JP3061247B2 - 黒鉛質フィルム、黒鉛質成形体、その前駆体フィルム及びそれらの製造方法 - Google Patents
黒鉛質フィルム、黒鉛質成形体、その前駆体フィルム及びそれらの製造方法Info
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Description
軟性に優れた黒鉛質フィルム又はシート、並びにその黒
鉛質フィルムを用いて成形したスパイラル状物、積層
物、多角面体、球状体等の複雑形状の三次元的な立体構
造体を含む黒鉛質成形体、黒鉛質フィルム製造用前駆体
フィルム、及びそれらの製造方法に関する。
の高温において自由端の状態で処理されたものであり、
強度と伸度に優れた黒鉛質フィルムで構成され、電極材
料、発熱体、構造材、耐熱材、耐熱シール材、X線用部
品等に利用される他、複雑形状も可能なため精密部品や
成形体等にも応用できる。
品性、電気伝導性等から、電極材料、発熱体、断熱材等
の構造材等の工業用材料に広く使用されてきた。上記用
途に使用する目的で黒鉛質材料をフィルム状、シート状
にしたものは既に知られている(例えば、特開平5−4
3213号公報、特開平4−149013号公報、特開
平3−75211号公報参照。)。
高分子である芳香族ポリイミドフィルム等の高分子フィ
ルムを前駆体として用い、これを1000℃以上の高温
で炭素化(焼成)処理し炭素化フィルムとし、圧延処理
を施し、さらに分子鎖の解裂・再結合を繰り返し、分解
生成物として種々のガスを発生させつつ、最終的には六
員環網状平面分子を形成した黒鉛質フィルムとする方法
等である。
ルムの製造方法により得られた黒鉛フィルムを使用して
三次元的な立体構造体を製造した場合には、黒鉛フィル
ムの引張り強さ及び引張り伸度が弱いため、黒鉛フィル
ムが折り曲げ加工等により割れてしまい、加工特性が悪
いという問題があった。また、そのため複雑形状の多角
面体、球状体等の三次元的な立体構造体を製造すること
は困難であった。
が10.0kgf/mm2 以上で且つ引張り伸度が1.
5%以上であるという強靱且つ柔軟性のある黒鉛質フィ
ルムの報告例はなかった。またそのような黒鉛質フィル
ムからなる、強度、柔軟性に優れた三次元的に複雑形状
の黒鉛質成形体の報告例もなかった。
べく、引張り強さ及び引張り伸度が共に強く、多角面
体、球状体等の三次元的に複雑形状の黒鉛質構造体を成
形することが可能な黒鉛質フィルムを提供すること、三
次元的に複雑形状が可能で強度が高く、柔軟性のある黒
鉛質成形体を提供すること、そのような黒鉛質フィルム
及び黒鉛質成形体を製造するための前駆体フィルムを提
供すること、並びにそれらの製造方法を提供することを
目的とする。
るために、本発明の黒鉛質フィルムは、引張り強さが1
0.0kgf/mm2 以上、引張り伸度が1.5%以上
で、且つ炭素含有率が99重量%以上であることを特徴
とする。
0.0kgf/mm2 以上、引張り伸度が1.5%以上
で、且つ炭素含有率が99重量%以上の黒鉛質フィルム
から成形されていることを特徴とする。
(1)ガラス転移温度が350℃以上、引張り強さが1
0kgf/mm2 以上及び引張り弾性率が200kgf
/mm2 以上のポリイミドフィルムであって、且つ該フ
ィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強さの差及びそれ
らの方向の弾性率の差がそれぞれ10%以内のポリイミ
ドフィルムを自由端の状態で不活性ガスまたは真空中で
炭素化し、(2)次いで、得られた炭素化フィルムを不
活性ガスまたは真空中で2500℃以上の温度で熱処理
することを特徴とする。
は、(1)ガラス転移温度が350℃以上、引張り強さ
が10kgf/mm2 以上及び引張り弾性率が200k
gf/mm2 以上のポリイミドフィルムであって、且つ
該フィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強さの差及び
それらの方向の弾性率の差がそれぞれ10%以内のポリ
イミドフィルムを自由端の状態で不活性ガスまたは真空
中で炭素化し、(2)次いで、得られた炭素化フィルム
を不活性ガスまたは真空中で2500℃以上の温度で熱
処理し、(3)次いで、得られた黒鉛質フィルムに圧延
処理を施すことを特徴とする。
した黒鉛質フィルムを用いて成形することを特徴とす
る。
(1)ガラス転移温度が350℃以上、引張り強さが1
0kgf/mm2 以上及び引張り弾性率が200kgf
/mm2 以上のポリイミドフィルムであって、且つ該フ
ィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強さの差及びそれ
らの方向の弾性率の差がそれぞれ10%以内のポリイミ
ドフィルムを用いて自由端の状態の成形体とし、(2)
次いで、該成形体を不活性ガスまたは真空中で自由端の
状態で炭素化し、(3)次いで、2500℃以上の温度
で熱処理することを特徴とする。
ルムは、ガラス転移温度が350℃以上、引張り強さが
10kgf/mm2 以上及び引張り弾性率が200kg
f/mm2 以上のポリイミドフィルムであって、且つ該
フィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強さの差及びそ
れらの方向の弾性率の差がそれぞれ10%以内のポリイ
ミドフィルムであることを特徴とする。
おいて、「自由端」、「自由端の状態」とは、フィルム
内における任意の2点間が固定されていない状態、すな
わち、フィルムが自由に収縮できる状態のことをいい、
また「自由端で処理」とは、このような状態で処理する
こと、すなわち、自由に収縮できる状態で処理すること
をいう。フィルムを自由端の状態にするには、例えば、
長尺フィルムでは芯にフィルムを巻いた後に芯を取り去
ることで自由端の状態にすることができ、また、折り畳
むことによりすることができ、また短尺フィルムではそ
のままの状態でよい。
駆体フィルムとして用いることができるポリイミドは、
テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンを用いて公
知の方法により反応させたポリイミド、あるいはテトラ
カルボン酸二無水物、芳香族ジアミン及び多価アミンを
用いて公知の方法により反応させて得ることが可能であ
る。
ミド酸のモノマー成分としては、テトラカルボン酸二無
水物としてピロメリット酸二無水物、ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物等が代表として挙げられる。芳香族ジアミンと
しては、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジア
ミン、ベンジジン、o−トルイジン、3,3′−ジクロ
ロ−4,4′−ジアミノビフェニル、4,4′−ジアミ
ノジフェニルメタン、4,4′−ジアミノジフェニルエ
ーテル等が代表として挙げられる。
構造中に三個以上のアミン基及び/又はアンモニウム塩
基を有する多価アミンを用いても構わない。多価アミン
としては、3,3′,4,4′−テトラアミノビフェニ
ル、3,3′,4−トリアミノビフェニル、1,2,4
−トリアミノベンゼン、3,3′,4,4′−テトラア
ミノビフェニル・四塩酸塩等が代表として挙げられる。
族ジアミンを反応させて、ポリアミド酸を前駆体として
調製して製造したポリイミドフィルム、あるいはテトラ
カルボン酸二無水物と芳香族ジアミン及び多価アミンを
反応させて製造したポリイミドフィルムにおいては、そ
れぞれ各モノマー成分の単独または二種以上の混合物を
用いることができるため、得られるポリマーは共重合体
のもの以外に、特定の成分から成るポリイミドと、この
ポリイミドの構成成分の少なくとも一種類が異なるポリ
イミドを混合した、ポリイミドのブレンドフィルムも含
まれる。
ては、ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリ
ドンのようなアミド系溶媒が代表的に挙げられる。
フィルムの中には、フィルム形成時に他の高分子量成分
を含ませることもできる。ポリイミドフィルムに複合さ
せる高分子量成分としては、公知のものを用いることが
できるが、代表的にはポリアミドイミド、ポリエーテル
イミド、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾオキサゾ
ール、ポリベンゾチアゾール、芳香族ポリアミド、ポリ
アクリロニトリルの中から選ばれた少なくとも一種類の
高分子量成分を複合成分として用いることができる。こ
れらの高分子量成分は、炭素化のための高温処理により
熱分解を起こし、黒鉛化する傾向を示す性質を有するも
のが好ましい。
子量成分の種類にもよるが、最終的に得られる黒鉛質フ
ィルムの強度や伸度を損ねない程度の範囲で添加するこ
とが好ましく、フィルム全体の20モル%〜80モル%
の範囲が好ましい。(ポリマーの繰り返し単位1個を1
モルとする)。これらの高分子量成分は、上記ポリマー
の変性物、共重合体、前駆体、オリゴマーを含み、前駆
体やオリゴマーの場合は、複合させた後の重合反応等に
より更に高分子量化させて用いる方法でもかまわない。
体フィルムの製造方法は、上記のモノマー成分、例えば
一般には、テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミ
ン、或いはテトラカルボン酸二無水物、芳香族ジアミン
及び多価アミンを溶媒中で低温溶液重合法による重付加
反応で反応させ、得られたポリマー溶液〔ポリアミド酸
(ポリイミドの前駆体)、あるいはポリアミド酸成分の
一部を脱水・閉環反応により部分的にイミド化を進めさ
せたポリアミド酸溶液〕をキャストして、乾燥してポリ
アミド酸フィルムを最初に作製し、続いてこのポリアミ
ド酸フィルムを前駆体フィルムとして、一軸及び/又は
二軸に延伸し、フィルムの収縮を抑えながら加熱処理に
より脱水・閉環反応を行わせることによりポリイミドフ
ィルムとすることができる。前記延伸処理の方法として
は、例えば、テンター方式、ロール方式等が挙げられる
が、一般に用いられる延伸の方法ならどのような延伸処
理でもよい。
は、重合に用いられるモノマーの種類、重合条件、フィ
ルムの調製条件等の要因によって支配されるので、所望
の引張り強さ、引張り弾性率となるようなモノマーの種
類、重合条件、フィルムの調製条件等を見いだしておく
ことが必要である。
ルムは、厚さ1〜500μmでフィルムの引張り強さが
10kgf/mm2 以上、フィルムの引張り弾性率が2
00kgf/mm2 以上のものが、黒鉛化度が高く、高
伸度で強靱な黒鉛質フィルムを得る上で好ましい。特に
好ましいポリイミドフィルムの引張り強さは15kgf
/mm2 以上、フィルムの引張り弾性率は500kgf
/mm2 以上である。また、ポリイミドフィルムはフィ
ルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強さの差、及びそれ
らの方向の弾性率の差が各々10%以内の異方性の少な
いポリイミドフィルムが、均質な黒鉛質フィルムとする
ために好ましい。
度が350℃に満たない場合、熱分解過程でのフィルム
の収縮が著しく大きくなり、最終的に得られる黒鉛質フ
ィルムの破れやしわ等の欠陥を多く含むことがあるの
で、ポリイミドフィルムのガラス転移温度は350℃以
上であることが、収縮しわ、破れ等がない品位のよい黒
鉛質フィルムを得る上で好ましい。
ムは、充分な強度と伸度を有し、折り目をつけても割れ
たり切れたりすることがないため、折紙のような工作・
加工を施すことが可能である。従って、このようなポリ
イミドフィルムを用い、一般に折紙で用いられているよ
うな手法により、一枚のフィルムより複雑形状の多角面
体、球状体等の三次元的な立体構造体を折り上げること
が可能である。例えば、上記特性を有するポリイミドフ
ィルムを用いて、折紙で作られるような箱、花、鶴、飛
行機、風船といった複雑な構造の立体構造体を作ること
ができる。
は、特に前述の性質を有する異方性の少ない均質なポリ
イミドフィルムを用いて上記のように製造した成形体は
自由端の状態となっているので、この成形体に圧力を加
えることなく、不活性ガスまたは真空中で、20℃/分
以下の昇温速度で500〜1000℃の温度で熱処理せ
しめた後、更に不活性ガスまたは真空中で2500℃以
上の温度で熱処理することにより、一方向に偏って収縮
することなく、特定の三次元構造を保持したまま等方的
に収縮を起こして、炭素化、黒鉛化した、黒鉛質成形体
を得ることができる。
フィルム成形体に対して自由端で熱処理することが、元
のポリイミドフィルムからなる成形体の複雑形状を保持
したまま黒鉛質成形体とするために重要である。
ものであるため、折り曲げられた部分等を解くことによ
り、一枚の面状フィルムに戻すことも可能である。例え
ば、ポリイミドフィルムをスパイラル状に巻き、上記の
条件で得られた黒鉛質フィルム成形体より、一枚の面状
の黒鉛質フィルムに戻すことができる。
方法は、上記したように、ガラス転移温度が350℃以
上、引張り強さが10kgf/mm2 以上及び引張り弾
性率が200kgf/mm2 以上のポリイミドフィルム
であって、且つ該フィルムのタテ方向とヨコ方向の引張
り強さの差及びそれらの方向の弾性率の差がそれぞれ1
0%以内のポリイミドフィルムを自由端の状態で不活性
ガスまたは真空中で炭素化し、次いで、得られた炭素化
フィルムを不活性ガスまたは真空中で2500℃以上の
温度で熱処理して行う。
各製造方法において、500℃以上の高温処理で黒鉛質
成形体を作製する際の雰囲気としては、不活性ガスまた
は真空下で行うのが好ましい。その不活性ガスとして
は、例えば、アルゴン、ヘリウム、窒素及び水素が用い
られる。1000℃までの炭素化処理において、20℃
/分以下の昇温速度で熱処理を行うと、急激な熱分解に
よるフィルムのシワ等が発生しにくくなるので好まし
い。
には2500℃以上の温度でさらに熱処理することが必
要である。2500℃以上の温度で加熱処理する手段と
しては、高周波誘導加熱、マイクロ波加熱、プラズマア
ーク加熱等が挙げられる。3000℃を越える温度での
加熱処理は、加熱方法や装置の材質選定等において問題
が多く出てくる。さらに、処理温度が3500℃を越え
る場合は、フィルム中の炭素成分の分解、昇華などの著
しい化学変化が起こり、フィルムが脆性化する場合があ
る。
は、空気中500℃の温度では発火することなく耐熱性
が高く、機械的性質に優れたものである。
処理を施すことによって、引張り強さが10.0kgf
/mm2 以上、引張り伸度が1.5%以上の黒鉛質フィ
ルムとすることができる。このように圧延処理されたフ
ィルムは、上記のように更に機械的性質が高められてい
るため、折り曲げ等の工作・加工がより容易になり、一
枚の黒鉛質フィルムを用いて、折紙で用いられる一般の
手法により、三次元的に複雑な形状の成形体を工作・加
工することができる。
げに弱いことや微細な加工では割れやすい傾向があるの
で、特に、三次元的に複雑形状の成形体を得る上では前
記に説明したようなポリイミドフィルムの状態で工作・
加工を施した後に黒鉛化処理することが望ましい。
成形体は、黒鉛層がフィルム面に対して平行方向によく
発達しているため、熱伝導率が高く、音波等の伝播性や
電気伝導性、ガス遮蔽性において卓越した性能を示し、
引張り強度と引張り伸度が高いため、電極材料、導電材
料、発熱体、構造材、断熱材、耐熱シール材、X線用部
品、音響材料、電磁波シールド材料、生体適合材料、触
媒、電子材料等に広く使用でき、工業的用途は多く有用
なものである。
成形体は、金属光沢であり、しかも柔軟性があるので、
新規な意匠物として、或いは黒鉛質フィルム及びその前
駆体フィルムは新規な意匠用材料として有用である。
4′−DPE)と無水ピロメリット酸二無水物(略称:
PMDA)をN−メチル−2−ピロリドン(略称:NM
P)溶液中で等モルの重付加反応を行わせ、ポリマー濃
度12重量%のポリアミド酸溶液を作製した。このポリ
マー溶液を前駆体とし、キャスティング装置を用いて幅
500mm、厚さ50μmの連続したポリイミドフィル
ムを作製した。フィルムの長さ方向(タテ方向)の引張
り強さは18kgf/mm2 、引張り弾性率は280k
gf/mm2 、幅方向(ヨコ方向)の引張り強さは17
kgf/mm2 、引張り弾性率は285kgf/mm2
であった。熱機械分析による引張り法のガラス転移温度
は350℃であった。長さ10mのこのポリイミドフィ
ルムを、直径50mmの黒鉛棒を芯にしてフィルムの一
端を芯に固定して筒状に巻つけ、フィルムを芯に固定し
たままの状態で炭素繊維で作られた織物に包み、高周波
誘導加熱炉内に導入した。窒素雰囲気下、室温より40
0℃まで5℃/分で昇温し、次いで2℃/分の昇温速度
で2000℃まで上げた後、雰囲気をアルゴンに切り替
え、引き続き3℃/分の昇温速度で2900℃まで昇温
した。この温度で2時間保持させた後、10℃/分の降
温速度で冷却した。
属光沢の黒鉛質フィルム状物は得られたが、フィルムの
収縮のため断続的に割れが発生し切れたフィルムとな
り、巻き戻すことにより長尺状の連続黒鉛質フィルムと
なすことはできなかった。また、フィルムの外観も不良
であった。このフィルムの電気伝導率は1.1×104
S/cmであった。
ィルムを作製した。フィルムの物理的性質は前記比較例
1と同じであった。長さ10mのこのポリイミドフィル
ムを、中心部に芯がない自由端の状態で直径10cmに
なるようにスパイラル状に巻き、炭素繊維で作られた織
物に包み、高周波誘導加熱炉内に導入した。窒素雰囲気
下、室温より400℃まで5℃/分で昇温し、次いで、
2℃/分の昇温速度で2000℃まで上げた後、雰囲気
をアルゴンに切り替え、引き続き3℃/分の昇温速度で
2300℃まで上げた。この温度で2時間保持させた
後、10℃/分の降温速度で室温まで冷却した。
を取り出したところ、黒みがかった金属光沢のスパイラ
ル状の黒鉛質成形体が得られた。このスパイラル状に巻
かれたフィルムは脆性的で、巻き戻そうとするとフィル
ムに割れが発生し、一枚の連続したフィルムとすること
ができなかった。このフィルムは、広角X線回析より
(002)面間隔が3.39であり、黒鉛性にやや劣っ
ていた。また、引張り強さは10.0kgf/mm2 、
引張り伸度は0.8%、電気伝導率は500S/cmで
あり、元素分析の結果、炭素含有率は99.0重量%で
あり、伸度が低いため外力により割れやすい傾向であっ
た。
4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(略
称:BPDA)をNMP溶液中での等モルの重付加反応
させ、ポリマー濃度15重量%のポリアミド酸溶液を作
製した。このポリマー溶液を前駆体とし、キャスティン
グ装置を用いて幅500mm、厚さ50μmの連続した
ポリイミドフィルムを作製した。フィルムの長さ方向
(タテ方向)の引張り強さは24kgf/mm2 、引張
り弾性率は850kgf/mm2 、幅方向(ヨコ方向)
の引張り強さは23kgf/mm2 、引張り弾性率は8
65kgf/mm2 であった。熱機械分析による引張り
法のガラス転移温度は420℃であった。
が300mmの正方形のフィルム一枚を切り出した。永
岡書店より1992年に発行された「あたらしい折り
紙」に書かれている方法に従って、このポリイミドフィ
ルムで、たて20cm×よこ15cm×高さ10cmの
大きさの箱を作製した。
素繊維で作られた織物に包み、高周波誘導加熱炉内に導
入した。窒素雰囲気下、室温より1000℃まで2℃/
分で昇温し、ついで5℃/分の昇温速度で2000℃ま
で上げた後、雰囲気をアルゴンに切り替え、引き続き5
℃/分の昇温速度で2800℃まで上げた。この温度で
2時間保持させた後、10℃/分の降温速度で室温まで
冷却した。炉内より炭素繊維織布に包まれた成形体を取
り出したところ、全体的に一辺20%程収縮して小さく
なったが、金属光沢の箱状の黒鉛質フィルム成形体が得
られた。
短冊状の黒鉛質フィルムとして試験片を切り出し性質を
調べたところ、引張り強さは10.5kgf/mm2 、
引張り伸度は1.5%、電気伝導率は8.9×103 S
/cmであった。この箱状の黒鉛質フィルム成形体は柔
軟があり、少々の外力で割れることなく箱の中に100
g程の粉体を入れることができた。この黒鉛質フィルム
は広角X線回析より(002)面間隔が3.36であ
り、ほとんど黒鉛構造であることが確認された。また、
元素分析の結果、炭素含有率は99.5重量%であっ
た。
フェニル・四塩酸塩(略称:TABT)をモル比で9
2:4になるように採取し、蒸留されたNMPを加え、
攪拌し溶解させた。窒素雰囲気の下、反応温度−10℃
にてコントロールし、モル比でPMDA:PPD:TA
BT=100:92:4になるようにPMDAを固形の
まま、溶液の温度が上がらないように注意しながら徐々
に添加し、重付加反応を行わせた。全て加え終わった
後、攪拌を続け均一な高粘度のポリアミド酸溶液を調製
した。ポリマー溶液の濃度は12重量%であった。
置にかけ、幅300mm、厚さ40μmの連続したポリ
イミドフィルムを作製した。フィルムの長さ方向(タテ
方向)の引張り強さは20kgf/mm2 、引張り弾性
率は900kgf/mm2 、幅方向(ヨコ方向)の引張
り強さは19kgf/mm2 、引張り弾性率は920k
gf/mm2 であった。熱機械分析による引張り法のガ
ラス転移温度は440℃であった。
心部に芯がない自由端の状態で直径10cmになるよう
に筒状に巻き、直径5mmの炭素繊維束でしばりつけ
て、高周波誘導加熱炉内に吊した。窒素雰囲気下、室温
より500℃まで10℃/分で昇温し、ついで2℃/分
の昇温速度で2000℃まで上げた後、雰囲気をアルゴ
ンに切り替え、引き続き3℃/分の昇温速度で3000
℃まで上げた。この温度で2時間保持させた後、10℃
/分の降温速度で室温まで冷却した。
属光沢のスパイラル状の黒鉛質フィルム成形体が得られ
た。このスパイラル状に巻かれたフィルムは巻き戻すこ
とができ、巻き戻して圧延加工を施し一枚の面状フィル
ムとしたものは、折り曲げても割れず加工することがで
きた。
(002)面間隔が3.36であり、ほとんど黒鉛構造
であることが確認された。また、引張り強さは10kg
f/mm2 、引張り伸度は2.0%、電気伝導率は2.
0×104 S/cmであり、元素分析の結果、炭素含有
率は99.7重量%であった。
フェノキシ)ビフェニル(略称:BAPP)とPMDA
をNMP溶液中での等モルの重付加反応させ、ポリマー
濃度12重量%のポリアミド酸溶液を作製した。このポ
リマー溶液を前駆体とし、キャスティング装置を用いて
幅500mm、厚さ50μmの連続したポリイミドフィ
ルムを作製した。フィルムの長さ方向(タテ方向)の引
張り強さは18kgf/mm2 、引張り弾性率は285
kgf/mm2 、幅方向(ヨコ方向)の引張り強さは1
7kgf/mm2 、引張り弾性率は265kgf/mm
2 であった。熱機械分析による引張り法のガラス転移温
度は280℃であった。
芯に対して直径10cmになるように芯に筒状に巻き、
次いでその芯を抜取ることによって中心部に芯がない自
由端の状態とした。得られた筒状物を炭素繊維で作られ
た織物に包み、高周波誘導加熱炉内に導入した。窒素雰
囲気下、室温より400℃まで5℃/分で昇温し、つい
で2℃/分の昇温速度で2000℃まで上げた後、雰囲
気をアルゴンに切り替え、引き続き3℃/分の昇温速度
で2900℃まで昇温した。この温度で2時間保持させ
た後、10℃/分の降温速度で室温まで冷却した。
ィルム状物は融着のためか黒色の塊となってしまい、巻
き戻し不能となり黒鉛質のフィルムとなすことはできな
かった。また、この塊の電気伝導率は測定できなかっ
た。
及び引張り伸度が共に強く、多角面体、球状体等の三次
元的に複雑形状の黒鉛質構造体を成形することが可能で
ある。本発明の黒鉛質成形体は、三次元的な複雑形状が
可能で、強度が高く、しかも柔軟性がある。
Claims (8)
- 【請求項1】 引張り強さが10.0kgf/mm2 以
上、引張り伸度が1.5%以上で、且つ炭素含有率が9
9重量%以上の黒鉛質フィルム。 - 【請求項2】 (1)ガラス転移温度が350℃以上、
引張り強さが10kgf/mm2 以上及び引張り弾性率
が200kgf/mm2 以上のポリイミドフィルムであ
って、且つ該フィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強
さの差及びそれらの方向の弾性率の差がそれぞれ10%
以内のポリイミドフィルムを自由端の状態で不活性ガス
または真空中で炭素化し、 (2)次いで、得られた炭素化フィルムを不活性ガスま
たは真空中で2500℃以上の温度で熱処理することを
特徴とする黒鉛質フィルムの製造方法。 - 【請求項3】 (1)ガラス転移温度が350℃以上、
引張り強さが10kgf/mm2 以上及び引張り弾性率
が200kgf/mm2 以上のポリイミドフィルムであ
って、且つ該フィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強
さの差及びそれらの方向の弾性率の差がそれぞれ10%
以内のポリイミドフィルムを自由端の状態で不活性ガス
または真空中で炭素化し、 (2)次いで、得られた炭素化フィルムを不活性ガスま
たは真空中で2500℃以上の温度で熱処理し、 (3)次いで、得られた黒鉛質フィルムに圧延処理を施
すことを特徴とする黒鉛質フィルムの製造方法。 - 【請求項4】 前記炭素化は、不活性ガスまたは真空中
で20℃/分以下の昇温速度で500から1000℃ま
で昇温しつつ炭素化することを特徴とする請求項2又は
3記載の黒鉛質フィルムの製造方法。 - 【請求項5】 請求項1記載の黒鉛質フィルムを用いて
成形することを特徴とする黒鉛質成形体の製造方法。 - 【請求項6】 (1)ガラス転移温度が350℃以上、
引張り強さが10kgf/mm2 以上及び引張り弾性率
が200kgf/mm2 以上のポリイミドフィルムであ
って、且つ該フィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強
さの差及びそれらの方向の弾性率の差がそれぞれ10%
以内のポリイミドフィルムを用いて自由端の状態の成形
体とし、 (2)次いで、該成形体を不活性ガスまたは真空中で自
由端の状態で炭素化し、 (3)次いで、2500℃以上の温度で熱処理すること
を特徴とする黒鉛質成形体の製造方法。 - 【請求項7】 請求項5又は6記載の製造方法により得
られた黒鉛質成形体。 - 【請求項8】 ガラス転移温度が350℃以上、引張り
強さが10kgf/mm2 以上及び引張り弾性率が20
0kgf/mm2 以上のポリイミドフィルムであって、
且つ該フィルムのタテ方向とヨコ方向の引張り強さの差
及びそれらの方向の弾性率の差がそれぞれ10%以内の
ポリイミドフィルムであることを特徴とする黒鉛質フィ
ルム製造用前駆体フィルム。
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