JP3047282B2 - Capacitive electromagnetic flowmeter - Google Patents
Capacitive electromagnetic flowmeterInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、60Hz以上の高周波
で励磁する容量式電磁流量計に係り、特に、信号対雑音
の比率を良好に保持すると共に安定な出力をも確保でき
るように改良した容量式電磁流量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a capacitive electromagnetic flowmeter which excites at a high frequency of 60 Hz or more, and in particular, is improved so as to maintain a good signal-to-noise ratio and ensure a stable output. It relates to a capacitive electromagnetic flowmeter.
【0002】[0002]
【従来の技術】電磁流量計は、ノイズの影響を除去して
安定な流量信号を得るために各種の努力がなされている
が,このノイズの原因は各種存在し、これらに対して対
応する除去手段も異なり、これによって各種の形式の電
磁流量計が存在する.2. Description of the Related Art Various efforts have been made in an electromagnetic flowmeter to eliminate the influence of noise and obtain a stable flow signal. However, there are various causes of this noise, and corresponding removal is performed. The means are different, and there are various types of electromagnetic flowmeters.
【0003】その1つに、従来から、電磁流量計の励磁
コイルに流す励磁電流の周波数として50Hz或いは6
0Hzなどの商用周波数を採用する商用周波形の電磁流
量計がある。この商用周波形の電磁流量計は、励磁電流
によって発生した商用周波数の磁場を、内面が絶縁物で
ライニングされた金属性のパイプを介して、測定流体に
印加してこの測定流体によって発生した信号電圧の商用
の周波数成分を測定流体に接液する検出電極で検出す
る。One of the conventional techniques is that the frequency of an exciting current flowing through an exciting coil of an electromagnetic flowmeter is 50 Hz or 6 Hz.
There is an electromagnetic flowmeter having a commercial circumferential waveform that employs a commercial frequency such as 0 Hz. This commercial flow waveform electromagnetic flow meter applies a magnetic field of a commercial frequency generated by an exciting current to a measurement fluid through a metal pipe lined with an insulator on the inner surface, and generates a signal generated by the measurement fluid. A commercial frequency component of the voltage is detected by a detection electrode in contact with the measurement fluid.
【0004】具体的には、このタイプの電磁流量計の検
出部は、図6に示すように、一対の金属製の検出電極1
0、11が固定され内面が絶縁性のライニング12で覆
われた金属性のパイプ13の外側に励磁コイル14、1
5が配置された構成となっている。この金属性のパイプ
13は、測定流体の圧力、例えば、10Kg/cm2或いはこ
れ以上の圧力に耐えることが出来るように十分に厚い寸
法に選定されている。More specifically, as shown in FIG. 6, a detecting portion of this type of electromagnetic flow meter includes a pair of metal detecting electrodes 1.
Excitation coils 14 and 1 are fixed to the outside of a metallic pipe 13 on which an inner surface is covered with an insulating lining 12.
5 are arranged. The metal pipe 13 is selected to have a sufficiently large size so as to withstand the pressure of the measurement fluid, for example, 10 kg / cm 2 or more.
【0005】この励磁コイル14、15には図示しない
励磁回路から商用周波数の励磁電流If1が流され、図に
示すようにパイプ13の外側から磁束Bを測定流体に印
加するように構成されている。ただし、磁束Bの帰路と
なるリターンコアとケースについては図示していない。A commercial frequency exciting current If1 is supplied to the exciting coils 14 and 15 from an exciting circuit (not shown), and a magnetic flux B is applied to the measurement fluid from outside the pipe 13 as shown in the figure. I have. However, the return core and the case, which return the magnetic flux B, are not shown.
【0006】この商用周波形の電磁流量計は、商用周波
数で励磁するので安価に構成できる利点はあるが、ゼロ
点が経時的に変動して安定に流量信号の検出をすること
ができない。このようにゼロ点を変動させる原因として
は、例えば、次に説明する(イ)、(ロ)の原因があ
る。[0006] The electromagnetic flowmeter having the commercial circumferential waveform has an advantage that it can be inexpensively constructed because it is excited at the commercial frequency, but the zero point fluctuates with time, and the flow signal cannot be detected stably. The causes of the zero point fluctuation in this manner include, for example, the causes (a) and (b) described below.
【0007】(イ)先ず、商用周波の磁束の時間変化に
よって誘起される変成器成分によるノイズに起因するも
のがある。図6に示すように金属性のパイプが用いられ
ているので,パイプ13に渦電流iPが誘起され、この
渦電流iPにより励磁コイル14、15による磁束Bを
打ち消す方向に反磁場を作る。このため励磁電流If1が
一定値に達した後も磁束Bの時間微分成分を有し、これ
が変成器成分のノイズとなる。(A) First, there is one caused by noise due to a transformer component induced by a temporal change of magnetic flux of a commercial frequency. Since metallic pipe is used as shown in FIG. 6, the eddy current i P in the pipe 13 is induced, making the demagnetizing field by the eddy current i P in a direction to cancel the magnetic flux B generated by the excitation coil 14, 15 . For this reason, even after the excitation current If1 reaches a certain value, the magnetic flux B has a time derivative component, which becomes noise of the transformer component.
【0008】この渦電流iPはパイプ13の導電率と渦
電流iPのループで作るインダクタンスで決まる時定数
で減衰するが、金属製のパイプのときはこの減衰に時間
がかかり、実質的100Hz程度以上の励磁は困難であ
る。The eddy current i P is attenuated by a time constant determined by the conductivity of the pipe 13 and the inductance formed by the loop of the eddy current i P. In the case of a metal pipe, this decay takes time, and is substantially 100 Hz. Excitation beyond this level is difficult.
【0009】また、パイプ13の導電率は温度によって
変動し、渦電流iPの減衰時定数も変化するので、磁場
の時間微分成分のテール部の大きさが変動し、これがゼ
ロ点の不安定要因となる。この関係を図で示すと図7の
ようになる。ここで図7(a)は励磁電流If1の波形、
図7(b)は渦電流iPの波形、図7(c)は磁束Bの
時間微分成分の波形をそれぞれ示す。Further, the conductivity of the pipe 13 varies depending on the temperature, and the decay time constant of the eddy current i P also varies. Therefore, the size of the tail portion of the time differential component of the magnetic field varies, which causes the zero point to become unstable. It becomes a factor. FIG. 7 illustrates this relationship. Here, FIG. 7A shows a waveform of the exciting current If1 .
FIG. 7B shows the waveform of the eddy current i P , and FIG. 7C shows the waveform of the time differential component of the magnetic flux B.
【0010】(ロ)次に、電磁誘導によって測定流体中
に誘起された渦電流が検出電極に流入し、この検出電極
の電極インピーダンスにより位相シフトを起して発生す
る測定流体の渦電流成分ノイズに起因するものがある。(B) Next, an eddy current induced in the measurement fluid by electromagnetic induction flows into the detection electrode, and a phase shift occurs due to the electrode impedance of the detection electrode. There is something due to.
【0011】これについては、図8を参照して説明す
る。導電性を有する測定流体に商用周波数の交流磁束を
印加するので、測定流体中に渦電流ieが誘起される。こ
の渦電流ieは磁束Bの時間変化によって発生する起電力
en0に起因して誘起され、磁束Bの時間変化がゼロにな
ると渦電流が形成されるループの時定数で速やかに減衰
する。This will be described with reference to FIG. Since an AC magnetic flux of a commercial frequency is applied to the conductive measurement fluid, an eddy current ie is induced in the measurement fluid. The eddy current i e is induced due to the electromotive force e n0 generated by the time variation of the magnetic flux B, the time change of the magnetic flux B is attenuated rapidly at a time constant of the loop of eddy currents is formed becomes zero.
【0012】しかし、検出電極10、11が測定流体に
接液していると検出電極10、11の表面に形成される
コンデンサC1、C2、C3、C4、流体抵抗R1、R2、R
3、R4、R5、R6によって、検出電極10、11の表面
で渦電流ieによる電荷の蓄積、放電が行われ、渦電流ie
に対して遅れ位相のノイズ電圧が検出電極10、11に
発生する。However, when the detection electrodes 10 and 11 are in contact with the measurement fluid, the capacitors C 1 , C 2 , C 3 and C 4 formed on the surfaces of the detection electrodes 10 and 11 and the fluid resistances R 1 and R are formed. 2 , R
3, the R 4, R 5, R 6 , surface charge accumulation due to eddy currents i e in the detection electrodes 10 and 11, discharge is made, eddy current i e
, A noise voltage having a delayed phase is generated at the detection electrodes 10 and 11.
【0013】これらのコンデンサC1、〜C4の値は1m
m直径の検出電極でも1μFの程度のオーダであり、こ
の遅れ位相のノイズ電圧のためゼロ点が変化する。しか
もこれ等のインピーダンス成分は不安定であるのでゼロ
点が経時的に変化する要因をなす。The values of these capacitors C 1 and C 4 are 1 m
Even a detection electrode having a diameter of m has an order of about 1 μF, and the zero point changes due to the noise voltage having the lag phase. Moreover, since these impedance components are unstable, they cause the zero point to change with time.
【0014】そこで、この検出電極が接液する商用周波
数形の電磁流量計のもつ欠点を回避するために、例えば
特開昭49−29676号公報に開示されているような
低周波励振形の電磁流量計が提案されている。In order to avoid the drawbacks of the commercial frequency type electromagnetic flowmeter in which the detection electrode is in contact with the liquid, for example, a low frequency excitation type electromagnetic flow meter disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 49-29676 is used. Flow meters have been proposed.
【0015】この方式は、商用周波数を、例えば8分の
1に分周した6.25Hzとして,これを励磁コイルに
流して低周波の磁束とし、これを測定流体に印加するよ
うにしたものである。In this method, the commercial frequency is set to 6.25 Hz, for example, which is frequency-divided by 1/8, and this is passed through an exciting coil to produce a low-frequency magnetic flux, which is applied to a measurement fluid. is there.
【0016】このように、励磁周波数を低くすることに
より、電磁誘導に起因して発生する微分ノイズを低減さ
せると共に渦電流ieを低減させ、先の(イ)、(ロ)に
記載した原因を低減させることにより安定なゼロ点を確
保しようとするものである。[0016] Thus, by lowering the excitation frequency, reduce the eddy current i e with reducing differential noise generated due to electromagnetic induction, causes described in the preceding (a), (b) To secure a stable zero point.
【0017】しかしながら、この低周波励振形の電磁流
量計は、励磁周波数が低いので、誘導ノイズが低減さ
れ、従来に比べて大幅にゼロ点の変動が改良される利点
はあるが、反面、周波数が低下することにより、別の原
因に帰するノイズの新たな発生を誘因する。However, this low-frequency excitation type electromagnetic flowmeter has the advantage that the excitation frequency is low, so that the induction noise is reduced and the fluctuation of the zero point is greatly improved as compared with the conventional one. Is reduced, which causes a new occurrence of noise attributable to another cause.
【0018】その第1は、測定流体が流動することによ
って測定流体中に低周波の流動電位(フローノイズ)と
呼ばれる電位変動が発生し、特に、測定流体が低導電率
の場合に顕著に現れる。この電位変動は、低周波励振の
励磁周波数と近似しているので、流量信号の乱れとして
出力される。このノイズスペクトラムの実測例を図9と
図10に示してある。First, the flow of the measurement fluid causes a potential fluctuation called a low-frequency streaming potential (flow noise) to occur in the measurement fluid, and this phenomenon is particularly remarkable when the measurement fluid has low conductivity. . Since this potential fluctuation is similar to the excitation frequency of the low-frequency excitation, it is output as disturbance of the flow signal. 9 and 10 show examples of actual measurement of the noise spectrum.
【0019】いずれも横軸は周波数を、縦軸はノイズパ
ワーのスペクトラムをそれぞれ示し、図9は検出電極と
して面電極とした場合を、図10は検出電極として点電
極を用いた場合をそれぞれ示している。検出電極の形状
によりコーナ周波数fcが異なるが、1/fc特性となっ
ていることがわかる。In each case, the horizontal axis represents the frequency, and the vertical axis represents the spectrum of the noise power. FIG. 9 shows a case where a surface electrode is used as a detection electrode, and FIG. 10 shows a case where a point electrode is used as a detection electrode. ing. While corner frequency f c by the shape of the detection electrode is different, it is understood that the 1 / f c characteristics.
【0020】このほかに、例えば測定流体の中に固形物
を含むスラリ流体が検出電極に当たることにより発生す
る低周波のノイズに対する出力の不安定性、或いは励磁
周波数が低いので流量変化に対する応答性も悪化すると
いう問題が新たに発生している。In addition, for example, output instability with respect to low-frequency noise generated when a slurry fluid containing a solid substance in a measurement fluid collides with a detection electrode, or responsiveness to a change in flow rate due to a low excitation frequency is also deteriorated. A new problem has arisen.
【0021】そこで、例えば、特公昭54−33862
号公報に開示されているような容量式の電磁流量計が提
案されている。この容量式の電磁流量計は、商用周波数
の磁束を絶縁性のパイプの外側から測定流体に印加し、
さらにこの測定流体に接触しないように絶縁性のパイプ
の外側に配置された検出電極で信号電圧を検出する。Thus, for example, Japanese Patent Publication No. 54-33862
Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H11-216, proposes a displacement type electromagnetic flow meter. This capacitance type electromagnetic flow meter applies magnetic flux of commercial frequency to the measurement fluid from outside the insulating pipe,
Further, a signal voltage is detected by a detection electrode arranged outside the insulating pipe so as not to contact the measurement fluid.
【0022】つまり、信号電圧を測定流体と検出電極と
の間に形成される静電容量を介して検出する。このよう
な方式を採用することにより、測定流体に検出電極が接
触することにより生じる既述の各種の問題を解決するこ
とが出来る。That is, the signal voltage is detected via the capacitance formed between the measurement fluid and the detection electrode. By employing such a method, it is possible to solve the above-described various problems caused by the contact of the detection electrode with the measurement fluid.
【0023】[0023]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような容量式の電磁流量計は、次に説明するような問題
がある。However, the capacity type electromagnetic flow meter as described above has the following problems.
【0024】このタイプは測定流体に検出電極が接触す
ることにより生じる電極の汚れに起因するゼロ点変動の
影響を除去することができる利点はあるが、測定流体と
検出電極で形成される小さな容量のコンデンサにより、
数MΩ〜数100MΩの高インピーダンスの入力回路が
形成される。This type has the advantage that the effect of zero point fluctuation caused by electrode contamination caused by contact of the detection electrode with the measurement fluid can be eliminated, but the small capacitance formed by the measurement fluid and the detection electrode. By the capacitor of
An input circuit with high impedance of several MΩ to several hundred MΩ is formed.
【0025】そこで、この小さな容量による結合インピ
ーダンスを少しでも低減させるために、励磁周波数は商
用周波数よりも高い励磁周波数が選定される。この結果
として、図9、図10に示すフローノイズのスペクトラ
ム分布からも判るように低周波励磁に比べて大幅にフロ
ーノイズが低減されるメリットが生じる。Therefore, in order to slightly reduce the coupling impedance due to the small capacitance, the excitation frequency is selected to be higher than the commercial frequency. As a result, as can be seen from the spectrum distribution of the flow noise shown in FIGS. 9 and 10, there is an advantage that the flow noise is significantly reduced as compared with the low frequency excitation.
【0026】しかしながら、測定流体を流すパイプ13
は、図6に示すように、励磁周波数を商用周波数よりも
高い周波数としているので、大きな渦電流を発生させる
こととなり、金属性のパイプを使用することが出来な
い。However, the pipe 13 for flowing the measurement fluid
As shown in FIG. 6, since the excitation frequency is higher than the commercial frequency, a large eddy current is generated, and a metallic pipe cannot be used.
【0027】そして、励磁周波数を高くしたからといっ
ても、なお、この検出器と変換器とを結ぶ入力回路が高
インピーダンス回路であることに変りはなく、しかも金
属性のパイプを使用しない結果として、励磁コイルから
入力回路への静電誘導によるノイズが発生し易いという
問題がある。Even if the excitation frequency is increased, the input circuit connecting the detector and the converter is still a high impedance circuit, and the result is that no metal pipe is used. There is a problem that noise is easily generated due to electrostatic induction from the exciting coil to the input circuit.
【0028】さらに、絶縁性のパイプを使用した結果、
励磁回路のロスが少なくなり、図11に示すように、励
磁コイルの線間容量に基づいて励磁コイルのインダクタ
ンスLが周波数fに対して高調波成分側で共振点Rを持
つ周波数特性を有するようになる。Further, as a result of using an insulating pipe,
As shown in FIG. 11, the loss of the exciting circuit is reduced so that the inductance L of the exciting coil has a frequency characteristic having a resonance point R on the harmonic component side with respect to the frequency f based on the line capacitance of the exciting coil. become.
【0029】従って、図12に示すように、励磁電流I
f2が定電流制御されているにも拘わらず、その波形が高
周波成分に起因して波打つリンギングが生じ、励磁電流
を一定値に制御することが行えず、安定な流量信号を確
保することが出来ないという問題も生じる。Therefore, as shown in FIG.
Despite the fact that f2 is controlled by constant current, its waveform is wavy due to the high-frequency component, ringing occurs, and the excitation current cannot be controlled to a constant value, and a stable flow signal can be secured. There is also a problem that there is not.
【0030】[0030]
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の各種の
課題を解決するための主な構成として、測定流体を流す
ための絶縁性物質で作られたパイプと、ポールピースコ
アの周囲に巻回されこのパイプの外部から先の測定流体
に商用周波数より高い周波数を持つ磁場を印加する励磁
コイルと、先の測定流体に発生した信号電圧を先のパイ
プで形成される静電容量を介して検出する一対の検出電
極と、これらの検出電極と離間し円周方向で互いに間隙
を保持して少なくとも2つに分割されて配置された一対
のガード電極と、これらのガード電極と接続され一対の
先の検出電極を覆う一対のガードケースと、先の磁場が
印加される磁束経路に設けられ先の励磁コイルのインダ
クタンスの周波数特性における共振点を消滅させる程度
に薄い導電性のダンピング箔とを具備し、先のガード電
極を先の信号電圧と同電位を保持して低インピーダンス
でドライブするようにしたものである。According to the present invention, as a main structure for solving the above-mentioned various problems, a pipe made of an insulating material for flowing a measurement fluid and a pole piece core are provided.
An exciting coil for applying a magnetic field having a frequency higher than the commercial frequency wound from the outside of the pipe ahead of the measurement fluid around the A static formed a signal voltage generated in the previous measurement fluid in the previous pipe A pair of detection electrodes for detecting via a capacitance, a pair of guard electrodes separated from the detection electrodes and separated from each other in a circumferential direction while maintaining a gap therebetween, and a pair of guard electrodes; pair is connected to a previous and a pair of gas Dokesu covering the detection electrode, the previous field is thin conductive to the extent of eliminating a resonance point in the inductance of the frequency characteristic of the exciting coil of the provided destination flux path applied A damping foil is provided to drive the guard electrode at a low impedance while maintaining the same potential as the previous signal voltage.
【0031】[0031]
【作 用】絶縁性物質で作られたパイプには測定流体が
流され、ポールピースコアの周囲に巻回された励磁コイ
ルからは、このパイプの外部から先の測定流体に商用周
波数より高い周波数を持つ磁場を印加する。Measurement fluid flows in a pipe made of [created for insulating materials, from the exciting coil wound around the pole piece cores, the frequency higher than the commercial frequency from the outside of the pipe ahead of the measurement fluid Is applied.
【0032】また、一対の検出電極は、先の測定流体に
発生した信号電圧を先のパイプで形成される静電容量を
介して検出する。一方、一対のガード電極は、これらの
検出電極と離間し円周方向で互いに間隙を保持して少な
くとも2つに分割されて配置されている。The pair of detection electrodes detects the signal voltage generated in the fluid to be measured through the capacitance formed by the pipe. On the other hand, the pair of guard electrodes is separated from these detection electrodes and is divided into at least two parts while maintaining a gap therebetween in the circumferential direction.
【0033】そして、一対のガードケースはこれらのガ
ード電極と接続され一対の先の検出電極を覆っている。
ダンピング箔は、先の磁場が印加される磁束経路に設け
られ先の励磁コイルのインダクタンスの周波数特性にお
ける共振点を消滅させる程度に薄い導電性とされ、、先
のガード電極を先の信号電圧と同電位を保持して低イン
ピーダンスでドライブする。[0033] Then, the pair of gas Dokesu connected to these guard electrode covers the detection electrode of the pair of first.
The damping foil is provided in a magnetic flux path to which the above-mentioned magnetic field is applied, and is made conductive thin enough to eliminate a resonance point in the frequency characteristic of the inductance of the above-mentioned exciting coil. Drive at low impedance while maintaining the same potential.
【0034】このようにして、絶縁性パイプを用いて商
用周波数より高い周波数で励磁してフローノイズの影響
を除去しながら励磁電流のリンギングに起因する不安定
要因をも除去して安定な流量信号を得ることができる。In this way, a stable flow signal can be obtained by exciting at a frequency higher than the commercial frequency by using the insulating pipe to remove the influence of the flow noise and also removing the instability caused by the ringing of the exciting current. Can be obtained.
【0035】[0035]
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図1は本発明の1実施例の横断面の構成を、図
2は図1に対応する縦断面をそれぞれ示す構成図であ
り、これらの図を共用して説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a cross section of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram showing a vertical cross section corresponding to FIG. 1, respectively.
【0036】20は絶縁性のパイプであり、このパイプ
20は、例えばセラミックスなどの材料で形成され、円
筒状をなしている。パイプ20の軸方向の中央部は外周
面が肉薄の凹部20Aとして形成され、これらの軸方向
の両外側に肉厚の端部20B、20Cが形成されてい
る。Reference numeral 20 denotes an insulating pipe. The pipe 20 is formed of a material such as ceramics and has a cylindrical shape. The central portion in the axial direction of the pipe 20 is formed as a concave portion 20A whose outer peripheral surface is thin, and thick ends 20B and 20C are formed on both outer sides in the axial direction.
【0037】例えば、ステンレスで作られた円筒状のケ
ース21の端面部21A、21Bは、リング状に形成さ
れ、これらの端面部21Aと21Bの間は円筒部21C
が溶接により固定されている。For example, the end surfaces 21A and 21B of a cylindrical case 21 made of stainless steel are formed in a ring shape, and a cylindrical portion 21C is provided between these end surfaces 21A and 21B.
Are fixed by welding.
【0038】そして、このケース21の内部にはパイプ
20が挿入され、その端部20B、20Cと端面部21
A、21Bとの間にはそれぞれOリング22A、22B
が挿入されて気密が確保されている。さらに、ケース2
1にはその軸に垂直に矩形状の接続筒21Dが固定さ
れ、この上に図示しない変換器が搭載される。Then, a pipe 20 is inserted into the inside of the case 21, and its ends 20B and 20C and the end face 21 are formed.
A and 21B between O-rings 22A and 22B, respectively.
Is inserted to ensure airtightness. In addition, Case 2
A rectangular connection cylinder 21D is fixed to 1 at right angles to its axis, and a converter (not shown) is mounted thereon.
【0039】パイプ20の凹部20Aの中央の表面に
は、検出電極23Aと23Bがパイプ20の軸に対して
半径方向に対向して導電体を密着する形として面状に形
成されている。この検出電極23Aと23Bの上は、検
出電極23Aと23Bとが離間されてこれ等を覆うよう
に箱形状のガードケース24A、24Bがパイプ20の
外面に固定されている。At the center surface of the recess 20A of the pipe 20, the detection electrodes 23A and 23B are formed in a planar shape so as to be opposed to the axis of the pipe 20 in the radial direction and closely contact the conductor. On the detection electrodes 23A and 23B, box-shaped guard cases 24A and 24B are fixed to the outer surface of the pipe 20 so that the detection electrodes 23A and 23B are separated from each other and cover them.
【0040】また、ガードケース24A、24Bの周囲
の凹部20Aの表面には、パイプ20の端部20B、2
0Cに至るまで全面に亘って導電性のガード電極25
A、25Bがパイプ20の頂部と底部で左右に分割され
て形成された間隙26、27を挟んで形成されている。
そして、これらのガード電極25A、25Bはそれぞれ
ガードケース24A、24Bと電気的に接続されてい
る。The surface of the recess 20A around the guard cases 24A, 24B is provided with the ends 20B, 2B of the pipe 20.
Guard electrode 25 which is conductive over the entire surface up to 0C
A and 25B are formed with gaps 26 and 27 formed by being divided into right and left at the top and bottom of the pipe 20.
These guard electrodes 25A and 25B are electrically connected to guard cases 24A and 24B, respectively.
【0041】この間隙26、27の各々を覆うように、
ガード電極25A、25Bとは絶縁性塗料などで絶縁さ
れた状態で、これらの周面に円弧状に導電性のダンピン
グ箔28A、28Bが固定されており、これ等のダンピ
ング箔28A、28Bはそれぞれリード線29により基
準電位点30に固定されている。In order to cover each of the gaps 26 and 27,
Guarding electrodes 25A and 25B are insulated from the guard electrodes 25A and 25B by an insulating paint or the like, and conductive damping foils 28A and 28B are fixed to these peripheral surfaces in an arc shape. These damping foils 28A and 28B are respectively It is fixed to a reference potential point 30 by a lead wire 29.
【0042】これ等のダンピング箔28A、28Bは、
例えば、銅、黄銅、ステンレスなどで構成されるが、励
磁周波数が高くなると、このダンピング箔28A、28
Bの厚みが大きいときには、ここで発生する渦電流が大
きくなりこれによって生じる反磁界によって磁場変動の
時定数が大きくなり信号のサンプリング時までに磁場が
整定せず誤差要因を作るので、これ等の厚みは200μ
m以下に選定される。These damping foils 28A, 28B are:
For example, it is made of copper, brass, stainless steel or the like.
When the thickness of B is large, the eddy current generated here becomes large, and the demagnetizing field generated thereby increases the time constant of the magnetic field fluctuation and the magnetic field is not settled until the signal is sampled, thus causing an error factor. 200μ thick
m or less.
【0043】また、ダンピング箔28A、28Bは、間
隙26、27を覆うように形成される結果、後述する励
磁コイルから間隙26、27を通して検出電極23Aと
23Bに浮遊容量を介して静電結合されて生じる誘導ノ
イズに起因するゼロ点変動をを低減させ安定な測定をも
可能とする。The damping foils 28A and 28B are formed so as to cover the gaps 26 and 27. As a result, the damping foils 28A and 28B are electrostatically coupled to the detection electrodes 23A and 23B through the gaps 26 and 27 from the excitation coil described later via the stray capacitance. This reduces the zero-point fluctuation caused by induced noise, and enables stable measurement.
【0044】これらのダンピング箔28A、28Bは、
その表面の中央部に、互いに成層鉄心で矩形状に積層さ
れてボルトなどで一体に固定されたポールピースコア2
9A、29Bの一端面に固定されている。These damping foils 28A, 28B
A pole piece core 2 which is laminated in a rectangular shape with a laminated iron core and fixed integrally with bolts at the center of the surface.
9A and 29B are fixed to one end face.
【0045】そして、これらのポールピースコア29
A、29Bの周囲にはそれぞれ励磁コイル31A、31
Bが巻回され、励磁リード線32A、32Bがケース2
1の接続筒21Dに引き出されている。Then, these pole piece cores 29
Exciting coils 31A, 31A around A, 29B, respectively.
B is wound, and the excitation lead wires 32A and 32B are
It is drawn out to one connection cylinder 21D.
【0046】励磁コイル31A、31Bは、その周囲に
静電シールド用のシールド箔33A、33Bが巻回され
ており、リード線34A、34Bにより接続筒21Dを
介して基準電位点30(接地電位)に接続されている。The excitation coils 31A and 31B are wound around the shield foils 33A and 33B for electrostatic shielding, and are connected to the reference potential point 30 (ground potential) via the connection tube 21D by the lead wires 34A and 34B. It is connected to the.
【0047】これらのポールピースコア29A、29B
の他端面には、円筒状に形成され成層された帰還コア3
5が配置され、2つのポールピースコア29A、29B
はネジ36A、36B、及び37A、37Bにより、そ
れぞれ一体にネジ止めされている。These pole piece cores 29A, 29B
The other end surface of the return core 3 is formed in a cylindrical shape and is laminated.
5 and two pole piece cores 29A, 29B
Are screwed together by screws 36A, 36B and 37A, 37B, respectively.
【0048】一方、検出電極23Aと23Bからは、信
号リード線38A、38Bが、ガードケース24A、2
4Bと円筒状の帰還コア35をクロスしてケース21の
接続筒21Dを介して図示しない変換器部に導出されて
いる。On the other hand, from the detection electrodes 23A and 23B, the signal leads 38A and 38B are connected to the guard cases 24A and 2B.
4B crosses the cylindrical return core 35 and is led out to a converter unit (not shown) via the connection tube 21D of the case 21.
【0049】同様に、ガードケース24A、24Bから
も帰還コア35をクロスしてケース21の接続筒21D
を介して、信号リード線38A、38Bとは絶縁されて
共に図示しない変換器部にリード線39A、39Bによ
り導出されている。Similarly, from the guard cases 24A and 24B, the return core 35 is crossed to connect the connecting cylinder 21D of the case 21.
Are insulated from the signal lead wires 38A and 38B and both are led out to the converter section (not shown) by the lead wires 39A and 39B.
【0050】接続筒21Dの中には、シールド板40が
挿入され、励磁リード線32A、32B側と信号リード
線38A、38B側とを物理的に分離している。これに
より、高電圧である励磁リード線32A、32B側から
低電圧である信号リード線38A、38B側への静電誘
導を防止している。The shield plate 40 is inserted into the connection tube 21D, and physically separates the excitation lead wires 32A, 32B from the signal lead wires 38A, 38B. This prevents electrostatic induction from the high voltage excitation lead wires 32A, 32B to the low voltage signal lead wires 38A, 38B.
【0051】そして、ガードケース24A、24Bの内
部には、例えば絶縁性で自己接着性のあるシリコーン樹
脂が充填され、ガードケース24A、24Bを除くケー
ス21とパイプ20の外面との間、および接続筒21D
との間は、例えばエポキシ樹脂などですべて充填され、
耐湿性、耐振性、耐候性を確保している。The insides of the guard cases 24A and 24B are filled with, for example, an insulating and self-adhesive silicone resin, and the space between the case 21 and the outer surface of the pipe 20 except for the guard cases 24A and 24B, and the connection between them. Cylinder 21D
Between, for example, all filled with epoxy resin, etc.,
Moisture resistance, vibration resistance and weather resistance are secured.
【0052】リード線39A、39Bには、図示しない
変換器側から低インピーダンスで信号リード線38A、
38Bの電位と同一の電位が印加され、これによりパイ
プ20の表面はガードケース24A、24Bを含めて検
出電極23A、32Bを除く実質的な全面が信号電位と
同一の電位となり、信号リード線38A、38Bを含め
て浮遊容量の影響が除去されている。これらは高インピ
ーダンス回路を構成するので特にこのような配慮がなさ
れている。The lead wires 39A, 39B are connected to the signal lead wires 38A,
The same potential as the potential of the signal lead 38A is applied to the entire surface of the pipe 20 except for the detection electrodes 23A and 32B including the guard cases 24A and 24B. , 38B, the effect of stray capacitance is eliminated. Since these constitute a high-impedance circuit, such consideration is particularly taken.
【0053】次に、図3に示す周波数特性図を用いて図
1、図2に示す実施例の動作について説明する。Next, the operation of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described with reference to the frequency characteristic diagram shown in FIG.
【0054】励磁コイル31Aと31Bは、例えば磁場
が同一方向を向くように直列に接続され、励磁リード線
32A、32Bを介して変換器側から、例えば商用周波
数より高い周波数を持つ矩形波状の励磁電流が流されて
パイプ20の中に流れる測定流体に印加される。The excitation coils 31A and 31B are connected in series, for example, so that the magnetic fields are directed in the same direction. The excitation coils 31A and 31B are excited from the converter side via excitation leads 32A and 32B, for example, in the form of a rectangular wave having a frequency higher than the commercial frequency. An electric current is applied to the measurement fluid flowing through the pipe 20.
【0055】これにより、パイプ20の中には測定流体
の流量に対応した起電力が発生するが、この起電力は測
定流体と検出電極23A、32Bとの間で形成されるパ
イプ20の静電容量CP1、CP2を介して検出され、信号
リード線38A、38Bを通して変換器側に伝送され、
電気信号としての流量信号に変換される。As a result, an electromotive force corresponding to the flow rate of the measurement fluid is generated in the pipe 20, and this electromotive force is generated by the electrostatic force of the pipe 20 formed between the measurement fluid and the detection electrodes 23A and 32B. Detected via the capacitances C P1 and C P2 and transmitted to the converter through signal leads 38A and 38B,
It is converted into a flow signal as an electric signal.
【0056】この場合、励磁コイルは、従来の構成では
図11に示すように励磁周波数に対するそのインダクタ
ンスLは50KHzの近傍に共振点Rを持ち、このため
図12に示すような励磁電流If2にリンギングが発生す
る不都合があった。[0056] In this case, the exciting coil, the inductance L in the conventional configuration to the exciting frequency, as shown in FIG. 11 has a resonance point R in the vicinity of 50 KHz, the excitation current I f2 as shown in this order 12 There was a problem that ringing occurred.
【0057】これに対して、図1、図2に示す実施例で
は、測定流体に印加する磁場の経路の中に導電性で極め
て薄いダンピング箔28A、28Bを挿入する構成とし
たので、図3に示すように共振点Rが消滅し、図12に
示すようなリンギング現象が生じない。図3の横軸は励
磁周波数、縦軸は励磁コイル31Aと31Bのインダク
タンスLを示す。On the other hand, in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, since the damping foils 28A and 28B, which are conductive and extremely thin, are inserted into the path of the magnetic field applied to the measurement fluid, FIG. As shown in FIG. 12, the resonance point R disappears, and the ringing phenomenon shown in FIG. 12 does not occur. The horizontal axis in FIG. 3 indicates the excitation frequency, and the vertical axis indicates the inductance L of the excitation coils 31A and 31B.
【0058】以下、これについて説明する。一般に、磁
場の経路の中に導電性材料を置くと、ここに渦電流が流
れて反磁界が生じるが、この反磁界は磁場Bの時間微分
に比例するので、高周波成分ほど大きくなる。Hereinafter, this will be described. Generally, when a conductive material is placed in the path of a magnetic field, an eddy current flows there and a demagnetizing field is generated. Since the demagnetizing field is proportional to the time derivative of the magnetic field B, the demagnetizing field becomes larger for higher frequency components.
【0059】このように、反磁界の影響は高周波成分ほ
ど大きくなるので、見かけ上、高周波磁界が小さくな
り、励磁コイル31Aと31BのインダクタンスLを高
周波領域で小さくすることにより、高周波特性を改良し
て励磁電流のリンギングを防止する。As described above, since the influence of the demagnetizing field increases as the frequency component increases, the high-frequency magnetic field apparently decreases, and the inductance L of the exciting coils 31A and 31B is reduced in the high-frequency range to improve the high-frequency characteristics. To prevent ringing of the exciting current.
【0060】そこで、磁場の経路の中にダンピング箔2
8A、28Bを挿入するのであるが、この場合、ダンピ
ング箔28A、28Bを厚くすると、既述のように磁場
の整定時間が長くなり、誤差要因を作るので、ダンピン
グ箔28A、28Bを導電性材料で極めて薄いものとす
る。Therefore, the damping foil 2 is placed in the path of the magnetic field.
8A and 28B are inserted. In this case, if the damping foils 28A and 28B are made thicker, the settling time of the magnetic field becomes longer as described above and an error factor is created. And extremely thin.
【0061】さらに、励磁周波数として商用周波数より
高い周波数を用いるので、従来のような例えば10Hz
程度の低い励磁周波数で励磁する低周波励磁の電磁流量
計のポールピースコアのようなソリッド状の軟鋼、鉄を
用いることができず、磁気特性の良い成層鉄心を用いる
ことになる。Further, since a frequency higher than the commercial frequency is used as the excitation frequency, for example,
A solid soft steel or iron like a pole piece core of a low-frequency-excitation electromagnetic flowmeter that excites at a low excitation frequency cannot be used, and a layered core having good magnetic properties is used.
【0062】しかしながら、ポールピースコア29A、
29Bとして成層鉄心を用いる構成にすると、磁気回路
の周波数特性が良くなり、周波数に対するポールピース
コア29A、29Bの透磁率が高周波領域において図1
1に示すような共振点Rを有するようになり、励磁電流
のリンギングを招く結果となる。However, the pole piece core 29A,
When a laminated core is used as 29B, the frequency characteristics of the magnetic circuit are improved, and the magnetic permeability of the pole piece cores 29A and 29B with respect to the frequency in the high-frequency region is shown in FIG.
1 has a resonance point R, which results in ringing of the exciting current.
【0063】そこで、この対策としても、図1、図2に
示すダンピング箔28A、28Bは効果が期待でき、さ
らに磁場変動に対して信号のサンプリング時までに磁場
が早期に整定される既述の効果も期待できる。Thus, as a countermeasure, the damping foils 28A and 28B shown in FIGS. 1 and 2 can be expected to have an effect, and the magnetic field is settled early by the time of signal sampling with respect to the magnetic field fluctuation. The effect can be expected.
【0064】さらに、ダンピング箔28A、28Bの大
きさは、ポールピースコア29A、29Bを覆う大きさ
から励磁コイル31A、31Bの外周縁までを覆う大き
さの範囲で調節することにより高次の周波数特性を必要
に応じて改善することができる。[0064] Furthermore, the magnitude of the damping foil 28A, 28B is pole piece core 29A, the exciting coil 31A from the size to cover the 29B, covering up to the outer peripheral edge of 31B size
It can be improved if necessary higher-order frequency characteristic by adjusting at the range.
【0065】図4は本発明の第2の実施例の構成を示す
部分横断面を示す。この場合は、図1に示すダンピング
箔28A、28Bの位置を変更したものである。図1に
示す実施例ではダンピング箔28A、28Bを間隙2
6、27を覆うように励磁コイル31A、31Bとガー
ド電極25Aと25Bとの間の磁束経路に配置して基準
電位点30に接続する構成とした。FIG. 4 is a partial cross section showing the configuration of the second embodiment of the present invention. In this case, the positions of the damping foils 28A and 28B shown in FIG. 1 are changed. In the embodiment shown in FIG. 1, the damping foils 28A and 28B are
The configuration is such that the coils are arranged on the magnetic flux path between the excitation coils 31A and 31B and the guard electrodes 25A and 25B so as to cover the reference potential points 30 so as to cover the reference potential points 30.
【0066】しかし、図4の場合はダンピング箔41
A、41Bをポールピースコア29A、29Bと磁場が
帰還されるリターンコア35との間の磁束経路に配置し
て基準電位点30に接続するように構成したものであ
る。However, in the case of FIG.
A, 41B of the pole piece cores 29A, 29B and the magnetic field is one that was configured to connect to a reference potential point 30 disposed in the magnetic flux path between the return core 35 to be fed back.
【0067】図5は本発明の第3の実施例の構成を示す
部分横断面を示す。この場合は、図4の構成に対してガ
ード電極の構成を変更したものである。この場合は、ガ
ード電極42A、42Bの構成を図1に示す間隙26と
27とが生じないように絶縁しながら重なり合うように
構成している。FIG. 5 is a partial cross section showing the configuration of the third embodiment of the present invention. In this case, the configuration of the guard electrode is changed from the configuration of FIG. In this case, the guard electrodes 42A and 42B are configured so as to overlap while being insulated so that the gaps 26 and 27 shown in FIG. 1 do not occur.
【0068】[0068]
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに本発明の請求項1に記載された発明によれば、励磁
コイルのインダクタンスの周波数特性における共振点を
消滅させる程度に薄い導電性のダンピング箔を磁場が印
加される磁束経路に設けるように構成したので、容量式
電磁流量計において励磁周波数を商用周波数より高い周
波数に選定しても励磁電流がリンギングなどの不安定な
動作をすることがなく安定な流量信号を出力することが
できる。請求項2に記載された発明は、基本的に請求項
1に記載された発明の効果と同様であるAs described above, according to the first embodiment of the present invention, as described in detail with the embodiments, the conductive coil is thin enough to eliminate the resonance point in the frequency characteristic of the inductance of the exciting coil. The damping foil is provided in the magnetic flux path to which the magnetic field is applied, so even if the excitation frequency is selected to be higher than the commercial frequency in the capacitive electromagnetic flowmeter, the excitation current performs unstable operation such as ringing. And a stable flow signal can be output. The invention described in claim 2 is basically the same as the effect of the invention described in claim 1
【0069】請求項3に記載された発明によれば、ポー
ルピースコアとガード電極との間の磁束経路にダンピン
グ箔を配置するようにしたので、請求項1に記載された
効果の他に励磁コイルから検出電極への静電誘導を効果
的に防止する効果もある。[0069] According to the invention described in claim 3, since to arrange the damping foil flux path between the pole piece cores and the guard electrode, the excitation in addition to the effects described in claim 1 There is also an effect of effectively preventing electrostatic induction from the coil to the detection electrode.
【0070】請求項4に記載された発明によれば、ダン
ピング箔の大きさをポールピースコアを覆う大きさから
励磁コイルの外周縁までを覆う大きさの範囲に任意に形
成するようにしたので、高次の周波数特性を必要に応じ
て改善することができる効果がある。[0070] According to the invention described in claim 4, Dan
The size of the ping foil is arbitrarily set in a range from the size covering the pole piece core to the size covering the outer peripheral edge of the exciting coil, so that high-order frequency characteristics can be adjusted as necessary. There is an effect that can be improved.
【0071】請求項5に記載された発明によれば、ガー
ド電極を間隙を覆うように励磁コイルとガード電極との
間の磁束経路に配置したので、励磁コイルから検出電極
への静電誘導を効果的に防止する効果が付加される。According to the fifth aspect of the present invention, since the guard electrode is disposed in the magnetic flux path between the excitation coil and the guard electrode so as to cover the gap, the electrostatic induction from the excitation coil to the detection electrode is provided. The effect of effectively preventing is added.
【0072】請求項6に記載された発明によれば、ガー
ド電極をパイプの端部近傍まで軸方向に延長して前記パ
イプを覆うようにしたので、パイプ内面とコイルシール
ド、コア間の静電容量を見かけ上小さくすることがで
き、測定流体の導電率が低くなったときに生じるスパン
誤差を小さくすることができる。According to the sixth aspect of the present invention, since the guard electrode extends in the axial direction to the vicinity of the end of the pipe so as to cover the pipe, the static electricity between the inner surface of the pipe, the coil shield, and the core is provided. The capacity can be apparently reduced, and the span error generated when the conductivity of the measurement fluid decreases can be reduced.
【0073】請求項7に記載された発明によれば、商用
周波数以上の周波数で励磁してもポールピースコアに成
層鉄心を用いたので、磁界を十分に早く整定させること
ができ、この結果として、信号のサンプリングの際に誤
差を発生させることがない。[0073] According to the invention described in claim 7, since the use of a laminated iron core in the pole piece core be excited by the commercial frequency or more frequencies, it is possible to settle fast enough magnetic field, as a result , No error occurs when sampling the signal.
【0074】請求項8に記載された発明によれば、ダン
ピング箔を共通電位点に接続して接地したので、静電シ
ールド板としての機能をも持たせることが出来、ノイズ
除去に寄与する。According to the eighth aspect of the present invention, since the damping foil is connected to the common potential point and grounded, it can also have a function as an electrostatic shield plate and contribute to noise removal.
【図1】本発明の1実施例の横断面の構成を示す構成図
である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a cross section of one embodiment of the present invention.
【図2】図1に示す実施例に対応する縦断面を示す構成
図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a vertical section corresponding to the embodiment shown in FIG. 1;
【図3】図1に示す実施例における励磁コイルの周波数
特性を示す特性図である。FIG. 3 is a characteristic diagram showing frequency characteristics of an exciting coil in the embodiment shown in FIG.
【図4】本発明の第2の実施例の縦断面を示す構成図で
ある。FIG. 4 is a configuration diagram showing a longitudinal section of a second embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第3の実施例の縦断面を示す構成図で
ある。FIG. 5 is a configuration diagram showing a longitudinal section of a third embodiment of the present invention.
【図6】従来の電磁流量計の検出部の構成を示す説明図
である。FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a detection unit of a conventional electromagnetic flowmeter.
【図7】従来の電磁流量計の欠点を説明する波形図であ
る。FIG. 7 is a waveform chart for explaining a drawback of a conventional electromagnetic flow meter.
【図8】従来の電磁流量計の欠点を説明する説明図であ
る。FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining a drawback of a conventional electromagnetic flow meter.
【図9】流動電位の周波数特性を示す第1の特性図であ
る。FIG. 9 is a first characteristic diagram illustrating frequency characteristics of a streaming potential.
【図10】流動電位の周波数特性を示す第2の特性図で
ある。FIG. 10 is a second characteristic diagram illustrating frequency characteristics of a streaming potential.
【図11】従来の電磁流量計の励磁コイルのインダクタ
ンスの周波数特性を示す特性図である。FIG. 11 is a characteristic diagram showing frequency characteristics of inductance of an exciting coil of a conventional electromagnetic flowmeter.
【図12】従来の電磁流量計の問題点を説明する波形図
である。FIG. 12 is a waveform diagram illustrating a problem of a conventional electromagnetic flow meter.
10、11、23A、23B 検出電極 12 ライニング 13、20 パイプ 14、15、31A、31B 励磁コイル 21 ケース 24A、24B ガードケース 25A、25B、42A、42B ガード電極 26、27 間隙 28A、28B、41A、41B ダンピング箔 10, 11, 23A, 23B Detection electrode 12 Lining 13, 20 Pipe 14, 15, 31A, 31B Excitation coil 21 Case 24A, 24B Guard case 25A, 25B, 42A, 42B Guard electrode 26, 27 Gap 28A, 28B, 41A, 41B damping foil
Claims (8)
たパイプと、ポールピースコアの周囲に巻回されこのパ
イプの外部から前記測定流体に商用周波数より高い周波
数を持つ磁場を印加する励磁コイルと、前記測定流体に
発生した信号電圧を前記パイプで形成される静電容量を
介して検出する一対の検出電極と、これらの検出電極と
離間し円周方向で互いに間隙を保持して少なくとも2つ
に分割されて配置された一対のガード電極と、これらの
ガード電極と接続され一対の前記検出電極を覆う一対の
ガードケースと、前記磁場が印加される磁束経路に設け
られ前記励磁コイルのインダクタンスの周波数特性にお
ける共振点を消滅させる程度に薄い導電性のダンピング
箔とを具備し、前記ガード電極を前記信号電圧と同電位
を保持して低インピーダンスでドライブすることを特徴
とする容量式電磁流量計。And 1. A made of insulating material for flowing a measurement fluid pipe, wound around the pole piece core for applying a magnetic field having a frequency higher than the commercial frequency in the measuring fluid from the outside of the pipe An excitation coil, a pair of detection electrodes for detecting a signal voltage generated in the measurement fluid via a capacitance formed by the pipe, and a gap between the detection electrodes and the detection electrodes in a circumferential direction. A pair of guard electrodes divided into at least two parts and a pair of guard electrodes connected to these guard electrodes and covering the pair of detection electrodes;
And moth Dokesu, the magnetic field comprises a thin conductive damping foil to the extent of eliminating a resonance point in the inductance of the frequency characteristics of the excitation coil provided in a magnetic flux path to be applied, the signal voltage the guard electrode and A capacitive electromagnetic flowmeter characterized by driving at low impedance while maintaining the same potential.
アと前記磁場が帰還されるリターンコアとの間の磁束経
路に配置されることを特徴とする請求項1記載の容量式
電磁流量計。2. The method according to claim 1, wherein the damping foil comprises a pole piece core.
2. The capacitive electromagnetic flowmeter according to claim 1, wherein the magnetic flux meter is disposed in a magnetic flux path between the magnetic field and a return core to which the magnetic field is fed back.
アと前記ガード電極との間の磁束経路に配置されること
を特徴とする請求項1記載の容量式電磁流量計。3. The method according to claim 1, wherein the damping foil comprises a pole piece core.
2. The capacitive electromagnetic flowmeter according to claim 1, wherein the capacitance type electromagnetic flowmeter is arranged in a magnetic flux path between the antenna and the guard electrode.
ピースコアを覆う大きさから前記励磁コイルの外周縁ま
でを覆う大きさの範囲に形成されたことを特徴とする請
求項1記載の容量式電磁流量計。Wherein the magnitude of the damping foil, the capacity of claim 1, wherein the the size to cover the pole piece core is formed in a size range of covering up to the outer periphery of the exciting coil Type electromagnetic flow meter.
前記励磁コイルと前記ガード電極との間の磁束経路に配
置したことを特徴とする請求項1記載の容量式電磁流量
計。5. A capacitive electromagnetic flow meter according to claim 1, wherein said guard electrode is disposed in a magnetic flux path between said exciting coil and said guard electrode so as to cover said gap.
で軸方向に延長して前記パイプを覆うようにしたことを
特徴とする請求項1又は2又は3又は4記載の容量式電
磁流量計。6. A capacitive electromagnetic flow meter according to claim 1, wherein said guard electrode extends in the axial direction to near the end of said pipe so as to cover said pipe. .
ことを特徴とする請求項1又は2又は3又は4又は5又
は6記載の容量式電磁流量計。7. The method of claim 1 or 2 or 3 or 4 or 5 or 6 capacitance type electromagnetic flowmeter, wherein the using a laminated iron core in the pole piece core.
たことを特徴とする請求項1記載の容量式電磁流量計。8. The capacitance type electromagnetic flow meter according to claim 1, wherein said damping foil is connected to a common potential point.
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