JP3006356B2 - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電アクチュエータInfo
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- JP3006356B2 JP3006356B2 JP5199230A JP19923093A JP3006356B2 JP 3006356 B2 JP3006356 B2 JP 3006356B2 JP 5199230 A JP5199230 A JP 5199230A JP 19923093 A JP19923093 A JP 19923093A JP 3006356 B2 JP3006356 B2 JP 3006356B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、積層型圧電体素子を
積み重ねることにより形成される積層型圧電アクチュエ
ータに関する。
積み重ねることにより形成される積層型圧電アクチュエ
ータに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電体を利用した積層型圧電アクチュエ
ータとしては、例えば、図４に示すような積層型圧電ア
クチュエータが提案されている。この積層型圧電アクチ
ュエータは、図６に示すように、複数の圧電体層５１の
間に部分電極構造を有する内部電極５２を配設するとと
もに、圧電体層５１と内部電極５２からなる積層体５３
の、内部電極５２が引き出された側面に外部電極（内部
電極接続電極）５４を、そして、積層体５３の上・下面
側に外部電極６４を配設し、積層体５３のエッジ部（角
部）において両者を接続させてなる積層型圧電体素子５
５を、図４に示すように、金属板５６を介して複数個積
み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続す
るとともに、ばね圧により固定することにより形成され
ている。
ータとしては、例えば、図４に示すような積層型圧電ア
クチュエータが提案されている。この積層型圧電アクチ
ュエータは、図６に示すように、複数の圧電体層５１の
間に部分電極構造を有する内部電極５２を配設するとと
もに、圧電体層５１と内部電極５２からなる積層体５３
の、内部電極５２が引き出された側面に外部電極（内部
電極接続電極）５４を、そして、積層体５３の上・下面
側に外部電極６４を配設し、積層体５３のエッジ部（角
部）において両者を接続させてなる積層型圧電体素子５
５を、図４に示すように、金属板５６を介して複数個積
み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続す
るとともに、ばね圧により固定することにより形成され
ている。
【０００３】なお、上記の積層型圧電アクチュエータを
構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５
２は、図５に示すように、一層おきに逆側の側面の外部
電極５４（図４）と導通するように交互に逆側の端部に
引き出されている。
構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５
２は、図５に示すように、一層おきに逆側の側面の外部
電極５４（図４）と導通するように交互に逆側の端部に
引き出されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の積層型
圧電アクチュエータにおいては、図６に示すように、積
層体５３のエッジ部（角部）にまで外部電極を形成する
ことにより、側面の外部電極５４と上・下面側の外部電
極６４を導通させており、確実な導通を得るために、エ
ッジ部（角部）で盛上り部分（すなわち５４ａ，５４
ｂ）が形成され、該盛上り部分５４ａ，５４ｂが積層体
５３の上・下面から突出した構造に形成されている。そ
の結果、図４に示すように、複数の積層型圧電体素子５
５を金属板５６を介して積み重ねた場合に、積重ね（接
合）状態が不安定になり、確実に固定することができな
かったり、積層型圧電アクチュエータとして使用した場
合に、外力によって破壊が生じたりするというような問
題点がある。
圧電アクチュエータにおいては、図６に示すように、積
層体５３のエッジ部（角部）にまで外部電極を形成する
ことにより、側面の外部電極５４と上・下面側の外部電
極６４を導通させており、確実な導通を得るために、エ
ッジ部（角部）で盛上り部分（すなわち５４ａ，５４
ｂ）が形成され、該盛上り部分５４ａ，５４ｂが積層体
５３の上・下面から突出した構造に形成されている。そ
の結果、図４に示すように、複数の積層型圧電体素子５
５を金属板５６を介して積み重ねた場合に、積重ね（接
合）状態が不安定になり、確実に固定することができな
かったり、積層型圧電アクチュエータとして使用した場
合に、外力によって破壊が生じたりするというような問
題点がある。
【０００５】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、積層型圧電体素子のエッジ部に外部電極の盛上り
部分（こぶ）が形成された積層型圧電体素子を用いた場
合にも、各積層型圧電体素子の接合の安定性に優れ、外
力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い
積層型圧電アクチュエータを提供することを目的とす
る。
あり、積層型圧電体素子のエッジ部に外部電極の盛上り
部分（こぶ）が形成された積層型圧電体素子を用いた場
合にも、各積層型圧電体素子の接合の安定性に優れ、外
力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い
積層型圧電アクチュエータを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層型圧電アクチュエータは、複数の圧
電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電
極が引き出された互に対向する２つの側面、及び上・下
面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素
子を複数個積み重ねることにより形成される積層型圧電
アクチュエータにおいて、積層型圧電体素子の形状を、
内部電極が引き出された２つの側面間の距離が、他の側
面間の距離よりも大きい形状とし、かつ、積層型圧電体
素子の外部電極が形成された側面と上・下面から形成さ
れるエッジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下面
と対向しないように、隣接する積層型圧電体素子を、平
面的に互に所定の角度だけずらせて積み重ねたことを特
徴とする。
に、この発明の積層型圧電アクチュエータは、複数の圧
電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電
極が引き出された互に対向する２つの側面、及び上・下
面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素
子を複数個積み重ねることにより形成される積層型圧電
アクチュエータにおいて、積層型圧電体素子の形状を、
内部電極が引き出された２つの側面間の距離が、他の側
面間の距離よりも大きい形状とし、かつ、積層型圧電体
素子の外部電極が形成された側面と上・下面から形成さ
れるエッジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下面
と対向しないように、隣接する積層型圧電体素子を、平
面的に互に所定の角度だけずらせて積み重ねたことを特
徴とする。
【０００７】また、積層型圧電体素子の形状を、平面形
状が長方形である直方体形状とし、かつ、隣接する積層
型圧電体素子を、平面的に互に約９０゜ずらせて積み重
ねたことを特徴とする。
状が長方形である直方体形状とし、かつ、隣接する積層
型圧電体素子を、平面的に互に約９０゜ずらせて積み重
ねたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】この発明の積層型圧電アクチュエータにおいて
は、内部電極が引き出された２つの側面間の距離が、他
の側面間の距離よりも大きくなるような形状に構成され
た積層型圧電体素子を、平面的に互に所定の角度だけず
らせて（回転させて）積み重ねているので、積層型圧電
体素子の外部電極が形成された側面と上・下面から形成
されるエッジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下
面に対向することを確実に防止することが可能になる。
は、内部電極が引き出された２つの側面間の距離が、他
の側面間の距離よりも大きくなるような形状に構成され
た積層型圧電体素子を、平面的に互に所定の角度だけず
らせて（回転させて）積み重ねているので、積層型圧電
体素子の外部電極が形成された側面と上・下面から形成
されるエッジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下
面に対向することを確実に防止することが可能になる。
【０００９】したがって、エッジ部に外部電極の盛上り
部分（こぶ）が形成された積層型圧電体素子を用いた場
合にも、該盛上り部分が隣接する積層型圧電体素子の上
・下面に当接することを防止して、接合の安定性に優
れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性
の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能にな
る。
部分（こぶ）が形成された積層型圧電体素子を用いた場
合にも、該盛上り部分が隣接する積層型圧電体素子の上
・下面に当接することを防止して、接合の安定性に優
れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性
の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能にな
る。
【００１０】なお、積層型圧電体素子の形状を、平面形
状が長方形である直方体形状とし、かつ、隣接する積層
型圧電体素子を、平面的に互に約９０゜ずらせて（回転
させて）積み重ねることにより、上記積層型圧電アクチ
ュエータを容易かつ確実に構成することが可能になる。
状が長方形である直方体形状とし、かつ、隣接する積層
型圧電体素子を、平面的に互に約９０゜ずらせて（回転
させて）積み重ねることにより、上記積層型圧電アクチ
ュエータを容易かつ確実に構成することが可能になる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１は、この発明の一実施例にかかる積層型圧電
アクチュエータを示す分解斜視図、図２はその側面図で
ある。また、図３は積層型圧電アクチュエータを構成す
る積層型圧電体素子を示す断面図である。
する。図１は、この発明の一実施例にかかる積層型圧電
アクチュエータを示す分解斜視図、図２はその側面図で
ある。また、図３は積層型圧電アクチュエータを構成す
る積層型圧電体素子を示す断面図である。
【００１２】この実施例の積層型圧電アクチュエータを
構成する積層型圧電体素子５は、図１〜図３に示すよう
に、積層された複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコ
ン酸鉛系材料からなる圧電体層）１と、複数の圧電体層
１間に配設され、一層おきに互に対向する２つの側面に
引き出された内部電極２ａ，２ｂと、圧電体層１と内部
電極２ａ，２ｂからなる積層体３の互に対向する２つの
側面３ａ，３ｂに引き出された同一極の各内部電極２
ａ，２ｂと導通する２つの外部電極（内部電極接続電
極）４ａ，４ｂと、積層体３の上・下面に形成された外
部電極（上・下面側外部電極）１４ａ，１４ｂを備えて
構成されている。
構成する積層型圧電体素子５は、図１〜図３に示すよう
に、積層された複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコ
ン酸鉛系材料からなる圧電体層）１と、複数の圧電体層
１間に配設され、一層おきに互に対向する２つの側面に
引き出された内部電極２ａ，２ｂと、圧電体層１と内部
電極２ａ，２ｂからなる積層体３の互に対向する２つの
側面３ａ，３ｂに引き出された同一極の各内部電極２
ａ，２ｂと導通する２つの外部電極（内部電極接続電
極）４ａ，４ｂと、積層体３の上・下面に形成された外
部電極（上・下面側外部電極）１４ａ，１４ｂを備えて
構成されている。
【００１３】なお、外部電極４ａ，４ｂは、積層体３の
側面に引き出された内部電極２ａ，２ｂとの接続を確実
に行うことができるように、その上端部４ａ1，４ｂ1及
び下端部４ａ2，４ｂ2が、積層体３のエッジ部（角部）
からその上・下面にまで回り込むように形成されてお
り、そのエッジ部には、通常、外部電極４ａ，４ｂの盛
上り部分、すなわち４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が形成
される。
側面に引き出された内部電極２ａ，２ｂとの接続を確実
に行うことができるように、その上端部４ａ1，４ｂ1及
び下端部４ａ2，４ｂ2が、積層体３のエッジ部（角部）
からその上・下面にまで回り込むように形成されてお
り、そのエッジ部には、通常、外部電極４ａ，４ｂの盛
上り部分、すなわち４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が形成
される。
【００１４】また、この積層型圧電体素子５は、内部電
極２ａ，２ｂが引き出された２つの側面３ａ，３ｂ間の
距離が、他の２つの側面３ｃ，３ｄ間の距離よりも大き
くなるように、直方体形状（平面形状は長方形）に構成
されている。
極２ａ，２ｂが引き出された２つの側面３ａ，３ｂ間の
距離が、他の２つの側面３ｃ，３ｄ間の距離よりも大き
くなるように、直方体形状（平面形状は長方形）に構成
されている。
【００１５】そして、この実施例の積層型圧電アクチュ
エータは、上記の積層型圧電体素子５を、その外部電極
４ａ，４ｂが形成された側面３ａ，３ｂと上・下面３
ｅ，３ｆから形成されるエッジ部の、外部電極４ａ，４
ｂの盛上り部分４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が、隣接す
る積層型圧電体素子５の上・下面３ｅ，３ｆと対向しな
いように、隣接する積層型圧電体素子５どうしを、平面
的に互に９０゜だけずらせて（回転させて）積み重ねる
とともに、積層型圧電体素子５の一つおきに、外部電極
４ａ，４ｂをリード線などの接続部材６で接続すること
により形成されている。
エータは、上記の積層型圧電体素子５を、その外部電極
４ａ，４ｂが形成された側面３ａ，３ｂと上・下面３
ｅ，３ｆから形成されるエッジ部の、外部電極４ａ，４
ｂの盛上り部分４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が、隣接す
る積層型圧電体素子５の上・下面３ｅ，３ｆと対向しな
いように、隣接する積層型圧電体素子５どうしを、平面
的に互に９０゜だけずらせて（回転させて）積み重ねる
とともに、積層型圧電体素子５の一つおきに、外部電極
４ａ，４ｂをリード線などの接続部材６で接続すること
により形成されている。
【００１６】上述のように、この積層型圧電アクチュエ
ータにおいては、内部電極２ａ，２ｂが引き出された２
つの側面３ａ，３ｂ間の距離が、他の２つの側面３ｃ，
３ｄ間の距離よりも大きくなるように直方体形状に構成
された積層型圧電体素子５を、平面的に互に９０゜ずら
せて（回転させて）積み重ねているので、外部電極４
ａ，４ｂのエッジ部における盛上り部分（こぶ）４
ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が、隣接する積層型圧電体素
子５の上・下面３ｅ，３ｆに当接することを確実に防止
することが可能になる。
ータにおいては、内部電極２ａ，２ｂが引き出された２
つの側面３ａ，３ｂ間の距離が、他の２つの側面３ｃ，
３ｄ間の距離よりも大きくなるように直方体形状に構成
された積層型圧電体素子５を、平面的に互に９０゜ずら
せて（回転させて）積み重ねているので、外部電極４
ａ，４ｂのエッジ部における盛上り部分（こぶ）４
ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が、隣接する積層型圧電体素
子５の上・下面３ｅ，３ｆに当接することを確実に防止
することが可能になる。
【００１７】したがって、エッジ部に外部電極４ａ，４
ｂの盛上り部分（こぶ）４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が
形成された積層型圧電体素子５を用いた場合にも、接合
の安定性に優れ、外力により破壊が生じたりすることが
なく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得るこ
とが可能になる。
ｂの盛上り部分（こぶ）４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が
形成された積層型圧電体素子５を用いた場合にも、接合
の安定性に優れ、外力により破壊が生じたりすることが
なく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得るこ
とが可能になる。
【００１８】なお、上記実施例の積層型圧電アクチュエ
ータにおいては、積層型圧電体素子を９０゜ずらせて
（回転させて）積み重ねているため、４つの側面に外部
電極４ａ，４ｂが位置することになるが、隣接する積層
型圧電体素子５間においては、上・下面の外部電極１４
ａ，１４ｂを介して接続が行われるため、図１，２に示
すように、対向する２つの面の外部電極４ａ，４ｂのみ
をリード線などの接続部材６で接続するだけで必要な電
気的接続を行うことができる。
ータにおいては、積層型圧電体素子を９０゜ずらせて
（回転させて）積み重ねているため、４つの側面に外部
電極４ａ，４ｂが位置することになるが、隣接する積層
型圧電体素子５間においては、上・下面の外部電極１４
ａ，１４ｂを介して接続が行われるため、図１，２に示
すように、対向する２つの面の外部電極４ａ，４ｂのみ
をリード線などの接続部材６で接続するだけで必要な電
気的接続を行うことができる。
【００１９】また、上記実施例では、隣接する積層型圧
電体素子５を、互に９０゜ずらせて（回転させて）積み
重ねた場合について説明したが、積層型圧電体素子５を
ずらせる（回転させる）角度は、９０゜に限られるもの
ではなく、外部電極４ａ，４ｂの盛上り部分（こぶ）４
ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が形成されるおそれのあるエ
ッジ部が、隣接する積層型圧電体素子５の上・下面３
ｅ，３ｆに対向（当接）することを防止できる範囲にお
いて、任意の角度だけずらせて（回転させて）積み重ね
ることが可能である。
電体素子５を、互に９０゜ずらせて（回転させて）積み
重ねた場合について説明したが、積層型圧電体素子５を
ずらせる（回転させる）角度は、９０゜に限られるもの
ではなく、外部電極４ａ，４ｂの盛上り部分（こぶ）４
ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2が形成されるおそれのあるエ
ッジ部が、隣接する積層型圧電体素子５の上・下面３
ｅ，３ｆに対向（当接）することを防止できる範囲にお
いて、任意の角度だけずらせて（回転させて）積み重ね
ることが可能である。
【００２０】また、上記実施例では、積層型圧電体素子
の形状を直方体形状（平面形状は長方形）とした場合に
ついて説明したが、積層型圧電体素子の形状はこれに限
らず、所定の角度だけずらせる（回転させる）ことによ
り、外部電極の盛上り部分が形成されるおそれのあるエ
ッジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下面と対向
（当接）しないようにすることが可能な範囲において、
種々の形状に構成することが可能である。
の形状を直方体形状（平面形状は長方形）とした場合に
ついて説明したが、積層型圧電体素子の形状はこれに限
らず、所定の角度だけずらせる（回転させる）ことによ
り、外部電極の盛上り部分が形成されるおそれのあるエ
ッジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下面と対向
（当接）しないようにすることが可能な範囲において、
種々の形状に構成することが可能である。
【００２１】なお、この発明は、その他の点においても
上記実施例に限定されるものではなく、積み重ねる積層
型圧電体素子の数、個々の積層型圧電体素子の構成（側
面の外部電極と上・下面の外部電極の接続構造など）や
具体的形状（寸法比）などに関し、発明の要旨の範囲内
において、種々の応用、変形を加えることが可能であ
る。
上記実施例に限定されるものではなく、積み重ねる積層
型圧電体素子の数、個々の積層型圧電体素子の構成（側
面の外部電極と上・下面の外部電極の接続構造など）や
具体的形状（寸法比）などに関し、発明の要旨の範囲内
において、種々の応用、変形を加えることが可能であ
る。
【００２２】
【発明の効果】上述のように、この発明の積層型圧電ア
クチュエータは、積層型圧電体素子の形状を、内部電極
が引き出された２つの側面間の距離が、他の側面間の距
離よりも大きい形状とし、かつ、積層型圧電体素子の外
部電極が形成された側面と上・下面から形成されるエッ
ジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下面と対向し
ないように、隣接する積層型圧電体素子を、平面的に互
に所定の角度だけずらせて積み重ねているので、外部電
極の盛上り部分が形成されるおそれのあるエッジ部が、
隣接する積層型圧電体素子の上・下面に対向（当接）す
ることを確実に防止することができる。
クチュエータは、積層型圧電体素子の形状を、内部電極
が引き出された２つの側面間の距離が、他の側面間の距
離よりも大きい形状とし、かつ、積層型圧電体素子の外
部電極が形成された側面と上・下面から形成されるエッ
ジ部が、隣接する積層型圧電体素子の上・下面と対向し
ないように、隣接する積層型圧電体素子を、平面的に互
に所定の角度だけずらせて積み重ねているので、外部電
極の盛上り部分が形成されるおそれのあるエッジ部が、
隣接する積層型圧電体素子の上・下面に対向（当接）す
ることを確実に防止することができる。
【００２３】したがって、エッジ部に外部電極の盛上り
部分（こぶ）が形成された積層型圧電体素子を用いた場
合にも、該盛上り部分が隣接する積層型圧電体素子の上
・下面に当接することを防止して、接合の安定性に優
れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性
の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能にな
る。
部分（こぶ）が形成された積層型圧電体素子を用いた場
合にも、該盛上り部分が隣接する積層型圧電体素子の上
・下面に当接することを防止して、接合の安定性に優
れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性
の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能にな
る。
【００２４】なお、積層型圧電体素子の形状を、平面形
状が長方形である直方体形状とし、かつ、隣接する積層
型圧電体素子を、平面的に互に約９０゜ずらせて積み重
ねることにより、この発明の積層型圧電アクチュエータ
を容易かつ確実に構成することができる。
状が長方形である直方体形状とし、かつ、隣接する積層
型圧電体素子を、平面的に互に約９０゜ずらせて積み重
ねることにより、この発明の積層型圧電アクチュエータ
を容易かつ確実に構成することができる。
【図１】この発明の一実施例にかかる積層型圧電アクチ
ュエータの構造を示す分解斜視図である。
ュエータの構造を示す分解斜視図である。
【図２】この発明の一実施例にかかる積層型圧電アクチ
ュエータの構造を示す側面図である。
ュエータの構造を示す側面図である。
【図３】この発明の一実施例にかかる積層型圧電アクチ
ュエータを構成する積層型圧電体素子を示す断面図であ
る。
ュエータを構成する積層型圧電体素子を示す断面図であ
る。
【図４】従来の積層型圧電アクチュエータを示す断面図
である。
である。
【図５】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図
である。
層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図
である。
【図６】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子を示す断面図である。
層型圧電体素子を示す断面図である。
１ 圧電体層 ２ａ，２ｂ 内部電極 ３ 積層体 ３ａ，３ｂ 積層体の内部電極が引き
出された側面 ３ｃ，３ｄ 積層体の他の側面 ３ｅ，３ｆ 積層体の上・下面 ４ａ，４ｂ 外部電極 ４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2 エッジ部における外部電
極の盛上り部分 ５ 積層型圧電体素子 ６ 接続部材（リード線） １４ａ，１４ｂ 積層体の上・下面の外
部電極
出された側面 ３ｃ，３ｄ 積層体の他の側面 ３ｅ，３ｆ 積層体の上・下面 ４ａ，４ｂ 外部電極 ４ａ1，４ｂ1，４ａ2，４ｂ2 エッジ部における外部電
極の盛上り部分 ５ 積層型圧電体素子 ６ 接続部材（リード線） １４ａ，１４ｂ 積層体の上・下面の外
部電極
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−367288（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 41/083
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の圧電体層と、圧電体層間に配設さ
れた内部電極と、内部電極が引き出された互に対向する
２つの側面、及び上・下面に形成された外部電極とを備
えてなる積層型圧電体素子を複数個積み重ねることによ
り形成される積層型圧電アクチュエータにおいて、 積層型圧電体素子の形状を、内部電極が引き出された２
つの側面間の距離が、他の側面間の距離よりも大きい形
状とし、かつ、 積層型圧電体素子の外部電極が形成された側面と上・下
面から形成されるエッジ部が、隣接する積層型圧電体素
子の上・下面と対向しないように、隣接する積層型圧電
体素子を、平面的に互に所定の角度だけずらせて積み重
ねたことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 積層型圧電体素子の形状を、平面形状が
長方形である直方体形状とし、かつ、隣接する積層型圧
電体素子を、平面的に互に約９０゜ずらせて積み重ねた
ことを特徴とする請求項１記載の積層型圧電アクチュエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5199230A JP3006356B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 積層型圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5199230A JP3006356B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 積層型圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0738167A JPH0738167A (ja) | 1995-02-07 |
| JP3006356B2 true JP3006356B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=16404323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5199230A Expired - Fee Related JP3006356B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 積層型圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3006356B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101556788B1 (ko) * | 2008-12-11 | 2015-10-01 | 주식회사 서진오토모티브 | 클러치용 댐퍼 및 그 제조방법 |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP5199230A patent/JP3006356B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101556788B1 (ko) * | 2008-12-11 | 2015-10-01 | 주식회사 서진오토모티브 | 클러치용 댐퍼 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0738167A (ja) | 1995-02-07 |
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