JP2989635B2 - Magnetic field measurement device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁界の強さを測定するための装置に関し、
もつと詳しくは、微弱な磁界の強さを測定するために好
適に実施することができる磁界測定装置に関する。Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to an apparatus for measuring the strength of a magnetic field,
More specifically, the present invention relates to a magnetic field measuring apparatus which can be suitably implemented to measure the strength of a weak magnetic field.

従来の技術 人間の脳、腕、眼球および心臓などの生体から発生さ
れる微弱な磁界の強さを測定するために、超電導量子干
渉（Superconductive Quantum Interference Device、
略称SQUID）磁束計が用いられる。この磁束計は、強磁
性材料からの悪影響を受けて測定精度が低下する。した
がつてこの磁束計を用いて心磁気を測定する装置では、
非磁性材料製とする必要がある。2. Description of the Related Art In order to measure the strength of a weak magnetic field generated from living bodies such as the human brain, arms, eyes and heart, a superconductive quantum interference (Superconductive Quantum Interference Device,
An abbreviated SQUID) magnetometer is used. This magnetometer suffers from an adverse effect from the ferromagnetic material, and the measurement accuracy is reduced. Therefore, in a device that measures magnetocardiography using this magnetometer,
It must be made of non-magnetic material.

典型的な先行技術は、第16図に示されている。人体な
どの被検査物１の上方には、超電導量子干渉磁束計２が
設けられ、この磁束計２は、アルミニウム製吊下げ部材
３によつて、水平軸線４のまわりに揺動可能に吊下げら
れ、建物の天井である梁５に取付けられる。こうして壁
６内の部屋７において、人体の心磁気の測定などを行う
ことができる。A typical prior art is shown in FIG. A superconducting quantum interference magnetometer 2 is provided above an inspection object 1 such as a human body. The magnetometer 2 is suspended by an aluminum suspension member 3 so as to be swingable around a horizontal axis 4. And attached to the beam 5 which is the ceiling of the building. In this way, in the room 7 in the wall 6, the measurement of the magnetism of the human body can be performed.

このような先行技術では、天井である梁５を高く設け
る必要があり、しかもこの梁５の強度を大きくする必要
がある。さらにまた磁束計２を作業者が手動で操作する
必要があるとともに、高精度の測定を行うことができな
い。In such prior art, the beam 5 serving as the ceiling needs to be provided high, and the strength of the beam 5 needs to be increased. Furthermore, it is necessary for the operator to manually operate the magnetometer 2, and high-precision measurement cannot be performed.

他の先行技術は第17図に示されている。この先行技術
では、基台８に立設された支柱９に、水平軸線まわりに
揺動可能にアーム10が支承され、このアーム10の一端部
に超電導量子干渉磁束計11が設けられ、人体などの被検
査物12の微弱な磁界の強さを測定する。アーム10の他端
部には平衡のための重鍾13が設けられる。基台８、支柱
９およびアーム10は木製である。Another prior art is shown in FIG. In this prior art, an arm 10 is supported on a support 9 erected on a base 8 so as to be swingable around a horizontal axis. The intensity of the weak magnetic field of the test object 12 is measured. At the other end of the arm 10, a heavy weight 13 for equilibrium is provided. The base 8, the support 9 and the arm 10 are made of wood.

このような第17図の先行技術でもまた、アーム10など
を作業者が手動で操作しなければならず、操作が面倒で
あるとともに、高精度の測定を行うことができない。In the prior art of FIG. 17 as well, the operator must manually operate the arm 10 and the like, which is troublesome and cannot perform high-precision measurement.

発明が解決すべき課題 本発明の目的は、むやみに大きな設置スペースを必要
とすることなく、しかも磁界の測定を自動化することが
可能であり、これによつて作業性が向上されるようにし
た磁界測定装置を提供することである。Problems to be solved by the invention It is an object of the present invention to make it possible to automate the measurement of a magnetic field without excessively requiring a large installation space, thereby improving workability. It is to provide a magnetic field measuring device.

課題を解決するための手段 本発明は、水平な剛性の支持板26と、 被検査物を乗載し、水平面内で相互に直交するＸ方向
とＹ方向とに移動自在に設けられるベッドと、 このベッドをＸ方向とＹ方向とに駆動するための駆動
源と、 駆動源とベッドとに連結され、ベッドを移動する索条
と、 ベッドの上方に設けられ、磁界の強さを測定する磁界
測定手段と、 磁界測定手段を昇降駆動する手段とを含み、 ベッドと駆動源と索条と磁界測定手段と昇降駆動手段
とは、支持板26上に設けられ、 さらに防振装置が設けられ、この防振装置は、 床22に載置され、上方に開放した収納容器130と、 収納容器130内に収納され、硬質の多数の非磁性材料
から成り、不揃いの形状を有し、充填される層の厚みd1
が約3cm以上であり、支持板26が乗載される粉粒体131と
を有することを特徴とする磁界測定装置である。Means for Solving the Problems The present invention provides a horizontal rigid support plate 26, a bed on which an object to be inspected is mounted, and which is provided movably in an X direction and a Y direction orthogonal to each other in a horizontal plane, A drive source for driving the bed in the X direction and the Y direction, a cable connected to the drive source and the bed for moving the bed, and a magnetic field provided above the bed for measuring the strength of the magnetic field Measuring means, means for vertically driving the magnetic field measuring means, the bed, the driving source, the cable, the magnetic field measuring means, and the vertically driving means are provided on the support plate 26, and further, a vibration isolator is provided, This anti-vibration device is placed on the floor 22 and opened upward, and a storage container 130, which is stored in the storage container 130, is made of many hard non-magnetic materials, has an irregular shape, and is filled Layer thickness d1
Is about 3 cm or more, and a granular material 131 on which the support plate 26 is mounted.

また本発明は、粉状体の粒径は、0.5〜5.0mmφの範囲
の粒度分布を有することを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that the powder has a particle size distribution in the range of 0.5 to 5.0 mmφ.

また本発明は、粉状体の粒径は、（ａ）0.5mmφ以
上、1.0mmφ未満の粒径を有する粒状体を25重量％、
（ｂ）1.0mmφ以上、2.0mmφ未満の粒状体を25重量％、
（ｃ）2.0mmφ以上、3.0mmφ未満の粒状体を25重量部お
よび（ｄ）3.0mmφ以上、5.0mmφ未満の粒状体を25重量
％含むように構成されることを特徴とする。In the present invention, the particle size of the powdery material is (a) 25% by weight of a granular material having a particle size of 0.5 mmφ or more and less than 1.0 mmφ,
(B) 25% by weight of a granular material of 1.0 mmφ or more and less than 2.0 mmφ,
(C) 25% by weight of a granular material having a diameter of 2.0 mmφ or more and less than 3.0 mmφ and (d) 25% by weight of a granular material having a diameter of 3.0 mmφ or more and less than 5.0 mmφ.

また本発明は、被検査物を乗載し、水平面内で相互に
直交するＸ方向とＹ方向とに移動自在に設けられるベッ
ドと、 このベッドをＸ方向とＹ方向とに駆動するための駆動
源と、 駆動源とベッドとに連結され、ベッドを移動する索条
と、 ベッドの上方に設けられ、磁界の強さを測定する磁界
測定手段と、 磁界測定手段を昇降駆動する手段とを含み、 前記昇降駆動手段は、 上下に延びるねじ棒と、 ねじ棒に螺合し、磁界測定手段に設けられるナット部
材と、 ねじ棒を、そのねじ棒の軸線まわりに回転駆動する回
転駆動手段とを含み、 回転駆動手段を構成する少なくとも強磁性材料から成
る部材を、着脱自在とし、 磁界測定手段とナット部材との間に角変位駆動手段が
介在され、この角変位駆動手段は、横に延びる回転軸線
まわりに磁界測定手段を角変位して揺動駆動し、 角変位駆動手段は、 磁界測定手段の側部を支持する遊端部を有する支持腕
と、 支持腕の基端部を磁界測定手段の軸線に垂直な揺動軸
線まわりに揺動自在にナット部材に保持する保持手段と
を含み、 支持腕の遊端部の磁界測定手段を支持する位置よりも
揺動軸線を、上方に配置することを特徴とする磁界測定
装置である。According to the present invention, there is provided a bed on which an object to be inspected is mounted and movably provided in an X direction and a Y direction orthogonal to each other in a horizontal plane, and a drive for driving the bed in the X direction and the Y direction. A cable connected to the drive source and the bed for moving the bed; a magnetic field measuring means provided above the bed for measuring the strength of the magnetic field; and a means for vertically moving the magnetic field measuring means. The elevation drive means includes a vertically extending screw rod, a nut member screwed to the screw rod, and provided on the magnetic field measuring means, and a rotation drive means for rotating the screw rod about the axis of the screw rod. At least a member made of a ferromagnetic material constituting the rotation driving means is made detachable, and an angular displacement driving means is interposed between the magnetic field measuring means and the nut member. Magnetic field measurement around axis Oscillating drive by angular displacement of the means, the angular displacement drive means comprising: a support arm having a free end supporting the side of the magnetic field measurement means; and a base end of the support arm perpendicular to the axis of the magnetic field measurement means. Holding means for holding the nut member so as to be swingable about the swing axis, wherein the swing axis is disposed above the position where the free end of the support arm supports the magnetic field measuring means. It is a magnetic field measuring device.

作 用 本発明に従えば、磁界測定装置のベッドと駆動源と索
条と磁界測定手段と昇降駆動手段とは、支持板26上に設
けられ、したがってこれらの各構成要素の重量は、支持
板26に作用し、この支持板26は、防振装置23の粉粒体13
1上に乗載される。したがって床22からの振動が防振装
置23によって遮断され、防振効果が達成される。According to the present invention, the bed, the driving source, the cable, the magnetic field measuring means, and the lifting / lowering driving means of the magnetic field measuring device are provided on the support plate 26, and thus the weight of each of these components is The support plate 26 acts on the powder 13 of the vibration isolator 23.
Be loaded on one. Therefore, the vibration from the floor 22 is blocked by the vibration isolator 23, and the vibration isolating effect is achieved.

特に本発明に従えば、粉粒体131は、収納容器130内に
収納され、この粉粒体131は、硬質の多数の非磁性材
料、たとえば後述のように大理石またはガラスなどが粉
砕されて製造されたものであって、したがって不揃いの
形状を有するとともに、収納容器130内に充填される層
の厚みd1が約3cm以上であるので、防振効果が充分達成
される。したがって被検査物が、たとえば人体であっ
て、その人体から発生される直流〜40Hz未満の周波数成
分を有する磁界を、外部からの振動にかかわらず、高精
度で測定することができるようになる。In particular, according to the present invention, the granular material 131 is stored in the storage container 130, and the granular material 131 is manufactured by pulverizing a large number of hard non-magnetic materials, for example, marble or glass as described later. The thickness of the layer filled in the storage container 130 is about 3 cm or more, so that the vibration damping effect is sufficiently achieved. Therefore, the object to be inspected is, for example, a human body, and a magnetic field generated from the human body and having a frequency component of less than DC to 40 Hz can be measured with high accuracy irrespective of external vibration.

また本発明に従えば、粉粒体131の粒径を、0.5〜5.0m
mφの範囲の粒度分布とすることによって、さらに高い
防振効果を達成することができ、しかもその粒径0.5〜
1.0mmφ、1.0〜2.0mmφ、2.0〜3.0mmφおよび3.0〜5.0m
mφ毎の各重量比を適切に上述のように25重量％に定め
ることによって、防止効果をさらに高めることができ
る。Further, according to the present invention, the particle size of the granular material 131, 0.5 ~ 5.0m
By adopting a particle size distribution in the range of mφ, it is possible to achieve a higher vibration isolation effect, and the particle size is 0.5 to
1.0mmφ, 1.0 ~ 2.0mmφ, 2.0 ~ 3.0mmφ and 3.0 ~ 5.0m
By appropriately setting the weight ratio for each mφ to 25% by weight as described above, the prevention effect can be further enhanced.

本発明に従えば、被検査物を乗載するベツドと、この
ベツドをＸ方向とＹ方向とに駆動するための駆動源との
間には索条が連結されており、したがつてベツドから充
分な長さ、たとえば1.6m以上遠去つた位置に駆動源を配
置することができる。駆動源は、たとえばモータであ
り、強磁性材料を含む。したがつてベツドの上方に昇降
駆動手段によつて昇降可能に設けられる磁界測定手段
と、前記駆動源との間の距離を充分に長くして、その磁
界測定手段への駆動源の強磁性材料による悪影響を防ぐ
ことができる。このようにして、磁界測定手段によつて
微弱な磁界の強度を高精度に測定することができる。According to the present invention, a cable is connected between a bed on which an object to be inspected is mounted and a driving source for driving the bed in the X direction and the Y direction. The driving source can be arranged at a position that is far enough away, for example, 1.6 m or more. The drive source is, for example, a motor and includes a ferromagnetic material. Therefore, the distance between the magnetic field measuring means, which is provided above the bed so as to be able to move up and down by the raising and lowering driving means, and the driving source is sufficiently long, and the ferromagnetic material of the driving source to the magnetic field measuring means is provided. Can be prevented from being adversely affected. In this way, the intensity of the weak magnetic field can be measured with high accuracy by the magnetic field measuring means.

さらにこのような磁界測定装置は、むやみに大きな設
置スペースを必要とせず、また駆動源および昇降駆動手
段によつてベツドおよび磁界測定手段を駆動するように
したので、自動的に、磁界の強さの測定を行うことがで
きるようになり、作業性が向上される。Further, such a magnetic field measuring apparatus does not require an unnecessarily large installation space and drives the bead and the magnetic field measuring means by a driving source and a lifting / lowering driving means. Can be measured, and workability is improved.

さらに本発明に従えば、磁界測定手段を昇降する昇降
駆動手段は、上下に延びるねじ棒を、回転駆動手段によ
つて、そのねじ棒の軸線まわりに回転駆動し、このねじ
棒には、磁界測定手段が設けられるナツト部材が螺合
し、こうしてねじ棒を回転駆動手段によつて駆動するこ
とによつて、ナツト部材、したがつて磁界測定手段が昇
降変位される。この回転駆動手段を構成する少なくとも
強磁性材料から成る部材、たとえばヨークなどを備える
モータを、着脱自在とし、これによつて昇降駆動手段に
よつて磁界測定手段が予め定めた上下の位置にもたらさ
れたとき、その強磁性材料から成る部材であるモータな
どを取外すことによつて、その強磁性材料から成る部材
による磁界測定手段への悪影響を防ぐことができる。こ
のような回転駆動手段を構成する少なくとも強磁性材料
から成る部材を取外した状態において、ナツト部材には
磁界測定手段などの重量が作用しているけれども、ねじ
棒が回転することはなく、磁界測定手段が下降してしま
うおそれはなく、その上下の位置が保たれる。Further according to the present invention, the lifting drive means for lifting and lowering the magnetic field measuring means drives a vertically extending screw rod to rotate about the axis of the screw rod by means of the rotation drive means, and the screw rod has a magnetic field. The nut member provided with the measuring means is screwed together, and the screw bar is driven by the rotary driving means, whereby the nut member and therefore the magnetic field measuring means are displaced up and down. A motor having at least a member made of a ferromagnetic material, such as a yoke, which constitutes the rotary driving means is made detachable, whereby the magnetic field measuring means is brought to predetermined upper and lower positions by the lifting drive means. Then, by removing the motor or the like which is a member made of the ferromagnetic material, it is possible to prevent the member made of the ferromagnetic material from adversely affecting the magnetic field measuring means. In a state where at least the member made of a ferromagnetic material constituting such a rotation driving means is removed, the weight of the magnetic field measuring means or the like acts on the nut member, but the screw rod does not rotate, and the magnetic field measurement is not performed. There is no danger of the means being lowered, and the upper and lower positions are maintained.

さらに本発明に従えば、磁界測定手段は、ナツト部材
との間に介在される角変位駆動手段によつて、横、たと
えば水平に延びる回転軸線まわりに角変位駆動され、こ
れによつて被検出物の磁界を測定すべき領域を広げるこ
とが可能であり、この角変位駆動手段の支持腕は、支持
腕の遊端部によつて磁界測定手段の側部を支持し、支持
腕の基端部を、前記ナツト部材に保持し、この基端部
は、磁界測定手段の軸線に垂直な揺動軸線まわりに揺動
自在であり、こうして磁界測定手段による磁界の強さの
測定範囲を広くすることができ、しかも支持腕の遊端部
の磁界測定手段を支持する位置よりも、揺動軸線を、上
方に配置し、これによつてたとえば上下に細長い磁界測
定手段であつても、天井が高い部屋を必要とすることは
なく、またこの磁界測定手段を下降して、低い位置にあ
る被検査物にまで近付けて、微弱な磁界の測定を行うこ
とができる。Further, according to the present invention, the magnetic field measuring means is driven to be angularly displaced laterally, for example, about a horizontally extending rotation axis, by an angular displacement driving means interposed between the nut member and the object to be detected. It is possible to widen the area where the magnetic field of the object is to be measured, and the supporting arm of the angular displacement driving means supports the side of the magnetic field measuring means by the free end of the supporting arm, and the proximal end of the supporting arm The base portion is held on the nut member, and the base end portion is swingable about a swing axis perpendicular to the axis of the magnetic field measuring means, thus widening the measurement range of the magnetic field strength by the magnetic field measuring means. The swing axis is arranged above the position of the free end of the support arm that supports the magnetic field measuring means, so that even if the magnetic field measuring means is elongated vertically, the ceiling can be It does not require a tall room and Lowered the unit, closer to the object to be inspected in the low position, it is possible to perform measurement of weak magnetic fields.

実施例 第１図は本発明の一実施例の斜視図であり、第２図は
その側面図であり、第３図はその平面図であり、第４図
はその正面図である。これらの図面を参照して、磁界測
定装置21は、床22上に設けられた防振装置23を介して設
けられる。水平な乗載面を有するベツド24上には、人体
である被検査物25が乗載される。防振装置23の剛性のた
とえば木製から成る水平な支持板26上には、真ちゅう製
脚27によつて上方に間隔をあけて配置された水平な木製
の底板28が設けられる。この底板28上には、取付片29が
固定され、この取付片29上には、Ｘ方向に延びる一対の
アルミニウム製または木製のレール30が固定される。ま
た底板28上にはもう１つのアルミニウム製または木製の
レール31が固定される。木製の移動体36には、支持片32
によつて、レール30を上下に挟むアルミニウム製ローラ
33が設けられ、またレール31上を走行するローラ34が支
持片35によつて木製移動体36に取付けられる。木製移動
体36はＹ方向に細長く延び、その移動体36上には、Ｙ方
向に延びる一対のアルミニウム製または木製のレール38
が固定される。このレール38は大略的に逆Ｌ字状の軸直
角断面を有する。ベツド24の支持片39には、レール38を
上下に挟んでそのレール38に沿つて走行するローラ40が
設けられる。こうしてベツド24は、水平面内で、相互に
直交するＸ方向とＹ方向とに移動自在に設けられる。Embodiment FIG. 1 is a perspective view of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view thereof, FIG. 3 is a plan view thereof, and FIG. 4 is a front view thereof. Referring to these drawings, magnetic field measuring device 21 is provided via a vibration isolator 23 provided on floor 22. An inspection object 25 which is a human body is mounted on a bed 24 having a horizontal mounting surface. On a rigid horizontal support plate 26 made of, for example, wood, of the vibration isolator 23, a horizontal wooden bottom plate 28 is provided which is spaced upward by brass legs 27. A mounting piece 29 is fixed on the bottom plate 28, and a pair of aluminum or wooden rails 30 extending in the X direction is fixed on the mounting piece 29. On the bottom plate 28, another aluminum or wooden rail 31 is fixed. The wooden moving body 36 has a support piece 32
The aluminum roller sandwiches the rail 30 up and down
33 is provided, and a roller 34 running on the rail 31 is attached to a wooden moving body 36 by a support piece 35. The wooden moving body 36 is elongated in the Y direction, and a pair of aluminum or wooden rails 38 extending in the Y direction is provided on the moving body 36.
Is fixed. The rail 38 has a substantially inverted L-shaped section perpendicular to the axis. The support piece 39 of the bead 24 is provided with a roller 40 that runs along the rail 38 with the rail 38 being vertically sandwiched. Thus, the bead 24 is provided movably in the X direction and the Y direction orthogonal to each other in the horizontal plane.

移動体36をＸ方向に移動するために、底板28には、プ
ーリ42,43が設けられ、このプーリ42,43には無端状のゴ
ムなどの材料から成る索条であるベルト44が巻掛けら
れ、このベルト44の一部44aは、移動体36に固定され
る。プーリ43と同軸に、しかもプーリ43に固定されたプ
ーリ45と、底板28に設けられるプーリ46との間には無端
状の索条であるゴムなどの材料から成るベルト47が巻掛
けられる。プーリ46は、駆動源であるサーボモータ48お
よび歯車列を有する減速手段49によつて駆動される。し
たがつてサーボモータ48が回転駆動されることによつ
て、ベルト47が走行され、これに応じてベルト44が走行
され、そのため移動体36がＸ方向に移動される。In order to move the moving body 36 in the X direction, pulleys 42 and 43 are provided on the bottom plate 28, and a belt 44 which is a rope made of a material such as endless rubber is wound around the pulleys 42 and 43. The part 44a of the belt 44 is fixed to the moving body 36. A belt 47 made of a material such as rubber, which is an endless cable, is wound between a pulley 45 fixed to the pulley 43 and a pulley 45 fixed to the pulley 43 and a pulley 46 provided on the bottom plate 28. The pulley 46 is driven by a servomotor 48 as a drive source and a speed reducing means 49 having a gear train. Accordingly, the belt 47 is driven by the rotational drive of the servo motor 48, and the belt 44 is driven accordingly, so that the moving body 36 is moved in the X direction.

ベツド24をＹ方向に駆動するために、第５図に明らか
に示されるように、移動体36にはサーボモータ51と減速
手段52とを含む駆動源53が取付けられる。この減速手段
52によつてプーリ54が回転駆動され、移動体36にはもう
１つのプーリ55が設けられ、これらのプーリ54,55間に
わたつて無端状の索条であるゴムなどから成るベルト56
が巻掛けられる。このベルト56の一部分56aは、ベツド2
4に固定される。このようにしてモータ51が駆動される
ことによつてベルト56が走行し、これに応じてベツド24
がＹ方向に移動されて走行する。In order to drive the bead 24 in the Y direction, a driving source 53 including a servomotor 51 and a deceleration means 52 is attached to the moving body 36 as clearly shown in FIG. This deceleration means
A pulley 54 is driven to rotate by 52, and another pulley 55 is provided on the moving body 36. A belt 56 made of rubber or the like, which is an endless cable, is provided between the pulleys 54 and 55.
Is wound. A portion 56a of the belt 56 is a belt 2
Fixed to 4. When the motor 51 is driven in this manner, the belt 56 travels, and the belt 24 is accordingly driven.
Is moved in the Y direction and travels.

磁界測定手段58は、たとえば超電導量子干渉磁束計で
あり、人体である被検査物25から発生されるたとえば心
磁気などのような微弱な磁界の強さを測定する。この磁
界測定手段58は、ベツド24の上方に設けられる。磁界測
定手段58は、昇降駆動手段60によつて、上下に昇降駆動
される。The magnetic field measuring means 58 is, for example, a superconducting quantum interference magnetometer, and measures the intensity of a weak magnetic field such as, for example, a magnetocardiogram generated from the test object 25 which is a human body. The magnetic field measuring means 58 is provided above the bead 24. The magnetic field measuring means 58 is vertically driven up and down by the lifting drive means 60.

昇降駆動手段60において、底板28上に立設された木製
の支持体62は補強板63によつて補強される。この支持体
62には、真ちゅう製ねじ棒64がその下部で軸受65（第８
図参照）および上端部で軸受66（第13図参照）によつて
鉛直軸線まわりに回転可能に支持される。ねじ棒64は上
下に単一本延びており、このねじ棒64のＹ方向両側には
一対の案内棒67が設けられる。案内棒67には、保持体68
が挿通し、上下に昇降可能となつている。In the lifting drive means 60, the wooden support 62 erected on the bottom plate 28 is reinforced by a reinforcing plate 63. This support
62 has a brass threaded rod 64 at its lower part bearing 65 (8th).
(See FIG. 13) and at the upper end thereof are rotatably supported about a vertical axis by bearings 66 (see FIG. 13). A single screw rod 64 extends vertically, and a pair of guide rods 67 are provided on both sides of the screw rod 64 in the Y direction. The guide rod 67 has a holder 68
Can be inserted and moved up and down.

第６図はねじ棒64の下部付近の断面図であり、第７図
はその背後から見た背面図である。ねじ棒64の下部には
プーリ69が固定されている。この支持体62には、プーリ
70が回転自在に軸受71,72によつて設けられており、こ
のプーリ70と、前述のプーリ69との間にはゴムなどから
成る無端状のベルト73が巻掛けられる。プーリ70には平
歯車74が固定される。FIG. 6 is a sectional view of the vicinity of the lower portion of the screw rod 64, and FIG. 7 is a rear view as seen from behind. A pulley 69 is fixed to a lower portion of the screw rod 64. This support 62 has a pulley
A pulley 70 is rotatably provided by bearings 71 and 72, and an endless belt 73 made of rubber or the like is wound between the pulley 70 and the pulley 69 described above. A spur gear 74 is fixed to the pulley 70.

この歯車74を駆動するための回転駆動手段75は、支持
体62の取付板76に、つまみを有するボルト137によつて
着脱自在に取付けられる。取付板76は基台79に固定さ
れ、この基台79は底板28に固定される。回転駆動手段75
は、歯車74に噛合う歯車80を有し、歯車減速手段81を介
してハンドル82の軸線83まわりの手動による回転によつ
て、鉛直軸線まわりに回転駆動される。この歯車80は、
後述の第２実施例として第12図〜第14図に示されるよう
に、サーボモータ110によつて回転駆動されるようにし
てもよい。The rotation driving means 75 for driving the gear 74 is detachably attached to the attachment plate 76 of the support 62 by a bolt 137 having a knob. The mounting plate 76 is fixed to a base 79, and the base 79 is fixed to the bottom plate 28. Rotation drive means 75
Has a gear 80 meshed with a gear 74, and is driven to rotate about a vertical axis by manual rotation of the handle 82 about an axis 83 via gear reduction means 81. This gear 80
As shown in FIGS. 12 to 14 as a second embodiment to be described later, the rotation may be driven by a servomotor 110.

第８図を参照して、ねじ棒64には、非磁性材料から成
るステンレス鋼または真ちゆうなどの材料から成るナツ
ト部材84が螺合する。したがつてハンドル82が回転駆動
されることによつて、その動力は歯車減速手段81、歯車
80,74およびベルト73を経てねじ棒64に伝達されて、ね
じ棒64がその軸線まわりに回転駆動され、これに応じて
ナツト部材84がねじ棒64の軸線に沿つて上下に昇降す
る。ナツト部材84は保持体68に固定される。Referring to FIG. 8, a nut member 84 made of a material such as stainless steel or brass made of a non-magnetic material is screwed into the screw rod 64. Accordingly, when the handle 82 is rotationally driven, the power is transmitted to the gear reduction means 81 and the gear.
The screw rod 64 is transmitted to the screw rod 64 via the belts 73 and 80, 74, and the screw rod 64 is driven to rotate around its axis. In response, the nut member 84 moves up and down along the axis of the screw rod 64. The nut member 84 is fixed to the holder 68.

回転駆動手段75を、取付板76から着脱自在とすること
によつて、磁界測定手段58によつて磁界を測定すると
き、この回転駆動手段75を構成する強磁性材料から成る
部材による悪影響を防ぎ、測定精度を向上することがで
きる。この回転駆動手段75の歯車減速手段81には、強磁
性材料である鉄などの材料から成る歯車が含まれてい
る。したがつてこのような強磁性材料から成る歯車など
の部材を含む回転駆動手段75を、磁束測定手段58の磁束
測定時に、ボルト137を緩めて、取付板76から上述のよ
うに取外しておくことによつて、被検査物25から発生さ
れる微弱な磁界の強さを、確実に測定することができ、
その測定誤差を小さくすることが可能となる。By making the rotation driving means 75 detachable from the mounting plate 76, when a magnetic field is measured by the magnetic field measuring means 58, the adverse effect of the member made of a ferromagnetic material constituting the rotation driving means 75 is prevented. The measurement accuracy can be improved. The gear reduction means 81 of the rotation driving means 75 includes a gear made of a material such as iron which is a ferromagnetic material. Accordingly, when the magnetic flux is measured by the magnetic flux measuring means 58, the rotation driving means 75 including the member such as the gear made of the ferromagnetic material is loosened by the bolt 137 and removed from the mounting plate 76 as described above. Thus, the strength of the weak magnetic field generated from the inspection object 25 can be reliably measured,
The measurement error can be reduced.

歯車74,80は平歯車であり、したがつて回転駆動手段7
5を着脱する際に、歯車74,80の噛合および離脱が容易で
ある。この歯車減速手段81を取付板76から取外した状態
において、保持体68がその自重で下降することはなく、
ねじ棒64はその軸線まわりに回転することはない。した
がつて磁界測定手段58の上下の位置は保たれたままであ
る。なお回転駆動手段75を構成する強磁性材料から成る
歯車など一部の部材だけを、着脱自在とするようにして
もよい。The gears 74 and 80 are spur gears, so that the rotation driving means 7
When attaching and detaching 5, the gears 74 and 80 can be easily engaged and disengaged. In a state where the gear reduction means 81 is detached from the mounting plate 76, the holding body 68 does not descend by its own weight,
Screw rod 64 does not rotate about its axis. Therefore, the upper and lower positions of the magnetic field measuring means 58 are kept. It should be noted that only some members such as a gear made of a ferromagnetic material constituting the rotation driving means 75 may be made detachable.

第９図は磁界測定手段58とその付近の正面から見た一
部切欠き断面図であり、第10図はその側方から見た断面
図である。この磁界測定手段58は、前述のように超電導
量子干渉磁束計から成り、低温恒温槽87内に浸漬する。
低温恒温槽87は底88を有する下支持筒89と、その低温恒
温槽87の蓋90を覆う上支持筒91との間で、連結棒92のね
じによつて締付けられる。下支持筒89の両側部には、一
対の支持腕93の遊端部93aが配置され、軸94の軸線94aま
わりに、下支持筒89、したがつて磁界測定手段58が矢符
95のように角変位可能となつている。軸94は外ねじ96を
有し、下支持筒89のねじ孔に螺合する。この軸94にはつ
まみ97が形成される。一対の軸94の軸線は、磁界測定手
段54の軸線98に垂直に交差する。この軸94を、つまみ97
によつて締付けることによつて、矢符95の斜めの角度位
置を固定することができる。FIG. 9 is a partially cutaway sectional view of the magnetic field measuring means 58 and its vicinity as viewed from the front, and FIG. 10 is a sectional view as viewed from the side. The magnetic field measuring means 58 is composed of a superconducting quantum interference magnetometer as described above, and is immersed in a low-temperature constant temperature chamber 87.
The low temperature oven 87 is fastened by a screw of a connecting rod 92 between a lower support cylinder 89 having a bottom 88 and an upper support cylinder 91 covering a lid 90 of the low temperature oven 87. On both sides of the lower support cylinder 89, free ends 93a of a pair of support arms 93 are arranged, and around the axis 94a of the shaft 94, the lower support cylinder 89, and thus the magnetic field measuring means 58, are indicated by arrows.
Angular displacement is possible like 95. The shaft 94 has an external thread 96 and is screwed into a screw hole of the lower support cylinder 89. A knob 97 is formed on the shaft 94. The axes of the pair of shafts 94 intersect perpendicularly with the axis 98 of the magnetic field measuring means 54. Adjust this shaft 94 with knob 97
Thus, the oblique angle position of the arrow 95 can be fixed.

再び第８図を参照して、支持腕93の基端部93bは、基
部100に固定されており、この基部100は、角変位駆動手
段101の水平に横に延びる回転軸線102を有する揺動軸10
3の端部に固定される。この揺動軸103は軸受104によつ
て、保持体68に支持される。Referring again to FIG. 8, the base end portion 93b of the support arm 93 is fixed to the base portion 100, and the base portion 100 has a swing axis 102 having a horizontally and horizontally extending rotation axis 102 of the angular displacement driving means 101. Axis 10
It is fixed to the end of 3. The swing shaft 103 is supported by the holding body 68 by a bearing 104.

連結棒92のねじを緩めることによつて、上下の支持筒
91,89内で低温恒温槽87、したがつて磁界測定手段58
を、その軸線98まわりに、第１図の矢符106で示すよう
に角変位することが可能である。By unscrewing the connecting rod 92, the upper and lower support cylinders
Low-temperature constant temperature chamber 87 in 91,89, and therefore magnetic field measuring means 58
Can be angularly displaced about its axis 98 as shown by the arrow 106 in FIG.

第11図は、角変位駆動手段101の背面図である。取付
板107にはボルト137によつて着脱可能に歯車減速手段12
1が設けられ、手動で回転駆動されるハンドル122が設け
られる。このハンドル122を回転駆動することによつ
て、歯車減速手段121の出力軸123が回転され、この出力
軸123は着脱可能な軸継手124によつて揺動軸103に連結
され、こうして揺動軸103が揺動されて角変位される。
磁界測定時には、ボルト137を緩めて、歯車減速手段121
を取り外し、このとき軸継手124を離脱し、こうして歯
車減速手段121の強磁性材料による測定精度の低下を防
ぐ。FIG. 11 is a rear view of the angular displacement driving means 101. The gear plate 12 is detachably attached to the mounting plate 107 by bolts 137.
1 is provided, and a handle 122 that is manually driven to rotate is provided. By rotating the handle 122, the output shaft 123 of the gear reduction means 121 is rotated, and the output shaft 123 is connected to the swing shaft 103 by a detachable shaft joint 124, and thus the swing shaft is rotated. 103 is swung and angularly displaced.
At the time of magnetic field measurement, the bolt 137 is loosened and the gear
Is removed, and at this time, the shaft coupling 124 is detached, thereby preventing the measurement accuracy of the gear reduction means 121 from deteriorating due to the ferromagnetic material.

この揺動軸103の軸線102は、支持腕93の遊端部93aの
磁界測定手段58を支持する軸94の軸線94aよりも上方に
ある。これによつて、上下に細長い磁界測定手段58およ
び低温恒温槽87を備える本件磁界測定装置を設置する部
屋の天井の高さを、むやみに高くする必要がなく、しか
も、保持体68、したがつてその低温恒温槽87および磁界
測定手段58を上方にまで変位することが可能である。さ
らにまたこの低温恒温槽87内に、液体ヘリウムなどの極
低温の液化ガスを、蓋90を取外して供給する作業を容易
に行うことが可能となる。The axis 102 of the swing shaft 103 is higher than the axis 94a of the shaft 94 supporting the magnetic field measuring means 58 at the free end 93a of the support arm 93. Thus, the height of the ceiling of the room in which the present magnetic field measuring device including the vertically long and thin magnetic field measuring means 58 and the low-temperature constant temperature bath 87 is installed need not be unnecessarily increased. Then, the low temperature constant temperature chamber 87 and the magnetic field measuring means 58 can be displaced upward. Furthermore, it is possible to easily carry out the operation of removing the lid 90 and supplying an extremely low temperature liquefied gas such as liquid helium into the low temperature constant temperature chamber 87.

さらにまた磁界測定手段58を充分に下方に変位して、
被測定物25に近接し、こうして微弱な磁界の測定を高精
度に行うことができる。さらにまた磁界検出手段58と保
持体68との間の空間127（第１図参照）を充分に広くし
て、ベツド24を支持体62付近にまで移動して、広い範囲
にわたつてベツド24上の被検出物25の磁界の測定を行う
ことが可能となる。Further, the magnetic field measuring means 58 is displaced sufficiently downward,
The weak magnetic field can be measured with high accuracy in the vicinity of the object 25 to be measured. Further, the space 127 (see FIG. 1) between the magnetic field detecting means 58 and the holder 68 is sufficiently widened, and the bead 24 is moved to the vicinity of the support 62, and the bead 24 is moved over the bead 24 over a wide range. The measurement of the magnetic field of the detection target 25 can be performed.

磁界測定手段58の強磁性材料による悪影響を防ぐため
に、底板28、移動体36、ベツド24および支持体62などは
木製であり、またその他の部材はアルミニウム、真ちゆ
う、ゴムおよび皮革などの非磁性材料で構成される。To prevent the magnetic field measuring means 58 from being adversely affected by the ferromagnetic material, the bottom plate 28, the moving body 36, the bead 24 and the support 62 are made of wood, and the other members are made of non-metal such as aluminum, brass, rubber and leather. It is made of a magnetic material.

第12図は本発明の他の実施例の昇降駆動手段60aの平
面図であり、第13図はその昇降駆動手段60aの背面図で
あり、第14図はその昇降駆動手段60aの第12図における
左側面図である。これらの図面を参照して、昇降駆動手
段60aでは、保持体68に固定されている取付板107に、基
台108が、手動で操作されるボルト109によつて着脱自在
に設けられる。この基台108上には、サーボモータ110が
固定される。サーボモータ110によつてプーリ111が駆動
される。歯車減速手段112の入力軸にはプーリ113が固定
される。プーリ111,113には無端状のゴムなどの被磁性
材料から成るベルト114が巻掛けられる。この歯車減速
手段112の入力軸115にはまた、手動操作するためのハン
ドル116が取付けられる。歯車減速手段112によつて出力
歯車80が回転され、前述のねじ棒64が回転される。FIG. 12 is a plan view of the lifting / lowering driving means 60a of another embodiment of the present invention, FIG. 13 is a rear view of the lifting / lowering driving means 60a, and FIG. FIG. Referring to these drawings, in lifting drive means 60a, base 108 is detachably provided on mounting plate 107 fixed to holding body 68 by manually operated bolts 109. On this base 108, a servomotor 110 is fixed. The pulley 111 is driven by the servo motor 110. A pulley 113 is fixed to an input shaft of the gear reduction unit 112. A belt 114 made of a magnetic material such as endless rubber is wound around the pulleys 111 and 113. A handle 116 for manual operation is attached to the input shaft 115 of the gear reduction unit 112. The output gear 80 is rotated by the gear reduction means 112, and the screw rod 64 is rotated.

本発明の他の実施例として、磁界測定手段58は、超電
導量子干渉磁束計でなくて、その他の構成であつてもよ
い。As another embodiment of the present invention, the magnetic field measuring means 58 may have another configuration instead of the superconducting quantum interference magnetometer.

再び第２図および第４図を参照して、磁界測定装置21
への床22からの振動を遮断するために、床22上に設けら
れた防振装置23では、合成樹脂などの透明な材料から成
る上方に開放した収納容器130内に、硬質の多数の非磁
性材料から成る粉粒体131が収納される。この粉粒体131
は不揃いの形状を有し、たとえば大理石またはガラスな
どから成り、破砕されて製造される。この粉粒体131の
充填される層の厚みd1は、約3cm以上であり、望ましく
は5cm以上に定められる。3cm未満では、防振効果が低
い。粉粒体131の粒径は0.5〜5.0mmφの範囲の粒度分布
を有し、たとえば（ａ）0.5mmφ以上、1.0mmφ未満の粒
径を有する粒状体を25重量％、（ｂ）1.0mmφ以上、2.0
mmφ未満の粒状体を25重量％、（ｃ）2.0mmφ以上、3.0
mmφ未満の粒状体を25重量部および（ｄ）3.0mmφ以
上、5.0mmφ未満の粒状体を25重量％含むように構成さ
れる。このようにして、形状が不揃いであるだけでな
く、さらに粒度分布が広いので、共振周波数を充分に低
くすることができ、または共振周波数を零とすることが
できる。したがつて人体である被検査物25から発生され
る直流〜40Hz未満の周波数成分を有する磁界を、高精度
で測定することができ、このような周波数成分の磁界の
測定に、床などからの振動に起因した誤差を含めないよ
うにすることが可能となる。またこのような粉粒体131
は、鉄粉などを含んでおらず、そのため磁界測定手段58
に悪影響を及ぼすことはない。このような形状が不揃い
な粉粒体131によれば、それらの粉粒体131が第15図の矢
符のように変位して相互の摩擦によつて、振動エネルギ
が熱エネルギに変換され、床22からの振動が支持板26に
伝達されることが防がれる。Referring again to FIG. 2 and FIG.
In order to block vibration from the floor 22 to the floor, a vibration isolator 23 provided on the floor 22 includes a large number of hard non-conductive members in an upwardly open storage container 130 made of a transparent material such as a synthetic resin. A granular material 131 made of a magnetic material is stored. This powder 131
Has an irregular shape and is made of, for example, marble or glass, and is manufactured by crushing. The thickness d1 of the layer filled with the granular material 131 is about 3 cm or more, and preferably 5 cm or more. If it is less than 3 cm, the anti-vibration effect is low. The particle 131 has a particle size distribution in the range of 0.5 to 5.0 mmφ. For example, (a) 25% by weight of a particle having a particle size of 0.5 mmφ or more and less than 1.0 mmφ, (b) 1.0 mmφ or more , 2.0
25% by weight of granular material less than mmφ, (c) 2.0mmφ or more, 3.0%
It is configured to contain 25 parts by weight of a granular material having a diameter of less than mmφ and (d) 25% by weight of a granular material having a diameter of not less than 3.0 mmφ and less than 5.0 mmφ. In this way, not only the shape is not uniform but also the particle size distribution is broad, so that the resonance frequency can be made sufficiently low or the resonance frequency can be made zero. Therefore, a magnetic field having a frequency component of direct current to less than 40 Hz, which is generated from the inspection object 25 which is a human body, can be measured with high accuracy. It becomes possible not to include an error caused by vibration. In addition, such powdery material 131
Does not contain iron powder, etc.
Does not adversely affect According to the powder particles 131 having such irregular shapes, the powder particles 131 are displaced as indicated by arrows in FIG. 15, and the vibration energy is converted into heat energy by mutual friction. Vibration from the floor 22 is prevented from being transmitted to the support plate 26.

発明の効果 本発明によれば、収納容器130内に充填された粉粒体1
31上に剛性の支持板26を配置し、この支持板26上に、ベ
ッドと駆動源と索条と磁界測定手段と昇降駆動手段とを
設けることによって、効果的に防振効果を達成すること
ができ、床22からの振動が遮断され、たとえば人体から
発生される直流〜40Hz未満の磁界を、高精度で測定する
ことが可能になる。Effects of the Invention According to the present invention, the granular material 1 filled in the storage container 130
By arranging a rigid support plate 26 on the base plate 31 and providing a bed, a drive source, a cable, a magnetic field measuring unit, and a lifting drive unit on the support plate 26, an effective anti-vibration effect can be achieved. Thus, vibration from the floor 22 is cut off, and a magnetic field of, for example, direct current to less than 40 Hz generated from the human body can be measured with high accuracy.

さらに本発明によれば、その粒状体の粒径と粒度分布
とを適切に定めて、防振効果をさらに高め、共振周波数
を充分に低くすることができるようになる。Further, according to the present invention, the particle size and the particle size distribution of the granular material can be appropriately determined, the vibration damping effect can be further enhanced, and the resonance frequency can be sufficiently reduced.

以上のように本発明によれば、被検査物が乗載される
ベツドを、索条を介して、駆動源によつて変位するよう
にし、このベツドの上方に昇降駆動手段によつて昇降可
能に磁界測定手段を設けたので、磁界測定手段と駆動源
との間の距離を長くすることができ、したがつて駆動源
がたとえば強磁性材料を有するモータなどであつても、
そのような駆動源による磁界測定手段への悪影響を防
ぎ、高精度で、微弱な磁界の強度を測定することが可能
になる。しかもこのような磁界測定装置は、むやみに大
きな設置スペースを必要とせず、また本件磁界測定装置
が設けられる部屋の強度をむやみに大きくする必要がな
い。さらにまた駆動源および昇降駆動手段を有している
ので、作業者が手動で磁界測定手段を操作する必要がな
く、測定の自動化が図られ、これによつて操作性が向上
されるとともに、測定精度の向上が図られる。As described above, according to the present invention, the bed on which the object to be inspected is mounted is displaced by the drive source through the cable, and can be moved up and down by the elevation drive means above the bead. Provided with a magnetic field measuring means, the distance between the magnetic field measuring means and the driving source can be increased, so that even if the driving source is a motor having a ferromagnetic material, for example,
It is possible to prevent such a drive source from adversely affecting the magnetic field measuring means and measure the intensity of a weak magnetic field with high accuracy. Moreover, such a magnetic field measuring apparatus does not require an unnecessarily large installation space and does not need to unnecessarily increase the strength of the room in which the present magnetic field measuring apparatus is provided. Furthermore, since the apparatus has a driving source and a lifting / lowering driving means, it is not necessary for an operator to manually operate the magnetic field measuring means, so that the measurement can be automated, whereby the operability is improved and the measurement is improved. The accuracy is improved.

さらに本発明によれば、磁界測定手段を昇降駆動する
昇降駆動手段はねじ棒を備え、ねじ駆動によつて磁界測
定手段を昇降変位し、このねじ棒を回転駆動する回転駆
動手段の少なくとも強磁性材料から成る部材、たとえば
モータなどを、着脱自在としたので、磁界測定手段の上
下の位置を予め定める位置に昇降駆動手段によつてもた
らした後に、前記強磁性材料から成る部材を取外すこと
によつて、その部材による磁界測定手段への悪影響を防
ぎ、高精度で微弱な磁界を測定することが可能である。Further, according to the present invention, the lifting drive means for driving the magnetic field measurement means up and down has a screw rod, the magnetic field measurement means is raised and lowered by screw drive, and at least the ferromagnetic of the rotation drive means for rotating the screw rod is driven. Since the member made of a material, for example, a motor, is made detachable, after the vertical position of the magnetic field measuring means is brought to a predetermined position by the lifting drive means, the member made of the ferromagnetic material is removed. Thus, it is possible to prevent the member from adversely affecting the magnetic field measuring means and measure a weak magnetic field with high accuracy.

さらに本発明によれば、磁界測定手段とナツト部材と
の間に横に延びる回転軸線まわりに磁界測定手段を角変
位して揺動駆動する角変位駆動手段を設け、この角変位
駆動手段では、支持腕の遊端部で磁界測定手段の側部を
支持し、支持腕の基端部を、ナツト部材に揺動自在に保
持し、この揺動軸線は、支持腕の遊端部の磁界測定手段
を支持する位置よりも上方に配置するようにしたので、
磁界測定手段がたとえば上下に細長い構造であつても、
本件磁界測定装置を設ける部屋の高さを、むやみに高く
する必要はなく、しかもこの磁界測定手段を、ベツド上
の被検査物に充分に近付けて、その微弱な磁界の強さを
測定することができるようになる。Further, according to the present invention, there is provided an angular displacement driving means for angularly displacing the magnetic field measuring means around a rotational axis extending laterally between the magnetic field measuring means and the nut member and for oscillating the magnetic field measuring means. The free end of the support arm supports the side of the magnetic field measuring means, and the base end of the support arm is swingably held on a nut member. The swing axis is used to measure the magnetic field of the free end of the support arm. Since it was arranged above the position to support the means,
Even if the magnetic field measuring means has a vertically elongated structure, for example,
It is not necessary to increase the height of the room in which the magnetic field measuring device is installed, and the magnetic field measuring means must be sufficiently close to the object to be inspected on the bed to measure the weak magnetic field strength. Will be able to

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図はその実施
例の側面図、第３図はその実施例の平面図、第４図はそ
の実施例の正面図、第５図は駆動源53付近の側面図、第
６図は昇降駆動手段60付近の断面図、第７図はその昇降
駆動手段60付近の背面図、第８図は角変位駆動手段101
の断面図、第９図は磁界測定手段58付近の正面から見た
断面図、第10図は磁界測定手段58付近の側方から見た断
面図、第11図は角変位駆動手段101の背面図、第12図は
本発明の他の実施例の昇降駆動手段60aの平面図、第13
図は昇降駆動手段60aの背面図、第14図は昇降駆動手段6
0aの左側面図、第15図は粉粒体131を拡大して示す図、
第16図は先行技術の断面図、第17図は他の先行技術の断
面図である。 21……磁界測定装置、22……床、23……防振装置、24…
…ベツド、25……被検査物、36……移動体、48,51……
モータ、58……磁界測定手段、64……ねじ棒、67……案
内棒、68……保持体、75……回転駆動手段、93……支持
腕、101……角変位駆動手段、131……粉粒体1 is a perspective view of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the embodiment, FIG. 3 is a plan view of the embodiment, FIG. 4 is a front view of the embodiment, FIG. 6 is a side view of the vicinity of the drive source 53, FIG. 6 is a cross-sectional view of the vicinity of the elevation drive means 60, FIG. 7 is a rear view of the vicinity of the elevation drive means 60, and FIG.
9 is a cross-sectional view of the vicinity of the magnetic field measuring means 58 as viewed from the front, FIG. 10 is a cross-sectional view of the vicinity of the magnetic field measuring means 58, and FIG. FIG. 12 is a plan view of a lifting drive means 60a according to another embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 14 is a rear view of the lifting / lowering driving means 60a, and FIG.
0a is a left side view, FIG. 15 is an enlarged view of the granular material 131,
FIG. 16 is a cross-sectional view of the prior art, and FIG. 17 is a cross-sectional view of another prior art. 21 ... magnetic field measuring device, 22 ... floor, 23 ... vibration isolator, 24 ...
… Bed, 25 …… inspection object, 36 …… moving body, 48,51 ……
Motor 58 magnetic field measuring means 64 screw rod 67 guide rod 68 holder 75 rotational drive means 93 support arm 101 angular displacement drive means 131 … Powder

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−158835（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−64450（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−186067（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−219683（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−13006（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01R 33/00 - 33/18 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-60-158835 (JP, A) JP-A-2-64450 (JP, A) JP-A-63-186067 (JP, A) JP-A-1- 219683 (JP, A) Japanese Utility Model Showa 57-13006 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. ⁶ , DB name) G01R 33/00-33/18

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】水平な剛性の支持板26と、 被検査物を乗載し、水平面内で相互に直交するＸ方向と
Ｙ方向とに移動自在に設けられるベッドと、 このベッドをＸ方向とＹ方向とに駆動するための駆動源
と、 駆動源とベッドとに連結され、ベッドを移動する索条
と、 ベッドの上方に設けられ、磁界の強さを測定する磁界測
定手段と、 磁界測定手段を昇降駆動する手段とを含み、 ベッドと駆動源と索条と磁界測定手段と昇降駆動手段と
は、支持板26上に設けられ、 さらに防振装置が設けられ、この防振装置は、 床22に載置され、上方に開放した収納容器130と、 収納容器130内に収納され、硬質の多数の非磁性材料か
ら成り、不揃いの形状を有し、充填される層の厚みd1が
約3cm以上であり、支持板26が乗載される粉粒体131とを
有することを特徴とする磁界測定装置。1. A horizontal rigid support plate 26, a bed on which an object to be inspected is mounted, and which is provided so as to be movable in an X direction and a Y direction orthogonal to each other in a horizontal plane. A drive source for driving in the Y direction, a cable connected to the drive source and the bed for moving the bed, a magnetic field measuring means provided above the bed and measuring a magnetic field strength, and a magnetic field measurement Means for driving the means up and down, the bed, the drive source, the cable, the magnetic field measuring means and the elevating drive means are provided on the support plate 26, and further provided with an anti-vibration device. A storage container 130 placed on the floor 22 and opened upward; and a storage container 130 that is stored in the storage container 130, is made of a number of hard non-magnetic materials, has an irregular shape, and has a thickness d1 of a filled layer of about 3 cm or more, and the powdery material 131 on which the support plate 26 is mounted. Field measurement device. 【請求項２】粉状体の粒径は、0.5〜5.0mmφの範囲の粒
度分布を有することを特徴とする請求項１記載の磁界測
定装置。2. The magnetic field measuring apparatus according to claim 1, wherein the powder has a particle size distribution in a range of 0.5 to 5.0 mmφ. 【請求項３】粉状体の粒径は、（ａ）0.5mmφ以上、1.0
mmφ未満の粒径を有する粒状体を25重量％、（ｂ）1.0m
mφ以上、2.0mmφ未満の粒状体を25重量％、（ｃ）2.0m
mφ以上、3.0mmφ未満の粒状体を25重量部および（ｄ）
3.0mmφ以上、5.0mmφ未満の粒状体を25重量％含むよう
に構成されることを特徴とする請求項２記載の磁界測定
装置。3. The particle size of the powdery material is as follows: (a) 0.5 mmφ or more;
25% by weight of granular material having a particle size of less than mmφ, (b) 1.0 m
25% by weight of granular material of not less than mφ and less than 2.0mmφ, (c) 2.0m
25 parts by weight of granular material having a diameter of not less than mφ and less than 3.0 mmφ and (d)
The magnetic field measuring apparatus according to claim 2, wherein the magnetic field measuring apparatus is configured to contain 25% by weight of a granular material having a diameter of 3.0 mmφ or more and less than 5.0 mmφ. 【請求項４】被検査物を乗載し、水平面内で相互に直交
するＸ方向とＹ方向とに移動自在に設けられるベッド
と、 このベッドをＸ方向とＹ方向とに駆動するための駆動源
と、 駆動源とベッドとに連結され、ベッドを移動する索条
と、 ベッドの上方に設けられ、磁界の強さを測定する磁界測
定手段と、 磁界測定手段を昇降駆動する手段とを含み、 前記昇降駆動手段は、 上下に延びるねじ棒と、 ねじ棒に螺合し、磁界測定手段に設けられるナット部材
と、 ねじ棒を、そのねじ棒の軸線まわりに回転駆動する回転
駆動手段とを含み、 回転駆動手段を構成する少なくとも強磁性材料から成る
部材を、着脱自在とし、 磁界測定手段とナット部材との間に角変位駆動手段が介
在され、この角変位駆動手段は、横に延びる回転軸線ま
わりに磁界測定手段を角変位して揺動駆動し、 角変位駆動手段は、 磁界測定手段の側部を支持する遊端部を有する支持腕
と、 支持腕の基端部を磁界測定手段の軸線に垂直な揺動軸線
まわりに揺動自在にナット部材に保持する保持手段とを
含み、 支持腕の遊端部の磁界測定手段を支持する位置よりも揺
動軸線を、上方に配置することを特徴とする磁界測定装
置。4. A bed on which an inspection object is mounted and movably provided in an X direction and a Y direction orthogonal to each other in a horizontal plane, and a drive for driving the bed in the X direction and the Y direction. A cable connected to the drive source and the bed for moving the bed; a magnetic field measuring means provided above the bed for measuring the strength of the magnetic field; and a means for vertically moving the magnetic field measuring means. The elevation drive means includes a vertically extending screw rod, a nut member screwed to the screw rod, and provided on the magnetic field measuring means, and a rotation drive means for rotating the screw rod about the axis of the screw rod. At least a member made of a ferromagnetic material constituting the rotation driving means is made detachable, and an angular displacement driving means is interposed between the magnetic field measuring means and the nut member. Magnetic field measurement hand around axis The step is driven to swing by angular displacement, and the angular displacement driving means comprises: a supporting arm having a free end supporting the side of the magnetic field measuring means; and a base end of the supporting arm perpendicular to the axis of the magnetic field measuring means. Holding means for holding the nut member so as to be swingable about the swing axis, wherein the swing axis is disposed above the position where the free end of the support arm supports the magnetic field measuring means. Magnetic field measurement device.