JP2952390B2 - Manufacturing method of graphite heater and processing jig used therefor - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、円筒状で多数のスリットを有する黒鉛ヒー
タの製造方法、及びこの方法に使用するのに適した加工
用治具に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a graphite heater having a large number of slits having a cylindrical shape and a processing jig suitable for use in the method. .

（従来の技術） ある物の加熱を行うためのヒータとしては種々なもの
があるが、ここで対象としている黒鉛ヒータ（10）は、
第２図に示すように、円筒状の黒鉛材（12）に多数の軸
方向のスリット（11）を交互に形成して、黒鉛材（12）
が電気的にみた場合のジグザグ経路を有したものとして
構成したものである。従って、この黒鉛ヒータ（10）
は、例えば一つのスリット（11）の両側に電極を設けて
これに通電すれば、その発熱抵抗によって黒鉛ヒータ
（10）全体が発熱するものであり、この黒鉛ヒータ（1
0）内に収納した例えばシリコン等を収納したルツボを
加熱して、これによりシリコン等を溶融するものなので
ある。(Prior Art) There are various heaters for heating an object, and the graphite heater (10) targeted here is
As shown in FIG. 2, a number of axial slits (11) are alternately formed in a cylindrical graphite material (12) to form a graphite material (12).
Are configured to have a zigzag path when viewed electrically. Therefore, this graphite heater (10)
For example, if electrodes are provided on both sides of one slit (11) and electricity is supplied to the electrodes, the entire graphite heater (10) generates heat due to its heating resistance.
For example, a crucible containing silicon or the like stored in 0) is heated, thereby melting the silicon or the like.

このような黒鉛ヒータ（10）は、従来は第３図に示し
たようにして形成されていたのである。すなわち、円筒
状の黒鉛材（12）に中実な中芯（30）を収納して全体を
固定しておき、この黒鉛材（12）の外側から中芯（30）
に向けてドリル等の切削具による切削を行うことによ
り、上述した各スリット（11）を形成するようにしてい
たのである。この従来の方法において、中実な中芯（3
0）を使用する理由は、上記の切削具による機械的な振
動や押圧力によって黒鉛材（12）が加工時に破損しない
ようにするためである。特に、中芯（30）は黒鉛材（1
2）の内面に当接し得るものとして形成されているが、
これは、黒鉛材（12）の切削具による加工時に切削具が
黒鉛材（12）の内面に抜けるときに、黒鉛材（12）のス
リット（11）となる周囲に亀裂や破損を生じないように
するためである。Such a graphite heater (10) has conventionally been formed as shown in FIG. That is, a solid core (30) is housed in a cylindrical graphite material (12) and the whole is fixed, and the core (30) is placed from outside the graphite material (12).
The above-mentioned slits (11) are formed by cutting with a cutting tool such as a drill toward. In this conventional method, a solid core (3
The reason why (0) is used is to prevent the graphite material (12) from being damaged at the time of machining due to the mechanical vibration and the pressing force of the cutting tool. In particular, the core (30) is made of graphite (1
2) It is formed to be able to contact the inner surface,
This is to prevent cracks or breakage around the graphite material (12) slits (11) when the cutting tool comes off the inner surface of the graphite material (12) during machining with the graphite material (12). In order to

以上のような従来の黒鉛ヒータ（10）の製造方法にお
いて採用されていた中芯（30）は、金属を円柱状に加工
したもの、あるいはカーボンバルク品を採用して形成さ
れていたのであるが、これを形成するためには相当加工
手間や時間を要し、高価なものであったのである。特
に、実施例において示す本発明に係るものとコスト面で
比較すると従来の中芯（30）は約６〜８倍のものとなっ
ているものであった。The core (30) employed in the above-described conventional method for manufacturing a graphite heater (10) is formed by processing a metal into a cylindrical shape or by using a carbon bulk product. However, it takes considerable processing time and time to form this, and it is expensive. In particular, the cost of the conventional core (30) was about 6 to 8 times as large as that of the present invention shown in the examples in terms of cost.

この中芯（30）の製作に手間や時間あるいはコストが
掛かることは、特に近年の半導体素子の製造分野で用い
られているシリコン引上用の黒鉛ルツボの黒鉛ヒータが
大型化してきていることも一つの原因である。最近のこ
の種の黒鉛ヒータは、内外両径がそれぞれ750mm、800mm
で高さが500mmとなるといった大型化してきており、こ
のような黒鉛ヒータ（10）を形成するための中芯（30）
も当然大型化してきている。このため、中芯（30）をよ
り効率良く形成するための努力も種々なされてきてい
る。The production of this core (30) is troublesome, time-consuming and costly, especially because the graphite heaters for graphite crucibles for pulling silicon used in the field of manufacturing semiconductor devices in recent years have been increasing in size. One cause. Recent types of graphite heaters have inner and outer diameters of 750 mm and 800 mm, respectively.
And the height has become 500 mm, and the core (30) for forming such a graphite heater (10)
Of course have also become larger. For this reason, various efforts have been made to form the core (30) more efficiently.

そこで、本発明者等は、このような黒鉛ヒータ（10）
を形成する場合、特に黒鉛材（12）に多数のスリット
（11）を形成するための中芯（30）の製作を効率良く行
うためにはどうしたらよいかについて種々検討してきた
結果、黒鉛ヒータ（10）の製造方法自体を改良するのが
良い結果を生むことを新規に知見して、本発明を完成し
たのである。Therefore, the present inventors have developed such a graphite heater (10).
As a result of various studies on how to efficiently manufacture the core (30) for forming a large number of slits (11) in the graphite material (12) in particular, as a result of the graphite heater, The present inventors have newly found that improving the manufacturing method itself in (10) itself produces good results, and completed the present invention.

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、以上の経緯に基づいてなされたもので、そ
の解決しようとする課題は、黒鉛ヒータの特にスリット
の形成をするにあたっての従来の技術における効率の悪
さである。(Problems to be Solved by the Invention) The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and the problem to be solved is the inefficiency of the prior art for forming a graphite heater, particularly, slits. It is.

そして、まず第一請求項に係る発明の目的とするとこ
ろは、黒鉛ヒータとするための黒鉛材にスリットを確実
に形成することができることは勿論、そのために中芯の
製作をも容易にすることのできる製造方法を提案するこ
とにある。また、第二請求項に係る発明の目的とすると
ころは、第一請求項の製造方法を実施するにあたって有
用な加工用治具を提案することにある。The object of the invention according to the first claim is that not only can slits be reliably formed in a graphite material for use as a graphite heater, but also that the manufacturing of the core can be facilitated. It is to propose a manufacturing method which can be performed. Another object of the invention according to the second aspect is to propose a processing jig useful for performing the manufacturing method according to the first aspect.

（課題を解決するための手段及び作用） 以上の課題を解決するために、まず第一請求項に係る
発明の採った手段は、実施例において使用する符号を付
して説明すると、 「両端が開口する円筒状の黒鉛材（12）に対してその
両端側から交互にスリット（11）を入れることにより形
成される黒鉛ヒータ（10）を、その各工程を経て製造す
る方法。(Means and Actions for Solving the Problems) In order to solve the above problems, means taken by the invention according to the first claim will be described with reference numerals used in the embodiments. A method of manufacturing a graphite heater (10) formed by alternately slitting a cylindrical graphite material (12) having openings from both ends thereof, through each process.

（１）円筒状の黒鉛材（12）内に、この黒鉛材（12）の
内面に当接し得る円筒状の中芯（22）を収納配置する工
程； （２）この中芯（22）内に発泡剤（23）を注入して中芯
（22）内を密封する工程； （３）その後に、発泡剤（23）によって内部から支持さ
れた中芯（22）に向けて、円筒状の黒鉛材（12）の外方
から切削具を作動させて、各スリット（11）を黒鉛材
（12）に形成する工程」 である。ここで、従来技術の中芯（30）に相当するの
は、本発明においては、例えばカーボンバルク品からな
る中芯（22）と、発泡剤（23）の組み合わされたもので
ある。(1) A step of housing and arranging a cylindrical core (22) capable of contacting the inner surface of the graphite material (12) in the cylindrical graphite material (12); (2) Inside the core (22) A step of injecting a foaming agent (23) into the core and sealing the inside of the core (22); (3) Then, a cylindrical shape is formed toward the core (22) supported from the inside by the foaming agent (23). This is a step of forming each slit (11) in the graphite material (12) by operating a cutting tool from the outside of the graphite material (12). Here, what corresponds to the prior art core (30) in the present invention is a combination of a core (22) made of, for example, a carbon bulk product and a foaming agent (23).

すなわち、この製造方法は、最終的に第２図に示すよ
うな多数のスリット（11）を交互に形成した黒鉛ヒータ
（10）を製造するものであるが、この黒鉛ヒータ（10）
となる黒鉛材（12）は一般的な方法によって形成すれば
よいものであり、重要なのは次のようにして各スリット
（11）を形成していくことである。That is, this manufacturing method finally manufactures a graphite heater (10) in which a number of slits (11) are alternately formed as shown in FIG.
The graphite material (12) may be formed by a general method, and what is important is to form each slit (11) as follows.

つまり、台板（21）上に載置した円筒状の黒鉛材（1
2）内に、第１図に示すように、この黒鉛材（12）の内
面に当接し得る円筒状でカーボン製の中芯（22）をまず
収納配置するのである。カーボン製の中芯（22）が黒鉛
材（12）の内面に当接し得る状態で、このカーボン製の
中芯（22）を黒鉛材（12）内に収納配置するのは、黒鉛
材（12）の外方からこれを貫通する状態を切削具による
加工を行う場合に、黒鉛材（12）の内面側において何等
の支持物もないと、切削具によって各スリット（11）を
形成する際にその周囲に位置する黒鉛材（12）に「カ
ケ」や段差あるいは亀裂を生じさせないように保護する
ためである。また、このカーボン製の中芯（22）は、黒
鉛材（12）内に無理なく収納できるように形成されるの
であるが、上記のように一つの製品に一個使用するもの
であること、及び以下に示すように発泡剤（23）によっ
て支持されるものであることから、黒鉛材（12）より安
価な材料であるカーボンバルク品、すなわち製鋼炉用カ
ーボン電極の使用済品を採用し得るものである。つまり
カーボン製の中芯（22）としては、黒鉛材（12）より安
価で品質が劣り、かつ黒鉛材（12）の切粉と混っても利
用できるカーボン製品が採用されるのであり、このカー
ボン製の中芯（22）自体の製造コストは従来のものに比
して大幅に安価にできるものである。That is, the cylindrical graphite material (1) placed on the base plate (21)
First, as shown in FIG. 1, a cylindrical carbon core (22) capable of contacting the inner surface of the graphite material (12) is housed and arranged in 2). In a state where the carbon core (22) can contact the inner surface of the graphite material (12), the carbon core (22) is housed and arranged in the graphite material (12) because the graphite material (12) If the cutting tool is used to machine the state penetrating it from the outside of the above, if there is no support on the inner surface side of the graphite material (12), when forming each slit (11) with the cutting tool This is to protect the graphite material (12) located therearound so as not to cause chipping, steps or cracks. The carbon core (22) is formed so as to be able to be easily accommodated in the graphite material (12), and is used for one product as described above, and Since it is supported by the foaming agent (23) as shown below, it is possible to adopt a carbon bulk product that is a cheaper material than the graphite material (12), that is, a used product of a carbon electrode for a steelmaking furnace. It is. In other words, as the carbon core (22), a carbon product that is less expensive and inferior in quality to the graphite material (12) and can be used even when mixed with the cuttings of the graphite material (12) is used. The manufacturing cost of the carbon core (22) itself can be significantly reduced compared to the conventional one.

次に、以上のようなカーボン製の中芯（22）内に発泡
剤（23）を注入して、この発泡剤（23）をカーボン製の
中芯（22）内に一定量充填してから、カーボン製の中芯
（22）内を例えば押え板（24）等を使用して密閉する。
現在一般的に使用されている発泡剤（23）は、ある一定
の時間経過後に発泡を完了するが、この発泡による圧力
はカーボン製の中芯（22）内が密閉されていることか
ら、カーボン製の中芯（22）を外方に押圧する力として
カーボン製の中芯（22）内に保持されるのである。な
お、カーボン製の中芯（22）内の密閉は、第１図に示し
たようにカーボン製の中芯（22）上を押え板（24）によ
って覆蓋することによって行ってもよいが、押え板（2
4）自体に発泡剤（23）を注入できてしかも開閉するこ
とのできる開口を設けておき、この開口から発泡剤（2
3）をカーボン製の中芯（22）内に注入した後に、この
開口を閉じるように実施してもよいものである。Next, a foaming agent (23) is injected into the carbon core (22) as described above, and a predetermined amount of the foaming agent (23) is filled into the carbon core (22). The inside of the carbon core (22) is sealed using, for example, a holding plate (24).
The foaming agent (23), which is currently generally used, completes foaming after a certain period of time. However, the pressure due to the foaming is reduced because the inside of the carbon core (22) is sealed. The core (22) made of carbon is held in the core (22) made of carbon as a force to press outward. The inside of the carbon core (22) may be sealed by covering the carbon core (22) with a pressing plate (24) as shown in FIG. Board (2
4) An opening that can be injected and opened and closed with the foaming agent (23) is provided in itself, and the foaming agent (2
After injecting 3) into the carbon core (22), the opening may be closed.

以上の後に、発泡した発泡剤（23）によって一定の圧
力で内部から支持されたカーボン製の中芯（22）に向け
て、黒鉛材（12）の外方から切削具を作動させて黒鉛材
（12）に各スリット（11）を形成するのである。この場
合、黒鉛材（12）を内側から支持するためのカーボン製
の中芯（22）は、前述したように発泡剤（23）によって
一定の圧力でその内部から支持されているのであるか
ら、このカーボン製の中芯（22）が円筒状という製造に
容易な形状でかつ薄肉状のものであったとしても、従来
使用していた製造に困難な中芯（30）と同等の支持能力
を有しているのである。これにより、黒鉛材（12）に対
しては、多数のスリット（11）が切削具によって確実に
形成されるのであり、しかもカーボン製の中芯（22）及
び発泡剤（23）の支持力によって黒鉛材（12）が内部か
ら支えられているから、各スリット（11）の周囲に位置
する黒鉛材（12）には「カケ」や亀裂あるいは段差は全
く生じないものである。なお、カーボン製の中芯（22）
は、最初から円筒のものとして形成しておく必要はな
く、分割された円弧状のものを円筒状に配してカーボン
製の中芯（22）を形成しても良い。After the above, the cutting tool is actuated from the outside of the graphite material (12) toward the carbon core (22) supported from the inside at a certain pressure by the foaming foaming agent (23) and the graphite material is actuated. Each slit (11) is formed in (12). In this case, the carbon core (22) for supporting the graphite material (12) from the inside is supported from the inside by the foaming agent (23) at a constant pressure as described above. Even if the carbon core (22) is cylindrical and easy to manufacture and thin-walled, it has the same supporting capacity as the conventional core (30) that is difficult to manufacture. They have. As a result, a large number of slits (11) are reliably formed by the cutting tool with respect to the graphite material (12), and the carbon core (22) and the foaming agent (23) support the graphite material (12). Since the graphite material (12) is supported from the inside, the graphite material (12) located around each of the slits (11) is free from any chips, cracks or steps. In addition, carbon core (22)
Does not need to be formed as a cylinder from the beginning, and the divided arc-shaped one may be arranged in a cylindrical shape to form the carbon core (22).

一方、第二請求項に係る発明の採った手段は、実施例
において使用する符号を付して説明すると、 「両端が開口する円筒状の黒鉛材（12）に、その両端
側から交互にスリット（11）を入れることにより黒鉛ヒ
ータ（10）として加工する治具であって、 黒鉛材（12）を略気密的に支承する台板（21）と、こ
の台板（21）上に載置された黒鉛材（12）内面に当接し
得る状態で挿入した円筒状の中芯（22）と、この中芯
（22）内に注入されて発泡した発泡剤（23）と、中芯
（22）上に配置されてその内部を密閉する押え板（24）
と、この押え板（24）を台板（21）に固定する連結棒
（25）からなる黒鉛ヒータ（10）の加工用治具（20）」 である。On the other hand, the means adopted by the invention according to the second claim is described with reference to the reference numerals used in the embodiments: "A cylindrical graphite material (12) open at both ends is alternately slit from both ends. A jig for processing as a graphite heater (10) by inserting (11). A base plate (21) for supporting the graphite material (12) in a substantially airtight manner, and a jig placed on the base plate (21). A cylindrical core (22) inserted so as to be able to contact the inner surface of the graphite material (12), a foaming agent (23) injected and foamed in the core (22), and a core (22). ) Holding plate (24) placed on the top to seal the inside
And a jig (20) for processing a graphite heater (10) comprising a connecting rod (25) for fixing the holding plate (24) to the base plate (21).

すなわち、この第二請求項に係る加工用治具（20）
は、そのカーボン製の中芯（22）内に発泡剤（23）を有
しているものであり、これにより、加工時の黒鉛材（1
2）を内部にて支持するカーボン製の中芯（22）が中実
なものではなく円筒状のものであったとしても、このカ
ーボン製の中芯（22）を中実なものと同等あるいはそれ
以上の支持能力を有したものとし得るのである。That is, the processing jig according to the second claim (20)
Has a foaming agent (23) in its carbon core (22), which allows the graphite material (1
Even if the carbon core (22) that supports 2) inside is not a solid one but a cylindrical one, this carbon core (22) is equivalent to a solid one or It could have more support capacity.

また、この加工用治具（20）においては、カーボン製
の中芯（22）が円筒状であってこのカーボン製の中芯
（22）内にて発泡する発泡剤（23）は自由な形状のもの
となるのであるから、台板（21）に黒鉛材（12）を固定
するための連結棒（25）をカーボン製の中芯（22）内に
配置することが可能となっている。従って、この加工用
治具（20）においては、第１図に示すように、台板（2
1）上に固定した黒鉛材（12）の外周に何等の障害物も
ない状態とし得るものであり、切削具による加工を自由
に行えるようにしているのである。この点、第３図に示
した従来の中実な中芯（30）においては、連結棒（25）
を黒鉛材（12）の外側に配置しなければならないため、
切削具による加工がしにくいものである。In this processing jig (20), the carbon core (22) is cylindrical, and the foaming agent (23) foamed in the carbon core (22) has a free shape. Therefore, the connecting rod (25) for fixing the graphite material (12) to the base plate (21) can be arranged in the carbon core (22). Therefore, in this processing jig (20), as shown in FIG.
1) There can be no obstruction on the outer periphery of the graphite material (12) fixed thereon, and the machining with a cutting tool can be performed freely. In this regard, in the conventional solid core (30) shown in FIG. 3, the connecting rod (25)
Must be placed outside the graphite material (12),
It is difficult to work with a cutting tool.

そして、この第二請求項に係る加工用治具（20）は、
第一請求項に係る黒鉛ヒータ（10）の製造方法に採用す
るものとして、最適なものとなっているのである。And the processing jig (20) according to the second claim,
This is the most suitable one for use in the method of manufacturing the graphite heater (10) according to the first claim.

（実施例） 次に、各発明の実施例について、図面を参照して説明
するが、第一請求項に係る製造方法は第二請求項に係る
加工用治具（20）を使用して行うものであるから、ここ
では第一請求項の製造方法を中心に説明し、この説明の
中で加工用治具（20）の構成などを併せて説明する。(Embodiment) Next, an embodiment of each invention will be described with reference to the drawings, but the manufacturing method according to the first claim is performed using the processing jig (20) according to the second claim. Therefore, here, the manufacturing method of the first claim will be mainly described, and in this description, the configuration of the processing jig (20) will be also described.

本実施例においては、発明によって製造されるべき黒
鉛ヒータ（10）が、内外両径が400mm×450mmで、高さが
400mmの両端が開口する円筒状のもの（従って黒鉛材（1
2）もこのような形状である）であり、シリコン引上装
置を構成しているシリコンの石英ルツボ（内外両径が33
2mm×356mmで高さ250mm）の外側に配置されるものであ
る場合を対象としているものである。In the present embodiment, the graphite heater (10) to be manufactured according to the present invention has an inner and outer diameter of 400 mm × 450 mm and a height of 400 mm × 450 mm.
400mm cylindrical body with open ends (so graphite material (1
2) also has such a shape) and is a silicon quartz crucible (both inner and outer diameters of 33 mm) constituting the silicon pulling device.
(2 mm x 356 mm and height of 250 mm).

本実施例におけるカーボン製の中芯（22）は、上記の
黒鉛材（12）内にその内面に当接し得る形状でかつ円筒
状のものとして形成すればよいものであり、上記のよう
な形状のものをカーボンバルク品によって形成した。The carbon core (22) in the present embodiment may be formed in the graphite material (12) in a shape capable of contacting the inner surface thereof and as a cylindrical shape. Was formed from a carbon bulk article.

そしてカーボン製の中芯（22）を、台板（21）上に載
置したカーボン製の中芯（22）内に挿入するとともに、
このカーボン製の中芯（22）内に発泡剤（23）を注入し
た。この発泡剤（23）としては、一般的なものを採用す
ることができるものであるが、本実施例において使用し
た発泡剤（23）は、その主剤がフェノール樹脂系のも
の、あるいはポリウレタン樹脂系のものを採用した。な
お、この発泡剤（23）は、その発泡時間が約35秒であ
り、その乾燥時間が約45秒のものであった。Then, insert the carbon core (22) into the carbon core (22) placed on the base plate (21),
A blowing agent (23) was injected into the carbon core (22). As the foaming agent (23), a general one can be used. The foaming agent (23) used in the present embodiment is mainly composed of a phenol resin or a polyurethane resin. Was adopted. The foaming agent (23) had a foaming time of about 35 seconds and a drying time of about 45 seconds.

この発泡剤（23）のカーボン製の中芯（22）内への注
入は、第１図に示した連結棒（25）を止めているナット
を緩めることにより、カーボン製の中芯（22）とこれを
覆蓋している押え板（24）との間に隙間を形成して、こ
の隙間からカーボン製の中芯（22）内に対して行うよう
にしたが、次のように実施してもよい。すなわち、台板
（21）上に載置した黒鉛材（12）及びこの黒鉛材（12）
内に収納したカーボン製の中芯（22）の上端に、開閉自
在な開口を設けた押え板（24）を載置しておき、この押
え板（24）を連結棒（25）によって第１図に示したよう
に台板（21）に対して固定する。そして、この押え板
（24）に形成した開口から所定量の発泡剤（23）を注入
してから、この押え板（24）の開口を閉じるようにして
もよいものである。The blowing agent (23) is injected into the carbon core (22) by loosening the nut holding the connecting rod (25) shown in FIG. A gap is formed between the metal plate and the presser plate (24) that covers the core, and the gap is formed in the carbon core (22) from this gap. Is also good. That is, the graphite material (12) placed on the base plate (21) and the graphite material (12)
A holding plate (24) having an openable and closable opening is placed on the upper end of a carbon core (22) housed therein, and the holding plate (24) is firstly moved by a connecting rod (25). Fix to the base plate (21) as shown in the figure. Then, after a predetermined amount of the foaming agent (23) is injected from the opening formed in the holding plate (24), the opening of the holding plate (24) may be closed.

以上のようにしてカーボン製の中芯（22）内に注入し
た発泡剤（23）が完全に発泡する前に、このカーボン製
の中芯（22）を押え板（24）によって密閉した。発泡し
た発泡剤（23）による押圧力を確保するためである。Before the foaming agent (23) injected into the carbon core (22) as described above completely foamed, the carbon core (22) was sealed with the holding plate (24). This is for ensuring the pressing force by the foaming agent (23).

そして、以上のようにセットした黒鉛材（12）に対し
て、切削具を使用することにより、幅が6mmのスリット
（11）を第２図に示したように、黒鉛材（12）の端部側
から交互に形成することにより、黒鉛ヒータ（10）とし
たのである。Then, by using a cutting tool with respect to the graphite material (12) set as described above, a slit (11) having a width of 6 mm is formed on the end of the graphite material (12) as shown in FIG. The graphite heater (10) was formed alternately from the side of the section.

以上のように形成した黒鉛ヒータ（10）の各スリット
（11）を検査してみたところ、その幅についての誤差は
殆どなく、また黒鉛ヒータ（10）の内側であって各スリ
ット（11）の周囲には「カケ」や亀裂あるいは段差は全
く見られなかった。When the slits (11) of the graphite heater (10) formed as described above were inspected, there was almost no error in the width, and the slits (11) of the graphite heater (10) were located inside the graphite heater (10). No chips, cracks or steps were found in the surrounding area.

また、総加工時間（正味加工時間＋段取り時間）が、
従来の1/2〜1/3となり、かつコスト的にも1/6〜1/8で済
んだ。Also, the total processing time (net processing time + setup time)
It was 1/2 to 1/3 of the conventional one, and the cost was only 1/6 to 1/8.

（発明の効果） 以上詳述した通り、第一請求項に係る製造方法によれ
ば、黒鉛ヒータ（10）とするための黒鉛材（12）に各ス
リット（11）を確実に形成することができることは勿
論、そのためのカーボン製の中芯（22）と発泡剤（23）
とで製作を容易にすることができて、この種の黒鉛ヒー
タ（10）の製造時間を大幅に短縮することができるので
ある。(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the manufacturing method of the first aspect, it is possible to reliably form each slit (11) in a graphite material (12) for forming a graphite heater (10). What you can do, of course, is a carbon core (22) and a foaming agent (23)
Thus, the production can be facilitated, and the production time of this type of graphite heater (10) can be greatly reduced.

また、第二請求項に係る加工用治具（20）によれば、
第一請求項に係る製造方法を具体的に実施することがで
きることは勿論、この方法を実施するにあたって有用な
ものとすることができるのである。According to the processing jig (20) according to the second claim,
Not only can the manufacturing method according to the first claim be specifically implemented, but it can be made useful in implementing this method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は第一及び第二請求項に係る発明を説明するため
の加工用治具および黒鉛材の断面図、第２図は本製造方
法によって製造された黒鉛ヒータの斜視図、第３図は従
来の加工用治具を示す断面図である。 符号の説明 10……黒鉛ヒータ、11……スリット、12……黒鉛材、20
……加工用治具、21……台板、22……中芯、23……発泡
剤、25……連結棒、30……（従来の）中芯。FIG. 1 is a sectional view of a processing jig and a graphite material for explaining the invention according to the first and second claims, FIG. 2 is a perspective view of a graphite heater manufactured by the present manufacturing method, and FIG. FIG. 2 is a sectional view showing a conventional processing jig. Explanation of reference numerals 10: graphite heater, 11: slit, 12: graphite material, 20
…… a processing jig, 21 …… a base plate, 22 …… a core, 23 …… a foaming agent, 25 …… a connecting rod, 30 …… a (conventional) core.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】両端が開口する円筒状の黒鉛材に対してそ
の両端側から交互にスリットを入れることにより形成さ
れる黒鉛ヒータを、次の各工程を経て製造する方法。 （１）円筒状の黒鉛材内に、この黒鉛材の内面に当接し
得る円筒状の中芯を収納配置する工程； （２）この中芯内に発泡剤を注入して中芯内を密封する
工程； （３）その後に、前記発泡剤によって内部から支持され
た前記中芯に向けて、前記円筒状の黒鉛材の外方から切
削具を作動させて、前記各スリットを前記黒鉛材に形成
する工程。A method for manufacturing a graphite heater formed by alternately slitting a cylindrical graphite material having both ends opened from both ends through the following steps. (1) A step of housing and arranging a cylindrical core capable of contacting the inner surface of the graphite material in a cylindrical graphite material; (2) Injecting a foaming agent into the core to seal the inside of the core (3) Thereafter, a cutting tool is operated from outside the cylindrical graphite material toward the core supported from the inside by the foaming agent, and the slits are formed in the graphite material. Forming step. 【請求項２】両端が開口する円筒状の黒鉛材に、その両
端側から交互にスリットを入れることにより黒鉛ヒータ
として加工する治具であって、 前記黒鉛材を略気密的に支承する台板と、この台板上に
載置された前記黒鉛材内面に当接し得る状態で挿入した
円筒状の中芯と、この中芯内に注入されて発泡した発泡
剤と、前記中芯上に配置されてその内部を密閉する押え
板と、この押え板を前記台板に固定する連結棒からなる
黒鉛ヒータの加工用治具。2. A jig for processing as a graphite heater by alternately slitting a cylindrical graphite material having both ends opened from both ends thereof, wherein the base plate supports the graphite material substantially in an airtight manner. And a cylindrical core inserted in a state capable of coming into contact with the inner surface of the graphite material placed on the base plate, a foaming agent injected and foamed in the core, and disposed on the core. A jig for working a graphite heater comprising a holding plate for sealing the inside thereof and a connecting rod for fixing the holding plate to the base plate.