JP3011813B2 - 移動ステージ - Google Patents
移動ステージInfo
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- JP3011813B2 JP3011813B2 JP4036575A JP3657592A JP3011813B2 JP 3011813 B2 JP3011813 B2 JP 3011813B2 JP 4036575 A JP4036575 A JP 4036575A JP 3657592 A JP3657592 A JP 3657592A JP 3011813 B2 JP3011813 B2 JP 3011813B2
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- JP
- Japan
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- moving
- linear actuators
- moving stage
- moving body
- linear
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、移動ステージに関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】従来の移動ステージでは、直線運動を得
る手段として、種々の変換機構を用いることなく、直
接、直線運動を取り出せるリニアアクチュエータが駆動
力として用いられている。このようなリニアアクチュエ
ータを用いた移動ステージとして、案内面と平行に2個
のリニアアクチュエータを対称に配置し、そのリニアア
クチュエータを制御することで、位置決めの高精度化、
高速化を図った移動ステージが公知のものとなってい
る。
る手段として、種々の変換機構を用いることなく、直
接、直線運動を取り出せるリニアアクチュエータが駆動
力として用いられている。このようなリニアアクチュエ
ータを用いた移動ステージとして、案内面と平行に2個
のリニアアクチュエータを対称に配置し、そのリニアア
クチュエータを制御することで、位置決めの高精度化、
高速化を図った移動ステージが公知のものとなってい
る。
【0003】従来の移動ステージの一例を図7および図
8に示す。
8に示す。
【0004】図7は、従来の移動ステージの一例を示す
斜視図であり、図8は図7に示した移動ステージの断面
図である。
斜視図であり、図8は図7に示した移動ステージの断面
図である。
【0005】この移動ステージでは、上面が移動体71
の案内面となる鉛直方向ガイド74を備え、その上面の
対向する一対の両端縁部に、それぞれ前記移動体71の
移動方向に沿って第1,第2の2つの水平方向ガイド7
4a,74bが固設されている。さらに、前記鉛直方向
ガイド74上の第1水平方向ガイド74aの近傍には、
第1および第2の支柱76a,76a’にて前記移動方
向に沿って支持された第1コイル集合体73aが設けら
れている。また、前記鉛直方向ガイド74上の第2水平
方向ガイド74bの近傍には、前記案内面の移動方向中
心軸に対して前記第1コイル集合体73aと対称で同じ
高さ位置に第3および第4の支柱76b,76b’にて
前記移動方向に沿って支持された第2コイル集合体73
bが設けられている。前記第1,第2のコイル集合体7
3a,73bは磁性体に導線を巻付けた複数個のコイル
を並列に配して一体化したものである。
の案内面となる鉛直方向ガイド74を備え、その上面の
対向する一対の両端縁部に、それぞれ前記移動体71の
移動方向に沿って第1,第2の2つの水平方向ガイド7
4a,74bが固設されている。さらに、前記鉛直方向
ガイド74上の第1水平方向ガイド74aの近傍には、
第1および第2の支柱76a,76a’にて前記移動方
向に沿って支持された第1コイル集合体73aが設けら
れている。また、前記鉛直方向ガイド74上の第2水平
方向ガイド74bの近傍には、前記案内面の移動方向中
心軸に対して前記第1コイル集合体73aと対称で同じ
高さ位置に第3および第4の支柱76b,76b’にて
前記移動方向に沿って支持された第2コイル集合体73
bが設けられている。前記第1,第2のコイル集合体7
3a,73bは磁性体に導線を巻付けた複数個のコイル
を並列に配して一体化したものである。
【0006】前記移動体71は、直方体の対向する二つ
の側面にそれぞれ、前記移動方向に沿って鉛直方向中心
軸に対して対称に第1,第2の凹部78a,78bが形
成された断面エ字状のものであり、該第1,第2の凹部
78a,78bをそれぞれ、前記第1,第2のコイル集
合体73a,73bと係合させることで、前記鉛直方向
ガイド74に対し、非接触で移動可能に一体化される。
の側面にそれぞれ、前記移動方向に沿って鉛直方向中心
軸に対して対称に第1,第2の凹部78a,78bが形
成された断面エ字状のものであり、該第1,第2の凹部
78a,78bをそれぞれ、前記第1,第2のコイル集
合体73a,73bと係合させることで、前記鉛直方向
ガイド74に対し、非接触で移動可能に一体化される。
【0007】前記移動体71の一方の第1凹部78aに
は、その上面と下面に、それぞれ、前記第1コイル集合
体73aとともに、第1リニアアクチュエータ70aを
構成する第1,第2の永久磁石72a,72a’が取付
けられている。また、前記移動体71の他方の第2凹部
78bの上面と下面には、それぞれ、前記第2コイル集
合体73bとともに第2リニアアクチュエータ70bを
構成する第3,第4の永久磁石72b,72b’が取付
けられている。また、前記移動体71の底面には、前記
移動方向に沿って第1,第2の二つの流体静圧軸受75
a,75bが並設されており、さらに、移動体71の、
前記第1,第2の水平方向ガイド74a,74bに対向
する下部側面には、それぞれ第3,第4の流体静圧軸受
77a,77bが前記移動方向に沿って取付けられてい
る。
は、その上面と下面に、それぞれ、前記第1コイル集合
体73aとともに、第1リニアアクチュエータ70aを
構成する第1,第2の永久磁石72a,72a’が取付
けられている。また、前記移動体71の他方の第2凹部
78bの上面と下面には、それぞれ、前記第2コイル集
合体73bとともに第2リニアアクチュエータ70bを
構成する第3,第4の永久磁石72b,72b’が取付
けられている。また、前記移動体71の底面には、前記
移動方向に沿って第1,第2の二つの流体静圧軸受75
a,75bが並設されており、さらに、移動体71の、
前記第1,第2の水平方向ガイド74a,74bに対向
する下部側面には、それぞれ第3,第4の流体静圧軸受
77a,77bが前記移動方向に沿って取付けられてい
る。
【0008】上述のような構成の移動ステージでは、案
内面、すなわち鉛直方向ガイド74、第1,第2の水平
方向ガイド74a,74bおよび第1,第2のコイル集
合体73a,73bの形状精度や、第1ないし第4の流
体静圧軸受75a,75b,77a,77bの剛性の不
足等によって、移動体71の移動中に生じるヨーイング
方向の運動精度の劣化を、移動ステージ全体を重心駆動
するように第1,第2のリニアアクチュエータ70a,
70bの推力を分配することで防ぎ、静的な移動ステー
ジの姿勢を補償している。
内面、すなわち鉛直方向ガイド74、第1,第2の水平
方向ガイド74a,74bおよび第1,第2のコイル集
合体73a,73bの形状精度や、第1ないし第4の流
体静圧軸受75a,75b,77a,77bの剛性の不
足等によって、移動体71の移動中に生じるヨーイング
方向の運動精度の劣化を、移動ステージ全体を重心駆動
するように第1,第2のリニアアクチュエータ70a,
70bの推力を分配することで防ぎ、静的な移動ステー
ジの姿勢を補償している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術は下記のような問題点を有している。
来の技術は下記のような問題点を有している。
【0010】案内面と平行にしかリニアアクチュエータ
を配置していないため、主として移動体のヨーイング方
向のみの姿勢精度を補償することしかできなかった。例
えば、移動ステージ上に搭載する対象の重量の大きさに
より、ステージの重心が鉛直方向に移動するような場
合、移動ステージ全体の重心位置が駆動点とずれ、それ
によって生じたピッチングを抑制することはできない。
を配置していないため、主として移動体のヨーイング方
向のみの姿勢精度を補償することしかできなかった。例
えば、移動ステージ上に搭載する対象の重量の大きさに
より、ステージの重心が鉛直方向に移動するような場
合、移動ステージ全体の重心位置が駆動点とずれ、それ
によって生じたピッチングを抑制することはできない。
【0011】また、移動ステージがステージ全体の重心
と駆動点とが一致しない構造であると、移動体が移動す
る際にヨーイング、ピッチングを生じやすくなり、その
ときの移動体の姿勢を補償する制御は困難である。
と駆動点とが一致しない構造であると、移動体が移動す
る際にヨーイング、ピッチングを生じやすくなり、その
ときの移動体の姿勢を補償する制御は困難である。
【0012】リニアアクチュエータは案内面と平行で単
段にしか配置されていないため、移動ステージに生じる
ヨーイングは制御できても、ピッチングを同時に制御す
ることは不可能である。
段にしか配置されていないため、移動ステージに生じる
ヨーイングは制御できても、ピッチングを同時に制御す
ることは不可能である。
【0013】本発明は、上記従来の技術が有する問題点
に鑑みてなされたもので、移動体の姿勢制御の精度の向
上とともに移動速度の高速化を可能にする移動ステージ
を提供することを目的としている。
に鑑みてなされたもので、移動体の姿勢制御の精度の向
上とともに移動速度の高速化を可能にする移動ステージ
を提供することを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、鉛直方向ガイ
ドの案内面上で移動体を所定方向に移動させる2個のリ
ニアアクチュエータを、該案内面に対して平行に配置し
た移動ステージにおいて、前記2個のリニアアクチュエ
ータとは鉛直方向に高さが異なり、前記2個のリニアア
クチュエータとともに前記移動体を前記所定方向に移動
させるための前記2個のリニアアクチュエータとは別の
アクチュエータを配置し、各リニアアクチュエータに発
生させる推力をそれぞれ制御することで該移動体の姿勢
を制御するものである。
ドの案内面上で移動体を所定方向に移動させる2個のリ
ニアアクチュエータを、該案内面に対して平行に配置し
た移動ステージにおいて、前記2個のリニアアクチュエ
ータとは鉛直方向に高さが異なり、前記2個のリニアア
クチュエータとともに前記移動体を前記所定方向に移動
させるための前記2個のリニアアクチュエータとは別の
アクチュエータを配置し、各リニアアクチュエータに発
生させる推力をそれぞれ制御することで該移動体の姿勢
を制御するものである。
【0015】前記移動ステージにおいて、各リニアアク
チュエータをそれぞれ駆動するドライバと、移動体の複
数箇所の位置を検出する検出手段と、該検出手段による
検出位置に基づいて、前記移動体の姿勢情報を求め、該
姿勢情報に応じて前記各リニアアクチュエータの駆動量
を、前記ドライバへ指示する演算手段とを備えた姿勢制
御部を有するものと、前記移動体に対する水平方向の案
内面が形成された水平方向ガイドを有するものと、前記
移動体が案内面に対して非接触で支持される軸受を有す
るものと、3個のリニアアクチュエータを備え、該3個
のリニアアクチュエータのうち1個を、他の2個のリニ
アアクチュエータが配置された平面以外の平面の、移動
体の鉛直方向中心軸上に配置したものと、4個のリニア
アクチュエータを備え、該4個のリニアアクチュエータ
を、2個ずつ一対にして移動体の鉛直方向中心軸に対し
て対称に配置したものとがある。
チュエータをそれぞれ駆動するドライバと、移動体の複
数箇所の位置を検出する検出手段と、該検出手段による
検出位置に基づいて、前記移動体の姿勢情報を求め、該
姿勢情報に応じて前記各リニアアクチュエータの駆動量
を、前記ドライバへ指示する演算手段とを備えた姿勢制
御部を有するものと、前記移動体に対する水平方向の案
内面が形成された水平方向ガイドを有するものと、前記
移動体が案内面に対して非接触で支持される軸受を有す
るものと、3個のリニアアクチュエータを備え、該3個
のリニアアクチュエータのうち1個を、他の2個のリニ
アアクチュエータが配置された平面以外の平面の、移動
体の鉛直方向中心軸上に配置したものと、4個のリニア
アクチュエータを備え、該4個のリニアアクチュエータ
を、2個ずつ一対にして移動体の鉛直方向中心軸に対し
て対称に配置したものとがある。
【0016】
【作用】本発明の移動ステージによれば、2個のリニア
アクチュエータを、移動体の鉛直方向中心軸に対して対
称、すなわち、鉛直方向ガイドの案内面に対して平行に
配置し、他のリニアアクチュエータを前記2個のリニア
アクチュエータが配置されている平面以外の平面上に配
置することで、前記各リニアアクチュエータは前記鉛直
方向についても高さの異なる、少なくとも2段階に配置
されることになるので、各リニアアクチュエータに発生
させる推力を分配させることによって全リニアアクチュ
エータによる駆動点をステージ全体の重心と一致させる
ことが可能となる。
アクチュエータを、移動体の鉛直方向中心軸に対して対
称、すなわち、鉛直方向ガイドの案内面に対して平行に
配置し、他のリニアアクチュエータを前記2個のリニア
アクチュエータが配置されている平面以外の平面上に配
置することで、前記各リニアアクチュエータは前記鉛直
方向についても高さの異なる、少なくとも2段階に配置
されることになるので、各リニアアクチュエータに発生
させる推力を分配させることによって全リニアアクチュ
エータによる駆動点をステージ全体の重心と一致させる
ことが可能となる。
【0017】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0018】図1は本発明の移動ステージの第1実施例
を示す斜視図であり、図2は図1に示す移動ステージの
断面図である。
を示す斜視図であり、図2は図1に示す移動ステージの
断面図である。
【0019】本実施例の移動ステージは、上面が移動体
1の案内面となる鉛直方向ガイド4を備え、その上面の
対向する一対の両端縁部に、それぞれ、前記移動体1の
移動方向に沿って第1,第2の水平方向ガイド4a,4
bが固設されている。この第1,第2の水平方向ガイド
4a,4bは、その側面が前記移動体1の案内面とな
る。
1の案内面となる鉛直方向ガイド4を備え、その上面の
対向する一対の両端縁部に、それぞれ、前記移動体1の
移動方向に沿って第1,第2の水平方向ガイド4a,4
bが固設されている。この第1,第2の水平方向ガイド
4a,4bは、その側面が前記移動体1の案内面とな
る。
【0020】また、前記鉛直方向ガイド4上の中央部
(移動方向中心軸上)に、同様に、前記移動方向に沿っ
て、第1支柱6aおよび第2支柱6a’によって支持さ
れた第1コイル集合体3aが取付けられている。さら
に、前記鉛直方向ガイド4上の、前記第1コイル集合体
3aと第1水平方向ガイド4aとの間には、前記第1コ
イル集合体3aより低い高さ位置に、第3支柱6bおよ
び第4支柱6bで支持された第2コイル集合体3bが設
けられている。また、前記鉛直方向ガイド4上の、第1
コイル集合体3aと第2水平方向ガイド4bとの間に
は、前記移動方向中心軸に対して第2コイル集合体3b
と対称で同じ高さ位置に、第5支柱6cおよび第6支柱
6c’にて支持された第3コイル集合体3cが設けられ
ている。
(移動方向中心軸上)に、同様に、前記移動方向に沿っ
て、第1支柱6aおよび第2支柱6a’によって支持さ
れた第1コイル集合体3aが取付けられている。さら
に、前記鉛直方向ガイド4上の、前記第1コイル集合体
3aと第1水平方向ガイド4aとの間には、前記第1コ
イル集合体3aより低い高さ位置に、第3支柱6bおよ
び第4支柱6bで支持された第2コイル集合体3bが設
けられている。また、前記鉛直方向ガイド4上の、第1
コイル集合体3aと第2水平方向ガイド4bとの間に
は、前記移動方向中心軸に対して第2コイル集合体3b
と対称で同じ高さ位置に、第5支柱6cおよび第6支柱
6c’にて支持された第3コイル集合体3cが設けられ
ている。
【0021】前記第1ないし第3コイル集合体3a,3
b,3cは、従来と同様に、磁性体の導線を巻付けた複
数個のコイルを並列に配して一体化したものである。
b,3cは、従来と同様に、磁性体の導線を巻付けた複
数個のコイルを並列に配して一体化したものである。
【0022】前記移動体1は直方体の対向する二つの側
面に、それぞれ、移動体1の鉛直方向中心軸に対して対
称に第1,第2の凹部8a,8bが前記移動方向に沿っ
て形成された断面エ字状のものである。さらに、前記移
動体1の上部の鉛直方向中心軸上には、前記第1コイル
集合体3aが挿入される貫通孔9が形成されている。前
記移動体1は、前記貫通孔9に第1コイル集合体3aを
貫挿させるとともに、前記第1,第2の凹部8a,8b
をそれぞれ、第2,第3のコイル集合体3b,3cに係
合させることで、前記鉛直方向ガイド4に対し、非接触
で移動可能に一体化される。
面に、それぞれ、移動体1の鉛直方向中心軸に対して対
称に第1,第2の凹部8a,8bが前記移動方向に沿っ
て形成された断面エ字状のものである。さらに、前記移
動体1の上部の鉛直方向中心軸上には、前記第1コイル
集合体3aが挿入される貫通孔9が形成されている。前
記移動体1は、前記貫通孔9に第1コイル集合体3aを
貫挿させるとともに、前記第1,第2の凹部8a,8b
をそれぞれ、第2,第3のコイル集合体3b,3cに係
合させることで、前記鉛直方向ガイド4に対し、非接触
で移動可能に一体化される。
【0023】前記移動体1の前記貫通孔9には、その上
面と下面に、それぞれ、前記第1コイル集合体3aとと
もに第1リニアアクチュエータ10aを構成する第1,
第2の永久磁石2a,2a’が取付けられている。ま
た、一方の第1凹部8aには、その上面と下面に、それ
ぞれ、前記第2コイル集合体3bとともに第2リニアア
クチュエータ10bを構成する第3,第4の永久磁石2
b,2b’が取付けられている。さらに、他方の第2凹
部8bには、同様にその上面と下面に、それぞれ、第3
コイル集合体3cとともに第3リニアアクチュエータ1
0cを構成する第5,第6の永久磁石2c,2c’が取
付けられている。
面と下面に、それぞれ、前記第1コイル集合体3aとと
もに第1リニアアクチュエータ10aを構成する第1,
第2の永久磁石2a,2a’が取付けられている。ま
た、一方の第1凹部8aには、その上面と下面に、それ
ぞれ、前記第2コイル集合体3bとともに第2リニアア
クチュエータ10bを構成する第3,第4の永久磁石2
b,2b’が取付けられている。さらに、他方の第2凹
部8bには、同様にその上面と下面に、それぞれ、第3
コイル集合体3cとともに第3リニアアクチュエータ1
0cを構成する第5,第6の永久磁石2c,2c’が取
付けられている。
【0024】一方、前記移動体1の底面には、前記移動
方向に沿って、静圧空気軸受等の第1,第2の二つの流
体静圧軸受5a,5bが並設されており、さらに、前記
第1,第2の水平方向ガイド4a,4bに対向する下部
側面には、それぞれ、同様に静圧空気軸受等の第3,第
4の流体静圧軸受7a,7bが前記移動方向に沿って取
付けられている。
方向に沿って、静圧空気軸受等の第1,第2の二つの流
体静圧軸受5a,5bが並設されており、さらに、前記
第1,第2の水平方向ガイド4a,4bに対向する下部
側面には、それぞれ、同様に静圧空気軸受等の第3,第
4の流体静圧軸受7a,7bが前記移動方向に沿って取
付けられている。
【0025】本実施例の移動ステージにおいて、前記移
動体1は、前述のように、鉛直方向ガイド4と一体化す
ることで、前記鉛直方向ガイド4および第1,第2の水
平方向ガイド4a,4bの各案内面に対し、前記第1な
いし第4の流体静圧軸受5a,5b,7a,7bを介し
て非接触に支持される。
動体1は、前述のように、鉛直方向ガイド4と一体化す
ることで、前記鉛直方向ガイド4および第1,第2の水
平方向ガイド4a,4bの各案内面に対し、前記第1な
いし第4の流体静圧軸受5a,5b,7a,7bを介し
て非接触に支持される。
【0026】上記構成において、前記第1ないし第3の
コイル集合体3a,3b,3cに電流を流すと移動体1
に取付けた第1ないし第6の永久磁石2a,2a’,2
b,2b’,2c,2c’の磁界と直交する方向に推力
fが発生し、この推力fを同じ向きに移動体1が移動す
る。一方、前記第1ないし第3のコイル集合体3a,3
b,3cに流す電流の向きを逆にすると、同様の現象で
推力fと逆方向の推力f’が生じて、移動体1は推力
f’の向きに移動する。
コイル集合体3a,3b,3cに電流を流すと移動体1
に取付けた第1ないし第6の永久磁石2a,2a’,2
b,2b’,2c,2c’の磁界と直交する方向に推力
fが発生し、この推力fを同じ向きに移動体1が移動す
る。一方、前記第1ないし第3のコイル集合体3a,3
b,3cに流す電流の向きを逆にすると、同様の現象で
推力fと逆方向の推力f’が生じて、移動体1は推力
f’の向きに移動する。
【0027】また、前記第1ないし第3のコイル集合体
3a,3b,3cに流れる電流の大きさを、後述する姿
勢制御部にて制御することによって、第1ないし第3の
リニアアクチュエータ10a,10b,10cに発生さ
せる推力fの大きさを調節することが可能である。
3a,3b,3cに流れる電流の大きさを、後述する姿
勢制御部にて制御することによって、第1ないし第3の
リニアアクチュエータ10a,10b,10cに発生さ
せる推力fの大きさを調節することが可能である。
【0028】ここで、本実施例の移動ステージにおけ
る、前記第1ないし第3のリニアアクチュエータ10
a,10b,10cに発生させる推力fを調節するため
の姿勢制御部について図3を参照して説明する。
る、前記第1ないし第3のリニアアクチュエータ10
a,10b,10cに発生させる推力fを調節するため
の姿勢制御部について図3を参照して説明する。
【0029】本実施例の場合、前記第1ないし第3のリ
ニアアクチュエータ10a,10b,10cの移動方向
における位置を、それぞれ検出する非接触式静電容量型
変位センサ等からなる第1ないし第3の3つの検出手段
35,36,37が設けられており、前記第1ないし第
3のコイル集合体3a,3b,3cそれぞれに、第1な
いし第3のリニアアクチュエータ10a,10b,10
cを駆動するための駆動電流を印加する第1ないし第3
のドライバ31,32,33と、第1ないし第3の検出
手段35,36,37による各検出位置から前記移動体
1の姿勢情報を求め、前記第1ないし第3のコイル集合
体3a,3b,3cに対する駆動電流を決定して、前記
第1ないし第3のドライバ31,32,33に指示する
演算回路34とから成るコントローラ30を備えてい
る。
ニアアクチュエータ10a,10b,10cの移動方向
における位置を、それぞれ検出する非接触式静電容量型
変位センサ等からなる第1ないし第3の3つの検出手段
35,36,37が設けられており、前記第1ないし第
3のコイル集合体3a,3b,3cそれぞれに、第1な
いし第3のリニアアクチュエータ10a,10b,10
cを駆動するための駆動電流を印加する第1ないし第3
のドライバ31,32,33と、第1ないし第3の検出
手段35,36,37による各検出位置から前記移動体
1の姿勢情報を求め、前記第1ないし第3のコイル集合
体3a,3b,3cに対する駆動電流を決定して、前記
第1ないし第3のドライバ31,32,33に指示する
演算回路34とから成るコントローラ30を備えてい
る。
【0030】前記コントローラ30の演算回路44は、
前記移動体の移動中にヨーイング、ピッチングが生じる
と、前記各検出位置から、第1ないし第3のコイル集合
体3a,3b,3cに対する駆動電流、すなわち第1な
いし第3のリニアアクチュエータ10a,10b,10
cに対する推力配分を決定して前記移動体1の姿勢精度
の補償を行なう。
前記移動体の移動中にヨーイング、ピッチングが生じる
と、前記各検出位置から、第1ないし第3のコイル集合
体3a,3b,3cに対する駆動電流、すなわち第1な
いし第3のリニアアクチュエータ10a,10b,10
cに対する推力配分を決定して前記移動体1の姿勢精度
の補償を行なう。
【0031】つづいて、前記姿勢制御部による、第1な
いし第3のリニアアクチュエータ10a,10b,10
cに対する推力の分配方法を、図4を参照して説明す
る。
いし第3のリニアアクチュエータ10a,10b,10
cに対する推力の分配方法を、図4を参照して説明す
る。
【0032】本実施例の移動ステージ上の重心が存在す
るG点を原点としてyz座標を取り、第1ないし第3の
リニアアクチュエータ10a,10b,10cの位置を
それぞれ(yA 、zA ),(yB 、zB ),(yC 、z
C )(既知)とし、推力をそれぞれfA ,fB ,fC
(未知)とすれば、幾何学的な関係(下式)が成り立
つ。
るG点を原点としてyz座標を取り、第1ないし第3の
リニアアクチュエータ10a,10b,10cの位置を
それぞれ(yA 、zA ),(yB 、zB ),(yC 、z
C )(既知)とし、推力をそれぞれfA ,fB ,fC
(未知)とすれば、幾何学的な関係(下式)が成り立
つ。
【0033】fA yA +fB yB +fC yC =0 fA zA +fB zB +fC zC =0 上式は未知数3個に対して式2個であり、推力fA ,f
B ,fC は比の形で求められる。
B ,fC は比の形で求められる。
【0034】例えば、第1リニアアクチュエータ10a
の推力fA を基準にして他の第2,第3のリニアアクチ
ュエータ10b,10cの推力fB とfC を決定でき
る。これによって、前記コントローラ30において、移
動体1の水平方向と鉛直方向について第1ないし第3の
リニアアクチュエータ10a,10b,10cの推力f
A ,fB ,fC をそれぞれ適切に配分して移動体1の駆
動点G0 と重心Gを一致させることで、該移動体1の姿
勢精度を補償することが可能となる。
の推力fA を基準にして他の第2,第3のリニアアクチ
ュエータ10b,10cの推力fB とfC を決定でき
る。これによって、前記コントローラ30において、移
動体1の水平方向と鉛直方向について第1ないし第3の
リニアアクチュエータ10a,10b,10cの推力f
A ,fB ,fC をそれぞれ適切に配分して移動体1の駆
動点G0 と重心Gを一致させることで、該移動体1の姿
勢精度を補償することが可能となる。
【0035】上述のように、本実施例では、鉛直方向ガ
イド4の案内面と平行に第1および第2の二つのリニア
アクチュエータ10a,10bを配置し、かつ、その上
段に第3アクチュエータ10cを、前記第1,第2のリ
ニアアクチュエータ10a,10bのほぼ中間位置にな
るように配置し、それぞれのリニアアクチュエータの推
力fを制御することにより、移動体1のヨーイング方向
とピッチング方向の姿勢を制御する。このため、推力f
は移動体1の駆動力として作用するだけでなく、移動ス
テージ全体の重心がどこにあっても、推力fを適切に分
配することによって重心と駆動点とを一致させることが
でき、移動体1が移動する際にヨーイング、ピッチング
を生じにくくなる。
イド4の案内面と平行に第1および第2の二つのリニア
アクチュエータ10a,10bを配置し、かつ、その上
段に第3アクチュエータ10cを、前記第1,第2のリ
ニアアクチュエータ10a,10bのほぼ中間位置にな
るように配置し、それぞれのリニアアクチュエータの推
力fを制御することにより、移動体1のヨーイング方向
とピッチング方向の姿勢を制御する。このため、推力f
は移動体1の駆動力として作用するだけでなく、移動ス
テージ全体の重心がどこにあっても、推力fを適切に分
配することによって重心と駆動点とを一致させることが
でき、移動体1が移動する際にヨーイング、ピッチング
を生じにくくなる。
【0036】また、移動体1の姿勢を常に検出し、それ
をフィードバックして第1ないし第3の各リニアアクチ
ュエータ10a,10b,10cの推力fを決定し、各
推力を分配する制御をしているため、移動体1の移動中
のヨーイング、ピッチングに関しても姿勢精度を補償で
き、移動ステージの姿勢精度が向上するという効果が得
られる。
をフィードバックして第1ないし第3の各リニアアクチ
ュエータ10a,10b,10cの推力fを決定し、各
推力を分配する制御をしているため、移動体1の移動中
のヨーイング、ピッチングに関しても姿勢精度を補償で
き、移動ステージの姿勢精度が向上するという効果が得
られる。
【0037】次に、本発明の移動ステージの第2実施例
について図5を参照して説明する。図5は本実施例の移
動ステージを示す断面図である。
について図5を参照して説明する。図5は本実施例の移
動ステージを示す断面図である。
【0038】本実施例の移動ステージは、前述の第1実
施例が3個のリニアアクチュエータを有するものであっ
たのに対し、4個のリニアアクチュエータを備えたもの
である。
施例が3個のリニアアクチュエータを有するものであっ
たのに対し、4個のリニアアクチュエータを備えたもの
である。
【0039】本実施例の移動ステージも同様に、上面が
移動体51の案内面となる鉛直方向ガイド54を備え、
その上面に前記移動体51の移動方向に沿って第1,第
2の二つの水平方向ガイド54a,54bが固設されて
いる。
移動体51の案内面となる鉛直方向ガイド54を備え、
その上面に前記移動体51の移動方向に沿って第1,第
2の二つの水平方向ガイド54a,54bが固設されて
いる。
【0040】また、前記鉛直方向ガイド54上の、一方
の第1水平方向ガイド54aの近傍には、不図示の支柱
によって、異なる高さ位置に、前記移動方向に沿って平
行に支持された、第1,第2の二つのコイル集合体53
a,53bが設けられている。
の第1水平方向ガイド54aの近傍には、不図示の支柱
によって、異なる高さ位置に、前記移動方向に沿って平
行に支持された、第1,第2の二つのコイル集合体53
a,53bが設けられている。
【0041】さらに、前記鉛直方向ガイド54上の、他
方の第2水平方向ガイド54bの近傍には、前記案内面
の移動方向中心軸に対して前記第1,第2のコイル集合
体53a,53bと対称で、それぞれと同じ高さ位置
に、不図示の支柱によって、前記移動方向に沿って支持
された第3,第4の二つのコイル集合体53c,53d
が設けられている。
方の第2水平方向ガイド54bの近傍には、前記案内面
の移動方向中心軸に対して前記第1,第2のコイル集合
体53a,53bと対称で、それぞれと同じ高さ位置
に、不図示の支柱によって、前記移動方向に沿って支持
された第3,第4の二つのコイル集合体53c,53d
が設けられている。
【0042】本実施例では、前記第1および第3のコイ
ル集合体53a,53cが、前記第2,第4のコイル集
合体53b,53dより高く、同じ高さに位置してい
る。また、前記第2,第4のコイル集合体53b,53
dについても同じ高さに位置している。
ル集合体53a,53cが、前記第2,第4のコイル集
合体53b,53dより高く、同じ高さに位置してい
る。また、前記第2,第4のコイル集合体53b,53
dについても同じ高さに位置している。
【0043】前記第1ないし第4のコイル集合体53
a,53b,53c,53dは、前述の実施例と同様
に、磁性体の導線を巻付けた複数個のコイルを並列に配
して一体化したものである。
a,53b,53c,53dは、前述の実施例と同様
に、磁性体の導線を巻付けた複数個のコイルを並列に配
して一体化したものである。
【0044】本実施例の移動体51は、直方体の対向す
る二つの側面に、それぞれ、鉛直方向中心軸に対して対
称に第1および第2の凹部57a,57b、第3および
第4の凹部57c,57dが前記移動方向に沿って形成
された、断面エ字状のものである。この移動体51は、
第1ないし第4の凹部57a,57b,57c,57d
を、それぞれ、前記第1ないし第4のコイル集合体53
a,53b,53c,53dに係合させることで、前記
鉛直方向ガイド54に対し、非接触で移動可能に一体化
される。
る二つの側面に、それぞれ、鉛直方向中心軸に対して対
称に第1および第2の凹部57a,57b、第3および
第4の凹部57c,57dが前記移動方向に沿って形成
された、断面エ字状のものである。この移動体51は、
第1ないし第4の凹部57a,57b,57c,57d
を、それぞれ、前記第1ないし第4のコイル集合体53
a,53b,53c,53dに係合させることで、前記
鉛直方向ガイド54に対し、非接触で移動可能に一体化
される。
【0045】前記移動体51の第1凹部57aには、そ
の上面と下面に、それぞれ、前記第1コイル集合体53
aとともに第1リニアアクチュエータ50aを構成する
第1,第2の永久磁石52a,52a’が取付けられて
いる。また、第2凹部57bには、同様に第2コイル集
合体53bとともに第2リニアアクチュエータ50bを
構成する第3,第4の永久磁石52b,52b’が取付
けられている。さらに、第3凹部57cと第4凹部57
dには、それぞれ、第3コイル集合体53c、第4コイ
ル集合体53dとともに第3,第4リニアアクチュエー
タ50c,50dを構成する、第5および第6の永久磁
石52c,52c’、第7および第8の永久磁石52
d,52d’が取付けられている。
の上面と下面に、それぞれ、前記第1コイル集合体53
aとともに第1リニアアクチュエータ50aを構成する
第1,第2の永久磁石52a,52a’が取付けられて
いる。また、第2凹部57bには、同様に第2コイル集
合体53bとともに第2リニアアクチュエータ50bを
構成する第3,第4の永久磁石52b,52b’が取付
けられている。さらに、第3凹部57cと第4凹部57
dには、それぞれ、第3コイル集合体53c、第4コイ
ル集合体53dとともに第3,第4リニアアクチュエー
タ50c,50dを構成する、第5および第6の永久磁
石52c,52c’、第7および第8の永久磁石52
d,52d’が取付けられている。
【0046】一方、前記移動体51の底面には、前述の
実施例と同様に、前記移動方向に沿って、第1,第2の
二つの流体静圧軸受55a,55bが並設されており、
さらに、前記第1,第2の水平方向ガイド54a,54
bに対向する下部側面には、第3,第4の流体静圧軸受
56a,56bが前記移動方向に沿って取付けられてい
る。
実施例と同様に、前記移動方向に沿って、第1,第2の
二つの流体静圧軸受55a,55bが並設されており、
さらに、前記第1,第2の水平方向ガイド54a,54
bに対向する下部側面には、第3,第4の流体静圧軸受
56a,56bが前記移動方向に沿って取付けられてい
る。
【0047】本実施例の移動体51についても、前述の
ように、鉛直方向ガイド54と一体化することで、前記
鉛直方向ガイド54および第1,第2の水平方向ガイド
54a,54bの各案内面に対し、前記第1ないし第4
の流体静圧軸受55a,55b,56a,56bを介し
て非接触に支持される。
ように、鉛直方向ガイド54と一体化することで、前記
鉛直方向ガイド54および第1,第2の水平方向ガイド
54a,54bの各案内面に対し、前記第1ないし第4
の流体静圧軸受55a,55b,56a,56bを介し
て非接触に支持される。
【0048】本実施例の移動ステージにおいても、第1
ないし第4のコイル集合体53a,53b,53c,5
3dに印加する駆動電流の大きさを制御することで、第
1ないし第4の各リニアアクチュエータ50a,50
b,50c,50dに発生させる推力fの大きさを調節
することができる。それによって、前記移動体51のヨ
ーイング方向とピッチング方向への推力の分配制御が可
能となるので、前述の第1実施例の場合と同様に移動体
51の姿勢精度を補償することができる。
ないし第4のコイル集合体53a,53b,53c,5
3dに印加する駆動電流の大きさを制御することで、第
1ないし第4の各リニアアクチュエータ50a,50
b,50c,50dに発生させる推力fの大きさを調節
することができる。それによって、前記移動体51のヨ
ーイング方向とピッチング方向への推力の分配制御が可
能となるので、前述の第1実施例の場合と同様に移動体
51の姿勢精度を補償することができる。
【0049】さらに、本実施例では、鉛直方向ガイド5
4の案内面と平行にリニアアクチュエータを2個ずつ2
段に対称的に配置し、リニアアクチュエータの数を計4
個と増やしたため、前述の第1実施例よりも大きい推力
fを確保でき、移動ステージの高速化が図れるという効
果が得られる。また、全てのリニアアクチュエータを移
動ステージの外側に配置しているため、リニアアクチュ
エータから発生する熱に対する放熱の効果もある。
4の案内面と平行にリニアアクチュエータを2個ずつ2
段に対称的に配置し、リニアアクチュエータの数を計4
個と増やしたため、前述の第1実施例よりも大きい推力
fを確保でき、移動ステージの高速化が図れるという効
果が得られる。また、全てのリニアアクチュエータを移
動ステージの外側に配置しているため、リニアアクチュ
エータから発生する熱に対する放熱の効果もある。
【0050】次に、本発明の第3実施例について図6を
参照して説明する。
参照して説明する。
【0051】図6は本実施例の移動ステージを示す断面
図である。
図である。
【0052】本実施例の移動ステージも、同様に、上面
に第1,第2の2つの水平方向ガイド54a,54bが
設けられた鉛直方向ガイド64を備えている。
に第1,第2の2つの水平方向ガイド54a,54bが
設けられた鉛直方向ガイド64を備えている。
【0053】また、本実施例の鉛直方向ガイド64の案
内面上には、前記第1および第2の水平方向ガイド54
a,54bの近傍に、それぞれ、該案内面の移動方向中
心軸に対して対称な位置に、移動体61の移動方向に沿
って、不図示の支柱によって同一高さに支持された第
1,第2の永久磁石62a,62bが設けられている。
本実施例の移動体61は、直方体の対向する二つの側面
に、それぞれ、鉛直方向中心軸に対して対称に、第1お
よび第2の凹部67a,67bが前記移動方向に沿って
形成された断面エ字状のものであり、前記第1および第
2の凹部67a,67bと第1および第2の永久磁石6
2a,62bを係合させることで、前記鉛直方向ガイド
64に対し、非接触で移動可能に一体化される。
内面上には、前記第1および第2の水平方向ガイド54
a,54bの近傍に、それぞれ、該案内面の移動方向中
心軸に対して対称な位置に、移動体61の移動方向に沿
って、不図示の支柱によって同一高さに支持された第
1,第2の永久磁石62a,62bが設けられている。
本実施例の移動体61は、直方体の対向する二つの側面
に、それぞれ、鉛直方向中心軸に対して対称に、第1お
よび第2の凹部67a,67bが前記移動方向に沿って
形成された断面エ字状のものであり、前記第1および第
2の凹部67a,67bと第1および第2の永久磁石6
2a,62bを係合させることで、前記鉛直方向ガイド
64に対し、非接触で移動可能に一体化される。
【0054】前記移動体61の一方の第1凹部67a
は、その上面および下面に、それぞれ、前記第1永久磁
石62aとともにリニアアクチュエータを構成する第1
および第2のコイル集合体63a,63a’が取付けら
れている。また、他方の第2凹部67bには、同様にそ
の上面および下面に、それぞれ、前記第2永久磁石62
bとともにリニアアクチュエータを構成する第3および
第4のコイル集合体64b,64b’が取付けられてい
る。
は、その上面および下面に、それぞれ、前記第1永久磁
石62aとともにリニアアクチュエータを構成する第1
および第2のコイル集合体63a,63a’が取付けら
れている。また、他方の第2凹部67bには、同様にそ
の上面および下面に、それぞれ、前記第2永久磁石62
bとともにリニアアクチュエータを構成する第3および
第4のコイル集合体64b,64b’が取付けられてい
る。
【0055】本実施例の移動ステージでは、前記第1お
よび第2の永久磁石62a,62bについて、それらの
上面をN極、下面をS極とし、さらに、鉛直方向に対向
するコイル集合体同士(第1コイル集合体63aと第2
コイル集合体63a’、第3コイル集合体63bと第4
コイル集合体63b’)でコイルを逆方向に巻いた構成
としている。これにより、本実施例の移動ステージにお
いても、前記第1永久磁石62aについて第1コイル集
合体63aと第2コイル集合体63a’とで二つのリニ
アアクチュエータが形成され、さらに、前記第2永久磁
石62bについて第3コイル集合体63bと第4コイル
集合体63b’とで二つのリニアアクチュエータが形成
され、計4個のリニアアクチュエータを有する構成とな
っている。
よび第2の永久磁石62a,62bについて、それらの
上面をN極、下面をS極とし、さらに、鉛直方向に対向
するコイル集合体同士(第1コイル集合体63aと第2
コイル集合体63a’、第3コイル集合体63bと第4
コイル集合体63b’)でコイルを逆方向に巻いた構成
としている。これにより、本実施例の移動ステージにお
いても、前記第1永久磁石62aについて第1コイル集
合体63aと第2コイル集合体63a’とで二つのリニ
アアクチュエータが形成され、さらに、前記第2永久磁
石62bについて第3コイル集合体63bと第4コイル
集合体63b’とで二つのリニアアクチュエータが形成
され、計4個のリニアアクチュエータを有する構成とな
っている。
【0056】一方、本実施例についても、移動体61の
底面には、前述と同様に、前記移動方向に沿って、第
1,第2の二つの流体静圧軸受65a,65bが並設さ
れており、さらに、前記第1,第2の水平方向ガイド6
4a,64bに対向する下部側面には、それぞれ、第
3,第4の流体静圧軸受66a,66bが、前記移動方
向に沿って取付けられている。
底面には、前述と同様に、前記移動方向に沿って、第
1,第2の二つの流体静圧軸受65a,65bが並設さ
れており、さらに、前記第1,第2の水平方向ガイド6
4a,64bに対向する下部側面には、それぞれ、第
3,第4の流体静圧軸受66a,66bが、前記移動方
向に沿って取付けられている。
【0057】本実施例の移動体61についても、前述の
ように、鉛直方向ガイド64と一体化することで、該鉛
直方向ガイド64および第1,第2の水平方向ガイド6
4a,64bの各案内面に対し、前記第1ないし第4の
流体静圧軸受65a,65b,66a,66bを介して
非接触に支持される。
ように、鉛直方向ガイド64と一体化することで、該鉛
直方向ガイド64および第1,第2の水平方向ガイド6
4a,64bの各案内面に対し、前記第1ないし第4の
流体静圧軸受65a,65b,66a,66bを介して
非接触に支持される。
【0058】上述したように、本実施例においても、前
述の第2実施例の場合と同様に、4個のリニアアクチュ
エータを備えており、第1ないし第4のコイル集合体6
3a,63a’,63b,63b’への印加電流の大き
さを変化させることで、各リニアアクチュエータの推力
を制御できるので、前記第2実施例の場合と全く同様の
効果を期待できる。
述の第2実施例の場合と同様に、4個のリニアアクチュ
エータを備えており、第1ないし第4のコイル集合体6
3a,63a’,63b,63b’への印加電流の大き
さを変化させることで、各リニアアクチュエータの推力
を制御できるので、前記第2実施例の場合と全く同様の
効果を期待できる。
【0059】また、本実施例では、1個の永久磁石で鉛
直方向に2個のリニアアクチュエータを構成しているた
め、使用する永久磁石の個数を減らして移動ステージを
小型化できる。
直方向に2個のリニアアクチュエータを構成しているた
め、使用する永久磁石の個数を減らして移動ステージを
小型化できる。
【0060】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば下
記のような効果がある。 (1)鉛直方向ガイドの案内面に対して、水平方向に2
個、鉛直方向に少なくとも2段階に、それぞれ配置した
各リニアアクチュエータに発生させる推力を分配させる
ことで、全リニアアクチュエータによる駆動点をステー
ジ全体の重心と一致させることができるので、移動体の
移動中に、鉛直方向あるいは水平方向に移動する荷重が
存在することによって生じるピッチングやヨーイングを
抑制することが可能となり、移動ステージの姿勢精度が
向上する。また、従来の、2個のリニアアクチュエータ
を備えた移動ステージに比較して、より大きな推力を得
ることができるので、移動速度の高速化を図ることがで
きる。 (2)請求項2に記載のもののように、姿勢制御部を有
することにより、移動中の移動体の姿勢を認識すること
が可能となり、さらに、該移動体の姿勢に応じた、各リ
ニアアクチュエータの駆動制御を行なうことができるの
で、より高精度な姿勢制御が可能となる。 (3)請求項3に記載のもののように、移動体が案内面
に対して非接触に支持されることで、周囲の振動等も前
記移動体に伝わることなくスムーズに移動することがで
きより高精度な姿勢制御を図ることができる。
記のような効果がある。 (1)鉛直方向ガイドの案内面に対して、水平方向に2
個、鉛直方向に少なくとも2段階に、それぞれ配置した
各リニアアクチュエータに発生させる推力を分配させる
ことで、全リニアアクチュエータによる駆動点をステー
ジ全体の重心と一致させることができるので、移動体の
移動中に、鉛直方向あるいは水平方向に移動する荷重が
存在することによって生じるピッチングやヨーイングを
抑制することが可能となり、移動ステージの姿勢精度が
向上する。また、従来の、2個のリニアアクチュエータ
を備えた移動ステージに比較して、より大きな推力を得
ることができるので、移動速度の高速化を図ることがで
きる。 (2)請求項2に記載のもののように、姿勢制御部を有
することにより、移動中の移動体の姿勢を認識すること
が可能となり、さらに、該移動体の姿勢に応じた、各リ
ニアアクチュエータの駆動制御を行なうことができるの
で、より高精度な姿勢制御が可能となる。 (3)請求項3に記載のもののように、移動体が案内面
に対して非接触に支持されることで、周囲の振動等も前
記移動体に伝わることなくスムーズに移動することがで
きより高精度な姿勢制御を図ることができる。
【図1】本発明の移動ステージの第1実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図2】図1に示す移動ステージの断面図である。
【図3】本発明の移動ステージにおける姿勢制御部の一
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
【図4】移動ステージにおける推力分布の一例を示す図
である、
である、
【図5】本発明の移動ステージの第2実施例を示す断面
図である。
図である。
【図6】本発明の移動ステージの第3実施例を示す断面
図である。
図である。
【図7】従来の移動ステージの一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図8】図7に示す移動ステージの断面図である。
1,51,61 移動体 2,52,62 永久磁石 3,53,63 コイル集合体 4,54,64 鉛直方向ガイド 4a,4b,54a,54b,64a,64b 水平
方向ガイド 5,7,55,56,65,66 流体静圧軸受 6 支柱 8,57,67 凹部 9 貫通孔 10,50 リニアアクチュエータ 30 コントローラ 31,32,33 ドライバ 34 演算回路 35,36,37 検出手段
方向ガイド 5,7,55,56,65,66 流体静圧軸受 6 支柱 8,57,67 凹部 9 貫通孔 10,50 リニアアクチュエータ 30 コントローラ 31,32,33 ドライバ 34 演算回路 35,36,37 検出手段
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI B23Q 1/30 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23Q 1/00 - 1/76 B23Q 5/28 G12B 5/00 H01L 21/68 H02K 33/18 H02K 41/03
Claims (9)
- 【請求項1】 鉛直方向ガイドの案内面上で移動体を所
定方向に移動させる2個のリニアアクチュエータを、該
案内面に対して平行に配置した移動ステージにおいて、 前記2個のリニアアクチュエータとは鉛直方向に高さが
異なり、前記2個のリニアアクチュエータとともに前記
移動体を前記所定方向に移動させるための前記2個のリ
ニアアクチュエータとは別のアクチュエータを配置し、
各リニアアクチュエータに発生させる推力をそれぞれ制
御することで該移動体の姿勢を制御することを特徴とす
る移動ステージ。 - 【請求項2】 各リニアアクチュエータをそれぞれ駆動
するドライバと、前記 移動体の複数箇所の位置を検出する検出手段と、 該検出手段による検出位置に基づいて、前記移動体の姿
勢情報を求め、該姿勢情報に応じて前記各リニアアクチ
ュエータの駆動量を前記ドライバへ指示する演算手段と
を備えた姿勢制御部を有することを特徴とする請求項1
記載の移動ステージ。 - 【請求項3】 前記移動体の姿勢の制御は、少なくとも
ピッチング姿勢を制御することを特徴とする請求項1ま
たは2に記載の移動ステージ。 - 【請求項4】 各リニアアクチュエータに発生させる推
力を分配させることによって該移動体に作用する全推力
の駆動点を移動体の重心と一致させることを特徴とする
請求項1〜3のいずれか1項に記載の移動ステージ。 - 【請求項5】 移動体に対する水平方向の案内面が形成
された水平方向ガイドを有することを特徴とする請求項
1〜4のいずれか1項に記載の移動ステージ。 - 【請求項6】 移動体が案内面に対して非接触で支持さ
れる軸受を有することを特徴とする請求項1〜5のいず
れか1項に記載の移動ステージ。 - 【請求項7】 3個のリニアアクチュエータを備え、該
3個のリニアアクチュエータのうち1個を、他の2個の
リニアアクチュエータと配置された高さが異なり、かつ
該2個のリニアアクチュエータのほぼ中間位置になるよ
うに配置したことを特徴とする請求項1〜6のいずれか
1項に記載の移動ステージ。 - 【請求項8】 4個のリニアアクチュエータを備え、該
4個のリニアアクチュエータを、2個ずつ一対にして移
動体の鉛直方向中心軸に対して対称に配置したことを特
徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の移動ステ
ージ。 - 【請求項9】 前記リニアアクチュエータは、コイルと
永久磁石とを有することを特徴とする請求項1〜8のい
ずれか1項に記載の移動ステージ。
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- 1992-02-24 JP JP4036575A patent/JP3011813B2/ja not_active Expired - Fee Related
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