JP2959063B2 - ローラハース式真空炉 - Google Patents
ローラハース式真空炉Info
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- JP2959063B2 JP2959063B2 JP17913590A JP17913590A JP2959063B2 JP 2959063 B2 JP2959063 B2 JP 2959063B2 JP 17913590 A JP17913590 A JP 17913590A JP 17913590 A JP17913590 A JP 17913590A JP 2959063 B2 JP2959063 B2 JP 2959063B2
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- rollers
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は真空状態において被処理物の加熱をおこな
うローラハース式真空炉に関する。
うローラハース式真空炉に関する。
一般にローラハース式真空炉においては、被処理物搬
送用の全ローラを電動機によりチエーン駆動される駆動
ローラにより構成しているが、ローラの軸端部を炉殻外
へ突出させてチエーン駆動する場合は、炉殻貫通部の真
空シール装置が多数箇所必要となり、製作費がかさみ組
立もめんどうであり、また漏れ（外部空気の侵入）が多
く保守の手間もかかる等、多くの問題点がある。
送用の全ローラを電動機によりチエーン駆動される駆動
ローラにより構成しているが、ローラの軸端部を炉殻外
へ突出させてチエーン駆動する場合は、炉殻貫通部の真
空シール装置が多数箇所必要となり、製作費がかさみ組
立もめんどうであり、また漏れ（外部空気の侵入）が多
く保守の手間もかかる等、多くの問題点がある。
そこでモータにより直接チエーン駆動されるローラ以
外のローラの軸端部は炉殻外へ突出させず、これらのロ
ーラの連動チエーンによる駆動を炉殻内においておこな
うことも試みられているが、炉温が1200℃を越えるよう
な高温処理が多いので、連動チエーンの耐熱性や潤滑法
が大きな問題であり、連動チエーンのゆるみの調整も炉
外ではおこなえないので、実用化は極めて困難であっ
た。
外のローラの軸端部は炉殻外へ突出させず、これらのロ
ーラの連動チエーンによる駆動を炉殻内においておこな
うことも試みられているが、炉温が1200℃を越えるよう
な高温処理が多いので、連動チエーンの耐熱性や潤滑法
が大きな問題であり、連動チエーンのゆるみの調整も炉
外ではおこなえないので、実用化は極めて困難であっ
た。
この発明は上記従来の問題点を解決するもので、ロー
ラの炉殻貫通箇所、従つてシール箇所が少なくてすみ、
組立および保守も容易であるローラハース式真空炉を提
供しようとするものである。
ラの炉殻貫通箇所、従つてシール箇所が少なくてすみ、
組立および保守も容易であるローラハース式真空炉を提
供しようとするものである。
しかしてこの出願の第１の発明のローラハース式真空
炉は、被処理物搬送用のローラをそなえたローラハース
式真空炉において、全ローラのうちの一部のローラを駆
動ローラで構成し、他のローラをフリーローラで構成す
るとともに、被処理物を載せて移動するトレーの下に少
なくとも１本の駆動ローラが存在するように駆動ローラ
を配置したことを特徴とする。
炉は、被処理物搬送用のローラをそなえたローラハース
式真空炉において、全ローラのうちの一部のローラを駆
動ローラで構成し、他のローラをフリーローラで構成す
るとともに、被処理物を載せて移動するトレーの下に少
なくとも１本の駆動ローラが存在するように駆動ローラ
を配置したことを特徴とする。
またこの出願の第２の発明のローラハース式真空炉
は、被処理物搬送用のローラをそなえ複数の処理室を連
設して成るローラハース式真空炉において、全ローラの
うちの一部のローラを駆動ローラで構成し、他のローラ
をフリーローラで構成するとともに、被処理物を載せて
移動するトレーの下に少なくとも１本の駆動ローラが存
在するように駆動ローラを配置し、隣り合う処理室間に
あるローラを搬送位置から側方（下方を含む）へ移動可
能なフリーローラとしたことを特徴とする。
は、被処理物搬送用のローラをそなえ複数の処理室を連
設して成るローラハース式真空炉において、全ローラの
うちの一部のローラを駆動ローラで構成し、他のローラ
をフリーローラで構成するとともに、被処理物を載せて
移動するトレーの下に少なくとも１本の駆動ローラが存
在するように駆動ローラを配置し、隣り合う処理室間に
あるローラを搬送位置から側方（下方を含む）へ移動可
能なフリーローラとしたことを特徴とする。
この発明において駆動ローラとは、チエーンや歯車あ
るいはカツプリング等を介して、モータにより直接駆動
されるローラ、およびこのローラにより連動チエーンや
歯車機構などの連動手段を介して駆動されるローラを称
するものとする。
るいはカツプリング等を介して、モータにより直接駆動
されるローラ、およびこのローラにより連動チエーンや
歯車機構などの連動手段を介して駆動されるローラを称
するものとする。
この発明のローラハース式真空炉においては、被処理
物を載せたトレーは、その下に１本以上存在する駆動ロ
ーラによつて炉内搬送される。この搬送時にフリーロー
ラはフリー回転し、トレーおよびその上の被処理物の重
量を支える。フリーローラは炉殻内に設けることができ
るので、炉殻の貫通箇所が減り、シール箇所が減少する
とともに炉構造が簡潔化され、ローラの組付も容易とな
る。
物を載せたトレーは、その下に１本以上存在する駆動ロ
ーラによつて炉内搬送される。この搬送時にフリーロー
ラはフリー回転し、トレーおよびその上の被処理物の重
量を支える。フリーローラは炉殻内に設けることができ
るので、炉殻の貫通箇所が減り、シール箇所が減少する
とともに炉構造が簡潔化され、ローラの組付も容易とな
る。
またフリーローラは駆動機構あるいは連動機構に接続
されないので、移動が容易である。このため特に複数の
処理室を連設した複室型の炉では、隣り合う処理室間の
ローラを搬送位置から側方へ移動可能なフリーローラと
すれば、処理室の扉の閉鎖時にフリーローラを退避させ
て該扉やその開閉装置とフリーローラとの干渉を回避す
ることができる。
されないので、移動が容易である。このため特に複数の
処理室を連設した複室型の炉では、隣り合う処理室間の
ローラを搬送位置から側方へ移動可能なフリーローラと
すれば、処理室の扉の閉鎖時にフリーローラを退避させ
て該扉やその開閉装置とフリーローラとの干渉を回避す
ることができる。
以下第１図乃至第５図によりこの発明の一実施例を説
明する。
明する。
図中、１はローラハース式真空炉で、入口側から複数
の処理室2a,2b,2cを連設して成る。３は各処理室２（処
理室2a〜2cの総称。以下他の部分も同様に総称する。）
の炉殻、４は同じく気密用の扉である。各処理室２内に
は、四周を黒鉛製の断熱壁５により囲繞され図示しない
電熱ヒータをそなえた加熱室6a〜6cが設けられている。
７は各加熱室６の断熱用の扉である。８はエアシリンダ
９を主体とする扉開閉装置であり、扉４および７の開閉
と昇降駆動をおこなう公知の機構のものである。10は被
処理物Ｗの炉内搬送用のローラで、10aおよび10bは駆動
ローラ、10cおよび10dはフリーローラである。駆動ロー
ラ10aは第２図示のように、軸受11とシール装置を兼ね
た軸受12により回転自在に支持され、炉殻３外へ突出し
た一方の軸端部13には駆動スプロケツト14と連動スプロ
ケツト15が固着され、駆動スプロケツト14に巻掛けたチ
エーン16を介してモータ17により直接回転駆動されるよ
うになつている。また駆動ローラ10bは、駆動スプロケ
ツト14を有しない点を除いて、駆動ローラ10aと同一構
造を有し、連動スプロケツト15に巻掛けた連動チエーン
を介して駆動ローラ10aにより連動駆動される。一方フ
リーローラ10cは第３図示のように炉殻３内に設けた軸
受18により両軸端部を回転自在に支持されている。また
隣り合う処理室2a,2b間、および2b,2c間に配置されたフ
リーローラ10dは、第４図示のようにエアシリンダ19に
より昇降駆動される昇降台20上に軸受21により回転自在
に支持されている。22は第５図に示す被処理物搬送位置
から下方へ退避したフリーローラ10dを収容する収容
室、23は昇降台20をガイドするガイドレールである。そ
して駆動ローラ10a,10bと、フリーローラ10c,10dとは、
被処理物搬送用のトレー24の移動位置にかかわらず、該
トレー24の下に少なくとも１本の駆動ローラ10aまたは1
0bが存在するように（この実施例では最小１本、最大２
本存在するように）配置されている。
の処理室2a,2b,2cを連設して成る。３は各処理室２（処
理室2a〜2cの総称。以下他の部分も同様に総称する。）
の炉殻、４は同じく気密用の扉である。各処理室２内に
は、四周を黒鉛製の断熱壁５により囲繞され図示しない
電熱ヒータをそなえた加熱室6a〜6cが設けられている。
７は各加熱室６の断熱用の扉である。８はエアシリンダ
９を主体とする扉開閉装置であり、扉４および７の開閉
と昇降駆動をおこなう公知の機構のものである。10は被
処理物Ｗの炉内搬送用のローラで、10aおよび10bは駆動
ローラ、10cおよび10dはフリーローラである。駆動ロー
ラ10aは第２図示のように、軸受11とシール装置を兼ね
た軸受12により回転自在に支持され、炉殻３外へ突出し
た一方の軸端部13には駆動スプロケツト14と連動スプロ
ケツト15が固着され、駆動スプロケツト14に巻掛けたチ
エーン16を介してモータ17により直接回転駆動されるよ
うになつている。また駆動ローラ10bは、駆動スプロケ
ツト14を有しない点を除いて、駆動ローラ10aと同一構
造を有し、連動スプロケツト15に巻掛けた連動チエーン
を介して駆動ローラ10aにより連動駆動される。一方フ
リーローラ10cは第３図示のように炉殻３内に設けた軸
受18により両軸端部を回転自在に支持されている。また
隣り合う処理室2a,2b間、および2b,2c間に配置されたフ
リーローラ10dは、第４図示のようにエアシリンダ19に
より昇降駆動される昇降台20上に軸受21により回転自在
に支持されている。22は第５図に示す被処理物搬送位置
から下方へ退避したフリーローラ10dを収容する収容
室、23は昇降台20をガイドするガイドレールである。そ
して駆動ローラ10a,10bと、フリーローラ10c,10dとは、
被処理物搬送用のトレー24の移動位置にかかわらず、該
トレー24の下に少なくとも１本の駆動ローラ10aまたは1
0bが存在するように（この実施例では最小１本、最大２
本存在するように）配置されている。
上記構成のローラハース式真空炉１においては、トレ
ー24上に載置した被処理物Ｗは、第１図における左端の
炉入口の扉４および７を開けて炉内に装入され、ローラ
10により炉内を搬送され各処理室２内において所定の真
空中で加熱処理される。加熱室6a内から6b内へ、さらに
は加熱室6b内から6c内へと被処理物を搬送するときは、
第５図に示すように扉４と７を上昇させたのち、エアシ
リンダ19によりフリーローラ10dを上昇させて図示の搬
送位置に停止させ、移送されるトレーの24の支承をおこ
なう。トレー24の下には１本または２本の駆動ローラ10
aまたは10bが存在するので、これらの駆動ローラにより
トレー24が矢印Ｘで示す搬送方向に搬送される。このと
きフリーローラ10cおよび10dはフリー回転する。加熱室
間の被処理室Ｗの移送が終つたら、フリーローラ10dを
降下させて第１図示の状態とすれば、扉４およびその開
閉機構とフリーローラ10dの干渉のおそれはなくなり、
支障なく扉４および７の閉鎖をおこなえる。
ー24上に載置した被処理物Ｗは、第１図における左端の
炉入口の扉４および７を開けて炉内に装入され、ローラ
10により炉内を搬送され各処理室２内において所定の真
空中で加熱処理される。加熱室6a内から6b内へ、さらに
は加熱室6b内から6c内へと被処理物を搬送するときは、
第５図に示すように扉４と７を上昇させたのち、エアシ
リンダ19によりフリーローラ10dを上昇させて図示の搬
送位置に停止させ、移送されるトレーの24の支承をおこ
なう。トレー24の下には１本または２本の駆動ローラ10
aまたは10bが存在するので、これらの駆動ローラにより
トレー24が矢印Ｘで示す搬送方向に搬送される。このと
きフリーローラ10cおよび10dはフリー回転する。加熱室
間の被処理室Ｗの移送が終つたら、フリーローラ10dを
降下させて第１図示の状態とすれば、扉４およびその開
閉機構とフリーローラ10dの干渉のおそれはなくなり、
支障なく扉４および７の閉鎖をおこなえる。
フリーローラ10cおよび10dは炉殻３外に突出していな
いので、気密シール箇所は少なくてすみ、またフリーロ
ーラは連動チエンなどを必要としないので、構造が簡潔
で支障も少ない。
いので、気密シール箇所は少なくてすみ、またフリーロ
ーラは連動チエンなどを必要としないので、構造が簡潔
で支障も少ない。
この発明は上記実施例に限定されるものではなく、た
とえば隣り合う処理室間のフリーローラ10dは、炉巾方
向に水平に移動して搬送位置から退避させるようにして
もよく、また扉４やその開閉装置と干渉しない場合は、
フリーローラ10cと同様に搬送位置に固定配置するよう
にしてもよい。また第１の発明は、処理室が１個の単室
型のローラハース式真空炉にも適用できるものである。
とえば隣り合う処理室間のフリーローラ10dは、炉巾方
向に水平に移動して搬送位置から退避させるようにして
もよく、また扉４やその開閉装置と干渉しない場合は、
フリーローラ10cと同様に搬送位置に固定配置するよう
にしてもよい。また第１の発明は、処理室が１個の単室
型のローラハース式真空炉にも適用できるものである。
以上説明したようにこの発明によれば、被処理物搬送
用のローラのうちフリーローラは炉殻内に設けることが
できるので、ローラによる炉殻の貫通箇所が減り、炉構
造は簡潔化され組立および保守が容易であるとともに、
シール箇所の減少により炉内への外部空気の侵入が減少
し、真空ポンプの容量も小さくてすむ。さらに処理室間
のローラを搬送位置から側方へ移動可能なフリーローラ
とすれば、処理室の扉や開閉装置とフリーローラの干渉
を回避することができ、処理室間の間隔および炉全長の
短縮化をはかることができる。
用のローラのうちフリーローラは炉殻内に設けることが
できるので、ローラによる炉殻の貫通箇所が減り、炉構
造は簡潔化され組立および保守が容易であるとともに、
シール箇所の減少により炉内への外部空気の侵入が減少
し、真空ポンプの容量も小さくてすむ。さらに処理室間
のローラを搬送位置から側方へ移動可能なフリーローラ
とすれば、処理室の扉や開閉装置とフリーローラの干渉
を回避することができ、処理室間の間隔および炉全長の
短縮化をはかることができる。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はローラハー
ス式真空炉の要部縦断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線
断面図、第３図は同じくＢ−Ｂ線断面図、第４図は同じ
くＣ−Ｃ線断面図、第５図は処理室の扉開放状態を示す
第１図の炉の部分縦断面図である。 １……ローラハース式真空炉、2a,2b,2c……処理室、10
……ローラ、10a,10b……駆動ローラ、10c,10d……フリ
ーローラ、19……エアシリンダ、20……昇降台、22……
収容室、24……トレー。
ス式真空炉の要部縦断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線
断面図、第３図は同じくＢ−Ｂ線断面図、第４図は同じ
くＣ−Ｃ線断面図、第５図は処理室の扉開放状態を示す
第１図の炉の部分縦断面図である。 １……ローラハース式真空炉、2a,2b,2c……処理室、10
……ローラ、10a,10b……駆動ローラ、10c,10d……フリ
ーローラ、19……エアシリンダ、20……昇降台、22……
収容室、24……トレー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｆ２７Ｂ 9/24 Ｆ２７Ｂ 9/24 Ｒ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F27B 5/00 - 5/18 F27B 9/00 - 9/40 C21D 1/00 115 C21D 1/773
Claims (2)
- 【請求項１】被処理物搬送用のローラをそなえたローラ
ハース式真空炉において、全ローラのうちの一部のロー
ラを駆動ローラで構成し、他のローラをフリーローラで
構成するとともに、被処理物を載せて移動するトレーの
下に少なくとも１本の駆動ローラが存在するように駆動
ローラを配置したことを特徴とするローラハース式真空
炉。 - 【請求項２】被処理物搬送用のローラをそなえ複数の処
理室を連設して成るローラハース式真空炉において、全
ローラのうちの一部のローラを駆動ローラで構成し、他
のローラをフリーローラで構成するとともに、被処理物
を載せて移動するトレーの下に少なくとも１本の駆動ロ
ーラが存在するように駆動ローラを配置し、隣り合う処
理室間にあるローラを搬送位置から側方へ移動可能なフ
リーローラとしたことを特徴とするローラハース式真空
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17913590A JP2959063B2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ローラハース式真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17913590A JP2959063B2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ローラハース式真空炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0468292A JPH0468292A (ja) | 1992-03-04 |
| JP2959063B2 true JP2959063B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=16060595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17913590A Expired - Fee Related JP2959063B2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ローラハース式真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2959063B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2731127B2 (ja) * | 1995-04-24 | 1998-03-25 | 中外炉工業株式会社 | 多室型熱処理炉 |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP17913590A patent/JP2959063B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0468292A (ja) | 1992-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080730 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |