JP3028475B2 - ブラシスクラバ - Google Patents
ブラシスクラバInfo
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- JP3028475B2 JP3028475B2 JP9345701A JP34570197A JP3028475B2 JP 3028475 B2 JP3028475 B2 JP 3028475B2 JP 9345701 A JP9345701 A JP 9345701A JP 34570197 A JP34570197 A JP 34570197A JP 3028475 B2 JP3028475 B2 JP 3028475B2
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- Japan
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- brush
- arm
- wafer
- arms
- brushes
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエ−ハの表面に
洗浄液をかけながら回転するブラシを該ウエ−ハに押し
当てて移動し、表面付着物をスクラブ洗浄するようにし
たブラシスクラバに関するものである。
洗浄液をかけながら回転するブラシを該ウエ−ハに押し
当てて移動し、表面付着物をスクラブ洗浄するようにし
たブラシスクラバに関するものである。
【0002】
【従来の技術】表面をスクラブ洗浄するためカップ型の
ブラシを先端に有するア−ムをウエ−ハ面上で揺動させ
るようにしたブラシスクラバが用いられている。このブ
ラシスクラバによる洗浄面積は、ブラシの揺動範囲に対
応しているから、ウエ−ハの全面を洗浄するには該ブラ
シは少くともウエ−ハの端縁から該ウエ−ハの中心部に
わたる範囲を移動しなければならない。
ブラシを先端に有するア−ムをウエ−ハ面上で揺動させ
るようにしたブラシスクラバが用いられている。このブ
ラシスクラバによる洗浄面積は、ブラシの揺動範囲に対
応しているから、ウエ−ハの全面を洗浄するには該ブラ
シは少くともウエ−ハの端縁から該ウエ−ハの中心部に
わたる範囲を移動しなければならない。
【0003】そして、上記ア−ムの揺動は、ウエ−ハ面
を充分に洗浄できるまで繰り返されるので、ウエ−ハの
口径が大きくなるとそれに伴って洗浄時間も長くならざ
るを得ない。例えば、従来用いられていた6インチ、8
インチ等のウエ−ハに比べて12インチ若しくはそれ以
上の大口径のウエ−ハになると被洗浄面が大きいから洗
浄に長時間を要するようになる。この際、ウエ−ハに応
じてブラシの口径を大きくすることも考えられるが、大
口径のブラシでは装置全体が大型化し、また該ブラシの
駆動も大変であり、その上、ブラシ全体に均一な押圧力
を作用させることや高度な洗浄をすることがむずかしく
なってウエ−ハ全面の均質な洗浄効果を奏しにくくな
る。
を充分に洗浄できるまで繰り返されるので、ウエ−ハの
口径が大きくなるとそれに伴って洗浄時間も長くならざ
るを得ない。例えば、従来用いられていた6インチ、8
インチ等のウエ−ハに比べて12インチ若しくはそれ以
上の大口径のウエ−ハになると被洗浄面が大きいから洗
浄に長時間を要するようになる。この際、ウエ−ハに応
じてブラシの口径を大きくすることも考えられるが、大
口径のブラシでは装置全体が大型化し、また該ブラシの
駆動も大変であり、その上、ブラシ全体に均一な押圧力
を作用させることや高度な洗浄をすることがむずかしく
なってウエ−ハ全面の均質な洗浄効果を奏しにくくな
る。
【0004】
【発明の解決課題】本発明の解決課題は、上記のように
12インチ若しくはそれ以上というような大口径のウエ
−ハを長い洗浄時間をかけずに効率よく洗浄できるよう
にしたブラシスクラバを提供することである。
12インチ若しくはそれ以上というような大口径のウエ
−ハを長い洗浄時間をかけずに効率よく洗浄できるよう
にしたブラシスクラバを提供することである。
【0005】
【課題解決の手段】本発明によれば、ウエ−ハを洗浄す
るブラシを先端に有する複数のア−ムを形成し、該ア−
ムを揺動した際各ブラシが分担してウエ−ハの全面をス
クラブ洗浄するよう上記ア−ムの揺動範囲を区分けして
上記複数のア−ムを揺動させるようにしたことを特徴と
するブラシスクラバが提供され、上記課題が解決され
る。
るブラシを先端に有する複数のア−ムを形成し、該ア−
ムを揺動した際各ブラシが分担してウエ−ハの全面をス
クラブ洗浄するよう上記ア−ムの揺動範囲を区分けして
上記複数のア−ムを揺動させるようにしたことを特徴と
するブラシスクラバが提供され、上記課題が解決され
る。
【0006】
【発明の実施の形態】ブラシスクラバは、基本的な構成
として揺動可能に設けたア−ムと、該ア−ムの先端に回
転自在に設けたブラシを具備し、回転するウエ−ハ上で
該ブラシを自転、公転させることによりウエ−ハをスク
ラブ洗浄する装置であって、本発明は各種の形式のブラ
シスクラバに適用することができる。
として揺動可能に設けたア−ムと、該ア−ムの先端に回
転自在に設けたブラシを具備し、回転するウエ−ハ上で
該ブラシを自転、公転させることによりウエ−ハをスク
ラブ洗浄する装置であって、本発明は各種の形式のブラ
シスクラバに適用することができる。
【0007】図1〜図4には、本発明のブラシスクラバ
の基本的な動きの一実施例を示す説明図が示されてい
る。図に示すように、本発明の装置は、先端にブラシ(B
1),(B2)・・・を有する複数のア−ム(A1),(A2)・・・
を有し、該ア−ムを揺動した際各ブラシが分担してウエ
−ハ(W)の全面をスクラブ洗浄するよう上記ア−ムの
揺動範囲を区分けして各ア−ムを揺動している。この
際、各ア−ムやブラシの設置位置、数量、形状等は適宜
に形成することができる。
の基本的な動きの一実施例を示す説明図が示されてい
る。図に示すように、本発明の装置は、先端にブラシ(B
1),(B2)・・・を有する複数のア−ム(A1),(A2)・・・
を有し、該ア−ムを揺動した際各ブラシが分担してウエ
−ハ(W)の全面をスクラブ洗浄するよう上記ア−ムの
揺動範囲を区分けして各ア−ムを揺動している。この
際、各ア−ムやブラシの設置位置、数量、形状等は適宜
に形成することができる。
【0008】図1に示す実施例では、2つのア−ム(A
1),(A2)を、同時に揺動するよう揺動中心(O)を同軸
的に設けてあり、各ア−ムは該中心(O)から角度をあ
けて放射状に延びており、該ア−ム(A1),(A2)には先端
にそれぞれ回転自在にブラシ(B1),(B2)が設けられてい
る。上記各ア−ム(A1),(A2)の長さ及び該ア−ム間の角
度は、2つのア−ム(A1),(A2)をウエ−ハ面上で揺動さ
せた際、一方のア−ム(A1)のブラシ(B1)がウエ−ハの縁
部から中心方向への範囲を揺動し、他方のア−ム(A2)の
ブラシ(B2)がウエ−ハの中心を通って縁部方向への範囲
を揺動するよう適宜の長さ、角度に設けられている。上
記ウエ−ハ面に洗浄液等をかけながら上記ア−ム(A1),
(A2)を図示する実線と鎖線の範囲で揺動させれば、大き
なウエ−ハでも短時間でスクラブ洗浄することができ
る。このようなア−ム(A1),(A2)の組み合せを複数個所
に設け、1つのウエ−ハに対して周囲から洗浄してもよ
いし、同軸的に3本以上のア−ム等を設けてもよい。
1),(A2)を、同時に揺動するよう揺動中心(O)を同軸
的に設けてあり、各ア−ムは該中心(O)から角度をあ
けて放射状に延びており、該ア−ム(A1),(A2)には先端
にそれぞれ回転自在にブラシ(B1),(B2)が設けられてい
る。上記各ア−ム(A1),(A2)の長さ及び該ア−ム間の角
度は、2つのア−ム(A1),(A2)をウエ−ハ面上で揺動さ
せた際、一方のア−ム(A1)のブラシ(B1)がウエ−ハの縁
部から中心方向への範囲を揺動し、他方のア−ム(A2)の
ブラシ(B2)がウエ−ハの中心を通って縁部方向への範囲
を揺動するよう適宜の長さ、角度に設けられている。上
記ウエ−ハ面に洗浄液等をかけながら上記ア−ム(A1),
(A2)を図示する実線と鎖線の範囲で揺動させれば、大き
なウエ−ハでも短時間でスクラブ洗浄することができ
る。このようなア−ム(A1),(A2)の組み合せを複数個所
に設け、1つのウエ−ハに対して周囲から洗浄してもよ
いし、同軸的に3本以上のア−ム等を設けてもよい。
【0009】図1に示すア−ム(A1),ア−ム(A2)等を同
軸的に設けないで各ア−ム(A1),(A2)及びブラシ(B1),
(B2)を、図2に示すように別々の揺動中心(O1),(O2)を
中心として揺動させスクラブ洗浄するようにしてもよ
い。また、図3,図4に示すように1つのア−ム(A3)の
先端にブラシ(B3)を設け、該ア−ム(A3)の先端若しくは
途中から側方にア−ム(A4)を形成して該ア−ム(A4)の先
端にブラシ(B4)を設けてもよい。この際、上記図1,図
3,図4等に示す実施例ではア−ム(A1),(A2)若しくは
ア−ム(A3),(A4)のア−ム間の角度を固定的に設けてあ
るが、洗浄範囲を変えたり、ウエ−ハの大きさに対応で
きるようにア−ム間の角度を調整可能に設け、角度調整
後、該ア−ムの角度を固定して揺動するように構成する
こともできる。
軸的に設けないで各ア−ム(A1),(A2)及びブラシ(B1),
(B2)を、図2に示すように別々の揺動中心(O1),(O2)を
中心として揺動させスクラブ洗浄するようにしてもよ
い。また、図3,図4に示すように1つのア−ム(A3)の
先端にブラシ(B3)を設け、該ア−ム(A3)の先端若しくは
途中から側方にア−ム(A4)を形成して該ア−ム(A4)の先
端にブラシ(B4)を設けてもよい。この際、上記図1,図
3,図4等に示す実施例ではア−ム(A1),(A2)若しくは
ア−ム(A3),(A4)のア−ム間の角度を固定的に設けてあ
るが、洗浄範囲を変えたり、ウエ−ハの大きさに対応で
きるようにア−ム間の角度を調整可能に設け、角度調整
後、該ア−ムの角度を固定して揺動するように構成する
こともできる。
【0010】上記ア−ム、ブラシ等を備えたブラシスク
ラバの具体的な一実施例が図5以降に示されている。図
5,図6を参照し、ア−ム(1),(2)は支持ブロッ
ク(3)上に放射状に角度をあけて揺動中心部を重ね合
わせた状態に支持され、該支持ブロック(3)の下方に
はブラシ回転用モ−タ−(4)があり、図示を省略した
プ−リ−、ベルト等を介して上記ア−ム(1),(2)
の先端に設けたブラシ(5),(6)をそれぞれ回転し
ている。上記支持ブロック(3)は、支柱(7)に取付
けられ、下端に設けた旋回軸(8)を歯車(9),(10)
を介しア−ム回転用モ−タ−(11)に連結し、該モ−タ−
(11)により上記ア−ムを回転する。
ラバの具体的な一実施例が図5以降に示されている。図
5,図6を参照し、ア−ム(1),(2)は支持ブロッ
ク(3)上に放射状に角度をあけて揺動中心部を重ね合
わせた状態に支持され、該支持ブロック(3)の下方に
はブラシ回転用モ−タ−(4)があり、図示を省略した
プ−リ−、ベルト等を介して上記ア−ム(1),(2)
の先端に設けたブラシ(5),(6)をそれぞれ回転し
ている。上記支持ブロック(3)は、支柱(7)に取付
けられ、下端に設けた旋回軸(8)を歯車(9),(10)
を介しア−ム回転用モ−タ−(11)に連結し、該モ−タ−
(11)により上記ア−ムを回転する。
【0011】ウエ−ハ(W)を保持するチャック(12)
は、上記ア−ム等に隣接して設けられ、洗浄液が飛散し
ないようカップ(13)内にウエ−ハを収納して回転する。
なお、該カップ(13)の手前には上記各ブラシ(5),
(6)が待機位置にあるとき、該ブラシを洗浄するよう
ブラシ洗浄槽(14),(15)が設けられている(図6)。
は、上記ア−ム等に隣接して設けられ、洗浄液が飛散し
ないようカップ(13)内にウエ−ハを収納して回転する。
なお、該カップ(13)の手前には上記各ブラシ(5),
(6)が待機位置にあるとき、該ブラシを洗浄するよう
ブラシ洗浄槽(14),(15)が設けられている(図6)。
【0012】上記ブラシは、カップ(13)の上縁を越えて
該カップ内に出入りし、かつ所定の接触圧でウエ−ハに
押圧することができるよう上下動可能に設けられてい
る。上記ブラシを上下動させるには種々の構成にするこ
とができるが、好ましくは複数のブラシが個々に上下動
するように構成することが好ましい。
該カップ内に出入りし、かつ所定の接触圧でウエ−ハに
押圧することができるよう上下動可能に設けられてい
る。上記ブラシを上下動させるには種々の構成にするこ
とができるが、好ましくは複数のブラシが個々に上下動
するように構成することが好ましい。
【0013】図7は、個々にブラシを上下動させる機構
の一実施例を示している。図において、上記ア−ム
(1),(2)は本質的に同様の構成であって、上記支
持ブロック(3)に基端側を支持させたア−ム本体(16)
と該ア−ム本体(16)を覆うア−ムカバ−(17)を有し、該
ア−ム本体(16)内に、ベルト(18)を介し上記ブラシ回転
用モ−タ−(4)により回転されるプ−リ−(19)が設け
られている。該プ−リ−(19)には中空のねじ軸(20)を貫
装してあり、該ねじ軸(20)の上端には角孔を有する押え
ナット(21)が装着され、該ねじ軸の下端は上下に軸受(2
2),(22)を有する軸受ハウジング(23)を通して下方に延
出している。
の一実施例を示している。図において、上記ア−ム
(1),(2)は本質的に同様の構成であって、上記支
持ブロック(3)に基端側を支持させたア−ム本体(16)
と該ア−ム本体(16)を覆うア−ムカバ−(17)を有し、該
ア−ム本体(16)内に、ベルト(18)を介し上記ブラシ回転
用モ−タ−(4)により回転されるプ−リ−(19)が設け
られている。該プ−リ−(19)には中空のねじ軸(20)を貫
装してあり、該ねじ軸(20)の上端には角孔を有する押え
ナット(21)が装着され、該ねじ軸の下端は上下に軸受(2
2),(22)を有する軸受ハウジング(23)を通して下方に延
出している。
【0014】上記軸受ハウジング(23)は、上記ア−ム本
体(16)に固定され、上部には押えナット(24)を有し、上
記軸受(22),(22)間にはディスタンスピ−ス(25)が設け
られている。上記ねじ軸(20)の内方には中間に径大部(2
6)を有する駆動軸(27)が図において上下動可能に挿通さ
れ、上記径大部(26)と上記ねじ軸(20)の内方に形成した
肩部(28)の間には、該駆動軸(27)を上方へ付勢するよう
ばね(29)が設けられている。
体(16)に固定され、上部には押えナット(24)を有し、上
記軸受(22),(22)間にはディスタンスピ−ス(25)が設け
られている。上記ねじ軸(20)の内方には中間に径大部(2
6)を有する駆動軸(27)が図において上下動可能に挿通さ
れ、上記径大部(26)と上記ねじ軸(20)の内方に形成した
肩部(28)の間には、該駆動軸(27)を上方へ付勢するよう
ばね(29)が設けられている。
【0015】上記駆動軸(27)の下部は、軸受(30)を介し
て上記ねじ軸(20)の下方に延出し、下端にコレッドボデ
ィ(31)を止ねじ(32)で止着してあり、該コレッドボディ
(31)には下端にスポンジブラシ、ナイロンブラシ、レ−
ヨンブラシ、モヘヤブラシその他のブラシ(5)を有す
るブラシ本体(33)が着脱可能に取付けられている。
て上記ねじ軸(20)の下方に延出し、下端にコレッドボデ
ィ(31)を止ねじ(32)で止着してあり、該コレッドボディ
(31)には下端にスポンジブラシ、ナイロンブラシ、レ−
ヨンブラシ、モヘヤブラシその他のブラシ(5)を有す
るブラシ本体(33)が着脱可能に取付けられている。
【0016】上記駆動軸(27)の上部は、角軸(34)に形成
され、該角軸部分が上記押えナット(21)の角孔を通して
上方に延び、下行端を規制するナット(35)をねじ着し、
その上方にバランスウエイト(36)を設けてあり、該バラ
ンスウエイト(36)により上記ばね(29)による上方への移
動位置を調整するようにしてある。図において該バラン
スウエイト(36)は、中央に取付孔を有する金属板で形成
され、駆動軸に嵌着する枚数を加減することにより重さ
を調整しているが、その他適宜に構成することができ
る。
され、該角軸部分が上記押えナット(21)の角孔を通して
上方に延び、下行端を規制するナット(35)をねじ着し、
その上方にバランスウエイト(36)を設けてあり、該バラ
ンスウエイト(36)により上記ばね(29)による上方への移
動位置を調整するようにしてある。図において該バラン
スウエイト(36)は、中央に取付孔を有する金属板で形成
され、駆動軸に嵌着する枚数を加減することにより重さ
を調整しているが、その他適宜に構成することができ
る。
【0017】上記ア−ム本体(16)に取付けたブラケット
(37)には、エアシリンダその他のアクチュエ−タ−(38)
を設けてあり、該アクチュエ−タ−(38)の軸(39)の下端
に先端チップ(40)を取付けてある。該先端チップ(40)
は、上記バランスウエイト(36)を取付けた上記駆動軸(2
7)の上端に当接し、上記アクチュエ−タ−(38)の操作に
より上記ばね(29)で上方に付勢されている上記駆動軸(2
7)を押圧し、この押圧量を変えることにより上記ブラシ
(5)を上下に移動させることができる。なお、上記ブ
ラシ(5)に向けて洗浄液を噴出するノズル(41)があ
り、好ましくは該洗浄液には超音波振動が付加される。
(37)には、エアシリンダその他のアクチュエ−タ−(38)
を設けてあり、該アクチュエ−タ−(38)の軸(39)の下端
に先端チップ(40)を取付けてある。該先端チップ(40)
は、上記バランスウエイト(36)を取付けた上記駆動軸(2
7)の上端に当接し、上記アクチュエ−タ−(38)の操作に
より上記ばね(29)で上方に付勢されている上記駆動軸(2
7)を押圧し、この押圧量を変えることにより上記ブラシ
(5)を上下に移動させることができる。なお、上記ブ
ラシ(5)に向けて洗浄液を噴出するノズル(41)があ
り、好ましくは該洗浄液には超音波振動が付加される。
【0018】図7に示す装置を用いて洗浄するには、図
6鎖線に示すように各ア−ムが待機位置にある状態で上
記アクチュエ−タ−(38)を操作してばね(29)により上記
ブラシを上昇させた後、上記ア−ム回転用モ−タ−(11)
を回転して上記ア−ム(1),(2)を実線で示すカッ
プの位置に回動する。そして、上記アクチュエ−タ−(3
8)を操作して上記ブラシ(5),(6)を降下し、ウエ
−ハ(W)に所定の接触圧で押圧させ、上記ブラシ回転
用モ−タ−(4)及びア−ム回転用モ−タ−(11)を回転
して、上述のようにウエ−ハ(W)をスクラブ洗浄す
る。
6鎖線に示すように各ア−ムが待機位置にある状態で上
記アクチュエ−タ−(38)を操作してばね(29)により上記
ブラシを上昇させた後、上記ア−ム回転用モ−タ−(11)
を回転して上記ア−ム(1),(2)を実線で示すカッ
プの位置に回動する。そして、上記アクチュエ−タ−(3
8)を操作して上記ブラシ(5),(6)を降下し、ウエ
−ハ(W)に所定の接触圧で押圧させ、上記ブラシ回転
用モ−タ−(4)及びア−ム回転用モ−タ−(11)を回転
して、上述のようにウエ−ハ(W)をスクラブ洗浄す
る。
【0019】洗浄後、上記ア−ム回転用モ−タ−(11)に
より上記ア−ム(1),(2)はカップ(13)から取り出
されるが、この際各ア−ム(1),(2)のブラシ
(5),(6)が上記ウエ−ハ面から水平方向に離れる
位置まで該ウエ−ハ面に接触しているように上記アクチ
ュエ−タ−(38)を操作し、ウエ−ハ面から離れたときブ
ラシを個々に上方に上昇して上記カップ(13)の外方へ取
り出すようにしている。
より上記ア−ム(1),(2)はカップ(13)から取り出
されるが、この際各ア−ム(1),(2)のブラシ
(5),(6)が上記ウエ−ハ面から水平方向に離れる
位置まで該ウエ−ハ面に接触しているように上記アクチ
ュエ−タ−(38)を操作し、ウエ−ハ面から離れたときブ
ラシを個々に上方に上昇して上記カップ(13)の外方へ取
り出すようにしている。
【0020】上記装置において、ア−ム(1),(2)
間の角度を固定的に設けてあるが、開き角度を変えるに
は、例えば図8に示すように、上記各ア−ム(1),
(2)を揺動中心(O)を中心としてそれぞれ回動可能
に設け、該中心(O)の外方のア−ムにそれぞれ突片(4
2),(43)を形成し、該突片(42),(43)に設けた弧状溝(4
4),(45)にボルト等の止着具(46)を挿通し、各ア−ム
(1),(2)を回動して適宜の位置に調整して固定す
ればよい。
間の角度を固定的に設けてあるが、開き角度を変えるに
は、例えば図8に示すように、上記各ア−ム(1),
(2)を揺動中心(O)を中心としてそれぞれ回動可能
に設け、該中心(O)の外方のア−ムにそれぞれ突片(4
2),(43)を形成し、該突片(42),(43)に設けた弧状溝(4
4),(45)にボルト等の止着具(46)を挿通し、各ア−ム
(1),(2)を回動して適宜の位置に調整して固定す
ればよい。
【0021】図9は、各ブラシを同時に上下動させるよ
うにした一実施例を示している。図において、ア−ム
(1),(2)は、それぞれア−ム本体(47),(48)とア
−ムカバ−(49),(50)を有し、下方のア−ム(1)に取
付けたブラシ回転用モ−タ−(51)の軸(52)にプ−リ−(5
3),(54)を設け、該プ−リ−(53),(54)にベルト(55),
(56)を巻回し、先端に設けた各ブラシ(5),(6)を
回転する。このブラシ回転機構は上記図7に示す実施例
も基本的に同様である。
うにした一実施例を示している。図において、ア−ム
(1),(2)は、それぞれア−ム本体(47),(48)とア
−ムカバ−(49),(50)を有し、下方のア−ム(1)に取
付けたブラシ回転用モ−タ−(51)の軸(52)にプ−リ−(5
3),(54)を設け、該プ−リ−(53),(54)にベルト(55),
(56)を巻回し、先端に設けた各ブラシ(5),(6)を
回転する。このブラシ回転機構は上記図7に示す実施例
も基本的に同様である。
【0022】上記ア−ム(1)の下方に設けた支持脚(5
7)には支柱(58)に上下動可能に設けたリニアベアリング
(59)が取付けられ、該支柱(58)の他側にはバランスウエ
イト(図示略)に取付けた他のリニアベアリング(60)が
上下動可能に設けられ、該支柱(58)の上端に設けたプ−
リ−(61)を介してワイヤ(62)で両ベアリング(59),(60)
を連結してある。これにより、上記ア−ム(1)等に作
用する荷重はバランス調整される。そして、上記支柱(5
8)にア−ム昇降用シリンダ(63)を設け、該シリンダ(63)
のロッド(64)を上記ア−ム(1)に連結して上記ア−ム
(1)を昇降し、上記ブラシ(5),(6)を上下動す
る。
7)には支柱(58)に上下動可能に設けたリニアベアリング
(59)が取付けられ、該支柱(58)の他側にはバランスウエ
イト(図示略)に取付けた他のリニアベアリング(60)が
上下動可能に設けられ、該支柱(58)の上端に設けたプ−
リ−(61)を介してワイヤ(62)で両ベアリング(59),(60)
を連結してある。これにより、上記ア−ム(1)等に作
用する荷重はバランス調整される。そして、上記支柱(5
8)にア−ム昇降用シリンダ(63)を設け、該シリンダ(63)
のロッド(64)を上記ア−ム(1)に連結して上記ア−ム
(1)を昇降し、上記ブラシ(5),(6)を上下動す
る。
【0023】上記支柱(58)の下端に連結した軸(65)は、
軸受(66)を挿通して下方に延び、ア−ム回転用モ−タ−
(図示略)の軸(67)に連結している。上記ア−ム昇降用
シリンダ(63)で上記ア−ム(1),(2)を上昇し、ブ
ラシ(5),(6)をカップ(13)の上縁を越える高さに
保持して上記ア−ム回転用モ−タ−を駆動すれば、上記
ブラシ(5),(6)を支障なくウエ−ハに押圧させる
ことができる。
軸受(66)を挿通して下方に延び、ア−ム回転用モ−タ−
(図示略)の軸(67)に連結している。上記ア−ム昇降用
シリンダ(63)で上記ア−ム(1),(2)を上昇し、ブ
ラシ(5),(6)をカップ(13)の上縁を越える高さに
保持して上記ア−ム回転用モ−タ−を駆動すれば、上記
ブラシ(5),(6)を支障なくウエ−ハに押圧させる
ことができる。
【0024】上記カップ(13)の口径を大きくすれば上記
ア−ム(1),(2)間の角度を固定して設けてもよい
が、該ア−ム(1),(2)間の開き角度を適時に可変
調整できるようにすれば、従来のカップ内で洗浄するこ
とができる。図9に示す可変調整機構の一例は、図にお
いて下方のア−ム(1)の揺動中心に形成した筒状軸(6
8)の周囲に歯車(69)を固定すると共に該筒状軸(68)を中
心として回転するよう上方のア−ム(2)の揺動中心部
を該筒状軸(68)に枢着し、上方の該ア−ム(2)にステ
ッピングモ−タ−等の開閉用モ−タ−(70)を設け、該開
閉用モ−タ−(70)の軸(71)に歯車(72)を設けて該歯車(7
2)と上記歯車(69)を係合してある。
ア−ム(1),(2)間の角度を固定して設けてもよい
が、該ア−ム(1),(2)間の開き角度を適時に可変
調整できるようにすれば、従来のカップ内で洗浄するこ
とができる。図9に示す可変調整機構の一例は、図にお
いて下方のア−ム(1)の揺動中心に形成した筒状軸(6
8)の周囲に歯車(69)を固定すると共に該筒状軸(68)を中
心として回転するよう上方のア−ム(2)の揺動中心部
を該筒状軸(68)に枢着し、上方の該ア−ム(2)にステ
ッピングモ−タ−等の開閉用モ−タ−(70)を設け、該開
閉用モ−タ−(70)の軸(71)に歯車(72)を設けて該歯車(7
2)と上記歯車(69)を係合してある。
【0025】上記開閉用モ−タ−(70)を駆動すれば、上
記歯車(69),(72)を介して上方のア−ム(2)は下方の
ア−ム(1)に対して上記筒状軸(68)を中心として回転
するから、例えば上記ア−ム(1),(2)の開き角度
を狭くした状態で上記カップ(13)内へ2つのブラシ
(5),(6)を入れ、その後上記開閉用モ−タ−(70)
を駆動して上記図1に示す如き状態に2つのア−ム
(1),(2)間の角度を広げ、ウエ−ハをスクラブ洗
浄し、洗浄後はウエ−ハ面から水平方向に離れた上記ア
−ム(1),(2)を収束して上記カップ(13)から取り
出せばよい。なお、上記スクラブ洗浄時に2つのア−ム
(1),(2)間の角度が不安定になるときは、所定の
角度状態を保持するようにブレ−キ機構、ストップ機構
等を適宜位置に設けることもできる。
記歯車(69),(72)を介して上方のア−ム(2)は下方の
ア−ム(1)に対して上記筒状軸(68)を中心として回転
するから、例えば上記ア−ム(1),(2)の開き角度
を狭くした状態で上記カップ(13)内へ2つのブラシ
(5),(6)を入れ、その後上記開閉用モ−タ−(70)
を駆動して上記図1に示す如き状態に2つのア−ム
(1),(2)間の角度を広げ、ウエ−ハをスクラブ洗
浄し、洗浄後はウエ−ハ面から水平方向に離れた上記ア
−ム(1),(2)を収束して上記カップ(13)から取り
出せばよい。なお、上記スクラブ洗浄時に2つのア−ム
(1),(2)間の角度が不安定になるときは、所定の
角度状態を保持するようにブレ−キ機構、ストップ機構
等を適宜位置に設けることもできる。
【0026】
【発明の効果】本発明は上記のように構成され、ウエ−
ハ全面を複数のブラシで分担してスクラブ洗浄するよう
先端にブラシを有する複数のア−ムを区分けして揺動さ
せるようにしたので、ウエ−ハの口径が12インチ若し
くはそれ以上というような大口径であっても短時間で洗
浄することができ、各ブラシが独立しているから、ウエ
−ハ面に確実に均一な接触圧を付与してウエ−ハ全面を
効果的にスクラブ洗浄することができる。
ハ全面を複数のブラシで分担してスクラブ洗浄するよう
先端にブラシを有する複数のア−ムを区分けして揺動さ
せるようにしたので、ウエ−ハの口径が12インチ若し
くはそれ以上というような大口径であっても短時間で洗
浄することができ、各ブラシが独立しているから、ウエ
−ハ面に確実に均一な接触圧を付与してウエ−ハ全面を
効果的にスクラブ洗浄することができる。
【図1】本発明のブラシスクラバのブラシの動きの一実
施例を示す説明図。
施例を示す説明図。
【図2】ブラシの動きの他の実施例を示す説明図。
【図3】ブラシの動きのさらに他の実施例を示す説明
図。
図。
【図4】ブラシの動きの他の実施例を示す説明図。
【図5】本発明のブラシスクラバの一実施例を示す側面
図。
図。
【図6】図5に示すブラシスクラバの平面図。
【図7】図5に示すブラシスクラバの主としてブラシ部
分の拡大断面図。
分の拡大断面図。
【図8】ア−ムの基端部分の拡大平面図。
【図9】本発明のブラシスクラバの他の実施例を示す側
面図。
面図。
A1,A2,A3,A4 ア−ム B1,B2,B3,B4 ブラシ 1,2 ア−ム 5,6 ブラシ
Claims (5)
- 【請求項1】 先端にブラシを有するア−ムをウエ−ハ
面上で揺動させて該ウエ−ハをスクラブ洗浄するブラシ
スクラバにおいて、ブラシを有する複数のア−ムを形成
し、該ア−ムを揺動した際各ブラシが分担してウエ−ハ
の全面をスクラブ洗浄するよう上記各ア−ムを区分けし
て揺動させるようにしたことを特徴とするブラシスクラ
バ。 - 【請求項2】 上記複数のア−ムは、少くともブラシが
ウエ−ハの縁部から中心方向への範囲を揺動するア−ム
と、ブラシがウエ−ハの中心を通って縁部方向への範囲
を揺動するア−ムを含む請求項1に記載のブラシスクラ
バ。 - 【請求項3】 上記複数のア−ムは同時に揺動するよう
揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延
びている請求項1又は2に記載のブラシスクラバ。 - 【請求項4】 上記ア−ム間の角度は調整可能に設けら
れている請求項3に記載のブラシスクラバ。 - 【請求項5】 上記各ブラシはそれぞれ上下動可能に設
けられている請求項1に記載のブラシスクラバ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9345701A JP3028475B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ブラシスクラバ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9345701A JP3028475B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ブラシスクラバ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11168079A JPH11168079A (ja) | 1999-06-22 |
JP3028475B2 true JP3028475B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=18378388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9345701A Expired - Fee Related JP3028475B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ブラシスクラバ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3028475B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100338765B1 (ko) * | 1999-09-27 | 2002-05-30 | 윤종용 | 웨이퍼 세정장치 |
-
1997
- 1997-12-02 JP JP9345701A patent/JP3028475B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11168079A (ja) | 1999-06-22 |
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