JP2967421B2 - 空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及びその装置 - Google Patents

空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法及びその装置

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、空気液化分離によるアルゴン採取の制御方
法及びその装置に関し、詳しくは、空気を原料として深
冷分離法により酸素，窒素，アルゴン等を気体及び／又
は液体で生産する装置において、生産量の増減，運転モ
ードの変更を効率よく短時間で行え、かつ最適な生産量
を得ることのできる空気液化分離によるアルゴン採取の
制御方法及びその装置に関する。
〔従来の技術〕
従来から、酸素と粗アルゴン、又は酸素と窒素と粗ア
ルゴンとを生産する場合、粗アルゴンを効率よく採取す
るためには、酸素生産量の制御が極めて重要であること
が知られている。
そこで、従来は、酸素は、該酸素の純度が一定になる
ようにその採取量を制御するとともに、粗アルゴンは、
該粗アルゴン中の酸素濃度が規定値以下になるようにそ
の生産量を制御する方法が多く用いられている。
また、特開昭64−90982号公報には、粗アルゴン塔に
導入するガス中の窒素濃度をリアルタイムで分析し、そ
の結果に応じて各部の流量を制御する方法が記載されて
いる。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上述の前者の方法では、複精留塔下部
塔（高圧塔）から膨張タービン流体として、あるいは液
製品として取り出される窒素量が多い場合には有効であ
るが、この窒素量が少ない場合には、酸素及び／又は粗
アルゴンの生産量増加により粗アルゴン中の窒素濃度が
増加してしまうという不都合がある。
また、後者の方法では、複精留塔上部塔（低圧塔）の
操作線を、下部塔から供給する液化窒素の還流液量を制
御して固定しているが、高収率でアルゴンを採取する装
置では、粗アルゴンの生産量が、酸素生産量の僅かな変
化にも影響を受けることに対する対策が不十分である。
さらにこの方法では、粗アルゴン塔に導入するガス中の
窒素ガスの分析器を必要とする。
第４図は下部塔から上部塔に供給する還流液量が比較
的多く、酸素生産量が高い運転状態下において上部塔か
ら導出される排ガス中の酸素濃度と、粗アルゴン中の
酸素濃度と、同じく粗アルゴン中の窒素濃度との関
係を示すもので、実線はそれぞれある酸素生産量の時の
粗アルゴン生産量に対する上記各濃度を示しており、破
線（′，′，′）は、それぞれ酸素生産量が増大
した時の排ガス中の酸素濃度′と、粗アルゴン中の酸
素濃度′と、粗アルゴン中の窒素濃度′を示してい
る。即ち、このような条件下では、粗アルゴン中の窒素
濃度，′は、酸素，粗アルゴンの生産量により影響
を受け、その変化は、排ガス中の酸素濃度，′に現
れることがわかる。
この排ガス中の酸素濃度の限界値は、下部塔から導出
されて上部塔に供給される窒素量あるいは外部から上部
塔に導入される還流用の液化窒素の量により異なるが、
下部塔から導出されて上部塔に導入される窒素の量が少
ない場合には、上記排ガス中の酸素濃度の監視がより重
要となる。
また、製品の需要変動にともない製品採取量が増減し
た場合には、これに合せて各部の流量を調整し、さらに
流量変更に伴う純度の変動により流量を微調整しなけれ
ばならず、最適な運転状態を得るためには長時間を要
し、あるいは収率を犠牲にした運転を行っている。
例えば、酸素ガスの採取量を増減する場合、従来は、
変更後の酸素ガス採取量を制御器に入力すると、原料空
気量，タービン流体量，窒素採取量，その他の各部の流
量が変更後の酸素量に見合った量にセットされ、各部の
弁が所定の時定数に従ってセット値に到達するように制
御される。そしてセット値に到達後に、製品の純度や熱
バランスのズレをフィードバック方式で修正する。従っ
て、修正後に生じる製品純度や熱バランスのズレに基づ
いて何回も修正を繰返さなければならなくなるおそれが
あり、規定の運転状態に移行するのに長時間を必要とし
ていた。
本発明は、上記実情に鑑みて成されたもので、製品酸
素は、その濃度が規定値以上に維持されるように採取
し、粗アルゴンは、該粗アルゴン中の酸素濃度が規定値
以下になるようにその生産量を制御するとともに、上部
塔から粗アルゴン塔に導入されるガス中の窒素濃度が規
定値以上になることを防止し、アルゴンを高収率で得る
ことのできる空気液化分離によるアルゴン採取の制御方
法及びその装置を提供することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕 上記した目的を達成するために、本発明の空気液化分
離によるアルゴン採取の制御方法は、原料空気を圧縮，
精製，冷却して精留塔に導入し、液化精留分離により酸
素，窒素，粗アルゴン，排ガス等に分離する空気液化分
離によるアルゴン採取の制御方法において、装置各部の
流量に基づいて現状の運転パターンを認識し、前回の運
転指令と最新の運転指令及び装置を構成する機器の能力
等の運転条件と、前記排ガス中の酸素濃度の測定値に基
づいて、最適な運転パターンを推論し、該運転パターン
及び前記酸素濃度に応じて粗アルゴン採取量及び／又は
製品酸素量を算出するとともに、前記推論と該算出値に
基づいて上記以外の装置各部の最適流量を算出して制御
することを特徴としている。
また、本発明の空気液化分離によるアルゴン採取の制
御装置は、圧縮，精製，冷却した原料空気を液化精留分
離して酸素，窒素，排ガス等を導出する空気液化分離装
置において、前記排ガス中の酸素濃度を測定する測定手
段と、装置各部の流量に基づいて現状の運転パターンを
認識し、運転指令及び装置構成各機器の能力等の運転条
件と前記測定手段による測定値に基づいて最適運転パタ
ーンを推論し、最適な物質収支となる粗アルゴン量，製
品酸素量，製品窒素量，還流液量，膨張タービン流量等
の各部の流量を算出し、該算出値に基づいて各部の流量
を制御する制御手段とを備えたことを特徴としている。
〔実施例〕
以下、本発明を第１図に示す空気液化分離装置の一例
に基づいて、さらに詳細に説明する。
この空気液化分離装置１は、圧縮機2,精製設備3,主熱
交換器４を経て液化点付近まで冷却された原料空気Ａを
精留する複精留塔５と、該複精留塔５の上部塔5aに接続
されたアルゴン塔６と、上部塔5a底部に配置された主凝
縮蒸発器７と、下部塔5b上部に分離する窒素ガスを作動
流体とする膨張タービン８とを備えている。
上記空気液化分離装置１は、周知のごとく空気を原料
として液化精留分離を行い、製品として上部塔下部の酸
素ガスGO,上部塔頂部の窒素ガスGN,上部塔底部の液化酸
素LO,主凝縮蒸発器７で液化した液化窒素LN,アルゴン塔
上部の粗アルゴンARをそれぞれ産出しており、また上部
塔上部からは排ガスＷが、下部塔上部からは、膨張ター
ビン８を経て窒素ガスＮが排出されている。
本発明では、このように構成した空気液化分離装置１
を製品需要に応じた最適な運転状態に保持するために、
各部に各種の制御器，計測器，分析器等を配置するとと
もに、これらの各機器から得られる情報及びあらかじめ
定められた各設定値に基いて前記各計測制御器を作動さ
せて各部の流量を制御する制御手段９とを備えている。
この制御手段９には、制御要電算機及び／又はエキスパ
ートシステムが用いられる。尚、図中ｄはデータ入出力
を示す。
まず原料空気Ａを供給する管路10には、原料空気Ａの
流量を計測する流量計30aとガイドベーン30bとからなる
計測制御器30が設けられている。この計測制御器30は、
原料空気Ａの流量と共にガイドベーン30bの開度を制御
手段９に出力し、該制御手段９からの指示によりガイド
ベーン30bを開閉して原料空気Ａの供給量を制御するも
ので、製品酸素ガスGOの生産量に応じて算定される値が
設定値となる。尚、上記ガイドベーンに代えて管路に自
動弁を設けることによっても同様に行うことができる。
製品酸素ガスGOを導出する管路11には、製品酸素ガス
GOの流量を計測する流量計31aと自動弁31bとからなる計
測制御器31が設けられている。この計測制御器31は、製
品酸素ガスGOの流量と共に自動弁31bの開度を制御手段
９に出力し、該制御手段９からの指示により自動弁31b
を開閉して製品酸素ガスGOの産出量を制御するもので、
製品酸素ガスGOの需要量に応じて算定される値が設定値
となり、かつ酸素純度が規定の値を維持するように微調
整される。この製品酸素ガス用計測制御器31に関連して
上部塔5aの製品酸素ガス導出部近傍には、製品酸素ガス
GOの純度を計測する分析計31cが設けられており、該純
度を制御手段９に出力している。
製品窒素ガスGNを導出する管路12には、製品窒素ガス
GNの流量を計測する流量計32aと自動弁32bとからなる計
測制御器32が設けられている。この計測制御器32は、製
品窒素ガスGNの流量と共に自動弁32bの開度を制御手段
９に出力し、該制御手段９からの指示により自動弁32b
を開閉して製品窒素ガスGNの産出量を制御するもので、
原料空気Ａの供給量に応じて算定される値が設定値とな
る。
粗アルゴンARを導出する管路13には、粗アルゴンARの
流量を計測する流量計33aと自動弁33bとからなる計測制
御器33及び該粗アルゴン中の酸素濃度を測定する分析器
33cが設けられている。この計測制御器33は、粗アルゴ
ンARの流量と共に自動弁33bの開度を制御手段９に出力
し、該制御手段９からの指示により自動弁33bを開閉し
て粗アルゴンARの産出量を制御するもので、原料空気Ａ
の供給量に応じて算定される値が設定値となり、かつ分
析器33cから得られる粗アルゴン中の酸素濃度が規定の
値以下という条件を満たしつつ、粗アルゴンARの生産量
が最大になるように微調整される。
液化酸素LOを導出する管路14には、液化酸素LOの流量
を計測する流量計34aと自動弁34bとからなる計測制御器
34が設けられている。この計測制御器34は、液化酸素LO
の流量と共に自動弁34bの開度を制御手段９に出力し、
該制御手段９からの指示により自動弁34bを開閉して液
化酸素LOの産出量を制御するもので、あらかじめ設定さ
れた値、又は寒冷上のバランスを維持するように制御さ
れる。
液化窒素LNを導出する管路15には、液化窒素LNの流量
を計測する流量計35aと自動弁35bとからなる計測制御器
35が設けられている。この計測制御器35は、液化窒素LN
の流量と共に自動弁35bの開度を制御手段９に出力し、
該制御手段９からの命令により自動弁35bを開閉して液
化窒素LNの産出量を制御するもので、あらかじめ設定さ
れた値、又は寒冷上のバランス及び純度を維持するよう
に制御され、さらに下部塔5bの還流液化窒素の純度を維
持できるように、膨張タービン流体の流量との関連にお
いて制御される。
膨張タービン８に窒素ガスＮを導入する管路16には、
該窒素ガスＮの流量を計測する流量計36aと自動弁36bと
からなる計測制御器36が設けられている。この計測制御
器36は、窒素ガスＮの流量と共に自動弁36bの開度を制
御手段９に出力し、該制御手段９からの指示により自動
弁36bを開閉して膨張タービン導入流体量を制御するも
ので、原料空気量から算出された値が設定値となり制御
されるが、寒冷上のバランスや運転目的に応じた還流液
化窒素流量との関連において設定された値により調整さ
れる。
上部塔5aに還流液を導入する管路17には、該管路17内
の液化窒素の流量を計測する流量計37aと自動弁37bとか
らなる計測制御器37が設けられている。この計測制御器
37は、液化窒素の流量と共に自動弁37bの開度を制御手
段９に出力し、該制御手段９からの指示により自動弁37
bを開閉して還流液量を制御するもので、原料空気量か
ら算出された値が設定値となり制御される。
下部塔5bの底部の液化空気を上部塔5aに導入する管路
18には、液化空気の流量を制御する自動弁38bが設けら
れるとともに、下部塔底部には該底部の液面を計測する
液面計38cが設けられている。この自動弁38bと液面計38
aとからなる計測制御器38は、下部塔底部の液化空気の
液面高さに応じて自動弁38bの開度を制御し、下部塔底
部の液面が一定になるように制御される。
また、下部塔底部の液化空気を粗アルゴン塔６の凝縮
器6aに導入する管路19には、液化空気の流量を計測する
流量計39aと自動弁39bとからなる計測制御器39が設けら
れている。この計測制御器39は、凝縮器6aに導入する液
化空気の流量と共に自動弁39bの開度を制御手段９に出
力し、該制御手段９からの指示により自動弁39bを開閉
して液化空気量を制御するもので、原料空気量から算出
された値が設定値となり制御される。
上部塔上部から排ガスＷを排出する管路20には、排ガ
ス中の酸素濃度を計測する分析器40が設けられており、
該管路20内の排ガス中に含まれる酸素濃度を制御手段９
に出力する。さらに該管路20には、排ガスの流量を制御
する流量計41aと自動弁41bとからなる計測制御器41が設
けられている。
そして前記制御手段９は、例えば分散型制御装置9aと
AIステーション（エキスパートシステム）からなる推論
計算手段9bにより構成されており、前述のごとく、各機
器から得られる情報と、あらかじめ定められた各運転パ
ターンにおける適正流量設定値に基いて前記各計測制御
器を作動させて各部の流量を制御する。即ち、空気液化
分離装置１では、物質収支の変化が排ガスＷ中の酸素濃
度の変化に現れるという特性を生かして、該排ガスＷ中
の酸素濃度の変化をとらえ、その変化がいかなる物質収
支上もしくは熱収支上の変化によるものかを、前記各部
の流量や濃度等をもとにした運転パターンを認識に基い
て、最適な運転状態となるように各部の流量を調整す
る。
また、酸素ガスGO及び粗アルゴンARの生産量の変動に
より排ガスＷ中の酸素濃度が変化し、該酸素濃度が規定
値以下になると粗アルゴンAR中の窒素濃度が増加すると
いう特性から、該排ガスＷ中の酸素濃度が、運転モード
により定まる下限値以下にならないように、酸素ガスGO
及び粗アルゴンARの生産量を制御する。
さらに前記各部の流量と、あらかじめ設定されている
各運転パターンにおける最適設定値とを比較して現在の
運転パターンを認識し、前記排ガスＷ中の酸素濃度の下
限値の設定を行うとともに、例えば製品酸素ガス需要量
の変化による酸素ガス流量の変化により、酸素の増減産
に対応する各部の流量を設定し、各自動弁の開度変更を
行い、各分析器の出力に応じてこれを微調整し、装置を
最適な運転状態に速やかに移行させる。
例えば、空気液化分離装置の制御を上記のごとく構成
したエミスパートシステムにより行い、酸素ガスの採取
量を増減する場合、変更後の酸素ガス採取量を制御器に
入力すると、まず前記各部の流量や濃度から現状の運転
パターン及び前回の運転指令を認識する。次いで今回の
運転指令による製品採取量に応じてあらかじめ定められ
た各部の適正流量設定値に基いて前記各部の最適流量を
算出し、該算出値に基づいて各部の流量を制御するが、
これに先だって、新しい指令による運転に移行後、前回
の指令による運転を続行できるか否か、又は変更すべき
か否かを推論する。この推論は、優先すべき事項、例え
ば製品の純度，各運転モードにおいて確保すべき各々の
製品量，熱バランスの確保等をベースにして、原料空気
圧縮機の減量限界や液化ガス製品の需要情報（貯槽内保
有量の情報）、さらに前回の運転指令等の情報から最適
な運転パターンを選択するものであり、また変化量に応
じて運転移行までの時定数を設定する。例えば酸素ガス
の減量が指令され、前回の指令が液化窒素採取運転であ
った場合、原料空気量を酸素ガス採取量に応じて減らし
たときに確保すべき窒素ガス量や空気圧縮機の減量限界
等から採取する液化窒素量及び各部の流量を推論する。
この結果、各部の流量がそれぞれの時定数でセットされ
た値に到達するように制御される。そしてセット値に到
達後に、生じる製品純度や熱バランスのズレは、現状の
運転パターンからどの部分をどの程度修正すべきかを推
論し、その結果に基づいて制御を行う。例えば、液製品
を採取しない運転であれば、熱バランス調節用の系の流
量又は弁開度が所定の範囲に入るように、タービン流体
量設定値を各部の流量との関連において微調整する。
また、アルゴンを採取する空気液化分離装置における
粗アルゴンの採取量は、上部塔に導入される還流液量及
び酸素の採取量の微妙な変化により大きく変化を受け
る。そのためアルゴン運転は、上部塔へと還流液量に応
じた制御、即ち各部の流量管理が必要であり、酸素採取
量の微妙な調節が求められる。ここで、下部塔から上部
塔へ導入する液化空気と液化窒素との最適な比率は計算
により容易に決定することが可能であるが、酸素及び粗
アルゴンの採取量の管理指標は上部塔から導出される排
ガス中の酸素濃度であり、この酸素濃度は酸素及び粗ア
ルゴンの採取量を減らすことにより増加し、採取量を増
すことにより減少する。
従って、酸素及び粗アルゴンの採取量の調節は、第２
図示す手順により行うことができる。即ち、ステップ10
1で排ガス中の酸素濃度の変化を検出した時、まず上述
のごとく各部の流量等から現状の運転パターンを認識
し、該パターンに応じた排ガス中の酸素濃度の下限値を
求める（ステップ102）。排ガス中の酸素濃度と前記下
限値とを比較し（ステップ103）、下限値よりも酸素濃
度が低い場合には、粗アルゴン採取量を減量し、及び／
又は製品酸素の採取量を減量する（ステップ104）。前
記下限値よりも酸素濃度が高い場合は、粗アルゴン採取
量を増量し、及び／又は製品酸素の採取量を増量する
（ステップ105）。上記各ステップの制御のみで所定の
製品酸素濃度及び粗アルゴン濃度を維持しつつ運転指令
通りの各製品採取量が保持されれば、本発明の制御シス
テムにおける粗アルゴン採取系統の制御はこれで十分で
ある。
しかし上記ステップの制御では、流量計の指示，多様
な運転パターンに対応する各部の流量設定等から多少の
誤差を生じるため、酸素及び粗アルゴンの生産量の微調
整を行うことが望ましい。
この場合は、酸素及び粗アルゴンの採取量の調節は、
第３図示す手順により行うことができる。即ち、前記同
様に、ステップ101で排ガス中の酸素濃度の変化を検出
した時、まず上述のごとく各部の流量等から現状の運転
パターンを認識し、該パターンに応じた排ガス中の酸素
濃度の下限値を求める（ステップ102）。排ガス中の酸
素濃度と前記下限値とを比較し（ステップ103）、下限
値よりも酸素濃度が低い場合には通過回数上限を設定し
たカウンター（ステップ106）を経た後に、酸素採取量
を減量する方向の制御が行われる（ステップ107）。こ
のステップ107における制御は、前回の調節量の半量分
の調節が行われ、ステップ103に戻る。このステップ10
3,106,107のループは、カウンターにより制御回数がカ
ウントされ、制御回数が設定回数を超えた場合には、そ
れ以上の制御を行わないようにする（ステップ108）。
前記ステップ103において酸素濃度が下限値よりも高
い場合には、ステップ109で、酸素ガス純度と製品とし
て要求される純度の下限値とが比較される。この純度が
下限値と等しく、かつ粗アルゴン中の酸素濃度が上限に
ある場合（ステップ110）には、排ガス中の酸素濃度が
高くても、このループ内での設定の変更を行わない（ス
テップ108）。
また、ステップ109で、酸素ガス純度が下限値より高
い場合には、粗アルゴン中の酸素濃度が上限値と比較さ
れ（ステップ111）、これが等しい時には酸素ガス採取
量を微量増加し（ステップ112）、ステップ103に戻る。
また、ステップ111で粗アルゴン中の酸素濃度が上限値
より低い時には、粗アルゴンの採取量を僅かに増量し
（ステップ113）、ステップ103に戻る。
尚、このループ内で適当な制御が行なえない場合に
は、さらに他の部分の流量を見直して最適な制御を行
う。
このようにして各部の流量を制御することにより、各
種製品を効率よく採取することが可能となり、運転モー
ドの切り替えも短時間で行うことが可能となる。特にア
ルゴンを採取する空気液化分離装置では、粗アルゴンAR
中の窒素濃度を高めずに粗アルゴンARを高い収率で生産
することが可能となり、他の酸素や窒素の収率も向上さ
せることができ、空気液化分離装置の生産効率を大幅に
向上させることができる。
尚、装置各部の気液の流れについては、一般の空気液
化分離装置と同様のため詳細な説明は、これを省略す
る。また、空気液化分離装置の構成は、上記実施例に限
らず、従来から用いられている各種能力向上設備を備え
たものにも、本発明を適用することが可能であり、実施
例で挙げた製品を全て併産するものに限るものでもな
い。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の空気液化分離装置の制
御方法及び装置は、装置各部の気液の流量や精留塔から
の排ガス中の酸素濃度、あるいはこれと採取する粗アル
ゴン中及び製品酸素中の酸素濃度とを基にして現状の運
転パターンを認識し、これに基いて各部の流量を制御す
るから、各運転パターンにおける最適な運転状態で各製
品を製出することができ、粗アルゴンとともに各製品の
収率を向上することができる。特に製品需要の変動によ
る運転モードの移行を迅速に行え、特に粗アルゴン中の
窒素濃度を規定値以下に保ちながら最大限の収率を得る
ことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す空気液化分離装置の系
統図、第２図及び第３図は制御の一例を示すフローチャ
ート、第４図は粗アルゴンの採取量に対する排ガス中の
酸素濃度、粗アルゴン中の酸素濃度、及び粗アルゴン中
の窒素濃度の関係を示す図である。 １……空気液化分離装置、２……圧縮機、３……精製設
備、４……主熱交換器、５……複精留塔、６……アルゴ
ン塔、７……主凝縮蒸発器、８……膨張タービン、９…
…制御手段、30,31,32,33,34,35,36,37,38,39,41……計
測制御器、40……分析器、Ａ……原料空気、AR……粗ア
ルゴン、GO……酸素ガス、GN……窒素ガス、LO……液化
酸素、LN……液化窒素、Ｗ……排ガス

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】原料空気を圧縮，精製，冷却して精留塔に
    導入し、液化精留分離により酸素，窒素，粗アルゴン，
    排ガス等に分離する空気液化分離によるアルゴン採取の
    制御方法において、装置各部の流量に基づいて現状の運
    転パターンを認識し、前回の運転指令と最新の運転指令
    及び装置を構成する機器の能力等の運転条件と、前記排
    ガス中の酸素濃度の測定値に基づいて、最適な運転パタ
    ーンを推論し、該運転パターン及び前記酸素濃度に応じ
    て粗アルゴン採取量及び／又は製品酸素量を算出すると
    ともに、前記推論と該算出値に基づいて上記以外の装置
    各部の最適流量を算出して制御することを特徴とする空
    気液化分離によるアルゴン採取の制御方法。
  2. 【請求項２】前記測定値は、前記排ガス中の酸素濃度測
    定値に加えて、採取する粗アルゴン中の酸素濃度測定値
    及び製品酸素中の酸素濃度測定値であり、これら３つの
    測定値に応じて粗アルゴンの採取量及び／又は酸素採取
    量を算出し制御することを特徴とする請求項１記載の空
    気液化分離によるアルゴン採取の制御方法。
  3. 【請求項３】前記各部の最適流量の算出は、あらかじめ
    定められた所定の優先順位に基づいて行うとともに、前
    記各部の流量の制御は、あらかじめ定められた所定の時
    定数に基づいて行うことを特徴とする請求項１又は２記
    載の空気液化分離によるアルゴン採取の制御方法。
  4. 【請求項４】前記制御は、制御用電子計算機又はエキス
    パートシステムにより行うことを特徴とする請求項１乃
    至３いずれかに記載の空気液化分離によるアルゴン採取
    の制御方法。
  5. 【請求項５】圧縮，精製，冷却した原料空気を液化精留
    分離して酸素，窒素，排ガス等を導出する空気液化分離
    装置において、前記排ガス中の酸素濃度を測定する測定
    手段と、装置各部の流量に基づいての現状の運転パター
    ンを認識し、運転指令及び装置構成各機器の能力等の運
    転条件と前記測定手段による測定値に基づいて最適運転
    パターンを推論し、最適な物質収支となる粗アルゴン
    量，製品酸素量，製品窒素量，還流液量，膨張タービン
    流量等の各部の流量を算出し、該算出値に基づいて各部
    の流量を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする
    空気液化分離によるアルゴン採取の制御装置。
  6. 【請求項６】前記測定手段は、前記排ガス中の酸素濃度
    測定手段に加えて、採取する粗アルゴン中の酸素濃度測
    定手段及び製品酸素中の酸素濃度測定手段を設け、前記
    制御手段は、これら３つの測定手段にて測定された酸素
    濃度に応じて粗アルゴン及び／又は製品酸素の採取量を
    制御することを特徴とする請求項５記載の空気液化分離
    によるアルゴン採取の制御装置。
  7. 【請求項７】前記制御は、制御用電子計算機及び／又は
    エキスパートシステムにより行うことを特徴とする請求
    項５又は６記載の空気液化分離によるアルゴン採取の制
    御装置。
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