JP3030108B2 - 多分岐光回路 - Google Patents

多分岐光回路

Info

Publication number
JP3030108B2
JP3030108B2 JP7864291A JP7864291A JP3030108B2 JP 3030108 B2 JP3030108 B2 JP 3030108B2 JP 7864291 A JP7864291 A JP 7864291A JP 7864291 A JP7864291 A JP 7864291A JP 3030108 B2 JP3030108 B2 JP 3030108B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
branch
stage
optical circuit
path
final
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP7864291A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04289803A (ja
Inventor
健一 仲間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=13667523&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3030108(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority to JP7864291A priority Critical patent/JP3030108B2/ja
Publication of JPH04289803A publication Critical patent/JPH04289803A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3030108B2 publication Critical patent/JP3030108B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、Y分岐部を2段以上有
するツリー構造の多分岐光回路に関し、特に素子を小型
化し、損失を低減した単一モードの多分岐光回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来のツリー構造の多分岐光回路を、8
分岐光回路の場合について図6、図7に示す。図6のも
のは、第一段Y分岐部1、第二段Y分岐部2,3、第三
段Y分岐部4,5,6,7の3段階のY分岐部を有する
光回路を基板31に形成したものであり、これら分岐部
は接続部8,9,10,11,12,13でツリー状に
多段に接続され、第三段つまり最終段のY分岐部4,
5,6,7と基板31側面の法線に平行な最終段出射路
23,24,25,26,27,28,29,30は展
開部14,15,16,17,18,19,20,21
でなめらかに接続されている。
【0003】上記従来の多分岐光回路は、第一段入射路
22の中心軸延長線CLを基準線として、すべてのY分
岐部1,2,3,4,5,6,7の分岐中心線が前記基
準線CLと平行で、かつ、第一段入射路22から最終段
出射路23,24,25,26,27,28,29,3
0までの導波経路長が等しくなるような回路パターンで
製作されていた。
【0004】図7に示す別の従来例は、基板31に形成
した第一段Y分岐部1、第二段Y分岐部2,3、第三段
Y分岐部4,5,6,7を接続部8,9,10,11,
12,13でツリー状に多段に接続し、第三段Y分岐部
4,5,6,7と基板31側面の法線に平行な最終段出
射路23,24,25,26,27,28,29,30
を展開部14,15,16,17,18,19,20,
21でなめらかに接続し、Y分岐部1,2,3,4,
5,6,7の分岐中心線を前記基準線CLと平行とした
点は図6のものと同じである。
【0005】図6のものと異なる点は、図6の場合より
もY分岐部の配置が高密度化され、また、展開部14,
15,16,17,18,19,20,21では、最終
段出射路よりも小さな間隔で前記基準線CLに平行に展
開された後、最終段出射路の間隔まで再展開されるパタ
ーンとなっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の多分岐光回
路のうち、図6のものは、第一段入射路22から最終段
出射路23,24,25,26,27,28,29,3
0までの導波経路が対称的で等しく、設計が非常に簡単
であるという利点はあるものの、最終段出射路の間隔か
らY分岐部の位置が決まり特に第一段Y分部1の分岐中
心線と第二段Y分岐部2,3の分岐中心線の間隔が大き
くなるため、接続部8,9に大きな曲げ角度の曲線導波
路を用いる必要があった。このため光回路の素子長が長
くなり、伝搬損失が増大し、挿入損失が大きくなる問題
があった。一方、素子長が短くなるように設計すると接
続部8,9の曲線導波路の曲率半径を小さくする必要が
あるため、曲がり損失が増大し、やはり挿入損失が大き
くなる問題があった。
【0007】図7のものは、第一段入射路22から最終
段出射路23,24,25,26,27,28,29,
30までの導波経路を等しくしない構成としてY分岐部
の配置を高密度化することにより、小型化していた。し
かし、図6の場合ほどではないが、接続部8,9の曲線
導波路の曲げ角度が大きくなり素子長が長くなる問題が
あった。また、展開部では、最終段出射路よりも小さな
間隔で前記基準線CLに平行に展開した後、最終段出射
路の間隔まで再展開しているため、展開部が長くなる問
題があった。
【0008】光回路における展開部の長さは、展開する
間隔が最大である最外側展開部14,21が最も長くな
る。したがって展開部を最短に設計した場合、最終段
(図示例で第三段)のY分岐部4の接続点における展開
部14の接線と前記基準線CLのなす角度β、および、
最外側展開部14,21で展開する間隔で決まる。
【0009】図7の場合、βは常に最終段Y分岐部の分
岐角の1/2になるため最外側展開部14,21で展開
する間隔によって展開部の長さが決ってしまい、最短に
設計しても小型化が不十分であった。また、展開部の長
さを短くするためには、最終段Y分岐部の分岐角を大き
くしなければならず、分岐損失が増大する問題があっ
た。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記従来の問題点を解決
するため本発明では、端部が基板の一方の側面に臨む第
一段入射路22から、端部が基板の対向側面に臨む最終
段出射路23・・・に至るまでの間にY分岐部を2段以
上有し、前記入、出射路の光軸を基板の前記側面の法線
に平行としたツリー構造の多分岐光回路において、第一
段入射路22の中心軸延長線CLを基準線として、第二
段から最終段までの最外側Y分岐部について、その分岐
中心線と前記基準線とのなす角θが、後段にいくに従
い、順次拡大する如くY分岐部を外向きに傾斜させて配
置する全く新しい導波回路レイアウトパターンとした。
【0011】
【作用】最終段のY分岐部4の接続点における最外側展
開部14の接線と第一段入射路22の中心軸延長線CL
のなす角度βを、このY分岐部の分岐角α3の1/2よ
りも大きくすることができるため、Y分岐部の分岐角を
大きくせずに展開部を短くできる。
【0012】また、Y分岐部1,2,3,4,5,6,
7の分岐中心線と第一段入射路22の中心軸延長線とを
平行に配列しないので、接続部8,9に大きな曲げ角度
の曲線導波路を用いる必要がなく、接続部を短くでき
る。これらにより素子長が短くなり伝搬損失を低減でき
る。
【0013】さらに、素子長を従来のものと同一に設計
すると、従来よりも曲率半径の大きな曲線導波路を用い
ることが可能になり、曲がり損失を低減できる。
【0014】
【実施例】以下、本発明を図面に示した実施例について
詳細に説明する。図1は本発明による8分岐光回路の第
一の実施例を示す平面図、図2は図1のうち要部を拡大
して示す平面図である。
【0015】基板31に形成した第一段Y分岐部1、第
二段Y分岐部2,3、第三段(最終段)Y分岐部4,
5,6,7は、直線導波路のみで構成された接続部8,
9,10,11,12,13でツリー状に多段に接続さ
れ、第三段Y分岐部4,5,6,7と、基板31側面の
法線に平行な最終段出射路23,24,25,26,2
7,28,29,30は、展開部14,15,16,1
7,18,19,20,21でなめらかに接続されてい
る。
【0016】一例として、第一段Y分岐部の分岐角α1
=1゜、第二段Y分岐部の分岐角α2=1゜、第三段Y
分岐部の分岐角α3 =1゜とし、第一段入射路22の中
心軸延長線CLを基準線として、最外側Y分岐部の中心
線と前記基準線CLとのなす角θは、第二段Y分岐部
2,3でθ2=α2 /2、第三段Y分岐部4,7でθ3
(α1+α2)/2であり、後段にいくに従い順次拡大し
ている。
【0017】上記構成では、Y分岐部1,2,3,4,
5,6,7の分岐中心線と前記基準線CLとを平行に配
列しないので、接続部8,9に大きな曲げ角度の曲線導
波路を用いることなく、接続部を短くできる。また、最
終段である第三段Y分岐部4の接続点における最外側展
開部14の接線と第一段入射路22の中心軸延長線CL
とのなす角度β=(α1+α2+α3)/2>α3 /2で
あり、α3を大きくせずに展開部を短くできる。これら
の作用により素子を小型化し、損失を低減できる。この
例では、第一段入射路長=5mm、最終段出射路長=5
mm、最終段出射路間隔=250μm、素子長=42m
m、曲線導波路の曲率半径=150mmとした。
【0018】本発明で各段のY分岐部の分岐角α1
α2、α3 ・・・は、分岐損失が増加しないように1゜
以下であることが望ましい。また、第一段入射路22を
中心として最内側に位置する展開部17と18の最小間
隔は、導波路間でモード結合が生じない間隔であること
が望ましい。第一段から最終段までのY分岐部の分岐角
がすべて同一である必要はないが、前記基準線CLに対
して線対称の位置にあるY分岐部の分岐角は少なくとも
同一であることが望ましい。
【0019】上述した本発明の第一実施例の単一モード
8分岐光回路と、比較例として図6の単一モード8分岐
光回路を2段自然イオン交換法で作製した。この比較例
の8分岐光回路の第一段入射路長、最終段出射路長、最
終段出射路間隔、素子長は第一実施例と同一とした。曲
線導波路は、この条件で使用できる最大の曲率半径80
mmを用いた。
【0020】なお、2段自然イオン交換法の詳細につい
ては、菅原らが昭和62年の電子情報通信学会半導体・
材料部門全国大会で報告した論文(論文番号369)等
に述べられているが、簡単に説明すると、ガラス基板表
面をイオン透過防止マスク膜で被覆し、このマスク膜に
は所定の導波路パターンで開口を形成しておき、このマ
スク膜被覆ガラス基板を、ガラスの屈折率を増大させる
一価陽イオンを含む溶融塩と接触させて塩中のイオンと
ガラス中のイオンとを交換させ、これにより、屈折率が
マスク開口部から内部に向けて次第に減少する分布を持
つ断面が略半円形の高屈折率領域を形成する。ついで、
マスク膜を除去した後、ガラスの屈折率減少に効果のあ
る一価陽イオンを含む溶融塩にガラス基板を接触させ
る。この第二段イオン交換処理により、前記高屈折率領
域の最大屈折率中心が基板表面から深部へ移動するとと
もに、高屈折率領域全体の断面形状がほぼ円形になる。
【0021】第一実施例の8分岐光回路の過剰損失を測
定した結果を下記の表に示す。
【0022】本発明によりいずれの測定波長でも従来法
に対して大幅に低損失化できた。損失低減効果は、曲が
り損失が長波長側で増大するので、導波路の屈折率差が
小さく曲がり損失が発生し易い単一モード導波路の場
合、あるいは、長波長側(1.55μm)で効果が大き
くなる。
【0023】以上に述べた第一の実施例では分岐部間の
接続部を直線導波路のみで構成したが、曲線導波路の
み、または、直線導波路と曲線導波路を組み合わせて構
成することもできる。図3は本発明による8分岐導波路
の第二の実施例を示す要部平面図である。接続部8,9
は直線導波路と曲げ角度θR の曲線導波路を組み合わせ
て構成し、他の接続部は直線導波路のみで構成してい
る。
【0024】この例ではβ=(α1+α2+α3+2θR
/2であり、第一実施例よりも展開部をさらに短くで
き、小型化、低損失化を実現できる。θRは最内側展開
部17と18の間隔がモード結合が生じない間隔になる
ように設定することが望ましい。また、θRは曲がり損
失が増大しないように10゜以下であることが望まし
い。
【0025】この例では、第一段Y分岐部の分岐角α1
=0.5゜、第二段Y分岐部の分岐角α2=1゜、第三
段Y分岐部の分岐角α3 =1゜、θR=0.25゜とし
た。また、第一段入射路長=5mm、最終段出射路長=
5mm、最終段出射路間隔=250μm、曲線導波路の
曲率半径=150mmとした。
【0026】接続部に曲線導波路を用いる場合、第一段
Y分岐部と第二段Y分岐部の接続部を構成する2本の曲
線導波路は、第二実施例で示したように基準線CLから
みて互いに離れるような凸状である必要がある。しか
し、第二段Y分岐部以降の接続部を構成する曲線導波路
については、一般にその必要はない。16分岐以上で必
要となる第四段Y分岐部以降の接続部については、むし
ろ接続部の曲線導波路が前記基準線CLに対して全て凸
状である方が望ましい。
【0027】次に、本発明の第一、第二実施例の各8分
岐光回路と、従来構造による8分岐光回路(図6、図7
に示したもの)について素子長の計算を行った結果の一
例を図4及び図5に示す。
【0028】計算条件として、Y分岐部は、長さ=2m
m、終端の導波路間隔=20μm、分岐角=1゜ですべ
て同一とし、第一段入射路長=0μm、最終段出射路長
=0μmとした。また、本発明の両実施例と図7の従来
構成については、接続部終端の導波路間隔=40μm、
展開部の最小導波路間隔≧40μmとした。さらに、本
発明の第二実施例の構成では曲線導波路の曲げ角度θR
=0.5゜とした。最終段出射路の間隔、曲線導波路の
曲率半径はすべて同一とし、これらを振って素子長を計
算した。
【0029】図4と図5に示された結果から、本発明に
より8分岐光回路が大幅に小型化できることが明らかで
ある。第一実施例では曲率半径=150mm、最終段出
射路の間隔=500μmの時、素子長が36.1mmと
なり、図6に示す従来構造に対して19.8mm短くな
る。図7の8分岐光回路は、図6のものに対して最終段
出射路の間隔が大きければ素子長を短くする効果が大き
いが、本発明の8分岐光回路と比較すれば小型化が不十
分であることがわかる。また、第二実施例では、第一実
施例に対して素子長が約2mm短くなる程度であるが、
第一段入射路から最終段出射路までのY分岐部の段数が
多くなるにしたがって効果が大きくなり、Y分岐部が4
段以上になる16分岐以上の多分岐光回路では、大きな
効果がある。以上の作用により素子を小型化し、損失を
低減した多分岐光回路を実現できる。
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、多分岐光回路におい
て、展開部や接続部の長さを短くできるため、素子を小
型化でき、過剰損失を低減できる。また、素子長を従来
構造と同一にすると、従来構造よりも曲率半径の大きな
曲線導波路を用いることが可能であり、曲がり損失を低
減できる。以上の効果により、素子を小型化し、損失を
低減した多分岐導波路を実現できる。また本発明は、ガ
ラス導波路の他に、石英系導波路,Ti拡散LiNbO
3導波路、化合物半導体導波路、プラスチック導波路等
を用いた光分岐回路にも適用出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例を示す平面図
【図2】図1の光回路の要部を拡大して示す平面図
【図3】本発明の第二実施例を示す要部平面図
【図4】本発明による8分岐光回路と従来構造による8
分岐光回路について素子長の計算を行った結果の一例を
示す図
【図5】本発明による8分岐光回路と従来構造による8
分岐光回路について素子長の計算を行った結果の別の例
を示す図
【図6】従来の多分岐光回路の一例を示す平面図
【図7】従来の多分岐光回路の別の例を示す平面図
【符号の説明】
1....第一段Y分岐部 2,3..第二段Y分岐部 4,5,6,7...第三段Y分岐部 8,9,10,11,12,13...接続部 14,15,16,17,18,19,20,2
1....展開部 22...第一段入射路 23,24,25,26,27,28,29,3
0....最終段出射路 31...基板

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 端部が基板の一方の側面に臨む第一段入
    射路から、端部が基板の対向側面に臨む最終段出射路に
    至るまでの間にY分岐部を2段以上有し、前記入、出射
    路の光軸を基板の前記側面の法線に平行としたツリー構
    で第一段入射路からの入射光が各最終段出射路に均等
    に分岐する多分岐光回路において、第一段入射路の中心
    軸延長線を基準線として、第二段から最終段までの両方
    最外側Y分岐部について、その分岐中心線と前記基準
    線とのなす角θが、後段にいくに従い、順次拡大する如
    くY分岐部を外向きに傾斜させたパターンとしたことを
    特徴とする多分岐光回路。
JP7864291A 1991-03-18 1991-03-18 多分岐光回路 Expired - Fee Related JP3030108B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7864291A JP3030108B2 (ja) 1991-03-18 1991-03-18 多分岐光回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7864291A JP3030108B2 (ja) 1991-03-18 1991-03-18 多分岐光回路

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04289803A JPH04289803A (ja) 1992-10-14
JP3030108B2 true JP3030108B2 (ja) 2000-04-10

Family

ID=13667523

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7864291A Expired - Fee Related JP3030108B2 (ja) 1991-03-18 1991-03-18 多分岐光回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3030108B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2005101075A1 (ja) * 2004-04-12 2007-08-16 日立化成工業株式会社 光導波路構造

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0667047A (ja) * 1992-08-18 1994-03-11 Hitachi Cable Ltd 分岐・合波光導波回路
KR100310086B1 (ko) * 1998-11-17 2002-11-27 삼성전자 주식회사 광결합기및그제작방법
JP4284892B2 (ja) 2001-07-13 2009-06-24 オムロン株式会社 多分岐光導波路
US6501886B1 (en) * 2001-07-30 2002-12-31 Agilent Technologies, Inc. Compact optical splitter and combiner
JP4214862B2 (ja) * 2003-08-21 2009-01-28 富士ゼロックス株式会社 ピッチ変換導波路アレイ
US8045769B2 (en) * 2004-11-23 2011-10-25 Koninklijke Philips Electronics N V Planar angular visualization of the bronchial tree
JP2006323019A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Matsushita Electric Works Ltd 多分岐光回路

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2005101075A1 (ja) * 2004-04-12 2007-08-16 日立化成工業株式会社 光導波路構造
US7457498B2 (en) 2004-04-12 2008-11-25 Hitachi Chemical Company, Ltd. Optical waveguide structure

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04289803A (ja) 1992-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7587106B2 (en) Optical crossover in thin silicon
JP3030108B2 (ja) 多分岐光回路
JP2013122493A (ja) 光分岐素子および光分岐回路
JPH05196826A (ja) 光カプラおよびその製造方法
JP4284892B2 (ja) 多分岐光導波路
RU2215311C2 (ru) Оптический соединитель и способ его изготовления
JP2002533778A (ja) 光反射装置
JP2004170764A (ja) 半導体光導波路装置
US20230259017A1 (en) Photomask, Optical-Waveguide, Optical Circuit and Method of Manufacturing an Optical-Waveguide
JPH08160233A (ja) 集積光学素子
JP2003294962A (ja) 光分岐器
JP3941003B2 (ja) 小型の光学スプリッタ/コンバイナ及びその製造方法
JP2804363B2 (ja) 光方向性結合器
JP2004529377A (ja) 断熱接合体を有する集積光デバイス
JP3152127B2 (ja) Y分岐導波路型光タップ
JP2859375B2 (ja) 導波型光スターカプラ
JP2001235645A (ja) 光導波回路
JPH0634839A (ja) 相互接続可能な多端子スターカプラ
JP2557455B2 (ja) 光合分波器
JP3107246B2 (ja) スターカプラー
JPS5851244B2 (ja) シユウセキヒカリハンシヤソウチ
JPS61133906A (ja) 光合流回路
JP2006323019A (ja) 多分岐光回路
JPH08327836A (ja) Y分岐光導波路回路
JP2001228349A (ja) モードフィールド径変換光導波路及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees