直列接続された電気信号逆
流防止器と、 各入力線に接点検出用の接点信号を順次出力する出力手
段と、 各出力線から入力する前記接点信号と該接点信号の出力
タイミングとによって各検出接点の開閉状態を検出する
検出手段と、 前記検出手段によって検出された各検出接点の開閉状態
に基づいて各フィルタファンユニットの運転状況を表示
する表示手段と、 を備えたことを特徴とするクリーンルーム用フィルタフ
ァンユニットの運転監視装置。3. An operation monitoring device for a filter fan unit for a clean room for monitoring the operation status of a plurality of filter fan units arranged in a matrix in a plane in a clean room, wherein a detection contact for operation monitoring provided in each filter fan unit. An input line wired along a detection contact provided on a filter fan unit of each row or each column, and a detection contact provided on a filter fan unit of each column or each row with respect to the detection contact. A wired output line, a connection circuit that electrically connects via a detection contact between an input line and an output line respectively corresponding to each detection contact of the plurality of detection contacts, and a detection contact in the connection circuit. An electric signal backflow prevention device connected in series, output means for sequentially outputting a contact signal for contact detection to each input line, and inputting from each output line Detecting means for detecting the open / close state of each detection contact based on the contact signal and the output timing of the contact signal; and displaying the operating status of each filter fan unit based on the open / close state of each detection contact detected by the detection means. An operation monitoring device for a filter fan unit for a clean room, comprising: a display unit.
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|---|---|---|---|
| JP07165571A JP3079953B2 (en) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Method and apparatus for monitoring operation of filter fan unit for clean room |
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Publications (2)
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| JPH0910534A JPH0910534A (en) | 1997-01-14 |
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Family Applications (1)
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