JP3023936B2 - タンデム加速器 - Google Patents
タンデム加速器Info
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- JP3023936B2 JP3023936B2 JP3232485A JP23248591A JP3023936B2 JP 3023936 B2 JP3023936 B2 JP 3023936B2 JP 3232485 A JP3232485 A JP 3232485A JP 23248591 A JP23248591 A JP 23248591A JP 3023936 B2 JP3023936 B2 JP 3023936B2
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- tube
- stripper
- alignment
- energy side
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビ−ム・アライメント
のモニタ手段を有するタンデム加速器に関する。
のモニタ手段を有するタンデム加速器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４はタンデム加速器の基本構成図を示
し、負イオン源１からの負イオンは分析電磁石２で目的
とするイオン種が分離抽出され、圧力タンク３内に構成
した加速器本体４に導入される。負イオンは、高圧電源
５から高電圧タ−ミナル部６を介して正の電圧が印加さ
れた低エネルギ側加速管７で加速され、高電圧タ−ミナ
ル部のチャ−ジ・ストリッパ８で正イオンに荷電変換さ
れる。この正イオンは高エネルギ側加速管９で大地（接
地）電位に向かって再び加速され、偏向電磁石１０によ
って所要価数のイオンのビ−ムが抽出され、図示しない
試料、材料に注入、照射される。
し、負イオン源１からの負イオンは分析電磁石２で目的
とするイオン種が分離抽出され、圧力タンク３内に構成
した加速器本体４に導入される。負イオンは、高圧電源
５から高電圧タ−ミナル部６を介して正の電圧が印加さ
れた低エネルギ側加速管７で加速され、高電圧タ−ミナ
ル部のチャ−ジ・ストリッパ８で正イオンに荷電変換さ
れる。この正イオンは高エネルギ側加速管９で大地（接
地）電位に向かって再び加速され、偏向電磁石１０によ
って所要価数のイオンのビ−ムが抽出され、図示しない
試料、材料に注入、照射される。
【０００３】図５は圧力タンク３内に構成する加速器本
体４の加速管７及び９とチャ−ジ・ストリッパ８に関
し、低エネルギ側加速管７と、ストリッパ・チュ−ブ
（カナ−ル）１１を内蔵するストリッパ・ダクト１２と
の結合部分を示し、図６は図５のＡ’−Ａ’線での断面
図を示すが、圧力タンク３内への低エネルギ側加速管
７、チャ−ジ・ストリッパ８、高エネルギ側加速管９の
組込に際しては、心合わせ、アライメントの調整が行わ
れる。加速器本体４における、これら構成要素全体の長
さは、短いものでも２ｍ、長いものでは５ｍに達する
が、チャ−ジ・ストリッパ８における矢印で示すイオン
ビ−ムが通るストリッパ・チュ−ブ１１の内径は１０ｍ
ｍ位しかないため、アライメントはトランシットを用い
て行う。調整後、イオンビ−ムを加速してみる。荷電変
換割合のデ−タからビ−ム或いはビ−ム・アライメント
の状況が判断される。
体４の加速管７及び９とチャ−ジ・ストリッパ８に関
し、低エネルギ側加速管７と、ストリッパ・チュ−ブ
（カナ−ル）１１を内蔵するストリッパ・ダクト１２と
の結合部分を示し、図６は図５のＡ’−Ａ’線での断面
図を示すが、圧力タンク３内への低エネルギ側加速管
７、チャ−ジ・ストリッパ８、高エネルギ側加速管９の
組込に際しては、心合わせ、アライメントの調整が行わ
れる。加速器本体４における、これら構成要素全体の長
さは、短いものでも２ｍ、長いものでは５ｍに達する
が、チャ−ジ・ストリッパ８における矢印で示すイオン
ビ−ムが通るストリッパ・チュ−ブ１１の内径は１０ｍ
ｍ位しかないため、アライメントはトランシットを用い
て行う。調整後、イオンビ−ムを加速してみる。荷電変
換割合のデ−タからビ−ム或いはビ−ム・アライメント
の状況が判断される。
【０００４】しかしながら、トランシットによれば物理
的形状に係わる心合わせが行えるに留まり、荷電変換割
合のデ−タからでは、ビ−ムの形状、レンズ系の適否、
最適な荷電変換割合が得られているのか否かについて、
適確に判断することができない。
的形状に係わる心合わせが行えるに留まり、荷電変換割
合のデ−タからでは、ビ−ムの形状、レンズ系の適否、
最適な荷電変換割合が得られているのか否かについて、
適確に判断することができない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ストリッパ
・チュ−ブの入口にビ−ム・モニタ手段を設置すること
により、ビ−ム・アライメントの状況を検出、判断する
ことができるようにしたタンデム加速器を提供すること
を目的とするものである。
・チュ−ブの入口にビ−ム・モニタ手段を設置すること
により、ビ−ム・アライメントの状況を検出、判断する
ことができるようにしたタンデム加速器を提供すること
を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、タンデム加速
器において、低エネルギ側加速管とストリッパ・チュ−
ブとの間に、互いに絶縁された少なくとも４個の扇状電
極を円盤状に配置し、中心部にビ−ムの通過孔が形成さ
れたビ−ム・モニタ電極装置を設けたことを特徴とする
ものである。
器において、低エネルギ側加速管とストリッパ・チュ−
ブとの間に、互いに絶縁された少なくとも４個の扇状電
極を円盤状に配置し、中心部にビ−ムの通過孔が形成さ
れたビ−ム・モニタ電極装置を設けたことを特徴とする
ものである。
【０００７】
【作用】ビ−ム・モニタ電極装置の少なくとも４個の扇
状電極によって、ストリッパ・チュ−ブの入口における
イオンビ−ムの上下、左右の広がり、ビ−ムの形状を検
出することができ、イオンビ−ムの入射側でのレンズ系
の効果、ビ−ム・アライメントの状況を適確に判断する
ことができる。そして、この検出、判断結果に応じてビ
−ム・アライメントを最適な状態に調節、設定できる。
状電極によって、ストリッパ・チュ−ブの入口における
イオンビ−ムの上下、左右の広がり、ビ−ムの形状を検
出することができ、イオンビ−ムの入射側でのレンズ系
の効果、ビ−ム・アライメントの状況を適確に判断する
ことができる。そして、この検出、判断結果に応じてビ
−ム・アライメントを最適な状態に調節、設定できる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例における低エネルギ
側加速管７とチャ−ジ・ストリッパ８の結合部分の断面
図を示し、図２は図１のＡ−Ａ線での断面図である。図
４ないし図６と同一符号は同等部分を示す。低エネルギ
側加速管７の出口とストリッパ・チュ−ブ１１の入口と
の間にビ−ム・モニタ電極装置１３を設置する。このビ
−ム・モニタ電極装置１３は中心に孔を持つ円盤を４分
割した形状をなす４個の扇状電極１４が円盤状に配置構
成され、これら電極の中心部にイオンビ−ムの通過孔１
５を形成する。各電極１４は互いに絶縁されており、そ
れぞれ絶縁支持体１６によってストリッパ・ダクト１２
に取り付けられている。ビ−ム・モニタ電極装置１３の
各電極１４はビ−ムの左右、上下方向の形状、ビ−ム・
アライメントの状況を検出するものであり、ビ−ムがこ
れら電極１４に当ると各電極を通してビ−ム電流が流れ
ることになる。
側加速管７とチャ−ジ・ストリッパ８の結合部分の断面
図を示し、図２は図１のＡ−Ａ線での断面図である。図
４ないし図６と同一符号は同等部分を示す。低エネルギ
側加速管７の出口とストリッパ・チュ−ブ１１の入口と
の間にビ−ム・モニタ電極装置１３を設置する。このビ
−ム・モニタ電極装置１３は中心に孔を持つ円盤を４分
割した形状をなす４個の扇状電極１４が円盤状に配置構
成され、これら電極の中心部にイオンビ−ムの通過孔１
５を形成する。各電極１４は互いに絶縁されており、そ
れぞれ絶縁支持体１６によってストリッパ・ダクト１２
に取り付けられている。ビ−ム・モニタ電極装置１３の
各電極１４はビ−ムの左右、上下方向の形状、ビ−ム・
アライメントの状況を検出するものであり、ビ−ムがこ
れら電極１４に当ると各電極を通してビ−ム電流が流れ
ることになる。
【０００９】図３はビ−ム・モニタ電極装置１３からの
信号の伝送系の構成図を示す。各電極１４で捕捉された
ビ−ム電流は、増幅器１７に導入され、増幅器１７の出
力は光電変換装置１８で光信号に変換し、光ファイバ−
・ガイド１９によって大地（接地）側に伝送される。伝
送された光信号は光電変換装置２０で電気信号に変換さ
れ、指示装置２１に与えられる。増幅器１７、光電変換
装置１８は高電圧タ−ミナル部６（図４参照）に配置さ
れており、これら増幅器、装置には、例えば大地電位部
に設けられた電動機を有する電動発電機から給電する。
この指示装置２１の指示内容から各電極１４に捉えられ
たビ−ム電流の有無、ビ−ム電流の大きさが分かるか
ら、ストリッパ・チュ−ブ１１の入口でのイオンビ−ム
の形状、ビ−ム入射側のレンズ系効果、ビ−ム・アライ
メントの適否を適確に判断することができる。そして、
この判断結果を、加速器本体４と分析電磁石２との間に
設けられている静電ステアラ、Ｑ（四重極）レンズの微
調整に、フィ−ドバック、反映させることにより、イオ
ンビ−ムの光電的アライメントを最適なものとすること
ができる。
信号の伝送系の構成図を示す。各電極１４で捕捉された
ビ−ム電流は、増幅器１７に導入され、増幅器１７の出
力は光電変換装置１８で光信号に変換し、光ファイバ−
・ガイド１９によって大地（接地）側に伝送される。伝
送された光信号は光電変換装置２０で電気信号に変換さ
れ、指示装置２１に与えられる。増幅器１７、光電変換
装置１８は高電圧タ−ミナル部６（図４参照）に配置さ
れており、これら増幅器、装置には、例えば大地電位部
に設けられた電動機を有する電動発電機から給電する。
この指示装置２１の指示内容から各電極１４に捉えられ
たビ−ム電流の有無、ビ−ム電流の大きさが分かるか
ら、ストリッパ・チュ−ブ１１の入口でのイオンビ−ム
の形状、ビ−ム入射側のレンズ系効果、ビ−ム・アライ
メントの適否を適確に判断することができる。そして、
この判断結果を、加速器本体４と分析電磁石２との間に
設けられている静電ステアラ、Ｑ（四重極）レンズの微
調整に、フィ−ドバック、反映させることにより、イオ
ンビ−ムの光電的アライメントを最適なものとすること
ができる。
【００１０】上述の実施例ではビ−ム・モニタ電極装置
１３を低エネルギ側加速管７とストリッパ・チュ−ブ１
１との間に設けたものを示したが、同チュ−ブ１１と高
エネルギ側加速管９との間にも配置することができる。
また、ビ−ム・モニタ電極装置１３として円盤を４分割
した形状の扇状電極を有するものを示したが、より細分
割した形状の電極を用いることによりビ−ム形状、レン
ズ効果、ビ−ム・アライメントをより精密に測定するこ
とができる。
１３を低エネルギ側加速管７とストリッパ・チュ−ブ１
１との間に設けたものを示したが、同チュ−ブ１１と高
エネルギ側加速管９との間にも配置することができる。
また、ビ−ム・モニタ電極装置１３として円盤を４分割
した形状の扇状電極を有するものを示したが、より細分
割した形状の電極を用いることによりビ−ム形状、レン
ズ効果、ビ−ム・アライメントをより精密に測定するこ
とができる。
【００１１】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成したの
で、少なくとも４個の扇状電極を有するビ−ム・モニタ
電極装置によって、ストリッパ・チュ−ブの入口でのイ
オンビ−ムの形状、イオンビ−ムの入射側でのレンズ系
の効果、ビ−ム・アライメントの状況を適確に検出する
ことができるものであり、この検出、判断結果に応じて
ビ−ム・アライメントを最適な状態に調節、設定するこ
とができる。
で、少なくとも４個の扇状電極を有するビ−ム・モニタ
電極装置によって、ストリッパ・チュ−ブの入口でのイ
オンビ−ムの形状、イオンビ−ムの入射側でのレンズ系
の効果、ビ−ム・アライメントの状況を適確に検出する
ことができるものであり、この検出、判断結果に応じて
ビ−ム・アライメントを最適な状態に調節、設定するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線での断面図である。
【図３】本発明の実施例における信号系の構成図であ
る。
る。
【図４】タンデム加速器の基本構成図である。
【図５】従来例の断面図である。
【図６】図５のＡ’−Ａ’線での断面図である。
7 低エネルギ側加速管 8 チャ−ジ・ストリッパ 11 ストリッパ・チュ−ブ（カナ−ル） 12 ストリッパ・ダクト 13 ビイム・モニタ電極装置 14 扇状電極 15 ビ−ム通過孔 16 絶縁支持体
Claims (1)
- 【請求項１】 低エネルギ側加速管とストリッパ・チュ
−ブとの間に、互いに絶縁された少なくとも４個の扇状
電極を円盤状に配置し、中心部にビ−ムの通過孔が形成
されたビ−ム・モニタ電極装置を設けたことを特徴とす
るタンデム加速器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3232485A JP3023936B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | タンデム加速器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3232485A JP3023936B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | タンデム加速器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554997A JPH0554997A (ja) | 1993-03-05 |
| JP3023936B2 true JP3023936B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=16940055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3232485A Expired - Fee Related JP3023936B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | タンデム加速器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3023936B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015530124A (ja) * | 2012-10-08 | 2015-10-15 | インターコンチネンタル グレート ブランズ エルエルシー | 硬い菓子及びその製造法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2291803B (en) * | 1994-07-29 | 1999-03-10 | Hochiki Co | Fire detecting/extinguishing apparatus and water discharging nozzle therefor |
| JP6831245B2 (ja) * | 2017-01-06 | 2021-02-17 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
-
1991
- 1991-08-21 JP JP3232485A patent/JP3023936B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015530124A (ja) * | 2012-10-08 | 2015-10-15 | インターコンチネンタル グレート ブランズ エルエルシー | 硬い菓子及びその製造法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0554997A (ja) | 1993-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |