JP2984154B2 - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
原子間力顕微鏡Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バネ体で支持した探針
に試料を接近させた時の探針と試料との間に作用する原
子間力によるバネ体の変位を検出し試料の表面観察を行
う原子間力顕微鏡に関する。
に試料を接近させた時の探針と試料との間に作用する原
子間力によるバネ体の変位を検出し試料の表面観察を行
う原子間力顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】探針をカンチレバーで支持してサンプル
に１０Å〜５Å程度まで近づけてゆくと、探針とサンプ
ルとの間に作用する力が引力から斥力（反力）に変わ
る。原子間力顕微鏡は、この変化に基づくカンチレバー
のしなり角の変化を検出して、サンプルの表面を探針で
走査することによりサンプル表面の観察を行うものであ
り、従来は、カンチレバーと変調光テコ方式やカンチレ
バーと光干渉テコ方式、ＳＴＭによるバネの変位量検出
方式等が提案されている。
に１０Å〜５Å程度まで近づけてゆくと、探針とサンプ
ルとの間に作用する力が引力から斥力（反力）に変わ
る。原子間力顕微鏡は、この変化に基づくカンチレバー
のしなり角の変化を検出して、サンプルの表面を探針で
走査することによりサンプル表面の観察を行うものであ
り、従来は、カンチレバーと変調光テコ方式やカンチレ
バーと光干渉テコ方式、ＳＴＭによるバネの変位量検出
方式等が提案されている。
【０００３】カンチレバーと変調光テコ方式は、レーザ
光をカンチレバーの先端部に照射してその反射光を検出
することによってカンチレバーのしなり角の変化に対応
した光量変化を検出するものであり、カンチレバーと光
干渉テコ方式は、カンチレバーのしなり角の変化に伴う
干渉縞の変化を検出するものである。また、ＳＴＭによ
るバネの変位量検出方式は、探針にバイアスを印加しカ
ンチレバーに１０Å近くまで近づけてゆくと流れるトン
ネル電流を検出してカンチレバーの変位量を検出するも
のである。
光をカンチレバーの先端部に照射してその反射光を検出
することによってカンチレバーのしなり角の変化に対応
した光量変化を検出するものであり、カンチレバーと光
干渉テコ方式は、カンチレバーのしなり角の変化に伴う
干渉縞の変化を検出するものである。また、ＳＴＭによ
るバネの変位量検出方式は、探針にバイアスを印加しカ
ンチレバーに１０Å近くまで近づけてゆくと流れるトン
ネル電流を検出してカンチレバーの変位量を検出するも
のである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記レーザ光
を用いる従来の方式は、レーザ光照射装置や光テコ機
構、光検出器を試料台に直結或いは近傍に堅牢に装着さ
れなければならない。通常は数ｍｍ程度の大きさの試料
を０．数ｍｍの探針で観察するが、カンチレバーの変位
をレーザで検出するには、Åオーダのストローク変化を
拡大しなければならない。そのため、光学系のため装置
が大きくなり小型化が難しく、電子顕微鏡に組み込まれ
るアタッチメントとして不適当であった。しかも、レー
ザ光照射装置や光テコ機構、光検出器の構成部品は、高
精度が要求されるため、価格も高くなるというのも問題
であった。
を用いる従来の方式は、レーザ光照射装置や光テコ機
構、光検出器を試料台に直結或いは近傍に堅牢に装着さ
れなければならない。通常は数ｍｍ程度の大きさの試料
を０．数ｍｍの探針で観察するが、カンチレバーの変位
をレーザで検出するには、Åオーダのストローク変化を
拡大しなければならない。そのため、光学系のため装置
が大きくなり小型化が難しく、電子顕微鏡に組み込まれ
るアタッチメントとして不適当であった。しかも、レー
ザ光照射装置や光テコ機構、光検出器の構成部品は、高
精度が要求されるため、価格も高くなるというのも問題
であった。
【０００５】また、ＳＴＭを用いる方式も、カンチレバ
ーの上にさらにトンネル顕微鏡を装着しなければならな
いため、同様に装置の小型化が難しく、電子顕微鏡に組
み込まれるアタッチメントとして不適当であった。
ーの上にさらにトンネル顕微鏡を装着しなければならな
いため、同様に装置の小型化が難しく、電子顕微鏡に組
み込まれるアタッチメントとして不適当であった。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、電子顕微鏡に容易にアタッチメントとして組み込
むことができ、安価で小型化が可能な原子間力顕微鏡を
提供することを目的とするものである。
って、電子顕微鏡に容易にアタッチメントとして組み込
むことができ、安価で小型化が可能な原子間力顕微鏡を
提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、バ
ネ体で支持した探針に試料を接近させた時の探針と試料
との間に作用する原子間力によるバネ体の変位を検出し
試料の表面観察を行う原子間力顕微鏡において、バネ体
に取り付けられる受光部材、該受光部材に量子線を照射
する量子線照射手段、及び受光部材の量子線照射位置の
変化を検出する検出手段を備え、受光部材に量子線を照
射して量子線照射位置の変化をを検出するように構成し
たことを特徴とするものである。
ネ体で支持した探針に試料を接近させた時の探針と試料
との間に作用する原子間力によるバネ体の変位を検出し
試料の表面観察を行う原子間力顕微鏡において、バネ体
に取り付けられる受光部材、該受光部材に量子線を照射
する量子線照射手段、及び受光部材の量子線照射位置の
変化を検出する検出手段を備え、受光部材に量子線を照
射して量子線照射位置の変化をを検出するように構成し
たことを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明の原子間力顕微鏡では、ピエゾを用いた
駆動部上に試料を取り付け、試料の上方で探針を支持す
るバネ体に小さな受光部材を取り付けるだけでよいの
で、装置の小型化が容易にできる。そして、その受光部
材に量子線を照射して受光部材からの量子線や吸収電流
の変化を検出するので、電子顕微鏡等のアタッチメント
として容易に組み込むことができ、電子顕微鏡の電子照
射機構と反射電子や二次電子、透過電子、回折電子等の
検出器をそのまま利用して変位を検出し原子間力顕微鏡
の試料像を観察することができる。
駆動部上に試料を取り付け、試料の上方で探針を支持す
るバネ体に小さな受光部材を取り付けるだけでよいの
で、装置の小型化が容易にできる。そして、その受光部
材に量子線を照射して受光部材からの量子線や吸収電流
の変化を検出するので、電子顕微鏡等のアタッチメント
として容易に組み込むことができ、電子顕微鏡の電子照
射機構と反射電子や二次電子、透過電子、回折電子等の
検出器をそのまま利用して変位を検出し原子間力顕微鏡
の試料像を観察することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明に係る原子間力顕微鏡の１実施例
を示す図、図２はＡＦＭ装置の細部構成例及び動作を説
明するための図、図３はＡＦＭ装置の１実施例構成を示
す図である。図中、１は電子銃、２は電子線、３は反射
電子・２次電子検出器、４は反射電子・２次電子、５は
上磁極、５′は下磁極、６はＡＦＭ（原子間力顕微鏡）
装置、７は試料、８は探針、９は受光器、１０は透過電
子検出器、１１は鏡筒、１２はＯリング、１３は取り付
けベース、１４はピエゾ駆動部、１５はカンチレバー、
１６は試料ホルダを示す。
明する。図１は本発明に係る原子間力顕微鏡の１実施例
を示す図、図２はＡＦＭ装置の細部構成例及び動作を説
明するための図、図３はＡＦＭ装置の１実施例構成を示
す図である。図中、１は電子銃、２は電子線、３は反射
電子・２次電子検出器、４は反射電子・２次電子、５は
上磁極、５′は下磁極、６はＡＦＭ（原子間力顕微鏡）
装置、７は試料、８は探針、９は受光器、１０は透過電
子検出器、１１は鏡筒、１２はＯリング、１３は取り付
けベース、１４はピエゾ駆動部、１５はカンチレバー、
１６は試料ホルダを示す。
【００１０】図１に示す実施例は、透過型電子顕微鏡を
基本構成としその鏡筒１１内にＡＦＭ装置６を導入した
ものであり、電子銃１からの電子線２は、所定の径に絞
られてＡＦＭ装置６の受光器９に照射される。ＡＦＭ装
置６は、鏡筒１１の外側からＯリング１２でシールして
透過型電子顕微鏡等の試料部空間（ポールピースギャッ
プ）に装着したものであり、電子線２の照射によって受
光器９から発生する反射電子・２次電子４が反射電子・
２次電子検出器３で検出され、透過電子が透過電子検出
器１０で検出される。
基本構成としその鏡筒１１内にＡＦＭ装置６を導入した
ものであり、電子銃１からの電子線２は、所定の径に絞
られてＡＦＭ装置６の受光器９に照射される。ＡＦＭ装
置６は、鏡筒１１の外側からＯリング１２でシールして
透過型電子顕微鏡等の試料部空間（ポールピースギャッ
プ）に装着したものであり、電子線２の照射によって受
光器９から発生する反射電子・２次電子４が反射電子・
２次電子検出器３で検出され、透過電子が透過電子検出
器１０で検出される。
【００１１】ＡＦＭ装置６の試料７、探針８、受光器９
からなる部分の詳細は、例えば図２に示すように取り付
けベース１３のピエゾ駆動部１４に試料７を固定し、バ
ネ体を構成するカンチレバー１５の自由端側に探針８と
受光器９を固定して探針８を試料７と対向させると共に
カンチレバー１５の他端を取り付けベース１３に固定し
たものである。受光器９は、（ハ）に示すように中心部
より金Ａｕと炭素Ｃからなる異種材料で２分して中心部
の境界を基準ラインとして構成したものであり、
（ロ）、（ハ）に示すように上方から所定の径に絞られ
た電子線２が照射される。このような受光器９を用いる
と、ＡｕはＣに比べ二次電子が出やすいため、（ハ）に
示すように電子線２に対して受光器９が矢印Ａ方向に変
位すると、受光器９に対する電子線２の照射面積は同じ
であっても、Ａｕに対する電子線２の照射面積とＣに対
する電子線２の照射面積の割合が変化する。その結果、
Ａｕ側から発生する二次電子の量とＣ側から発生する二
次電子の量とが変化するため、これらの二次電子の量の
変化から受光器９の変位を検出することができる。図２
に示すユニットは、図３（イ）に示すように試料ホルダ
１６の先端に取り付けられ、（イ）のＡ方向からの正面
図（ロ）に示すように上磁極５、下磁極５′との間のポ
ールピースギャップに装着される。
からなる部分の詳細は、例えば図２に示すように取り付
けベース１３のピエゾ駆動部１４に試料７を固定し、バ
ネ体を構成するカンチレバー１５の自由端側に探針８と
受光器９を固定して探針８を試料７と対向させると共に
カンチレバー１５の他端を取り付けベース１３に固定し
たものである。受光器９は、（ハ）に示すように中心部
より金Ａｕと炭素Ｃからなる異種材料で２分して中心部
の境界を基準ラインとして構成したものであり、
（ロ）、（ハ）に示すように上方から所定の径に絞られ
た電子線２が照射される。このような受光器９を用いる
と、ＡｕはＣに比べ二次電子が出やすいため、（ハ）に
示すように電子線２に対して受光器９が矢印Ａ方向に変
位すると、受光器９に対する電子線２の照射面積は同じ
であっても、Ａｕに対する電子線２の照射面積とＣに対
する電子線２の照射面積の割合が変化する。その結果、
Ａｕ側から発生する二次電子の量とＣ側から発生する二
次電子の量とが変化するため、これらの二次電子の量の
変化から受光器９の変位を検出することができる。図２
に示すユニットは、図３（イ）に示すように試料ホルダ
１６の先端に取り付けられ、（イ）のＡ方向からの正面
図（ロ）に示すように上磁極５、下磁極５′との間のポ
ールピースギャップに装着される。
【００１２】上記構成により、ピエゾ駆動部１４のＸＹ
ピエゾ素子を駆動して試料をＸＹ走査しながら二次電子
を検出することによって受光器９の変位を検出し、その
変位検出信号による試料表面の観察像を出力することが
できる。また、ピエゾ駆動部１４のＸＹ方向のピエゾ素
子を駆動して試料をＸＹ走査しながら二次電子を検出
し、この二次電子が一定になるようにピエゾ駆動部１４
のＺピエゾ素子を駆動することによって、Ｚピエゾ素子
の駆動信号による試料表面の観察像を出力することがで
きる。
ピエゾ素子を駆動して試料をＸＹ走査しながら二次電子
を検出することによって受光器９の変位を検出し、その
変位検出信号による試料表面の観察像を出力することが
できる。また、ピエゾ駆動部１４のＸＹ方向のピエゾ素
子を駆動して試料をＸＹ走査しながら二次電子を検出
し、この二次電子が一定になるようにピエゾ駆動部１４
のＺピエゾ素子を駆動することによって、Ｚピエゾ素子
の駆動信号による試料表面の観察像を出力することがで
きる。
【００１３】図４は走査型電子顕微鏡にＡＦＭ装置を組
み込んだ本発明に係る原子間力顕微鏡の他の実施例を示
す図、図５はＡＦＭ装置の他の実施例構成を示す図であ
る。図において、２１は試料室、２２は電子銃、２３は
電子線、２４は磁極、２５はＡＦＭユニット、２６は試
料キャリア、２７は試料ステージ、２８は反射電子・２
次電子、２９は検出手段、３０は表示手段、３１は予備
排気室、３２は仕切弁、３３は試料交換棒、３４はユニ
ットホルダを示す。
み込んだ本発明に係る原子間力顕微鏡の他の実施例を示
す図、図５はＡＦＭ装置の他の実施例構成を示す図であ
る。図において、２１は試料室、２２は電子銃、２３は
電子線、２４は磁極、２５はＡＦＭユニット、２６は試
料キャリア、２７は試料ステージ、２８は反射電子・２
次電子、２９は検出手段、３０は表示手段、３１は予備
排気室、３２は仕切弁、３３は試料交換棒、３４はユニ
ットホルダを示す。
【００１４】図４に示す実施例は、試料ステージ２７の
上方に反射電子・二次電子２８を検出するための検出手
段２８を有する走査型電子顕微鏡に試料キャリア２６と
共にＡＦＭユニット２５を装着し、電子線２３の照射に
よって受光器から検出される反射電子・二次電子２８を
検出手段２９で検出して表示手段３０に表示するように
構成したものである。
上方に反射電子・二次電子２８を検出するための検出手
段２８を有する走査型電子顕微鏡に試料キャリア２６と
共にＡＦＭユニット２５を装着し、電子線２３の照射に
よって受光器から検出される反射電子・二次電子２８を
検出手段２９で検出して表示手段３０に表示するように
構成したものである。
【００１５】ＡＦＭユニット２５は、図５に示したよう
に試料の代わりにユニットホルダ３４を試料キャリア２
６に装着し、そのユニットホルダ３４に取り付けられ
る。このＡＦＭユニット２５を試料ステージ２７にセッ
トする場合には、試料交換棒３３を試料キャリア２６に
螺合させて、図４に示すようにまず予備排気室３１に導
入する。そして、予備排気室３１を排気した後に仕切弁
３２を開けて試料室２１の試料ステージ２７にセット
し、試料交換棒２６の螺合を外して予備排気室３１まで
試料交換棒２６を引き抜いて仕切弁３２を閉じる。
に試料の代わりにユニットホルダ３４を試料キャリア２
６に装着し、そのユニットホルダ３４に取り付けられ
る。このＡＦＭユニット２５を試料ステージ２７にセッ
トする場合には、試料交換棒３３を試料キャリア２６に
螺合させて、図４に示すようにまず予備排気室３１に導
入する。そして、予備排気室３１を排気した後に仕切弁
３２を開けて試料室２１の試料ステージ２７にセット
し、試料交換棒２６の螺合を外して予備排気室３１まで
試料交換棒２６を引き抜いて仕切弁３２を閉じる。
【００１６】図６は受光器の吸収電流を検出する本発明
に係る原子間力顕微鏡の他の実施例を示す図、図７はＡ
ＦＭユニットの他の実施例構成を示す図である。図にお
いて、４１は試料室、４２は電子銃、４３は電子線、４
４はレンズ、４５はＡＦＭユニット、４６は電流取り出
し線、４７は電流検出端子、４８は電流検出手段、４９
は表示手段、５１は反射電子・二次電子、５２は透過電
子・反射電子（回折）、５３は受光器、５４はカンチレ
バー、５５は探針、５６はサンプル、５７はピエゾ素
子、５８は取り付けベース、５９はインシュレータを示
す。
に係る原子間力顕微鏡の他の実施例を示す図、図７はＡ
ＦＭユニットの他の実施例構成を示す図である。図にお
いて、４１は試料室、４２は電子銃、４３は電子線、４
４はレンズ、４５はＡＦＭユニット、４６は電流取り出
し線、４７は電流検出端子、４８は電流検出手段、４９
は表示手段、５１は反射電子・二次電子、５２は透過電
子・反射電子（回折）、５３は受光器、５４はカンチレ
バー、５５は探針、５６はサンプル、５７はピエゾ素
子、５８は取り付けベース、５９はインシュレータを示
す。
【００１７】図６に示す実施例は、電子銃４２からの電
子線４３をレンズ４４で制御してＡＦＭユニット４５の
受光器に照射し、その受光器の吸収電流を電流取り出し
線４６から電流検出端子４７を通して電流検出手段４８
で検出し、表示手段４９に吸収電流による試料表面の観
察像を表示できるように構成したものである。そのため
に、図７に示すように取り付けベース５８は、インシュ
レータ５９でカンチレバー５４の取り付け側を電気的に
絶縁して浮かし、カンチレバー５４に電流取り出し線４
６を接続している。したがって、受光器５３が振れて変
位すると、その変位に伴って受光器５３のＡｕとＣに対
する電子線の照射量が変化して受光器５３のＡｕ側の吸
収電流とＣ側の吸収電流が変化するので、この変化量か
ら受光器５３の変位量を検出することができる。
子線４３をレンズ４４で制御してＡＦＭユニット４５の
受光器に照射し、その受光器の吸収電流を電流取り出し
線４６から電流検出端子４７を通して電流検出手段４８
で検出し、表示手段４９に吸収電流による試料表面の観
察像を表示できるように構成したものである。そのため
に、図７に示すように取り付けベース５８は、インシュ
レータ５９でカンチレバー５４の取り付け側を電気的に
絶縁して浮かし、カンチレバー５４に電流取り出し線４
６を接続している。したがって、受光器５３が振れて変
位すると、その変位に伴って受光器５３のＡｕとＣに対
する電子線の照射量が変化して受光器５３のＡｕ側の吸
収電流とＣ側の吸収電流が変化するので、この変化量か
ら受光器５３の変位量を検出することができる。
【００１８】なお、本発明は、上記の実施例に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、受光器をカンチレバーに取り付けてその
受光器に電子線を照射し、二次電子、反射電子、透過電
子、回折電子の検出、吸収電流の検出を行うようにした
が、散乱電子や特性Ｘ線等の他の量子線の検出を行うよ
うにしてもよいし、電子線に代えてＸ線や他の量子線を
照射してもよい。探針と受光器は、カンチレバーに取り
付けるようにしたが、一端を固定したスプリングの他端
に探針及び受光器を取り付けたり、その他のバネ体によ
る取り付け機構を採用してもよいことはいうまでもな
い。
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、受光器をカンチレバーに取り付けてその
受光器に電子線を照射し、二次電子、反射電子、透過電
子、回折電子の検出、吸収電流の検出を行うようにした
が、散乱電子や特性Ｘ線等の他の量子線の検出を行うよ
うにしてもよいし、電子線に代えてＸ線や他の量子線を
照射してもよい。探針と受光器は、カンチレバーに取り
付けるようにしたが、一端を固定したスプリングの他端
に探針及び受光器を取り付けたり、その他のバネ体によ
る取り付け機構を採用してもよいことはいうまでもな
い。
【００１９】また、受光部材は、ＡｕとＣを組み合わせ
たものを用いたが、量子線の照射領域が変化した場合に
量子線の検出量が異なるものであれば、他の異種材料の
組み合わせたり異種材料の繰り返しパターンにしてもよ
いし、特殊形状にしたり孔を設けたり模様を設けて、受
光部材の変位を検出するように構成してもよい。さらに
この場合、所定の径に絞ったプローブを照射したが、細
いビームにより一定領域の受光材料面を走査して基準ラ
インの変位を検出するように構成してもよいし、受光部
材の変位を電子顕微鏡の走査像や透過像で観るようにし
てもよい。
たものを用いたが、量子線の照射領域が変化した場合に
量子線の検出量が異なるものであれば、他の異種材料の
組み合わせたり異種材料の繰り返しパターンにしてもよ
いし、特殊形状にしたり孔を設けたり模様を設けて、受
光部材の変位を検出するように構成してもよい。さらに
この場合、所定の径に絞ったプローブを照射したが、細
いビームにより一定領域の受光材料面を走査して基準ラ
インの変位を検出するように構成してもよいし、受光部
材の変位を電子顕微鏡の走査像や透過像で観るようにし
てもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ピエゾを用いた駆動部上に試料を取り付け、
試料の上方で探針を支持するバネ体に小さな受光器を取
り付けるだけでよいので、従来例のような変調光テコ部
が不要となり、装置が小型化でき、電子顕微鏡等にＡＦ
Ｍ装置をアタッチメントとして組み込む場合にも、ポー
ルピースギャップの中にも組み込むことができ、コスト
の低減を図ることができる。また、電子顕微鏡等にアタ
ッチメントとして組み込み、受光器に量子線を照射して
受光器からの量子線や吸収電流の変化を検出することが
できるので、電子顕微鏡の電子照射機構と反射電子や二
次電子、透過電子、回折電子等の検出器をそのまま使っ
て変位を検出し原子間力顕微鏡を観察することができ
る。さらには、電子ビームの偏向装置を使用することが
できるので、広領域でカバーでき、電子ビームのコント
ロールにより画質の加工を行うこともできる。
によれば、ピエゾを用いた駆動部上に試料を取り付け、
試料の上方で探針を支持するバネ体に小さな受光器を取
り付けるだけでよいので、従来例のような変調光テコ部
が不要となり、装置が小型化でき、電子顕微鏡等にＡＦ
Ｍ装置をアタッチメントとして組み込む場合にも、ポー
ルピースギャップの中にも組み込むことができ、コスト
の低減を図ることができる。また、電子顕微鏡等にアタ
ッチメントとして組み込み、受光器に量子線を照射して
受光器からの量子線や吸収電流の変化を検出することが
できるので、電子顕微鏡の電子照射機構と反射電子や二
次電子、透過電子、回折電子等の検出器をそのまま使っ
て変位を検出し原子間力顕微鏡を観察することができ
る。さらには、電子ビームの偏向装置を使用することが
できるので、広領域でカバーでき、電子ビームのコント
ロールにより画質の加工を行うこともできる。
【図１】 本発明に係る原間力顕微鏡の１実施例を示す
図である。
図である。
【図２】 ＡＦＭ装置の細部構成例及び動作を説明する
ための図である。
ための図である。
【図３】 ＡＦＭ装置の１実施例構成を示す図である。
【図４】 走査型電子顕微鏡にＡＦＭ装置を組み込んだ
本発明に係る原子間力顕微鏡の他の実施例を示す図であ
る。
本発明に係る原子間力顕微鏡の他の実施例を示す図であ
る。
【図５】 ＡＦＭ装置の他の実施例構成を示す図であ
る。
る。
【図６】 受光器の吸収電流を検出する本発明に係る原
子間力顕微鏡の他の実施例を示す図である。
子間力顕微鏡の他の実施例を示す図である。
【図７】 ＡＦＭユニットの他の実施例構成を示す図で
ある。
ある。
１…電子銃、２…電子線、３…反射電子・２次電子検出
器、４…反射電子・２次電子、５…上磁極、５′…下磁
極、６…ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）装置、７…試料、８
…探針、９…受光器、１０…透過電子検出器、１１…鏡
筒、１２…Ｏリング、１３…取り付けベース、１４…ピ
エゾ駆動部、１５…カンチレバー、１６は試料ホルダ
器、４…反射電子・２次電子、５…上磁極、５′…下磁
極、６…ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）装置、７…試料、８
…探針、９…受光器、１０…透過電子検出器、１１…鏡
筒、１２…Ｏリング、１３…取り付けベース、１４…ピ
エゾ駆動部、１５…カンチレバー、１６は試料ホルダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 21/00 - 21/32
Claims (6)
- 【請求項１】 バネ体で支持した探針に試料を接近させ
た時の探針と試料との間に作用する原子間力によるバネ
体の変位を検出し試料の表面観察を行う原子間力顕微鏡
において、バネ体に取り付けられる受光部材、該受光部
材に量子線を照射する量子線照射手段、及び受光部材の
量子線照射位置の変化を検出する検出手段を備え、受光
部材に量子線を照射して量子線照射位置の変化をを検出
するように構成したことを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 【請求項２】 量子線照射手段は、量子線として電子線
を照射するものであることを特徴とする請求項１記載の
原子間力顕微鏡。 - 【請求項３】 量子線照射手段は、量子線としてＸ線を
照射するものであることを特徴とする請求項１記載の原
子間力顕微鏡。 - 【請求項４】 受光部材は、中心部より異種材料で２分
して構成したものであることを特徴とする請求項１記載
の原子間力顕微鏡。 - 【請求項５】 検出手段は、受光部材からの量子線を検
出するものであることを特徴とする請求項１記載の原子
間力顕微鏡。 - 【請求項６】 検出手段は、受光部材における吸収電流
を検出するものであることを特徴とする請求項１記載の
原子間力顕微鏡。
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| JP4267059A JP2984154B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 原子間力顕微鏡 |
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|---|---|---|---|
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-
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