JP2986146B2 - 半導体製造装置のレシピ運用システム - Google Patents
半導体製造装置のレシピ運用システムInfo
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Description
レシピ運用システムに関する。
る工程は、成膜、塗布/現像、エッチング、イオン注
入、拡散など種々の工程からなり、被処理基板例えば半
導体ウエハ(以下ウエハという)が、各ステ−ション間
を順次移動して所定の処理が進められていく。各ステ−
ションでは、量産化に対応するために通常同種の処理装
置が複数設置されており、上位の制御手段により管理さ
れている。例えばバッチ式の熱処理装置を例にとって説
明すると、この種の熱処理装置は、多数枚のウエハを例
えば棚状にウエハボ−トに載せ、このウエハボ−トを縦
型の熱処理炉にロ−ドして熱処理を行うものである。
9に示すと、A1〜Anは熱処理装置、B1〜Bnは各
熱処理装置A1〜Anに組み合わされた装置コントロ−
ラ、11はミニコンピュ−タよりなるコントロ−ラ、1
2はホストコンピュ−タである。コントロ−ラ11は各
熱処理装置A1〜Anで使用するレシピを保有し、各レ
シピの編集や、用いられた生産レシピの履歴の保存など
の管理を行っており、実行すべき生産レシピを各熱処理
装置A1〜Anに受け渡している。熱処理装置A1〜A
nは、受け取ったレシピに基づいて運転され、その処理
デ−タ例えば温度、圧力、及びガス流量の経時変化など
はコントロ−ラ11に一旦送られ、ここからホストコン
ピュ−タ12に受け渡される。
コントローラ11がダウンすると処理装置がレシピを受
け取れなくなるため、装置の運転ができなくなるし、ま
たある装置が1処理分のレシピを既に受け取っていて運
転が可能な場合でも他の装置はそのレシピをコピーする
ことができないので他の装置の運転はできない。更に装
置の処理データをホストコンピュータ12に渡すことが
できない上、ホストコンピュータ12側からは各装置の
運転状況を把握できなくなり、結局は、システム全体の
ダウンということになり、コントローラ11が復帰され
るまでシステムを再開することができないという問題が
あった。
のであり、その目的は、システムがダウンしにくくかつ
レシピの管理を容易に行うことができ、また柔軟な運用
を図ることのできる半導体製造装置のレシピ運用システ
ムを提供することにある。
の半導体製造装置と、各半導体製造装置毎に設けられた
装置コントロ−ラと、これら装置コントロ−ラに共通に
接続され、生産レシピが格納されたホスト制御手段と、
前記装置コントロ−ラとホスト制御手段とを結ぶ伝送路
とは別の伝送路により各装置コントロ−ラに共通に接続
されると共に、前記ホスト制御手段と直接情報の授受を
行なうために専用の伝送路によりホスト制御手段に接続
されたレシピ管理手段と、を備え、前記ホスト制御手段
は、各装置コントロ−ラに生産レシピを送ると共に、レ
シピ管理手段に対して前記専用の伝送路を介してレシピ
の書き込み、読みだし、レシピの履歴の読みだしができ
るように構成され、各装置コントロ−ラは、ホスト制御
手段から送られた生産レシピに基づいて夫々半導体製造
装置を運転し、レシピ管理手段は、半導体製造装置で使
用された生産レシピの履歴を格納することを特徴とす
る。
て、ホスト制御手段から装置コントロ−ラに送った生産
レシピが自動的にレシピ管理手段でバックアップして保
存されることを特徴とする。
と、各半導体製造装置毎に設けられた装置コントロ−ラ
と、これら装置コントロ−ラに共通に接続され、生産レ
シピが格納されたホスト制御手段と、前記装置コントロ
−ラとホスト制御手段とを結ぶ伝送路とは別の伝送路に
より各装置コントロ−ラに共通に接続されると共に、前
記ホスト制御手段と直接情報の授受を行なうために専用
の伝送路によりホスト制御手段に接続されたレシピ管理
手段と、を備え、ホスト制御手段は、レシピ管理手段に
対して前記専用の伝送路を介して生産レシピの書き込
み、読みだし、生産レシピの履歴の読みだしができるよ
うに構成され、レシピ管理手段は、半導体製造装置で使
用された生産レシピの履歴を格納し、以下の「装置モ−
ド」、「レシピ管理手段モ−ド」または「ホストモ−
ド」のいずれかのモ−ドを選択できるように構成されて
いることを特徴とする。
に生産レシピが格納されており、この生産レシピの中か
ら、オペレ−タが装置コントロ−ラの画面を見て指定す
ることにより、実行すべきレシピを選択する。
理手段内に生産レシピが格納されており、この生産レシ
ピの中から、ホスト制御手段の実行レシピの指定によ
り、実行すべきレシピを選択する。
に生産レシピが格納されており、ホスト制御手段が生産
レシピを装置コントロ−ラに送ると共に、レシピ管理手
段に対して前記専用の伝送路を介してレシピの書き込
み、読みだし、レシピの履歴の読みだしを行なう。
て、装置モ−ドでは、ホスト制御手段の実行レシピの指
定によっても、装置コントロ−ラ内の生産レシピの中か
ら実行すべき生産レシピを選択できることを特徴とす
る。
明において、レシピ管理手段モ−ドでは、オペレ−タが
装置コントロ−ラの画面を見て指定することによっても
レシピ管理手段内の生産レシピの中から実行すべき生産
レシピを選択できることを特徴とする。
5の発明において、装置モ−ドまたはホストモ−ドで
は、装置コントロ−ラ内の生産レシピが自動的にレシピ
管理手段でバックアップして保存されることを特徴とす
る。
は6の発明において、各モードにおいて、装置コントロ
ーラ内のメンテナンスレシピが自動的にレシピ管理手段
にバックアップされることを特徴とする。請求項8の発
明は、複数の半導体製造装置と、これら半導体製造装置
毎に設けられ、各半導体製造装置の運転を制御するため
の装置コントローラと、これら装置コントローラに共通
に接続されると共に、プロセスレシピが格納されたレシ
ピ管理手段と、を備え、前記レシピ管理手段内に格納さ
れたプロセスレシピの中から選択されたプロセスレシピ
を装置コントローラに伝送し、このプロセスレシピに基
づいて、装置コントローラが半導体製造装置の運転を制
御することを特徴とする請求項8の発明は、次のように
構成してもよい。レシピ管理手段内のプロセスレシピの
選択は装置コントローラ側で行う。レシピ管理手段内に
格納されているプロセスレシピには、半導体製造装置の
識別コードを登録し、登録されている識別コードに対応
する半導体製造装置の装置コントローラからレシピ管理
手段に対して当該プロセスレシピの読み出しが可能であ
るようにする。レシピ管理手段は、半導体製造装置で使
用されたプロセスレシピの履歴を格納する。レシピ管理
手段は、装置コントローラ内に格納されているプロセス
レシピをバックアップして保存する。レシピ管理手段
は、装置コントローラ内に格納されている、半導体製造
装置をメンテナンスするためのメンテナンスレシピをバ
ックアップして保存する。
システムを示す構成図である。S−1〜S−nは半導体
製造装置例えばバッチ式の縦型熱処理装置である。縦型
熱処理装置について図2を参照しながら簡単に述べる
と、この熱処理装置は、ウエハ保持具であるウエハボー
ト15に多数枚のウエハWを棚状に搭載し、このウエハ
ボート15をボートエレベータ16により、縦型の反応
管を備えた加熱炉17内に搬入し、処理ガスにより所定
の温度、圧力条件の下で熱処理例えば酸化処理や成膜処
理などが行われるように構成されている。
コンピュータよりなる装置コントローラであり、これら
装置コントローラM(M−1〜M−n)は夫々熱処理装
置S(S−1〜S−n)に対しガス供給管や排気管のバ
ルブ、加熱炉17内のヒータの電力、ボートエレベータ
16の駆動モータなどの制御をするように構成されてい
る。各装置コントローラMは、生産レシピ格納部21、
レシピ選択部22、メンテナンスレシピ格納部23及び
モード選択部24を備えている。
きのプロセス条件を時系列に定めたプロセスレシピであ
り、概念的には図3に示すようにガスの種類、ガス流
量、反応管内圧力、温度などの条件を記載したものを単
位レシピとすると、例えば1回の熱処理について100
単位(No.1〜No.100)定められている。即ち
熱処理装置側では、1回の熱処理を行うにあたり、単位
レシピをNo.1〜No.100まで順番に参照してプ
ロセス条件を設定して運転していくことになる。メンテ
ナンスレシピとは、熱処理装置のメンテナンスを行うと
きに用いるレシピであり、例えば反応管内を洗浄すると
きのガスの種類、ガス流量、温度などの条件あるいはボ
ートエレベータの動作をチェックするときの昇降スピー
ドなどの条件を時系列に定めたものである。
の中からあるいは検索して引き出した生産レシピの中か
ら、使用すべき1処理分のレシピを選択するためのもの
であり、例えばレシピ管理プログラムの一部により構成
される。モード選択部は、後述するようにこのシステム
を「装置モード」、「レシピ管理手段モード」、「ホス
トモード」のうちのどのモードで運用するかを選択する
ものである。
は、共通の上位の制御系であるホスト制御手段をなすホ
ストコンピュータ3に夫々伝送路31を介して接続され
ている。このホストコンピュータ4は、生産レシピ格納
部41、実行レシピ指定部42、データ格納部43及び
モード選択部44を備えている。
ドを選択したときに、各熱処理装置S(S−1〜S−
n)で使用する生産レシピを格納するためのものであ
る。実行レシピ指定部42は、後述の装置モードあるい
はレシピ管理手段モードを選択したときに、装置コント
ローラMに対して、実行すべき生産レシピを指定するた
めの手段であり、例えば1処理分の生産レシピを指定す
る。データ管理部43は、装置コントローラMより送ら
れた熱処理装置Sの処理データ、例えばガス流量、反応
管内の温度、反応管内の圧力などの計測データを格納す
るためのものである。モード選択部44は、装置コント
ローラM内のモード選択部24と同様である。
コントローラMの生産レシピを共通に管理するレシピ管
理手段であるグループコントローラ5に、前記ホストコ
ンピュータ4との伝送路31とは別の伝送路32により
接続されている。このグループコントローラ5は、生産
レシピ格納部51、レシピ履歴格納部52、バックアッ
プ格納部53及びレシピ検索データ格納部54を備えて
いる。生産レシピ格納部51は、後述のレシピ管理手段
モードを選択したときに各熱処理装置Sで使用する生産
レシピを格納するためのものである。レシピ履歴格納部
52は、熱処理装置Sで使用した生産レシピの履歴デー
タを格納するための領域であり、各バージョン毎の生産
レシピつまり生産レシピを変更したときにその生産レシ
ピを作成または変更日時、レシピの認識コード、レシピ
のバージョン作成者などと対応付けて格納する。バック
アップ格納部53は、各モードに応じて、装置コントロ
ーラ23内の生産レシピあるいはメンテナンスレシピを
バックアップして保存するための領域である。
ピのカテゴリー例えば「酸化プロセス」、「熱拡散プロ
セス」、「CVDプロセス」などのカテゴリー毎にRd
b(リレーショナルデータベース)形態で生産レシピと
各熱処理装置とを対応付けて登録するための領域であ
る。このデータベースに対して、生産レシピの目的、デ
ータの構造をキーとして装置コントローラM側から検索
を行えば、その装置コントローラに係る熱処理装置の認
証コードが前記データベースに登録されていれば、対応
する生産レシピが装置コントローラMに送られる。その
後例えばオペレータが、読み出された生産レシピの中か
ら使用すべき生産レシピを選択することになる。
のバージョン管理や編集などを行うレシピ管理プログラ
ム55、熱処理装置Sにおける処理データ(実績デー
タ)の収集や保管などを行うデータ管理プログラム5
6、及び画面上に各熱処理装置5の状態を同時に表示す
る集中モニタなどを行う装置管理プログラム57が格納
されている。これらプログラム55、56、57は各々
パッケージ化、例えば各プログラムがMS−DOSの拡
張子の「exe」として構成されている。このようにプ
ログラムをパッケージ化すれば、新たな機能を持ったプ
ログラムを追加する場合に、パッケージ化された新たな
プログラムをロードすればよいし、またプログラムの一
部を変更する場合に、変更に係るプログラムについての
み交換すればよいので、各プログラムが一体化されてい
る場合に比較して有利である。
伝送路33によりホストコンピュータ4に接続されてお
り、後述のホストモードのとき、ホストコンピュータ4
がグループコントローラ5に対して生産レシピの書き込
み、読み出し、生産レシピ履歴の読み出しを行うことが
できるようになっている。
を図4に示すと、この例ではグループコントローラ5
が、工場内に配置されたグループコントローラサーバ5
Aとオフィス内に配置された複数のグループコントロー
ラクライエント5Bとから構成されており、装置コント
ローラM−1〜M−nが接続部61を介してネットワー
ク62に接続されると共に、グループコントローラサー
バ5A及びグループコントローラクライエント5B並び
にホストコンピュータ4がネットワーク62に接続され
ている。
このシステムは、「装置モード」、「レシピ管理手段モ
ード」、「ホストモード」のいずれかのモードを選択で
きるように構成されており、このモード選択は、例えば
装置コントローラMのモード選択部24あるいはホスト
コンピュータ4のモード選択部44により選択される。
そして各モードは熱処理装置S−1〜S−n毎に設定さ
れ、例えば熱処理装置S−1は装置モード、装置S−2
はレシピ管理手段モード、装置S−3はホストコンピュ
ータモードとして設定することもできる。以下に各モー
ド毎の装置の作用について説明する。
すように、当該モードが設定された熱処理装置Sで使用
する一群の生産レシピが装置コントローラMに格納され
る。ただし、使用する一群の生産レシピとは、使用する
生産レシピあるいは使用可能性のある生産レシピを含む
生産レシピ群であり、1処理分の生産レシピを1つの生
産レシピとすると複数の生産レシピをいうものである。
スレシピも格納される。これら生産レシピ及びメンテナ
ンスレシピは自動バックアップ設定を行うことによりグ
ループコントローラ5内のプログラムに基づいてグルー
プコントローラ5内の対応する領域、例えば熱処理装置
S−1のレシピであればS−1レシピバックアップ領域
に格納される。このようにバックアップを行えば、装置
コントローラM内のレシピが何らかのトラブルで消えて
しまった場合でも、フロッピからの入力操作や画面上で
の変更を行う手間が省ける利点がある。
の画面のレシピ一覧表の中から、使用すべき生産レシピ
を選択し、装置コントローラMはこの生産レシピに基づ
いて熱処理装置S−1を運転する。使用した生産レシピ
は、グループコントローラ5内に既述のようにレシピの
認証コードや使用日時などと対応づけてレシピ履歴とし
て格納され、例えばどの熱処理装置でいつどのようなレ
シピが用いられたかを装置コントローラM及び、グルー
プコントローラ5のいずれにおいても調べることができ
るようになっている。
して所定の熱処理が行われると、その処理データは、夫
々装置コントローラMに格納され、例えばオペレータに
より解析される。ただし使用すべき生産レシピの選択
は、ホストコンピュータ4から実行レシピを指定するこ
とによって行うこともでき、またホストコンピュータ4
は処理データを装置コントローラMから吸い上げること
もできる。このような装置モードは、オペレータが各装
置コントローラMを操作しながら例えばある熱処理装置
を試験的に使用してみるなど、量産の前段階で運転する
場合に利用される。
モードでは、図6に示すようにグループコントローラ5
内に、各熱処理装置Sで使用する一群の生産レシピが格
納される。生産レシピは、既述のようにRdb形態で熱
処理装置の識別コードが登録されており、その登録され
ている熱処理装置Sの装置コントローラMからアクセス
できるようになっている。即ち生産レシピは各熱処理装
置Sで適宜共有されることになる。また装置コントロー
ラM内のメンテナンスレシピは、装置モードの場合と同
様に、自動バックアップ設定されていればグループコン
トローラ5内にバックアップされる。従って装置コント
ローラM内のメンテナンスレシピが何らかのトラブルで
消えた場合でもすぐに対応することができ、フロッピー
ディスクなどによるオペレータのロード作業を行わなく
て済む。
ついては、オペレータが装置コントローラMの画面にグ
ループコントローラ5内の生産レシピの一覧表を引き出
してその中から生産レシピを選択することによって、あ
るいはホストコンピュータ5から装置コントローラMを
経由して実行レシピを指定し、つまりレシピのカテゴリ
ー、レシピの認証コード及びバージョンなどを指定し、
指定された生産レシピをグループコントローラ5が装置
コントローラMに送ることによって行われる。また使用
された生産レシピはグループコントローラ5内に生産レ
シピ履歴として保存される。熱処理時の処理データはホ
ストコンピュータ4に送られる。そしてホストコンピュ
ータ4はグループコントローラ5に対して専用の伝送路
33を通じて生産レシピの書き込み、読み出し及び生産
レシピ履歴の読み出しを直接行うことができる。
一ヶ所で管理できるのでレシピの検索、バージョン管理
が容易であって、円滑に行うことができ、一回のレシピ
作成により複数の熱処理装置でそのレシピを使用できる
上、装置コントローラM内のレシピ格納領域を節約でき
る利点もある。
に示すようにホストコンピュータ4内に、各熱処理装置
Sで使用する一群の生産レシピが格納されており、熱処
理装置Sを運転する場合、ホストコンピュータ4から例
えば1処理分の生産レシピが装置コントローラMにダウ
ンロードされる。またメンテナンスレシピもホストコン
ピュータ4から装置コントローラMにダウンロードされ
る。
アップ機能が設定されていれば、装置コントローラMに
ダウンロードされた生産レシピ及びメンテナンスレシピ
はグループコントローラ5内に自動的にバックアップさ
れる。熱処理装置Sにおける処理データはホストコンピ
ュータ4に送られる。使用された生産レシピは、作成日
などと対応させて生産レシピ履歴としてグループコント
ローラ5に格納され、いつの熱処理はどのレシピで実施
されたかなどを、後で調べることができるようになって
いる。
産のときに設定されるものであり、グループコントロー
ラ5を使用する優位点としては、レシピが自動バックア
ップされること、及び使用された生産レシピが履歴とし
て保存されることなどが挙げられる。
3つのモードを選択できるため、例えば熱処理装置Sが
立上るまでの間はその熱処理装置Sについては装置モー
ドを設定し、複数の熱処理装置を立上げる場合にはレシ
ピ管理手段モードを設定し、量産を行うときにはホスト
モードを選択するなど、運用の自由度が大きく、状況に
応じて柔軟な対応がとれる。しかも熱処理装置毎にモー
ドを設定できるので、一部の熱処理装置Sについて立上
げや試験を行いながら他の熱処理装置Sでは量産を行う
ことができるなど、使いやすいシステムである。
トローラ5がダウンしてもグループコントローラ5はバ
ックアップやレシピの履歴の保存などを行う役割をもっ
ているにすぎず、直接運用には係わっていないため、例
えば量産中のシステムのダウンを防止できる。更にホス
トコンピュータ4は専用の伝送路33を介してグループ
コントローラ5内の生産レシピの書き込みや読み出しを
行うことができるため、例えば今後使用する、あるレシ
ピについて変更の必要が生じた場合、ホストコンピュー
タ4及びグループコントローラ5に格納されているレシ
ピを一斉に変更することで、例えばレシピ管理手段モー
ドをその後選択したときに直ちに運用することができる
し、またグループコントローラ5内で保存されている過
去の生産レシピを使用する場合などに容易に対応でき
る。
シピの履歴を呼び出すことができることの優位点の一例
について図8を参照しながら述べる。図8中T、R、
E、Dは夫々熱処理ステーション、リソグラフィステー
ション、エッチングステーション、及び検査ステーショ
ンである。またTH、RH、EH、DHは夫々ステーシ
ョンのホストコンピュータ(図1のシステムのホストコ
ンピュータ4に相当する)であり、これらホストコンピ
ュータは更に上位のホストコンピュータ7に接続されて
いる。
順番に搬送され、熱処理例えば酸化処理された後リソグ
ラフィにより表面にパターンマスクが形成され、次いで
エッチングされる。その後ウエハW上の膜厚が検査ステ
ーションDで検査されるが、膜厚のデータを解析する場
合に、上位ホストコンピュータ7は、熱処理ステーショ
ンTの中位ホストコンピュータTH(即ち図1のホスト
コンピュータ4)を経由してグループコントローラ5
に、対象となっているウエハWの熱処理時の生産レシピ
を問い合わせることができ、有効な半導体ウエハの製造
システムを構成することができる。
製造装置の一例として熱処理装置を挙げて説明したが、
これに限定されることなく、枚葉式のエッチング装置、
イオン注入装置、アッシング装置、スパッタリング装
置、塗布/現像装置など他の半導体製造装置に対しても
適用することができる。なお本明細書でいう半導体製造
装置とは、半導体ウエハを処理する装置の他、液晶ディ
スプレイ用のガラス基板上に半導体回路を形成するため
の装置をも含むものである。
システムがダウンしにくく、また運用の自由度が大きく
て柔軟な対応をとることができる。
ある。
例を示す説明図である。
を示す概念図である。
運用の概念を示す概念図である。
念を示す概念図である。
図である。
示す説明図である。
Claims (13)
- 【請求項1】 複数の半導体製造装置と、 各半導体製造装置毎に設けられた装置コントローラと、 これら装置コントローラに共通に接続され、プロセスレ
シピが格納されたホスト制御手段と、 前記装置コントローラとホスト制御手段とを結ぶ伝送路
とは別の伝送路により各装置コントローラに共通に接続
されると共に、前記ホスト制御手段と直接情報の授受を
行なうために専用の伝送路によりホスト制御手段に接続
されたレシピ管理手段と、を備え、 前記ホスト制御手段は、各装置コントローラにプロセス
レシピを送ると共に、 レシピ管理手段に対して前記専用の伝送路を介してレシ
ピの書き込み、読みだし、レシピの履歴の読みだしがで
きるように構成され、 各装置コントローラは、ホスト制御手段から送られたプ
ロセスレシピに基づいて夫々半導体製造装置を運転し、
レシピ管理手段は、半導体製造装置で使用されたプロセ
スレシピの履歴を格納することを特徴とする半導体製造
装置のレシピ運用システム。 - 【請求項2】 ホスト制御手段から装置コントローラに
送ったプロセスレシピが自動的にレシピ管理手段でバッ
クアップして保存されることを特徴とする請求項1記載
の半導体製造装置のレシピ運用システム。 - 【請求項3】 複数の半導体製造装置と、 各半導体製造装置毎に設けられた装置コントローラと、
これら装置コントローラに共通に接続され、プロセスレ
シピが格納されたホスト制御手段と、 前記装置コントローラとホスト制御手段とを結ぶ伝送路
とは別の伝送路により各装置コントローラに共通に接続
されると共に、前記ホスト制御手段と直接情報の授受を
行なうために専用の伝送路によりホスト制御手段に接続
されたレシピ管理手段と、を備え、 ホスト制御手段は、レシピ管理手段に対して前記専用の
伝送路を介してプロセスレシピの書き込み、読みだし、
プロセスレシピの履歴の読みだしができるように構成さ
れ、 レシピ管理手段は、半導体製造装置で使用されたプロセ
スレシピの履歴を格納し、以下の「装置モード」、「レ
シピ管理手段モード」または「ホストモード」のいずれ
かのモードを選択できるように構成されていることを特
徴とする半導体製造装置のレシピ運用システム。 a.装置モードでは、装置コントローラ内にプロセスレ
シピが格納されており、このプロセスレシピの中から、
オペレータが装置コントローラの画面を見て指定するこ
とにより、実行すべきレシピを選択する。 b.レシピ管理手段モードでは、レシピ管理手段内にプ
ロセスレシピが格納されており、このプロセスレシピの
中から、ホスト制御手段の実行レシピの指定により、実
行すべきレシピを選択する。 c.ホストモードでは、ホスト制御手段内にプロセスレ
シピが格納されており、ホスト制御手段がプロセスレシ
ピを装置コントローラに送ると共に、レシピ管理手段に
対して前記専用の伝送路を介してレシピの書き込み、読
みだし、レシピの履歴の読みだしを行なう。 - 【請求項4】 装置モードでは、ホスト制御手段の実行
レシピの指定によっても、装置コントローラ内のプロセ
スレシピの中から実行すべきプロセスレシピを選択でき
ることを特徴とする請求項3記載の半導体製造装置のレ
シピ運用システム。 - 【請求項5】 レシピ管理手段モードでは、オペレータ
が装置コントローラの画面を見て指定することによって
もレシピ管理手段内のプロセスレシピの中から実行すべ
きプロセスレシピを選択できることを特徴とする請求項
3または4記載の半導体製造装置のレシピ運用システ
ム。 - 【請求項6】 装置モードまたはホストモードでは、装
置コントローラ内のプロセスレシピが自動的にレシピ管
理手段でバックアップして保存されることを特徴とする
請求項3、4、または5記載の半導体製造装置のレシピ
運用システム。 - 【請求項7】 各モードにおいて、装置コントローラ内
のメンテナンスレシピが自動的にレシピ管理手段にバッ
クアップされることを特徴とする請求項3、4、5また
は6記載の半導体製造装置のレシピ運用システム。 - 【請求項8】 複数の半導体製造装置と、 これら半導体製造装置毎に設けられ、各半導体製造装置
の運転を制御するための装置コントローラと、 これら装置コントローラに共通に接続されると共に、プ
ロセスレシピが格納されたレシピ管理手段と、を備え、 前記レシピ管理手段内に格納されたプロセスレシピの中
から選択されたプロセスレシピを装置コントローラに伝
送し、このプロセスレシピに基づいて、装置コントロー
ラが半導体製造装置の運転を制御することを特徴とする
半導体製造装置のレシピ運用システム。 - 【請求項9】 レシピ管理手段内のプロセスレシピの選
択は装置コントローラ側で行われることを特徴とする請
求項8記載の半導体製造装置のレシピ運用システム。 - 【請求項10】 レシピ管理手段内に格納されているプ
ロセスレシピには、半導体製造装置の識別コードが登録
されており、登録されている識別コードに対応する半導
体製造装置の装置コントローラからレシピ管理手段に対
して当該プロセスレシピの読み出しが可能であることを
特徴とする請求項8または9記載の半導体製造装置のレ
シピ運用システム。 - 【請求項11】 レシピ管理手段は、半導体製造装置で
使用されたプロセスレシピの履歴を格納することを特徴
とする請求項8記載の半導体製造装置のレシピ運用シス
テム。 - 【請求項12】 レシピ管理手段は、装置コントローラ
内に格納されているプロセスレシピをバックアップして
保存することを特徴とする請求項8記載の半導体製造装
置のレシピ運用システム。 - 【請求項13】 レシピ管理手段は、装置コントローラ
内に格納されている、半導体製造装置をメンテナンスす
るためのメンテナンスレシピをバックアップして保存す
ることを特徴とする請求項8記載の半導体製造装置のレ
シピ運用システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP31005895A JP2986146B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 半導体製造装置のレシピ運用システム |
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JP31005895A JP2986146B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 半導体製造装置のレシピ運用システム |
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JPH09129529A JPH09129529A (ja) | 1997-05-16 |
JP2986146B2 true JP2986146B2 (ja) | 1999-12-06 |
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