JP3063136B2 - Lamp lighting device and exposure apparatus using the same - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、ランプを直流電圧をスイッチングした矩形
波状電圧で点灯するランプ点灯装置およびこれを用いた
露光装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial application field) The present invention relates to a lamp lighting device for lighting a lamp with a rectangular wave voltage obtained by switching a DC voltage, and an exposure apparatus using the same.

（従来の技術） 従来、複写機、ファクシミリ等OA機器における露光装
置にはハロゲンランプ等が用いられる。このようなラン
プを点灯するためのランプ点灯回路としては、たとえば
第９図に示すものが提案されている。このものは、交流
電流１の出力を整流してなる直流電源２の出力電圧を、
トランジスタ３等のスイッチング素子を含むスイッチン
グ装置４によってスイッチングして矩形波状の高周波電
圧を発生させる。この高周波電圧は、インダクタ５およ
びコンデンサ６にて平滑されランプ７を点灯するもので
ある。８はフライホイール用のダイオード、９は比較的
高抵抗からなる疑似負荷である。この装置においては、
点灯電圧を平滑化しているため、光出力のリップルが少
ないという利点がある。(Prior Art) Conventionally, a halogen lamp or the like is used as an exposure apparatus in OA equipment such as a copying machine and a facsimile. As a lamp lighting circuit for lighting such a lamp, for example, the one shown in FIG. 9 has been proposed. This rectifies the output voltage of the DC power supply 2 obtained by rectifying the output of the AC current 1,
Switching is performed by a switching device 4 including a switching element such as a transistor 3 to generate a rectangular wave-shaped high frequency voltage. This high frequency voltage is smoothed by the inductor 5 and the capacitor 6 and turns on the lamp 7. 8 is a flywheel diode, and 9 is a pseudo load having a relatively high resistance. In this device,
Since the lighting voltage is smoothed, there is an advantage that the ripple of the light output is small.

しかしながら、第９図のものは、平滑化のためにイン
ダクタ５、コンデンサ６およびフライホイール用のダイ
オード８が必要であるため、装置全体が大形化するとと
もに、高価格化するという問題があった。また、前記イ
ンダクタ５およびフライホイール用のダイオード８等が
電力を消費して発熱するが、これは負荷であるランプ７
に供給されない無駄な電力であり、その分装置の効率が
悪くなるものである。However, in FIG. 9, since the inductor 5, the capacitor 6, and the diode 8 for the flywheel are required for smoothing, there is a problem that the whole device becomes large and the price becomes high. . The inductor 5, the flywheel diode 8 and the like consume power and generate heat.
This is wasted power that is not supplied to the power supply, and the efficiency of the device is reduced accordingly.

これに対して、第10図に示すように、第９図における
インダクタ５、コンデンサ６およびフライホイール用ダ
イオード８を削除することが考えられる。この場合、ラ
ンプ７への供給電圧は、矩形波状の電圧となる。On the other hand, as shown in FIG. 10, it is conceivable to omit the inductor 5, the capacitor 6, and the flywheel diode 8 in FIG. In this case, the supply voltage to the lamp 7 is a rectangular wave voltage.

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、本願発明者らが第10図の点灯回路につ
いて研究した結果、つぎのような問題があることが判明
した。すなわち、ランプ７はフィラメントコイルにより
インダクタンス成分を有するため、第10図のもののよう
に矩形波状の電圧を印加されると、前記矩形波状電圧の
立下がり時に逆起電力によりスパイク状の過電圧を発生
することが判った。ものため、前記過電圧がトランジス
タ３およびランプ７に印加され、トランジスタ３および
ランプ７の寿命を劣化させることがあった。(Problems to be Solved by the Invention) However, as a result of researching the lighting circuit of FIG. 10 by the present inventors, it has been found that there are the following problems. That is, since the lamp 7 has an inductance component due to the filament coil, when a rectangular waveform voltage is applied as shown in FIG. 10, a spike-like overvoltage is generated by the back electromotive force when the rectangular waveform voltage falls. It turns out. For this reason, the overvoltage is applied to the transistor 3 and the lamp 7, and the life of the transistor 3 and the lamp 7 may be deteriorated.

本発明はこのような従来装置の課題を解決するために
なされたもので、簡単な構成により装置全体の小形化お
よび低価格化が可能で、しかも、過電圧がトランジスタ
等のスイッチング素子およびランプに加わるのを極力防
止して、スイツチング素子の破壊、ランプの単寿命化の
問題を低減できるランプ点灯装置を提供することを目的
とするものである。また、このようなランプ点灯装置を
用いることによって、信頼性が高く、装置全体の小形
化、低価格化を図れる露光装置を提供することを目的と
するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the problems of the conventional device, and it is possible to reduce the size and cost of the entire device with a simple configuration, and to apply overvoltage to a switching element such as a transistor and a lamp. It is an object of the present invention to provide a lamp lighting device capable of minimizing the above problem and reducing the problems of destruction of the switching element and reduction in the life of the lamp. It is another object of the present invention to provide an exposure apparatus which has high reliability by using such a lamp lighting device, and can reduce the size and cost of the entire device.

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本願の特許請求の範囲第１項に記載の発明（以下、第
１発明という。）は、直流電圧スイッチング装置にてス
イッチングした矩形波状電圧でランプを点灯するととも
に、前記ランプと並列的に、前記ランプがインダクタン
ス成分の逆起電力により発生しようとするパルス状の過
電圧を抑制するバイパス回路を設けたことを特徴とする
ものである。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The invention described in claim 1 of the present application (hereinafter, referred to as a first invention) is a rectangular wave voltage switched by a DC voltage switching device. In addition to turning on the lamp, a bypass circuit is provided in parallel with the lamp to suppress a pulse-like overvoltage generated by the lamp due to a back electromotive force of an inductance component.

特許請求の範囲第２項に記載された発明（以下、第２
発明という。）は、前記第１発明に前記ランプのランプ
電圧を検出する変圧器を設けるとともに、この変圧器の
出力に応じて前記スイッチング装置の出力を変化させる
制御装置を設け、前記バイパス回路を前記ランプおよび
変圧器に対して並列的に設けたことを特徴とするもので
ある。The invention described in claim 2 (hereinafter referred to as “second invention”)
Invented. In the first invention, a transformer for detecting a lamp voltage of the lamp is provided in the first invention, and a control device for changing an output of the switching device according to an output of the transformer is provided, and the bypass circuit is connected to the lamp and the lamp. The transformer is provided in parallel with the transformer.

特許請求の範囲第３項に記載された発明（以下、第３
発明という。）は、前記第１発明に前記ランプのランプ
電流を検出する変流器を設けるとともに、この変流器の
出力に応じて前記スイッチング装置の出力を変化させる
制御装置を設け、前記バイパス回路を前記ランプおよび
変流器に対して並列的に設けたことを特徴とするもので
ある。The invention described in claim 3 (hereinafter referred to as “third invention”)
Invented. ) Includes a current transformer for detecting a lamp current of the lamp in the first invention, a control device for changing an output of the switching device in accordance with an output of the current transformer, and The lamp and the current transformer are provided in parallel.

特許請求の範囲第４項に記載された発明（以下、第４
発明という。）は、前記第１〜３発明におけるバイパス
回路を抵抗およびコンデンサを直列に含むように構成し
たことを特徴とするものである。The invention described in claim 4 (hereinafter referred to as the fourth invention)
Invented. ) Is characterized in that the bypass circuits according to the first to third aspects of the present invention are configured to include a resistor and a capacitor in series.

特許請求の範囲第５項に記載された発明（以下、第５
発明という。）は、前記第１〜３発明におけるバイパス
回路を整流素子を含むように構成したことを特徴とする
ものである。The invention described in claim 5 (hereinafter referred to as claim 5)
Invented. ) Is characterized in that the bypass circuits according to the first to third aspects of the invention are configured to include a rectifying element.

特許請求の範囲第６項に記載された発明（以下、第６
発明という。）は、前記第１〜５発明のランプ点灯装置
を露光装置に用いたことを特徴とするものである。The invention described in claim 6 (hereinafter referred to as claim 6)
Invented. The parentheses are characterized in that the lamp lighting devices according to the first to fifth aspects of the present invention are used in an exposure device.

（作用） 第１発明は、矩形波状電圧の立下がり時、ランプ電流
が急俊に遮断するが、ランプフィラメントのインダクタ
ンス成分に蓄積されたエネルギはバイパス回路を介して
放電される。したがって、前記インダクタンス成分によ
るスパイク状の過電圧の発生は抑制され、スイッチング
装置およびランプに前記過電圧が加わるのを防止できる
かあるいは加わる電圧を低減化できる。(Operation) In the first invention, when the rectangular wave voltage falls, the lamp current is rapidly cut off, but the energy stored in the inductance component of the lamp filament is discharged via the bypass circuit. Therefore, generation of a spike-like overvoltage due to the inductance component is suppressed, and the overvoltage can be prevented from being applied to the switching device and the lamp, or the applied voltage can be reduced.

第２発明は、変圧器の出力に応じて前記スイッチング
装置の出力を変化させるから、ランプ電圧一定化（光出
力の安定化）あるいは過電圧印加の防止を図ることがで
きるとともに、前記変圧器が発生しようとするパルス状
の過電圧に対しても前記バイパス回路が抑制する。すな
わち、バイパス回路の兼用を図ることによって、装置全
体の小形化および低価格化を達成できる。According to the second aspect of the present invention, the output of the switching device is changed according to the output of the transformer, so that the lamp voltage can be stabilized (light output can be stabilized) or the overvoltage can be prevented from being applied. The bypass circuit also suppresses a pulse-like overvoltage to be attempted. That is, the size and cost of the entire device can be reduced by also using the bypass circuit.

第３発明は、変流器の出力に応じてスイッチング装置
の出力を変化させるから、ランプ電流値の一定化（光出
力の安定化）あるいは過電流の防止を図ることができる
とともに、前記変流器が発生しようとするパルス状の過
電圧に対しても前記バイパス介等が抑制する。すなわ
ち、第３発明においてもバイパス回路の兼用を図ること
によって、装置全体の小形化および低価格化を達成でき
る。According to the third invention, the output of the switching device is changed in accordance with the output of the current transformer, so that the lamp current value can be stabilized (light output can be stabilized) or overcurrent can be prevented, and the current The bypass or the like suppresses a pulse-like overvoltage generated by the device. That is, also in the third invention, the size and cost of the entire device can be reduced by also using the bypass circuit.

第４発明は、前記第１〜３発明のバイパス回路が抵抗
およびコンデンサを直列に含んでなるものであるから、
簡単な構成でスパイク状の過電圧を抑制できる。According to a fourth aspect, since the bypass circuit according to the first to third aspects includes a resistor and a capacitor in series,
A spike-like overvoltage can be suppressed with a simple configuration.

第５発明は、バイパス回路が整流素子を含んでなるも
のであるから、構成を一層簡単化できる。In the fifth invention, the configuration can be further simplified because the bypass circuit includes a rectifying element.

第６発明は、上記のような第１〜５発明のいずれかを
露光装置に用いたので、信頼性が高く、装置全体の小形
化、低価格化を図れる。The sixth invention uses any one of the first to fifth inventions as described above in an exposure apparatus, so that the reliability is high and the entire apparatus can be reduced in size and cost.

（実施例） 以下、第１図および第２図を参照して本発明の一実施
例を説明する。10は直流電源で、本実施例では交流電源
11の出力を整流平滑するものである。なお、直流電源10
としては、非平滑化直流電圧を出力するもの、脈流電圧
の谷部分のみを埋めた電圧を出力するもの等であっても
よい。12は前記直流電源の出力をスイッチングして矩形
波状の電圧を出力するスイッチング装置で、たとえばス
イッチング素子としてのトランジスタ13と、このスイッ
チング素子13をたとえば数KHz〜数十KHzの周波数でオン
・オフするスイッチング制御装置14とから構成されてい
る。前記矩形波状とは、既に述べたように、ランプ等の
インダクタンス成分がパルス状の電圧を誘起する急俊な
立上がりおよび立下がりを有する波形を意味するもの
で、頂部波形は問わないものである。たとえば、前記直
流電源10の出力電圧が商用交流電圧を整流しただけの脈
流電圧の場合、これをスイッチングすると、頂部波形は
正弦波の一部となるが、本発明では、このようなものを
含めて矩形波状と称する。なお、前記スイッチング制御
装置としては、周知の発信装置等を用いることができ
る。また、この場合、前記発信装置のオンデューティを
変化することによって、前記スイッチング装置12の出力
を変化できることも周知である。15はランプたとえばハ
ロゲンランプで、前記スイッチング装置12の出力を供給
されて点灯するものである。本発明では、前記スイッチ
ング装置12の出力を平滑することなく、矩形波状のまま
ランプに供給する。16はバイパス回路である。本実施例
においては、コンデンサ17および抵抗18の直列回路から
なる。19は疑似負荷用の抵抗である。Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. Reference numeral 10 denotes a DC power supply, and in this embodiment, an AC power supply
This is to rectify and smooth the output of 11. Note that the DC power supply 10
For example, a device that outputs a non-smoothed DC voltage, a device that outputs a voltage in which only a valley portion of a pulsating voltage is filled, or the like may be used. Reference numeral 12 denotes a switching device that switches the output of the DC power supply to output a rectangular wave voltage, for example, a transistor 13 as a switching element, and turns the switching element 13 on and off at a frequency of, for example, several KHz to several tens KHz. And a switching control device 14. As described above, the rectangular waveform means a waveform having an abrupt rise and fall in which an inductance component of a lamp or the like induces a pulse-like voltage, and the top waveform does not matter. For example, when the output voltage of the DC power supply 10 is a pulsating voltage that is obtained by simply rectifying a commercial AC voltage, when this is switched, the top waveform becomes a part of a sine wave. It is referred to as a rectangular wave shape. Note that a known transmitting device or the like can be used as the switching control device. In this case, it is also known that the output of the switching device 12 can be changed by changing the on-duty of the transmitting device. Reference numeral 15 denotes a lamp, for example, a halogen lamp, which is turned on when supplied with the output of the switching device 12. In the present invention, the output of the switching device 12 is supplied to the lamp in the form of a rectangular wave without smoothing. 16 is a bypass circuit. In this embodiment, it is composed of a series circuit of a capacitor 17 and a resistor 18. 19 is a dummy load resistor.

つぎに、本実施例の作用を説明する。交流電源11が投
入されると、直流電源10がこの交流出力を整流平滑す
る。また、スイッチング装置12がオン・オフして前記整
流平滑化された直流電圧をスイッチングする。そして、
このスイッチングにより生じた矩形波状電圧を供給され
てランプ15は点灯する。ランプ15はそのフィラメント構
造上インダクタンス成分を有するため、前記矩形波状電
圧を印加されると、その急俊な立上がり時および立下が
り時に逆起電力によってスパイク状の過電圧を発生しよ
うとする。しかしながら、本発明においては、バイパス
回路16を有するため、前記インダクタンス成分のエネル
ギを放電してスパイク状電圧の発生を抑制する。第２図
（ａ）は本実施例におけるランプ15両端の電圧波形を示
すものであり、第２図（ｂ）は第10図のもののランプ電
圧波形を示すものである。第２図（ａ）、（ｂ）の比較
からも明らかなように、本発明のものは、パルス状電圧
を格段に抑制できる。したがって、前記過電圧がスイッ
チング素子13に加わってスイッチング素子13を破壊する
ことを防止できる。また、ランプ15に定格以上の電圧を
印加してランプ寿命を損なうことを防止する。Next, the operation of the present embodiment will be described. When the AC power supply 11 is turned on, the DC power supply 10 rectifies and smoothes this AC output. Further, the switching device 12 switches on and off to switch the rectified and smoothed DC voltage. And
The rectangular wave voltage generated by this switching is supplied, and the lamp 15 is turned on. Since the lamp 15 has an inductance component due to its filament structure, when the rectangular wave-like voltage is applied, it tends to generate a spike-like overvoltage due to the back electromotive force at the time of rapid rise and fall. However, in the present invention, since the bypass circuit 16 is provided, the energy of the inductance component is discharged to suppress generation of a spike-like voltage. FIG. 2 (a) shows the voltage waveform across the lamp 15 in this embodiment, and FIG. 2 (b) shows the lamp voltage waveform of FIG. As is clear from the comparison between FIGS. 2A and 2B, the present invention can significantly suppress the pulse voltage. Therefore, it is possible to prevent the overvoltage from being applied to the switching element 13 and destroying the switching element 13. In addition, it is possible to prevent the lamp life from being impaired by applying a voltage higher than the rating to the lamp 15.

第３図を参照して本発明の他の実施例を説明する。第
１図と同じ部分には、同じ符号を付して説明を省略る。
本実施例におけるバイパス回路20は、整流器からなるも
のである。本実施例においても、バイパス回路20がイン
ダクタンス成分の蓄積エネルギをバイパスするから、ス
パイク状電圧の発生を抑制できる。他の作用は第１図の
ものと同様である。Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
The bypass circuit 20 according to the present embodiment includes a rectifier. Also in the present embodiment, since the bypass circuit 20 bypasses the stored energy of the inductance component, the generation of the spike-like voltage can be suppressed. Other operations are the same as those in FIG.

第４図に本発明の第３の実施例を示す。本実施例にお
いても、第１図または第３図と同じ部分には同じ符号を
付してある。本実施例は、ランプ15のランプ電圧を検出
するための変圧器21、この変圧器21の出力に応じて前記
スイッチング装置12の出力を変化させる制御装置22を設
けるとともに、これら前記ランプ15および変圧器21より
スイッチング装置12側で、かつ、これらランプ15および
変圧器21に対して並列的にバイパス回路20を設けるよう
にしたものである。なお、抵抗23、24は分圧用であり、
25は前記変圧器の出力を整流および実効値電圧に変換す
る実効値変換回路、26は前記実効値変換回路の出力と基
準値とを比較する比較回路である。FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention. Also in this embodiment, the same parts as those in FIG. 1 or FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. In this embodiment, a transformer 21 for detecting the lamp voltage of the lamp 15 and a control device 22 for changing the output of the switching device 12 according to the output of the transformer 21 are provided. A bypass circuit 20 is provided on the switching device 12 side of the unit 21 and in parallel with the lamp 15 and the transformer 21. The resistors 23 and 24 are for partial pressure,
25 is an effective value conversion circuit for rectifying the output of the transformer and converting it to an effective value voltage, and 26 is a comparison circuit for comparing the output of the effective value conversion circuit with a reference value.

本実施例においては、変圧器22にてランプ電圧を検出
し、この検出値に応じてスイッチング装置を制御するこ
とによって、スイッチング装置の出力を変化させるか
ら、ランプ15の印加電圧を一定化して、ランプ15の光出
力の一定化を図ることができる。また、バイパス回路20
が、前記ランプ15および前記変圧器22のインダクタンス
成分の両方に対してエネルギバイパス回路を形成するか
ら、それぞれからのスパイク状電圧発生を抑制できる。In the present embodiment, the lamp voltage is detected by the transformer 22, and the output of the switching device is changed by controlling the switching device in accordance with the detected value. The light output of the lamp 15 can be made constant. Also, the bypass circuit 20
However, since an energy bypass circuit is formed for both the lamp 15 and the inductance component of the transformer 22, spike-like voltage generation from each of them can be suppressed.

第５図を参照して本発明の第４の実施例を説明する。
本実施例においても、第１図または第３図と同じ部分に
は、同じ符号を付して説明を省略する。本実施例は、ラ
ンプ15と直列に交流器30を設けるとともに、この変流器
30の出力に応じて前記スイッチング装置12の出力を変化
させる制御装置31を設け、前記ランプ15および前記変流
器30の直列回路に対して、バイパス回路20を設けたもの
である。A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
Also in the present embodiment, the same parts as those in FIG. 1 or FIG. In the present embodiment, an AC device 30 is provided in series with the lamp 15 and the current transformer
A control device 31 for changing the output of the switching device 12 according to the output of 30 is provided, and a bypass circuit 20 is provided for a series circuit of the lamp 15 and the current transformer 30.

本実施例において、ランプ15が短絡したような場合
に、過電流が流れると、これを変流器30にて検出し、制
御装置31にてスイッチング装置12の出力を低減するよう
に制御する。そして、これらランプ15および変流器30が
そのインダクタンス成分により、スパイク状電圧を発生
しようとしても、バイパス回路20がエネルギバイパス回
路を形成しているから、スイッチング状電圧の発生を抑
制する。In this embodiment, when the lamp 15 is short-circuited and an overcurrent flows, this is detected by the current transformer 30 and the control device 31 controls the output of the switching device 12 to be reduced. Even if the lamp 15 and the current transformer 30 attempt to generate a spike voltage due to their inductance components, the generation of the switching voltage is suppressed because the bypass circuit 20 forms an energy bypass circuit.

第６図は本発明の第５の実施例を示すものである。本
実施例において、直流電源35は、雑音防止回路36、整流
器37、平滑コンデンサ38、この平滑コンデンサ38に対す
る突入電流防止用の抵抗39、この抵抗39を短絡可能なス
イッチおよびこのスイッ40の導通を制御するタイミング
回路41を有してなるものである。また、本実施例のスイ
ッチング装置50は、スイッチング素子51として電界効果
形トランジスタを用いたものである。前記タイミング回
路41は、この電界効果形トランジスタの両端電圧に応じ
て、前記スイッチ40にオン信号を与えるものである。た
とえば、電界効果形トランジスタの両端電圧にて充電さ
れる時定数回路を有し、この時定数回路の電圧値が所定
値に達したときにオン信号を出力するものである。この
ようなものは、当該技術分野に属する者にとっては周知
である。さらに、本実施例は第４図に示したような電圧
検出装置55および第５図に示したような電流検出装置56
を有し、これら両検出装置の出力を制御装置57に入力し
ている。そして、制御装置57は、電圧検出信号に応じて
スイッチング装置50をその出力が一定化されるように制
御し、電流検出信号に応じて過電流時の電流を抑制する
ように制御するものである。このような制御は、前述し
たように、たとえばスイッチング素子のオンデューティ
を制御することによって行える。本実施例の作用は容易
に理解できるので、説明を省略するが、本実施例におけ
るランプ電圧波形を第７図に示す。これに対して、第６
図からバイパス回路20を取除いた場合のランプ電圧波形
は第８図に示すとおりであった。これら第７図および第
８図からも明らかなように、本発明のものは、スパイク
電圧を確実に抑制していることがわかる。FIG. 6 shows a fifth embodiment of the present invention. In the present embodiment, the DC power supply 35 includes a noise prevention circuit 36, a rectifier 37, a smoothing capacitor 38, a resistor 39 for preventing an inrush current to the smoothing capacitor 38, a switch capable of short-circuiting the resistor 39, and conduction of the switch 40. It has a timing circuit 41 for controlling. Further, the switching device 50 of the present embodiment uses a field-effect transistor as the switching element 51. The timing circuit 41 supplies an ON signal to the switch 40 according to the voltage between both ends of the field effect transistor. For example, it has a time constant circuit charged by the voltage across the field effect transistor, and outputs an ON signal when the voltage value of the time constant circuit reaches a predetermined value. Such is well known to those skilled in the art. Further, in this embodiment, a voltage detecting device 55 as shown in FIG. 4 and a current detecting device 56 as shown in FIG.
The outputs of both of these detection devices are input to the control device 57. The control device 57 controls the switching device 50 so that its output is constant according to the voltage detection signal, and controls the current at the time of overcurrent according to the current detection signal. . Such control can be performed, for example, by controlling the on-duty of the switching element, as described above. Since the operation of the present embodiment can be easily understood, the description is omitted, but the lamp voltage waveform in the present embodiment is shown in FIG. In contrast, the sixth
The lamp voltage waveform when the bypass circuit 20 was removed from the figure was as shown in FIG. As is clear from FIGS. 7 and 8, it can be seen that the device of the present invention reliably suppresses the spike voltage.

なお、以上のようなランプ点灯装置を用いた露光装置
の実施例を示す図は省略するが、周知のドラムや帯電器
あるいは読取りセンサ等と組合わせることによって実施
できるものである。そして、このようなことは、当該技
術分野に属する者であれば、容易になし得るものであ
る。Although an illustration of an embodiment of an exposure apparatus using the above-described lamp lighting device is omitted, it can be implemented by combining with a known drum, charger, reading sensor, or the like. And such a thing can be easily performed if it belongs to the said technical field.

［発明の効果］ 以上詳述したように第１発明は、ランプを直流電圧を
スイッチングした矩形波状電圧出点灯するもので、前記
ランプと並列的にバイパス回路を設けたから、前記ラン
プのインダクタンス成分による逆起電力にてパルス状電
圧を発生しようとするのを効果的に抑制できる。このた
め、スイッチング素子が破壊したり、ランプが短寿命に
なったりすることを防止できる。[Effects of the Invention] As described above in detail, the first invention is to turn on and off a lamp with a rectangular wave voltage obtained by switching a DC voltage, and a bypass circuit is provided in parallel with the lamp. Attempts to generate a pulsed voltage with the back electromotive force can be effectively suppressed. Therefore, it is possible to prevent the switching element from being broken or the lamp from having a short life.

第２発明は、変圧器を設けてランプ電圧を検出し、こ
の検出信号に応じてスイッチング装置の出力を変化させ
るようにしたから、ランプ電圧の一定化あるいは過電圧
保護を行える。そして、前記変圧器およびランプに対し
てバイパス回路を共通にしたから、小形化および低価格
化を実現しながら第１発明と同様な効果を奏する。According to the second invention, a lamp voltage is detected by providing a transformer, and the output of the switching device is changed according to the detection signal. Therefore, the lamp voltage can be stabilized or overvoltage protection can be performed. Since the transformer and the lamp have a common bypass circuit, the same effect as that of the first invention can be obtained while realizing a reduction in size and cost.

第３発明は、変流器を設けてランプ電流を検出し、こ
の検出信号に応じてスイッチング装置の出力を変化させ
るようにしたから、ランプ電流の一定化あるいは過電流
保護を行える。そして、前記変流器およびランプに対し
てバイパス回路を共通にしたから、小形化および低価格
化を実現しながら第１発明と同様な効果を奏する。In the third invention, a current transformer is provided to detect the lamp current, and the output of the switching device is changed according to the detection signal. Therefore, the lamp current can be stabilized or overcurrent can be protected. Since the current transformer and the lamp have a common bypass circuit, the same effect as that of the first invention can be obtained while realizing a reduction in size and cost.

第４、５発明は、バイパス回路をコンデンサおよび抵
抗を直列に含んで、あるいは整流素子を含んで構成した
から、簡単で安価に提供できる。According to the fourth and fifth aspects of the present invention, since the bypass circuit includes a capacitor and a resistor in series or includes a rectifying element, it can be provided simply and inexpensively.

第６発明は、第１〜６発明のいずれかのランプ点灯装
置を用いて露光装置を構成したから、これら第１〜６発
明が有する効果を備えた露光装置を提供できる。According to the sixth aspect of the invention, since the exposure apparatus is configured using any one of the lamp lighting devices of the first to sixth aspects, it is possible to provide an exposure apparatus having the effects of the first to sixth aspects.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は本発
明と従来技術とを比較して示すための概略電圧波形図、
第３図〜第６図はそれぞれ本発明の異なる実施例を示す
回路図、第７図は第６図に示した実施例のランプ電圧波
形図、第８図は第６図からバイパス回路を取除いた場合
のランプ電圧波形図、第９図および第10図はそれぞれ従
来技術を示す回路図である。 10、35……直流電源、 12、50……スイッチング装置、 15……ランプ、 16、20……バイパス回路、 21……変圧器、 22、31、57……制御装置。FIG. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic voltage waveform diagram for showing a comparison between the present invention and the conventional art,
3 to 6 are circuit diagrams showing different embodiments of the present invention, FIG. 7 is a ramp voltage waveform diagram of the embodiment shown in FIG. 6, and FIG. 8 is a diagram showing a bypass circuit from FIG. FIGS. 9 and 10 are circuit diagrams showing the prior art, respectively. 10, 35 ... DC power supply, 12, 50 ... Switching device, 15 ... Lamp, 16, 20 ... Bypass circuit, 21 ... Transformer, 22, 31, 57 ... Control device.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−175032（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−77666（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−182694（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−251585（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−95167（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−198094（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−10699（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−109296（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−151198（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−61992（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−173738（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−285296（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−141596（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H05B 37/00 - 39/10 H05B 41/26 - 41/298 G03G 15/04 G03G 15/043 H02M 3/155 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-58-175032 (JP, A) JP-A-60-77666 (JP, A) JP-A-60-182694 (JP, A) JP-A-1- 251585 (JP, A) JP-A-2-95167 (JP, A) JP-A-60-198094 (JP, A) JP-A-2-10699 (JP, A) JP-A-57-109296 (JP, A) JP-A-57-151198 (JP, A) JP-A-2-6192 (JP, A) JP-A-2-173738 (JP, A) JP-A-3-285296 (JP, A) JP-A-3-141596 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) H05B 37/00-39/10 H05B 41/26-41/298 G03G 15/04 G03G 15/043 H02M 3/155

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】直流電源と； この直流電源からの出力電圧をスイッチングして矩形波
状の直流電圧を出力するスイッチング装置と； このスイッチング装置の矩形波状出力にて点灯されるフ
ィラメントを有するランプと； 前記スイッチング装置の出力側に前記ランプと並列的に
設けられ、前記ランプが逆起電力にて発生するパルス状
の電圧を抑制するバイパス回路と； を具備したことを特徴とするランプ点灯装置。A DC power supply; a switching device for switching an output voltage from the DC power supply to output a rectangular DC voltage; a lamp having a filament which is lit by a rectangular wave output of the switching device; A lamp circuit provided on the output side of the switching device in parallel with the lamp, wherein the lamp suppresses a pulse-like voltage generated by the back electromotive force. 【請求項２】直流電源と； この直流電源からの出力電圧をスイッチングして矩形波
状の直流電圧を出力するスイッチング装置と； このスイッチング装置の矩形波状出力にて点灯されるフ
ィラメントを有するランプと； このランブに並列的に設けられた変圧器と； この変圧器の出力に応じて前記スイッチング装置からの
出力を変化させる制御装置と： 前記スイッチング装置の出力側に前記ランプおよび前記
変圧器と並列的に設けられ、前記ランプおよび前記変圧
器が逆起電力にて発生するパルス状の電圧を抑制するバ
イパス回路と； を具備したことを特徴とするランプ点灯装置。2. A DC power supply; a switching device for switching an output voltage from the DC power supply to output a rectangular DC voltage; and a lamp having a filament which is lit by the rectangular wave output of the switching device. A transformer provided in parallel with the lamp; a control device for changing an output from the switching device according to an output of the transformer; and a lamp and the transformer in parallel with an output side of the switching device. And a bypass circuit for suppressing a pulse-like voltage generated by the lamp and the transformer by a back electromotive force. 【請求項３】直流電源と； この直流電源からの出力電圧をスイッチングして矩形波
状の直流電圧を出力するスイッチング装置と； このスイッチング装置の矩形波状出力にて点灯されるフ
ィラメントを有するランプと； このランプの直列的に設けられた変流器と； この変流器の出力に応じて前記スイッチング装置からの
出力を変化させる制御装置と； 前記スイッチング装置の出力側に前記ランプおよび前記
変流器と並列的に設けられ、前記ランプおよび前記変流
器が逆起電力にて発生するパルス状の電圧を抑制するバ
イパス回路と； を具備したことを特徴とするランプ点灯装置。3. A DC power supply; a switching device for switching an output voltage from the DC power supply to output a rectangular DC voltage; and a lamp having a filament which is lit by the rectangular output of the switching device. A current transformer provided in series with the lamp; a control device for changing an output from the switching device according to an output of the current transformer; a lamp and the current transformer at an output side of the switching device. And a bypass circuit that is provided in parallel with the lamp and suppresses a pulse-like voltage generated by the lamp and the current transformer with a back electromotive force. 【請求項４】前記バイパス回路が抵抗およびコンデンサ
を直列に含んでなるものであることを特徴とする特許請
求の範囲（１）〜（３）のいずれか一に記載のランプ点
灯装置。4. The lamp lighting device according to claim 1, wherein said bypass circuit comprises a resistor and a capacitor in series. 【請求項５】前記バイパス回路が整流素子を含んでなる
ものであることを特徴とする特許請求の範囲（１）〜
（３）のいずれか一に記載のランプ点灯装置。5. The method according to claim 1, wherein said bypass circuit includes a rectifying element.
The lamp lighting device according to any one of (3). 【請求項６】特許請求の範囲（１）〜（５）のいずれか
一に記載のランプ点灯装置を具備したことを特徴とする
露光装置。6. An exposure apparatus comprising the lamp lighting device according to any one of claims (1) to (5).