JP3010045B1 - Seal structure of rotary joint - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 潤滑機能が不足する非常に厳しい雰囲気中に
あって流体の漏洩や発熱がなく、流体の特性を変化させ
ず、高速回転での使用を可能とした技術の提供。 【解決手段】 一対の流路部材２，４が端面の平滑なシ
ール面２１ｂ，２２ｂを対向させて流通穴２１ａ，２２
ａ同士を連通し、固定側流路部材は流体の圧力を受けて
回転側流路部材方向に進退自在に付勢されシール面２１
ａを回転側シール面２２ａに面合可能に形成され、固定
側シール面には回転側シール面に面合状態のとき回転側
シール面の流通穴開口部を囲繞する環状溝２１ｃが設け
られ、環状溝はケーシングを介して外部の圧力源と連通
され、圧力源は流体の圧力で面合したシール面同士の間
に微細な隙間ｈを形成させる高い圧力の気体を環状溝に
供給する構成。Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology which can be used at a high speed rotation without a fluid leakage or heat generation in a very severe atmosphere where a lubrication function is insufficient, without changing the characteristics of the fluid. SOLUTION: A pair of flow path members 2 and 4 face flow-through holes 21a and 22 with their smooth sealing surfaces 21b and 22b facing each other.
a, the fixed-side flow path member receives the pressure of the fluid, and is urged to move forward and backward in the direction of the rotation-side flow path member.
a is formed so as to be able to face the rotating side sealing surface 22a, and the fixed side sealing surface is provided with an annular groove 21c surrounding the flow hole opening of the rotating side sealing surface when the rotating side sealing surface is in a facing state, The annular groove communicates with an external pressure source via a casing, and the pressure source supplies a high-pressure gas for forming a minute gap h between the sealing surfaces that meet with the pressure of the fluid to the annular groove.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はロータリジョイント
に関し、特に、高速回転の工作機械に使用されてドライ
ないしセミドライ切削加工、即ち切削加工の際の冷却剤
としてエア、オイルミスト、その他各種ガスなどを回転
刃先から吹き出す加工法に最適なロータリジョイントに
属する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary joint, and more particularly to a dry or semi-dry cutting used in a high-speed machine tool, that is, air, oil mist, and other various gases as a coolant during cutting. It belongs to a rotary joint that is most suitable for the processing method that blows out from the rotary blade.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、工作機械など、特に高速回転部分
に使用されるロータリジョイントでは、液体の流通穴を
設けた平坦な端面をシール面となす２個のシール材が用
いられ、両シール材は一方がロータリジョイントの固定
側に配置され他方がロータリジョイントの回転側に配置
された状態でシール面同士を面合して固定側と回転側と
を接続する流路を形成している。このようなシール材
は、シール面の摺動性や耐摩耗性を高めるためにセラミ
ックや超硬合金等の硬質材料が用いられ、両シール面と
も全面平滑にしたリング状に形成されてそれぞれ固定側
部材と回転側部材に焼き嵌めや接着などにより固定され
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, a rotary joint used for a machine tool or the like, particularly for a high-speed rotating part, employs two sealing materials having a flat end surface provided with a liquid flow hole as a sealing surface. In the state where one is arranged on the fixed side of the rotary joint and the other is arranged on the rotating side of the rotary joint, the sealing surfaces are faced to form a flow path connecting the fixed side and the rotating side. Such a sealing material is made of a hard material such as ceramic or cemented carbide in order to enhance the sliding property and abrasion resistance of the sealing surface, and both sealing surfaces are formed into a smooth ring shape and fixed respectively. It is fixed to the side member and the rotating side member by shrink fitting or bonding.

【０００３】そして、この場合、シール面は摩擦抵抗に
より磨耗や発熱をするが、流通する液状クーラントなど
がシール面同士の間に浸透して油膜を作り潤滑作用を行
なうことにより、シール面の磨耗や発熱を低く押え長期
間の使用に耐えるようになっている。In this case, the seal surface wears and generates heat due to frictional resistance. However, the flowing liquid coolant penetrates between the seal surfaces to form an oil film and perform a lubricating action, thereby causing the seal surface to wear. It is designed to hold down heat and heat and to withstand long-term use.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】近年、大量の廃棄物が
自然破壊の一原因とされているが、工業製品の製造過程
で排出される洗浄剤やクーラント、オイルなども例外で
はない。そこで、金属加工の分野でもクーラント使用量
を減らす切削方法あるいはクーラントを使用しないドラ
イ切削が検討されているが、工作機械では金属加工部分
に対し潤滑や冷却作用を行なう液状クーラントを回転工
具から直接供給するものがあり、この場合、クーラント
の供給経路に必要となる固定部分から回転部分への接点
にはロータリジョイントを配置させている。従って、前
記のようなドライ切削を行なうためには、このロータリ
ジョイントを介し液状クーラントの代わりにオイルミス
トやドライエア、その他各種ガスなどを供給する必要が
ある。しかしながら、前述したような従来のロータリジ
ョイントにおけるメカニカルシール構造では、精密に密
着したシール面同士の間にオイルミストがよく浸透しな
いため良好な油膜を形成することができず、特に超高速
回転を要するような工作機械では、そのようなシール構
造では役にたたず発熱や摩耗が急速に発生して全く使用
できないという問題があった。中には低バランス比タイ
プといってシール面同士の圧着力を低く設定して摩擦熱
発生を低減したものがあるが、その圧着力が低いために
不用意に大きな漏れを生じる可能性があるし、極めて高
い回転数での使用においてはシール面が発熱して破損す
る恐れがあるなどの問題がある。また、ドライ切削に使
用するガスは、温度管理されたものや濃度管理されたも
のが要求されるが、高速回転の条件下において、従来の
ようなシール構造では、冷風エアの使用において、摩擦
熱の作用により、その温度上昇を防止することができな
いという問題がある。In recent years, a large amount of waste has been one of the causes of natural destruction, and cleaning agents, coolants, oils and the like discharged during the production of industrial products are no exception. Therefore, in the field of metalworking, cutting methods to reduce the amount of coolant used or dry cutting without coolant are being studied.However, in machine tools, liquid coolant that lubricates and cools metalworking parts is supplied directly from the rotating tool. In this case, a rotary joint is arranged at a contact point from a fixed portion to a rotating portion necessary for a coolant supply path. Therefore, in order to perform the dry cutting as described above, it is necessary to supply oil mist, dry air, other various gases, and the like instead of the liquid coolant through the rotary joint. However, in the mechanical seal structure of the conventional rotary joint as described above, the oil mist does not penetrate well between the closely adhered seal surfaces, so that a good oil film cannot be formed, and particularly, ultra-high speed rotation is required. In such a machine tool, there is a problem that such a seal structure is useless and generates heat and wear rapidly, so that it cannot be used at all. Some of the low balance ratio types reduce the generation of frictional heat by setting the pressure between the sealing surfaces low, but the low pressure may cause a carelessly large leak. However, when used at an extremely high rotation speed, there is a problem that the seal surface may be heated and damaged. In addition, the gas used for dry cutting must be controlled in temperature and controlled in concentration.However, under the condition of high-speed rotation, with a conventional seal structure, the friction heat There is a problem that the rise in temperature cannot be prevented by the action of (1).

【０００５】本発明は、上述のような従来の問題点を解
決するためになされたもので、その目的とするところ
は、オイルミストやドライエアのような潤滑機能が不足
するようなものしか供給されない非常に厳しい雰囲気中
にあって使用でき、供給する流体に他の流体が混入しな
いようにするなど、その特性を変化させないようにもで
き、また流体漏洩の制御が容易であり、しかも発熱など
がなく、あるいは特性を変化させるバッファガスの漏れ
込み量を能動的にコントロールでき、しかも工作機械な
どで要求されるような超高速回転での使用を可能とした
ロータリジョイントのシール構造を提供することにあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to supply only an oil mist or dry air which lacks a lubrication function. It can be used in a very harsh atmosphere, it can be used to keep its characteristics from changing, such as by preventing other fluids from mixing with the supplied fluid, and it is easy to control fluid leakage and generate heat. To provide a rotary joint seal structure that can actively control the amount of buffer gas leakage that does not change the characteristics, or that can be used at ultra high speeds required for machine tools etc. is there.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明請求項１記載のロータリジョイントのシール
構造にあっては、流体の流通穴を設けた一対の流路部材
であるフローティングシートと回転管軸の端面同士が平
滑なシール面を有し、前記フローティングシートの軸部
がロータリジョイント固定側であるケーシングのシール
穴に摺動自在に装着され回転管軸がロータリジョイント
の回転側に配置された状態でシール面同士を対向させる
と共にシール面を回転側シール面に面合可能に形成さ
れ、前記フローティングシートの軸部背面が前記流体の
圧力を受けて回転管軸方向に付勢されることにより前記
流通穴同士を連通して固定側と回転側との接続部流路が
形成され、前記フローティングシートが気体を流通させ
る場合はシール面同士を非接触状態にするロータリジョ
イントのシール構造において、前記シール穴の側壁には
外部圧力源から供給されるバッファガスの流路が開口さ
れ、前記フローティングシートの軸部には前記バッファ
ガス流路の開口部に連通する導入路が開設され、前記固
定側シール面には前記フローティングシートの軸部に設
けた導入路に連通する貫通穴が開設され、前記バッファ
ガスは前記流体の圧力で面合したシール面同士の間に微
細な隙間を形成させる圧力を供給するように形成されて
いることを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a seal structure for a rotary joint according to the present invention, wherein a pair of flow path members provided with fluid flow holes are provided.
The end surfaces of the floating sheet and the rotary tube shaft have smooth sealing surfaces, and the shaft portion of the floating sheet
Is the casing seal where the rotary joint is fixed
The rotary pipe shaft is slidably mounted in the hole and the rotary joint is a rotary joint.
The seal faces face each other in a state where they are arranged on the rotation side of
The seal surface is formed so that it can face the rotating seal surface.
The back of the shaft of the floating sheet is
By being urged in the axial direction of the rotating tube under pressure,
The connecting holes between the fixed side and the rotating side
Formed and the floating sheet allows gas to flow
Rotary joint to keep the sealing surfaces in a non-contact state.
In the seal structure of the point, the side wall of the seal hole is
The flow path of the buffer gas supplied from the external pressure source is
The buffer is provided on the shaft of the floating sheet.
An introduction path communicating with the opening of the gas flow path is established,
The fixed side sealing surface is set on the shaft of the floating seat.
A through hole communicating with the girder introduction path was opened, and the buffer
The gas is formed so as to supply a pressure for forming a minute gap between the sealing surfaces that meet with the pressure of the fluid.

【０００７】請求項２記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、請求項１記載のロータリジョイント
のシール構造において、前記固定側シール面には前記回
転側シール面に面合状態のとき該回転側シール面の流通
穴開口部を囲繞する環状溝が設けられ、前記貫通穴は該
環状溝内に配置されていることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a rotary joint sealing structure according to the first aspect, wherein the fixed side sealing surface is rotated when the rotating side sealing surface is in a state of being flush with the rotating side sealing surface. An annular groove surrounding the opening of the flow hole in the side seal surface is provided, and the through hole is disposed in the annular groove.

【０００８】請求項３記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、請求項１または請求項２記載のロー
タリジョイントのシール構造において、前記貫通穴また
は環状溝には適宜数のオリフィスを介してバッファガス
が供給されることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided the rotary joint seal structure according to the first or second aspect, wherein the through hole or the annular groove has a buffer through an appropriate number of orifices. Gas is supplied.

【０００９】請求項４記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、請求項１ないし請求項３の内いずれ
かの項に記載のロータリジョイントのシール構造におい
て、前記固定側流通穴には圧力レギュレータと圧力計を
介して圧力制御された流体が供給され、前記貫通穴また
は環状溝には増圧器と圧力レギュレータと圧力計を介し
て圧力制御されたエアなどのバッファガスが供給される
ことを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the rotary joint seal structure according to any one of the first to third aspects, wherein the fixed side flow hole has a pressure regulator. And a pressure-controlled fluid is supplied via a pressure gauge, and a buffer gas such as air whose pressure is controlled via a pressure intensifier, a pressure regulator and a pressure gauge is supplied to the through hole or the annular groove. And

【００１０】請求項５記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、請求項１ないし請求項４の内いずれ
かの項に記載のロータリジョイントのシール構造におい
て、前記オリフィスが前記固定側シール面の背面側に配
置されたオリフィス部材に設けられ、該オリフィスに前
記貫通穴が連通するように形成されていることを特徴と
する。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a rotary joint sealing structure according to any one of the first to fourth aspects, wherein the orifice is formed on the fixed side sealing surface. It is provided on an orifice member arranged on the back side, and the through hole is formed to communicate with the orifice.

【００１１】[0011]

【作用】請求項１記載のロータリジョイントのシール構
造にあっては、圧力源に連通するシール材の貫通穴の開
口はシール面同士の境界に配置されることになるから、
圧力源からの流体圧力はフローティングシートに発生し
た回転管軸方向の押圧力に抗してシール面同士の間に隙
間を生じさせ、シール面同士を非接触状態にさせる。従
って、シール面同士は非接触状態で相対的に回転可能と
なり、如何なる回転数にも発熱することなく対応するこ
とができる。In the seal structure of the rotary joint according to the first aspect, the opening of the through hole of the seal material communicating with the pressure source is disposed at the boundary between the seal surfaces.
Fluid pressure from the pressure source creates a gap between the sealing surfaces against the pressing force generated in the floating sheet in the axial direction of the rotary tube , and the sealing surfaces are brought into a non-contact state. Therefore, the sealing surfaces can be relatively rotated in a non-contact state, and can cope with any number of rotations without generating heat.

【００１２】請求項２記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、圧力源から環状溝に（請求項１記載
のシール構造では貫通穴に）圧力を制御された気体（バ
ッファガス）を供給し、その環状溝に（あるいは前記貫
通穴に）静圧を発生させることにより、流体圧力により
フローティングシートに発生した回転管軸方向の押圧力
に抗してシール面同士の間に隙間を生じさせ、シール面
同士を非接触状態にさせる。この時、環状溝に発生させ
たバッファガスによる静圧がバッファ圧を制御すること
で下記のように作用する。 １．静圧が流通穴流路圧より高い場合、バッファガスが
流通穴内に漏れ込む。即ち、シール面間の隙間は流体に
対して完全封止の状態となる。この場合、オイルミスト
などの使用では、この漏れ込み量を制御することで濃度
管理を行なうこともできる。 ２．静圧が流通穴流路圧と同じか、より低い場合では、
封止が解除され流体がシール面間の隙間から漏れ出す。
この場合、流通穴内への漏れ込みは無いため、窒素ガス
や冷風などバッファガスや外気などの混入を嫌うような
ガスでは、この方法が有効である。以上のように、使用
流体のニーズに合わせて漏れ込み（ひいてはシール面間
の隙間、漏れ出し）量の制御が可能となる。この構成は
バッファガス封止方式シールとも呼ぶべきものであり、
シール面同士は非接触状態で相対的に回転可能となり、
如何なる回転数にも発熱することなく対応することがで
きる。According to the second aspect of the present invention, a gas (buffer gas) whose pressure is controlled is supplied from the pressure source to the annular groove (to the through hole in the first aspect of the invention). , By generating a static pressure in the annular groove (or in the through hole),
A gap is created between the sealing surfaces against the pressing force generated in the floating sheet in the axial direction of the rotary tube , and the sealing surfaces are brought into a non-contact state. At this time, the static pressure of the buffer gas generated in the annular groove acts as described below by controlling the buffer pressure. 1. If the static pressure is higher than the flow hole flow pressure, the buffer gas leaks into the flow hole. That is, the gap between the sealing surfaces is completely sealed with respect to the fluid. In this case, when an oil mist or the like is used, the concentration can be controlled by controlling the amount of leakage. 2. If the static pressure is the same or lower than the flow hole pressure,
The seal is released and the fluid leaks out of the gap between the sealing surfaces.
In this case, since there is no leakage into the circulation hole, this method is effective for a gas such as a nitrogen gas or a cold air, which is difficult to mix with a buffer gas or outside air. As described above, it is possible to control the amount of leakage (and, consequently, the gap between the sealing surfaces and leakage) according to the needs of the fluid used. This configuration should also be called a buffer gas sealing type seal,
The sealing surfaces are relatively rotatable in a non-contact state,
Any number of rotations can be handled without generating heat.

【００１３】請求項３記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、オリフィスの口径、個数を適宜設定
することによっても前記同様に使用流体のニーズに合わ
せて漏れ込み（ひいてはシール面間の隙間、漏れ出し）
量の制御が可能となる。[0013] In the rotary joint sealing structure according to the third aspect, by appropriately setting the diameter and the number of the orifices, it is possible to leak in accordance with the needs of the fluid to be used (therefore, the gap between the sealing surfaces, Leakage)
The amount can be controlled.

【００１４】請求項４記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、工具回転数、加工用流体の種類など
の条件により、圧力レギュレータと圧力計で流体の供給
圧力を精密に設定し、その供給圧力と気体混入の可否お
よび混入可の場合の混入量に対し、増圧器と圧力レギュ
レータ、圧力計で気体の流量を精密に調整し、良好な加
工条件を形成することができる。シール面の隙間調整を
エアで行なう場合、経済的であるし大気側に漏洩しても
無害である。また、窒素ガスなど少数の流体を除いて
は、シール面から流通穴内の流体に流入しても悪影響を
与えない。 According to a fourth aspect of the present invention, the supply pressure of a fluid is precisely set by a pressure regulator and a pressure gauge in accordance with conditions such as the number of rotations of a tool and the type of a working fluid. The flow rate of the gas can be precisely adjusted by the pressure intensifier, the pressure regulator, and the pressure gauge with respect to the pressure and whether or not the gas can be mixed and the mixing amount in the case where the mixing can be performed, so that good processing conditions can be formed. Adjust the clearance of the sealing surface
When using air, it is economical and even if it leaks to the atmosphere side
Harmless. Also, except for a few fluids such as nitrogen gas
Does not adversely affect the fluid flowing into the flow hole from the seal face.
Do not give.

【００１５】請求項５記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、オリフィスの口径、配置数、配置位
置などを適宜設定して多種のオリフィス部材を設けてお
くと、例えば特定の工作機械の仕様、つまり加工するワ
ークの材質、工具の種類、回転数、また流体の特性、流
量などの条件に最適のオリフィス部材を選定したロータ
リジョイントを安価に設けて組み込むことができる。In the rotary joint sealing structure according to the fifth aspect, if various kinds of orifice members are provided by appropriately setting the orifice diameter, the number of arrangements, the arrangement positions, etc., for example, the specification of a specific machine tool In other words, it is possible to inexpensively provide a rotary joint that selects an orifice member that is optimal for conditions such as the material of the workpiece to be machined, the type of tool, the number of revolutions, the characteristics of the fluid, and the flow rate.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
により説明する。尚、本実施の形態では流体にオイルミ
ストを使用した場合で説明するが、勿論、エア、その他
各種ガスを使用することができる。図１（イ）は実施の
形態１のロータリジョイントにおけるシール構造部分を
示す分解説明図、（ロ）は同作動状態を示す拡大図、図
２はバッファガス封止方式のシール構造が組み込まれた
ロータリジョイントを示す断面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the present embodiment, the case where oil mist is used as a fluid will be described. However, air and other various gases can be used. FIG. 1A is an exploded explanatory view showing a seal structure portion in the rotary joint according to the first embodiment, FIG. 1B is an enlarged view showing the same operation state, and FIG. 2 incorporates a buffer gas sealing type seal structure. It is sectional drawing which shows a rotary joint.

【００１７】まず、このロータリジョイントＲは、工作
機械の工具側にオイルミストＭを供給するように設けら
れたものであり、図１（イ），図２に示すように、ケー
シング１と、フローティングシート２と、シール部３
と、回転管軸４と、係止ピン５と、バッファガス圧調整
装置６と、オイルミスト圧調整装置７を主要な構成とし
ている。First, the rotary joint R is provided so as to supply the oil mist M to the tool side of the machine tool. As shown in FIGS. Seat 2 and seal part 3
, A rotary pipe shaft 4, a locking pin 5, a buffer gas pressure adjusting device 6, and an oil mist pressure adjusting device 7 as main components.

【００１８】前記ケーシング１は、筒状フレーム部１０
とヘッド部１１よりなり、組み立てによりヘッド部１１
と一体となった筒状フレーム部１０を工作機械のフレー
ム９に嵌合させ、ボルト１２で密閉状に固定することに
より形成されている。前記筒状フレーム部１０は後端内
部にシール穴１３を有し、ヘッド部１１の底面には前記
シール穴１３を外部と連通させる流路１４を貫通させて
いる。また、筒状フレーム部１０には前記シール穴１３
をケーシング外部に連通するバッファガス導入路１３ａ
が設けられている。前記バッファガス導入路１３ａには
後述するフローティングシート２との摺動面同士の隙間
からバッファガスの外部、あるいは主流路１８ｍへの漏
洩を防止するシール１３ｓが必要となる。このシールに
はＯリングを用いるか、あるいはフローティングシート
２の良好な作動性を得るため、摺動抵抗の少ないエアシ
リンダ用パッキンを用いると良好な結果が得られる。The casing 1 includes a cylindrical frame 10
And the head 11, and the head 11
This is formed by fitting a cylindrical frame portion 10 integrated with the frame 9 of the machine tool and fixing it tightly with bolts 12. The cylindrical frame part 10 has a seal hole 13 inside the rear end, and a bottom surface of the head part 11 penetrates a flow path 14 for communicating the seal hole 13 with the outside. Further, the cylindrical frame portion 10 has the seal hole 13.
Gas introduction passage 13a that communicates with the outside of the casing
Is provided. The buffer gas introduction path 13a requires a seal 13s for preventing the buffer gas from leaking to the outside or the main flow path 18m from a gap between sliding surfaces with the floating sheet 2 described later. Good results can be obtained by using an O-ring for this seal or by using an air cylinder packing with low sliding resistance in order to obtain good operability of the floating sheet 2.

【００１９】前記フローティングシート２は、固定側流
路と回転側流路とをシール部３と共に連通させるもので
あって、前記シール穴１３に摺動自在に嵌着される軸部
１５を有し、その先端部にはフランジ部１６が配置され
ている。この軸部１５の背面１５ａは、シール穴１３内
で流体圧を受ける受圧面となる。また、軸心には流路１
８が貫通して設けられ、前記フランジ部１７の端面には
流路１８の開口部と同心に円形のセット溝１６ａが設け
られている。また、前記軸部１５には、その外周面であ
って前記バッファガス導入路１３ａと連通する幅広の外
周溝１５ｂが周設され、かつ、この外周溝１５ｂ内に開
口し前記セット溝１６ａ内に連通する導入路１５ｃが設
けられている。そして、前記フランジ部１６の周辺には
係止穴１７が設けられ、この係止穴１７にケーシング１
のヘッド部１１に突設された係止ピン５を挿入すること
により、フローティングシート２の回り止めを行なって
シール部分の固定側が形成されている。前記回り止め
（４カ所）にはコイルバネを設置して、受圧面１５ａに
流体圧が作用しない場合は前記コイルバネの付勢力によ
ってシール面を開かせ、ツール交換に必要な隙間を設け
ることが可能である。The floating sheet 2 allows the fixed side flow path and the rotation side flow path to communicate with the seal portion 3, and has a shaft portion 15 slidably fitted in the seal hole 13. A flange portion 16 is disposed at the tip end. The back surface 15 a of the shaft portion 15 serves as a pressure receiving surface that receives fluid pressure in the seal hole 13. In addition, a flow path 1
8 is provided therethrough, and a circular set groove 16 a is provided on the end face of the flange portion 17 concentrically with the opening of the flow channel 18. Further, the shaft portion 15 is provided with a wide outer peripheral groove 15b which is an outer peripheral surface thereof and communicates with the buffer gas introduction passage 13a, and is opened in the outer peripheral groove 15b and in the set groove 16a. An introduction path 15c that communicates is provided. A locking hole 17 is provided around the flange portion 16, and the locking hole 17 is provided in the casing 1.
The locking pin 5 protruding from the head portion 11 is inserted to prevent the floating sheet 2 from rotating, so that the fixed side of the seal portion is formed. Coil springs are installed in the detents (4 places), and when fluid pressure does not act on the pressure receiving surface 15a, the sealing surface is opened by the urging force of the coil springs, and a gap required for tool exchange can be provided. is there.

【００２０】図中８はリング状のオリフィス部材であ
り、両端面に環状溝８ａを有しこの環状溝８ａ同士を連
通する微細な貫通穴がオリフィス８ｂを形成している。
このオリフィス部材８は前記フランジ部のセット溝１６
ａに装着され、その前面に後述するシールリング２１が
固定される。In the drawing, reference numeral 8 denotes a ring-shaped orifice member, which has annular grooves 8a on both end surfaces, and fine through holes communicating the annular grooves 8a form orifices 8b.
The orifice member 8 is provided with the set groove 16 of the flange portion.
a, and a seal ring 21 described later is fixed to the front surface thereof.

【００２１】前記回転管軸４は、工作機械の主軸１９に
ボルト固定されたアダプター１９ａにねじ込みすること
によって着脱自在に装着されており、軸心に前記フロー
ティングシート２の流路１８と同一径の流路２０が貫通
して設けられている。この回転管軸４と前記フローティ
ングシート２は軸心を一致させ端面同士を対抗するよう
に配置されている。The rotary tube shaft 4 is detachably mounted by screwing into an adapter 19a bolted to a main shaft 19 of a machine tool, and has a shaft center having the same diameter as the flow path 18 of the floating sheet 2. The flow path 20 is provided through. The rotary tube shaft 4 and the floating sheet 2 are arranged so that their axes are aligned and their end faces are opposed to each other.

【００２２】前記シール部３は、フローティングシート
２と回転管軸４との間に介在されるものであって、超硬
合金やセラミックによりリング状に形成され、フローテ
ィングシート２の端面に固定されるシールリング２１
と、回転管軸４の端面に固定されるシールリング２２の
一組よりなる。前記シールリング２１は、軸心に前記流
路１８と同一径の流通穴２１ａを有し、シール面２１ｂ
には、環状溝２１ｃと、この環状溝２１ｃからシールリ
ング背面側まで貫通された貫通穴２１ｄが設けられてお
り、この貫通穴２１ｄが前記オリフィス部材の環状溝８
ａに連通状態となる。また、前記シールリング２２は、
軸心に前記流路２０と同一径の流通穴２２ａを有し、シ
ール面２２ｂは全面平滑に仕上げられている。従って前
記シールリング２１，２２を面合状態にしたとき、前記
環状溝２１ｃはその開口部をシールリング２２のシール
面２２ｂに密着し流通穴２２ａを囲繞した状態となる。The seal portion 3 is interposed between the floating sheet 2 and the rotary pipe shaft 4 and is formed in a ring shape from cemented carbide or ceramic and fixed to the end surface of the floating sheet 2. Seal ring 21
And a set of seal rings 22 fixed to the end face of the rotary tube shaft 4. The seal ring 21 has a flow hole 21a having the same diameter as the flow path 18 at the axis thereof, and a seal surface 21b.
Is provided with an annular groove 21c and a through hole 21d penetrating from the annular groove 21c to the back side of the seal ring, and the through hole 21d is provided in the annular groove 8 of the orifice member.
a is established. Further, the seal ring 22 includes
A flow hole 22a having the same diameter as the flow path 20 is provided at the axis, and the entire sealing surface 22b is finished smoothly. Therefore, when the seal rings 21 and 22 are brought into a mating state, the opening of the annular groove 21c is brought into close contact with the seal surface 22b of the seal ring 22 so as to surround the flow hole 22a.

【００２３】尚、前記オリフィス部材８の構造は、環状
溝８ａによって、このシールリング２１の貫通穴２１ｄ
の個数に関係なく前記オリフィス８ｂに常時連通可能と
なすから、様々な仕様（オリフィス口径、配置数、配置
位置など）のシールリング２１とオリフィス部材８を設
けておき、工具やワーク材質、回転数や流体の特性、圧
力など諸条件に最適となるように組み合わせ選定するこ
とにより、様々な使用条件に対応することができる。The structure of the orifice member 8 is such that the annular groove 8a defines the through hole 21d of the seal ring 21.
Irrespective of the number of the orifices 8b, the seal ring 21 and the orifice member 8 of various specifications (orifice diameter, number of arrangements, arrangement positions, etc.) are provided, and the tool, workpiece material, rotation speed Various usage conditions can be handled by selecting a combination so as to be optimal for various conditions such as fluid characteristics, fluid characteristics, and pressure.

【００２４】上述のように構成されたロータリジョイン
トＲは、ヘッド部の流路１４がオイルミスト圧調整装置
７の圧力レギュレータ２５，圧力計２６を介して外部に
配置されたオイルミスト発生器２７に接続される。ま
た、バッファガス導入路１３ａがバッファガス圧調整装
置６の増圧器２８，アキュムレータ２９，圧力レギュレ
ータ３０，圧力計３１を介して外部に設置されたエアポ
ンプ３２に接続される。In the rotary joint R configured as described above, the flow path 14 of the head section is connected to an oil mist generator 27 disposed outside via a pressure regulator 25 and a pressure gauge 26 of the oil mist pressure adjusting device 7. Connected. Further, the buffer gas introduction passage 13a is connected to an air pump 32 provided outside via a pressure intensifier 28, an accumulator 29, a pressure regulator 30, and a pressure gauge 31 of the buffer gas pressure adjusting device 6.

【００２５】次に、作用を説明する。まず、主軸１９が
停止している状態で、オイルミスト発生器２７を作動さ
せオイルミストＭを流路１４に供給する。このオイルミ
ストＭはオイルミスト圧調整装置７により、予め設定さ
れた圧力に調整される。供給されたオイルミストＭは、
ケーシング１の流路１４からシール穴１３に流入しフロ
ーティングシート２の背面１５ａを押圧すると共に流路
１８に流入する。前記フローティングシート２の背面１
５ａが押圧されることにより、シールリング２１がシー
ルリング２２に密着するから、オイルミストＭはシール
リング同士の流通穴２１ａ，２２ａを介して回転管軸４
の流路２０に流入し、主軸１９側に圧送される。このと
き、シールリング２１，２２の接続部はシール面２１
ｂ，２２ｂ同士を密着させているので、オイルミストＭ
が漏洩することはない。尚、前記流路１４のオイルミス
ト圧調整装置７には増圧器を付加してもよい。Next, the operation will be described. First, with the main shaft 19 stopped, the oil mist generator 27 is operated to supply the oil mist M to the flow path 14. The oil mist M is adjusted to a preset pressure by the oil mist pressure adjusting device 7. The supplied oil mist M is
It flows into the seal hole 13 from the flow path 14 of the casing 1, presses the back surface 15 a of the floating sheet 2, and flows into the flow path 18. The back 1 of the floating seat 2
5a is pressed, the seal ring 21 comes into close contact with the seal ring 22, so that the oil mist M flows through the rotary pipe shaft 4 through the flow holes 21a, 22a between the seal rings.
Flows into the flow path 20 and is pressure-fed to the main shaft 19 side. At this time, the connection between the seal rings 21 and 22 is
b, 22b are in close contact with each other, so oil mist M
Does not leak. Incidentally, a pressure intensifier may be added to the oil mist pressure adjusting device 7 in the flow path 14.

【００２６】次に、主軸が停止している状態で、エアポ
ンプ３２を作動させ、ないしはレギュレータで圧力を調
整し、バッファガスＢを流路１３ａに供給する。このバ
ッファガスＢはバッファガス圧調整装置６により、前記
オイルミストＭの調整圧力より高めの圧力に調整され
る。供給されたバッファガスＢは、ケーシング１の流路
１３ａから外周溝１５ｂを介して導入路１５ｃに流入
し、オリフィス８ｂ，貫通穴２１ｄを介して環状溝２１
ｃに供給される。Next, with the main shaft stopped, the air pump 32 is operated or the pressure is adjusted by a regulator, and the buffer gas B is supplied to the flow path 13a. The buffer gas B is adjusted by the buffer gas pressure adjusting device 6 to a pressure higher than the adjustment pressure of the oil mist M. The supplied buffer gas B flows into the introduction path 15c from the flow path 13a of the casing 1 via the outer peripheral groove 15b, and flows through the orifice 8b and the through hole 21d to form the annular groove 21.
c.

【００２７】この場合、オイルミストＭの押圧力がフロ
ーティングシート背面１５ａに作用してシール面２１
ｂ，２２ｂ同士を密着させ密室状となっている環状溝２
１ｃ内に、比較的高い圧力（静圧）を発生させ前記シー
ル面２１ｂ，２２ｂ同士を僅かに離反させるバッファガ
スＢを供給することにより、シール面２１ｂ，２２ｂ同
士は非接触状態となる。この後に主軸１９を回転させる
ことになる。前記シール面２１ｂ，２２ｂ同士の間に隙
間ｈが生じると、環状溝２１内のバッファガスＢは、大
気および流通穴２１ａ，２２ａを流通しているオイルミ
ストガスＭより圧力が高いため、その隙間ｈから大気側
に漏れ出すと共に流通穴２１ａ，２２ａ内に漏れ込み、
オイルミストＭの大気側への漏れ出しを阻止することに
なる。In this case, the pressing force of the oil mist M acts on the back surface 15a of the floating seat and the sealing surface 21
b, 22b are in close contact with each other to form an annular groove 2
By supplying a buffer gas B that generates a relatively high pressure (static pressure) and slightly separates the sealing surfaces 21b and 22b into 1c, the sealing surfaces 21b and 22b are brought into a non-contact state. Thereafter, the main shaft 19 is rotated. When a gap h is formed between the sealing surfaces 21b and 22b, the pressure of the buffer gas B in the annular groove 21 is higher than that of the atmosphere and the oil mist gas M flowing through the flow holes 21a and 22a. h and leaks into the air holes 21a and 22a,
This prevents the oil mist M from leaking to the atmosphere.

【００２８】従って、本実施の形態によれば、シール面
２１ｂ，２２ｂ同士は非接触状態で相対的に回転可能と
なり、如何なる回転数にも発熱することなく対応するこ
とができる。また、主軸の回転中、前記シール面２１
ｂ，２２ｂ同士の間に隙間ｈを設けるが、その隙間ｈを
介して流体が外部（大気側）に漏れ出すことはない。
尚、本実施の形態では隙間ｈを１０数μに設定したが、
勿論、この大きさに限定されるものではなく、前記オリ
フィス部材８などの取り換えによって、任意の大きさに
簡単に設定することができる。Therefore, according to the present embodiment, the seal surfaces 21b and 22b can relatively rotate in a non-contact state, and can cope with any number of rotations without generating heat. During the rotation of the main shaft, the sealing surface 21
A gap h is provided between b and 22b, but the fluid does not leak to the outside (atmosphere side) via the gap h.
Note that, in the present embodiment, the gap h is set to more than 10 μ,
Of course, the size is not limited to this, and can be easily set to an arbitrary size by replacing the orifice member 8 and the like.

【００２９】次に、その他の実施の形態を説明する。本
実施の形態では、前記シール材２１，２２の少なくとも
一方を潤滑性の良いカーボンで形成したことに特徴があ
る。本発明のバッファガス封止タイプシールでは、シー
ル面間の隙間ｈを１０数μｍに設定するものであるが、
必ずしもこのように完全非接触状態を保持する必要はな
い。バッファ圧を低下させると隙間ｈは減少し、回転中
に軸の微細な振れによりシール面に軽接触が発生する場
合があるがこれに対応するものである。本実施の形態の
ようにシール材に潤滑性の良いカーボンを使用している
と、その軽接触が極短時間の場合、漏れエアの冷却作用
やオイルミストの潤滑作用の相乗効果によって発熱、摩
耗などを最小限に押えることができる。従って、その発
熱が部品の破壊を招かない程度の回転周速である場合、
半接触状態での使用を正常な使用状態と認めて設定する
こともできる。特にバッファガスの消費量を節約したい
場合などに有効である。Next, another embodiment will be described. The present embodiment is characterized in that at least one of the seal members 21 and 22 is formed of carbon having good lubricity. In the buffer gas sealing type seal of the present invention, the gap h between the sealing surfaces is set to be more than 10 μm.
It is not always necessary to maintain such a completely non-contact state. When the buffer pressure is reduced, the gap h decreases, and a slight contact of the seal surface may occur due to a minute run-out of the shaft during rotation. When carbon having good lubricity is used for the sealing material as in the present embodiment, if light contact is extremely short, heat and wear are generated due to a synergistic effect of a cooling action of leaking air and a lubrication action of oil mist. Can be minimized. Therefore, when the heat is generated at such a rotational peripheral speed that the component is not destroyed,
The use in the half-contact state can be recognized as a normal use state and set. This is particularly effective when it is desired to reduce the consumption of the buffer gas.

【００３０】以上、本発明の実施の形態を説明してきた
が、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限定され
るものではない。例えば、環状溝２１ｃなどの形状やそ
の配置は任意に設定することができる。環状溝を設け
ず、貫通穴２１ｄから直接バッファエアをシール面に供
給するようにしてもよい。ケーシング１やフローティン
グシート２などの形状も任意である。シールリング２
１，２２などの形状や取り付け状態は任意に設定するこ
とができる。また、シールリング２１，２２は非接触回
転のため材質はステンレスなどの一般的な金属でも使用
できるものであり、このためフローティングシートや回
転管軸などと一体に形成してもよく、経済的でもある。Although the embodiment of the present invention has been described above, the specific configuration of the present invention is not limited to this embodiment. For example, the shape and arrangement of the annular groove 21c and the like can be arbitrarily set. The buffer air may be directly supplied to the sealing surface from the through hole 21d without providing the annular groove. The shapes of the casing 1 and the floating sheet 2 are also arbitrary. Seal ring 2
Shapes and mounting states such as 1 and 22 can be arbitrarily set. In addition, since the seal rings 21 and 22 are non-contact rotating, the material can be a general metal such as stainless steel. Therefore, the seal rings 21 and 22 may be formed integrally with a floating sheet or a rotating pipe shaft, and are economical. is there.

【００３１】[0031]

【発明の効果】以上説明してきたように本発明請求項１
および請求項２記載のロータリジョイントのシール構造
にあっては、前記構成としたため、シール面同士は非接
触状態で相対的に回転可能となり、如何なる回転数にも
発熱することなく対応することができる。前記効果を維
持した状態で、静圧が流通穴流路圧より高い場合、バッ
ファガスが流通穴内に漏れ込み、シール面間の隙間は流
体に対して完全封止の状態となるから、オイルミストな
どの使用では、この漏れ込み量を制御することで濃度管
理を行なうこともできる。静圧が流通穴流路圧と同じ
か、より低い場合では、封止が解除され流体がシール面
間の隙間から漏れ出し流通穴内への漏れ込みが無くなる
ため、窒素ガスや冷風などバッファガスや外気などの混
入を嫌うようなガスでは、この方法が有効である。以上
のように、使用流体のニーズに合わせて漏れ込み（ひい
てはシール面間の隙間、漏れ出し）量の制御が可能とな
るなどの効果が得られる。As described above, the first aspect of the present invention is as follows.
In the rotary joint sealing structure according to the second aspect of the present invention, since the above configuration is adopted, the sealing surfaces can relatively rotate in a non-contact state, and can cope with any number of rotations without generating heat. . If the static pressure is higher than the flow hole flow pressure while maintaining the above effects, the buffer gas leaks into the flow hole, and the gap between the sealing surfaces becomes completely sealed with respect to the fluid. In such uses, the density can be controlled by controlling the amount of leakage. If the static pressure is equal to or lower than the flow hole flow pressure, the sealing is released and the fluid leaks out of the gap between the seal surfaces and does not leak into the flow hole. This method is effective for gases that do not want to be mixed with outside air. As described above, effects such as the ability to control the amount of leakage (and, consequently, the gap between the sealing surfaces and leakage) in accordance with the needs of the working fluid are obtained.

【００３２】請求項３記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、前記構成としたため、オリフィスの
数や配置などの異なるオリフィス部材を複数容易するこ
とにより、環状溝内の静圧を、回転数や流体の特性、圧
力など諸条件に最適となるように調整し、様々な使用条
件に簡単に対応することができるなどの効果が得られ
る。In the seal structure of the rotary joint according to the third aspect of the present invention, since the above configuration is adopted, a plurality of orifice members having different numbers and arrangements of the orifices can be easily provided so that the static pressure in the annular groove can be reduced. It is possible to obtain an effect such that it is adjusted so as to be optimal for various conditions such as fluid characteristics and pressure, and it is possible to easily cope with various use conditions.

【００３３】請求項４記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、前記構成としたため、ワークの加工
形状や工具回転数、加工用流体の種類などの条件によ
り、圧力レギュレータと圧力計で流体の供給圧力を精密
に設定し、その供給圧力と気体混入の可否および混入可
の場合の混入量に対し、増圧器と圧力レギュレータ、圧
力計で気体の流量を精密に調整し、良好な加工条件を形
成することができる。シール面の隙間調整をエアで行な
う場合、経済的であるし大気側に漏洩しても無害であ
る。また、供給流体が窒素ガスなど少数の流体を除いて
は、シール面から流体内部に流入しても悪影響を与えな
いなどの効果が得られる。In the rotary joint seal structure according to the fourth aspect of the present invention, since the above configuration is adopted, the pressure regulator and the pressure gauge can be used to change the fluid depending on conditions such as the work shape of the workpiece, the number of tool revolutions, and the type of the working fluid. Precisely set the supply pressure, and precisely adjust the flow rate of the gas with an intensifier, a pressure regulator, and a pressure gauge to the supply pressure, whether or not gas can be mixed, and the amount of mixed gas when mixing is possible. Can be formed. When adjusting the clearance of the seal surface by air, it is economical and harmless even if it leaks to the atmosphere side. In addition, when a small number of fluids such as nitrogen gas are removed from the supply fluid, there is an effect that even if the fluid flows into the fluid from the sealing surface, there is no adverse effect.

【００３４】請求項５記載のロータリジョイントのシー
ル構造にあっては、前記構成としたため、シール部材と
別体にできるオリフィス部材は、そのオリフィスの口
径、配置数、配置位置などを適宜設定して複数設けてお
くと、例えば工作機械で加工するワークの材質、工具の
種類、回転数、また流体の特性、流量などの条件に最適
のオリフィス部材を選定して使用することができるなど
の効果が得られる。According to the fifth aspect of the present invention, the orifice member, which can be formed separately from the seal member, is provided by appropriately setting the orifice diameter, the number of the orifices, the arrangement position, and the like. By providing a plurality of orifices, for example, it is possible to select and use the most suitable orifice member for conditions such as the material of the workpiece processed by the machine tool, the type of tool, the number of revolutions, the characteristics of the fluid, the flow rate, and the like. can get.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】（イ）は実施の形態のロータリジョイントにお
けるバッファガス封止方式シール構造部分を示す分解説
明図である。 （ロ）は同実施の形態のバッファガス封止方式シール構
造の作動状態を示す断面図である。FIG. 1A is an exploded view showing a buffer gas sealing type sealing structure in a rotary joint according to an embodiment. (B) is a sectional view showing an operating state of the buffer gas sealing type seal structure of the embodiment.

【図２】バッファガス封止方式シール構造を設けたロー
タリジョイントを示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a rotary joint provided with a buffer gas sealing system sealing structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Ｒ ロータリジョイント Ｍ オイルミスト Ｂ バッファガス ２ フローティングシート（流路部材） ３ シール部 ４ 回転管軸（流路部材） ６ バッファガス圧調整装置 ７ オイルミスト圧調整装置 １３ シール穴 １８，２０ 流路 ２１ 固定側シールリング ２１ａ 流通穴（固定側シールリング） ２１ｂ シール面（固定側シールリング） ２２ 回転側シールリング ２２ａ 流通穴（回転側シールリング） ２２ｂ シール面（回転側シールリング） R Rotary joint M Oil mist B Buffer gas 2 Floating sheet (flow path member) 3 Seal section 4 Rotating pipe shaft (flow path member) 6 Buffer gas pressure regulator 7 Oil mist pressure regulator 13 Seal hole 18, 20 Flow path 21 Fixed side seal ring 21a Communication hole (fixed side seal ring) 21b Seal surface (fixed side seal ring) 22 Rotation side seal ring 22a Communication hole (rotation side seal ring) 22b Seal surface (rotation side seal ring)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16L 27/08 F16J 15/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) F16L 27/08 F16J 15/16

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 流体の流通穴を設けた一対の流路部材で
あるフローティングシートと回転管軸の端面同士が平滑
なシール面を有し、前記フローティングシートの軸部が
ロータリジョイント固定側であるケーシングのシール穴
に摺動自在に装着され回転管軸がロータリジョイントの
回転側に配置された状態でシール面同士を対向させると
共にシール面を回転側シール面に面合可能に形成され、
前記フローティングシートの軸部背面が前記流体の圧力
を受けて回転管軸方向に付勢されることにより前記流通
穴同士を連通して固定側と回転側との接続部流路が形成
され、前記フローティングシートが気体を流通させる場
合はシール面同士を非接触状態にするロータリジョイン
トのシール構造において、 前記シール穴の側壁には外部圧力源から供給されるバッ
ファガスの流路が開口され、 前記フローティングシートの軸部には前記バッファガス
流路の開口部に連通する導入路が開設され、 前記固定側シール面には前記フローティングシートの軸
部に設けた導入路に連通する貫通穴が開設され 、 前記バッファガスは前記流体の圧力で面合したシール面
同士の間に微細な隙間を形成させる圧力を供給するよう
に形成されていることを特徴とするロータリジョイント
のシール構造。1. A pair of the channel members having a passage hole of the fluid
The end surfaces of a certain floating sheet and a rotary tube shaft have smooth sealing surfaces, and the shaft portion of the floating sheet is
Seal hole of casing that is the fixed side of rotary joint
Slidably mounted on the shaft of the rotary joint
When the sealing surfaces are opposed to each other while being placed on the rotating side
Both are formed so that the sealing surface can face the rotating side sealing surface,
The back surface of the shaft of the floating sheet is the pressure of the fluid.
Is received and urged in the axial direction of the rotating pipe,
The connection between the fixed side and the rotating side is formed by communicating the holes with each other.
Where the floating sheet circulates gas.
Rotary join to keep the sealing surfaces in a non-contact state
In the seal structure of the present invention, the side wall of the seal hole has a bag supplied from an external pressure source.
A flow path for fuzz gas is opened, and the buffer gas is provided at a shaft portion of the floating sheet.
An introduction path communicating with the opening of the flow path is established, and the fixed-side sealing surface has a shaft of the floating sheet.
A through hole communicating with the introduction path provided in the portion is provided , and the buffer gas is formed so as to supply a pressure for forming a fine gap between the sealing surfaces that meet with the pressure of the fluid. A seal structure for a rotary joint. 【請求項２】 前記固定側シール面には前記回転側シー
ル面に面合状態のとき該回転側シール面の流通穴開口部
を囲繞する環状溝が設けられ、前記貫通穴は該環状溝内
に配置されていることを特徴とする請求項１記載のロー
タリジョイントのシール構造。2. The fixed-side sealing surface is provided with an annular groove surrounding a flow hole opening of the rotating-side sealing surface when the rotating-side sealing surface is in a mating state, and the through-hole is formed in the annular groove. The seal structure for a rotary joint according to claim 1, wherein 【請求項３】 前記貫通穴または環状溝には適宜数のオ
リフィスを介してバッファガスが供給されることを特徴
とする請求項１または請求項２記載のロータリジョイン
トのシール構造。3. The seal structure for a rotary joint according to claim 1, wherein buffer gas is supplied to the through hole or the annular groove through an appropriate number of orifices. 【請求項４】 前記固定側流通穴には圧力レギュレータ
と圧力計を介して圧力制御された流体が供給され、前記
貫通穴または環状溝には増圧器と圧力レギュレータと圧
力計を介して圧力制御されたエアなどのバッファガスが
供給されることを特徴とする請求項１ないし請求項３の
内いずれかの項に記載のロータリジョイントのシール構
造。4. The fixed-side flow hole is supplied with a fluid whose pressure is controlled through a pressure regulator and a pressure gauge, and the through-hole or the annular groove is pressure-controlled through a pressure intensifier, a pressure regulator and a pressure gauge. The rotary joint seal structure according to any one of claims 1 to 3, wherein a buffer gas such as compressed air is supplied. 【請求項５】 前記オリフィスが前記固定側シール面の
背面側に配置されたオリフィス部材に設けられ、該オリ
フィスに前記貫通穴が連通するように形成されているこ
とを特徴とする請求項１ないし請求項４の内いずれかの
項に記載のロータリジョイントのシール構造。5. The apparatus according to claim 1, wherein the orifice is provided on an orifice member disposed on the back side of the fixed-side sealing surface, and the orifice is formed so that the through hole communicates with the orifice. The seal structure for a rotary joint according to claim 4.