JP3077364B2 - Active matrix liquid crystal display - Google Patents
Active matrix liquid crystal displayInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明はアクティブマトリック
ス液晶表示装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active matrix liquid crystal display device.
【0002】[0002]
【従来の技術】アクティブマトリックス液晶表示装置で
は、画素電極および薄膜トランジスタ等からなる表示駆
動素子を備えた表示駆動パネルと共通電極を備えた共通
電極パネルとの間に液晶を封入している。この場合、画
素部以外からの光の漏れを防止するために、共通電極パ
ネルにブラックマスク等と呼ばれる格子状の遮光部を設
けている。ところで、このようなアクティブマトリック
ス液晶表示装置の組立てに際し、表示駆動パネル上に共
通電極パネルをスペーサを介して重ね合わせる場合、共
通電極パネルの所定の一の対角線上の角部に白抜きの十
字マークを設けるとともに、表示駆動パネルの対応位置
に白抜きの十字マークよりも若干大きめの黒地の十字マ
ークを設け、両者を重ね合わせたとき、白抜き十字マー
クが黒地十字マークからはみ出さない状態、即ち空隙に
よる漏えい光の見えない状態になるようにして位置合わ
せを行っている。2. Description of the Related Art In an active matrix liquid crystal display device, liquid crystal is sealed between a display driving panel having a display driving element composed of pixel electrodes and thin film transistors and a common electrode panel having a common electrode. In this case, in order to prevent light from leaking from portions other than the pixel portion, a lattice-shaped light-shielding portion called a black mask or the like is provided on the common electrode panel. By the way, when assembling such an active matrix liquid crystal display device, when a common electrode panel is superimposed on a display drive panel via a spacer, a white cross mark is formed at a predetermined diagonal corner of the common electrode panel. And a black cross mark slightly larger than the white cross mark is provided at the corresponding position of the display drive panel, and when both are superimposed, the white cross mark does not protrude from the black cross mark, that is, The alignment is performed so that the light leaked by the air gap cannot be seen.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このようなアクティブマトリックス液晶表示装置の位置
合わせ方法を、画素ピッチの小さいものに適用したとこ
ろ、位置合わせ後に、前述した格子状の遮光部と画素電
極との重なり具合を調べると、図3の点線に示すよう
に、各画素電極1の端部1a、1bが遮光部2の側縁部
2a、2bに対し所定の傾斜角をもつような位置ずれが
発生した。この位置ずれによって生じる間隙3は、表示
状態でも非表示状態でも変化しない領域であるから存在
してはならないものである。このように、従来の方法は
共通電極パネルと表示駆動パネルとの位置合わせ精度が
十分高いとはいえないという問題があった。この発明の
目的は、共通電極パネルと表示駆動パネルとの位置合わ
せ精度を十分高くすることのできるアクティブマトリッ
クス液晶表示装置を提供することにある。However, when such a conventional alignment method for an active matrix liquid crystal display device is applied to a device having a small pixel pitch, after the alignment, the above-described grid-shaped light-shielding portion and the pixel are removed. When the degree of overlap with the electrodes is examined, as shown by the dotted lines in FIG. 3, the positions where the ends 1a and 1b of each pixel electrode 1 have a predetermined inclination angle with respect to the side edges 2a and 2b of the light shielding portion 2 are shown. Misalignment has occurred. The gap 3 caused by this displacement is an area that does not change in the display state or the non-display state, and therefore should not be present. As described above, the conventional method has a problem that the positioning accuracy between the common electrode panel and the display driving panel cannot be said to be sufficiently high. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an active matrix liquid crystal display device capable of sufficiently increasing the alignment accuracy between a common electrode panel and a display drive panel.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】この発明は、画素電極お
よび表示駆動素子を備えた表示駆動パネルと共通電極を
備えた共通電極パネルとの間に液晶が封入され、かつ前
記各画素電極の周囲部分を覆う格子状の遮光部を前記共
通電極パネルに設けてなるアクティブマトリックス液晶
表示装置において、前記共通電極パネルの前記遮光部の
側縁部に対応させて、前記側縁部からの位置ずれを視認
するための位置合わせマークを前記表示駆動パネルに設
けたものである。According to the present invention, a liquid crystal is sealed between a display drive panel having a pixel electrode and a display drive element and a common electrode panel having a common electrode, and a liquid crystal is sealed around each of the pixel electrodes. In an active matrix liquid crystal display device in which a grid-shaped light-shielding portion covering a portion is provided on the common electrode panel, a positional shift from the side edge is made corresponding to a side edge of the light-shielding portion of the common electrode panel. An alignment mark for visual recognition is provided on the display drive panel.
【0005】[0005]
【作用】この発明によれば、格子状の遮光部と画素電極
との位置ずれを、前記遮光部の側縁部に対応して設けら
れた位置合わせマークによって直接視認できるので、共
通電極パネルと表示駆動パネルとの位置合わせ精度を十
分高くすることができる。According to the present invention, the misalignment between the grid-like light-shielding portion and the pixel electrode can be directly visually recognized by the alignment marks provided corresponding to the side edges of the light-shielding portion. The alignment accuracy with the display drive panel can be made sufficiently high.
【0006】[0006]
【実施例】図1はこの発明の一実施例におけるアクティ
ブマトリックス液晶表示装置の要部を示したものであ
る。このアクティブマトリックス液晶表示装置は、表示
駆動パネル11上に共通電極パネル31が図示しないス
ペーサを介して重ね合わされ、その間に液晶41が封入
された構造となっている。FIG. 1 shows a main part of an active matrix liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. This active matrix liquid crystal display device has a structure in which a common electrode panel 31 is superimposed on a display drive panel 11 via a spacer (not shown), and a liquid crystal 41 is sealed therebetween.
【0007】まず、共通電極パネル31について説明す
ると、この共通電極パネル31はガラス基板32を備え
ている。ガラス基板32の下面には、表示画素部の大き
さを規制するとともに画素部以外からの光の漏れを防止
するために、画素部以外の部分に対応してクロムやアル
ミニウム等からなる格子状の遮光部33が設けられてい
る(図2参照)。遮光部33以外の部分におけるガラス
基板32の下面にはカラーフィルタ34が設けられ、図
2に示すように、遮光部33の側縁部33a、33bに
よって囲まれる各カラーフィルタ34の部分が方形状の
画素部35となっている。遮光部33およびカラーフィ
ルタ34の全下面には透明な樹脂層36が設けられてい
る。樹脂層36の下面にはITOからなる共通電極37
がパターン形成されている。共通電極37を含む樹脂層
36の全下面には配向膜38が設けられている。First, the common electrode panel 31 will be described. The common electrode panel 31 includes a glass substrate 32. On the lower surface of the glass substrate 32, in order to regulate the size of the display pixel portion and to prevent light leakage from the portion other than the pixel portion, a lattice-like portion made of chrome, aluminum, or the like corresponding to portions other than the pixel portion is provided. A light-shielding portion 33 is provided (see FIG. 2). A color filter 34 is provided on the lower surface of the glass substrate 32 in a part other than the light shielding part 33, and as shown in FIG. 2, the part of each color filter 34 surrounded by the side edges 33a and 33b of the light shielding part 33 has a square shape. Pixel section 35. A transparent resin layer 36 is provided on the entire lower surface of the light shielding portion 33 and the color filter 34. A common electrode 37 made of ITO is provided on the lower surface of the resin layer 36.
Are patterned. An alignment film 38 is provided on the entire lower surface of the resin layer 36 including the common electrode 37.
【0008】次に、表示駆動パネル11について説明す
ると、この表示駆動パネル11はガラス基板12を備え
ている。ガラス基板12の上面の所定の個所には、薄膜
トランジスタ(表示駆動素子)13の一部を構成するア
モルファスシリコンまたはポリシリコンからなる半導体
薄膜14がパターン形成されている。半導体薄膜14の
中央部はチャネル領域14aとされ、その左右両側はド
レイン領域14bおよびソース領域14cとされてい
る。半導体薄膜14のチャネル領域14aの上面には酸
化シリコンからなるゲート絶縁膜15を介してクロムや
アルミニウム等からなるゲート電極16がパターン形成
されている。ゲート電極16は層間絶縁膜17によって
被覆されている。半導体薄膜14のドレイン領域14b
およびソース領域14cを含むガラス基板12の全上面
には酸化シリコンからなる下地層18が設けられてい
る。半導体薄膜14のドレイン領域14bおよびソース
領域14cに対応する部分の下地層18にはコンタクト
ホール19、20が形成され、これらコンタクトホール
19、20および下地層18の上面の各所定の個所には
クロムやアルミニウム等からなるドレイン電極21およ
びソース電極22がパターン形成されている。Next, the display drive panel 11 will be described. The display drive panel 11 has a glass substrate 12. At a predetermined location on the upper surface of the glass substrate 12, a semiconductor thin film 14 made of amorphous silicon or polysilicon and constituting a part of a thin film transistor (display driving element) 13 is pattern-formed. The central portion of the semiconductor thin film 14 is a channel region 14a, and the left and right sides thereof are a drain region 14b and a source region 14c. On the upper surface of the channel region 14a of the semiconductor thin film 14, a gate electrode 16 made of chromium, aluminum, or the like is pattern-formed via a gate insulating film 15 made of silicon oxide. Gate electrode 16 is covered with interlayer insulating film 17. Drain region 14b of semiconductor thin film 14
An underlying layer 18 made of silicon oxide is provided on the entire upper surface of the glass substrate 12 including the source region 14c. Contact holes 19 and 20 are formed in the underlayer 18 at portions corresponding to the drain region 14b and the source region 14c of the semiconductor thin film 14, and chromium is formed at predetermined positions on the contact holes 19 and 20 and the upper surface of the underlayer 18. A drain electrode 21 and a source electrode 22 made of aluminum or aluminum are patterned.
【0009】薄膜トランジスタ13の近傍における下地
層18の上面の所定の個所には、ゲート絶縁膜15を形
成した後であってゲート電極16を形成する前に、IT
Oからなる方形状の画素電極23がパターン形成されて
いる(図2参照)。画素電極23の大きさは、図2に示
すように、共通電極パネル31の遮光部33間の方形状
の画素部35の大きさよりも若干大きくなっている。共
通電極パネル31の遮光部33間の方形状の画素部35
の所定の一の対角線上の2つの角部の直ぐ内側の部分に
対応する画素電極23の上面の所定の2箇所には、ゲー
ト電極16の形成と同時に同一の材料すなわちクロムや
アルミニウム等により、方形状の位置合わせマーク24
が形成されている(図2参照)。位置合わせマーク24
は全ての画素電極23上に該画素電極23から外方には
み出ないように形成されている。なお、薄膜トランジス
タ13のソース電極22は画素電極23に接続され、ま
た図2に示すように、ゲート電極15はゲートライン
(走査電極)25に接続され、ドレイン電極21はドレ
インライン(信号電極)26に接続されている。薄膜ト
ランジスタ13、画素電極23、位置合わせマーク24
および下地層18の全上面には酸化シリコンや窒化シリ
コン等からなるパッシベーション膜27が設けられてい
る。パッシベーション膜27の全上面には配向膜28が
設けられている。At a predetermined location on the upper surface of the underlayer 18 in the vicinity of the thin film transistor 13, after the gate insulating film 15 is formed and before the gate electrode 16 is formed, the IT
A square pixel electrode 23 made of O is patterned (see FIG. 2). As shown in FIG. 2, the size of the pixel electrode 23 is slightly larger than the size of the rectangular pixel portion 35 between the light shielding portions 33 of the common electrode panel 31. A rectangular pixel portion 35 between the light shielding portions 33 of the common electrode panel 31
At the two predetermined positions on the upper surface of the pixel electrode 23 corresponding to the portions immediately inside the two corners on the predetermined one diagonal line, the same material, that is, chromium, aluminum, or the like, is used at the same time when the gate electrode 16 is formed. Square alignment mark 24
Are formed (see FIG. 2). Alignment mark 24
Are formed on all the pixel electrodes 23 so as not to protrude outward from the pixel electrodes 23. Note that the source electrode 22 of the thin film transistor 13 is connected to the pixel electrode 23, and as shown in FIG. 2, the gate electrode 15 is connected to the gate line (scanning electrode) 25, and the drain electrode 21 is connected to the drain line (signal electrode) 26. It is connected to the. Thin film transistor 13, pixel electrode 23, alignment mark 24
In addition, a passivation film 27 made of silicon oxide, silicon nitride, or the like is provided on the entire upper surface of base layer 18. An alignment film 28 is provided on the entire upper surface of the passivation film 27.
【0010】さて、このアクティブマトリックス液晶表
示装置の組立てに際し、表示駆動パネル11上に共通電
極パネル31をスペーサを介して重ね合わせる場合に
は、図2に示すように、各位置合わせマーク24が遮光
部33の側縁部33a、33bの各交点と重合するよう
にする。位置合わせマーク24は各画素電極23上に該
画素電極23から外方にはみ出ないように形成されてい
るのであるから、この位置合わせによる限り各画素部3
5が各画素電極23からはみ出る部分、即ち位置ずれに
よる空隙は生じない。したがって、共通電極パネル31
と表示駆動パネル11との位置合わせ精度を十分高くす
ることができる。When the common electrode panel 31 is superimposed on the display drive panel 11 via a spacer in assembling the active matrix liquid crystal display device, as shown in FIG. It overlaps with each intersection of the side edge parts 33a and 33b of the part 33. Since the alignment mark 24 is formed on each pixel electrode 23 so as not to protrude from the pixel electrode 23, each pixel portion 3 can be used as long as this alignment is performed.
No portion of 5 protrudes from each pixel electrode 23, that is, a gap due to misalignment does not occur. Therefore, the common electrode panel 31
And the display drive panel 11 can have sufficiently high positioning accuracy.
【0011】なお、位置合わせマーク24はすべての画
素部35に対応して形成する必要はなく、必要位置に設
けるだけでもよい。また、位置合わせマーク24は画素
部35の角部に設ける必要はなく、要は遮光部33の側
縁部33a、33bとの位置合わせが視認できる位置に
設ければよい。It should be noted that the alignment marks 24 need not be formed corresponding to all the pixel portions 35, but may be provided only at required positions. Further, the alignment mark 24 does not need to be provided at a corner of the pixel portion 35, and may be provided at a position where the alignment with the side edges 33a and 33b of the light shielding portion 33 can be visually recognized.
【0012】[0012]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、格子状の遮光部と画素電極との位置ずれを、前記遮
光部の側縁部に対応して設けられた位置合わせマークに
よって直接視認できるので、共通電極パネルと表示駆動
パネルとの位置合わせ精度を十分高くすることができ
る。As described above, according to the present invention, the misalignment between the lattice-shaped light-shielding portion and the pixel electrode is directly controlled by the alignment marks provided corresponding to the side edges of the light-shielding portion. Since it is visible, the alignment accuracy between the common electrode panel and the display drive panel can be sufficiently increased.
【図1】この発明の一実施例におけるアクティブマトリ
ックス液晶表示装置の要部の縦断面図。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a main part of an active matrix liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
【図2】同アクティブマトリックス液晶表示装置の平面
図。FIG. 2 is a plan view of the active matrix liquid crystal display device.
【図3】従来のアクティブマトリックス液晶表示装置の
問題点を説明するために示す平面図。FIG. 3 is a plan view illustrating a problem of a conventional active matrix liquid crystal display device.
11 表示駆動パネル 13 薄膜トランジスタ(表示駆動素子) 23 画素電極 24 位置合わせマーク 31 共通電極パネル 33 遮光部 33a、33b 側縁部 35 画素部 37 共通電極 41 液晶 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Display drive panel 13 Thin film transistor (display drive element) 23 Pixel electrode 24 Alignment mark 31 Common electrode panel 33 Shielding part 33a, 33b Side edge part 35 Pixel part 37 Common electrode 41 Liquid crystal
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1368 G02F 1/1335 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1368 G02F 1/1335
Claims (3)
示駆動パネルと共通電極を備えた共通電極パネルとの間
に液晶が封入され、かつ前記各画素電極の周囲部分を覆
う格子状の遮光部を前記共通電極パネルに設けてなるア
クティブマトリックス液晶表示装置において、 前記共通電極パネルの前記遮光部の側縁部に対応させ
て、前記側縁部からの位置ずれを視認するための位置合
わせマークを前記表示駆動パネルに設けたことを特徴と
するアクティブマトリックス液晶表示装置。1. A grid-like light-shielding portion in which liquid crystal is sealed between a display drive panel having a pixel electrode and a display drive element and a common electrode panel having a common electrode, and a peripheral portion of each pixel electrode is covered. In the active matrix liquid crystal display device provided on the common electrode panel, an alignment mark for visually recognizing a displacement from the side edge corresponding to a side edge of the light shielding portion of the common electrode panel. An active matrix liquid crystal display device provided on the display drive panel.
に形成されていることを特徴とする請求項1記載のアク
ティブマトリックス液晶表示装置。2. The active matrix liquid crystal display device according to claim 1, wherein said alignment mark is formed on said pixel electrode.
子の少なくとも1つの電極と同材料であることを特徴と
する請求項1記載のアクティブマトリックス液晶表示装
置。3. The active matrix liquid crystal display device according to claim 1, wherein said alignment mark is made of the same material as at least one electrode of said display drive element.
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---|---|---|---|
JP7323492A JP3077364B2 (en) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Active matrix liquid crystal display |
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JP7323492A JP3077364B2 (en) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Active matrix liquid crystal display |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH05232513A JPH05232513A (en) | 1993-09-10 |
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JP7323492A Expired - Fee Related JP3077364B2 (en) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Active matrix liquid crystal display |
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- 1992-02-25 JP JP7323492A patent/JP3077364B2/en not_active Expired - Fee Related
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