JP2982546B2 - 硬脆性材の穴加工方法 - Google Patents
硬脆性材の穴加工方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はセラミックス等の硬脆材
料において、冷却及び切粉排出のための内部通液方式で
コア砥石を用いた穴加工を行う時に用いる工具の保持と
内部通液のシール性を兼ね備えた特殊ホルダを用いた穴
加工方法とコア砥石負荷を検出することにより異常を判
断するシステムを持った硬脆材穴加工方法に関するもの
である。 本発明は硬脆材料を利用する自動車，エレク
トロニクス等のあらゆる工業製品分野の穴加工技術を対
象とする。
料において、冷却及び切粉排出のための内部通液方式で
コア砥石を用いた穴加工を行う時に用いる工具の保持と
内部通液のシール性を兼ね備えた特殊ホルダを用いた穴
加工方法とコア砥石負荷を検出することにより異常を判
断するシステムを持った硬脆材穴加工方法に関するもの
である。 本発明は硬脆材料を利用する自動車，エレク
トロニクス等のあらゆる工業製品分野の穴加工技術を対
象とする。
【０００２】
【従来の技術】セラミックス等の硬脆材料に穴加工（特
に小径）を行うにはダイヤモンドを砥粒とした加工が主
流である。その中で遊離砥粒と固定砥粒とがあり、前者
の場合例えば「機械技術」第３５巻第２号に示す超音波
加工があるが、加工精度を維持するための工具寿命と加
工能率低下の関係及び遊離砥粒方式では砥粒の処理の問
題があった。一方後者には研削加工があり、軸付砥石が
代表的だが、この場合の加工は砥石が中実であり、加工
穴全体を除去するため冷却方法が難しいために砥石が短
寿命であった。この軸付砥石の難点を解決できると予想
されたのが中空でパイプ状のコア砥石であった。しか
し、このコア砥石を使った加工法を有効に使うには内部
通液とコア砥石を保持するコレットチャックとコア砥石
の３つを構成する必要があった。
に小径）を行うにはダイヤモンドを砥粒とした加工が主
流である。その中で遊離砥粒と固定砥粒とがあり、前者
の場合例えば「機械技術」第３５巻第２号に示す超音波
加工があるが、加工精度を維持するための工具寿命と加
工能率低下の関係及び遊離砥粒方式では砥粒の処理の問
題があった。一方後者には研削加工があり、軸付砥石が
代表的だが、この場合の加工は砥石が中実であり、加工
穴全体を除去するため冷却方法が難しいために砥石が短
寿命であった。この軸付砥石の難点を解決できると予想
されたのが中空でパイプ状のコア砥石であった。しか
し、このコア砥石を使った加工法を有効に使うには内部
通液とコア砥石を保持するコレットチャックとコア砥石
の３つを構成する必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では特に加工
能率が多数の穴加工をするには問題があった。また、コ
ア砥石についてはセラミックスのような硬脆材対象で40
kgf／cm2以上の高圧の内部通液が使えるようなコレット
チャックが存在しなかった。
能率が多数の穴加工をするには問題があった。また、コ
ア砥石についてはセラミックスのような硬脆材対象で40
kgf／cm2以上の高圧の内部通液が使えるようなコレット
チャックが存在しなかった。
【０００４】本発明は、工具にコア砥石を用いることに
より冷却及び切粉排出は内部通液方式が可能となるた
め、効果的な穴加工実用化が可能となる。また、コア砥
石は中空で研削面積が小さいため、加工除去体積が小さ
く、その分能率の良い加工が可能となり、その優れた加
工方法を提供するものである。また、その具体的な加工
法としてドリル振れの管理やコア砥石加工面を均一化す
る技術的手段を工夫することによって、より高能率な加
工を提供することができる。
より冷却及び切粉排出は内部通液方式が可能となるた
め、効果的な穴加工実用化が可能となる。また、コア砥
石は中空で研削面積が小さいため、加工除去体積が小さ
く、その分能率の良い加工が可能となり、その優れた加
工方法を提供するものである。また、その具体的な加工
法としてドリル振れの管理やコア砥石加工面を均一化す
る技術的手段を工夫することによって、より高能率な加
工を提供することができる。
【０００５】また、加工時における負荷を検出すること
により、コア砥石及び加工品質の異常を事前に判断する
制御方式も兼ね備えた穴加工システムを同時に提供す
る。
により、コア砥石及び加工品質の異常を事前に判断する
制御方式も兼ね備えた穴加工システムを同時に提供す
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
には硬脆性材料の穴加工にコア砥石を用いる研削加工を
採用する。本発明の特徴はコア砥石を高精度に保持（取
付後の砥石振れ１５μｍ以下）し、且つ内部通液をシー
ルできる特殊コレットチャックを用いることにある。こ
れらコア砥石，内部通液，コレットチャックを有効に構
成し、且つ加工プロセスを工夫することによって高精度
で高能率な加工となる。この加工プロセスの工夫とは内
部通液圧力を４０ｋｇｆ／ｃｍ 2 以上とし、第１穴目か
ら第Ｎ穴目までは穴加工入口部から深さΔｈｍｍまで進
入加工速度Ｆ 1 で加工し、Δｈｍｍ以降は進入加工速度
Ｆ2 （Ｆ 2 ＞５Ｆ 1 ）で加工し、第Ｎ＋１穴目からは加工
入口部から進入加工速度Ｆ3（Ｆ 3 ＞２Ｆ2）で加工す
る。つまり、コア砥石をワーク穴加工中に慣らしを行
い、Ｎ＋１穴目から高速度Ｆ3で加工することを実施す
る。
には硬脆性材料の穴加工にコア砥石を用いる研削加工を
採用する。本発明の特徴はコア砥石を高精度に保持（取
付後の砥石振れ１５μｍ以下）し、且つ内部通液をシー
ルできる特殊コレットチャックを用いることにある。こ
れらコア砥石，内部通液，コレットチャックを有効に構
成し、且つ加工プロセスを工夫することによって高精度
で高能率な加工となる。この加工プロセスの工夫とは内
部通液圧力を４０ｋｇｆ／ｃｍ 2 以上とし、第１穴目か
ら第Ｎ穴目までは穴加工入口部から深さΔｈｍｍまで進
入加工速度Ｆ 1 で加工し、Δｈｍｍ以降は進入加工速度
Ｆ2 （Ｆ 2 ＞５Ｆ 1 ）で加工し、第Ｎ＋１穴目からは加工
入口部から進入加工速度Ｆ3（Ｆ 3 ＞２Ｆ2）で加工す
る。つまり、コア砥石をワーク穴加工中に慣らしを行
い、Ｎ＋１穴目から高速度Ｆ3で加工することを実施す
る。
【０００７】次に負荷検出については、研削抵抗検出セ
ンサーをテーブル内に埋め込むことによって加工時の負
荷を加工実時間で検出するものであり、その負荷の変化
を制御するものである。
ンサーをテーブル内に埋め込むことによって加工時の負
荷を加工実時間で検出するものであり、その負荷の変化
を制御するものである。
【０００８】
【作用】このコア砥石を用いた加工は、コア砥石を高精
度に保持する方法と、内部通液を有効に利用するための
シール性が重要である。前者については、パイプに変形
を与えずに高精度に保持すると同時に研削時の負荷に耐
えるだけの保持力が必要である。そのためには保持部分
はピンバイス型とすることによって前記した内容を満足
できるものである。後者については、コレットチャック
の高圧内部通液入口部にＯリングを用いたシールと、ピ
ンバイスの締め付けによるシールを用いて内部通液の完
全シールを行っている。
度に保持する方法と、内部通液を有効に利用するための
シール性が重要である。前者については、パイプに変形
を与えずに高精度に保持すると同時に研削時の負荷に耐
えるだけの保持力が必要である。そのためには保持部分
はピンバイス型とすることによって前記した内容を満足
できるものである。後者については、コレットチャック
の高圧内部通液入口部にＯリングを用いたシールと、ピ
ンバイスの締め付けによるシールを用いて内部通液の完
全シールを行っている。
【０００９】負荷検出については、加工テーブル上の任
意の加工位置であっても検出できるように研削抵抗検出
センサーをテーブル内に埋め込んだものである。
意の加工位置であっても検出できるように研削抵抗検出
センサーをテーブル内に埋め込んだものである。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
【００１１】尚、今回の実施例ではＨｖ１１００セラミ
ックス，対象φ２ｍｍ，深さ４ｍｍの止まり穴を加工し
た。加工時の回転数は１００００回／分，砥石の周速は
６３ｍ／分，冷却用研削液は水溶性のもので行った。
尚、図１は本発明に使用した装置の概略図を示したもの
である。コレットチャック１は装置主軸に組み込んだ状
態であり、コア砥石２をチャックし、内部に高圧の研削
液を流している。また、コア砥石２の研削抵抗を検出す
るために研削抵抗センサ内蔵真空チャックテーブル３上
に被加工物を乗せて加工を行うものである。
ックス，対象φ２ｍｍ，深さ４ｍｍの止まり穴を加工し
た。加工時の回転数は１００００回／分，砥石の周速は
６３ｍ／分，冷却用研削液は水溶性のもので行った。
尚、図１は本発明に使用した装置の概略図を示したもの
である。コレットチャック１は装置主軸に組み込んだ状
態であり、コア砥石２をチャックし、内部に高圧の研削
液を流している。また、コア砥石２の研削抵抗を検出す
るために研削抵抗センサ内蔵真空チャックテーブル３上
に被加工物を乗せて加工を行うものである。
【００１２】図２，３，４は本加工における３種類のコ
レットチャックを示したものである。このコレットチャ
ックのポイントはコア砥石の保持精度とシール性であ
る。図２の場合はすり割りタイプであり、保持精度にポ
イントを置いたものであるが、シール性が悪くすり割り
部をエポキシ樹脂を用いてシール性を高めてみたが、内
部通液圧が１０〜２０ｋｇｆ／ｃｍ 2 と小さくシール性
が充分ではなかった。図３の場合はシール性にポイント
を置いたものである。すり割りが無い分シール性は良く
４０ｋｇｆ／ｃｍ 2 の内部通液圧が得られた。しかし、
保持方法がエポキシ樹脂による接着のため保持力が充分
でなく加工時にコア砥石が沈んでいく現象が起こる。一
方、本発明で効果が得られた図４の場合は、この両者の
利点を兼ね備えたコレットチャックである。この詳細を
図５に示す。通液入口側はＯリング７によってシール性
を保っている。また、通液出口側にあたるすり割り部分
は、コア砥石のパイプを現物合わせにより調整している
ため、チャックとコア砥石の隙間は５μｍ程である。ま
た、コア砥石はすり割り部より漏れないように、すり割
り部以上（ｌ 1 ）挿入する。更に、シール性を高めるた
めに締め付けナット６で締め付ける（例えば９０ｋｇｆ
／ｃｍ 2 ）ことによって、チャックとコア砥石の隙間を
最小にしている。これでシール性は４０ｋｇｆ／ｃｍ 2
と充分となる。尚、コレットの材質はＣＲＤが良好でＳ
ＫＳ材ではピンバイス部が取扱い等により折れることが
発生した。
レットチャックを示したものである。このコレットチャ
ックのポイントはコア砥石の保持精度とシール性であ
る。図２の場合はすり割りタイプであり、保持精度にポ
イントを置いたものであるが、シール性が悪くすり割り
部をエポキシ樹脂を用いてシール性を高めてみたが、内
部通液圧が１０〜２０ｋｇｆ／ｃｍ 2 と小さくシール性
が充分ではなかった。図３の場合はシール性にポイント
を置いたものである。すり割りが無い分シール性は良く
４０ｋｇｆ／ｃｍ 2 の内部通液圧が得られた。しかし、
保持方法がエポキシ樹脂による接着のため保持力が充分
でなく加工時にコア砥石が沈んでいく現象が起こる。一
方、本発明で効果が得られた図４の場合は、この両者の
利点を兼ね備えたコレットチャックである。この詳細を
図５に示す。通液入口側はＯリング７によってシール性
を保っている。また、通液出口側にあたるすり割り部分
は、コア砥石のパイプを現物合わせにより調整している
ため、チャックとコア砥石の隙間は５μｍ程である。ま
た、コア砥石はすり割り部より漏れないように、すり割
り部以上（ｌ 1 ）挿入する。更に、シール性を高めるた
めに締め付けナット６で締め付ける（例えば９０ｋｇｆ
／ｃｍ 2 ）ことによって、チャックとコア砥石の隙間を
最小にしている。これでシール性は４０ｋｇｆ／ｃｍ 2
と充分となる。尚、コレットの材質はＣＲＤが良好でＳ
ＫＳ材ではピンバイス部が取扱い等により折れることが
発生した。
【００１３】次に保持したときの振れ精度が問題であ
り、寿命や加工品質（入口チィッピング，カケが発生す
る）に効いてくるものである。図６は振れと寿命の関係
をまとめたものである。振れ１５μｍ以内であれば寿命
も延びていることが分かる。また、当然のように振れが
大きいと加工品位は劣ってチィッピングやカケが発生す
る。したがって、振れ精度１５μｍ以内であれば寿命及
び加工品位共に安定した穴加工が提供できる。一方、内
部通液の影響を調べたものが図７である。この結果から
も明らかなように低圧であると寿命も延びてないことが
言える。よって、内部通液圧は４０ｋｇｆ／ｃｍ 2 以上
が効果的である。次に穴加工１穴目〜Ｎ穴目まではコア
砥石自身のバラツキ（ダイヤ砥粒の先端形状の違い等）
があるために、セラミックスワークに発生するチィッピ
ングを防ぐために入口喰付部（深さΔｈｍｍ）はコア砥
石の進入速度を低速Ｆ1 ｍｍ／ｍｉｎで送りΔｈｍｍ以
降はＦ2（Ｆ 2 ＞５Ｆ1）ｍｍ／ｍｉｎで加工する。Ｎ＋
１穴目からは、コア砥石の当初のバラツキが取れてく
る。このようなバラツキの取れたコア砥石を用いると、
新品砥石では入口喰付部を低速で送っていたのに対し、
コア砥石進入速度を初めから高速Ｆ3（Ｆ 3 ＞２Ｆ 2 ）ｍ
ｍ／ｍｉｎで送ることができる。これにより、Ｎ＋１穴
目以降の加工時間を短くすることが可能である。尚、図
８ではＦ 2 ＝５Ｆ 1 、Ｆ 3 ＝２Ｆ 2 の場合を例にとって加工
穴数と加工時間の関係を示しており、本実施例ではこれ
よりも加工時間が短くなる。これらを総合すると加工の
難しい硬脆材料においても高精度で高能率な加工が実現
できるものである。
り、寿命や加工品質（入口チィッピング，カケが発生す
る）に効いてくるものである。図６は振れと寿命の関係
をまとめたものである。振れ１５μｍ以内であれば寿命
も延びていることが分かる。また、当然のように振れが
大きいと加工品位は劣ってチィッピングやカケが発生す
る。したがって、振れ精度１５μｍ以内であれば寿命及
び加工品位共に安定した穴加工が提供できる。一方、内
部通液の影響を調べたものが図７である。この結果から
も明らかなように低圧であると寿命も延びてないことが
言える。よって、内部通液圧は４０ｋｇｆ／ｃｍ 2 以上
が効果的である。次に穴加工１穴目〜Ｎ穴目まではコア
砥石自身のバラツキ（ダイヤ砥粒の先端形状の違い等）
があるために、セラミックスワークに発生するチィッピ
ングを防ぐために入口喰付部（深さΔｈｍｍ）はコア砥
石の進入速度を低速Ｆ1 ｍｍ／ｍｉｎで送りΔｈｍｍ以
降はＦ2（Ｆ 2 ＞５Ｆ1）ｍｍ／ｍｉｎで加工する。Ｎ＋
１穴目からは、コア砥石の当初のバラツキが取れてく
る。このようなバラツキの取れたコア砥石を用いると、
新品砥石では入口喰付部を低速で送っていたのに対し、
コア砥石進入速度を初めから高速Ｆ3（Ｆ 3 ＞２Ｆ 2 ）ｍ
ｍ／ｍｉｎで送ることができる。これにより、Ｎ＋１穴
目以降の加工時間を短くすることが可能である。尚、図
８ではＦ 2 ＝５Ｆ 1 、Ｆ 3 ＝２Ｆ 2 の場合を例にとって加工
穴数と加工時間の関係を示しており、本実施例ではこれ
よりも加工時間が短くなる。これらを総合すると加工の
難しい硬脆材料においても高精度で高能率な加工が実現
できるものである。
【００１４】次に負荷検出システムについて説明する。
図９は本発明に使用したテーブルの研削抵抗検出センサ
の配置場所を示したものである。ここで研削抵抗（Ｆ
ｎ）は垂直方向成分力である。このように４つのセンサ
を用いて図９のような位置に置くことによって全域のど
の位置においても加工時の研削抵抗（Ｆｎ）を検出でき
るようにしたものである。尚、本実施例では負荷の出力
は４つの負荷センサーの総和により出力している。この
センサ４個をテーブル寸法Ｌに対しＬ1を０．１Ｌ，Ｌ2
を０．８Ｌ，Ｗ1は０．２Ｗ，Ｗ2は０．６Ｗで実施例で
はＬ４００ｍｍ，Ｗ２７０ｍｍ，深さ方向取付位置１２
ｍｍ内部のところへ、例えば垂直力検出９０ｋＮ分解能
０．０１Ｎの水晶圧電式力変換センサで測定可能となっ
た。（センサ１ヶの形状φ３４．５ｍｍ，厚さ１２ｍ
ｍ）この負荷検出を用いて加工した合成の研削抵抗特性
値Ｆｎ−ｎの関係例を図１０に示す。基準研削抵抗（Ｆ
ｎ−ｎカーブ）を実験より実測設定し、それに対して異
常現象を実験確認し±２０［Ｎ］の上限値と下限値を設
定することによって、コア砥石の異常を事前に発見する
システムである。
図９は本発明に使用したテーブルの研削抵抗検出センサ
の配置場所を示したものである。ここで研削抵抗（Ｆ
ｎ）は垂直方向成分力である。このように４つのセンサ
を用いて図９のような位置に置くことによって全域のど
の位置においても加工時の研削抵抗（Ｆｎ）を検出でき
るようにしたものである。尚、本実施例では負荷の出力
は４つの負荷センサーの総和により出力している。この
センサ４個をテーブル寸法Ｌに対しＬ1を０．１Ｌ，Ｌ2
を０．８Ｌ，Ｗ1は０．２Ｗ，Ｗ2は０．６Ｗで実施例で
はＬ４００ｍｍ，Ｗ２７０ｍｍ，深さ方向取付位置１２
ｍｍ内部のところへ、例えば垂直力検出９０ｋＮ分解能
０．０１Ｎの水晶圧電式力変換センサで測定可能となっ
た。（センサ１ヶの形状φ３４．５ｍｍ，厚さ１２ｍ
ｍ）この負荷検出を用いて加工した合成の研削抵抗特性
値Ｆｎ−ｎの関係例を図１０に示す。基準研削抵抗（Ｆ
ｎ−ｎカーブ）を実験より実測設定し、それに対して異
常現象を実験確認し±２０［Ｎ］の上限値と下限値を設
定することによって、コア砥石の異常を事前に発見する
システムである。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明はセラミック
ス等の硬脆材料において穴加工を行う際、コア砥石，コ
レットチャック，内部通液を用いることによって高精度
で高能率な加工が実現可能であると同時に負荷検出を行
うことにより安全性も考慮された総合的な穴加工法であ
る。従来超音波加工では精度維持や冷却のための工具上
下動作等で３分／穴だった加工能率が２０倍に効率向
上。また、コア砥石加工でも速度で２〜２．５倍，コア
砥石寿命も４．５倍以上となった。更に、事前にコア砥
石の異常検出が可能となったことによりワークへのダメ
ージを前もって予防できる効果があり、経済性で効果が
ある。加工能率向上は加工時間短縮のみに滞まらず生産
設備台数の削減に直結し効果は大きい。
ス等の硬脆材料において穴加工を行う際、コア砥石，コ
レットチャック，内部通液を用いることによって高精度
で高能率な加工が実現可能であると同時に負荷検出を行
うことにより安全性も考慮された総合的な穴加工法であ
る。従来超音波加工では精度維持や冷却のための工具上
下動作等で３分／穴だった加工能率が２０倍に効率向
上。また、コア砥石加工でも速度で２〜２．５倍，コア
砥石寿命も４．５倍以上となった。更に、事前にコア砥
石の異常検出が可能となったことによりワークへのダメ
ージを前もって予防できる効果があり、経済性で効果が
ある。加工能率向上は加工時間短縮のみに滞まらず生産
設備台数の削減に直結し効果は大きい。
【図１】本発明に使用した装置の概略図を示す。
【図２】３分割コレットチャックの斜視図である。
【図３】樹脂固定用コレットチャックの斜視図である。
【図４】本発明コレットチャックの斜視図である。
【図５】本発明コレットチャックの平面図及び側面図で
ある。
ある。
【図６】コア砥石の軸振れδと砥石寿命の実験データで
ある。
ある。
【図７】内部通液圧と砥石寿命の実験データである。
【図８】加工穴数と加工時間の関係データである。
【図９】研削抵抗センサ組み込みテーブルの平面図であ
る。
る。
【図１０】穴加工数と合成研削抵抗の関係データであ
る。
る。
１…コレットチャック ２…コア砥石 ３…研削抵抗セ
ンサ内蔵真空チャックテーブル ４…３分割コレットチ
ャック ５…樹脂接着コレットチャック ６…締め付けナット ７…Ｏリング ８…内部通液用コ
ネクタ ９…研削抵抗センサ
ンサ内蔵真空チャックテーブル ４…３分割コレットチ
ャック ５…樹脂接着コレットチャック ６…締め付けナット ７…Ｏリング ８…内部通液用コ
ネクタ ９…研削抵抗センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 荻野 博之 神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社 日立製作所 汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 塩川 武次 神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社 日立製作所 汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 佐々木 秀昭 神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社 日立製作所 汎用コンピュータ事業部内 (56)参考文献 特開 昭60−201908（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−82651（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−190689（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−93008（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23B 31/20 B28D 1/00 - 7/04 B24D 3/00 - 18/00 B23Q 17/00 - 23/00 B26F 1/00 - 3/16
Claims (4)
- 【請求項１】 パイプ状コア砥石を保持するためのコレッ
トチャックにおいて、 研削液が通液可能なように内部が中空である本体部と、
前記本体部の軸方向の一端に形成され、前記コア砥石を
保持するためのすり割り部と、前記すり割り部より軸方
向で内側に設けられ、その外周部分に締め付けナットが
勘合する締め付け部とを備え、前記すり割り部に前記コ
ア砥石を前記すり割り部以上に挿入し、前記締め付けナ
ットを前記締め付け部に勘合させて前記すり割り部を締
め付けて前記コア砥石を固定することを特徴とするコレ
ットチャック。 - 【請求項２】 前記コア砥石を固定した状態で、前記コア
砥石の振れ精度が１５μｍ以下であることを特徴とする
請求項１記載のコレットチャック。 - 【請求項３】 コレットチャックに保持されたパイプ上コ
ア砥石によりワークに穴加工を行う穴加工方法であっ
て、 加工の際、最初に加工する第１穴目から所定の穴数の第
Ｎ穴目までは加工入口部から深さΔｈｍｍまで進入加工
速度Ｆ1で加工し、深さΔｈｍｍ以降は進入加工速度Ｆ2
（Ｆ2＞５Ｆ1）で加工し、穴数が第Ｎ＋１穴目からは加
工入口部から進入加工速度Ｆ3（Ｆ3＞２Ｆ2）で加工す
ることを特徴とする穴加工方法。 - 【請求項４】 前記コア砥石に、内部通液圧力を４０ｋｇ
ｆ／ｃｍ2以上として研削液を内部通液しながら前記穴
加工を行うことを特徴とする請求項２記載の穴加工方
法。
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|---|---|---|---|
| JP5066426A JP2982546B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 硬脆性材の穴加工方法 |
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| JP5066426A JP2982546B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 硬脆性材の穴加工方法 |
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| JP2982546B2 true JP2982546B2 (ja) | 1999-11-22 |
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