JP3045628B2 - Manufacturing method of liquid crystal display element - Google Patents
Manufacturing method of liquid crystal display elementInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、一般的には、カイラル
スメクチック液晶を用いた液晶素子の移動が抑制される
液晶表示素子及び該液晶表示素子の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention generally relates to a liquid crystal display device using a chiral smectic liquid crystal and capable of suppressing the movement of the liquid crystal device, and a method of manufacturing the liquid crystal display device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】強誘電性液晶分子の屈折率異方性を利用
して偏光素子との組み合わせにより透過光線を制御する
型の表示素子がクラーク（Ｃｌａｒｋ）及びラガーウォ
ル（Ｌａｇｅｒｗａｌｌ）により提案されている（特開
昭５６−１０７２１６号公報、米国特許第４３６７９２
４号明細書等）。この強誘電性液晶は、一般に特定の温
度域において、非らせん構造のカイラルスメクチックＣ
相（ＳｍＣ* ）又はＨ相（ＳｍＨ* ）を有し、この状態
において、加えられる電界に応答して第１の光学的安定
状態と第２の光学的安定状態のいずれかを取り、且つ電
界の印加のないときはその状態を維持する性質、すなわ
ち双安定性を有し、また電界の変化に対する応答も速や
かであり、高速ならびに記憶型の表示素子用としての広
い利用が期待され、特にその機能から大画面で高精細な
ディスプレーへの応用が期待されている。2. Description of the Related Art Clark and Lagerwall have proposed a display device of a type that controls transmitted light in combination with a polarizing element utilizing the refractive index anisotropy of ferroelectric liquid crystal molecules. (JP-A-56-107216, U.S. Pat.
No. 4 specification). This ferroelectric liquid crystal generally has a non-helical chiral smectic C in a specific temperature range.
Phase (SmC * ) or H-phase (SmH * ), in which state it takes either a first optically stable state or a second optically stable state in response to an applied electric field; When no voltage is applied, it has the property of maintaining its state, that is, it has bistability, and has a quick response to changes in the electric field, and is expected to be widely used for high-speed and storage-type display elements. Due to its functions, it is expected to be applied to large-screen, high-definition displays.
【０００３】この双安定性を有する液晶を用いる光学変
調素子が所定の駆動特性を発揮するためには、一対の平
行基板間に配置される液晶が、電界の印加状態とは無関
係に、上記２つの安定状態の間での変換が効果的に起る
ような分子配列状態にあることが必要である。In order for an optical modulation element using a liquid crystal having bistability to exhibit predetermined driving characteristics, the liquid crystal disposed between a pair of parallel substrates needs to be driven by the liquid crystal described above regardless of the electric field application state. It is necessary to be in a molecular arrangement in which conversion between the two stable states can take place effectively.
【０００４】また、液晶の複屈折を利用した液晶表示素
子の場合、直行ニコル下での透過率は、Further, in the case of a liquid crystal display device utilizing birefringence of liquid crystal, the transmittance under crossed Nicols is
【０００５】[0005]
【数１】Ｉ／Ｉ0 ＝sin2４θsin2Δnd／λπ 式中：Ｉ0 は入射光強度、 Ｉは透過光強度、 θはチ
ルト角、Δｎは屈折率異方性、ｄは液晶層の膜厚、λは
入射光の波長で表される。前述の非らせん構造における
チルト角θは、第１と第２の配向状態でのねじれ配列し
た液晶分子の平均分子軸方向の角度として現われること
になる。上式によれば、かかるチルト角θが２２．５°
の角度の時最大の透過率となり、双安定性を実現する非
らせん構造でのチルト角θが、２２．５°にできる限り
近いことが必要である。[Number 1] I / I 0 = sin 2 4θsin 2 Δnd / λπ formula: I 0 is the incident light intensity, I is the transmitted light intensity, theta is the tilt angle, [Delta] n is the refractive index anisotropy, d is the liquid crystal layer The film thickness, λ, is represented by the wavelength of the incident light. The tilt angle θ in the above-described non-helical structure appears as an angle in the average molecular axis direction of the twisted liquid crystal molecules in the first and second alignment states. According to the above equation, the tilt angle θ is 22.5 °
It is necessary that the tilt angle θ in the non-helical structure for realizing bistability be as close as possible to 22.5 ° at the maximum transmittance at this angle.
【０００６】なお、強誘電性液晶の配向方法としては、
大きな面積に亘って、スメクチック液晶を形成する複数
の分子で組織された分子層を、その法線に沿って一軸方
向に配向させることができ、しかも製造プロセスも、簡
便なラビング処理により実現できるものが望ましい。[0006] The orientation method of the ferroelectric liquid crystal is as follows.
A molecular layer organized by a plurality of molecules forming a smectic liquid crystal can be uniaxially oriented along a normal line over a large area, and the manufacturing process can be realized by a simple rubbing treatment. Is desirable.
【０００７】強誘電性液晶、特に非らせん構造のカイラ
ルスメクチック液晶のための配向方法としては、例えば
米国特許第４５６１７２６号公報に記載されたものなど
が知られている。As an alignment method for a ferroelectric liquid crystal, particularly a chiral smectic liquid crystal having a non-helical structure, for example, a method described in US Pat. No. 4,561,726 is known.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、Θ＞θa ＞
Θ／２の構成で成り立つ強誘電性液晶セルに於ては、下
述の如き問題点を有していた。However, 発 明>θa>
The ferroelectric liquid crystal cell having the configuration of Θ / 2 has the following problems.
【０００９】即ち、従来のラビング処理したポリイミド
膜によって、ハイプレチルト配向構造を有する非らせん
構造の強誘電性液晶セルに於て、白または黒の定型パタ
ーンを書き込み駆動し続けたとき、白黒に対応した分子
位置に応じた方向で、カイラルスメクチックＣ状態の層
方向に液晶分子が移動する（図１参照）。そして、この
移動によってセル端部に液晶が蓄積されてその部分の圧
力が増加し、セルギャップを押し拡げて液晶層の厚さを
拡大してしまう。その結果、この液晶相が拡大した部分
は黄色く変色する（以下、“黄変”とする）と共に、反
対側の端部においては、液晶分子が無くなって空隙が形
成される。この現象はセルの端部（シール近傍）が最も
顕著であり、移動する液晶分子の量に伴ってセルの内側
へと拡大する。なお、本発明者は、液晶分子が移動する
原因は、駆動パルスによる交流的な電界で、液晶分子の
双極子モーメントが揺らぐことにより発生する電気力学
的効果にあるものと推察している。また、本発明者等の
実験によれば、移動の方向２２は図２（ａ）に示すよう
にラビング方向２０と液晶分子の平均分子軸方向２１、
２１´とにより決まっている。そして、液晶分子の移動
方向はこのようにラビングの方向に依存することから、
この現象は基板界面でのプレチルトの状態に依存してい
ることが推測される。平均分子軸方向２１、２１´は強
誘電性液晶分子の双安定状態における平均的な分子位置
を示している。ここで、例えば、平均分子軸方向が２１
で示した状態で液晶がスイッチングしない程度の適当な
交流電界を印加すると、矢印２２方向に液晶分子移動
し、セル端部２３にて黄変が発生する（図２（ｂ）参
照）。但し、ここでは自発分極の向きが負である液晶材
料を用いた場合について述べている。さらに、この液晶
移動現象はセルの配向状態に依存している。That is, in a non-helical ferroelectric liquid crystal cell having a high pretilt alignment structure, a white or black fixed pattern is continuously written and driven by a conventional rubbed polyimide film. The liquid crystal molecules move in the direction of the chiral smectic C state in a direction corresponding to the molecular position (see FIG. 1). Then, the liquid crystal is accumulated at the cell edge due to this movement, and the pressure in that portion increases, and the cell gap is pushed and expanded, thereby increasing the thickness of the liquid crystal layer. As a result, the portion where the liquid crystal phase is enlarged turns yellow (hereinafter, referred to as “yellowing”), and at the opposite end, the liquid crystal molecules are lost and a void is formed. This phenomenon is most remarkable at the end of the cell (near the seal), and expands to the inside of the cell with the amount of liquid crystal molecules moving. The present inventor speculates that the cause of the movement of the liquid crystal molecules is an electrodynamic effect generated when the dipole moment of the liquid crystal molecules fluctuates due to an alternating electric field generated by a driving pulse. According to the experiments performed by the present inventors, the moving direction 22 is the rubbing direction 20 and the average molecular axis direction 21 of the liquid crystal molecules as shown in FIG.
21 '. And since the moving direction of the liquid crystal molecules depends on the rubbing direction in this way,
It is assumed that this phenomenon depends on the state of pretilt at the substrate interface. The average molecular axis directions 21 and 21 'indicate average molecular positions in the bistable state of the ferroelectric liquid crystal molecules. Here, for example, the average molecular axis direction is 21
When an appropriate AC electric field is applied in such a state that the liquid crystal does not switch in the state shown by (2), the liquid crystal molecules move in the direction of arrow 22 and yellowing occurs at the cell end 23 (see FIG. 2B). However, here, the case where a liquid crystal material having a negative spontaneous polarization direction is used is described. Further, this liquid crystal movement phenomenon depends on the alignment state of the cell.
【００１０】ここで、スメクチック層のシェブロン構造
を含む配向について、図３に沿って説明する。The orientation of the smectic layer including the chevron structure will be described with reference to FIG.
【００１１】この配向は、Ｃ１およびＣ２の２種類の配
向モデルで説明でき、図３で、３１はスメクチック層、
３２はＣ１配向の領域、３３はＣ２配向の領域を表わ
す。スメクチック液晶は一般に層構造をもつが、ＳＡ相
からＳＣ層またはＳＣ＊層に転移すると層間隔が縮むの
で図３のように層が上下基板１４ａ、１４ｂの中央で折
れ曲った構造（シェブロン構造）をとる。折れ曲る方向
は図に示すようにＣ１とＣ２の２つ有り得るが、よく知
られているようにラビングによって基板界面の液晶分子
は基板に対して角度をなし（プレチルト）、その方向は
ラビング方向Ａに向って液晶分子が頭をもたげる（先端
が浮いた格好になる）向きである。このプレチルトのた
めにＣ１配向とＣ２配向は弾圧エネルギー的に等価でな
く、上述のようにある温度で転移が起こる。また、機械
的な歪みで転移が起こることもある。図３の層構造を平
面的にみると、ラビング方向Ａに向ってＣ１配向からＣ
２配向に移るときの境界３４はジグザグの稲妻状でライ
トニング欠陥と呼ばれ、Ｃ２からＣ１に移るときの境界
３５は幅の広い、ゆるやかな曲線状でヘアピン欠陥と呼
ばれる。This orientation can be explained by two types of orientation models C1 and C2. In FIG. 3, reference numeral 31 denotes a smectic layer;
32 represents a C1-oriented region, and 33 represents a C2-oriented region. The smectic liquid crystal generally has a layer structure, but when the phase shifts from the SA phase to the SC layer or the SC * layer, the layer interval is shortened. Therefore, the layer is bent at the center of the upper and lower substrates 14a and 14b as shown in FIG. Take. As shown in the figure, there are two bending directions, C1 and C2. As is well known, the liquid crystal molecules at the substrate interface form an angle with the substrate by rubbing (pretilt), and the direction is the rubbing direction. The liquid crystal molecules are tilted toward A (the tip is floating). Because of this pretilt, the C1 orientation and the C2 orientation are not equivalent in terms of repression energy, and transition occurs at a certain temperature as described above. In addition, transition may occur due to mechanical strain. When the layer structure of FIG. 3 is viewed in plan, the rubbing direction
The boundary 34 when shifting to the two orientations is called a lightning defect in a zigzag lightning shape, and the boundary 35 when shifting from C2 to C1 is called a hairpin defect with a wide, gentle curve.
【００１２】強誘電性液晶を配向するための相互にほぼ
平行で同一方向の一軸性配向処理が施された一対の基板
を備え、強誘電性液晶のプレチルト角をα、チルト角
（コーン）角の１／２）をΘ、Ｓｍ＊Ｃ層の傾斜角のδ
とし、強誘電性液晶は、数１式で表わされる配向状態を
有するようにすると、Ｃ１配向状態においてさらにシェ
プロン構造を有する４つの状態が存在する。A pair of substrates which are substantially parallel to each other and have been subjected to uniaxial alignment processing in the same direction for aligning the ferroelectric liquid crystal are provided. The pretilt angle of the ferroelectric liquid crystal is α, and the tilt angle (cone) angle is Θ), and δ of the inclination angle of the Sm * C layer
Assuming that the ferroelectric liquid crystal has an alignment state represented by Formula 1, there are four states having a Sheplon structure in the C1 alignment state.
【００１３】[0013]
【数２】Θ＜ａ＋δ この４つのＣ１配向状態は、従来のＣ１配向状態とは異
なっており、なかでも４つのＣ１配向状態のうちの２つ
の状態は、双安定状態（ユニフォーム状態）を形成して
いる。ここで、無電界時のみかけのチルト角をθａとす
れば、Ｃ１配向状態における４つの状態のうち、数３式
の関係を示す状態をユニフォーム状態という。Θ <a + δ These four C1 orientation states are different from the conventional C1 orientation state, and two of the four C1 orientation states form a bistable state (uniform state). doing. Here, assuming that the apparent tilt angle at the time of no electric field is θa, a state showing the relationship of Expression 3 among the four states in the C1 alignment state is called a uniform state.
【００１４】[0014]
【数３】Θ＞θａ＞Θ／２ ユニフォーム状態においては、その光学的性質からみて
ダイレクタが上下基板間でねじれていないと考えられ
る。図４（ａ）はＣ１配向の各状態における基板間の各
位置でのダイレクタの配置を示す模式図である。図中５
１〜５４は各状態においてダイレクタをコーンの底面に
投影し、これを底面方向から見た様子を示しており、５
１および５２がスプレイ状態、５３および５４がユニフ
ォーム状態と考えられるダイレクタの配置である。同図
から分かるとおり、ユニフォームの２状態５３と５４に
おいては、上下いずれかの基板界面の液晶分子の位置が
スプレイ状態の位置と入れ替わっている。図４（ｂ）は
Ｃ２配向を示しており、界面のスイッチングはなく内部
のスイッチングで２状態５５と５６がある。このＣ１配
向のユニフォーム状態は、従来用いていたＣ２配向にお
ける双安定状態より大きなチルト角θａを生じ、輝度大
きくしかもコントラストが高い。Θ>θa> Θ / 2 In the uniform state, it is considered from the optical properties that the director is not twisted between the upper and lower substrates. FIG. 4A is a schematic diagram showing the arrangement of directors at each position between substrates in each state of C1 orientation. 5 in the figure
Numerals 1 to 54 show the state in which the director is projected on the bottom surface of the cone in each state and this is viewed from the bottom direction.
Reference numerals 1 and 52 denote director arrangements which are considered to be in a spray state, and reference numerals 53 and 54 denote director arrangements which are considered to be in a uniform state. As can be seen from the figure, in the two states 53 and 54 of the uniform, the position of the liquid crystal molecules at the upper or lower substrate interface is replaced with the position in the spray state. FIG. 4B shows the C2 orientation, and there are two states 55 and 56 by internal switching without interface switching. In the uniform state of the C1 orientation, a larger tilt angle θa is generated than in the conventionally used bistable state in the C2 orientation, and the brightness is high and the contrast is high.
【００１５】そこで、本発明は、液晶分子の移動を抑え
ることにより、上述のような黄変及び空隙の発生を抑制
するようにした液晶表示素子の製造方法を提供すること
を目的とするものである。Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device in which the occurrence of the above-mentioned yellowing and voids is suppressed by suppressing the movement of liquid crystal molecules. is there.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みてなされたものであって、透明電極が形成された２枚
の基板を貼り合わせて、これら２枚の基板により形成さ
れる間隙内に強誘電性液晶を注入する、液晶表示素子の
製造方法において、前記２枚の基板を貼り合わせる前
に、非透光性の金属補助電極を前記透明電極の一部に形
成し、前記基板の前記金属補助電極の形成された側に感
光性樹脂を塗布し、前記基板の前記金属補助電極の形成
されていない側から光を照射して、前記感光性樹脂を前
記金属補助電極と同形状にパターニングする、ことを特
徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and has been made in consideration of the above-described circumstances, by bonding two substrates on each of which a transparent electrode is formed, and forming a gap formed by these two substrates. A method of manufacturing a liquid crystal display element, in which a ferroelectric liquid crystal is injected into a substrate, wherein a non-light-transmitting metal auxiliary electrode is formed on a part of the transparent electrode before the two substrates are bonded to each other; A photosensitive resin is applied to the side on which the metal auxiliary electrode is formed, and light is irradiated from the side of the substrate where the metal auxiliary electrode is not formed, so that the photosensitive resin has the same shape as the metal auxiliary electrode. Patterning.
【００１７】[0017]
【００１８】[0018]
【００１９】この場合、前記感光性樹脂はポジ型であ
り、かつ、該感光性樹脂は、前記金属補助電極の上に配
向膜が形成されると共に該配向膜の配向処理が行われた
後に塗布される、ようにすると好ましい。In this case, the photosensitive resin is of a positive type, and the photosensitive resin is coated after an alignment film is formed on the metal auxiliary electrode and the alignment film is subjected to an alignment treatment. It is preferable to do so.
【００２０】[0020]
【作用】以上構成に基づき、基板の金属補助電極の形成
された側に塗布された感光性樹脂に対し、基板の金属補
助電極の形成されていない側から光を照射することによ
り、金属補助電極上に精度良く土手を形成することがで
きるようにする。According to the above arrangement, the photosensitive resin applied to the side of the substrate where the metal auxiliary electrode is formed is irradiated with light from the side of the substrate where the metal auxiliary electrode is not formed. An embankment can be formed with high precision on the top.
【００２１】[0021]
【実施例】以下、図５に沿って、本発明の実施例につい
て説明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
【００２２】本実施例に係る液晶表示素子は、２枚のガ
ラス基板１，１を備えており、これらの基板１，１上に
は透明電極２，２が形成されている。また、この透明電
極２，２上には部分的に金属補助電極７，７が形成され
ており、これらの電極２，７は絶縁膜３，３によって被
覆されている。さらに、これらの絶縁膜３，３上には配
向膜４，４が形成されている。またさらに、このような
構成のガラス基板１，１は、スぺーサ６を挟んで貼り合
わされており、基板間の間隙には強誘電性液晶５が注入
されている。The liquid crystal display device according to the present embodiment has two glass substrates 1 and 1, on which transparent electrodes 2 and 2 are formed. Further, metal auxiliary electrodes 7, 7 are partially formed on the transparent electrodes 2, 2, and these electrodes 2, 7 are covered with insulating films 3, 3. Further, alignment films 4 and 4 are formed on these insulating films 3 and 3, respectively. Further, the glass substrates 1 and 1 having such a configuration are bonded together with a spacer 6 interposed therebetween, and a ferroelectric liquid crystal 5 is injected into a gap between the substrates.
【００２３】ところで、上述した金属補助電極７，７の
形成された部分には重ねて、土手８，８が配向膜４，４
表面に形成されている。この土手８を形成する方法につ
いて以下に説明する。いま、ラビング処理を施した後の
配向膜４，４を洗浄・乾燥し、この配向膜４，４表面に
感光性樹脂としてのフォトレジスト（ＯＦＰＲ# ８０
０）を塗布する。ここで、塗布する厚さは、補助電極同
志が交叉した部分の空隙の半分の厚さ（本実施例におい
ては０．６μｍ）とする。その後、８０℃の温度で１５
分間プリベークを施した。そして、基板１，１の裏側
（電極２，７の形成されていない側）からＵＶ光を照射
して露光し、さらに現像、リンス処理及びポストベーク
（１２０℃・３０分）を行ってパターニングした。な
お、このようにして土手８，８を形成した後の基板１，
１は、通常の方法と同様にして貼り合わせ、セルを形成
した。By the way, the banks 8, 8 are overlapped on the portions where the above-mentioned metal auxiliary electrodes 7, 7 are formed, and the alignment films 4, 4 are overlapped.
Formed on the surface. A method for forming the bank 8 will be described below. Now, the alignment films 4 and 4 after the rubbing treatment are washed and dried, and a photoresist (OFPR # 80) as a photosensitive resin is formed on the surfaces of the alignment films 4 and 4.
0) is applied. Here, the thickness to be applied is set to be half the thickness (0.6 μm in the present embodiment) of the space where the auxiliary electrodes cross each other. Thereafter, at a temperature of 80 ° C., 15
Pre-baked for a minute. Then, exposure was performed by irradiating UV light from the back side of the substrates 1 and 1 (the side where the electrodes 2 and 7 were not formed), and patterning was performed by performing development, rinsing, and post-baking (120 ° C. for 30 minutes). . In addition, the board | substrate 1 after forming the bank 8,8 in this way,
In No. 1, a cell was formed in the same manner as in the ordinary method.
【００２４】これにより、液晶表示素子を駆動して液晶
分子が移動しようとしても、液晶分子の移動は土手８，
８によって抑制される。したがって、上記従来例にて述
べたような黄変や空隙の発生も抑制されて、均一な表示
状態を可能にする。また、土手８，８は、配向膜４，４
のラビング処理が完了した後に形成されるため、均一配
向を維持できる。さらに、金属補助電極７，７がフォト
リソグラフィにおけるフォトマスクの役割を果たすた
め、フォトマスクのセッティング等面倒な操作を不要と
し、かつ金属補助電極７，７上に精度良く土手８を形成
することができる。Accordingly, even if the liquid crystal display element is driven to move the liquid crystal molecules, the movement of the liquid crystal molecules is prevented by the bank 8,
8 to be suppressed. Therefore, the occurrence of yellowing and voids as described in the above-described conventional example is suppressed, and a uniform display state is enabled. In addition, the banks 8, 8 are provided with alignment films 4, 4,
Is formed after the completion of the rubbing treatment, the uniform alignment can be maintained. Further, since the metal auxiliary electrodes 7 and 7 play a role of a photomask in photolithography, troublesome operations such as setting of a photomask are not required, and the bank 8 can be formed on the metal auxiliary electrodes 7 and 7 accurately. it can.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
基板の金属補助電極の形成された側に塗布された感光性
樹脂に対し、基板の金属補助電極の形成されていない側
から光を照射することにより、金属補助電極上に精度良
く、液晶分子の移動を抑制して黄変や空隙の発生を抑制
する土手を形成することができる。また、感光性樹脂を
ポジ型とすると共に金属補助電極の形成されていない側
から光を照射することにより、金属補助電極がフォトリ
ソグラフィにおけるフォトマスクの役割を果たすため、
フォトマスクのセッティング等の面倒な操作を不要とす
ることができる。As described above, according to the present invention,
By irradiating the photosensitive resin applied on the side of the substrate where the metal auxiliary electrode is formed with light from the side of the substrate where the metal auxiliary electrode is not formed, the liquid crystal molecules are precisely formed on the metal auxiliary electrode. It is possible to form a bank that suppresses the movement and suppresses the occurrence of yellowing and voids. In addition, by irradiating the photosensitive resin with a positive type and irradiating light from the side where the metal auxiliary electrode is not formed, the metal auxiliary electrode serves as a photomask in photolithography.
A troublesome operation such as setting of a photomask can be eliminated.
【図１】従来の問題点を説明するための図。FIG. 1 is a diagram for explaining a conventional problem.
【図２】（ａ）及び（ｂ）共に液晶の移動方向を示すた
めの図。FIGS. 2A and 2B are diagrams for illustrating a moving direction of a liquid crystal.
【図３】スメクチック層の配向モデルを示した図。FIG. 3 is a view showing an orientation model of a smectic layer.
【図４】（ａ）はＣ１配向の各状態における基板間の各
位置でのダイレクタの配置を示す模式図、（ｂ）はＣ２
配向を示す模式図。4A is a schematic diagram showing the arrangement of directors at each position between substrates in each state of C1 orientation, and FIG.
FIG.
【図５】本実施例に係る液晶表示素子の製造方法により
製造された液晶表示素子の構造を示す縦断面図。FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing the structure of a liquid crystal display device manufactured by the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present embodiment.
１ 基板（ガラス基板） ２ 電極（透明電極） ３ 絶縁膜 ４ 配向膜 ５ 強誘電性液晶 ６ スぺーサ ７ 電極（金属補助電極） ８ 土手 Reference Signs List 1 substrate (glass substrate) 2 electrode (transparent electrode) 3 insulating film 4 alignment film 5 ferroelectric liquid crystal 6 spacer 7 electrode (metal auxiliary electrode) 8 bank
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1337 510 G02F 1/1339 500 G02F 1/1343 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1337 510 G02F 1/1339 500 G02F 1/1343
Claims (2)
合わせて、これら２枚の基板により形成される間隙内に
強誘電性液晶を注入する、液晶表示素子の製造方法にお
いて、 前記２枚の基板を貼り合わせる前に、非透光性の金属補
助電極を前記透明電極の一部に形成し、前記基板の前記 金属補助電極の形成された側に感光性樹
脂を塗布し、前記基板の 前記金属補助電極の形成されていない側から
光を照射して、前記感光性樹脂を前記金属補助電極と同
形状にパターニングする、 ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。1. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: bonding two substrates on each of which a transparent electrode is formed; and injecting a ferroelectric liquid crystal into a gap formed by the two substrates. before bonding the substrates to form a non-transparent metal auxiliary electrode to a part of the transparent electrode, a photosensitive resin is applied to the side which is formed of the metal auxiliary electrode of the substrate, the substrate wherein the side not formed with the metal auxiliary electrode is irradiated with light, patterning the photosensitive resin to the metal auxiliary electrode having the same shape, manufacturing method of a liquid crystal display element characterized by the.
されると共に該配向膜の配向処理が行われた後に塗布さ
れる、 ことを特徴とする請求項１記載の液晶表示素子の製造方
法。2. The photosensitive resin is of a positive type, and the photosensitive resin is applied after an alignment film is formed on the metal auxiliary electrode and an alignment process of the alignment film is performed. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15272093A JP3045628B2 (en) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | Manufacturing method of liquid crystal display element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15272093A JP3045628B2 (en) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | Manufacturing method of liquid crystal display element |
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| JPH06337423A JPH06337423A (en) | 1994-12-06 |
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ID=15546682
Family Applications (1)
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
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-
1993
- 1993-05-31 JP JP15272093A patent/JP3045628B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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