JP3044787B2 - 可燃ガスから粒状物質を分離する方法および装置 - Google Patents

可燃ガスから粒状物質を分離する方法および装置

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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は可燃ガスから粒状物質を分離する方法に関わ
り、特に、ガスが透過するろ過部材およびこのろ過部材
を周期的に浄化する手段を含む可燃ガスろ過装置の使用
に関するものである。
背景技術 石炭、油、生命体すなわちバイオマスまたは他の石化
燃料のガス化、または大気圧または加圧条件の下で他の
反応性ガスを使用または生産する他の応用において、発
生した合成ガスを燃焼、化学薬品の生産または他の応用
に使用する前にろ過することがしばしば要求される。
特に最新のガス化方法は、ガス（通常は、高温高圧の
生成ガス）から効率的且つ信頼性を有して粒状物質を分
離することのできる粒子分離器の必要性をもたらした。
流動床ガス化処理において、微細な固体床材料、飛散
灰、未反応燃料、さらには未反応吸収剤（すなわち硫黄
捕捉のための）のような微細塵は、ガス化室から排出さ
れる高温高圧生成ガスに含まれて選ばれる。固体はガス
から分離されねばならず、通常はガス化室の中へ戻され
るように循環される。
高温ガスがガスタービン内で膨張される最新の複合サ
イクルの発電所では、ガスのための効率的な浄化装置が
ガスタービンの信頼性のある作動に欠くことができな
い。何故なら、ガス中のたとえ非常に微細な粒状物質で
あってもタービンブレードに激しい浸食（エロージョ
ン）および汚損を生じるからである。
他方、空気汚染に係る今日の懸念はまた、効率的な塵
捕集装置に大きな容量を要求してきた。ろ過は、ガスに
含まれる粒子、エアロゾルまたは他の固体または液体を
捕集して清浄な生成ガスを発生させるために使用でき
る。
必要とされるガスからの固体粒状物質の信頼性のある
分離を達成するために、各種形式のバリヤ（障害物）フ
ィルターが使用されている。近年、ガス透過セラミック
または超合金フィルターが従来の分離装置（より中間的
な温度のガスを浄化することに主に使用される従来のバ
ッグハウスのような）の代わりに適当とされてきた。セ
ラミックおよび超合金ろ過部材は高温高圧の可燃ガスか
らの粒状物質の分離を可能にする。多孔質の超合金また
はセラミックで作られたこれらのろ過部材による分離装
置は、非常に高い温度条件に耐えるとともに表面すなわ
ち耐火内張り材を冷却することで保護されることを必要
としないので、かなり小型の簡単な装置に造り上げるこ
とができ、またそのろ過部材は非常に容易に高圧装置に
組み合わせることができる。
含塵ガスから粒子を除去するためにバリヤ・フィルタ
ー、セラミックろ過部材、並びに従来のバッグ式ろ過部
材を使用すると、ろ過部材の周期的な浄化が必要とされ
る。作動時に塵塊がろ過部材の媒体の表面に捕集され
る。塵粒子のある量がろ過部材の孔すなわちガス通路を
詰まらせ、残る量が圧縮塊を形成するのであり、この塊
はろ過部材表面に急速に堆積されて効率低下をもたら
し、またはろ過作用を阻害すらする。大量の塵がろ過部
材表面に堆積するとろ過部材の両側で大きな圧力差が生
じるので、ガスを通過させるためには高い圧力すなわち
エネルギーが必要となる。ろ過媒体を横断する圧力降下
は、ろ過処理が長期の作動期間にわたり持続できるよう
にろ過媒体が再生されてその表面に捕集された物質を除
去されるまで、増大を続ける。
従来のバッグ式ろ過部材は、振とう（shaking）、撹
拌（agitating）、振動によって、またはブラッシング
または剥ぎ取りによってさえ、ろ過媒体上に堆積した塵
層を解放させて浄化されていた。長尺で薄いセラミック
チューブろ過部材のような高温の剛性セラミックろ過部
材は非常に脆く、したがってこのような処理で損傷を生
じることになり得る。
ろ過部材の再生を達成する１つの方法は、ろ過部材内
部における正常時のガスの流れ方向と反対方向に、ろ過
部材に短時間または持続される逆方向の高圧ガスパルス
を周期的に作用させることである。この逆ガス流、すな
わちガスの流れ方向または体積の一時的な変化で生じる
衝撃波が塵塊をろ過部材の表面から脱落させて部材から
の塵除去を可能にする。この浄化装置はろ過部材の逆方
向パルス付与、逆方向浄化、または「ショットブローイ
ング」として知られている。
剛性の大きなセラミックろ過部材に関するより抜きの
浄化方法は、通常は逆方向浄化または逆方向パルス付与
である。逆方向浄化の間、浄化されるろ過部材の部分に
おける本来の分離処理は短時間につき停止されて、ガス
がろ過装置を通して逆方向へ流れるようにする。
圧縮空気または高圧蒸気が逆方向パルス付与に使用さ
れる標準的な物質である。ろ過チューブはその内部に周
期的に圧縮空気パルスを噴射することで浄化される。圧
縮空気パルスは塵をろ過チューブの外面から解放する。
全てのろ過チューブの浄化を保証するためには、各ろ過
チューブがそれ自体の圧縮空気噴射器を有するか、また
は数本のチューブに共通の可動噴射器が使用されねばな
らない。米国特許第4468240号は上述した形式のろ過部
材浄化装置を備えたろ過分離装置を示している。ヨーロ
ッパ特許出願第91113028.4のパルス付与装置にも注意が
向けられる。
WO91/00769号明細書には、高温ガスから粒状物質を分
離する装置および方法が開示されている。この明細書は
ろ過部材容器の内側に逆方向パルス付与用ノズルの位置
を示しており、その内容は非反応性ガスのろ過に関する
ものである。
完全に酸化したまたは非反応性ガスに対してろ過が行
われる場合、ろ過部材に対して逆方向パルスを付与する
ために空気または蒸気が非常に有効である。しかしバイ
オマス、石炭、油または他の物質のガス化により発生さ
れた可燃合成ガスのような反応性ガスから粒子を除去す
るような応用においては、ろ過部材に対する逆方向パル
ス付与に空気または蒸気を使用することは危険である。
空気は特に高温において制御不能且つ激しく可燃ガスと
反応して、発炎または爆発を引き起こす。蒸気もまたそ
のガスと反応してろ過部材に使用されているある種のセ
ラミック材料に損傷を与える。
ろ過ガス、すなわちろ過部材によって既に浄化された
ガスを逆方向の洗浄媒体として使用することでろ過部材
を逆方向洗浄することは提案されてきた。このような処
理において、ろ過装置に向かう汚れガスの流れは機械的
バルブを使用して制御されるのであり、その流れはろ過
ガスがろ過部材を通して逆方向に圧送される直前に遮断
される。装置を通して清浄ガスを逆方向へ圧送するため
には複雑な配管およびバルブ装置が必要であり、したが
って商業的環境においてこれを達成することは非常に困
難である。汚れガス給送ラインおよびろ過ガスラインを
頻繁に開閉するために必要とされる機械的バルブに関し
て、かなりの困難が経験された。異なるろ過チューブま
たはろ過部材部分が別々に逆方向パルス付与されるなら
ば非常に沢山のこれらのバルブが特に必要となり、また
そのろ過装置の作動は非常に複雑となる。非常に多数の
バルブを使用するろ過方法は特にガスが低温溶融するア
ルカリ性または金属の蒸気を含んでいなくても浸食およ
び腐食が増大するので、高温作動に使用できない。
米国再発行特許第24954号には少量の空気および爆発
性可燃ガスをろ過媒体の下流側に導き、激しい爆発を生
じさせて衝撃波を発生させ、ろ過媒体上に堆積したろ過
塊を脱落させることにより、剛性のろ過部材を逆方向洗
浄することも提案されている。これは多くの環境、例え
ば複合サイクルでは、安全な方法でない。
本発明は、可燃ガスを浄化する場合に、周知のろ過部
材表面を浄化する装置における欠点を最少限にとどめて
微細粒子を含有する可燃ガスをろ過する改良された方法
および装置の提供を究明する。本発明は可燃ガスのろ過
に使用されるろ過媒体を浄化する安全な方法、および既
存のろ過部材を容易に改造することのできる可燃ガスを
浄化する効率的な方法の提供を究明する。
発明の開示 本発明の１観点によれば、ろ過部材（フィルター）に
より、またそのろ過部材を清浄状態に保持することによ
り可燃ガスを浄化する方法が提供される。この方法は以
下の段階を含む。すなわち、（ａ）第１の圧力で粒子を
含有する可燃ガスをろ過部材に通し、該ろ過部材を通過
するガスの少なくともある量が浄化され、ろ過部材の汚
れ面上に粒子が捕集される一方、浄化された可燃ガスが
ろ過部材の清浄面を通って流出する。（ｂ）清浄な可燃
ガスを、周期的または間歇的に第１の圧力よりも高い第
２の圧力でろ過部材の清浄面を通して圧送して、ろ過部
材の汚れ面上に捕集された粒子を脱落させる。および
（ｃ）清浄な可燃ガスを浄化された可燃ガスと混合し、
その混合ガスを使用ステーションへ向けて送り出す。段
階（ｂ）は、メタン、エタン、プロパンまたはブタンの
ような短鎖の炭化水素ガスを使用して実施されている。
加圧状態で蓄えられた液体（液化メタン、エタンなど
のような）を清浄可燃ガス中にフラッシュさせ（流し込
むこと）、そのガスで段階（ｂ）を実施する他の段階
（ｄ）も含まれ得る。段階（ｂ）は清浄可燃ガスをベン
チュリに通し、次にろ過部材に通して導くことで実施さ
れ得る。ベンチュリに対してガスはタンク（例えばアキ
ュムレータ）から供給され得るのであり、これはタンク
とベンチュリとの間を連結するバルブを周期的または間
歇的に自動的に開成させて行われる。混合された清浄な
可燃ガスおよび浄化された可燃ガスはその使用ステーシ
ョンにおいて燃焼される。
本発明はまた粒子を含む汚れた可燃ガスを長期間にわ
たってろ過する装置を構成する。この装置は以下の部材
を含む。すなわち、汚れたガスの入口および清浄ガスの
出口を有する容器。この容器内に配置され、その第１面
が入口と、第２面が出口と作動結合される複数のろ過部
材。また、ろ過部材を通して清浄ガスを周期的または間
歇的にパルス付与してそれらの部材を浄化する手段であ
って、容器内部に配置されたノズルと、容器外部の清浄
な加圧された可燃ガス用の大気圧以上の圧力タンクと、
ノズルおよびタンクの間のバルブとを含むパルス付与手
段。
パルス付与手段はノズルと作動的に組み合わされて容
器内部に配置されるベンチュリを更に含む。容器は垂直
に配置されることができ、また垂直に配置されるならば
ノズルもそのように配置され、したがって清浄可燃ガス
はノズルから上方へ向けてベンチュリを通して排出され
るようになされ得る。複数のホッパーがろ過部材の下方
の容器内部に配置され、汚れた可燃ガスから分離された
粒子を捕集するようになされ得る。タンクは圧縮機に作
動連結されたアキュムレータを含み得る。ろ過部材はセ
ラミックチューブまたは超合金チューブであることが好
ましい。
本発明によれば、ろ過部材を浄化する安全な方法は、
ろ過されるガスで容器且つ経済的に利用可能なガスと同
様な性質を有する逆方向パルス付与用ガスを使用するこ
とである。特に、可燃ガスを処理するのに使用されるろ
過部材の浄化のためには、天然ガス（メタン）、エタ
ン、プロパン、ブタン、液化石油ガス（LPG）のような
物質、または他の可燃ガスを逆方向パルス付与のために
使用できる。これらのガスは逆方向パルス付与の間にろ
過されたガスと混合され、生成ガスの要素となる。
逆方向パルス付与に使用されるこの可燃ガスはろ過部
材内部の作動圧力に勝るため、およびろ過媒体の浄化を
完全に達成するために十分な圧力にまで圧縮されねばな
らない。保存容器（槽）は一定圧力のガスの保存量を維
持するためにアキュムレータのようなものを使用でき
る。急速作動バルブ（ボールまたはソレノイドバルブの
ような）が逆方向パルス付与の頻度および持続時間を制
御するために使用される。
ろ過部材の表面上に体積した固体材料に起因してろ過
媒体を横断する圧力降下が再生／浄化の必要とされるレ
ベルに達すると、逆方向パルス付与が開始され、ろ過部
材の表面の浄化および圧力降下の低減によりろ過部材の
継続作動が可能となされる。逆方向パルス付与によるろ
過部材の浄化は、ろ過媒体におけるこの圧力降下が増大
して設定値を超えたときに自動的に開始され得る。逆方
向パルス付与処理は必要とされる間隔幅で繰り返されて
ろ過部材の安定した持続作動を維持するようになされ
る。
本発明の重要な特徴は、従来一般的でないガスが逆方
向パルス付与に使用されることである。空気および蒸気
が本願にて使用される標準的な物質である。本発明によ
れば、天然ガスまたはその代わりにエタン、プロパンま
たは他の商業的に入手可能な短鎖炭化水素ガスのような
安定した清浄な可燃ガスが、可燃ガスまたは反応性合成
ガスから粒子を除去するために使用されたろ過部材の浄
化に使用される。酸素は浄化された生成ガスに加えられ
ず（および重大な量は存在されず）、これによりろ過部
材内部での発炎または爆発の危険性、または例えばセラ
ミックろ過部材の劣化は排除される。蒸気は、これが装
置に加えられるとするならば、他の処理目的のために必
要なので加えられるだけであり、またその蒸気の量はろ
過部材浄化の要求により追加されることはない。
逆方向パルス付与処理の間、天然ガスまたは他の使用
された可燃ガスは生成ガスと混合され、最終的に燃焼さ
れるか、そうでなければそれとともに使用される。した
がって、逆方向パルス付与用ガスの熱価は生成ガスが燃
焼されまたは使用されるときに回収される。これによ
り、逆方向パルス付与に可燃ガスを使用することは経済
的となる。
外部アキュムレータからろ過部材ハウジングの清浄ガ
ス側の噴射器内部へ至るガスの逆方向パルス付与は非常
に容易に達成され、また既存のろ過装置に簡単に改修す
ることができる。逆方向パルス付与用ガスの圧力はその
必要性および使用される可燃ガスの種類に応じて容易に
選定できる。必要ならば、ろ過部材ハウジングの別区画
のろ過チューブを浄化するために別個の小さなアキュム
レータが容易に配置できる。
本発明の主目的は、可燃ガスのためのセラミックおよ
び超合金ろ過部材のようなろ過部材の安定且つ効率的な
浄化を提供することである。本発明のこの目的および他
の目的は、本発明の詳細な説明を通読することで、およ
び添付の請求の範囲の記載から明らかになるだろう。
図面の簡単な説明 第１図は本発明の教示を使用して、可燃生成ガスを浄
化するためのろ過組立体の概略的な垂直横断面図を示
し、 第２図は第１図の線２−２に沿うろ過組立体の中央に
おける長手方向の概略横断面図、および 第３図は本発明によるろ過組立体第２の例示的な実施
例の概略的な垂直横断面図である。
詳細な説明 第１図および第２図に全体を符号10で可燃生成ガスを
浄化するろ過組立体が示されている。この反応装置10は
主圧力容器12を含み、この容器は上部に位置された汚れ
たガスの入口14および汚れたガスのための空間16、およ
び下部に位置された分離された粒子の出口18および浄化
されたガスの出口20を有する。この圧力容器内部のろ過
装置は複数の垂直な平行な中空の管状ろ過部材22を含
み、これらの部材は多孔質でその両端が開放されてい
る。ろ過部材が作られる材料にはセラミック材料または
超合金、またはそれらの複合材が含まれ得るのであり、
ろ過チューブ自体は周知である（例えば、ヨーロッパ特
許出願第91113028.4号参照）。
ろ過部材22は２個の支持プレート24および26で支持さ
れる。ろ過部材22の上端部28は汚れたガスの空間16に開
放されてろ過部材の内部がその汚れ側とされるようにな
される一方、浄化ガスの出口20はろ過部材の外部側30に
おける清浄ガスの空間と協動するようになされる。
容器の下部にて環状ホッパー32、または複数の準環状
ホッパー32がろ過チューブ22の下側開口端部に連結して
いる。ホッパー32はろ過部材10で汚れたガスから分離さ
れた粒子を捕集する。ホッパー32はこの捕集した粒子を
排出する出口18に連結されている。
下側支持プレート26の中央には浄化されたガスの出口
導管34が配置され、ろ過室すなわち清浄ガス側30へ延在
されるようになされている。浄化されたガスの出口導管
34は更に容器底部の浄化されたガスの出口20へ連結され
ている。
浄化されたガスの出口導管34の入口端部はスロート部
分38を有するベンチュリ36として形成されている。ガス
噴射器40を形成する比較的小径のパイプ浄化されたガス
の出口導管34の中に配置されて、高圧逆方向パルス付与
用ガスをスロート38に通して清浄ガス側30へ間歇的に供
給するようになす。高圧ガス噴射器40はろ過部材22を通
る浄化用ガスの逆流を生じさせる。
ガス噴射器40はパイプ42およびバルブ44を経て、高圧
な天然ガスのような可燃ガスを収容するアキュムレータ
46へ連結されている。アキュムレータ46はダクト48を経
て、浄化用ガスを圧縮する小型圧縮機50に連結されてい
る。ガスは入口ダクト52を通して圧縮機50へ導かれる。
本発明による作動において、第１の圧力にて通常は連
続する汚れたガスの流れは入口14を通して圧力容器12内
に導かれる。この汚れたガスは空間16から管状ろ過部材
22の内部へ流れ込み、これにより清浄ガスがろ過部材22
の多孔質壁を浸透してろ過部材22の外部の清浄ガスの空
間30内へ流れ込む。微細塵はろ過部材22の表面で汚れた
ガスから分離され、そのある量は表面上に堆積され、あ
る量は容器12の下部に配置されたホッパー32内へと下方
へ流れる。粒子は出口18を通してホッパー32から排出さ
れる。
浄化されたガスは容器から浄化されたガス用の出口導
管34を通して排出される。ろ過部材に係る自動的に測定
される圧力降下があるレベルより高くまで増大すると、
バルブ44が開口し、第１の圧力よりも高い（例えば、少
なくとも２倍高い）第２の圧力に加圧された天然ガスの
ような可燃ガスがアキュムレータ46からガス噴射器40を
通して浄化されたガス用の出口導管34のベンチュリ部分
38の中へ間歇的に噴射される。勿論、好都合の逆方向ガ
スパルス付与は、従来の制御装置45で制御されて、如何
なる圧力降下の制御も行わずに、周期的または間歇的に
導かれ得る。噴射されたガスは清浄ガス側からろ過部材
を通して汚れたガス側へガスパルスを前進させ、これに
よりろ過部材の表面に堆積した粒子を脱落させる。逆方
向パルスは通常は非常に短い持続時間、例えば0.05〜1.
0秒（約0.3〜0.5秒であることが好ましい）であり、そ
の後バルブ44は閉止される。浄化に必要とされるガス量
は連続時の測定された全ガス流量の約１〜５％である。
生成ガスが非常に汚れている場合には、更に逆方向フラ
ッシュが必要とされ、全生成ガス流量の最大約20％が逆
方向フラッシュガスとされる。
逆フラッシュガスの温度は重要でない。ただ、装置を
損傷しないまたは処理に悪影響を及ぼさない範囲にすべ
きである。
追加の加圧されたガスが圧縮機50からアキュムレータ
46の内部へ導かれ得る。商業的なエタン、プロパンなど
のような可燃ガスが使用される場合、既に充満されたガ
スアキュムレータまたはタンクを使用することが可能で
あり、また必要に応じて空のタンクを充満されたものと
交換することが可能である（例えば、第３図のタンク54
を参照されたい）。
浄化されたガスおよび逆方向パルス付与用ガスの何れ
も逆方向パルス付与時にろ過部材22を通して流れる。逆
方向パルス付与に使用された可燃ガスは清浄ガスの空間
30内で生成ガスと混合される。混合されたガスは清浄な
生成ガスとともに使用でき、例えばガスタービンまたは
エネルギー回収のために燃焼装置で燃焼される。
必要ならば圧力容器12は数個の支持プレートで分割さ
れ、隣接する支持プレートの間のろ過室および清浄ガス
の空間の各々が分離アキュムレータに連結されたそれ自
体のガス噴射装置を有することができる。アキュムレー
タのガス圧力は必要に応じて変化できる。例えば、第３
図の実施例に関して見られるように（第１図および第２
図の実施の構成部材に対比できる構成部材は前に「１」
を付して同じ符号で示されている）、複数の垂直方向に
間隔を隔てられた組をなすろ過部材が１つの垂直方向に
配置された反応装置容器112の内部に備えられており、
各々のろ過部材は、ろ過部材122の汚れた表面上に捕集
された粒子を除去するために清浄な可燃ガスを先ず最初
は垂直方向上方へ向け、次にろ過部材122の清浄な表面
を通して導くために組み合わされたノズル140を有して
いる。例えば制御装置145で作動されるバルブ144は何れ
の場合も時間によって自動化されるが周期的または間歇
的に、または検出した条件（ろ過部材の背圧のような）
に自動的に応答して、または手動によって、タンク54か
ら清浄な可燃ガスのパルスを与える。タンク54は圧力状
態において可燃ガスの標準的なビンおよび同様容器とさ
れ得る。これに代えて、液化可燃ガス（例えばLPG）タ
ンク56−−第３図の底部に示されるように−−がバルブ
57でノズル140に連結され得る。バルブ57および（また
は）ノズル140は、ろ過部材122の清浄表面に衝突する前
に蒸発（フラッシュ）してガスになるタンク56からの液
化ガスに耐えることができるように設計される。
本発明は様々な形式のろ過部材、例えばキャンドルフ
ィルターのろ過部材またはモノリスタイプのろ過部材、
またはバッグハウスろ過部材に応用できる。
本発明は現在最も現実的で好ましいと思われる実施例
に関連して記載したが、本発明はこの開示実施例に限定
されるものではなく、逆に請求の範囲に記載の精神およ
び範囲に含まれる様々な改良および等価構造を網羅する
ことが意図されることは理解されねばならない。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 46/00 - 46/42

Claims (18)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】（ａ）第１の圧力で粒子を含有する可燃ガ
    スをろ過部材に通し、粒子がろ過部材の汚れ面上に捕集
    される一方、浄化された可燃ガスがろ過部材の清浄面を
    通して流出するようになし、 （ｂ）周期的または間歇的に第１の圧力よりも高い第２
    の圧力の逆方向パルス付与用ガスをろ過部材の清浄な表
    面を通して圧送して、ろ過部材の汚れ面上に捕集された
    粒子を脱落させるようになし、および （ｃ）段階（ｂ）の間または後に逆方向パルス付与用の
    ガスを浄化された可燃ガスと混合し、その混合ガスを使
    用ステーションへ向けて送り出す諸段階を含むろ過部材
    により可燃ガスを浄化し、且つまたろ週部材を清浄に保
    持する方法であって、 前記逆方向パルス付与用のガスが清浄な可燃ガスである
    短鎖の炭化水素ガスである方法。
  2. 【請求項２】請求項１に記載の方法であって、段階
    （ｂ）が、事実上、メタン、エタン、プロパンおよびブ
    タンから成る群から選択された清浄な可燃ガスを使用し
    て実施される方法。
  3. 【請求項３】請求項１に記載の方法であって、加圧状態
    で蓄えられた液体を清浄可燃ガス中に流し込み、そのガ
    スで段階（ｂ）を実施する更に他の段階（ｄ）を含む方
    法。
  4. 【請求項４】請求項３に記載の方法であって、段階
    （ｄ）が、事実上、液化石油ガス、液化メタン、エタ
    ン、プロパンおよびブタンから成る群から選択された液
    体をガス中に流し込むことで段階（ｄ）が実施される方
    法。
  5. 【請求項５】請求項１に記載の方法であって、段階
    （ｂ）が清浄可燃ガスをベンチュリに通し、次にろ過部
    材に通して導くことで実施される方法。
  6. 【請求項６】請求項５に記載の方法であって、段階
    （ｂ）がタンクとベンチュリとの間を連結するバルブを
    周期的または間歇的に自動的に開成させることでタンク
    の中に蓄積されたガスを使用して実施される方法。
  7. 【請求項７】請求項６に記載の方法であって、清浄可燃
    ガスを圧縮した後それをタンクへ給送する更に他の段階
    を含む方法。
  8. 【請求項８】請求項１に記載の方法であって、混合され
    た浄化された可燃ガスおよび清浄な可燃ガスを使用ステ
    ーションで燃焼させる更に他の段階（ｄ）を含む方法。
  9. 【請求項９】請求項１に記載の方法であって、段階
    （ａ）および（ｂ）が第２の圧力が第１の圧力の少なく
    とも約２倍高くされて実施される方法。
  10. 【請求項１０】請求項１に記載の方法であって、（ｂ）
    は粒子を含む可燃ガスの体積の約１〜20％の量の清浄可
    燃ガスを使用して実施される方法。
  11. 【請求項１１】請求項１に記載の方法であって、段階
    （ａ）および（ｂ）が粒子を含む可燃ガスおよび清浄可
    燃ガスをセラミックのろ過チューブに通して流すことで
    実施される方法。
  12. 【請求項１２】請求項１に記載の方法であって、段階
    （ａ）および（ｂ）が粒子を含む可燃ガスおよび清浄可
    燃ガスを超合金製ろ過チューブに通して流すことで実施
    される方法。
  13. 【請求項１３】汚れた可燃ガスの入口および浄化された
    可燃ガスの出口を有する主容器、 前記容器内に配置され、その第１面が前記出口と作動結
    合される複数のろ過部材、 前記ろ過部材の前記第１面を通して逆方向パルス付与用
    ガスを周期的または間歇的にパルス付与してそれを浄化
    する手段を含み、 前記パルス付与手段は前記容器の内部に配置されたノズ
    ルを含む、粒子を含む汚れた可燃ガスを長期間にわたっ
    てろ過する装置であって、 前記容器の外部の清浄な加圧された可燃ガス用の大気圧
    以上の圧力を保持するタンク、前記ノズルおよび前記タ
    ンクの間のバルブ、および前記ろ過部材を通過する前に
    液化ガスを蒸発させて清浄な逆方向パルス付与用の可燃
    ガスにするための手段を特徴とする装置。
  14. 【請求項１４】請求項13に記載の装置であって、前記逆
    方向パルス付与手段が前記ノズルと作動的に組み合わさ
    れて前記容器の内部に配置されたベンチュリを更に含む
    装置。
  15. 【請求項１５】請求項14に記載の装置であって、前記主
    容器が垂直に配置され、また前記ノズルも垂直に配置さ
    れ、清浄可燃ガスはノズルから最初は上方へ向けてベン
    チュリを通して排出される装置。
  16. 【請求項１６】請求項15に記載の装置であって、汚れた
    可燃ガスから分離された粒子を捕集するために前記ろ過
    部材の下方で前記容器の内部に配置された複数のホッパ
    ーを含む装置。
  17. 【請求項１７】請求項13に記載の装置であって、前記タ
    ンクが圧縮機に作動連結されたアキュムレータを含む装
    置。
  18. 【請求項１８】請求項13に記載の装置であって、前記ろ
    過部材がセラミックのチューブおよび超合金製チューブ
    から成る群から選択される装置。
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