JP3004858B2 - 絶対測定用エンコーダ - Google Patents
絶対測定用エンコーダInfo
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- JP3004858B2 JP3004858B2 JP5344906A JP34490693A JP3004858B2 JP 3004858 B2 JP3004858 B2 JP 3004858B2 JP 5344906 A JP5344906 A JP 5344906A JP 34490693 A JP34490693 A JP 34490693A JP 3004858 B2 JP3004858 B2 JP 3004858B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、原点位置調整のための
基準位置信号を出力する機能、及び内部状態をモニタす
るためのデータ通信機能を有する絶対測定用エンコーダ
に関する。
基準位置信号を出力する機能、及び内部状態をモニタす
るためのデータ通信機能を有する絶対測定用エンコーダ
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、測長機,測角機等として用い
られる例えば静電容量式の絶対測定用エンコーダが知ら
れている。この種の絶対測定用エンコーダにおいて、保
守や内部定数設定等のためにデータの入出力機能を持た
せたものがある。また絶対原点位置や計数方向を変更す
るために基準位置信号を発生する機能を持たせたものが
ある。
られる例えば静電容量式の絶対測定用エンコーダが知ら
れている。この種の絶対測定用エンコーダにおいて、保
守や内部定数設定等のためにデータの入出力機能を持た
せたものがある。また絶対原点位置や計数方向を変更す
るために基準位置信号を発生する機能を持たせたものが
ある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このように、絶対測定
用エンコーダの機能が増えて、出力する情報量が増える
と、これに従い信号線の数も増える。一方、機器の小型
化が進むと、信号線接続部の占める割合が高くなり、信
号線の効率的な利用が要求されるようになっている。本
発明は、このような事情を考慮してなされたもので、信
号線の効率的利用により機器の小型化を可能とした絶対
測定用エンコーダを提供することを目的としている。
用エンコーダの機能が増えて、出力する情報量が増える
と、これに従い信号線の数も増える。一方、機器の小型
化が進むと、信号線接続部の占める割合が高くなり、信
号線の効率的な利用が要求されるようになっている。本
発明は、このような事情を考慮してなされたもので、信
号線の効率的利用により機器の小型化を可能とした絶対
測定用エンコーダを提供することを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、原点位置調整
のための基準位置信号を出力する基準位置信号発生手段
と、移動方向を決定するための2相方形波信号を出力す
る2相方形波信号出力手段と、内部状態をモニタするた
めのデータ入力手段及びデータ出力手段とを有する絶対
測定用エンコーダにおいて、基準位置信号出力線、2相
方形波信号出力線のうちいずれか一つとデータ出力信号
線とを共通信号線とし、動作モードに応じて前記データ
出力手段の出力端子と前記基準位置信号発生手段の出力
端子のいずれかを選択的に前記共通信号線に切替え接続
する切替え手段を有することを特徴としている。
のための基準位置信号を出力する基準位置信号発生手段
と、移動方向を決定するための2相方形波信号を出力す
る2相方形波信号出力手段と、内部状態をモニタするた
めのデータ入力手段及びデータ出力手段とを有する絶対
測定用エンコーダにおいて、基準位置信号出力線、2相
方形波信号出力線のうちいずれか一つとデータ出力信号
線とを共通信号線とし、動作モードに応じて前記データ
出力手段の出力端子と前記基準位置信号発生手段の出力
端子のいずれかを選択的に前記共通信号線に切替え接続
する切替え手段を有することを特徴としている。
【0005】本発明による絶対測定用エンコーダはま
た、それぞれ所定パターンの電極が配列形成されて相対
移動するメインスケールとピックアップを有し、それら
の対向位置により異なる静電容量を検出することにより
絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検出手段と、
この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、入力
されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理を行
うデータ処理手段と、データ処理結果をシリアルデータ
として出力するデータ出力手段と、前記絶対変位検出手
段と一体形成されて前記スケール及びピックアップ上の
基準位置パターンを光電的に検出する光電検出手段と、
この光電検出手段の出力を処理して基準位置信号を出力
する基準位置信号発生手段と、動作モードに応じてこの
基準位置信号発生手段の出力端子と前記データ出力手段
の出力端子のいずれかを選択的に共通信号線に接続する
切替え手段とを有することを特徴とする。
た、それぞれ所定パターンの電極が配列形成されて相対
移動するメインスケールとピックアップを有し、それら
の対向位置により異なる静電容量を検出することにより
絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検出手段と、
この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、入力
されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理を行
うデータ処理手段と、データ処理結果をシリアルデータ
として出力するデータ出力手段と、前記絶対変位検出手
段と一体形成されて前記スケール及びピックアップ上の
基準位置パターンを光電的に検出する光電検出手段と、
この光電検出手段の出力を処理して基準位置信号を出力
する基準位置信号発生手段と、動作モードに応じてこの
基準位置信号発生手段の出力端子と前記データ出力手段
の出力端子のいずれかを選択的に共通信号線に接続する
切替え手段とを有することを特徴とする。
【0006】本発明による絶対測定用エンコーダはま
た、それぞれ所定パターンの電極が配列形成されて相対
移動するメインスケールとピックアップを有し、それら
の対向位置により異なる静電容量を検出することにより
絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検出手段と、
この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、入力
されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理を行
うデータ処理手段と、データ処理結果をシリアルデータ
として出力するデータ出力手段と、前記絶対変位検出手
段と一体形成されて前記スケール上のパターンを光電的
に検出して移動方向を決定するための2相方形波信号を
出力する光電検出手段と、この光電検出手段の出力及び
前記絶対変位検出手段の出力を処理して基準位置信号を
出力する基準位置信号発生手段と、動作モードに応じて
前記2相方形波信号の出力端子のいずれか一方と前記デ
ータ出力手段の出力端子のいずれかを選択して共通信号
線に接続する切替え手段とを有することを特徴とする。
た、それぞれ所定パターンの電極が配列形成されて相対
移動するメインスケールとピックアップを有し、それら
の対向位置により異なる静電容量を検出することにより
絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検出手段と、
この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、入力
されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理を行
うデータ処理手段と、データ処理結果をシリアルデータ
として出力するデータ出力手段と、前記絶対変位検出手
段と一体形成されて前記スケール上のパターンを光電的
に検出して移動方向を決定するための2相方形波信号を
出力する光電検出手段と、この光電検出手段の出力及び
前記絶対変位検出手段の出力を処理して基準位置信号を
出力する基準位置信号発生手段と、動作モードに応じて
前記2相方形波信号の出力端子のいずれか一方と前記デ
ータ出力手段の出力端子のいずれかを選択して共通信号
線に接続する切替え手段とを有することを特徴とする。
【0007】
【作用】本発明によると、データ出力信号線を、基準位
置信号出力線あるいは2相方形波信号線の一つと共通信
号線として、これらを通常動作モードとデータ入出力モ
ードとで切替えて使用するようにしている。基準位置信
号線や2相方形波信号線はエンコーダの通常使用時に必
要な信号を出力するために用いられ、一方データ出力信
号線は、内部状態をモニタするためにデータの入出力を
行うときにのみ使用されるから、これらを共有として、
機器の使用状態に応じて使い分けることにより、信号線
の数を減らすことができる。
置信号出力線あるいは2相方形波信号線の一つと共通信
号線として、これらを通常動作モードとデータ入出力モ
ードとで切替えて使用するようにしている。基準位置信
号線や2相方形波信号線はエンコーダの通常使用時に必
要な信号を出力するために用いられ、一方データ出力信
号線は、内部状態をモニタするためにデータの入出力を
行うときにのみ使用されるから、これらを共有として、
機器の使用状態に応じて使い分けることにより、信号線
の数を減らすことができる。
【0008】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図1は本発明の一実施例に係る絶対測定用リニ
アエンコーダの構成であり、図2はその検出器本体部の
構成である。検出器本体は、それぞれ所定パターンの電
極が配列形成されて相対移動するメインスケール1とピ
ックアップ(スライダ)2とから構成される。ピックア
ップ2上にはそれぞれ所定パターンの送信電極5と受信
電極6が形成されている。メインスケール1上にはそれ
ぞれ所定パターンの第1伝達電極3とこれに電気的につ
ながる第2伝達電極4が形成されている。
明する。図1は本発明の一実施例に係る絶対測定用リニ
アエンコーダの構成であり、図2はその検出器本体部の
構成である。検出器本体は、それぞれ所定パターンの電
極が配列形成されて相対移動するメインスケール1とピ
ックアップ(スライダ)2とから構成される。ピックア
ップ2上にはそれぞれ所定パターンの送信電極5と受信
電極6が形成されている。メインスケール1上にはそれ
ぞれ所定パターンの第1伝達電極3とこれに電気的につ
ながる第2伝達電極4が形成されている。
【0009】ピックアップ2上の送信電極5とメインス
ケール1上の第1伝達電極3とは、ピックアップ2とメ
インスケール1の相対位置により異なる容量結合状態と
なり、またメインスケール1上の第2伝達電極4とピッ
クアップ2上の受信電極6とが容量結合している。送信
電極5に所定の駆動信号を供給して受信電極6から検出
される信号を検出回路11で処理することにより、メイ
ンスケール1とピックアップ2の相対位置により決まる
容量結合の大きさから、絶対変位量(位置)検出が可能
となっている。この静電容量式変位測定の原理は例え
ば、本出願人による特願平2−132434号あるいは
特願平2−169654号等に記載されている。
ケール1上の第1伝達電極3とは、ピックアップ2とメ
インスケール1の相対位置により異なる容量結合状態と
なり、またメインスケール1上の第2伝達電極4とピッ
クアップ2上の受信電極6とが容量結合している。送信
電極5に所定の駆動信号を供給して受信電極6から検出
される信号を検出回路11で処理することにより、メイ
ンスケール1とピックアップ2の相対位置により決まる
容量結合の大きさから、絶対変位量(位置)検出が可能
となっている。この静電容量式変位測定の原理は例え
ば、本出願人による特願平2−132434号あるいは
特願平2−169654号等に記載されている。
【0010】このような静電容量式絶対変位検出器本体
に、基準位置信号発生のために用いられる光電式の位置
検出器が一体形成されている。即ちピックアップ2に一
体的にスリット板7が取り付けられ、これに点光源とな
る一つの発光ダイオード8と、これを取り囲む4個の受
光ダイオード91 〜94 が設けられている。メインスケ
ール1及びピックアップ2上には基準位置パターンが形
成されていて、発光ダイオード8からの拡散光がこれに
照射され、変調されたその反射光は4個の受光ダイオー
ド91 〜94 により検出される。
に、基準位置信号発生のために用いられる光電式の位置
検出器が一体形成されている。即ちピックアップ2に一
体的にスリット板7が取り付けられ、これに点光源とな
る一つの発光ダイオード8と、これを取り囲む4個の受
光ダイオード91 〜94 が設けられている。メインスケ
ール1及びピックアップ2上には基準位置パターンが形
成されていて、発光ダイオード8からの拡散光がこれに
照射され、変調されたその反射光は4個の受光ダイオー
ド91 〜94 により検出される。
【0011】4個の受光ダイオード91 〜94 は、スケ
ール1とピックアップ2間のギャップの不均一や温度変
動の影響を除いて、スケール移動にともなって所定ピッ
チの正弦波信号を得るために設けられている。これらの
受光ダイオード91 〜94 の出力信号を処理してスケー
ル移動方向を決定するための2相方形波信号を出力する
のが、光電式検出回路12であり、その出力から位置基
準信号Yを発生するのが基準位置信号発生回路17であ
る。この光電式の位置検出の原理は例えば、特開平1−
187413号に記載されたものと同じであり、詳細説
明は省略する。
ール1とピックアップ2間のギャップの不均一や温度変
動の影響を除いて、スケール移動にともなって所定ピッ
チの正弦波信号を得るために設けられている。これらの
受光ダイオード91 〜94 の出力信号を処理してスケー
ル移動方向を決定するための2相方形波信号を出力する
のが、光電式検出回路12であり、その出力から位置基
準信号Yを発生するのが基準位置信号発生回路17であ
る。この光電式の位置検出の原理は例えば、特開平1−
187413号に記載されたものと同じであり、詳細説
明は省略する。
【0012】この絶対測定用エンコーダは、内部状態の
チェックや内部定数設定のために、外部端末との間でシ
リアルデータの授受を行う機能を有する。そのために図
1に示すように、入力端子がデータ入力信号線20につ
ながるシリアルデータ入力回路14、入力されたデータ
に基づいて所定のデータ処理を行うデータ処理回路1
3、及び処理結果を出力するシリアルデータ出力回路1
6を有する。データ処理回路13の出力にはまた、シリ
アルデータの出力が必要か否かを判定するデータ出力判
定回路15が設けられている。このデータ入出力機能は
通常ユーザーが使用するものではなく、保守点検や出荷
前の内部定数設定のために用いられるものである。
チェックや内部定数設定のために、外部端末との間でシ
リアルデータの授受を行う機能を有する。そのために図
1に示すように、入力端子がデータ入力信号線20につ
ながるシリアルデータ入力回路14、入力されたデータ
に基づいて所定のデータ処理を行うデータ処理回路1
3、及び処理結果を出力するシリアルデータ出力回路1
6を有する。データ処理回路13の出力にはまた、シリ
アルデータの出力が必要か否かを判定するデータ出力判
定回路15が設けられている。このデータ入出力機能は
通常ユーザーが使用するものではなく、保守点検や出荷
前の内部定数設定のために用いられるものである。
【0013】データ出力回路16の出力端子と基準位置
信号発生回路17の出力端子は、出力判定回路15によ
り制御される切替え回路18により選択されて共通信号
線21に接続される。この共通信号線21は、データ出
力信号線兼基準位置出力信号線となっている。また光電
式検出回路12のデータから得られる移動方向を決定す
るために用いられる2相方形波信号X0 ,X1 は、それ
ぞれ2相方形波信号出力線22から出力される。なおシ
リアルデータとして出力する情報には、光電式検出回路
12の情報を含む場合もある。具体的にこれらのシリア
ルデータ情報として、静電容量式検出回路11と光電
式検出回路12の各位置データ、またはこれらを合成し
た位置データ、各検出回路の自己診断結果、データ
処理回路13自身の自己診断結果等も含まれる。
信号発生回路17の出力端子は、出力判定回路15によ
り制御される切替え回路18により選択されて共通信号
線21に接続される。この共通信号線21は、データ出
力信号線兼基準位置出力信号線となっている。また光電
式検出回路12のデータから得られる移動方向を決定す
るために用いられる2相方形波信号X0 ,X1 は、それ
ぞれ2相方形波信号出力線22から出力される。なおシ
リアルデータとして出力する情報には、光電式検出回路
12の情報を含む場合もある。具体的にこれらのシリア
ルデータ情報として、静電容量式検出回路11と光電
式検出回路12の各位置データ、またはこれらを合成し
た位置データ、各検出回路の自己診断結果、データ
処理回路13自身の自己診断結果等も含まれる。
【0014】このような構成として、例えば測長機とし
て通常の使用を行う通常動作モードでは、切替え回路1
8は、共通信号線21につながる端子Cが基準位置信号
発生回路17側の端子Bに接続されるように接点が切替
えられており、基準位置信号が共通信号線21に出力さ
れる。内部状態チェックのためにシリアルデータの入出
力を行うデータ入出力モードでは、外部からシリアルデ
ータが入力され、データ処理回路13で所定の処理がな
される。このとき出力判定回路15はデータ入出力処理
を行っていることを判定して切替え回路18を制御す
る。これにより切替え回路18は、共通信号線21につ
ながる端子Cが基準シリアルデータ出力回路16側の端
子Aに接続されるように接点が自動的に切替えられ、シ
リアル出力データが共通信号線21に出力される。
て通常の使用を行う通常動作モードでは、切替え回路1
8は、共通信号線21につながる端子Cが基準位置信号
発生回路17側の端子Bに接続されるように接点が切替
えられており、基準位置信号が共通信号線21に出力さ
れる。内部状態チェックのためにシリアルデータの入出
力を行うデータ入出力モードでは、外部からシリアルデ
ータが入力され、データ処理回路13で所定の処理がな
される。このとき出力判定回路15はデータ入出力処理
を行っていることを判定して切替え回路18を制御す
る。これにより切替え回路18は、共通信号線21につ
ながる端子Cが基準シリアルデータ出力回路16側の端
子Aに接続されるように接点が自動的に切替えられ、シ
リアル出力データが共通信号線21に出力される。
【0015】出力判定回路15による切替え回路18の
制御のアルゴリズムは例えば、図3のようになる。電源
がオンになると、切替え回路18では基準位置信号を発
生する通常動作モード(B−C接続)となる(S1
1)。そしてシリアルデータ通信を行うか否かを、例え
ば外部から入力されるシリアルデータあるいはこれに含
まれるデータ要求信号等に基づいて出力判定回路15が
判定する(S12)。シリアルデータ通信を行わない通
常動作では、前述のように基準位置信号が出力される。
シリアルデータ通信を行う場合には、その判定結果によ
り切替え回路18はシリアルデータ通信モード(A−C
接続)になる(S13)。そしてシリアルデータ通信が
終了すると(S14)、自動的に通常動作モードに切替
えられる(S15)。
制御のアルゴリズムは例えば、図3のようになる。電源
がオンになると、切替え回路18では基準位置信号を発
生する通常動作モード(B−C接続)となる(S1
1)。そしてシリアルデータ通信を行うか否かを、例え
ば外部から入力されるシリアルデータあるいはこれに含
まれるデータ要求信号等に基づいて出力判定回路15が
判定する(S12)。シリアルデータ通信を行わない通
常動作では、前述のように基準位置信号が出力される。
シリアルデータ通信を行う場合には、その判定結果によ
り切替え回路18はシリアルデータ通信モード(A−C
接続)になる(S13)。そしてシリアルデータ通信が
終了すると(S14)、自動的に通常動作モードに切替
えられる(S15)。
【0016】以上の動作モード切替え制御は例えば、端
末からのシリアルデータに通信終了コマンドを乗せて、
図4のような制御フローによってもよい。電源がオンに
なると、切替え回路18では基準位置信号を発生する通
常動作モード(B−C接続)となる(S21)。そして
通信終了コマンド検出を行い(S22)、コマンド検出
がされず、シリアルデータ通信が判定されると(S2
4)、その判定結果により切替え回路18はシリアルデ
ータ通信モード(A−C接続)になり(S25)、シリ
アルデータ送信がなされる(S26)。ステップS22
で通信終了コマンドが検出されると、この検出結果によ
り通常動作モードへの切替えがなされる(S23)。
末からのシリアルデータに通信終了コマンドを乗せて、
図4のような制御フローによってもよい。電源がオンに
なると、切替え回路18では基準位置信号を発生する通
常動作モード(B−C接続)となる(S21)。そして
通信終了コマンド検出を行い(S22)、コマンド検出
がされず、シリアルデータ通信が判定されると(S2
4)、その判定結果により切替え回路18はシリアルデ
ータ通信モード(A−C接続)になり(S25)、シリ
アルデータ送信がなされる(S26)。ステップS22
で通信終了コマンドが検出されると、この検出結果によ
り通常動作モードへの切替えがなされる(S23)。
【0017】図5は本発明の別の実施例の構成である。
図1と対応する部分には図1と同一符号を付して詳細な
説明は省く。上の実施例では、メインスケール1とピッ
クアップ2上に基準位置コードパターンが形成されてい
て、光電検出回路12の出力から直接基準位置信号Yが
得られる場合を説明した。この実施例では特別の基準位
置コードパターンがなく、静電容量式検出回路11で上
位桁を得、光電式検出回路12で下位桁を得て、基準位
置信号発生回路17はこれらを合成することにより基準
位置信号Yを出力する場合を示している。
図1と対応する部分には図1と同一符号を付して詳細な
説明は省く。上の実施例では、メインスケール1とピッ
クアップ2上に基準位置コードパターンが形成されてい
て、光電検出回路12の出力から直接基準位置信号Yが
得られる場合を説明した。この実施例では特別の基準位
置コードパターンがなく、静電容量式検出回路11で上
位桁を得、光電式検出回路12で下位桁を得て、基準位
置信号発生回路17はこれらを合成することにより基準
位置信号Yを出力する場合を示している。
【0018】またこの実施例では、基準位置信号Yは、
切替え回路を通らず基準位置信号出力線23に出力され
る。切替え回路18は、光電式検出回路12から得られ
る2相方形波信号X0 ,X1 のうちの一方X0 とシリア
ルデータ出力とを切替えて共通信号線24に出力し、残
りの方形波信号X1 はそのまま方形波信号出力線25に
出すようにしている。この実施例によっても先の実施例
と同様に信号線の共有によるエンコーダの小型化という
効果が得られる。
切替え回路を通らず基準位置信号出力線23に出力され
る。切替え回路18は、光電式検出回路12から得られ
る2相方形波信号X0 ,X1 のうちの一方X0 とシリア
ルデータ出力とを切替えて共通信号線24に出力し、残
りの方形波信号X1 はそのまま方形波信号出力線25に
出すようにしている。この実施例によっても先の実施例
と同様に信号線の共有によるエンコーダの小型化という
効果が得られる。
【0019】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、シリ
アルデータ出力信号線と基準位置信号出力線あるいは2
相方形波信号出力線とを共用することにより、信号線を
減らして、絶対測定用エンコーダの小型化を図ることが
できる。
アルデータ出力信号線と基準位置信号出力線あるいは2
相方形波信号出力線とを共用することにより、信号線を
減らして、絶対測定用エンコーダの小型化を図ることが
できる。
【図1】 本発明の一実施例の絶対変位測定用エンコー
ダの構成を示す。
ダの構成を示す。
【図2】 同実施例の検出器本体部の構成を示す。
【図3】 同実施例のモード切替え制御アルゴリズムを
示す。
示す。
【図4】 他のモード切替え制御アルゴリズムを示す。
【図5】 他の実施例の絶対変位測定用エンコーダの構
成を示す。
成を示す。
1…メインスケール、2…ピックアップ、3…第1伝達
電極、4…第2伝達電極、5…送信電極、6…受信電
極、7…スリット板、8…発光ダイオード、91 〜94
…受光ダイオード、11…静電容量式検出回路、12…
光電式検出回路、13…データ処理回路、14…データ
入力回路、15…出力判定回路15、16…データ出力
回路、17…基準位置信号発生回路、18…切替え回
路、20…データ入力信号線、21,24…共通信号
線。
電極、4…第2伝達電極、5…送信電極、6…受信電
極、7…スリット板、8…発光ダイオード、91 〜94
…受光ダイオード、11…静電容量式検出回路、12…
光電式検出回路、13…データ処理回路、14…データ
入力回路、15…出力判定回路15、16…データ出力
回路、17…基準位置信号発生回路、18…切替え回
路、20…データ入力信号線、21,24…共通信号
線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−297817(JP,A) 特開 平5−71985(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/00 - 5/62
Claims (3)
- 【請求項1】 原点位置調整のための基準位置信号を出
力する基準位置信号発生手段と、移動方向を決定するた
めの2相方形波信号を出力する2相方形波信号出力手段
と、内部状態をモニタするためのデータ入力手段及びデ
ータ出力手段とを有する絶対測定用エンコーダにおい
て、 基準位置信号出力線、2相方形波信号出力線のうちいず
れか一つとデータ出力信号線とを共通信号線とし、 動作モードに応じて前記データ出力手段の出力端子と前
記基準位置信号発生手段の出力端子のいずれかを選択し
て前記共通信号線に切替え接続する切替え手段を有する
ことを特徴とする絶対測定用エンコーダ。 - 【請求項2】 それぞれ所定パターンの電極が配列形成
されて相対移動するメインスケールとピックアップを有
し、それらの対向位置により異なる静電容量を検出する
ことにより絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検
出手段と、 この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、 入力されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理
を行うデータ処理手段と、 データ処理結果をシリアルデータとして出力するデータ
出力手段と、 前記絶対変位検出手段と一体形成されて前記スケール及
びピックアップ上に形成された基準位置パターンを光電
的に検出する光電検出手段と、 この光電検出手段の出力を処理して基準位置信号を出力
する基準位置信号発生手段と、 動作モードに応じて前記基準位置信号発生手段の出力端
子と前記データ出力手段の出力端子のいずれかを選択し
て共通信号線に接続する切替え手段とを有することを特
徴とする絶対測定用エンコーダ。 - 【請求項3】 それぞれ所定パターンの電極が配列形成
されて相対移動するメインスケールとピックアップを有
し、それらの対向位置により異なる静電容量を検出する
ことにより絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検
出手段と、 この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、 入力されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理
を行うデータ処理手段と、 データ処理結果をシリアルデータとして出力するデータ
出力手段と、 前記絶対変位検出手段と一体形成されて前記スケール上
のパターンを光電的に検出して移動方向を決定するため
の2相方形波信号を出力する光電検出手段と、 この光電検出手段の出力と前記絶対変位検出手段の出力
を処理して基準位置信号を出力する基準位置信号発生手
段と、 動作モードに応じて前記2相方形波信号の出力端子のい
ずれか一方と前記データ出力手段の出力端子のいずれか
を選択して共通信号線に接続する切替え手段とを有する
ことを特徴とする絶対測定用エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5344906A JP3004858B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 絶対測定用エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5344906A JP3004858B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 絶対測定用エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07174582A JPH07174582A (ja) | 1995-07-14 |
JP3004858B2 true JP3004858B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=18372912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5344906A Expired - Fee Related JP3004858B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 絶対測定用エンコーダ |
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---|---|
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JP2006311719A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | モータ制御システム |
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-
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