JP2996109B2 - NOxセンサおよびNOx検出方法 - Google Patents
NOxセンサおよびNOx検出方法Info
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- JP2996109B2 JP2996109B2 JP6266982A JP26698294A JP2996109B2 JP 2996109 B2 JP2996109 B2 JP 2996109B2 JP 6266982 A JP6266982 A JP 6266982A JP 26698294 A JP26698294 A JP 26698294A JP 2996109 B2 JP2996109 B2 JP 2996109B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、窒素酸化物(以下NO
x)の濃度を検出するNOxセンサおよびその検出方法
に関する。
x)の濃度を検出するNOxセンサおよびその検出方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、家庭用燃焼機器や自動車などの内
燃機関から排出されるNOxは、人体に有害であるだけ
でなく、大気汚染や酸性雨など地球環境の破壊の原因と
もなり、NOxを正確かつ迅速に検出する技術の確立が
強く望まれており、電解質を用いたNOxセンサの利用
が多くなってきている。
燃機関から排出されるNOxは、人体に有害であるだけ
でなく、大気汚染や酸性雨など地球環境の破壊の原因と
もなり、NOxを正確かつ迅速に検出する技術の確立が
強く望まれており、電解質を用いたNOxセンサの利用
が多くなってきている。
【0003】従来、この種のNOxセンサは特開平6−
18480号公報に示すような構成が一般的であった。
以下、その構成について図面に基づいて説明する。
18480号公報に示すような構成が一般的であった。
以下、その構成について図面に基づいて説明する。
【0004】図8に示すように、従来のNOxセンサ
は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質1、例えば安
定化ジルコニアなどで、中央で壁13により2つの空間
に分けられたチャンバー14および15を形成し、壁1
3を間に挟むように、NOx分解特性を有する触媒材
料、例えば白金などで、一対の異なる面積の電極2およ
び3、あるいはNOx分解速度が異なる材料、例えば白
金とロジウムなどで、一対の同じ面積の電極を形成する
構成のセンサ素子から成っていた。このNOxセンサは
チャンバー14および15内にNOxが導入されると、
触媒作用による各電極2および3での分解速度が非対称
的となり電位差が生じ、この電極間の電位差を電圧計1
6により測定し、NOx濃度を求める検出方法であっ
た。
は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質1、例えば安
定化ジルコニアなどで、中央で壁13により2つの空間
に分けられたチャンバー14および15を形成し、壁1
3を間に挟むように、NOx分解特性を有する触媒材
料、例えば白金などで、一対の異なる面積の電極2およ
び3、あるいはNOx分解速度が異なる材料、例えば白
金とロジウムなどで、一対の同じ面積の電極を形成する
構成のセンサ素子から成っていた。このNOxセンサは
チャンバー14および15内にNOxが導入されると、
触媒作用による各電極2および3での分解速度が非対称
的となり電位差が生じ、この電極間の電位差を電圧計1
6により測定し、NOx濃度を求める検出方法であっ
た。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では、動作温度が変化した場合、例えば温度
分布が存在する雰囲気でセンサの配置箇所が変化した場
合、指定された動作温度と異なる温度で使用する場合あ
るいはヒーターに劣化などの異常が生じた場合など、固
体電解質のバルク抵抗や触媒によるNOx分解速度など
が変動するため、電位差とNOx濃度の関係が崩れ、正
確なNOx濃度を求めることができないという問題を有
していた。
ような構成では、動作温度が変化した場合、例えば温度
分布が存在する雰囲気でセンサの配置箇所が変化した場
合、指定された動作温度と異なる温度で使用する場合あ
るいはヒーターに劣化などの異常が生じた場合など、固
体電解質のバルク抵抗や触媒によるNOx分解速度など
が変動するため、電位差とNOx濃度の関係が崩れ、正
確なNOx濃度を求めることができないという問題を有
していた。
【0006】また、被測定ガス中に酸素が含まれる場
合、電極上での触媒作用によるNOxの分解が酸素によ
り阻害されるため、正確なNOx濃度を求めることがで
きないという問題を有していた。
合、電極上での触媒作用によるNOxの分解が酸素によ
り阻害されるため、正確なNOx濃度を求めることがで
きないという問題を有していた。
【0007】また、従来の構成において、測定中にチャ
ンバー内でリード線が断線したり、電極が剥離するなど
センサ素子に異常が生じたとき、その状況をすぐに確認
することはできず、点検するために温度を下げてセンサ
素子を分解するといった手間がかかるという問題を有し
ていた。
ンバー内でリード線が断線したり、電極が剥離するなど
センサ素子に異常が生じたとき、その状況をすぐに確認
することはできず、点検するために温度を下げてセンサ
素子を分解するといった手間がかかるという問題を有し
ていた。
【0008】本発明は、かかる従来の問題点を解消する
もので、動作温度が変化したり、被測定ガス中に酸素が
含まれている場合でも、それに対応して正確なNOx濃
度を求め、さらにセンサ素子に異常が生じた場合には、
その状況を判断、警告し、測定を中断するNOxセンサ
およびその検出方法を提供することを目的とする。
もので、動作温度が変化したり、被測定ガス中に酸素が
含まれている場合でも、それに対応して正確なNOx濃
度を求め、さらにセンサ素子に異常が生じた場合には、
その状況を判断、警告し、測定を中断するNOxセンサ
およびその検出方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のNOxセンサおよびNOx検出方法は、下
記構成または方法とした。
に、本発明のNOxセンサおよびNOx検出方法は、下
記構成または方法とした。
【0010】すなわち、電解質と、第1の電極と、第2
の電極とで構成されるセンサ素子と、インピーダンス測
定器と、酸素濃度検出手段と、インピーダンスと酸素濃
度からNOx濃度を求める演算手段とから成る構成とし
た。
の電極とで構成されるセンサ素子と、インピーダンス測
定器と、酸素濃度検出手段と、インピーダンスと酸素濃
度からNOx濃度を求める演算手段とから成る構成とし
た。
【0011】また、電解質と、前記電解質に対句して設
けられた第1の電極と第2の電極とで構成されるセンサ
素子と、前記電極間のインピーダンス測定器と、インピ
ーダンスからNOx濃度を計算する演算手段とを備え、
前記第1の電極は、貴金属あるいはNOx吸着性化合物
のうち少なくとも一つを含む材料から成り、前記電解質
の片面に形成され、前記第2の電極は、前記第1の電極
と同じ材料から成り、前記電解質のもう一方の面に前記
第1の電極と対向するように形成される構成とした。
けられた第1の電極と第2の電極とで構成されるセンサ
素子と、前記電極間のインピーダンス測定器と、インピ
ーダンスからNOx濃度を計算する演算手段とを備え、
前記第1の電極は、貴金属あるいはNOx吸着性化合物
のうち少なくとも一つを含む材料から成り、前記電解質
の片面に形成され、前記第2の電極は、前記第1の電極
と同じ材料から成り、前記電解質のもう一方の面に前記
第1の電極と対向するように形成される構成とした。
【0012】また、電解質と、第1の電極と、第2の電
極と、参照電極とで構成されるセンサ素子と、前記セン
サ素子の前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流
電圧を印加して前記第1の電極と前記参照電極の間のイ
ンピーダンスを測定するインピーダンス測定器と、イン
ピーダンスからNOx濃度を求める演算手段とから成る
構成とした。
極と、参照電極とで構成されるセンサ素子と、前記セン
サ素子の前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流
電圧を印加して前記第1の電極と前記参照電極の間のイ
ンピーダンスを測定するインピーダンス測定器と、イン
ピーダンスからNOx濃度を求める演算手段とから成る
構成とした。
【0013】また、前記第1の電極は、貴金属あるいは
NOx吸着性化合物のうち少なくとも一つを含む材料か
ら成り、前記電解質の片面に形成され、前記第2の電極
および前記参照電極は、導電性材料から成り、前記第2
の電極は、前記電解質のもう一方の面に前記第1の電極
と対向するように形成される構成とした。
NOx吸着性化合物のうち少なくとも一つを含む材料か
ら成り、前記電解質の片面に形成され、前記第2の電極
および前記参照電極は、導電性材料から成り、前記第2
の電極は、前記電解質のもう一方の面に前記第1の電極
と対向するように形成される構成とした。
【0014】また、前記NOx吸着性化合物は、Ba2
YCu3O7型構造を有する構成とした。
YCu3O7型構造を有する構成とした。
【0015】また、電解質と、複数の電極とで構成され
るセンサ素子と、ヒーターと、直流電源と、インピーダ
ンス測定器と、インピーダンスからNOx濃度を求める
演算手段と、バルク抵抗が指定した範囲内にあるかどう
かを判断する比較手段と、異常を警告する信号手段と、
前記直流電源を切り、インピーダンス測定を中断する停
止手段とから成る構成とした。
るセンサ素子と、ヒーターと、直流電源と、インピーダ
ンス測定器と、インピーダンスからNOx濃度を求める
演算手段と、バルク抵抗が指定した範囲内にあるかどう
かを判断する比較手段と、異常を警告する信号手段と、
前記直流電源を切り、インピーダンス測定を中断する停
止手段とから成る構成とした。
【0016】また、前記電解質は、酸素イオン伝導性を
有する固体電解質基板である構成とした。
有する固体電解質基板である構成とした。
【0017】また、インピーダンス測定器により電解質
と、第1の電極と、第2の電極とで構成されるセンサ素
子の前記第1の電極と前記第2の電極の間のインピーダ
ンスを測定し、演算手段により前記インピーダンスから
バルク抵抗および電極抵抗を求め、前記バルク抵抗に対
応する温度を求め、前記電極抵抗と前記温度に対応する
NOx濃度を求める方法とした。
と、第1の電極と、第2の電極とで構成されるセンサ素
子の前記第1の電極と前記第2の電極の間のインピーダ
ンスを測定し、演算手段により前記インピーダンスから
バルク抵抗および電極抵抗を求め、前記バルク抵抗に対
応する温度を求め、前記電極抵抗と前記温度に対応する
NOx濃度を求める方法とした。
【0018】また、インピーダンス測定器により電解質
と、第1の電極と、第2の電極とで構成されるセンサ素
子の前記第1の電極と前記第2の電極の間のインピーダ
ンスを測定し、酸素濃度検出手段により酸素濃度を検出
し、演算手段により前記インピーダンスからバルク抵抗
および電極抵抗を求め、前記バルク抵抗に対応する温度
を求め、前記酸素濃度と前記電極抵抗および前記温度に
対応する方法とした。
と、第1の電極と、第2の電極とで構成されるセンサ素
子の前記第1の電極と前記第2の電極の間のインピーダ
ンスを測定し、酸素濃度検出手段により酸素濃度を検出
し、演算手段により前記インピーダンスからバルク抵抗
および電極抵抗を求め、前記バルク抵抗に対応する温度
を求め、前記酸素濃度と前記電極抵抗および前記温度に
対応する方法とした。
【0019】また、電解質と、第1の電極と、第2の電
極と、参照電極とで構成されるセンサ素子の前記第1の
電極と前記第2の電極との間に交流電圧を印加して前記
第1の電極と前記参照電極の間のインピーダンスをイン
ピーダンス測定器により測定し、演算手段により前記イ
ンピーダンスからバルク抵抗および電極抵抗を求め、前
記バルク抵抗に対応する温度を求め、前記電極抵抗と前
記温度に対応する方法とした。
極と、参照電極とで構成されるセンサ素子の前記第1の
電極と前記第2の電極との間に交流電圧を印加して前記
第1の電極と前記参照電極の間のインピーダンスをイン
ピーダンス測定器により測定し、演算手段により前記イ
ンピーダンスからバルク抵抗および電極抵抗を求め、前
記バルク抵抗に対応する温度を求め、前記電極抵抗と前
記温度に対応する方法とした。
【0020】また、電解質と、複数の電極とで構成され
るセンサ素子をヒーターで所定の温度に加熱保持し、イ
ンピーダンス測定器により前記電極間のインピーダンス
を測定し、演算手段により前記インピーダンスからバル
ク抵抗および電極抵抗を求め、比較手段により、前記バ
ルク抵抗が指定した範囲内にあるかどうかを判断し、範
囲内であれば、前記演算手段により前記電極抵抗に対応
するNOx濃度を求め、範囲外であれば、前記ヒーター
あるいは前記センサ素子の異常を信号手段により警告
し、停止手段により前記ヒーターに電圧を供給している
直流電源を切り、インピーダンスの測定を中断する方法
とした。
るセンサ素子をヒーターで所定の温度に加熱保持し、イ
ンピーダンス測定器により前記電極間のインピーダンス
を測定し、演算手段により前記インピーダンスからバル
ク抵抗および電極抵抗を求め、比較手段により、前記バ
ルク抵抗が指定した範囲内にあるかどうかを判断し、範
囲内であれば、前記演算手段により前記電極抵抗に対応
するNOx濃度を求め、範囲外であれば、前記ヒーター
あるいは前記センサ素子の異常を信号手段により警告
し、停止手段により前記ヒーターに電圧を供給している
直流電源を切り、インピーダンスの測定を中断する方法
とした。
【0021】
【作用】一般に固体電解質と電極から成る系は、図9に
示すような等価回路で近似することができ、その複素イ
ンピーダンスZは、次式のように表される。
示すような等価回路で近似することができ、その複素イ
ンピーダンスZは、次式のように表される。
【0022】
【数1】
【0023】ここで、Z’およびZ”はそれぞれ複素イ
ンピーダンスZのレジスタンス成分およびリアクタンス
成分である。またZb、Zgb、Zeはそれぞれバルク、粒
界、電極のインピーダンスであり、添付文字のb、g
b、eはそれぞれバルク、粒界、電極を示している。ま
たR、C、ωおよびαはそれぞれ抵抗成分、容量成分、
角周波数およびデプレッション・ファクターを表し、ω
0は共鳴角周波数を示している。一般に、Z’に対し、
Z”をプロットすると図10に示すような3つの円弧か
ら成る曲線が得られる。図10の左の円弧から順にバル
ク、粒界、電極に基づくインピーダンスを表しており、
角周波数ωの増加とともに電極、粒界、バルクの順で現
れ、各円弧の頂点における角周波数はそれぞれの共鳴角
周波数ω0に当たる。またバルク、粒界および電極抵抗
は、それぞれの円弧の実軸切片より求めることができ
る。また、固体電解質の厚さおよび電極面積が一定のN
Oxセンサ素子のバルクおよび粒界抵抗は温度の関数と
なり、電極抵抗は温度およびNOx濃度の関数となる。
したがって本発明によりインピーダンスを測定し、演算
手段によりバルク抵抗および電極抵抗を求め、そのバル
ク抵抗から温度、さらにその温度と電極抵抗からNOx
濃度を求めることができるので、センサの動作温度が変
動しても正確なNOx濃度を求めることができ、信頼性
の向上を図ることができる。
ンピーダンスZのレジスタンス成分およびリアクタンス
成分である。またZb、Zgb、Zeはそれぞれバルク、粒
界、電極のインピーダンスであり、添付文字のb、g
b、eはそれぞれバルク、粒界、電極を示している。ま
たR、C、ωおよびαはそれぞれ抵抗成分、容量成分、
角周波数およびデプレッション・ファクターを表し、ω
0は共鳴角周波数を示している。一般に、Z’に対し、
Z”をプロットすると図10に示すような3つの円弧か
ら成る曲線が得られる。図10の左の円弧から順にバル
ク、粒界、電極に基づくインピーダンスを表しており、
角周波数ωの増加とともに電極、粒界、バルクの順で現
れ、各円弧の頂点における角周波数はそれぞれの共鳴角
周波数ω0に当たる。またバルク、粒界および電極抵抗
は、それぞれの円弧の実軸切片より求めることができ
る。また、固体電解質の厚さおよび電極面積が一定のN
Oxセンサ素子のバルクおよび粒界抵抗は温度の関数と
なり、電極抵抗は温度およびNOx濃度の関数となる。
したがって本発明によりインピーダンスを測定し、演算
手段によりバルク抵抗および電極抵抗を求め、そのバル
ク抵抗から温度、さらにその温度と電極抵抗からNOx
濃度を求めることができるので、センサの動作温度が変
動しても正確なNOx濃度を求めることができ、信頼性
の向上を図ることができる。
【0024】また、NOx吸着性化合物を含む電極を有
するNOxセンサに酸素濃度検出手段を加えた構成によ
り、被測定ガス中に酸素が含まれる場合においても、電
極上で酸素の阻害を受ける事なく、NOx濃度を検出す
ることができる。
するNOxセンサに酸素濃度検出手段を加えた構成によ
り、被測定ガス中に酸素が含まれる場合においても、電
極上で酸素の阻害を受ける事なく、NOx濃度を検出す
ることができる。
【0025】また、センサ素子が電解質と、第1の電極
と、第2の電極と、参照電極とから成る構成によれば、
第1の電極をNOx吸着性化合物を含む材料で電解質の
片面に形成し、第2の電極および参照電極を導電性材料
でもう一方の面に形成することにより、コストの安い導
電性材料を使うことができ、さらに第2の電極と参照電
極は同時に形成できるため、作業性の向上を図ることが
できる。
と、第2の電極と、参照電極とから成る構成によれば、
第1の電極をNOx吸着性化合物を含む材料で電解質の
片面に形成し、第2の電極および参照電極を導電性材料
でもう一方の面に形成することにより、コストの安い導
電性材料を使うことができ、さらに第2の電極と参照電
極は同時に形成できるため、作業性の向上を図ることが
できる。
【0026】ところでセンサ素子の電極間のインピーダ
ンス測定で求まる電極抵抗は、2つの電極の電極抵抗の
和を表している。したがって電極抵抗を求める場合、固
体電解質基板の両面に形成する電極の構成、例えば材
料、電極面積などは同じでなければならない。しかし、
参照電極を用いる構成により、求めたい側の電極と参照
電極との間でインピーダンス測定を行えば、必要な電極
抵抗を求めることができる。
ンス測定で求まる電極抵抗は、2つの電極の電極抵抗の
和を表している。したがって電極抵抗を求める場合、固
体電解質基板の両面に形成する電極の構成、例えば材
料、電極面積などは同じでなければならない。しかし、
参照電極を用いる構成により、求めたい側の電極と参照
電極との間でインピーダンス測定を行えば、必要な電極
抵抗を求めることができる。
【0027】また、さらにバルク抵抗が指定した範囲内
にあるかどうかを判断する比較手段と、異常を警告する
信号手段およびヒーターに電圧を供給する直流電源を切
り、インピーダンス測定を中断する停止手段を加えた構
成により、比較手段により電極間のインピーダンスから
求めたバルク抵抗が指定した範囲を外れた場合、ヒータ
ーまたはセンサ素子に異常が生じたと判断し、信号手段
により警告し、停止手段により直流電源を切り、インピ
ーダンス測定を中断することができるため、経済的かつ
安全である。
にあるかどうかを判断する比較手段と、異常を警告する
信号手段およびヒーターに電圧を供給する直流電源を切
り、インピーダンス測定を中断する停止手段を加えた構
成により、比較手段により電極間のインピーダンスから
求めたバルク抵抗が指定した範囲を外れた場合、ヒータ
ーまたはセンサ素子に異常が生じたと判断し、信号手段
により警告し、停止手段により直流電源を切り、インピ
ーダンス測定を中断することができるため、経済的かつ
安全である。
【0028】
【実施例】(実施例1) 図1に示すように、実施例1のNOxセンサは、酸素イ
オン伝導性を有する固体電解質1と、第1の電極2と、
第2の電極3とから成るセンサ素子と、インピーダンス
測定器4と、演算手段5とで構成される。
オン伝導性を有する固体電解質1と、第1の電極2と、
第2の電極3とから成るセンサ素子と、インピーダンス
測定器4と、演算手段5とで構成される。
【0029】まずイットリアを8モル%添加した安定化
ジルコニアから成る10mm角で厚さ0.35mmの固
体電解質1基板を十分洗浄し、片面に第1の電極2とし
て、貴金属である白金とNOx吸着性化合物である酸化
バリウムイットリウム銅(Ba2YCu3O7)を等モル
ずつ混合した電極用ペーストをスクリーン印刷し、乾燥
した。次にもう一方の面に第2の電極3として、第1の
電極2に対向して同じ電極用ペーストを同じパターンで
印刷、乾燥し、電気炉で、大気中約820℃で10分間
焼成した。焼成後の各電極の大きさはそれぞれ8mm角
で厚さはおよそ40μmであった。次に各電極に直径
0.1mm、長さ20mmの白金リード線を金ペースト
で固定、大気中700℃で10分間焼成した。以上のよ
うにして得られたセンサ素子を前処理するため約450
℃に加熱保持し、電極間にリード線を介し直流電源を接
続し、約500ppmNOx(ヘリウムバランス)中で
電流密度が約10mA/cm2となるように10分間電
流を流した。このセンサ素子を図1のようにインピーダ
ンス測定器4および演算手段5と接続し、これをNOx
センサとした。
ジルコニアから成る10mm角で厚さ0.35mmの固
体電解質1基板を十分洗浄し、片面に第1の電極2とし
て、貴金属である白金とNOx吸着性化合物である酸化
バリウムイットリウム銅(Ba2YCu3O7)を等モル
ずつ混合した電極用ペーストをスクリーン印刷し、乾燥
した。次にもう一方の面に第2の電極3として、第1の
電極2に対向して同じ電極用ペーストを同じパターンで
印刷、乾燥し、電気炉で、大気中約820℃で10分間
焼成した。焼成後の各電極の大きさはそれぞれ8mm角
で厚さはおよそ40μmであった。次に各電極に直径
0.1mm、長さ20mmの白金リード線を金ペースト
で固定、大気中700℃で10分間焼成した。以上のよ
うにして得られたセンサ素子を前処理するため約450
℃に加熱保持し、電極間にリード線を介し直流電源を接
続し、約500ppmNOx(ヘリウムバランス)中で
電流密度が約10mA/cm2となるように10分間電
流を流した。このセンサ素子を図1のようにインピーダ
ンス測定器4および演算手段5と接続し、これをNOx
センサとした。
【0030】電解質1は実施したイットリウム安定化ジ
ルコニア以外に、その他の安定化ジルコニア、セリア、
酸化ビスマスなどの酸素イオン伝導性固体電解質でも良
く、大きさおよび厚さも実施した限りでない。また第1
の電極2および第2の電極3に関しても実施した以外
に、他のNOxを吸着あるいは吸収する材料、またはN
Oxを窒素と酸素に分解する触媒材料が考えられ、例え
ば、多孔質な白金、ロジウムなどの貴金属、酸化ランタ
ンコバルトなどのペロブスカイト型複合酸化物、または
酸化ランタン銅、酸化マンガンなどの酸化物およびこれ
らの混合物などは電極材料として適していると考えら
れ、電極の大きさおよび厚さも実施した限りでない。ま
た本実施例の場合、第1の電極2と第2の電極3は、材
料、面積など同じ条件であることが必要である。焼成条
件は、使用する材料にもよるが、実験により最も適した
条件を求めることが好ましい。リード線の材料、サイ
ズ、取りつけ方等は実施した限りでない。また、前処理
としてセンサ素子に電流を流したが、温度、雰囲気、電
流密度および時間などの処理条件は実施した限りでな
く、実験的に最適な条件を求めることが好ましい。
ルコニア以外に、その他の安定化ジルコニア、セリア、
酸化ビスマスなどの酸素イオン伝導性固体電解質でも良
く、大きさおよび厚さも実施した限りでない。また第1
の電極2および第2の電極3に関しても実施した以外
に、他のNOxを吸着あるいは吸収する材料、またはN
Oxを窒素と酸素に分解する触媒材料が考えられ、例え
ば、多孔質な白金、ロジウムなどの貴金属、酸化ランタ
ンコバルトなどのペロブスカイト型複合酸化物、または
酸化ランタン銅、酸化マンガンなどの酸化物およびこれ
らの混合物などは電極材料として適していると考えら
れ、電極の大きさおよび厚さも実施した限りでない。ま
た本実施例の場合、第1の電極2と第2の電極3は、材
料、面積など同じ条件であることが必要である。焼成条
件は、使用する材料にもよるが、実験により最も適した
条件を求めることが好ましい。リード線の材料、サイ
ズ、取りつけ方等は実施した限りでない。また、前処理
としてセンサ素子に電流を流したが、温度、雰囲気、電
流密度および時間などの処理条件は実施した限りでな
く、実験的に最適な条件を求めることが好ましい。
【0031】この様にして得られたNOxセンサを温度
制御が可能な管状の電気炉内の内径20mm、長さ50
0mmの石英管内に固定した。石英管内には種々の濃度
のNOxガスを流量約200cc/分で流した。そして
インピーダンス測定器により、印加電圧10mV、周波
数範囲100mHz〜1MHzで電極間のインピーダン
スを測定した。
制御が可能な管状の電気炉内の内径20mm、長さ50
0mmの石英管内に固定した。石英管内には種々の濃度
のNOxガスを流量約200cc/分で流した。そして
インピーダンス測定器により、印加電圧10mV、周波
数範囲100mHz〜1MHzで電極間のインピーダン
スを測定した。
【0032】最初に、固体電解質1のバルク抵抗を調べ
るため、電気炉の温度を400〜550℃まで変化さ
せ、それぞれの温度におけるインピーダンスを測定し、
測定値からバルク抵抗を求めた。絶対温度Tの逆数に対
し、バルク抵抗Rbの逆数の対数をプロットすると図2
のようになる。図2より活性化エネルギーEは約0.9
3eVとなり、絶対温度Tとバルク抵抗Rbの関係は次
式のように表すことができる。
るため、電気炉の温度を400〜550℃まで変化さ
せ、それぞれの温度におけるインピーダンスを測定し、
測定値からバルク抵抗を求めた。絶対温度Tの逆数に対
し、バルク抵抗Rbの逆数の対数をプロットすると図2
のようになる。図2より活性化エネルギーEは約0.9
3eVとなり、絶対温度Tとバルク抵抗Rbの関係は次
式のように表すことができる。
【0033】
【数2】
【0034】ここで、Rは気体定数で、Aは図2の縦軸
切片の値より求めることができる。したがって、インピ
ーダンス測定によりバルク抵抗を求めれば上式により温
度を求めることができる。つまり、本発明のNOxセン
サの構成によれば温度センサとしても応用ができる。
切片の値より求めることができる。したがって、インピ
ーダンス測定によりバルク抵抗を求めれば上式により温
度を求めることができる。つまり、本発明のNOxセン
サの構成によれば温度センサとしても応用ができる。
【0035】次に、温度を450℃に固定し、NOx濃
度を500ppm〜5000ppmまで変化させ、NO
x濃度特性を調べた。横軸にNOx濃度C NOX の対数、
縦軸に電極抵抗Reの逆数の対数をとると、図3のよう
になった。図3からこの温度におけるNOx濃度Cnox
と電極抵抗Reの関係は次式で近似できる。
度を500ppm〜5000ppmまで変化させ、NO
x濃度特性を調べた。横軸にNOx濃度C NOX の対数、
縦軸に電極抵抗Reの逆数の対数をとると、図3のよう
になった。図3からこの温度におけるNOx濃度Cnox
と電極抵抗Reの関係は次式で近似できる。
【0036】
【数3】
【0037】ここで、aおよびbはそれぞれ図3の直線
から求まる傾きおよび縦軸切片である。NOx濃度C
NOX と電極抵抗Reの関係は上式以外にも考えられるが、
必要に応じ実験的に最適な関係を導き出すことが好まし
い。
から求まる傾きおよび縦軸切片である。NOx濃度C
NOX と電極抵抗Reの関係は上式以外にも考えられるが、
必要に応じ実験的に最適な関係を導き出すことが好まし
い。
【0038】さらに同様に、温度400〜550℃、N
Ox濃度500ppm〜5000ppmの範囲で電極間
のインピーダンスを何点か測定し、電極抵抗の特性を調
べた。
Ox濃度500ppm〜5000ppmの範囲で電極間
のインピーダンスを何点か測定し、電極抵抗の特性を調
べた。
【0039】以上の結果からx軸に温度Tの逆数、y軸
にNOx濃度C NOX の対数、z軸に電極抵抗Reの逆数の
対数をとると、温度TとNOx濃度C NOX および電極抵
抗Reの関係は次式のような平面で近似できると考えら
れる。
にNOx濃度C NOX の対数、z軸に電極抵抗Reの逆数の
対数をとると、温度TとNOx濃度C NOX および電極抵
抗Reの関係は次式のような平面で近似できると考えら
れる。
【0040】
【数4】
【0041】ここでl、mおよびnはそれぞれx、yお
よびz軸の切片で、pは原点から平面までの垂線距離で
ある。温度、NOx濃度および電極抵抗の関係は上式以
外にも考えられるが、必要に応じ実験的に最適な関係を
導き出すことが好ましい。
よびz軸の切片で、pは原点から平面までの垂線距離で
ある。温度、NOx濃度および電極抵抗の関係は上式以
外にも考えられるが、必要に応じ実験的に最適な関係を
導き出すことが好ましい。
【0042】以上のように実施例1のNOxセンサの構
成により、センサの動作温度が変動してもインピーダン
スを測定するだけで、正確なNOx濃度を求めることが
できる。
成により、センサの動作温度が変動してもインピーダン
スを測定するだけで、正確なNOx濃度を求めることが
できる。
【0043】(実施例2) 実施例2のNOxセンサは、図4に示すように実施例1
のNOxセンサに酸素濃度検出手段7を加えた構成であ
り、それ以外は実施例1と同じである。本発明における
電極には、雰囲気に酸素が含まれる場合においてもNO
xを選択的に吸着する特性を有する材料を用いているた
め、被測定ガス中に酸素が含まれていても、選択的にN
Ox濃度を検出することができる。
のNOxセンサに酸素濃度検出手段7を加えた構成であ
り、それ以外は実施例1と同じである。本発明における
電極には、雰囲気に酸素が含まれる場合においてもNO
xを選択的に吸着する特性を有する材料を用いているた
め、被測定ガス中に酸素が含まれていても、選択的にN
Ox濃度を検出することができる。
【0044】以下、実施例1と同様にして、雰囲気中の
NOxおよび酸素の濃度を種々変化させ、電極抵抗と、
温度と、NOxおよび酸素濃度の関係を調べた。まず酸
素濃度を固定し、実施例1と同様に電極間のインピーダ
ンスを測定し、電極抵抗と、温度と、NOx濃度の関係
を求めた。その関係は実施例1と同じように平面の式で
近似できると考えられる。次に酸素濃度を数千ppm〜
数十%まで変化させ、同様の測定を行った。現段階にお
いて電極抵抗、温度、NOx濃度および酸素濃度間の関
係式を見出していないが、NOxセンサの使用環境に応
じ、予め酸素濃度と、電極抵抗と、温度およびNOx濃
度の関係を何点か測定しておき、実際に検出する時は酸
素濃度検出手段7で被測定ガス中の酸素濃度を測定し、
その酸素濃度に対応あるいは近似したときの電極抵抗、
温度、NOx濃度の関係式を用い、NOx濃度を求める
ことができる。
NOxおよび酸素の濃度を種々変化させ、電極抵抗と、
温度と、NOxおよび酸素濃度の関係を調べた。まず酸
素濃度を固定し、実施例1と同様に電極間のインピーダ
ンスを測定し、電極抵抗と、温度と、NOx濃度の関係
を求めた。その関係は実施例1と同じように平面の式で
近似できると考えられる。次に酸素濃度を数千ppm〜
数十%まで変化させ、同様の測定を行った。現段階にお
いて電極抵抗、温度、NOx濃度および酸素濃度間の関
係式を見出していないが、NOxセンサの使用環境に応
じ、予め酸素濃度と、電極抵抗と、温度およびNOx濃
度の関係を何点か測定しておき、実際に検出する時は酸
素濃度検出手段7で被測定ガス中の酸素濃度を測定し、
その酸素濃度に対応あるいは近似したときの電極抵抗、
温度、NOx濃度の関係式を用い、NOx濃度を求める
ことができる。
【0045】したがって、実施例2の構成により、被測
定ガス中に酸素が含まれる場合でも、それに対応してN
Ox濃度を求めることができる。
定ガス中に酸素が含まれる場合でも、それに対応してN
Ox濃度を求めることができる。
【0046】(実施例3) 実施例3のNOxセンサは、センサ素子の構成以外は実
施例1と同じである。実施例3のNOxセンサを図5お
よび図6を用いて説明する。図5および図6においてセ
ンサ素子は実施例1と同じ固体電解質1基板の片面に、
実施例1と同じ白金と酸化バリウムイットリウム銅の混
合物から成る電極用ペーストにより、厚さ約40μm、
大きさ6mm×8mmの第1の電極2を形成し、もう一
方の面に第1の電極2と対向するように導電性材料であ
る白金から成る電極用ペーストで、同じ大きさの第2の
電極3を形成し、さらにその近傍に同じく白金を含む電
極用ペーストで1mm×8mmの参照電極6を形成し
た。導電性材料から成る電極用ペーストは、実施した白
金以外に、ニッケルなど他の導電性材料でもよい。各電
極の大きさも実施した限りでないが、参照電極6の抵抗
はできるだけ小さくすることが必要である。また参照電
極6の配置箇所は図6に示す以外にも考えられるが、実
施したように第2の電極3と同じ材料で形成する場合、
印刷の工程が一度で済み、効率が良いという点で、第2
の電極3と同じ面に形成することが望ましい。また、第
2の電極3および参照電極6は、実施したスクリーン印
刷法以外に、無電解めっき法、スパッタ法などの形成法
でもよいが、コストが安くつくという点でスクリーン印
刷法が好ましい。
施例1と同じである。実施例3のNOxセンサを図5お
よび図6を用いて説明する。図5および図6においてセ
ンサ素子は実施例1と同じ固体電解質1基板の片面に、
実施例1と同じ白金と酸化バリウムイットリウム銅の混
合物から成る電極用ペーストにより、厚さ約40μm、
大きさ6mm×8mmの第1の電極2を形成し、もう一
方の面に第1の電極2と対向するように導電性材料であ
る白金から成る電極用ペーストで、同じ大きさの第2の
電極3を形成し、さらにその近傍に同じく白金を含む電
極用ペーストで1mm×8mmの参照電極6を形成し
た。導電性材料から成る電極用ペーストは、実施した白
金以外に、ニッケルなど他の導電性材料でもよい。各電
極の大きさも実施した限りでないが、参照電極6の抵抗
はできるだけ小さくすることが必要である。また参照電
極6の配置箇所は図6に示す以外にも考えられるが、実
施したように第2の電極3と同じ材料で形成する場合、
印刷の工程が一度で済み、効率が良いという点で、第2
の電極3と同じ面に形成することが望ましい。また、第
2の電極3および参照電極6は、実施したスクリーン印
刷法以外に、無電解めっき法、スパッタ法などの形成法
でもよいが、コストが安くつくという点でスクリーン印
刷法が好ましい。
【0047】次に、実施例1と同様にリード線を接続
し、さらに前処理として第1の電極2と第2の電極3の
間で実施例1と同じ条件で電流を流した。
し、さらに前処理として第1の電極2と第2の電極3の
間で実施例1と同じ条件で電流を流した。
【0048】以上のようにして得られたセンサ素子を図
5のように第1の電極2および第2の電極3の間に、交
流電圧が印加されるように、また第1の電極2と参照電
極6の間のインピーダンスを測定できるようにインピー
ダンス測定器4を接続し、さらに演算手段5を接続し、
NOxセンサとした。
5のように第1の電極2および第2の電極3の間に、交
流電圧が印加されるように、また第1の電極2と参照電
極6の間のインピーダンスを測定できるようにインピー
ダンス測定器4を接続し、さらに演算手段5を接続し、
NOxセンサとした。
【0049】このNOxセンサについて、実施例1と同
様の実験を行った。バルク抵抗および電極抵抗の値は実
施例1の測定値と比較しておよそ半分ぐらいに小さくな
った。これは電極抵抗の小さい参照電極6と第1の電極
2との間のインピーダンスを測定したため、バルク抵抗
は約半分、電極抵抗もほぼ第1の電極のみの電極抵抗を
示すため約半分になったと考えられる。温度とバルク抵
抗の関係および温度とNOx濃度および電極抵抗の関係
は、ほぼ実施例1と同様の結果となり、実施例2のNO
xセンサの構成でも、参照電極6と第1の電極2との間
のインピーダンスを測定することにより、バルク抵抗と
電極抵抗を求めればNOx濃度を検出することができる
だけでなく、第2の電極3の材料が導電性材料であれば
良いので、実施例1に比べ構成が単純になり、コストが
安くなる。
様の実験を行った。バルク抵抗および電極抵抗の値は実
施例1の測定値と比較しておよそ半分ぐらいに小さくな
った。これは電極抵抗の小さい参照電極6と第1の電極
2との間のインピーダンスを測定したため、バルク抵抗
は約半分、電極抵抗もほぼ第1の電極のみの電極抵抗を
示すため約半分になったと考えられる。温度とバルク抵
抗の関係および温度とNOx濃度および電極抵抗の関係
は、ほぼ実施例1と同様の結果となり、実施例2のNO
xセンサの構成でも、参照電極6と第1の電極2との間
のインピーダンスを測定することにより、バルク抵抗と
電極抵抗を求めればNOx濃度を検出することができる
だけでなく、第2の電極3の材料が導電性材料であれば
良いので、実施例1に比べ構成が単純になり、コストが
安くなる。
【0050】(実施例4) 実施例4のNOxセンサについて、図7を用いて説明す
る。実施例4のNOxセンサは、実施例1に、ヒーター
8と、それに電圧を供給する直流電源9と、センサのバ
ルク抵抗が指定した範囲内にあるかどうかを判断する比
較手段10と、ヒーター8あるいはセンサ素子に異常が
生じたときに警告する信号手段11と、直流電源9を切
り、インピーダンス測定を中断する停止手段12を加え
た構成である以外は同じである。
る。実施例4のNOxセンサは、実施例1に、ヒーター
8と、それに電圧を供給する直流電源9と、センサのバ
ルク抵抗が指定した範囲内にあるかどうかを判断する比
較手段10と、ヒーター8あるいはセンサ素子に異常が
生じたときに警告する信号手段11と、直流電源9を切
り、インピーダンス測定を中断する停止手段12を加え
た構成である以外は同じである。
【0051】実施例4の構成によれば、バルク抵抗は温
度の関数として表されるので、もしヒーター8に異常が
生じた場合、温度が急に上昇あるいは降下するとバルク
抵抗が変化する。そこで、比較手段10を用い、バルク
抵抗が使用温度における予め指定した範囲内にあるかど
うかを判断し、範囲を越えたときには、ヒーターの異常
としてランプや警報器などの信号手段11により警告す
ることができる。
度の関数として表されるので、もしヒーター8に異常が
生じた場合、温度が急に上昇あるいは降下するとバルク
抵抗が変化する。そこで、比較手段10を用い、バルク
抵抗が使用温度における予め指定した範囲内にあるかど
うかを判断し、範囲を越えたときには、ヒーターの異常
としてランプや警報器などの信号手段11により警告す
ることができる。
【0052】また、リード線が断線したり、基板が割れ
たり、あるいは電極膜が剥離しときなど、電極間が完全
に断たれれば、インピーダンスは円弧を描かないし、一
部電極を欠く状態であれば、電極の有効面積が変化する
ので、バルク抵抗も変化する。そこで、同様にバルク抵
抗の範囲を予め指定しておけば、比較手段10により、
バルク抵抗が範囲から外れ、センサ素子に異常が発生し
たと判断した場合は、信号手段11により警告すること
ができ、さらにインピーダンスよりセンサ素子にどのよ
うな異常が起きたかある程度予測することができる。し
たがって実施例5の構成によれば、従来のようにセンサ
を取り出し、分解して状況を確認するといったような手
間を省くことができる。
たり、あるいは電極膜が剥離しときなど、電極間が完全
に断たれれば、インピーダンスは円弧を描かないし、一
部電極を欠く状態であれば、電極の有効面積が変化する
ので、バルク抵抗も変化する。そこで、同様にバルク抵
抗の範囲を予め指定しておけば、比較手段10により、
バルク抵抗が範囲から外れ、センサ素子に異常が発生し
たと判断した場合は、信号手段11により警告すること
ができ、さらにインピーダンスよりセンサ素子にどのよ
うな異常が起きたかある程度予測することができる。し
たがって実施例5の構成によれば、従来のようにセンサ
を取り出し、分解して状況を確認するといったような手
間を省くことができる。
【0053】またさらに異常を警告すると同時に停止手
段12により直流電源9を切り、インピーダンス測定を
中断すれば、安全かつ経済的である。
段12により直流電源9を切り、インピーダンス測定を
中断すれば、安全かつ経済的である。
【0054】
【発明の効果】以上のように本発明のNOxセンサおよ
びその検出方法によれば次の効果が得られる。
びその検出方法によれば次の効果が得られる。
【0055】(1)電解質上に形成された電極間のイン
ピーダンスを測定し、バルク抵抗より温度を決定した
後、その温度と電極抵抗からNOx度を算出するので、
使用温度が変わったり、ヒーターが劣化したり、あるい
は温度分布のある雰囲気でセンサの配置箇所が変わった
りしたときなどでも、正確なNOx度を求めることがで
きるという効果がある。また、本発明の構成で温度セン
サとしても応用できるという効果がある。
ピーダンスを測定し、バルク抵抗より温度を決定した
後、その温度と電極抵抗からNOx度を算出するので、
使用温度が変わったり、ヒーターが劣化したり、あるい
は温度分布のある雰囲気でセンサの配置箇所が変わった
りしたときなどでも、正確なNOx度を求めることがで
きるという効果がある。また、本発明の構成で温度セン
サとしても応用できるという効果がある。
【0056】(2)電極にNOx吸着性化合物を含む材
料を用いるため、酸素センサと併用することにより、酸
素濃度と、バルク抵抗(または温度)と、電極抵抗から
NO濃度を算出することができ、被測定ガス中に酸素が
含まれていても正確なNO濃度を求めることができると
いう効果がある。
料を用いるため、酸素センサと併用することにより、酸
素濃度と、バルク抵抗(または温度)と、電極抵抗から
NO濃度を算出することができ、被測定ガス中に酸素が
含まれていても正確なNO濃度を求めることができると
いう効果がある。
【0057】(3)センサ素子の電極を第1の電極と、
第2の電極および参照電極という構成にすることによ
り、NOx吸着性化合物を含む電極は第1の電極のみで
よく、第2の電極および参照電極は電子伝導体であれば
何でもよいので、全体の構成が単純になり、コストも安
くなるという効果がある。また、第2の電極と参照電極
は同じ面に形成することができるので作業性において効
率が上がるという効果がある。
第2の電極および参照電極という構成にすることによ
り、NOx吸着性化合物を含む電極は第1の電極のみで
よく、第2の電極および参照電極は電子伝導体であれば
何でもよいので、全体の構成が単純になり、コストも安
くなるという効果がある。また、第2の電極と参照電極
は同じ面に形成することができるので作業性において効
率が上がるという効果がある。
【0058】(4)インピーダンスを測定し、バルク抵
抗を求めることにより、温度またはセンサ素子の有効電
極面積の変化を検出できるので、比較手段によりバルク
抵抗が指定した範囲内にあるかどうか判断し、範囲を越
えれば、ランプや警報器などの信号手段により、ヒータ
ーあるいはセンサ素子の異常などを警告することがで
き、さらにヒーターの電源を切り、インピーダンスの測
定を中断することにより、安全で経済的になるという効
果がある。また、断線あるいは電極剥離などのセンサ素
子の異常が、温度を下げて素子を取り出さなくても、イ
ンピーダンスを測定することにより、円弧を描かなかっ
たり、バルクの抵抗が小さくなったりすることで、ある
程度状況を判断することができるという効果がある。
抗を求めることにより、温度またはセンサ素子の有効電
極面積の変化を検出できるので、比較手段によりバルク
抵抗が指定した範囲内にあるかどうか判断し、範囲を越
えれば、ランプや警報器などの信号手段により、ヒータ
ーあるいはセンサ素子の異常などを警告することがで
き、さらにヒーターの電源を切り、インピーダンスの測
定を中断することにより、安全で経済的になるという効
果がある。また、断線あるいは電極剥離などのセンサ素
子の異常が、温度を下げて素子を取り出さなくても、イ
ンピーダンスを測定することにより、円弧を描かなかっ
たり、バルクの抵抗が小さくなったりすることで、ある
程度状況を判断することができるという効果がある。
【図1】本発明の一実施例のNOxセンサの概略構成図
【図2】同NOxセンサのバルク抵抗の温度特性図
【図3】同NOxセンサのバルク抵抗のNOx濃度特性
図
図
【図4】本発明の他の実施例のNOxセンサの概略構成
図
図
【図5】本発明の他の実施例のNOxセンサの概略構成
図
図
【図6】同センサ素子の上面図および断面図
【図7】本発明の他の実施例のNOxセンサの概略構成
図
図
【図8】従来のNOxセンサの断面図
【図9】固体電解質/電極系の等価回路を示す図
【図10】固体電解質/電極系のインピーダンスを表す
図
図
1 電解質 2 第1の電極 3 第2の電極 4 インピーダンス測定器 5 演算手段 6 参照電極 7 酸素濃度検出手段 8 ヒーター 9 直流電源 10 比較手段 11 信号手段 12 停止手段
Claims (11)
- 【請求項1】電解質と、第1の電極と、第2の電極とで
構成されるセンサ素子と、インピーダンス測定器と、酸
素濃度検出手段と、インピーダンスと酸素濃度からNO
x濃度を求める演算手段とから成るNOxセンサ。 - 【請求項2】電解質と、前記電解質に対向して設けられ
た第1の電極と第2の電極とで構成されるセンサ素子
と、前記電極間のインピーダンス測定器と、インピーダ
ンスからNOx濃度を計算する演算手段とを備え、前記
第1の電極は、貴金属あるいはNOx吸着性化合物のう
ち少なくとも一つを含む材料から成り、前記電解質の片
面に形成され、前記第2の電極は、前記第1の電極と同
じ材料から成り、前記電解質のもう一方の面に前記第1
の電極と対向するように形成されるNOxセンサ。 - 【請求項3】電解質と、第1の電極と、第2の電極と、
参照電極とで構成されるセンサ素子と、前記センサ素子
の前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧を
印加して前記第1の電極と前記参照電極との間のインピ
ーダンスを測定するインピーダンス測定器と、前記イン
ピーダンスからNOx濃度を求める演算手段とから成る
NOxセンサ。 - 【請求項4】第1の電極は、貴金属あるいはNOx吸着
性化合物のうち少なくとも一つを含む材料から成り、電
解質の片面に形成され、第2の電極および参照電極は、
導電性材料から成り、前記第2の電極は、前記電解質の
もう一方の面に前記第1の電極と対向するように形成さ
れる請求項3記載のNOxセンサ。 - 【請求項5】NOx吸着性化合物は、Ba2YCu3O7
型構造を有する請求項2または4記載のNOxセンサ。 - 【請求項6】電解質と、複数の電極とで構成されるセン
サ素子と、ヒーターと、直流電源と、インピーダンス測
定器と、インピーダンスからNOx濃度を求める演算手
段と、バルク抵抗が指定した範囲内にあるかどうかを判
断する比較手段と、異常を警告する信号手段と、前記直
流電源を切り、インピーダンス測定を中断する停止手段
とから成るNOxセンサ。 - 【請求項7】電解質は、酸素イオン伝導性を有する固体
電解質基板である請求項1、2、3、4または6記載の
NOxセンサ。 - 【請求項8】インピーダンス測定器により電解質と、第
1の電極と、第2の電極とで構成されるセンサ素子の前
記第1の電極と前記第2の電極の間のインピーダンスを
測定し、演算手段により前記インピーダンスからバルク
抵抗および電極抵抗を求め、前記バルク抵抗に対応する
温度を求め、前記電極抵抗と前記温度に対応するNOx
濃度を求めるNOx検出方法。 - 【請求項9】インピーダンス測定器により電解質と、第
1の電極と、第2の電極とで構成されるセンサ素子の前
記第1の電極と前記第2の電極の間のインピーダンスを
測定し、酸素濃度検出手段により酸素濃度を検出し、演
算手段により前記インピーダンスからバルク抵抗および
電極抵抗を求め、前記バルク抵抗に対応する温度を求
め、前記酸素濃度と前記電極抵抗および前記温度に対応
するNOx濃度を求めるNOx検出方法。 - 【請求項10】電解質と、第1の電極と、第2の電極
と、参照電極とで構成されるセンサ素子の前記第1の電
極と前記第2の電極との間に交流電圧を印加して前記第
1の電極と前記参照電極の間のインピーダンスをインピ
ーダンス測定器により測定し、演算手段により前記イン
ピーダンスからバルク抵抗および電極抵抗を求め、前記
バルク抵抗に対応する温度を求め、前記電極抵抗と前記
温度に対応するNOx濃度を求めるNOx検出方法。 - 【請求項11】電解質と、複数の電極とで構成されるセ
ンサ素子をヒーターで所定の温度に加熱保持し、インピ
ーダンス測定器により前記電極間のインピーダンスを測
定し、演算手段により前記インピーダンスからバルク抵
抗および電極抵抗を求め、比較手段により、前記バルク
抵抗が指定した範囲内にあるかどうかを判断し、範囲内
であれば、前記演算手段により前記電極抵抗に対応する
NOx濃度を求め、範囲外であれば、前記ヒーターある
いは前記センサ素子の異常を信号手段により警告し、停
止手段により前記ヒーターに電圧を供給している直流電
源を切り、インピーダンスの測定を中断するNOx検出
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6266982A JP2996109B2 (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | NOxセンサおよびNOx検出方法 |
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---|---|---|---|
JP6266982A JP2996109B2 (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | NOxセンサおよびNOx検出方法 |
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JPH08128979A JPH08128979A (ja) | 1996-05-21 |
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