JP3069201B2 - Scanning probe microscope - Google Patents
Scanning probe microscopeInfo
- Publication number
- JP3069201B2 JP3069201B2 JP4270396A JP27039692A JP3069201B2 JP 3069201 B2 JP3069201 B2 JP 3069201B2 JP 4270396 A JP4270396 A JP 4270396A JP 27039692 A JP27039692 A JP 27039692A JP 3069201 B2 JP3069201 B2 JP 3069201B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- sample
- response speed
- amplifier
- feedback circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、走査トンネル顕微鏡
（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等の走査プロー
ブ顕微鏡に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning probe microscope such as a scanning tunneling microscope (STM) and an atomic force microscope (AFM).
【０００２】[0002]
【従来の技術】走査プローブ顕微鏡においては試料の表
面とプローブとの距離を制御するためのフィードバック
回路を備えている。例えば、ＳＴＭにおいてはプローブ
である探針で検出されるトンネル電流に基づいて試料表
面と探針との距離を制御するためのフィードバック回路
を備え、ＡＦＭにおいてはプローブであるカンチレバー
に働く原子間力に基づいて試料表面とカンチレバーとの
距離を制御するためのフィードバック回路を備えてい
る。そのフィードバック回路の構成例を図３に示す。2. Description of the Related Art A scanning probe microscope is provided with a feedback circuit for controlling the distance between the surface of a sample and a probe. For example, the STM has a feedback circuit for controlling the distance between the sample surface and the probe based on the tunnel current detected by the probe as the probe, and the AFM has the atomic force acting on the cantilever as the probe. A feedback circuit for controlling the distance between the sample surface and the cantilever based on the feedback signal. FIG. 3 shows a configuration example of the feedback circuit.
【０００３】図３は従来のＳＴＭにおけるフィードバッ
ク回路の構成例を示す図であり、探針２はＰＺＴスキャ
ナ１の先端に固定されて試料３に対向して配置されてい
る。なお、ＰＺＴスキャナ１は、試料３に対して探針２
を平面的に走査するためのＸ駆動部、Ｙ駆動部、及び試
料３との距離を制御するためのＺ駆動部とを備えてい
る。そして、試料３には電源４から適宜なバイアス電圧
が印加されており、探針２で検出されたトンネル電流
は、電流／電圧変換器５で電圧に変換され、対数アンプ
６で対数値に変換され、コンパレータ７で検出すべきト
ンネル電流値に対応する基準電圧ＶREF と比較され、更
にフィルタ８でフィルタリングされ、最後にＨＶアンプ
９で増幅されてＰＺＴスキャナ１のＺ駆動部にフィード
バックされる。FIG. 3 is a diagram showing an example of the configuration of a feedback circuit in a conventional STM. A probe 2 is fixed to the tip of a PZT scanner 1 and is arranged to face a sample 3. Note that the PZT scanner 1 uses the probe 2
And a Z drive unit for controlling the distance to the sample 3. An appropriate bias voltage is applied to the sample 3 from the power supply 4. The tunnel current detected by the probe 2 is converted into a voltage by the current / voltage converter 5, and is converted into a logarithmic value by the logarithmic amplifier 6. Then, it is compared with the reference voltage V REF corresponding to the tunnel current value to be detected by the comparator 7, further filtered by the filter 8, finally amplified by the HV amplifier 9 and fed back to the Z drive section of the PZT scanner 1.
【０００４】このフィードバック回路によって、探針２
と試料３との距離は、探針２から検出されるトンネル電
流が常に検出したいトンネル電流値に対応する基準値Ｖ
REFになるように制御される。With this feedback circuit, the probe 2
The distance between the probe 3 and the sample 3 is determined by the reference value V corresponding to the tunnel current value that the tunnel current detected from the probe 2 always wants to detect.
Controlled to be REF .
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図３に示す
ような従来のフィードバック回路においては、探針２の
応答速度の制御、即ち探針２が試料３に対して上下する
ときの応答速度（周波数特性）の制御は、フィルタ８の
時定数あるいはＨＶアンプ９のゲインを調整することに
より行われており、検出されるトンネル電流が一定にな
るように探針２と試料３との距離を制御して試料の表面
を観察するモード（以下、このモードを定電流モードと
称す）においては、通常、フィルタ８あるいはＨＶアン
プ９が発振しない範囲で応答速度ができるだけ速くなる
ように設定される。By the way, in the conventional feedback circuit as shown in FIG. 3, the response speed of the probe 2 is controlled, that is, the response speed when the probe 2 moves up and down with respect to the sample 3 ( The frequency characteristic is controlled by adjusting the time constant of the filter 8 or the gain of the HV amplifier 9, and the distance between the probe 2 and the sample 3 is controlled so that the detected tunnel current becomes constant. In the mode of observing the surface of the sample (hereinafter, this mode is referred to as a constant current mode), the response speed is usually set to be as fast as possible within a range where the filter 8 or the HV amplifier 9 does not oscillate.
【０００６】これに対して、検出されるトンネル電流値
を変化させてトンネル電流の像を観察するモード（以
下、このモードを電流可変モードと称す）では、応答速
度は、探針２が試料３に接触することがないように、遅
くなるように設定されるのが通常である。On the other hand, in a mode in which a tunnel current image is observed by changing a detected tunnel current value (hereinafter, this mode is referred to as a variable current mode), the response speed of the probe 2 is Usually, it is set so as to be late so as not to contact with.
【０００７】このように従来のＳＴＭにおいても観察モ
ードに応じて適宜探針の応答速度を調整できるようには
なされているのであるが、試料を高温状態にして観察す
る場合等の動的な観察を行う場合には、探針と試料が接
触して観察できなくなってしまうという問題が生じる。
即ち、例えば半導体基板を試料としてそれを高温に加熱
し、高温における半導体基板の表面の状態を観察しよう
とする場合を例にとると、この場合には試料表面の原子
が非常に速い速度で活発に動くので、その原子が突発的
に探針に接触する可能性がある。As described above, even in the conventional STM, the response speed of the probe can be appropriately adjusted according to the observation mode. However, dynamic observation such as when the sample is observed in a high temperature state is performed. However, there is a problem that the probe and the sample come into contact with each other and cannot be observed.
That is, for example, when a semiconductor substrate is heated as a sample and heated to a high temperature, and the state of the surface of the semiconductor substrate at a high temperature is to be observed, in this case, atoms on the sample surface are activated at a very high speed. The atom may suddenly come into contact with the probe.
【０００８】従ってこのような場合には探針の応答速度
を速く設定して、トンネル電流の変化に非常に高速に対
応できるようにし、原子が接触しようとするときには素
早く探針を引き上げて試料との距離を離すようにすれば
よいが、このように応答速度を非常に速く設定した場合
には発振してしまうことがある。Therefore, in such a case, the response speed of the probe is set to be high so that the probe can respond to a change in the tunnel current very quickly. However, oscillation may occur if the response speed is set to be very high as described above.
【０００９】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、走査プローブ顕微鏡においてプローブの応答速
度、即ち周波数特性を、プローブが試料に近づく方向
と、遠ざかる方向とで別個に設定可能な走査プローブ顕
微鏡を提供することを目的とするものである。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and provides a scanning probe microscope in which the response speed of the probe, that is, the frequency characteristic, can be set separately in a direction in which the probe approaches the sample and in a direction in which the probe moves away. It is an object to provide a probe microscope.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上述した従来の問題点
は、プローブを試料に近づける場合の応答速度と、試料
から遠ざける場合の応答速度が同じであることに起因し
ている。従って、プローブを試料に近づける場合と、プ
ローブを試料から遠ざける場合とで応答速度を別個に設
定できれば上述した問題は解決できることになる。The conventional problem described above is caused by the fact that the response speed when the probe approaches the sample is the same as the response speed when the probe is moved away from the sample. Therefore, if the response speed can be set separately when the probe is brought closer to the sample and when the probe is moved away from the sample, the above-mentioned problem can be solved.
【００１１】そこで、請求項１記載の走査プローブ顕微
鏡は、試料の表面とプローブとの距離を制御するための
フィードバック回路中に、プローブが試料に近づく方向
のプローブの応答速度と、プローブが試料から遠ざかる
方向のプローブの応答速度を可変できる手段を備えるこ
とを特徴とする。また、請求項２記載の走査プローブ顕
微鏡は、フィードバック回路を用いてプローブと試料間
の距離を制御するようにした走査プローブ顕微鏡におい
て、プローブが試料に近づく方向のプローブの応答速度
と、プローブが試料から遠ざかる方向のプローブの応答
速度を異ならせたことを特徴とする。Therefore, in the scanning probe microscope according to the first aspect of the present invention, the feedback circuit for controlling the distance between the surface of the sample and the probe includes a response speed of the probe in a direction in which the probe approaches the sample, and a response of the probe from the sample. It is characterized in that it comprises means for varying the response speed of the probe in the direction away from it. A scanning probe microscope according to claim 2 is a scanning probe microscope in which the distance between the probe and the sample is controlled by using a feedback circuit, wherein the response speed of the probe in the direction in which the probe approaches the sample and the probe The response speed of the probe in the direction away from the probe is made different.
【００１２】[0012]
【作用及び発明の効果】請求項１記載の走査プローブ顕
微鏡では、試料の表面とプローブとの距離を制御するた
めのフィードバック回路中に、プローブが試料に近づく
方向のプローブの応答速度と、プローブが試料から遠ざ
かる方向のプローブの応答速度を可変できる手段を備え
ている。また、請求項２記載の走査プローブ顕微鏡で
は、プローブが試料に近づく方向のプローブの応答速度
と、プローブが試料から遠ざかる方向のプローブの応答
速度とは異ならされている。In the scanning probe microscope according to the first aspect, the feedback circuit for controlling the distance between the surface of the sample and the probe includes the response speed of the probe in the direction in which the probe approaches the sample and the response speed of the probe. Means are provided for varying the response speed of the probe in a direction away from the sample. In the scanning probe microscope according to the second aspect, the response speed of the probe in the direction in which the probe approaches the sample is different from the response speed of the probe in the direction in which the probe moves away from the sample.
【００１３】なお、請求項１の記載中、フィードバック
回路中に備えられる、プローブが試料に近づく方向のプ
ローブの応答速度と、プローブが試料から遠ざかる方向
のプローブの応答速度を可変できる手段は、一つのフィ
ードバック回路中に設けられていてもよく、また、プロ
ーブを試料に近づける方向の応答速度を設定するフィー
ドバック回路と、プローブを試料から遠ざける方向の応
答速度を設定するフィードバック回路の二つのフィード
バック回路を設けてもよいものである。According to the first aspect of the present invention, the means provided in the feedback circuit for changing the response speed of the probe in the direction in which the probe approaches the sample and the response speed of the probe in the direction in which the probe moves away from the sample are as follows. Two feedback circuits may be provided in one feedback circuit, and a feedback circuit that sets a response speed in a direction in which the probe approaches the sample and a feedback circuit that sets a response speed in a direction in which the probe moves away from the sample. It may be provided.
【００１４】従って請求項１記載の発明によれば、プロ
ーブを試料に近づける場合と、試料から遠ざける場合と
でプローブの応答速度を別個に、それぞれ任意に設定で
きるので、種々の観察モードにおいて最適な応答速度に
設定することができ、上述したような試料を高温にして
観察する場合にも突発的にプローブと試料が接触するこ
とを有効に防止できるものである。また、請求項２記載
の発明によれば、プローブが試料に近づく方向のプロー
ブの応答速度と、プローブが試料から遠ざかる方向のプ
ローブの応答速度とは異ならされているので、請求項１
記載の発明と同様の効果を奏するものである。Therefore, according to the first aspect of the present invention, the response speed of the probe can be set arbitrarily separately when the probe is brought closer to the sample and when the probe is moved away from the sample. The response speed can be set so that sudden contact between the probe and the sample can be effectively prevented even when the sample is observed at a high temperature as described above. According to the second aspect of the present invention, the response speed of the probe in a direction in which the probe approaches the sample is different from the response speed of the probe in a direction in which the probe moves away from the sample.
The same effects as those of the described invention can be obtained.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
なお、以下の実施例では本発明をＳＴＭに適用した場合
について説明するが、ＡＦＭにも同様に適用できるもの
であることは当然である。なお、以下の説明において、
極性とは、その移動方向の別、即ちプローブを試料に近
づける方向と試料から遠ざける方向の違いをいう。従っ
て、プローブを試料に近づける場合と遠ざける場合とで
は極性が異なっているものである。Embodiments will be described below with reference to the drawings.
In the following embodiment, the case where the present invention is applied to an STM will be described. However, it is obvious that the present invention can be similarly applied to an AFM. In the following description,
The polarity refers to the direction of movement, that is, the difference between the direction in which the probe approaches the sample and the direction in which the probe moves away from the sample. Therefore, the polarity differs between the case where the probe is brought close to the sample and the case where the probe is moved away from the sample.
【００１６】図１は本発明に係る走査プローブ顕微鏡の
一実施例の構成を示す図である。なお、図１において図
３と同等の構成要素については同一の符号を付す。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an embodiment of the scanning probe microscope according to the present invention. Note that, in FIG. 1, the same components as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.
【００１７】この実施例の全体的な構成は図３に示す構
成と同じであるが、フィルタ８及びＨＶアンプ９の構成
が異なっている。即ち、フィルタ８においては、その信
号経路に、ダイオードＤ1 と可変抵抗器ＶＲ1 の直列回
路と、ダイオードＤ2 と可変抵抗器ＶＲ2 の直列回路と
が並列に接続されており、可変抵抗器ＶＲ1 ，ＶＲ2を
調整することによって極性毎に時定数が調整可能となさ
れている。The overall configuration of this embodiment is the same as the configuration shown in FIG. 3, but the configurations of the filter 8 and the HV amplifier 9 are different. That is, in the filter 8, in the signal path, a series circuit of a diode D 1 and the variable resistor VR 1, a series circuit of the diode D 2 and the variable resistor VR 2 are connected in parallel, a variable resistor The time constant can be adjusted for each polarity by adjusting VR 1 and VR 2 .
【００１８】同様に、ＨＶアンプ９の入力信号経路に
は、ダイオードＤ3 と可変抵抗器ＶＲ3 の直列回路と、
ダイオードＤ4 と可変抵抗器ＶＲ4 の直列回路とが並列
に接続されており、可変抵抗器ＶＲ3 ，ＶＲ4 を調整す
ることによって極性毎にゲインが調整可能となされてい
る。Similarly, an input signal path of the HV amplifier 9 includes a series circuit of a diode D 3 and a variable resistor VR 3 ,
A diode D 4 and a series circuit of a variable resistor VR 4 are connected in parallel, and the gain can be adjusted for each polarity by adjusting the variable resistors VR 3 and VR 4 .
【００１９】この構成によって、探針２の応答速度を極
性毎に調整することができる。即ち、例えばいま、ＨＶ
アンプ９の出力電圧が大きくなる方向のときに探針２が
試料に近づくものとすると、上述したように試料３を高
温にして観察する場合等、探針２を試料３から素早く遠
ざける必要がある場合には、Ｚ信号が小さくなる方向、
即ち図１の左から右に電流を流す方向の応答速度を速く
するために、可変抵抗器ＶＲ2 を調整してフィルタ８の
当該極性の時定数を小さくし、且つ可変抵抗器ＶＲ4 を
調整してＨＶアンプ９の当該極性のゲインを大きくす
る。そして更に、このままでは発振する可能性があるの
で、逆方向の応答速度については、可変抵抗器ＶＲ1 に
よってフィルタ８の当該極性の時定数を大きくし、且つ
可変抵抗器ＶＲ3 によってＨＶアンプ９の当該極性のゲ
インを小さくする。With this configuration, the response speed of the probe 2 can be adjusted for each polarity. That is, for example, now HV
Assuming that the probe 2 approaches the sample when the output voltage of the amplifier 9 is increasing, it is necessary to quickly move the probe 2 away from the sample 3 when observing the sample 3 at a high temperature as described above. In the case, the Z signal becomes smaller,
That is, in order to increase the response speed of the direction of current flow from the left of FIG. 1 to the right, by adjusting the variable resistor VR 2 to reduce the time constant of the polarity of the filter 8, and adjusting the variable resistor VR 4 Then, the gain of the polarity of the HV amplifier 9 is increased. And further, since this remains in is likely to oscillate, the reverse of the response speed, and increase the time constant of the polarity of the filter 8 by the variable resistor VR 1, and by a variable resistor VR 3 of the HV amplifier 9 Decrease the gain of the polarity.
【００２０】以上、本発明の一実施例について説明した
が、次に図２を参照して本発明の他の実施例について説
明する。As described above, one embodiment of the present invention has been described. Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００２１】図２は、特に試料を高温状態に保持して観
察する場合に適した構成であり、図２において、ＰＺＴ
スキャナ１のＺ駆動部は、Ｚ1 駆動部とＺ2 駆動部の二
つの駆動部で構成されている。そして、フィルタ８の出
力信号はＨＶアンプ１０を介してＺ1 駆動部に供給され
ると共に、コンパレータ１１、フィルタ８′及びＨＶア
ンプ１２を介してＺ2 駆動部に供給される。なおここで
もＨＶアンプの出力電圧が大きくなる方向のときに探針
２が試料３に近づくものとする。FIG. 2 shows a structure particularly suitable for observation while holding the sample in a high temperature state.
Z driver of the scanner 1 is composed of two drive portion of Z 1 driver and Z 2 driver. The output signal of the filter 8 is supplied to the Z 1 driver via the HV amplifier 10, a comparator 11, is supplied to the Z 2 driver via a filter 8 'and HV amplifier 12. In this case as well, it is assumed that the probe 2 approaches the sample 3 when the output voltage of the HV amplifier increases.
【００２２】さて、試料を高温状態にして観察する場合
には、上述したように試料３の表面上の原子が突発的に
探針２に接触し、探針２と試料３とがつながってしまう
可能性があるので、探針２が試料３から離れ易い状態に
しておくのが望ましい。そこで、図２の構成において、
ＨＶアンプ１０からＺ1 駆動部に至るフィードバック回
路においては、ＨＶアンプ１０は常時略電源電圧の上限
値近傍の電圧を出力するように設定されている。例えば
ＨＶアンプ１０の電源電圧が± 150Ｖであるとすると、
ＨＶアンプ１０は電源電圧の上限である＋ 150Ｖ近傍の
電圧、例えば＋130Ｖ〜＋ 150Ｖ未満の電圧を出力する
ように設定される。When the sample is observed in a high temperature state, the atoms on the surface of the sample 3 suddenly come into contact with the probe 2 as described above, and the probe 2 and the sample 3 are connected. Since there is a possibility, it is desirable to keep the probe 2 in a state where it is easy to separate from the sample 3. Therefore, in the configuration of FIG.
In the feedback circuit from the HV amplifier 10 to Z 1 driver, HV amplifier 10 is set so as to output a voltage upper limit value near the constant substantially the power supply voltage. For example, if the power supply voltage of the HV amplifier 10 is ± 150 V,
The HV amplifier 10 is set so as to output a voltage near +150 V which is the upper limit of the power supply voltage, for example, a voltage of +130 V to less than +150 V.
【００２３】ところで、ＨＶアンプ等のアンプは電源電
圧近傍で使用した場合には、同じ極性の電源電圧側への
応答性は遅くなるという性質を有している。即ち、例え
ばＨＶアンプ１０の通常の出力電圧を＋ 140Ｖに設定し
た場合には、それより高い電圧が出力される方向、この
場合には探針２を試料３に近づける方向の応答速度は遅
くなり、極性毎の応答性が異なる。When an amplifier such as an HV amplifier is used near a power supply voltage, it has a property that the response to the power supply voltage having the same polarity becomes slow. That is, for example, when the normal output voltage of the HV amplifier 10 is set to +140 V, the response speed in the direction in which a higher voltage is output, in this case, the direction in which the probe 2 approaches the sample 3 becomes slow. , The response is different for each polarity.
【００２４】従って、フィルタ８からＨＶアンプ１０を
経てＺ1 駆動部に至る第１のフィードバック回路におい
ては、常に電源電圧近傍で動作し、探針２を試料３から
遠ざける方向の応答速度より近づける方向の応答速度の
方が遅くなるものである。[0024] Thus, in a first feedback circuit extending in Z 1 driver via the HV amplifier 10 from the filter 8 it will always operate with a power supply near the direction closer than the response speed in a direction away probe 2 from the sample 3 Is slower in response speed.
【００２５】一方、ＨＶアンプ１０の出力は常に電源電
圧近傍を保持する必要がある。そのために設けられてい
るのがフィルタ８から分岐してコンパレータ１１、フィ
ルタ８′、ＨＶアンプ１２を経てＺ2 駆動部に至る第２
のフィードバック回路であり、このフィードバック回路
においては、フィルタ８′をフィルタ８より大きく、即
ち第１のフィードバック回路より応答速度を遅く設定
し、第１のフィードバック回路がＨＶアンプ１０の電源
電圧近傍で動作するようにＺ2 駆動部を制御する。な
お、ＶREF2は第１のフィードバック回路が動作するＨＶ
アンプ１０の電圧を設定するものである。On the other hand, it is necessary to keep the output of the HV amplifier 10 near the power supply voltage at all times. Comparator 11's are provided to their branches from the filter 8, the filter 8 ', a second lead to Z 2 driver via the HV amplifier 12
In this feedback circuit, the filter 8 'is set to be larger than the filter 8, that is, the response speed is set slower than that of the first feedback circuit, and the first feedback circuit operates near the power supply voltage of the HV amplifier 10. It controls the Z 2 driver to. Note that V REF2 is HV at which the first feedback circuit operates.
This is for setting the voltage of the amplifier 10.
【００２６】以上の構成により、プローブの帰還の極性
毎に応答速度を可変することができる。With the above configuration, the response speed can be varied for each polarity of the probe feedback.
【００２７】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能であることは当業者に明かである。例え
ば、上記実施例ではアナログフィードバックを行うもの
としたが、デジタルフィードバックを行うようにしても
よいものである。Although the embodiments of the present invention have been described above, it is obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and that various modifications are possible. For example, in the above embodiment, analog feedback is performed, but digital feedback may be performed.
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の第２の実施例の構成を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a second exemplary embodiment of the present invention.
【図３】 走査プローブ顕微鏡の従来のフィードバック
回路の構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration example of a conventional feedback circuit of a scanning probe microscope.
１…ＰＺＴスキャナ、２…探針、３…試料、４…電源、
５…電流／電圧変換器、６…対数アンプ、７…コンパレ
ータ、８…フィルタ、９…ＨＶアンプ、１０…ＨＶアン
プ、１１…コンパレータ、１２…ＨＶアンプ。1 PZT scanner, 2 probe, 3 sample, 4 power supply,
5 current / voltage converter, 6 logarithmic amplifier, 7 comparator, 8 filter, 9 HV amplifier, 10 HV amplifier, 11 comparator, 12 HV amplifier.
Claims (2)
試料に近づく方向のプローブの応答速度と、プローブが
試料から遠ざかる方向のプローブの応答速度を異ならせ
るために、試料の表面とプローブとの距離を制御するた
めのフィードバック回路中に、プローブが試料に近づく
方向のプローブの応答速度と、プローブが試料から遠ざ
かる方向のプローブの応答速度をそれぞれ独立して可変
できる手段を備えることを特徴とする走査プローブ顕微
鏡。 When the probe is moved slightly,
The response speed of the probe in the direction approaching the sample
Varying the response speed of the probe away from the sample
Therefore, in the feedback circuit for controlling the distance between the sample surface and the probe, the response speed of the probe when the probe approaches the sample and the response speed of the probe when the probe moves away from the sample are independent of each other. scanning probe microscope characterized by comprising a variable can means Te.
試料間の距離を制御するようにした走査プローブ顕微鏡
において、プローブの微動時において、プローブが試料
に近づく方向のプローブの応答速度と、プローブが試料
から遠ざかる方向のプローブの応答速度を異ならせたこ
とを特徴とする走査プローブ顕微鏡。2. A scanning probe microscope in which a distance between a probe and a sample is controlled by using a feedback circuit. When the probe is slightly moved, the response speed of the probe in the direction in which the probe approaches the sample and the probe moves from the sample. A scanning probe microscope characterized in that the response speed of a probe in a direction away from the probe is varied.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4270396A JP3069201B2 (en) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | Scanning probe microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4270396A JP3069201B2 (en) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | Scanning probe microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117850A JPH06117850A (en) | 1994-04-28 |
| JP3069201B2 true JP3069201B2 (en) | 2000-07-24 |
Family
ID=17485681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4270396A Expired - Fee Related JP3069201B2 (en) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | Scanning probe microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3069201B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5281992B2 (en) * | 2009-08-28 | 2013-09-04 | 株式会社日立製作所 | Scanning probe microscope and measuring method using the same |
-
1992
- 1992-10-08 JP JP4270396A patent/JP3069201B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06117850A (en) | 1994-04-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2689708B2 (en) | Bias current control circuit | |
| US5548453A (en) | Reproducing circuit for magneto-resistive head having an initial amplifying stage, a differential amplifying stage, and means for controlling the time of operation thereof | |
| US5365161A (en) | Stabilized voltage supply | |
| JPH04250509A (en) | Band-gap-voltage reference circuit using independent-power-supply type current source and method thereof | |
| US4908561A (en) | Servo amplifier circuit | |
| JP3069201B2 (en) | Scanning probe microscope | |
| US5293042A (en) | Servo circuit of scanning probe microscope | |
| JPH0315381B2 (en) | ||
| EP0706263B1 (en) | Comparator circuit operating on variable current | |
| JPH0577206B2 (en) | ||
| US6288588B1 (en) | Programmable delay circuit | |
| JP3091908B2 (en) | Scanning probe microscope | |
| US6147958A (en) | Information recording/reproducing apparatus and method using probe | |
| JPS6139880A (en) | Speed controller of dc motor | |
| JP2671396B2 (en) | DC motor speed control circuit | |
| JP2544746B2 (en) | Pulse width modulated wave generator | |
| JPH05284775A (en) | Motor drive circuit | |
| JPH09294051A (en) | Loop filter circuit | |
| JPH02120615A (en) | Displacement quantity detection circuit | |
| JP2632982B2 (en) | Motor drive circuit | |
| JP2990639B2 (en) | Light control device | |
| JP3065791B2 (en) | Semiconductor laser drive control circuit | |
| JPH05129702A (en) | Semiconductor laser driving control circuit | |
| JPH0544647B2 (en) | ||
| JPH0427725B2 (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990914 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000509 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080519 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |