JP2969291B2 - 耐摩耗性部材およびその製造法 - Google Patents
耐摩耗性部材およびその製造法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基材の表面にチタン化
合物層とアルミナコート層とを形成する耐摩耗性部材お
よびその製造法に関するものである。
合物層とアルミナコート層とを形成する耐摩耗性部材お
よびその製造法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、硬質焼結合金の表面に、例え
ば窒化チタン、炭窒化チタン、炭窒酸化チタンなどを被
覆して、その耐摩耗性を向上させて切削寿命の改善を図
るようにした技術は、特開昭55−83507 号公報に見られ
るように公知である。
ば窒化チタン、炭窒化チタン、炭窒酸化チタンなどを被
覆して、その耐摩耗性を向上させて切削寿命の改善を図
るようにした技術は、特開昭55−83507 号公報に見られ
るように公知である。
【０００３】すなわち、セラミックスは硬く、化学安定
性に優れているので、良好な耐摩耗性を示すことは知ら
れているが、脆いために実際の耐摩耗性部材としての適
用範囲は限られている。そこで、気相合成反応（ＣＶ
Ｄ）法が考案され、金属部材の表面に、ＴｉＣ、ＴｉＮ
セラミックコーティングを被覆し、金型やシリンダの寿
命を伸ばす方法として用いられている。
性に優れているので、良好な耐摩耗性を示すことは知ら
れているが、脆いために実際の耐摩耗性部材としての適
用範囲は限られている。そこで、気相合成反応（ＣＶ
Ｄ）法が考案され、金属部材の表面に、ＴｉＣ、ＴｉＮ
セラミックコーティングを被覆し、金型やシリンダの寿
命を伸ばす方法として用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかして、上記のよう
なセラミックコーティングの技術において、ＣＶＤ法は
1000℃以上の高温で処理するので、一般の鉄系金属に被
覆する場合、基材の組織が熱による悪影響を受ける問題
を有する。
なセラミックコーティングの技術において、ＣＶＤ法は
1000℃以上の高温で処理するので、一般の鉄系金属に被
覆する場合、基材の組織が熱による悪影響を受ける問題
を有する。
【０００５】また、比較的低温でコーティング処理が可
能なイオンプレーティング法、プラズマＣＶＤ法は、基
材とコート層との密着強度が低いため、使用用途が負荷
の少ない部分に限られる。そして、チタン化合物とアル
ミナの複層コーティングは、高硬度を有して優れた耐摩
耗性を示すが、このチタン化合物層とアルミナコート層
とは相互の密着性が低く、剥離が生じやすく良好なコー
ト層を形成することが困難で、実用化の大きな障害とな
っている。
能なイオンプレーティング法、プラズマＣＶＤ法は、基
材とコート層との密着強度が低いため、使用用途が負荷
の少ない部分に限られる。そして、チタン化合物とアル
ミナの複層コーティングは、高硬度を有して優れた耐摩
耗性を示すが、このチタン化合物層とアルミナコート層
とは相互の密着性が低く、剥離が生じやすく良好なコー
ト層を形成することが困難で、実用化の大きな障害とな
っている。
【０００６】すなわち、チタン化合物層の上にアルミナ
コーティングを行う場合、両者の間では熱膨張率が異な
り、また、コーティングのガス組成が異なることから、
アルミナコーティング時にチタン化合物層に酸化物が生
成し、両者の密着強度が低下する原因となっている。
コーティングを行う場合、両者の間では熱膨張率が異な
り、また、コーティングのガス組成が異なることから、
アルミナコーティング時にチタン化合物層に酸化物が生
成し、両者の密着強度が低下する原因となっている。
【０００７】そこで、本発明は上記事情に鑑み、基材の
表面に形成したチタン化合物層に強固な密着強度でアル
ミナコート層を形成してなる耐摩耗性部材およびその製
造法を提供することを目的とするものである。
表面に形成したチタン化合物層に強固な密着強度でアル
ミナコート層を形成してなる耐摩耗性部材およびその製
造法を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の耐摩耗性部材は、基材の表面に形成したチタン
化合物層の上にチタン酸アルミニウムの反応層を介して
アルミナコート層を被覆してなるものである。上記チタ
ン化合物層は、ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ等によって形
成される。
本発明の耐摩耗性部材は、基材の表面に形成したチタン
化合物層の上にチタン酸アルミニウムの反応層を介して
アルミナコート層を被覆してなるものである。上記チタ
ン化合物層は、ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ等によって形
成される。
【０００９】また、耐摩耗性部材の製造法は、基材の表
面にチタン化合物層をコーティングした後、アルミナコ
ーティングを施してアルミナコート層を被覆し、その
後、非酸化性雰囲気で加熱して、チタン化合物層とアル
ミナコート層との間にチタン酸アルミニウムの反応層を
形成するものである。
面にチタン化合物層をコーティングした後、アルミナコ
ーティングを施してアルミナコート層を被覆し、その
後、非酸化性雰囲気で加熱して、チタン化合物層とアル
ミナコート層との間にチタン酸アルミニウムの反応層を
形成するものである。
【００１０】さらに、上記耐摩耗性部材の製造は、気相
合成反応装置内で、基材の表面にチタン化合物層とアル
ミナコート層とをコーティングした後、非酸化性雰囲気
で加熱してチタン化合物層とアルミナコート層との間に
チタン酸アルミニウムの反応層を連続処理によって形成
してもよい。
合成反応装置内で、基材の表面にチタン化合物層とアル
ミナコート層とをコーティングした後、非酸化性雰囲気
で加熱してチタン化合物層とアルミナコート層との間に
チタン酸アルミニウムの反応層を連続処理によって形成
してもよい。
【００１１】
【作用および効果】上記のような耐摩耗性部材およびそ
の製造法では、基材にコーティングしたチタン化合物層
の上にアルミナコート層を被覆し、両層間に非酸化性雰
囲気の加熱によってチタン酸アルミニウムの反応層を形
成したことにより、チタン化合物層とアルミナコート層
とが堅固な密着強度によってコーティングされ、優れた
耐摩耗性を得ることができる。すなわち、チタン化合物
層は摩擦温度等による昇温時に酸化して劣化しやすい
が、このチタン化合物層を良好な密着強度でアルミナコ
ート層を積層することで保護して耐熱性を改善すること
ができる。
の製造法では、基材にコーティングしたチタン化合物層
の上にアルミナコート層を被覆し、両層間に非酸化性雰
囲気の加熱によってチタン酸アルミニウムの反応層を形
成したことにより、チタン化合物層とアルミナコート層
とが堅固な密着強度によってコーティングされ、優れた
耐摩耗性を得ることができる。すなわち、チタン化合物
層は摩擦温度等による昇温時に酸化して劣化しやすい
が、このチタン化合物層を良好な密着強度でアルミナコ
ート層を積層することで保護して耐熱性を改善すること
ができる。
【００１２】また、上記チタン酸アルミニウムの反応層
の形成も気相合成反応装置内で連続的に行うようにする
と、更に良好な特性のコーティングが行える。
の形成も気相合成反応装置内で連続的に行うようにする
と、更に良好な特性のコーティングが行える。
【００１３】
【実施例】この実施例は、超硬合金の表面にチタン化合
物層としてＴｉＣコート層を形成した例である。
物層としてＴｉＣコート層を形成した例である。
【００１４】まず、この実施例で製造した耐摩耗性部材
の構造は、図１に示すように、基材10の表面にチタン化
合物層11（ＴｉＣコート層）が形成され、このチタン化
合物層11上にチタン酸アルミニウムによる反応層13を介
してアルミナコート層12が積層されている。
の構造は、図１に示すように、基材10の表面にチタン化
合物層11（ＴｉＣコート層）が形成され、このチタン化
合物層11上にチタン酸アルミニウムによる反応層13を介
してアルミナコート層12が積層されている。
【００１５】製造法を説明すれば、まず、基材としてＫ
10相当の超硬合金の表面に、プラズマＣＶＤ法（プラズ
マ気相合成反応法）によりＴｉＣコーティングを施し、
チタン化合物層11（ＴｉＣコート層）を形成する。この
ＴｉＣコート層11の形成は、化学気相合成（ＣＶＤ）装
置を用いて、圧力60torr下でＴｉＣｌ4 が５容量％、Ｃ
Ｈ4 が５容量％、Ｈ2 が90容量％等の反応ガスを導入し
て、900 ℃に加熱し、約２時間反応させて、表面にＴｉ
Ｃコート層を形成した。このＴｉＣコート層の厚みは約
２μｍであった。
10相当の超硬合金の表面に、プラズマＣＶＤ法（プラズ
マ気相合成反応法）によりＴｉＣコーティングを施し、
チタン化合物層11（ＴｉＣコート層）を形成する。この
ＴｉＣコート層11の形成は、化学気相合成（ＣＶＤ）装
置を用いて、圧力60torr下でＴｉＣｌ4 が５容量％、Ｃ
Ｈ4 が５容量％、Ｈ2 が90容量％等の反応ガスを導入し
て、900 ℃に加熱し、約２時間反応させて、表面にＴｉ
Ｃコート層を形成した。このＴｉＣコート層の厚みは約
２μｍであった。
【００１６】続いて、同一ＣＶＤ装置で、Ａｌ2 Ｏ3 コ
ーティングを施し、アルミナコート層12を形成する。こ
のアルミナコーティングは、ＡｌＣｌ3 が５容量％、Ｃ
Ｏ2 が５容量％、Ｈ2 が90容量％を反応ガスとして、10
00℃に加熱し、約２時間反応させて、表面にアルミナコ
ート層12を形成した。このアルミナコート層12の厚みは
約２μｍであった。
ーティングを施し、アルミナコート層12を形成する。こ
のアルミナコーティングは、ＡｌＣｌ3 が５容量％、Ｃ
Ｏ2 が５容量％、Ｈ2 が90容量％を反応ガスとして、10
00℃に加熱し、約２時間反応させて、表面にアルミナコ
ート層12を形成した。このアルミナコート層12の厚みは
約２μｍであった。
【００１７】さらに、上記アルミナコーティング後の素
材を、減圧雰囲気で熱処理することにより、チタン酸ア
ルミニウムを反応生成することで反応層13を形成する。
この熱処理は、温度900 ℃で60分加熱して行った。この
熱処理の温度変化を図２により詳細に示せば、真空雰囲
気で加熱を開始して、10℃/minの加熱速度で温度を高
め、900 ℃に達するとこの温度を60分間保持した後、徐
々に温度を低下させる徐冷を行い、この徐冷の途中で真
空状態を解除してガスパージを行う。
材を、減圧雰囲気で熱処理することにより、チタン酸ア
ルミニウムを反応生成することで反応層13を形成する。
この熱処理は、温度900 ℃で60分加熱して行った。この
熱処理の温度変化を図２により詳細に示せば、真空雰囲
気で加熱を開始して、10℃/minの加熱速度で温度を高
め、900 ℃に達するとこの温度を60分間保持した後、徐
々に温度を低下させる徐冷を行い、この徐冷の途中で真
空状態を解除してガスパージを行う。
【００１８】次に、上記コート層の密着強度のテスト結
果を比較例と共に示す。この密着強度試験は、公知のス
クラッチ試験機で行うものであり、該スクラッチ試験機
はダイヤモンド引掻部を試験片に対して荷重を徐々に増
大しつつ押圧移動し、ＡＥ波の振動の振れと荷重の関係
から、剥離時の荷重の大きさ（ニュートン）で密着強度
を評価するものである。また、比較例としては、前記反
応層生成のための熱処理を行っていないコーティング後
の素材である。
果を比較例と共に示す。この密着強度試験は、公知のス
クラッチ試験機で行うものであり、該スクラッチ試験機
はダイヤモンド引掻部を試験片に対して荷重を徐々に増
大しつつ押圧移動し、ＡＥ波の振動の振れと荷重の関係
から、剥離時の荷重の大きさ（ニュートン）で密着強度
を評価するものである。また、比較例としては、前記反
応層生成のための熱処理を行っていないコーティング後
の素材である。
【００１９】この密着試験の結果すなわち剥離時荷重
［Ｎ］は、 本実施例品……６０［Ｎ］ 比較品 ……４０［Ｎ］ であり、この実施例によるものが大幅に高い密着強度を
有している。また、スクラッチ試験痕を観察すると、熱
処理でチタン酸アルミニウムの反応層13を形成した本実
施例品では、ＴｉＣコート層11とアルミナコート層12と
の境界部は不明瞭であったが、この熱処理を行っていな
い比較品ではその境界部で剥離が生じており、その密着
性には明確な差が見られた。このことは、電子走査顕微
鏡による断面の組織観察でも確認された。
［Ｎ］は、 本実施例品……６０［Ｎ］ 比較品 ……４０［Ｎ］ であり、この実施例によるものが大幅に高い密着強度を
有している。また、スクラッチ試験痕を観察すると、熱
処理でチタン酸アルミニウムの反応層13を形成した本実
施例品では、ＴｉＣコート層11とアルミナコート層12と
の境界部は不明瞭であったが、この熱処理を行っていな
い比較品ではその境界部で剥離が生じており、その密着
性には明確な差が見られた。このことは、電子走査顕微
鏡による断面の組織観察でも確認された。
【００２０】上記アルミナコート層12の密着性を更に向
上させる試みとして、前記熱処理の条件を２時間もしく
は３時間とし、処理温度についても1050℃、1200℃に設
定した場合の密着強度を測定した結果を図３および図４
に示す。またこの時のスクラッチ試験におけるＡＥ波形
の測定結果を図５に示す。
上させる試みとして、前記熱処理の条件を２時間もしく
は３時間とし、処理温度についても1050℃、1200℃に設
定した場合の密着強度を測定した結果を図３および図４
に示す。またこの時のスクラッチ試験におけるＡＥ波形
の測定結果を図５に示す。
【００２１】上記テスト結果より、熱処理の温度（図
３）は、900 ℃、1050℃、1200℃いずれの温度（処理時
間2hr)でも未処理品より耐摩耗性が向上している。そし
て、この処理温度については、700℃から1200℃の範囲
が最適で、これより低温では反応の進行が遅く、また、
高温ではコート層が劣化し、好ましくない。また、処理
温度を900 ℃とした際の処理時間（図４）についても、
１時間以上で未処理品より耐摩耗性が向上しているが、
３時間では２時間より耐摩耗性が低いものであり、この
素材等の条件の場合には２時間程度が最適である。
３）は、900 ℃、1050℃、1200℃いずれの温度（処理時
間2hr)でも未処理品より耐摩耗性が向上している。そし
て、この処理温度については、700℃から1200℃の範囲
が最適で、これより低温では反応の進行が遅く、また、
高温ではコート層が劣化し、好ましくない。また、処理
温度を900 ℃とした際の処理時間（図４）についても、
１時間以上で未処理品より耐摩耗性が向上しているが、
３時間では２時間より耐摩耗性が低いものであり、この
素材等の条件の場合には２時間程度が最適である。
【００２２】一方、雰囲気については、図５のＡＥ波形
に示すように、ａの未処理品のアルミナ剥離点Ｐａおよ
びＴｉＣ剥離点Ｑａに対して、 900℃×２hr加熱条件で
のｂのＡｒガス冷却のアルミナ剥離点ＰｂおよびＴｉＣ
剥離点Ｑｂ、ｃのＮ2 ガス冷却のアルミナ剥離点Ｐｃお
よびＴｉＣ剥離点Ｑｃは高くなり、耐摩耗性は向上して
いる。そして、この処理雰囲気は、真空、Ａｒガス、Ｈ
ｅガス中が最適であって、上記Ｎ2 ガス中ではアルミナ
との反応が生起することから好ましくないものである。
に示すように、ａの未処理品のアルミナ剥離点Ｐａおよ
びＴｉＣ剥離点Ｑａに対して、 900℃×２hr加熱条件で
のｂのＡｒガス冷却のアルミナ剥離点ＰｂおよびＴｉＣ
剥離点Ｑｂ、ｃのＮ2 ガス冷却のアルミナ剥離点Ｐｃお
よびＴｉＣ剥離点Ｑｃは高くなり、耐摩耗性は向上して
いる。そして、この処理雰囲気は、真空、Ａｒガス、Ｈ
ｅガス中が最適であって、上記Ｎ2 ガス中ではアルミナ
との反応が生起することから好ましくないものである。
【００２３】前記耐摩性耗部材のコーティングの条件お
よび反応層の生成条件としては次のようになる。まず、
ＴｉＣコート層11の生成としては、 (1) 熱ＣＶＤ法 前記のような塩化チタン（ＴｉＣｌ4 ）、メタン（ＣＨ
4 ）、水素（Ｈ2 ）ガスを導入し、数torrから大気圧下
で、900 〜1050℃に加熱しＴｉＣコート層を生成するも
のであるが、このときキャリアガスはＡｒ、Ｈｅおよび
Ｎ2 があるが、膜質の面からＡｒまたはＨｅが望まし
い。上記メタンの代わりにベンゼンまたはプロパンでも
よい。 ＴｉＣｌ4 ＋ＣＨ4 ＋Ｈ2 → ＴｉＣ＋ＨＣｌ (2) プラズマＣＶＤ法 コーティングのために加えるべきエネルギーを熱だけで
なく、プラズマを発生させることによりガスを励起し、
上記の反応を促進することができる。プラズマにより加
わるエネルギー分だけ熱を加える必要がなく、この方法
であれば400〜900 ℃に加熱するだけでよい。なお、プ
ラズマを発生させるために圧力を数torr以下に保つ必要
がある。
よび反応層の生成条件としては次のようになる。まず、
ＴｉＣコート層11の生成としては、 (1) 熱ＣＶＤ法 前記のような塩化チタン（ＴｉＣｌ4 ）、メタン（ＣＨ
4 ）、水素（Ｈ2 ）ガスを導入し、数torrから大気圧下
で、900 〜1050℃に加熱しＴｉＣコート層を生成するも
のであるが、このときキャリアガスはＡｒ、Ｈｅおよび
Ｎ2 があるが、膜質の面からＡｒまたはＨｅが望まし
い。上記メタンの代わりにベンゼンまたはプロパンでも
よい。 ＴｉＣｌ4 ＋ＣＨ4 ＋Ｈ2 → ＴｉＣ＋ＨＣｌ (2) プラズマＣＶＤ法 コーティングのために加えるべきエネルギーを熱だけで
なく、プラズマを発生させることによりガスを励起し、
上記の反応を促進することができる。プラズマにより加
わるエネルギー分だけ熱を加える必要がなく、この方法
であれば400〜900 ℃に加熱するだけでよい。なお、プ
ラズマを発生させるために圧力を数torr以下に保つ必要
がある。
【００２４】一方、アルミナコート層12の生成のための
反応ガスは前記のようにＡｌＣｌ3 、ＣＯ2 、Ｈ2 で、
これらのガスを800 〜1100℃に加熱するが、プラズマＣ
ＶＤの場合は、ガス成分にＡｌ（ＣＨ3 ）3 、Ｎ2 Ｏを
用いる必要がある。
反応ガスは前記のようにＡｌＣｌ3 、ＣＯ2 、Ｈ2 で、
これらのガスを800 〜1100℃に加熱するが、プラズマＣ
ＶＤの場合は、ガス成分にＡｌ（ＣＨ3 ）3 、Ｎ2 Ｏを
用いる必要がある。
【００２５】さらに、ＴｉＣコート層11とアルミナコー
ト層12との間に反応層13を形成させるには、ある程度高
温である必要があるが、あまり高温だと両コート層の結
晶の異常成長を引き起こすので好ましくない。また、雰
囲気もＡｒまたはＨｅガスが各々の膜に与える影響がな
く好ましい。温度条件としては900 ℃前後が最もよいも
のである。
ト層12との間に反応層13を形成させるには、ある程度高
温である必要があるが、あまり高温だと両コート層の結
晶の異常成長を引き起こすので好ましくない。また、雰
囲気もＡｒまたはＨｅガスが各々の膜に与える影響がな
く好ましい。温度条件としては900 ℃前後が最もよいも
のである。
【００２６】上記実施例におけるコーティング後の熱処
理は、その熱処理によってチタン化合物層とアルミナコ
ート層との間で、チタン酸アルミニウムの反応層を生成
するものであり、この反応層によって両層は強固に結合
し、容易に剥がれにくい耐摩耗性に優れたコート層とな
る。
理は、その熱処理によってチタン化合物層とアルミナコ
ート層との間で、チタン酸アルミニウムの反応層を生成
するものであり、この反応層によって両層は強固に結合
し、容易に剥がれにくい耐摩耗性に優れたコート層とな
る。
【００２７】なお、上記実施例では基材としては、超硬
合金について示したが、その他の鉄系基材に対しても適
用可能である。また、チタン化合物としては、前記Ｔｉ
Ｃの他、反応ガスの変更などによりＴｉＮ、ＴｉＣＮ等
がコーティング可能である。さらに、本発明による耐摩
耗性部材は、切削工具はもとより、エンジンのロッカア
ームチップ、カムシャフト等の滑り摺動部材に適用でき
るものである。
合金について示したが、その他の鉄系基材に対しても適
用可能である。また、チタン化合物としては、前記Ｔｉ
Ｃの他、反応ガスの変更などによりＴｉＮ、ＴｉＣＮ等
がコーティング可能である。さらに、本発明による耐摩
耗性部材は、切削工具はもとより、エンジンのロッカア
ームチップ、カムシャフト等の滑り摺動部材に適用でき
るものである。
【図１】本発明の耐摩耗性部材の拡大断面図
【図２】熱処理の一例を示す説明図
【図３】熱処理の温度と耐摩耗性との関係を示す説明図
【図４】熱処理の処理時間と耐摩耗性との関係を示す説
明図
明図
【図５】雰囲気ガスに対するＡＥ波形の測定結果を示す
グラフ
グラフ
10 基材 11 チタン化合物層 12 アルミナコート層 13 反応層
Claims (3)
- 【請求項１】 基材の表面に形成されたチタン化合物層
の上にチタン酸アルミニウムの反応層を介してアルミナ
コート層が被覆されていることを特徴とする耐摩耗性部
材。 - 【請求項２】 基材の表面にチタン化合物層をコーティ
ングした後、アルミナコーティングを施してアルミナコ
ート層を被覆し、その後、非酸化性雰囲気で加熱して、
チタン化合物層とアルミナコート層との間にチタン酸ア
ルミニウムの反応層を形成することを特徴とする耐摩耗
性部材の製造法。 - 【請求項３】 気相合成反応装置内で、基材の表面にチ
タン化合物層とアルミナコート層とをコーティングした
後、非酸化性雰囲気で加熱してチタン化合物層とアルミ
ナコート層との間にチタン酸アルミニウムの反応層を連
続処理によって形成することを特徴とする耐摩耗性部材
の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6428191A JP2969291B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 耐摩耗性部材およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6428191A JP2969291B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 耐摩耗性部材およびその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301084A JPH04301084A (ja) | 1992-10-23 |
| JP2969291B2 true JP2969291B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=13253693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6428191A Expired - Fee Related JP2969291B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 耐摩耗性部材およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2969291B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4562401B2 (ja) * | 2003-02-17 | 2010-10-13 | 京セラ株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| WO2005092608A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Kyocera Corporation | 表面被覆部材および切削工具 |
| US11713503B2 (en) | 2011-12-23 | 2023-08-01 | Hong Kong Baptist University | Sapphire coated substrate with a flexible, anti-scratch and multi-layer coating |
| US11535926B2 (en) | 2011-12-23 | 2022-12-27 | Hkbu R&D Licensing Limited | Sapphire thin film coated substrate |
| US9932663B2 (en) | 2011-12-23 | 2018-04-03 | Hong Kong Baptist University | Sapphire thin film coated substrate |
| CN107109623B (zh) * | 2014-09-12 | 2019-02-15 | 香港浸会大学 | 经蓝宝石薄膜涂覆的可挠基板 |
-
1991
- 1991-03-28 JP JP6428191A patent/JP2969291B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04301084A (ja) | 1992-10-23 |
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