JP3028083B2 - Laminated piezoelectric transformer and method of manufacturing the same - Google Patents
Laminated piezoelectric transformer and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【発明の属する技術分野】本発明は、各種の高電圧発生
用電源回路で用いられる圧電トランスに関し、特に低コ
スト、高信頼度で、小型・高効率が要求される積層型圧
電トランスおよびその製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric transformer used in various kinds of power supply circuits for generating a high voltage, and more particularly to a laminated piezoelectric transformer requiring low cost, high reliability, small size and high efficiency, and manufacturing thereof. It is about the method.
【０００１】[0001]
【従来の技術】従来、積層型圧電トランスにおいては、
表面電極と内部電極とを接続するため、内部電極と接続
した側面電極と表面電極とが角部において接続されるよ
うな構成になるが、角部が角張っていたり、電極材料の
粘性によっては電極の回り込み量が不足して、接続がと
れない、すなわち断線した状態になるという問題があっ
た。2. Description of the Related Art Conventionally, in a multilayer piezoelectric transformer,
In order to connect the surface electrode and the internal electrode, the side electrode connected to the internal electrode and the surface electrode are configured to be connected at the corners.However, the corners are angular or the electrode material depends on the viscosity of the electrode material. There is a problem that the amount of wraparound is insufficient and connection cannot be established, that is, a disconnected state occurs.
【０００２】これを解決するため、角部を面取りする方
法が提案されており、これの例として特開平３−２８９
８０６号公報に示されたものがある。In order to solve this problem, a method of chamfering a corner has been proposed.
No. 806 is disclosed.
【０００３】同公報においては、外装基板用シートの切
り出し後に外装基板の両端部となる位置に、横断面が略
Ｖ字状の溝部を形成すると共に、この溝部に外装基板側
導電層を設け、溝部の中央に沿って切断することによ
り、角部を面取りした構成の素子を製造する方法が提案
されている。[0003] In the same publication, a groove having a substantially V-shaped cross section is formed at positions which are both ends of the outer substrate after the outer substrate sheet is cut out, and an outer substrate-side conductive layer is provided in the groove. There has been proposed a method of manufacturing an element having a configuration in which a corner is chamfered by cutting along a center of a groove.
【０００４】また、内部電極と側面電極の接続性を改善
する目的で、内部電極側のセラミック部分に溝を形成
し、この溝部に電極材料を充填する構成のものが特開平
３−２１６００９号公報に示されているが、この発明に
おいては、研削加工により溝部が形成されており、溝部
の形成位置は素子の端から端まで、ライン状に形成され
ている。In order to improve the connectivity between the internal electrode and the side electrode, a structure in which a groove is formed in the ceramic portion on the side of the internal electrode and the groove is filled with an electrode material is disclosed in JP-A-3-21609. However, in the present invention, the groove is formed by grinding, and the groove is formed in a line from the end of the element to the end.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】第１の問題点は、上記
したように、従来面取りや溝を形成する場合には、研削
・研磨加工の後加工により行っているが、研削・研磨の
後加工を行った場合、チッピング・欠け等の欠陥や加工
変質層の影響により、セラミックスの機械的強度が低下
するという問題がある。The first problem is that, as described above, when forming a chamfer or a groove in the prior art, it is performed by post-grinding / polishing processing. When processing is performed, there is a problem that the mechanical strength of ceramics is reduced due to defects such as chipping and chipping and the influence of a deteriorated layer.
【０００６】第２の問題点は、後加工により溝を形成す
る場合、加工位置の位置合わせの問題があり、特に、内
部電極のセラミックス部分に溝を形成する場合、内部電
極が薄いことから、この位置合わせは非常に困難であ
り、加工工数がかかり、生産性が悪いという問題があ
る。The second problem is that when forming a groove by post-processing, there is a problem of alignment of a processing position. Particularly, when a groove is formed in a ceramic portion of an internal electrode, the internal electrode is thin. This alignment is very difficult, requires many man-hours, and has a problem of low productivity.
【０００７】第３の問題点は、内部電極の接続を行うた
めの側面電極を形成する場合、印刷位置を目視で確認す
ることが困難であり、顕微鏡、拡大鏡等を用いて位置確
認作業を行うために工数がかかるという問題がある。A third problem is that when forming side electrodes for connecting internal electrodes, it is difficult to visually confirm the printing position, and the position confirmation operation using a microscope, a magnifying glass, or the like is difficult. There is a problem that it takes man-hours to perform.
【０００８】本発明の目的は、積層型圧電トランスおよ
びその製造方法において、電極接続の信頼性向上および
内部電極向きの視認性向上により安価で信頼性の高い積
層型圧電トランスとその製造方法を提供することにあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a multilayer piezoelectric transformer which is inexpensive and highly reliable by improving the reliability of electrode connection and the visibility of internal electrodes in a multilayer piezoelectric transformer and a method of manufacturing the same. Is to do.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電トラ
ンスは、厚さ方向に分極された圧電体と内部電極とを交
互に複数層積層した駆動部と、上記駆動部上下面に形成
された表面電極と、上記表面電極と前記内部電極とを接
続する側面電極と、長さ方向に分極された圧電体からな
る発電部を有する積層型圧電トランスにおいて、上記表
面電極と上記側面電極とが接続される角部に複数個の溝
を形成し、上記溝が電極材料で充填されていることを特
徴とし、上記溝の形状が半円筒形または半楕円筒形また
は四角柱形または三角柱形を有することを特徴とする。According to the present invention, there is provided a laminated piezoelectric transformer comprising: a drive section in which a plurality of piezoelectric layers and internal electrodes polarized in a thickness direction are alternately stacked; A surface electrode, a side electrode connecting the surface electrode and the internal electrode, and a laminated piezoelectric transformer having a power generation unit made of a piezoelectric material polarized in a longitudinal direction, wherein the surface electrode and the side electrode are A plurality of grooves are formed at corners to be connected, and the grooves are filled with an electrode material, and the shape of the grooves is a semi-cylindrical shape, a semi-elliptic cylindrical shape, a quadrangular prism shape, or a triangular prism shape. It is characterized by having.
【００１０】また、本発明の積層型圧電トランスの製造
方法は、セラミックスグリーンシートにバイアホールを
形成する工程と、上記バイアホールに電極端部がかかる
位置で、上記バイアホールに電極材料が充填するよう
に、内部電極を印刷する工程と、積層後バイアホールを
２分する位置で切断する工程とを含むことを特徴とす
る。In the method of manufacturing a laminated piezoelectric transformer according to the present invention, a step of forming a via hole in a ceramic green sheet, and filling the via hole with an electrode material at a position where an electrode end portion overlaps the via hole is provided. As described above, the method includes a step of printing the internal electrode and a step of cutting the via hole at a position where the via hole is divided into two after the lamination.
【００１１】本発明の積層型圧電トランスとその製造方
法によれば、表面電極と内部電極を接続するため内部電
極に接続した側面電極と表面電極を角部において接続す
るが、この角部に溝を形成し、この溝に電極材料を充填
することから、角部の出っ張りにより電極が薄れること
の影響がなくなり、側面電極と表面電極の接続が不良に
なるということがなくなる。According to the multilayer piezoelectric transformer and the method of manufacturing the same of the present invention, the side electrodes connected to the internal electrodes and the surface electrodes are connected at the corners to connect the surface electrodes and the internal electrodes. Is formed, and the groove is filled with the electrode material, so that the influence of the thinning of the electrode due to the protrusion of the corner is eliminated, and the connection between the side electrode and the surface electrode does not become defective.
【００１２】そして、グリーンシートの段階でバイアホ
ールを形成し、ここに電極材料を充填して積層した後、
このバイアホールで位置決めして切断できることから、
加工工数がかからず、コストを低減化でき、また、グリ
ンシートの状態で加工した後に焼結することから、チッ
ピング・欠けや加工変質層の発生がないことから、機械
的強度が低下しない。Then, a via hole is formed at the stage of the green sheet, an electrode material is filled therein and laminated,
Since it can be positioned and cut with this via hole,
No processing man-hours are required, the cost can be reduced, and since sintering is performed after processing in the state of a green sheet, there is no occurrence of chipping, chipping or a deteriorated layer in processing, so that the mechanical strength does not decrease.
【００１３】さらに、側面電極を形成する側にバイアホ
ールを２分した溝ができることにより、側面電極印刷時
の位置確認用マーカーとして使用できることから、印刷
位置間違いの発生と目視で位置確認ができるため歩留り
および作業性が向上する。Further, since a groove formed by dividing the via hole into two on the side where the side electrode is formed is formed, it can be used as a position confirmation marker at the time of printing the side electrode, so that a printing position error can be generated and the position can be visually confirmed. The yield and workability are improved.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.
【００１５】図１は本発明の積層型圧電トランスの斜視
図であり、図２は駆動部の断面図である。FIG. 1 is a perspective view of a multilayer piezoelectric transformer according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a driving section.
【００１６】図１において、１３は駆動部、１４は発電
部を示す。８は圧電体、１および３は表面電極（３は１
の反対面に形成）、２および４は側面電極（４は２の反
対面に形成）で、この側面電極２，４と内部電極１６お
よび表面電極１，３の接続状態は図２の断面図のように
なる。５，６は溝であり、この溝の中に電極材料が充填
されている。７は発電部の電極であり、素子を長手方向
に２分した位置に全幅に渡り設ける。９，１０は各電極
上に設けた駆動部および発電部の端子で、それぞれλ／
２の３倍の縦振動をした時の節に位置しており、駆動部
端子９にλ／２の３倍に相当する共振周波数の交流電圧
１１を入力すると、発電部端子１０に出力１２が得られ
る。In FIG. 1, reference numeral 13 denotes a drive unit, and 14 denotes a power generation unit. 8 is a piezoelectric body, 1 and 3 are surface electrodes (3 is 1
2 and 4 are side electrodes (4 is formed on the opposite surface of 2), and the connection state between the side electrodes 2, 4 and the internal electrodes 16 and the surface electrodes 1, 3 is a sectional view of FIG. become that way. Reference numerals 5 and 6 denote grooves, which are filled with an electrode material. Reference numeral 7 denotes an electrode of the power generation unit, which is provided over the entire width at a position where the element is divided into two in the longitudinal direction. Reference numerals 9 and 10 denote terminals of a drive unit and a power generation unit provided on each electrode, respectively.
When an AC voltage 11 having a resonance frequency equivalent to three times λ / 2 is input to the drive terminal 9, an output 12 is output to the power generation terminal 10. can get.
【００１７】次に、本例の製造方法について説明する。Next, the manufacturing method of this embodiment will be described.
【００１８】この積層型圧電トランス素子の製造に当た
っては、まず、電気機械結合係数が大きく機械品質係数
の大きな圧電セラミックス材料、例えばＮＥＰＥＣ８
（商品名、（株）トーキン製）を用い、セラミックグリ
ーンシート法により積層体を形成した。In manufacturing the laminated piezoelectric transformer element, first, a piezoelectric ceramic material having a large electromechanical coupling coefficient and a large mechanical quality coefficient, for example, NEPEC8
(Trade name, manufactured by Tokin Co., Ltd.), and a laminate was formed by a ceramic green sheet method.
【００１９】まず、図４に示すようにドクターブレード
法により成膜したセラミックスグリーンシート１７の所
定の位置（図４中の拡大図参照）に、バイアホール形成
治具を用いてバイアホール１９を形成し、図示したよう
なパターンで焼成タイプのＡｇ／Ｐｄペーストで内部電
極１６を印刷するとともに、バイアホール中に電極材料
を充填する。First, as shown in FIG. 4, a via hole 19 is formed at a predetermined position (see an enlarged view in FIG. 4) of a ceramic green sheet 17 formed by a doctor blade method using a via hole forming jig. Then, the internal electrodes 16 are printed with a firing type Ag / Pd paste in a pattern as shown in the drawing, and the via holes are filled with an electrode material.
【００２０】積層専用治具を用いて、内部電極層が４
層、セラミック層が５層の構成で、積層・プレスして、
図５に示すグリーンの積層ブロック２０を形成し、バイ
アホール１９を目印に切断線２１で切断した後、温度：
１１００℃、キープ時間：２時間の条件でセラミックス
およびＡｇ／Ｐｄを一体焼成することにより、図６に示
す長さ４２ｍｍ、幅５．５ｍｍ、厚さ１．４ｍｍの長板
状の焼結ブロック２２を形成する。この焼結ブロック２
２の表面および側面に、溝を形成した角部で接続するよ
うに表面電極１，３および側面電極２，４をＡｇ／Ｐｄ
電極を用いて形成し、６００℃で焼成して本発明の積層
型圧電トランスを得る。Using a jig dedicated to lamination, the inner electrode layer
Layers and ceramic layers are composed of 5 layers.
A green laminated block 20 shown in FIG. 5 is formed, and cut at a cutting line 21 with the via hole 19 as a mark.
By integrally firing the ceramic and Ag / Pd under the conditions of 1100 ° C. and keeping time: 2 hours, a long plate-shaped sintered block 22 shown in FIG. 6 having a length of 42 mm, a width of 5.5 mm and a thickness of 1.4 mm To form This sintered block 2
The surface electrodes 1 and 3 and the side electrodes 2 and 4 are connected to the surface and side surfaces of Ag / Pd so as to be connected at the corners where grooves are formed.
It is formed using electrodes and fired at 600 ° C. to obtain the multilayer piezoelectric transformer of the present invention.
【００２１】溝部の１個当たりの形状としては、直径が
０．５ｍｍ以下で、深さが０．１ｍｍ以下であり、形成
する溝の数としては、駆動部の長さ方向に占める溝長さ
が３０〜６０％になるようにした。直径が０．５ｍｍ、
深さが０．１ｍｍを越えた寸法および溝の占める割合が
６０％を越えて溝を形成した場合、セラミックスの機械
的強度が低下し、振動応力により割れるものが発生し
た。The shape of each groove portion is 0.5 mm or less in diameter and 0.1 mm or less in depth, and the number of grooves to be formed is the length of the groove occupied in the longitudinal direction of the driving portion. Was 30 to 60%. 0.5mm in diameter,
In the case where the depth of the groove exceeds 0.1 mm and the groove occupies more than 60% of the groove, the mechanical strength of the ceramic decreases, and cracks occur due to vibration stress.
【００２２】温度：１５０℃の絶縁油中で、得られた圧
電トランスに電圧：１．５ｋＶ／ｍｍを１５分間加えて
分極処理を施した後、駆動部端子９および発電部端子１
０を半田付けした。After applying a voltage of 1.5 kV / mm to the obtained piezoelectric transformer for 15 minutes in an insulating oil at a temperature of 150 ° C. for 15 minutes to perform polarization, the drive unit terminal 9 and the power generation terminal 1
0 was soldered.
【００２３】従来の溝を有さない積層型圧電トランスに
おいては、角部での電極薄れにより起こる電気的接続不
良や製造工程の取り扱いや切断時に発生する欠けやチッ
ピングの影響によるトランスの割れ不良が約５％程度発
生していたが、本発明の積層型圧電トランスにおいて
は、このような電気的接続不良や割れの発生は無かっ
た。さらに後加工で溝を設けた場合に比べ、加工工数が
減少し、また、溝５により内部電極向きの視認性が向上
したために、表面電極と側面電極を印刷する際に内部電
極の向きを顕微鏡で確認する作業が不要になり、量産性
が大幅に向上し、約３円／ｐのコストダウンができた。
さらに、内部電極向きの位置確認間違いによる不良が皆
無になった。In a conventional laminated piezoelectric transformer having no groove, poor electrical connection caused by thinning of electrodes at corners, chipping occurring during handling and cutting in a manufacturing process, and defective cracking of the transformer due to the influence of chipping occur. Although about 5% occurred, in the multilayer piezoelectric transformer of the present invention, such an electrical connection failure and cracking did not occur. Furthermore, the number of processing steps is reduced as compared with the case where a groove is provided in the post-processing, and the visibility of the internal electrode direction is improved by the groove 5, so that the orientation of the internal electrode when printing the surface electrode and the side electrode can be changed by a microscope. This eliminates the need for the operation described in step (1), greatly improving mass productivity and reducing the cost by about 3 yen / p.
Further, there was no defect due to an incorrect position confirmation of the internal electrode orientation.
【００２４】上記した例では、溝５の形状として半円筒
形状のものについて説明したが、図７に示す半楕円筒
形、四角柱形、三角柱形のものについても同様の効果が
得られた。In the above example, the groove 5 has a semi-cylindrical shape. However, the same effect can be obtained with the semi-elliptic cylindrical, quadrangular prism, and triangular prism shapes shown in FIG.
【００２５】次に本発明の他の実施の形態について説明
する。本例が前例と異なるのは、図３に示す様な構成の
もので、長さ方向縦振動機械共振の波長λの１／２の２
倍のモードで駆動する積層型圧電トランスに本発明を適
用した場合である。Next, another embodiment of the present invention will be described. This example is different from the previous example in a configuration as shown in FIG. 3, in which one half of the wavelength .lambda.
This is a case where the present invention is applied to a laminated piezoelectric transformer driven in a double mode.
【００２６】本例の圧電トランスは、前例と同じ材料を
用い、長さ２８ｍｍ、幅５．５ｍｍ、厚さ１ｍｍの長板
状である。本例による積層型圧電トランスの発電部８
は、圧電体の端面の全幅に渡り設けられ、その中央部に
ある１０の発電部電極端子から出力を取出している。The piezoelectric transformer of this embodiment is made of the same material as the previous embodiment, and is in the form of a long plate having a length of 28 mm, a width of 5.5 mm and a thickness of 1 mm. Power generation unit 8 of multilayer piezoelectric transformer according to this example
Are provided over the entire width of the end face of the piezoelectric body, and output is taken out from ten power generation unit electrode terminals at the center thereof.
【００２７】本例における溝形成も、前例と同様に溝部
の１個当たりの形状としては、直径が０．５ｍｍ以下
で、深さが０．１ｍｍ以下であり、形成する溝の数とし
ては、駆動部の長さ方向に占める溝長さが３０〜６０％
になるようにした。In the present embodiment, as in the previous example, the shape of each groove is 0.5 mm or less in diameter and 0.1 mm or less in depth, and the number of grooves to be formed is as follows. Groove length occupying 30-60% in the length direction of the drive unit
I tried to be.
【００２８】本例のように振動モードが変わっても、溝
を設けることによる効果は、何ら変わらず得られた。Even if the vibration mode is changed as in this example, the effect of providing the groove was obtained without any change.
【００２９】[0029]
【発明の効果】第１の効果は、角部に電極材料を充填し
た溝を形成して、表面電極と側面電極を接続することに
より、角部における接続の信頼性が向上する点である。The first effect is that the reliability of the connection at the corner is improved by forming the groove filled with the electrode material at the corner and connecting the surface electrode and the side electrode.
【００３０】第２の効果は、溝により、内部電極の向き
を目視で容易に判断できるため、内部電極向きの視認性
が向上し、内部電極接続用電極の塗り間違いによる不良
が無くなり、内部電極向きの確認作業が容易になること
から、作業効率が向上し、コストダウンできる点であ
る。The second effect is that the orientation of the internal electrodes can be easily determined visually by the grooves, so that the visibility of the orientation of the internal electrodes is improved, and defects due to misapplication of the internal electrode connection electrodes are eliminated. The point is that the work of confirming the direction is facilitated, so that the work efficiency is improved and the cost can be reduced.
【００３１】第３の効果は、セラミックスグリーンシー
トにバイアホールを設け、これにより溝を形成するた
め、溝を形成するための後加工がいらなくなって、素子
へのダメージが無くなることから、欠けやチッピング、
加工変質層等の発生がなくなり、セラミックスの機械的
強度の低下を防止できる点である。The third effect is that a via hole is formed in the ceramic green sheet to form a groove, thereby eliminating the need for post-processing for forming the groove and eliminating damage to the element. Chipping,
It is a point that generation of a work-affected layer or the like is eliminated and a decrease in mechanical strength of the ceramic can be prevented.
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す積層型圧電ト
ランスの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a multilayer piezoelectric transformer according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の積層型圧電トランスの駆動部の断面を
示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cross section of a driving section of the multilayer piezoelectric transformer of the present invention.
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す積層型圧電ト
ランスの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a multilayer piezoelectric transformer according to a second embodiment of the present invention.
【図４】本発明のセラミックスグリーンシート、内部電
極パターンおよびバイアホール形成位置を示す平面図で
ある。FIG. 4 is a plan view showing a ceramic green sheet, an internal electrode pattern, and a via hole forming position of the present invention.
【図５】本発明のセラミックスグリーンシートを積層し
てプレスして形成したグリーンの積層体ブロックを示す
斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a green laminate block formed by laminating and pressing the ceramic green sheets of the present invention.
【図６】本発明のグリーンの積層体ブロックを切断し焼
結したブロックおよび溝の拡大を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an enlarged block and grooves obtained by cutting and sintering a green laminate block of the present invention.
【図７】本発明の各種溝の種類を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing types of various grooves of the present invention.
１ 表面電極（上側） ２ 側面電極（上側用） ３ 表面電極（下側） ４ 側面電極（下側用） ５ 溝（上側用） ５−１ 半楕円筒形溝 ５−２ 四角柱形溝 ５−３ 三角柱形溝 ７ 発電部電極 ８ 圧電体 ９ 駆動部端子 １０ 発電部端子 １１ 入力 １２ 出力 １３ 発電部 １４ 駆動部 １５ 駆動部断面切断線 １６ 駆動部内部電極 １７ セラミックスグリーンシート １８ 圧電体仕上がり外形予定線 １９ バイアホール ２０ グリーンの積層体ブロック ２１ 積層体ブロック切断予定位置線 ２２ 焼結体ブロック DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Surface electrode (upper side) 2 Side surface electrode (for upper side) 3 Surface electrode (lower side) 4 Side surface electrode (for lower side) 5 Groove (for upper side) 5-1 Semi-elliptic cylindrical groove 5-2 Square prism groove 5 -3 Triangular prism-shaped groove 7 Power generation unit electrode 8 Piezoelectric body 9 Drive unit terminal 10 Power generation unit terminal 11 Input 12 Output 13 Power generation unit 14 Driving unit 15 Driving unit cross-section cut line 16 Driving unit internal electrode 17 Ceramic green sheet 18 Finished piezoelectric body Expected line 19 Via hole 20 Green laminated block 21 Planned cutting line of laminated block 22 Sintered block
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 41/107 H01G 1/14 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 41/107 H01G 1/14
Claims (6)
とを交互に複数層積層した駆動部と、前記駆動部上下面
に形成された表面電極と、前記表面電極と前記内部電極
とを接続する側面電極と、長さ方向に分極された圧電体
からなる発電部を有する積層型圧電トランスにおいて、
前記表面電極と前記側面電極とが接続される角部に複数
個の溝を形成し、前記溝が電極材料で充填されているこ
とを特徴とする積層型圧電トランス。1. A driving unit in which a plurality of piezoelectric bodies and internal electrodes polarized in a thickness direction are alternately stacked, a surface electrode formed on upper and lower surfaces of the driving unit, and the surface electrode and the internal electrode. In a laminated piezoelectric transformer having a power generation unit composed of a piezoelectric body polarized in the length direction,
A multilayer piezoelectric transformer, wherein a plurality of grooves are formed at a corner where the surface electrode and the side electrode are connected, and the grooves are filled with an electrode material.
徴とする請求項１記載の積層型圧電トランス。2. The multilayer piezoelectric transformer according to claim 1, wherein the shape of the groove is a semi-cylindrical shape.
特徴とする請求項１記載の積層型圧電トランス。3. The multilayer piezoelectric transformer according to claim 1, wherein the shape of the groove is a semi-elliptical cylindrical shape.
徴とする請求項１記載の積層型圧電トランス。4. The multilayer piezoelectric transformer according to claim 1, wherein said groove has a quadrangular prism shape.
徴とする請求項１記載の積層型圧電トランス。5. The multilayer piezoelectric transformer according to claim 1, wherein said groove has a triangular prism shape.
ールを形成する工程と、前記バイアホールに電極端部が
かかる位置で、前記バイアホールに電極材料が充填され
るように、内部電極を印刷する工程と、積層後バイアホ
ールを２分する位置で切断する工程とを有することを特
徴とする積層型圧電トランスの製造方法。6. A step of forming a via hole in a ceramic green sheet, and a step of printing an internal electrode so that the via hole is filled with an electrode material at a position where an electrode end portion overlaps the via hole. Cutting the via hole at a position that divides the via hole into two after lamination.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16625797A JP3028083B2 (en) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | Laminated piezoelectric transformer and method of manufacturing the same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16625797A JP3028083B2 (en) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | Laminated piezoelectric transformer and method of manufacturing the same |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1117240A JPH1117240A (en) | 1999-01-22 |
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ID=15828034
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16625797A Expired - Lifetime JP3028083B2 (en) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | Laminated piezoelectric transformer and method of manufacturing the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3028083B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3468202B2 (en) * | 2000-04-24 | 2003-11-17 | 株式会社村田製作所 | Piezoelectric transformer, piezoelectric transformer drive circuit and liquid crystal display |
-
1997
- 1997-06-23 JP JP16625797A patent/JP3028083B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1117240A (en) | 1999-01-22 |
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