JP3016720B2 - Sliding rod structure - Google Patents
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- JP3016720B2 JP3016720B2 JP7271956A JP27195695A JP3016720B2 JP 3016720 B2 JP3016720 B2 JP 3016720B2 JP 7271956 A JP7271956 A JP 7271956A JP 27195695 A JP27195695 A JP 27195695A JP 3016720 B2 JP3016720 B2 JP 3016720B2
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、軸線方向に摺動す
るロッドに対しロッド部材が固定された摺動ロッドの構
造に関し、特に、ロッド部材にベローズが接続されたベ
ローズ組立を固定する摺動ロッドの構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sliding rod structure in which a rod member is fixed to a rod sliding in an axial direction, and more particularly to a sliding member for fixing a bellows assembly in which a bellows is connected to a rod member. Related to the structure of the rod.
【０００２】[0002]
【従来の技術】摺動ロッドの構造の一従来例として、真
空圧力制御システムで使用されている真空用開閉弁を図
示して説明する。図５は、従来の手動ロッドの構造をな
す真空用開閉弁を示した断面図である。この真空用開閉
弁５１は、全体としては駆動手段としてのシリンダ部５
２と、流体を制御する弁部５３とから構成されている。
そこで、先ずシリンダ部５２の構成について説明する。
このシリンダ部５２は、下方に開口したシリンダカバ−
５４が、その開口部を塞ぐようにシリンダアダプタ−５
５が嵌合されている。そして、シリンダロッド５６が、
シリンダアダプタ−５５の中心を貫くように挿入され、
その上端部にナットで固定されたピストン５７が、マグ
ネット６０をピストンスペーサ５８とで挟持し、シリン
ダカバ−５４内に嵌挿されている。2. Description of the Related Art As one conventional example of the structure of a sliding rod, a vacuum on-off valve used in a vacuum pressure control system will be illustrated and described. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a vacuum on-off valve having a structure of a conventional manual rod. The vacuum on-off valve 51 is provided with a cylinder unit 5 as a driving means as a whole.
2 and a valve 53 for controlling the fluid.
Therefore, the configuration of the cylinder section 52 will be described first.
The cylinder portion 52 has a cylinder cover opened downward.
54 is a cylinder adapter-5 so as to close the opening.
5 are fitted. And the cylinder rod 56
Inserted through the center of the cylinder adapter -55,
A piston 57 fixed at its upper end with a nut holds the magnet 60 between the piston spacer 58 and is fitted into the cylinder cover 54.
【０００３】このピストン５７の周縁には、シリンダカ
バ−５４内壁面を摺動すべくＰＳＤパッキン５９が取り
付けられている。そして、シリンダカバ−５４内には、
更にピストン５７を下方に付勢する復帰用のスプリング
６１Ａ，６１Ｂが嵌挿されている。シリンダカバ−５４
には、その内部に嵌挿されたピストン５７上方の上室６
４に連通する排気ポート６２が形成されている。一方、
ピストン５７下方の下室６５には、給気ポート６６が形
成されている。At the periphery of the piston 57, a PSD packing 59 is attached so as to slide on the inner wall surface of the cylinder cover 54. And, in the cylinder cover 54,
Further, return springs 61A and 61B for urging the piston 57 downward are inserted. Cylinder cover 54
The upper chamber 6 above the piston 57 fitted therein.
An exhaust port 62 communicating with 4 is formed. on the other hand,
An air supply port 66 is formed in the lower chamber 65 below the piston 57.
【０００４】次に、摺動ロッドの構造を有する弁部５３
は、シリンダアダプタ−５５下端面のベローズアダプタ
７１を介してボディ７２が嵌合されている。このボディ
７２は、薄肉に形成されたボディチューブ７２ａと、厚
肉に形成された弁座部７２ｂとから構成されている。ボ
ディチューブ７２ａには、横方向に突出した出力ポート
７５が形成され、一方の弁座部７２ｂには、弁座７４に
形成された弁孔によって入力ポート７３が構成されてい
る。そして、シリンダロッド５６に連結された弁ロッド
７６下端部には、弁座７４に気密に当接するようＯリン
グ７７を備えた弁体７８が固定されている。また、ボデ
ィチューブ７２ａ内には、弁体７８とベローズアダプタ
７１とにベローズ７９が溶接接続されたベローズ組立を
構成し、弁ロッド７６を密閉するように設けられてい
る。Next, a valve portion 53 having a sliding rod structure is used.
The body 72 is fitted via a bellows adapter 71 on the lower end surface of the cylinder adapter 55. The body 72 includes a thin body tube 72a and a thick valve seat 72b. An output port 75 projecting in the lateral direction is formed in the body tube 72a, and an input port 73 is formed in one valve seat portion 72b by a valve hole formed in the valve seat 74. A valve body 78 having an O-ring 77 is fixed to the lower end of the valve rod 76 connected to the cylinder rod 56 so as to abut on the valve seat 74 in an airtight manner. Further, a bellows assembly in which a bellows 79 is welded and connected to the valve body 78 and the bellows adapter 71 is provided in the body tube 72a so as to seal the valve rod 76.
【０００５】このような構成からなる真空用開閉弁５１
は、給気ポート６６から下室６５へ圧縮空気が供給され
ると、上室６４内の空気が排気ポート６２から排出さ
れ、スプリング６１Ａ，６１Ｂの下方への付勢力に抗し
てピストン５７が上昇する。ピストン５７が上昇する
と、シリンダロッド５６及び弁ロッド７６を介して、ベ
ローズ７９を縮ませながら弁体７８が上昇する。そのた
め、入力ポート７３と出力ポート７５とが連通し、弁部
５３内を流体が流れる。そして、給気ポート６６からの
圧縮空気の供給を停止すれば、スプリング６１Ａ，６１
Ｂの弾拡力によりピストン５７が下降し、それに伴って
弁体７８、特にＯリング７７が弁座７４へ気密に当接し
て入力ポート７３と出力ポート７５との間が完全に遮断
される。A vacuum on-off valve 51 having such a configuration
When compressed air is supplied from the air supply port 66 to the lower chamber 65, the air in the upper chamber 64 is exhausted from the exhaust port 62, and the piston 57 is pressed against the downward urging force of the springs 61A and 61B. To rise. When the piston 57 rises, the valve body 78 rises via the cylinder rod 56 and the valve rod 76 while contracting the bellows 79. Therefore, the input port 73 and the output port 75 communicate with each other, and the fluid flows inside the valve portion 53. When the supply of the compressed air from the air supply port 66 is stopped, the springs 61A and 61A are stopped.
The piston 57 descends due to the elastic expansion force of B, and accordingly, the valve body 78, particularly the O-ring 77, comes into airtight contact with the valve seat 74, and the space between the input port 73 and the output port 75 is completely shut off.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
真空用開閉弁５１で示した従来の摺動ロッドの構造で
は、組立や部品交換などする場合にベローズ組立等の組
付けが不便であった。シリンダ部５２からなる駆動手段
を有し弁部５３の弁を開閉するものでは、弁体７８にシ
リンダ部５２の駆動力を伝達するためシリンダロッド５
６を固定する必要がある。しかし、ベローズアダプタ７
１、ベローズ７９及び弁体７８が一体に形成されたベロ
ーズ組立を構成しているため、ベローズ７９内に弁体７
８に固設した弁ロッド７６を備える必要があり、先ず、
その弁ロッド７６とシリンダロッド５６とを螺着しなけ
ればならなかった。その際、特にシリンダロッド５６が
フリーなため、弁ロッド７６をシリンダロッド５６へ螺
着するのに、そのシリンダロッド５６が回転してしまの
で強固に連結することができず、例えばシリンダカバー
５４を外しピストン５７を固定して螺着する等の必要が
あり、非常に手間がかかった。However, in the conventional sliding rod structure shown by such a vacuum on-off valve 51, it is inconvenient to assemble the bellows when assembling or replacing parts. . In the case of having a driving means consisting of the cylinder portion 52 and opening and closing the valve of the valve portion 53, the cylinder rod 5 for transmitting the driving force of the cylinder portion 52 to the valve body 78
6 needs to be fixed. However, the bellows adapter 7
1. Since the bellows 79 and the valve body 78 constitute a bellows assembly integrally formed, the valve body 7 is provided in the bellows 79.
It is necessary to have a valve rod 76 fixed to 8
The valve rod 76 and the cylinder rod 56 had to be screwed. At this time, since the cylinder rod 56 is particularly free, the valve rod 76 is screwed onto the cylinder rod 56, but the cylinder rod 56 is rotated, so that the cylinder rod 56 cannot be firmly connected. It is necessary to fix the detaching piston 57 and screw it in, etc., which is very troublesome.
【０００７】ところで、上記従来例の真空用開閉弁５１
では、劣化し易いスプリング６１Ａ，６１Ｂやベローズ
７９が、それぞれシリンダ部５２と弁部５３とに別々に
設けてある。そのため、スプリング６１Ａ，６１Ｂの交
換にはシリンダカバ−５４を取り外す一方、ベローズ７
９の交換にはボディ７２を取り外す必要があった。ま
た、ベローズ７９の交換にはネジ８１を外してバルブデ
ィスク８０を外す他、シリンダロッド５６から外した弁
ロッド７６を更に弁体７８から外す必要もあり、手間の
かかるものであった。更に、従来例の真空用開閉弁５１
では、組付けの不便さの他に、スプリング６１Ａ，６１
Ｂをシリンダカバ−５４内に配設したため、駆動手段で
あるシリンダ部５２がいきおい大きくなってしまい、真
空用開閉弁自体が大型化してしまうという問題もあっ
た。By the way, the above-mentioned conventional on-off valve for vacuum 51
Here, springs 61A and 61B and a bellows 79 which are easily deteriorated are separately provided in the cylinder portion 52 and the valve portion 53, respectively. Therefore, when replacing the springs 61A and 61B, the cylinder cover 54 is removed, while the bellows 7 are removed.
In order to replace 9, the body 72 had to be removed. In addition, replacing the bellows 79 requires removing the valve disk 80 by removing the screw 81 and also removing the valve rod 76 removed from the cylinder rod 56 from the valve body 78, which is troublesome. Furthermore, the conventional on-off valve for vacuum 51
Then, in addition to the inconvenience of assembling, the springs 61A, 61A
Since B is disposed in the cylinder cover 54, the cylinder portion 52 serving as the driving means becomes very large, and the vacuum on-off valve itself becomes large.
【０００８】そこで、本発明は、上記問題点を解決すべ
く、ベローズ組立を構成するロッド部材の軸方向に摺動
するロッド先端への強固な固定を容易に行なうことが可
能な摺動ロッドの構造の提供を目的とする。In order to solve the above problems, the present invention provides a sliding rod which can easily and firmly fix a rod member constituting a bellows assembly to an axially sliding rod tip. The purpose is to provide the structure.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の摺動ロッドの構
造は、軸線方向に摺動するロッドの先端に固定されたロ
ッド部材が、ロッドを密閉するように設けられたベロー
ズと接続されてベローズ組立を構成するものであって、
前記ロッド部材を前記ロッドの軸方向先端側へ付勢すべ
く前記ベローズ内に設けられたバネ部材と、前記ロッド
に対して着脱自在に係設され、前記バネ部材のロッド先
端方向の付勢力を受ける係合部材と、前記ロッド部材に
形成された係合部と、前記ロッド部材を前記ロッドの先
端に固定するネジ部材とを有し、前記ネジ部材を前記ロ
ッドに締結するときに、前記バネ部材及び前記ロッド部
材が、前記ロッドに一体的に保持されることにより、前
記係合部材が前記係合部に係合して、前記ロッドの回転
を禁止し、前記ベローズの回転を防止すると共に、前記
係合部材の脱落を防止することを特徴とする。また、本
発明の摺動ロッドの構造は、前記摺動ロッドが真空弁の
パイロット弁のピストンロッドであり、前記ロッド部材
が真空弁の主弁体であることが望ましい。According to the structure of the sliding rod of the present invention, a rod member fixed to the tip of the rod sliding in the axial direction is connected to a bellows provided to seal the rod. A bellows assembly,
The rod member should be urged toward the axial end of the rod.
A spring member provided in the bellows, and the rod
And a rod tip of the spring member.
An engaging member for receiving an urging force in an end direction;
The formed engaging portion and the rod member are attached to the tip of the rod.
A screw member fixed to the end, and the screw member is
The spring member and the rod portion
The material is integrally held on the rod,
The engagement member engages with the engagement portion, and the rod rotates.
To prevent rotation of the bellows,
It is characterized in that the engaging member is prevented from falling off. Further, in the structure of the sliding rod of the present invention, it is preferable that the sliding rod is a piston rod of a pilot valve of a vacuum valve, and the rod member is a main valve body of the vacuum valve.
【００１０】本発明の摺動ロッドの構造は、軸線方向に
摺動するロッドに対し、ロッドを密閉するように設けら
れたベローズとロッド部材とを接続して構成されたベロ
ーズ組立を固定する場合、ロッドの先端にロッド部材を
ネジ部材で固定するが、そのベローズ内のロッドに係設
された係合部材がロッド部材に形成された係合部に係合
するため、ネジ部材を締結するに際し、ロッドの回転が
禁止され強固な固定が容易に行える。また、本発明の摺
動ロッドの構造は、真空弁のパイロット弁を構成する摺
動ロッドであるピストンロッドに対し、ロッド部材であ
る真空弁の主弁体を固定する際も、ピストンロッドに係
設された係合部材が主弁体に形成された係合部に係合す
るため、ネジ部材を締結するに際し、ピストンロッドの
回転が禁止され強固な固定が容易に行える。また、本発
明の摺動ロッドの構造は、ロッドにロッド部材を強固に
固定するのに、ベローズ内のロッドに係設された係合ピ
ンがロッド部材に形成された係合溝に係合し、ロッドの
回転が禁止されることによって行なわれる。The structure of the sliding rod according to the present invention is such that a bellows assembly formed by connecting a rod member and a bellows provided so as to seal the rod is fixed to the rod sliding in the axial direction. The rod member is fixed to the tip of the rod with a screw member, but the engagement member provided on the rod in the bellows engages with the engagement portion formed on the rod member. In addition, the rotation of the rod is prohibited, and a firm fixing can be easily performed. Further, the structure of the sliding rod of the present invention relates to the piston rod, which is a rod member, for fixing the main valve element of the vacuum valve, which is a rod member, to the piston rod, which is the sliding rod constituting the pilot valve of the vacuum valve. Since the provided engaging member is engaged with the engaging portion formed on the main valve body, when the screw member is fastened, the rotation of the piston rod is prohibited and the firm fixing can be easily performed. Further, in the structure of the sliding rod of the present invention, in order to firmly fix the rod member to the rod, an engaging pin provided on the rod in the bellows is engaged with an engaging groove formed on the rod member. , The rotation of the rod is prohibited.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる摺動ロッド
の構造の第１の実施の形態について、真空用開閉弁に用
いたものを図面を参照して説明する。図１は、本実施の
形態のノーマルクローズの真空用開閉弁を示した断面図
である。本実施の形態の真空用開閉弁１は、従来のもの
と同様、真空圧力制御システムにおいて使用されるもの
であり、シリンダ部２と弁部３とから構成されている。
そこで、先ずシリンダ部２の構成について説明する。シ
リンダ部２は、シリンダカバ−４がシリンダアダプタ−
５に嵌合された中に、ピストン７が摺動可能に嵌挿され
ている。そして、シリンダアダプタ−５を貫いてシリン
ダカバ−４内に挿入されたロッド６は、ピストン７の中
心に螺設されている。また、シリンダカバ−４内は、ピ
ストン７によって上室８と下室９とに区切られ、そのシ
リンダカバ−４に、上室８に連通する排気ポート１０と
下室９に連通する供給ポート１１が形成されている。そ
して、下室９の気密性を保つため、ロッド６との摺接部
にパッキン１２を設けた環状アダプタ１３が嵌合されて
いる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, a first embodiment of the structure of a sliding rod according to the present invention will be described with reference to the drawings, which is used for a vacuum on-off valve. FIG. 1 is a sectional view showing a normally closed vacuum on-off valve according to the present embodiment. The vacuum on-off valve 1 of the present embodiment is used in a vacuum pressure control system, like a conventional one, and includes a cylinder part 2 and a valve part 3.
Therefore, the configuration of the cylinder unit 2 will be described first. The cylinder part 2 is such that the cylinder cover-4 is a cylinder adapter-
5, the piston 7 is slidably fitted. The rod 6 inserted into the cylinder cover 4 through the cylinder adapter 5 is screwed at the center of the piston 7. The inside of the cylinder cover 4 is partitioned by a piston 7 into an upper chamber 8 and a lower chamber 9, and the cylinder cover 4 has an exhaust port 10 communicating with the upper chamber 8 and a supply port 11 communicating with the lower chamber 9. Are formed. In order to maintain the airtightness of the lower chamber 9, an annular adapter 13 provided with a packing 12 is fitted in a sliding contact portion with the rod 6.
【００１２】次に弁部３は、シリンダアダプタ−５に嵌
合されたボディ１５内に設けられた、本発明の特徴であ
る摺動ロッドの構造により構成されている。この弁部３
を構成するボディ１５は、一本の金属チューブから絞り
加工によって、弁座１９を構成しそのチューブの軸方向
に入力ポート１６と垂直方向に出力ポート１７が形成さ
れている。また、ロッド６下端には、ロッド部材をなす
バルブディスク１８ａに対し支持ディスク１８ｂによっ
てＯリング２１が挟持された弁体１８が固定されてい
る。この弁体１８は、ボルト２２によってロッド６の先
端に固設され、取り外しが可能なよう構成されている。
そして、入力ポート１６が形成されたボディ１５の内側
平面部が、閉弁時に弁体１８が当接する弁座１９を構成
している。Next, the valve portion 3 is constituted by a sliding rod structure which is provided in a body 15 fitted to the cylinder adapter 5 and is a feature of the present invention. This valve part 3
Is formed from a single metal tube by drawing, and a valve seat 19 is formed. An input port 16 is formed in the axial direction of the tube and an output port 17 is formed in a direction perpendicular to the tube. At the lower end of the rod 6, a valve body 18 having an O-ring 21 sandwiched by a support disk 18b and a valve disk 18a forming a rod member is fixed. The valve element 18 is fixed to the tip of the rod 6 by a bolt 22 and is configured to be removable.
The inner flat portion of the body 15 in which the input port 16 is formed constitutes a valve seat 19 with which the valve element 18 contacts when the valve is closed.
【００１３】また、弁体１８上部と環状アダプタ１３下
部にはスプリング押え２３，２４が配設され、そこへ弁
体１８を弁座１９に付勢する復帰用のスプリング２５
が、ロッド６を取り巻くようにして配設されている。更
に、ベローズアダプタ２６とバルブディスク１８ａとに
ベローズ２７が溶接接続され、ベローズ組立３２（図２
参照）を構成し、ロッド６及びスプリング２５を密閉す
るように設けられている。Spring retainers 23 and 24 are disposed below the upper portion of the valve body 18 and the lower portion of the annular adapter 13, and return springs 25 for urging the valve body 18 against the valve seat 19 there.
Is disposed so as to surround the rod 6. Further, the bellows adapter 26 and the valve disc 18a
The bellows 27 is welded and connected to a bellows assembly 32 (FIG. 2).
), And is provided so as to seal the rod 6 and the spring 25.
【００１４】このように構成された真空用開閉弁１、特
に弁部３は次のように組み立てることができる。図２
は、弁部３を各部品を組立順に並べて示した断面図であ
る。図面上部のシリンダ部２から突出したロッド６に対
し、図面下方から挿入するようにして構成する。具体的
には、先ずシリンダアダプタ−５を突出したロッド６に
対し、図に示すようにスプリング２５内にロッド６が挿
入されるようにはめる。このとき、スプリング２５の自
然長はロッド６の突出部より長いため、スプリング２５
端部にスプリング押え２３を当て図面上方へ弾縮する。
そして、スプリング押え２３がロッド６に形成したピン
穴を越えたところで、そのピン穴へ係合部材であるピン
２８を差し込んでスプリング押え２３の移動を制限す
る。The thus-configured on-off valve for vacuum 1, particularly the valve section 3, can be assembled as follows. FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the valve section 3 in which components are arranged in the order of assembly. It is configured to be inserted into the rod 6 protruding from the cylinder portion 2 at the top of the drawing from below the drawing. More specifically, first, the rod 6 is inserted into the spring 25 so as to be inserted into the spring 25 as shown in the drawing. At this time, since the natural length of the spring 25 is longer than the protruding portion of the rod 6, the spring 25
A spring retainer 23 is applied to the end and elastically contracted upward in the drawing.
Then, when the spring retainer 23 passes over a pin hole formed in the rod 6, a pin 28 serving as an engaging member is inserted into the pin hole to restrict the movement of the spring retainer 23.
【００１５】このようにスプリング２５を装着した後、
ロッド６を密閉するようにベローズ組立３２をはめ込
む。このとき、バルブディスク１８ａには係合部である
溝２０が形成されており、その溝２０にピン２８がはま
りこむ。そして、Ｏリング２９，３０を所定箇所に配設
した後、バルブディスク１８ａにＯリング２１を挟み込
んで支持ディスク１８ｂを配置する。そして、このよう
にして全ての部材を装着した後、ロッド６先端に形成さ
れたネジ穴６ａに座金３１を介してボルト２２をネジ止
する。このとき、溝２０にはピン２８が係合し、ネジ止
めするボルト２２ともに回転しようとするロッド６の回
転を禁止する。これにより全てロッド６に固定され、そ
の後は、ボディ１５をシリンダアダプタ−５に固定すれ
ばよい。After attaching the spring 25 in this manner,
The bellows assembly 32 is fitted so as to seal the rod 6. At this time, a groove 20 as an engaging portion is formed in the valve disk 18a, and the pin 28 fits into the groove 20. After arranging the O-rings 29 and 30 at predetermined positions, the support disk 18b is arranged with the O-ring 21 interposed between the valve disks 18a. Then, after all the members are mounted in this manner, the bolt 22 is screwed through the washer 31 into the screw hole 6 a formed at the tip of the rod 6. At this time, the pin 28 is engaged with the groove 20, and the rotation of the rod 6 that tries to rotate together with the bolt 22 for screwing is prohibited. As a result, the entire body is fixed to the rod 6, and thereafter, the body 15 may be fixed to the cylinder adapter-5.
【００１６】従って、このような構成をなす本実施の形
態で示した摺動ロッドの構造によれば、ベローズ組立３
２をロッド６に固定するのに、そのロッド６を貫いて設
けられた係合部材であるピン２８が、ロッド部材である
バルブディスク１８ａに形成された係合部である溝２０
に係合しているので、ボルト２２の取り付けに際し、回
転自由なロッド６が回ってしまうことなく強固にボルト
２２を固定することが容易に行なうことができた。ま
た、上記した構成からなる本実施の形態の真空用開閉弁
では、例えば、ベローズの交換に際し、従来の真空用開
閉弁ではネジ８１を外し、弁ロッド７６をシリンダロッ
ド５６から外し、更に弁体７８に固設された弁ロッド７
６を外さなければならないのに対し、本実施の形態の真
空用開閉弁では、ボルト２２を外すだけでベローズ２７
を取り外すことができ、その取扱いが非常に便利になっ
た。Therefore, according to the structure of the sliding rod shown in the present embodiment having such a configuration, the bellows assembly 3
2 is fixed to the rod 6, the pin 28, which is an engagement member provided through the rod 6, is provided with a groove 20 which is an engagement portion formed on the valve disc 18 a which is a rod member.
Therefore, when attaching the bolt 22, it was possible to easily fix the bolt 22 firmly without the rotatable rod 6 turning. In the vacuum on-off valve according to the present embodiment having the above-described configuration, for example, when replacing the bellows, the screw 81 is removed from the conventional vacuum on-off valve, the valve rod 76 is removed from the cylinder rod 56, and the valve body is further removed. Valve rod 7 fixed to 78
In contrast, in the vacuum on-off valve according to the present embodiment, the bellows 27 can be removed simply by removing the bolt 22.
Can be removed, making its handling very convenient.
【００１７】また、従来の真空用開閉弁では、復帰用の
スプリング６１Ａ，６１Ｂをシリンダカバ−４内に配設
したため、設置スペースを確保するだけの内部空間を要
し、駆動手段を構成するシリンダ部が大型化してしまう
のに対し、本実施の形態の真空用開閉弁は、復帰用のス
プリング２５をベローズ２７内に設けたため、設置スペ
ースを削除することができ、真空用開閉弁自体のコンパ
クト化を図ることができた。更に、ピン２８によって、
スプリング２５の着脱に際し、ボルト２２を外したとた
んに弾縮したスプリング２５が勢いよく飛び出すのを防
ぐことができるようになった。 In the conventional on-off valve for vacuum, since the return springs 61A and 61B are disposed in the cylinder cover-4, an internal space is required to secure an installation space, and the cylinder constituting the driving means is required. In contrast, the vacuum on-off valve of the present embodiment has the return spring 25 provided in the bellows 27, so that the installation space can be reduced and the vacuum on-off valve itself is compact. Could be achieved. Further, by the pin 28,
Upon detachment of the spring 25, a spring 25 which is Tamachijimi As soon as unbolt 22 from momentum pop well proof
Can now be passed.
【００１８】次に、本発明の真空用開閉弁にかかる第２
の本実施の形態について図面を参照して説明する。図３
は、本実施の形態のノーマルオープンの真空用開閉弁を
示した断面図である。本実施の形態の摺動ロッドの構造
は、上記真空用開閉弁１で示したと同様、バルブディス
ク１８ａとベローズアダプタ２６にベローズ２７が接続
され一体に構成されたベローズ組立３２が、支持ディス
ク１８ｂを介してボディ１５内に突出したロッド６にボ
ルト２２によってネジ止めされ固設されている。このと
き、固設されたバルブディスク１８ａに形成された溝２
０には、ロッド６を貫いて設けられたピン２８が係合さ
れている。Next, a second embodiment of the vacuum on-off valve of the present invention will be described.
This embodiment will be described with reference to the drawings. FIG.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a normally open vacuum on-off valve according to the present embodiment. The structure of the sliding rod of the present embodiment is similar to that of the vacuum on-off valve 1 described above, in that a bellows assembly 32 in which a bellows 27 is connected to a valve disk 18a and a bellows adapter 26 and integrally formed, supports the support disk 18b. The rod 6 is fixed to the rod 6 protruding into the body 15 by a bolt 22. At this time, the groove 2 formed in the fixed valve disc 18a is formed.
0 is engaged with a pin 28 provided through the rod 6.
【００１９】また、スプリング４１は、その一端がロッ
ド６先端側への移動を制限するスプリングカバー４３で
覆われ、他端はロッド６の下方への移動に際し駆動力を
伝えるためのスプリング押え４３に当接されている。そ
して、本実施の形態の摺動ロッドの構造でも、ロッド６
先端にボルト２２をネジ止するとき、溝２０にはピン２
８が係合し、ネジ止めするボルト２２ともに回転しよう
とするロッド６の回転を禁止する。従って、図に示す真
空用開閉弁４０における摺動ロッドの構造も、上記第１
の実施の形態のものと同様ベローズ組立の強固な固定が
容易なものとなった。The spring 41 has one end covered with a spring cover 43 for restricting the movement of the rod 6 toward the distal end, and the other end formed on a spring retainer 43 for transmitting a driving force when the rod 6 moves downward. Has been abutted. In the structure of the sliding rod according to the present embodiment, the rod 6
When the bolt 22 is screwed to the tip,
8 is engaged, and the rotation of the rod 6 that tries to rotate together with the bolt 22 for screwing is prohibited. Therefore, the structure of the sliding rod in the vacuum on-off valve 40 shown in FIG.
As in the case of the embodiment, the bellows assembly can be easily fixed firmly.
【００２０】次に、本発明にかかる摺動ロッドの構造を
シリンダに利用した第３の実施の形態を示す。図４は、
シリンダを示した断面図である。これは、半導体の生産
ラインでウェハの搬送等に使用されるものであるが、半
導体の生産には摩耗粉等の影響を大きく受けるため、摺
動ロッドを密閉するようにベローズ組立が利用されてい
る。具体的には次のような構成をなす。ポートが形成さ
れた円筒形状のシリンダカバー４４に両端に、アダプタ
４４ａ，４４ｂが螺設され、シリンダ内を摺動するピス
トン４５に固設されたロッド４６が、そのアダプタ４４
ｂを貫いて突設されている。そして、ディスク４７、ベ
ローズ４８及びアダプタ４４ｂからなるベローズ組立
が、ロッド４６を密閉するように固定されている。即
ち、ロッド４６先端にディスク４７を装着し、そこへボ
ルト４９によってネジ止めして固定する。このとき、デ
ィスク４７に形成された溝４７ａに、ロッド４６を貫い
て配設されたピン５０が係合する。Next, a third embodiment in which the structure of the sliding rod according to the present invention is applied to a cylinder will be described. FIG.
It is sectional drawing which showed the cylinder. This is used for transporting wafers in semiconductor production lines, but since the production of semiconductors is greatly affected by abrasion powder, bellows assembly is used to seal the sliding rod. I have. Specifically, the configuration is as follows. Adapters 44a and 44b are screwed on both ends of a cylindrical cylinder cover 44 having a port formed therein, and a rod 46 fixed to a piston 45 that slides in the cylinder is attached to the adapter 44.
It protrudes through b. A bellows assembly including the disk 47, the bellows 48, and the adapter 44b is fixed so as to seal the rod 46. That is, the disk 47 is mounted on the tip of the rod 46, and is fixed to the rod 46 by screwing it with a bolt 49. At this time, the pin 50 disposed through the rod 46 engages with the groove 47 a formed in the disk 47.
【００２１】そして、このような構成のシリンダでも、
ロッド４６先端にボルト４９をネジ止するとき、ディス
ク４７の溝４７ａにはピン５０が係合し、ネジ止めする
ボルト４９ともに回転しようとするロッド４６の回転を
禁止する。そのため、図に示すシリンダにおける摺動ロ
ッドの構造も、上記実施の形態のものと同様ベローズ組
立の強固な固定が容易なものとなった。Further, even in the cylinder having such a structure,
When the bolt 49 is screwed to the tip of the rod 46, the pin 50 is engaged with the groove 47a of the disk 47, and the rotation of the rod 46 that tries to rotate together with the bolt 49 to be screwed is prohibited. Therefore, the structure of the sliding rod in the cylinder shown in the figure also facilitates the firm fixing of the bellows assembly, similarly to the above-described embodiment.
【００２２】なお、本発明の摺動ロッドの構造は、上記
実施の形態のものに限定されるものではなく、その趣旨
を変更しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、
上記実施例では、ロッドを摺動させるのにピストンシリ
ンダを利用したが、ソレノイドを利用してもよい。The structure of the sliding rod according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made without changing the purpose. For example,
In the above embodiment, the piston cylinder is used to slide the rod, but a solenoid may be used.
【００２３】[0023]
【発明の効果】本発明は、軸線方向に摺動するロッドの
先端に固定されたロッド部材が、ロッドを密閉するよう
に設けられたベローズと接続されてベローズ組立を構成
するものであって、ロッド部材をロッドの軸方向先端側
へ付勢すべくベローズ内に設けられたバネ部材と、ロッ
ドに対して着脱自在に係設され、バネ部材のロッド先端
方向の付勢力を受ける係合部材と、ロッド部材に形成さ
れた係合部と、ロッド部材を前記ロッドの先端に固定す
るネジ部材とを有し、ネジ部材をロッドに締結するとき
に、前記バネ部材及び前記ロッド部材が、前記ロッドに
一体的に保持されることにより、係合部材が前記係合部
に係合して、ロッドの回転を禁止し、ベローズの回転を
防止すると共に、係合部材の脱落を防止するようにした
ので、ベローズ組立を構成するロッド部材の軸方向に摺
動するロッド先端への強固な固定を容易に行なうことが
可能な摺動ロッドの提供が可能となった。According to the present invention, a rod sliding in the axial direction is provided.
The rod member fixed to the tip closes the rod
Is connected to the bellows provided in the
The rod member is positioned at the tip end in the axial direction of the rod.
A spring member provided in the bellows to urge the
Rod end of the spring member
An engagement member for receiving a biasing force in the direction;
And the rod member is fixed to the tip of the rod.
When the screw member is fastened to the rod
The spring member and the rod member are attached to the rod.
By being integrally held, the engagement member is
To prevent the rod from rotating and prevent the bellows from rotating.
To prevent the engaging member from falling off
Therefore, it has become possible to provide a sliding rod that can easily and firmly fix the rod member constituting the bellows assembly to the distal end of the rod that slides in the axial direction.
【図１】本発明にかかる摺動ロッドの構造の第１の実施
の形態を示した断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a structure of a sliding rod according to the present invention.
【図２】第１の実施の形態にかかる摺動ロッドの構造の
組み立てを示した断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing the assembly of the structure of the sliding rod according to the first embodiment.
【図３】本発明にかかる摺動ロッドの構造の第２の実施
の形態を示した断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a second embodiment of the structure of the sliding rod according to the present invention.
【図４】本発明にかかる摺動ロッドの構造の第３の実施
の形態を示した断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a third embodiment of the structure of the sliding rod according to the present invention.
【図５】従来の真空用開閉弁の断面を示した図である。FIG. 5 is a view showing a cross section of a conventional on-off valve for vacuum.
２ シリンダ部 ３ 弁部 １５ ボディ １６ 入力ポート １７ 出力ポート １８ 弁体 １９ 弁座 ２２ ボルト ２５ スプリング ２７ ピン ３２ ベローズ組立 2 Cylinder part 3 Valve part 15 Body 16 Input port 17 Output port 18 Valve body 19 Valve seat 22 Bolt 25 Spring 27 Pin 32 Bellows assembly
フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭62−162485（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−40310（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−19183（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 3/24 Continuation of the front page (56) References JP-A 62-162485 (JP, U) JP-A 4-40310 (JP, U) JP-A 61-19183 (JP, U) (58) Fields surveyed (Int .Cl. 7 , DB name) F16K 3/24
Claims (2)
れたロッド部材が、ロッドを密閉するように設けられた
ベローズと接続されてベローズ組立を構成する摺動ロッ
ドの構造において、前記ロッド部材を前記ロッドの軸方向先端側へ付勢すべ
く前記ベローズ内に設けられたバネ部材と、 前記ロッドに対して着脱自在に係設され、前記バネ部材
のロッド先端方向の付勢力を受ける係合部材と、 前記ロッド部材に形成された係合部と、 前記ロッド部材を前記ロッドの先端に固定するネジ部材
とを有し、 前記ネジ部材を前記ロッドに締結するときに、前記バネ
部材及び前記ロッド部材が、前記ロッドに一体的に保持
されることにより、前記係合部材が前記係合部に係合し
て、前記ロッドの回転を禁止し、前記ベローズの回転を
防止すると共に、前記係合部材の脱落を防止することを
特徴とする摺動ロッドの構造。1. A sliding rod structure, wherein a rod member fixed to a tip end of a rod sliding in an axial direction is connected to a bellows provided so as to hermetically seal the rod, thereby forming a bellows assembly. To the axial end of the rod.
A spring member provided in the bellows, the spring member being detachably attached to the rod;
An engaging member that receives an urging force in a rod tip direction, an engaging portion formed on the rod member, and a screw member that fixes the rod member to the tip of the rod.
Has the door, engaging said threaded member when fastened to the rod, the spring member and the rod member, by being integrally held on the rod, the engaging member to the engaging portion The rotation of the rod is prohibited, the rotation of the bellows is prevented, and the engaging member is prevented from falling off.
おいて、 前記摺動ロッドが真空弁のパイロット弁のピストンロッ
ドであり、 前記ロッド部材が真空弁の主弁体であることを特徴とす
る摺動ロッドの構造。2. The structure of the sliding rod according to claim 1, wherein the sliding rod is a piston rod of a pilot valve of a vacuum valve, and the rod member is a main valve body of the vacuum valve. Sliding rod structure.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7271956A JP3016720B2 (en) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | Sliding rod structure |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH0989126A JPH0989126A (en) | 1997-03-31 |
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ID=17507160
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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- 1995-09-25 JP JP7271956A patent/JP3016720B2/en not_active Expired - Lifetime
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