JP2992829B2 - レーザ測長計 - Google Patents
レーザ測長計Info
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- JP2992829B2 JP2992829B2 JP2102739A JP10273990A JP2992829B2 JP 2992829 B2 JP2992829 B2 JP 2992829B2 JP 2102739 A JP2102739 A JP 2102739A JP 10273990 A JP10273990 A JP 10273990A JP 2992829 B2 JP2992829 B2 JP 2992829B2
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- interference light
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザ測長計に関し、詳しくは、レーザか
らの光を参照光路と測長光路とに分岐してから合わせた
干渉光を、直線偏光の状態を変える偏光素子を通過させ
た後、複数の光学素子によって光学的に位相が90゜ずれ
た２相または３相の干渉光に分岐し、それら分岐された
干渉光を検出した電気信号に基づいて測長光路長の変化
及び／又は変化の方向を測定するレーザ測長計に関す
る。
らの光を参照光路と測長光路とに分岐してから合わせた
干渉光を、直線偏光の状態を変える偏光素子を通過させ
た後、複数の光学素子によって光学的に位相が90゜ずれ
た２相または３相の干渉光に分岐し、それら分岐された
干渉光を検出した電気信号に基づいて測長光路長の変化
及び／又は変化の方向を測定するレーザ測長計に関す
る。
上述のようなレーザ測長計として第６図に示したよう
な干渉縞計数型レーザ測長計は知られている。
な干渉縞計数型レーザ測長計は知られている。
このレーザ測長計においては、安定化レーザ１からの
直線偏光がビームスプリッタ２でλ/8板３および固定コ
ーナキューブ４を有する参照光路と移動コーナキューブ
５を有する測長光路とに分岐され、参照光路に分岐した
参照光がλ/8板３を２回通ることによって円偏光にさ
れ、この参照光の円偏光と測長光路に分岐した測長光の
直線偏光とが再びビームスプリッタ２によって合わされ
て２分割され、その２分割の一方がさらに偏光ビームス
プリッタ６により、測長光がその偏光面に対し±45゜方
向の分光となるように２分割され、以上によって得られ
た３種の分割光がそれぞれフィルタ７および偏光板８を
通ることにより移動コーナキューブ５の矢印方向の移動
で干渉する位相が順次90゜づつずれた３種の干渉光とさ
れ、それら３種の干渉光がそれぞれ検出器９に入射して
90゜づつ位相差のある３種の電気信号に変換され、それ
ら３種の電気信号がそれぞれ増幅器10で増幅された後に
順次位相の90゜ずれた隣同士を組とする２組にされて、
それら２組の電気信号がそれぞれ減算器11に入力される
ことによって得られる90゜位相のずれたsinθおよびcos
θ（但し、θ＝２π（Lm−Lr）／λ、Lm…測長光路長、
Lr…参照光路長、λ…波長）で変化する電気信号の少な
くとも一方から測長光路長の変化を求め、両方から変化
の方向を求めている。
直線偏光がビームスプリッタ２でλ/8板３および固定コ
ーナキューブ４を有する参照光路と移動コーナキューブ
５を有する測長光路とに分岐され、参照光路に分岐した
参照光がλ/8板３を２回通ることによって円偏光にさ
れ、この参照光の円偏光と測長光路に分岐した測長光の
直線偏光とが再びビームスプリッタ２によって合わされ
て２分割され、その２分割の一方がさらに偏光ビームス
プリッタ６により、測長光がその偏光面に対し±45゜方
向の分光となるように２分割され、以上によって得られ
た３種の分割光がそれぞれフィルタ７および偏光板８を
通ることにより移動コーナキューブ５の矢印方向の移動
で干渉する位相が順次90゜づつずれた３種の干渉光とさ
れ、それら３種の干渉光がそれぞれ検出器９に入射して
90゜づつ位相差のある３種の電気信号に変換され、それ
ら３種の電気信号がそれぞれ増幅器10で増幅された後に
順次位相の90゜ずれた隣同士を組とする２組にされて、
それら２組の電気信号がそれぞれ減算器11に入力される
ことによって得られる90゜位相のずれたsinθおよびcos
θ（但し、θ＝２π（Lm−Lr）／λ、Lm…測長光路長、
Lr…参照光路長、λ…波長）で変化する電気信号の少な
くとも一方から測長光路長の変化を求め、両方から変化
の方向を求めている。
すなわち、このレーザ測長計は、レーザ光の偏光原理
を利用して順次位相が90゜ずれた３種の干渉縞信号を
得、その順次隣り合う信号の差から測長光路長の変化と
変化の方向の測定に用いる前述のsinθ,cosθで変化す
る信号を得ているから、レーザ光の強度変動等の外乱の
影響が相殺されて信号レベルの中心が常に一定になり、
干渉縞のミスカウントが少なくなって、精度の高い測定
がなされると言う特長がある。
を利用して順次位相が90゜ずれた３種の干渉縞信号を
得、その順次隣り合う信号の差から測長光路長の変化と
変化の方向の測定に用いる前述のsinθ,cosθで変化す
る信号を得ているから、レーザ光の強度変動等の外乱の
影響が相殺されて信号レベルの中心が常に一定になり、
干渉縞のミスカウントが少なくなって、精度の高い測定
がなされると言う特長がある。
しかし、従来のこのレーザ測長計は、偏光ビームスプ
リッタ６をビームスプリッタ２に対して正確に配設する
必要があるだけでなく、３種の分割光路のそれぞれにつ
いてフィルタ７および偏光板８を正確に配設しなければ
ならないと言う煩わしさがある。
リッタ６をビームスプリッタ２に対して正確に配設する
必要があるだけでなく、３種の分割光路のそれぞれにつ
いてフィルタ７および偏光板８を正確に配設しなければ
ならないと言う煩わしさがある。
本発明は、光学的に２相または３相の干渉光を分岐す
る複数の光学素子の正確な配設が容易にできる干渉縞計
数型レーザ測長計の提供を第１の目的とする。
る複数の光学素子の正確な配設が容易にできる干渉縞計
数型レーザ測長計の提供を第１の目的とする。
さらに、第１の目的に加え、複数の光学素子の結合配
置を一層容易にするレーザ測長計を提供することを第２
の目的とする。
置を一層容易にするレーザ測長計を提供することを第２
の目的とする。
本発明は、レーザからの光を参照光路と測長光路とに
分岐してから合わせた干渉光を、直線偏光の状態を変え
る45゜旋光板を通過させた後、複数の光学素子により光
学的に位相が90゜ずれた２相または３相の干渉光に分岐
させ、それら分岐された干渉光を検出した電気信号に基
づいて測長光路長の変化及び／又は変化の方向を測定す
るように構成するとともに、２相または３相の干渉光に
分岐させる前記複数の光学素子の全部、または、その内
の一部の光学素子を、隣同士互いに接触させ、かつ、前
記45゜旋光板と一体的に結合せしめたことを特徴とする
レーザ測長計にあり、この構成によって前記第１の目的
を達成する。
分岐してから合わせた干渉光を、直線偏光の状態を変え
る45゜旋光板を通過させた後、複数の光学素子により光
学的に位相が90゜ずれた２相または３相の干渉光に分岐
させ、それら分岐された干渉光を検出した電気信号に基
づいて測長光路長の変化及び／又は変化の方向を測定す
るように構成するとともに、２相または３相の干渉光に
分岐させる前記複数の光学素子の全部、または、その内
の一部の光学素子を、隣同士互いに接触させ、かつ、前
記45゜旋光板と一体的に結合せしめたことを特徴とする
レーザ測長計にあり、この構成によって前記第１の目的
を達成する。
さらに、前記複数の光学素子は、光学的に２相の干渉
光に分岐するλ/4以上のリタデーションを持つ波長板、
および、前記波長板の下流側に隣接した偏光ビームスプ
リッタを含み、前記波長板または前記偏光ビームスプリ
ッタを光軸周りに調節回動可能に設けた、ことにより、
前記第２の目的を達成する。
光に分岐するλ/4以上のリタデーションを持つ波長板、
および、前記波長板の下流側に隣接した偏光ビームスプ
リッタを含み、前記波長板または前記偏光ビームスプリ
ッタを光軸周りに調節回動可能に設けた、ことにより、
前記第２の目的を達成する。
すなわち、本発明のレーザ測長計においては、干渉光
を分岐する複数の光学素子のうち全部若しくは一部の光
学素子は、隣同士互いに接触し、45゜旋光板とともに、
一体的に結合しているので、複数の光学素子の配設が容
易に正確になされ、正確に位相が90゜ずれた干渉光を容
易に得ることができる。さらに、複数の光学素子のうち
全部若しくは一部の光学素子を一体的に結合したもの
に、直線偏光の状態を変える45゜旋光板をも一体にして
いる。換言すれば、レーザからの光を参照光路と測長光
路とに分岐してから合わせた干渉光は、直線偏光した状
態のまま、一体的に結合したものに入射することにな
る。従って、一体的に結合したものの上流側にミラーを
配置して、干渉光の光路を変更することが可能となり、
配置位置設定の自由度を大きくすることができる。
を分岐する複数の光学素子のうち全部若しくは一部の光
学素子は、隣同士互いに接触し、45゜旋光板とともに、
一体的に結合しているので、複数の光学素子の配設が容
易に正確になされ、正確に位相が90゜ずれた干渉光を容
易に得ることができる。さらに、複数の光学素子のうち
全部若しくは一部の光学素子を一体的に結合したもの
に、直線偏光の状態を変える45゜旋光板をも一体にして
いる。換言すれば、レーザからの光を参照光路と測長光
路とに分岐してから合わせた干渉光は、直線偏光した状
態のまま、一体的に結合したものに入射することにな
る。従って、一体的に結合したものの上流側にミラーを
配置して、干渉光の光路を変更することが可能となり、
配置位置設定の自由度を大きくすることができる。
詳述すると、一般の金属の反射鏡を用いたミラーで光
を反射させると、その反射前後で位相に変化が生じる。
そのため、ミラーで反射させる干渉光が円偏光した状態
であれば、反射による位相の変化によって楕円偏光とな
り、測定精度に多大な悪影響を及ぼす。従って、参照光
と測長光とを合わせた干渉光を、直ぐに、その偏光の状
態を変えると、その後にミラーを配置することが難し
く、干渉光を分岐する光学素子の配置にも制限がでてく
る。これに対して、干渉光が直線偏光した状態で入射面
に平行若しくは垂直にミラーで反射させれば、その位相
の変化は、測長光路長の変化及び／又は変化の方向の測
定には何ら影響を与えない。このように、干渉光を、直
線偏光した状態のまま、複数の光学素子のうち全部若し
くは一部の光学素子を一体化したものに、入射すること
により、光学ユニットの上流側にミラーを配置したとし
てもその測定精度に影響を受けず、ミラーを配置するこ
とが可能となり、配置位置設定の自由度を大きくするこ
とができる。
を反射させると、その反射前後で位相に変化が生じる。
そのため、ミラーで反射させる干渉光が円偏光した状態
であれば、反射による位相の変化によって楕円偏光とな
り、測定精度に多大な悪影響を及ぼす。従って、参照光
と測長光とを合わせた干渉光を、直ぐに、その偏光の状
態を変えると、その後にミラーを配置することが難し
く、干渉光を分岐する光学素子の配置にも制限がでてく
る。これに対して、干渉光が直線偏光した状態で入射面
に平行若しくは垂直にミラーで反射させれば、その位相
の変化は、測長光路長の変化及び／又は変化の方向の測
定には何ら影響を与えない。このように、干渉光を、直
線偏光した状態のまま、複数の光学素子のうち全部若し
くは一部の光学素子を一体化したものに、入射すること
により、光学ユニットの上流側にミラーを配置したとし
てもその測定精度に影響を受けず、ミラーを配置するこ
とが可能となり、配置位置設定の自由度を大きくするこ
とができる。
また、前記複数の光学素子のうちのλ/4以上のリタデ
ーションを持つ波長板、又は、該波長板の下流側に隣接
する偏光ビームスプリッタを、光軸周りに調節回動可能
に設けたので、分岐した干渉光の位相を正確に90゜とす
ることができ、複数の光学素子の結合配置が一層容易と
なる。
ーションを持つ波長板、又は、該波長板の下流側に隣接
する偏光ビームスプリッタを、光軸周りに調節回動可能
に設けたので、分岐した干渉光の位相を正確に90゜とす
ることができ、複数の光学素子の結合配置が一層容易と
なる。
以下、本発明を第１図乃至第５図により説明する。
第１図および第２図はそれぞれ本発明のレーザ測長計
の例を示す構成概要図、第３図は干渉光束と検出器の関
係を示す図、第４図は位相差π/2ラジアンの場合の２種
の干渉縞信号のリサージュ図形、第５図は位相差がπ/2
ラジアンから△θラジアンずれた場合のリサージュ図形
である。
の例を示す構成概要図、第３図は干渉光束と検出器の関
係を示す図、第４図は位相差π/2ラジアンの場合の２種
の干渉縞信号のリサージュ図形、第５図は位相差がπ/2
ラジアンから△θラジアンずれた場合のリサージュ図形
である。
第１図および第２図において、第６図と同一符号は同
一機能のものを示している。そして、12はλ/4板、12A
はλ/4板あるいはそれ以上の例えばλ/2板といった波長
板、13は45゜旋光板、14は45゜反射平面、15は結像レン
ズ、16は反射増幅器である。
一機能のものを示している。そして、12はλ/4板、12A
はλ/4板あるいはそれ以上の例えばλ/2板といった波長
板、13は45゜旋光板、14は45゜反射平面、15は結像レン
ズ、16は反射増幅器である。
すなわち、第1,2図のレーザ測長計は、安定化レーザ
１の直線偏光ビームをλ/4板12で円偏光にし、その円偏
光を偏光ビームスプリッタ６で互いに直交する直線偏光
の参照光路の参照光と測長光路の測長光とに分割した後
に合わせるようにしたことで、その後干渉光を得るのに
参照光と測長光が偏光ビームスプリッタ６で同様に偏光
される結果、両光の強度を等しくし易く、したがって干
渉縞の明瞭な干渉光を容易に得られるようにした点、お
よび偏光ビームスプリッタ６で合わせられた光を45゜ミ
ラー平面または全反射平面と言った45゜反射平面14で反
射して光路を変えるようにしたことで、光学的に干渉光
を分岐する光学素子の配設位置設定の自由度を大きくし
た点が第６図のレーザ測長計とまず相違している。
１の直線偏光ビームをλ/4板12で円偏光にし、その円偏
光を偏光ビームスプリッタ６で互いに直交する直線偏光
の参照光路の参照光と測長光路の測長光とに分割した後
に合わせるようにしたことで、その後干渉光を得るのに
参照光と測長光が偏光ビームスプリッタ６で同様に偏光
される結果、両光の強度を等しくし易く、したがって干
渉縞の明瞭な干渉光を容易に得られるようにした点、お
よび偏光ビームスプリッタ６で合わせられた光を45゜ミ
ラー平面または全反射平面と言った45゜反射平面14で反
射して光路を変えるようにしたことで、光学的に干渉光
を分岐する光学素子の配設位置設定の自由度を大きくし
た点が第６図のレーザ測長計とまず相違している。
さらに、第１図のレーザ測長計は、干渉縞位相が順次
90゜ずれた３相の干渉光を得る光学素子の45゜旋光板1
3、ビームスプリッタ２、ビームスプリッタ２によって
２分割された一方の分割光についてのλ/4板12と偏光ビ
ームスプリッタ６、ビームスプリッタ２によって２分割
された他方の分割光についての偏光ビームスプリッタ
６、およびその偏光ビームスプリッタ６を通過した光に
ついての45゜反射平面14を有する平板状や側面三角、四
角、平行四辺形のプリズム構成の光学素子を光路順に隣
り合うもの同志接触させた状態で一体化している。そし
て45゜旋光板13がビームスプリッタ２を参照光と測長光
の合わせられた光を得るための偏光ビームスプリッタ６
と側面を平行に配置し得るものにしている。したがっ
て、光学的に３相の干渉光を得る複数の光学素子の配設
が、第６図のレーザ測長計に比較して、極めて容易に正
確になされて、干渉縞位相が順次90゜ずれた３相の干渉
光を容易に得ることができる。
90゜ずれた３相の干渉光を得る光学素子の45゜旋光板1
3、ビームスプリッタ２、ビームスプリッタ２によって
２分割された一方の分割光についてのλ/4板12と偏光ビ
ームスプリッタ６、ビームスプリッタ２によって２分割
された他方の分割光についての偏光ビームスプリッタ
６、およびその偏光ビームスプリッタ６を通過した光に
ついての45゜反射平面14を有する平板状や側面三角、四
角、平行四辺形のプリズム構成の光学素子を光路順に隣
り合うもの同志接触させた状態で一体化している。そし
て45゜旋光板13がビームスプリッタ２を参照光と測長光
の合わせられた光を得るための偏光ビームスプリッタ６
と側面を平行に配置し得るものにしている。したがっ
て、光学的に３相の干渉光を得る複数の光学素子の配設
が、第６図のレーザ測長計に比較して、極めて容易に正
確になされて、干渉縞位相が順次90゜ずれた３相の干渉
光を容易に得ることができる。
また、第２図のレーザ測長計は、干渉縞位相が90゜ず
れた２相の干渉光を得る光学素子の45゜旋光板13、ビー
ムスプリッタ２、ビームスプリッタ２によって２分割さ
れた一方の分割光についてのλ/4板等の波長板12Aと偏
光ビームスプリッタ６、ビームスプリッタ２によって２
分割された他方の分割光についての偏光ビームスプリッ
タ６を有する平板状や三角、四角、平行四辺形の45゜プ
リズム構成の光学素子を光路順に隣り合うもの同志接触
させた状態で一体化している。したがって、第１図のレ
ーザ測長計に比較して45゜反射平面14を有する光学素子
がないだけ一体化光学素子の形成が容易であるし、干渉
光の結像レンズ15や検出器９の配設も２相の干渉光に対
してだけでよいので一層容易である。
れた２相の干渉光を得る光学素子の45゜旋光板13、ビー
ムスプリッタ２、ビームスプリッタ２によって２分割さ
れた一方の分割光についてのλ/4板等の波長板12Aと偏
光ビームスプリッタ６、ビームスプリッタ２によって２
分割された他方の分割光についての偏光ビームスプリッ
タ６を有する平板状や三角、四角、平行四辺形の45゜プ
リズム構成の光学素子を光路順に隣り合うもの同志接触
させた状態で一体化している。したがって、第１図のレ
ーザ測長計に比較して45゜反射平面14を有する光学素子
がないだけ一体化光学素子の形成が容易であるし、干渉
光の結像レンズ15や検出器９の配設も２相の干渉光に対
してだけでよいので一層容易である。
第1,2図のレーザ測長計は、明瞭な干渉縞信号を得る
ために、干渉光を結像レンズ15で検出器９に結像させて
いる。それには、第３図に示したように、干渉光束17中
に現れる干渉縞部分17Aが検出器９で捕えられるように
干渉光に対して結像レンズ15および検出器９の位置を設
定することが重要である。この点、第１図のレーザ測長
計は３相の干渉光をそれぞれに対して結像レンズ15と検
出器９を配設しなくてはならないが、第２図のレーザ測
長計は２相の干渉光に対してだけでよいから、１相分容
易である。
ために、干渉光を結像レンズ15で検出器９に結像させて
いる。それには、第３図に示したように、干渉光束17中
に現れる干渉縞部分17Aが検出器９で捕えられるように
干渉光に対して結像レンズ15および検出器９の位置を設
定することが重要である。この点、第１図のレーザ測長
計は３相の干渉光をそれぞれに対して結像レンズ15と検
出器９を配設しなくてはならないが、第２図のレーザ測
長計は２相の干渉光に対してだけでよいから、１相分容
易である。
また第２図のレーザ測長計は、２相の干渉光が正確に
位相差90゜であれば、そのうちの１相の干渉光の検出信
号から反転増幅器16によって180゜位相差の干渉縞信号
を作っているから、正確に位相が90゜ずれた３相の干渉
縞信号を得ることができる。
位相差90゜であれば、そのうちの１相の干渉光の検出信
号から反転増幅器16によって180゜位相差の干渉縞信号
を作っているから、正確に位相が90゜ずれた３相の干渉
縞信号を得ることができる。
以上述べたように、第1,2図のレーザ測長計では順次
位相が90゜ずれた干渉光を比較的容易に得ることがで
き、したがって、sinθ,cosθで変化する干渉縞信号す
なわち、リサージュ図形が第４図に示したような円とな
る干渉縞信号を得易い。そして、このようなsinθ,cos
θの干渉縞信号からは、測長光路の干渉縞間の変化も容
易に正確に測定することができる。しかし、それも参照
光と測長光の合わさった光から分割して干渉光を得る光
学素子の一体化が正確になされていることが条件とな
る。一体化が正確になされていないと、得られる干渉光
の位相差が90゜からずれて、そのために最終的に得られ
る２相の干渉縞信号もsinθ,cos（θ＋△θ）で変化す
るものとなり、そのリサージュ図形は第５図に示したよ
うな楕円となる。このようなsinθ,cos（θ＋△θ）の
干渉縞信号からは、周期的な誤差が生ずるため、測長光
路の干渉縞間の変化を正確に測定することは困難であ
る。
位相が90゜ずれた干渉光を比較的容易に得ることがで
き、したがって、sinθ,cosθで変化する干渉縞信号す
なわち、リサージュ図形が第４図に示したような円とな
る干渉縞信号を得易い。そして、このようなsinθ,cos
θの干渉縞信号からは、測長光路の干渉縞間の変化も容
易に正確に測定することができる。しかし、それも参照
光と測長光の合わさった光から分割して干渉光を得る光
学素子の一体化が正確になされていることが条件とな
る。一体化が正確になされていないと、得られる干渉光
の位相差が90゜からずれて、そのために最終的に得られ
る２相の干渉縞信号もsinθ,cos（θ＋△θ）で変化す
るものとなり、そのリサージュ図形は第５図に示したよ
うな楕円となる。このようなsinθ,cos（θ＋△θ）の
干渉縞信号からは、周期的な誤差が生ずるため、測長光
路の干渉縞間の変化を正確に測定することは困難であ
る。
そこで、第２図のレーザ測長計における光学的に２相
の干渉光を分岐する光学素子のλ/4以上好ましくはλ/2
以上のリタデーションを持つ波長板12Aまたはその下流
の偏光ビームスプリッタ６を光軸周りに調節回動可能と
することにより、波長板12Aまたは偏光ビームスプリッ
タ６を光軸周りに調節回動して、２相の干渉光の位相差
を正確に90゜とすることができる。したがって、この例
では一層容易にsinθ,cosθで変化する干渉縞信号を得
ることができる。
の干渉光を分岐する光学素子のλ/4以上好ましくはλ/2
以上のリタデーションを持つ波長板12Aまたはその下流
の偏光ビームスプリッタ６を光軸周りに調節回動可能と
することにより、波長板12Aまたは偏光ビームスプリッ
タ６を光軸周りに調節回動して、２相の干渉光の位相差
を正確に90゜とすることができる。したがって、この例
では一層容易にsinθ,cosθで変化する干渉縞信号を得
ることができる。
本発明は、以上述べた例に限らず、参照光と測長光の
合わさった光を得るまでの光路の光学素子が従来のレー
ザ測長計におけると同様のものであってもよいし、また
２相の干渉光を分岐するものでは、干渉光を光ファイバ
ー等で測長演算器の検出器に導くようにすれば電気的な
ノイズの入ることが少ないから、反転増幅器によって３
相目の干渉縞信号を作らないものであってもよい。
合わさった光を得るまでの光路の光学素子が従来のレー
ザ測長計におけると同様のものであってもよいし、また
２相の干渉光を分岐するものでは、干渉光を光ファイバ
ー等で測長演算器の検出器に導くようにすれば電気的な
ノイズの入ることが少ないから、反転増幅器によって３
相目の干渉縞信号を作らないものであってもよい。
本発明のレーザ測長計においては、干渉光を分岐する
複数の光学素子のうち全部若しくは一部の光学素子は、
隣同士互いに接触し、直線偏光を変える45゜旋光板とと
もに一体的に結合しているので、複数の光学素子の配設
が容易に正確になされ、正確に位相が90゜ずれた干渉光
を容易に得ることができるとともに、配置位置設定の自
由度を大きくすることができる。
複数の光学素子のうち全部若しくは一部の光学素子は、
隣同士互いに接触し、直線偏光を変える45゜旋光板とと
もに一体的に結合しているので、複数の光学素子の配設
が容易に正確になされ、正確に位相が90゜ずれた干渉光
を容易に得ることができるとともに、配置位置設定の自
由度を大きくすることができる。
第１図および第２図はそれぞれ本発明のレーザ測長計の
例を示す構成概要図、第３図は干渉光束と検出器の関係
を示す図、第４図は位相差π/2ラジアンの場合の２種の
干渉縞信号のリサージュ図形、第５図は位相差がπ/2ラ
ジアンから△θラジアンずれた場合のリサージュ図形、
第６図は従来の干渉縞計数型測長計の例を示す構成概要
図である。 １……安定化レーザ、２……ビームスプリッタ ３……λ/8板、４……固定コーナキューブ ５……移動コーナキューブ ６……偏光ビームスプリッタ ７……フィルタ、８……偏光板 ９……検出器、10……増幅器 11……減算器、12……λ/4板 12A……λ/4以上のリタデーションを持つ波長板 13……45゜旋光板、14……45゜反射平面 15……結像レンズ、16……反転増幅器 17……干渉光束、17A……干渉縞部分
例を示す構成概要図、第３図は干渉光束と検出器の関係
を示す図、第４図は位相差π/2ラジアンの場合の２種の
干渉縞信号のリサージュ図形、第５図は位相差がπ/2ラ
ジアンから△θラジアンずれた場合のリサージュ図形、
第６図は従来の干渉縞計数型測長計の例を示す構成概要
図である。 １……安定化レーザ、２……ビームスプリッタ ３……λ/8板、４……固定コーナキューブ ５……移動コーナキューブ ６……偏光ビームスプリッタ ７……フィルタ、８……偏光板 ９……検出器、10……増幅器 11……減算器、12……λ/4板 12A……λ/4以上のリタデーションを持つ波長板 13……45゜旋光板、14……45゜反射平面 15……結像レンズ、16……反転増幅器 17……干渉光束、17A……干渉縞部分
Claims (2)
- 【請求項１】レーザからの光を参照光路と測長光路とに
分岐してから合わせた干渉光を、直線偏光の状態を変え
る45゜旋光板を通過させた後、複数の光学素子により光
学的に位相が90゜ずれた２相または３相の干渉光に分岐
させ、それら分岐された干渉光を検出した電気信号に基
づいて測長光路長の変化及び／又は変化の方向を測定す
るように構成するとともに、 ２相または３相の干渉光に分岐させる前記複数の光学素
子の全部、または、その内の一部の光学素子を、隣同士
互いに接触させ、かつ、前記45゜旋光板と一体的に結合
せしめたことを特徴とするレーザ測長計。 - 【請求項２】前記複数の光学素子は、光学的に２相の干
渉光に分岐するλ/4以上のリタデーションを持つ波長
板、および、前記波長板の下流側に隣接した偏光ビーム
スプリッタを含み、前記波長板または前記偏光ビームス
プリッタを光軸周りに調節回動可能に設けたことを特徴
とする特許請求の範囲１項に記載のレーザ測長計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102739A JP2992829B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | レーザ測長計 |
| EP90313424A EP0433008B1 (en) | 1989-12-11 | 1990-12-11 | Laser interferometric measuring apparatus |
| DE69017159T DE69017159T2 (de) | 1989-12-11 | 1990-12-11 | Laser-interferometrischer Messapparat. |
| US08/073,292 US5305088A (en) | 1989-12-11 | 1993-06-07 | Laser interferometric measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102739A JP2992829B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | レーザ測長計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041503A JPH041503A (ja) | 1992-01-07 |
| JP2992829B2 true JP2992829B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=14335611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2102739A Expired - Lifetime JP2992829B2 (ja) | 1989-12-11 | 1990-04-18 | レーザ測長計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2992829B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3205235B2 (ja) * | 1995-01-19 | 2001-09-04 | シャープ株式会社 | リードフレーム、樹脂封止型半導体装置、その製造方法及び該製造方法で用いる半導体装置製造用金型 |
| JP5066589B2 (ja) | 2009-05-15 | 2012-11-07 | パナソニック株式会社 | 三次元形状測定装置用プローブ及び三次元形状測定装置 |
| CN113810103B (zh) * | 2021-09-08 | 2022-09-09 | 中国矿业大学(北京) | 波长测量***以及波长测量方法 |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP2102739A patent/JP2992829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH041503A (ja) | 1992-01-07 |
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