JP2930015B2 - Turbo molecular pump - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ポンプ内のロータ
の下端を含む内周／外周からそれらの対向面にかけての
領域にプロセスガスによる反応生成物が付着するのを防
止することができるターボ分子ポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a turbo molecule capable of preventing a reaction product of a process gas from adhering to a region from an inner periphery / outer periphery including a lower end of a rotor in a pump to an opposing surface thereof. Related to pumps.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図５は従来のターボ分子ポンプを示して
いる。筒状ケーシング１と、このケーシング１を支持す
るベース２と、前記ケーシング１内にあって前記ベース
２に固設されたモータハウジング３と、このモータハウ
ジング３内に装着した軸受たるベアリング４，５を介し
て支承されたシャフト６と、このシャフト６に一体回転
可能に固着され内周７ａに前記モータハウジング３を収
容してなるロータ７と、このロータ７の外周７ｂと前記
ケーシング１の内周１ａとの間に構成されたポンプ機構
たるタービン８と、前記ベース２の底部に取り付けられ
たオイルタンク９とを具備してなる。そして、吸気口１
０から吸い込んだガスをタービン８で圧縮し、排気口１
１に向かって強制排気し得るようになっている。2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a conventional turbo-molecular pump. A cylindrical casing 1, a base 2 supporting the casing 1, a motor housing 3 in the casing 1 and fixed to the base 2, and bearings 4 and 5 mounted in the motor housing 3 as bearings. , A rotor 7 fixed to the shaft 6 so as to be integrally rotatable and containing the motor housing 3 in an inner periphery 7a, an outer periphery 7b of the rotor 7 and an inner periphery of the casing 1 1a, a turbine 8 as a pump mechanism, and an oil tank 9 attached to the bottom of the base 2. And intake port 1
The gas sucked in from 0 is compressed by the turbine 8 and the exhaust port 1
1 can be forcibly exhausted.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うな従来のターボ分子ポンプでは、プロセスガスを排気
する場合に、反応生成物がポンプ内に付着・堆積するこ
とを防止できず、シビアなクリアランスで設計され組み
込まれているロータにこうした反応生成物が付着・堆積
することによる固体接触や破損、故障、さらにはその修
理に伴うメンテナンスや稼働効率の低下等、多くの不都
合を引き起こしてしまう。同様にモータハウジングの外
面への反応生成物の付着・堆積もメンテナンス等不都合
が多い。However, in the conventional turbo-molecular pump as described above, when exhausting the process gas, the reaction products cannot be prevented from adhering and accumulating in the pump, resulting in severe clearance. Such a reaction product adheres to and accumulates on the rotor designed and incorporated in the system, causing many inconveniences such as solid contact, breakage, and failure, as well as maintenance and operating efficiency reduction accompanying the repair. Similarly, adhesion and deposition of reaction products on the outer surface of the motor housing often have inconveniences such as maintenance.

【０００４】具体的に説明すると、ターボ分子ポンプで
はベアリング４，５の冷却のために水冷パイプ１２ａを
半田等によって埋設した冷却金具１２がベース２及びオ
イルタンク９に密着させて配設してある。これによりベ
ース２を直接冷却して下部ベアリング５を冷却すると共
に、オイルタンク９内のオイルを冷却し、これをノズル
６ａにより吸い上げてシャフト６に沿って下部ベアリン
グ５と上部ベアリング４に供給しこれを冷却するように
している。More specifically, in the turbo molecular pump, a cooling fitting 12 in which a water cooling pipe 12a is embedded by solder or the like for cooling the bearings 4 and 5 is disposed in close contact with the base 2 and the oil tank 9. . As a result, the base 2 is directly cooled to cool the lower bearing 5, and the oil in the oil tank 9 is cooled, and the oil is sucked up by the nozzle 6a and supplied to the lower bearing 5 and the upper bearing 4 along the shaft 6. To cool down.

【０００５】しかしながら、図示の如くベース２にはケ
ーシング１の内周１ａをなすスペーサ１ｂやモータハウ
ジング３等が金属接触させてあり、しかもこれらは通
常、熱伝導率の良好なアルミ合金で作られているため、
ベース２に伝わる冷熱の多くはこれらの部位にも伝達さ
れ、その後輻射によってロータ下端７ａ乃至ロータ外周
７ｂにも伝達されて、即ち打点図示領域Ａに蓄冷され易
く、従ってこの領域Ａがポンプ運転時に比較的低い温度
に保たれることが多くなる。然してこのポンプを例えば
半導体デバイスのアルミニウムドライエッチング等を行
う半導体製造装置に適用すると、この種の装置ではエッ
チングに必要な若干量の塩素系プロセスガス（ＣＣｌ4
，ＢＣｌ3 ，Ｃｌ2 等）を処理室内に定常的に流しな
がら処理を行うため、アルミニウムをエッチングした際
に生じる反応生成物（塩化アルミニウム：ＡｌＣｌ3
等）が未反応プロセスガスと共にポンプ内に流れ込んで
くる。かかるＡｌＣｌ3 等は、図６の蒸気圧曲線に示す
ように圧力に応じてある温度以上で気相となりその温度
以下で固相となる性質があり、前述した領域Ａの温度は
通常の使用条件でＡｌＣｌ3 等の固相温度以下に下がる
ことが多いことから、このＡｌＣｌ3 等が領域Ａを通過
する間に冷却され、図５に示すごとく固体状となって領
域Ａに付着することになる。実用レベルにおいて一定の
使用期間内に３〜４mmにまで堆積することも少なくな
い。[0005] However, as shown in the figure, the base 2 is brought into metallic contact with the spacer 1b forming the inner periphery 1a of the casing 1 and the motor housing 3, and these are usually made of an aluminum alloy having good thermal conductivity. Because
Most of the cold heat transmitted to the base 2 is also transmitted to these portions, and thereafter, is also transmitted to the rotor lower end 7a to the rotor outer periphery 7b by radiation, that is, it is easy to store cold in the hitting point illustrated area A. Often kept at relatively low temperatures. However, when this pump is applied to a semiconductor manufacturing apparatus for performing, for example, aluminum dry etching of a semiconductor device, a small amount of a chlorine-based process gas (CCl4
, BCl3, Cl2, etc.) are constantly flowed into the processing chamber, so that a reaction product (aluminum chloride: AlCl3) generated when aluminum is etched.
) Flows into the pump together with unreacted process gas. As shown in the vapor pressure curve of FIG. 6, such AlCl3 or the like has the property of becoming a gaseous phase above a certain temperature depending on the pressure and becoming a solid phase below that temperature. Since the temperature often drops below the solid phase temperature of AlCl3 or the like, the AlCl3 or the like is cooled while passing through the region A, and becomes solid as shown in FIG. At a practical level, it is not unusual for the deposit to reach 3 to 4 mm within a certain use period.

【０００６】このため、ターボ分子ポンプをかかるＡｌ
Ｃｌ3 やこれと同様の現象を生じるプロセスガスの排気
に用いると、通常の場合に比べてより頻繁な分解清掃作
業が必要となり、メンテナンス上と稼働効率上とにおい
て大きな不都合を強いられることになる。また、特にロ
ータ外周７ｂとケーシング内周１ａとの間では、１mm前
後の極少間隔にシビアに保たれているため、堆積した反
応生成物により両者が固体接触し易く、ポンプ自体の損
傷又は破損を招いてしまう。[0006] Therefore, the turbo molecular pump requires
If used to exhaust Cl3 or a process gas that causes similar phenomena, more frequent disassembly and cleaning operations are required as compared to the normal case, which imposes great disadvantages in terms of maintenance and operation efficiency. Also, particularly between the outer circumference 7b of the rotor and the inner circumference 1a of the casing, since they are severely maintained at an extremely small interval of about 1 mm, they are easily brought into solid contact with the deposited reaction product, and damage or breakage of the pump itself is prevented. I will invite you.

【０００７】このような不都合は、ベアリングを採用す
るものに限らず、例えば磁気軸受を採用するもの等であ
っても、発熱要因が小さくポンプ運転時に領域Ａの温度
が反応生成物に対して固相温度以下になるものに共通し
た課題となっている。また、磁気軸受を採用したターボ
分子ポンプにおいても、ガスと翼との摩擦熱やガス負荷
の増大によるモータ発熱などの発熱要因が大きいもので
は、やはりボールベアリング方式と同様に軸受保護の見
地からその冷却手段が設けられ、反応生成物の付着問題
を生じている。[0007] Such a disadvantage is not limited to the one employing a bearing. Even if a magnetic bearing is employed, for example, the heat generation factor is small and the temperature in the region A is fixed to the reaction product during pump operation. This is a common problem for those below the phase temperature. Also, in turbo molecular pumps that use magnetic bearings, if heat generation factors such as frictional heat between the gas and the blades and motor heat generation due to an increase in the gas load are large, the same applies to the ball bearing method from the viewpoint of bearing protection. A cooling means is provided, which causes a problem of adhesion of reaction products.

【０００８】本発明はこのような課題を提起してなされ
たものであって、領域Ａの位置への反応生成物の付着を
有効に防止し、且つ軸受の昇温を防止して適性な機能を
保障することにより、ターボ分子ポンプの信頼性、耐久
性、メンテナンス性等を良好なものとすることを目的と
している。The present invention has been made in view of the above problems, and effectively prevents the reaction products from adhering to the position of the region A and prevents the bearing from being heated. Therefore, the object of the present invention is to improve the reliability, durability, maintainability, and the like of the turbo-molecular pump.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のターボ分子ポンプは、ケーシングと、このケ
ーシングを支持するベースと、前記ケーシング内にあっ
て前記ベースに固設されたモータハウジングと、このモ
ータハウジング内に装着した軸受を介して支承されたシ
ャフトと、このシャフトに一体回転可能に固着され内周
に前記モータハウジングを収容してなるロータと、この
ロータの外周と前記ケーシングの内周との間に構成され
たポンプ機構とを具備してなるターボ分子ポンプにおい
て、前記ロータの下端を含む内周／外周からそれらの対
向面にかけての領域を加熱するためにケーシング外周面
又はロータハウジング外周面の少なくとも１ヶ所に付設
される加熱手段と、軸受を冷却するための冷却手段とを
設けたことを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a turbo-molecular pump according to the present invention comprises a casing, a base for supporting the casing, and a motor housing provided in the casing and fixed to the base. A shaft supported via a bearing mounted in the motor housing, a rotor fixed to the shaft so as to be integrally rotatable and containing the motor housing in the inner periphery, and an outer periphery of the rotor and the casing. A turbo-molecular pump comprising a pump mechanism formed between the outer peripheral surface of a casing and a rotor for heating a region from an inner periphery / outer periphery including a lower end of the rotor to an opposing surface thereof. Heating means provided at at least one location on the outer peripheral surface of the housing and cooling means for cooling the bearing are provided. To.

【００１０】なお、これらの加熱手段と冷却手段とを効
果的に使用するためには、領域Ａの温度を検出するセン
サと、このセンサの検出値に基づいてそれが目標値に保
持されるように前記冷却手段又は前記加熱手段の少なく
とも一方を制御する制御手段を設けることが望ましい。In order to use these heating means and cooling means effectively, a sensor for detecting the temperature of the area A and a sensor for maintaining the temperature at a target value based on the detection value of the sensor are used. It is desirable to provide control means for controlling at least one of the cooling means and the heating means.

【００１１】このような構成によれば、加熱手段によっ
て領域Ａを固相温度以上に加熱することにより反応生成
物が領域Ａに付着することを防止することができると共
に、冷却手段によって軸受を冷却することにより軸受を
焼損等から保護することができる。According to such a configuration, by heating the region A to a temperature higher than the solid phase temperature by the heating means, it is possible to prevent the reaction product from adhering to the area A, and to cool the bearing by the cooling means. By doing so, the bearing can be protected from burnout and the like.

【００１２】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて説明する。なお、図５と共通する部分には同一符号
を付し、その説明を省略する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Parts common to those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【００１３】図１に本発明に係るターボ分子ポンプの実
施例を示す。これは、図５の構成において、ベース２に
添設していた冷却金具１２及び水冷パイプ１２ａを除去
し、代わりにベースに添設される加熱手段２１と、オイ
ルタンク９に埋設される冷却手段２２と、領域Ａの温度
を測定するための温度センサ２３と、温度センサ２３か
らの信号に基づいて領域Ａを所定の温度に設定するため
の制御手段２４とを設けてなる。FIG. 1 shows an embodiment of a turbo-molecular pump according to the present invention. This is achieved by removing the cooling fitting 12 and the water cooling pipe 12a attached to the base 2 in the configuration of FIG. 5, and instead replacing the heating means 21 attached to the base with the cooling means embedded in the oil tank 9. 22, a temperature sensor 23 for measuring the temperature of the area A, and control means 24 for setting the area A to a predetermined temperature based on a signal from the temperature sensor 23.

【００１４】加熱手段２１は、オイルタンク９との直接
の接触を避けてベース２底部に密着させたヒータ（例え
ばシーズヒータ）である。このヒータ２１が発熱する
と、先ずベース２が加熱し、これが該ベース２に金属接
触させてある熱伝導率の良好なモータハウジング３及び
スペーサ１ｂに伝達され、さらに輻射によってロータ７
の下端７ｃを含む内周７ａ並びに外周７ｂに熱伝達さ
れ、結果として領域Ａ全体がほぼ均一に加熱されるよう
に構成されている。The heating means 21 is a heater (for example, a sheath heater) which is brought into close contact with the bottom of the base 2 while avoiding direct contact with the oil tank 9. When the heater 21 generates heat, the base 2 is first heated and transmitted to the motor housing 3 having good thermal conductivity and the spacer 1b which are in metal contact with the base 2, and further radiated to the rotor 7 by the radiation.
The heat is transferred to the inner circumference 7a and the outer circumference 7b including the lower end 7c of the first area A, and as a result, the entire area A is heated substantially uniformly.

【００１５】冷却手段２２は、オイルタンク９の底壁下
面に密着させた冷却板２２ａと、この冷却板２２ａに凹
設した溝２２ｂと、この溝２２ｂ内に半田等を流し込ん
で埋設固定した螺旋状の水冷パイプ２２ｃとからなり、
水冷パイプ２２ｃに接続した配管２２ｄ及びこの配管２
２ｄに介設した電磁バルブ２２ｅを通じて外部から所要
流量の冷却水を導入すると、オイルタンク９内に充填さ
れているオイルが冷却され、これが強制循環によって上
下両ベアリング４，５に供給された際に潤滑と冷却効果
の双方をもたらす。The cooling means 22 includes a cooling plate 22a closely attached to the lower surface of the bottom wall of the oil tank 9, a groove 22b recessed in the cooling plate 22a, and a spiral formed by pouring solder or the like into the groove 22b and embedding it. Water cooling pipe 22c,
The pipe 22d connected to the water cooling pipe 22c and the pipe 2
When cooling water of a required flow rate is introduced from the outside through an electromagnetic valve 22e interposed in 2d, the oil filled in the oil tank 9 is cooled, and when this is supplied to the upper and lower bearings 4 and 5 by forced circulation. Provides both lubrication and cooling effects.

【００１６】センサ２３は、ベース２の肉厚内であって
領域Ａの直下位置に側方から挿入した測温抵抗器であ
る。この測温抵抗器２３は、領域Ａの温度を電気信号に
変換して取り出すことができるようになっている。The sensor 23 is a temperature measuring resistor inserted from the side at a position directly below the area A within the thickness of the base 2. The temperature measuring resistor 23 can convert the temperature of the area A into an electric signal and take it out.

【００１７】制御手段２４は、前記測温抵抗器２３の検
出値ａに基づいてそれが予め設定した目標値ｂに保持さ
れるように前記電磁バルブ２２ｅ又は前記ヒータ２１の
うち少なくとも一方を制御する信号ｃ，ｄを出力するよ
うに構成されている。即ち、この制御手段２４はマイク
ロコンピュータやシーケンサ等を構成要素とした比較出
力機能を有するものであり、例えば目標値ｂとして６０
℃が入力されると、前記測温抵抗器２３から入力される
検出値ａがこの６０℃を下回るときに前記ヒータ２１を
作動させ、６０℃を上回るときに前記電磁バルブ２２ｅ
を作動させることで、領域Ａの温度を６０℃に収束させ
ようとするものである。その際の制御は、電磁バルブ２
２ｅに対しては通常のＯＮ，ＯＦＦ制御により、ヒータ
２１に対してはこのＯＮ，ＯＦＦ制御の他、行き過ぎを
無くすためにＰＩＤ制御（比例、積分、微分の各補償要
素からなる直列補償制御）によることも有効となる。The control means 24 controls at least one of the electromagnetic valve 22e and the heater 21 based on the detection value a of the temperature measuring resistor 23 so that the value is maintained at a preset target value b. It is configured to output signals c and d. That is, the control means 24 has a comparison output function using a microcomputer, a sequencer or the like as a constituent element.
When the detected value a input from the resistance temperature detector 23 is lower than 60 ° C., the heater 21 is activated, and when the detected value a exceeds 60 ° C., the electromagnetic valve 22e is input.
Is operated to converge the temperature of the region A to 60 ° C. The control at that time is performed by the electromagnetic valve 2
The normal ON / OFF control for 2e, the PID control for the heater 21 in addition to the ON / OFF control for eliminating the overshoot (series compensation control composed of proportional, integral, and differential compensation elements) This is also effective.

【００１８】このような構成によれば、領域Ａは反応生
成物の固相温度以上に保たれて、反応生成物が固体状と
なって領域Ａに付着・堆積することが防止もしくは軽減
される。同時にベアリング４，５は冷却手段２２によっ
て前記熱的影響が阻止され、焼損等から有効に保護され
る。特に、この実施例ではヒータ２１と冷却手段２２と
を制御手段２４によって制御可能としているので、領域
Ａの温度管理を迅速且つ適切に行うと同時に、設定可能
温度範囲も広い。According to such a configuration, the region A is maintained at a temperature equal to or higher than the solid phase temperature of the reaction product, and the reaction product is prevented from becoming solid and adhering to the region A to be reduced. . At the same time, the bearings 4 and 5 are prevented from being thermally affected by the cooling means 22 and are effectively protected from burning. In particular, in this embodiment, since the heater 21 and the cooling means 22 can be controlled by the control means 24, the temperature of the area A can be quickly and appropriately controlled, and the settable temperature range is wide.

【００１９】上述した本発明の構成の内、加熱手段（ヒ
ータ、温水等）はベース又はケーシング外周面又はロー
タハウジング外周面の部位に少なくとも１ケ所に付設さ
れていれば良い。ベース２に付設したものが図１の構成
例や図２の想像線で示す構成例であり、ケーシング外周
面に付設したものが図３の構成例であり、ロータハウジ
ング外周面に付設したものが図２の実線構成例である。In the configuration of the present invention described above, the heating means (heater, hot water, etc.) may be provided at least at one location on the outer peripheral surface of the base or casing or the outer peripheral surface of the rotor housing. The configuration example shown in FIG. 1 and the configuration example shown by the imaginary line in FIG. 2 are attached to the base 2, the configuration example shown in FIG. 3 is attached to the outer peripheral surface of the casing, and the one attached to the outer peripheral surface of the rotor housing. 3 is a configuration example of a solid line in FIG. 2.

【００２０】冷却手段（冷却水、空冷ファン等）は、ベ
アリングを熱的影響から保護できる位置であれば特に制
限はない。例えば、図４ではラジアル磁気軸受５１，５
２を用い、ベース５４の底板部にヒータ５５を配設して
領域Ａを加熱すると共に、このヒータ５５の内周に水冷
パイプ５６を巻回して磁気軸受５１，５２を冷却するよ
うにしている。なお、水冷パイプ５６の代わりに底板５
７にこれを冷却するウォータージャケット５８を穿設し
ても良い。このウォータージャケット５８の入口、出口
にねじをきって、外部の冷却水管を簡単に縲着できるよ
うにすることがさらに望ましい。The cooling means (cooling water, air cooling fan, etc.) is not particularly limited as long as it can protect the bearing from thermal effects. For example, in FIG.
2, a heater 55 is arranged on the bottom plate of the base 54 to heat the area A, and a water cooling pipe 56 is wound around the inner periphery of the heater 55 to cool the magnetic bearings 51 and 52. . In addition, instead of the water cooling pipe 56, the bottom plate 5
7 may be provided with a water jacket 58 for cooling it. It is more desirable that the inlet and outlet of the water jacket 58 be threaded so that an external cooling water pipe can be easily attached.

【００２１】また、本発明が対象とするターボ分子ポン
プは必ずしも軸受がベアリングであるものに限定され
ず、同様の問題を抱える他のターボ分子ポンプにも適用
可能である。さらに、加熱手段に温水を用いたり、冷却
手段に空冷ファンを用いたり、センサに熱電対など他の
種類のものを使用したり、ポンプ機構にねじロータを採
用するなど、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形
が可能である。The turbo molecular pump to which the present invention is applied is not necessarily limited to a bearing having a bearing, but can be applied to other turbo molecular pumps having similar problems. Further, the present invention deviates from the gist of the present invention, such as using hot water for the heating means, using an air-cooling fan for the cooling means, using other types of sensors such as thermocouples, and adopting a screw rotor for the pump mechanism. Various modifications are possible without departing from the scope.

【００２２】[0022]

【発明の効果】本発明に係るターボ分子ポンプは、以上
のような構成であるから、領域への反応生成物の付着を
有効に防止し、且つ軸受の適性な機能を保護することを
通じて、ターボ分子ポンプの信頼性、耐久性、メンテナ
ンス性等を有効に向上させることができる。特に、領域
Ａにおける温度を最適値にコントロールするようにした
場合には、これらの一層顕著な効果を得ることができ
る。As described above, the turbo molecular pump according to the present invention has a structure as described above. Therefore, it is possible to effectively prevent the reaction products from adhering to the region and protect the proper function of the bearing. The reliability, durability, maintainability, and the like of the molecular pump can be effectively improved. In particular, when the temperature in the region A is controlled to an optimum value, these more remarkable effects can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一実施例の全体断面図である。FIG. 1 is an overall sectional view of an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図４】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図５】従来のターボ分子ポンプの構成例を示す断面図
である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a configuration example of a conventional turbo-molecular pump.

【図６】ＡｌＣｌ3 の蒸気圧線図。FIG. 6 is a vapor pressure diagram of AlCl3.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ … ケーシング １ａ… ケーシング内周 ２ … ベース ３ … モータハウジング ４，５…軸受（ベアリング） ７ … ロータ ７ａ …ロータ内周 ７ｂ …ロータ外周 ７ｃ …ロータ下端 ２１，３１，４１，５５ …加熱手段（ヒータ） ２２，３２，４２，５８ …冷却手段 ５１，５２ …磁気軸受 Ａ …領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Casing 1a ... Casing inner periphery 2 ... Base 3 ... Motor housing 4, 5 ... Bearing (bearing) 7 ... Rotor 7a ... Rotor inner periphery 7b ... Rotor outer periphery 7c ... Rotor lower end 21, 31, 41, 55 ... Heating means ( Heaters) 22, 32, 42, 58 ... Cooling means 51, 52 ... Magnetic bearing A ... Area

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】ケーシングと、このケーシングを支持する
ベースと、前記ケーシング内にあって前記ベースに固設
されたモータハウジングと、このモータハウジング内に
装着した軸受を介して支承されたシャフトと、このシャ
フトに一体回転可能に固着され内周に前記モータハウジ
ングを収容してなるロータと、このロータの外周と前記
ケーシングの内周との間に構成されたポンプ機構とを具
備してなるターボ分子ポンプにおいて、前記ロータの下
端を含む内周／外周からそれらの対向面にかけての領域
を加熱するためにケーシング外周面又はロータハウジン
グ外周面の少なくとも１ヶ所に付設される加熱手段と、
軸受を冷却するための冷却手段とを設けたことを特徴と
するターボ分子ポンプ。1. A casing, a base for supporting the casing, a motor housing in the casing fixed to the base, and a shaft supported via a bearing mounted in the motor housing. A turbo molecule comprising: a rotor fixed to the shaft so as to be integrally rotatable and housing the motor housing in the inner periphery; and a pump mechanism configured between the outer periphery of the rotor and the inner periphery of the casing. In the pump, heating means provided on at least one portion of an outer peripheral surface of a casing or an outer peripheral surface of a rotor housing for heating a region from an inner periphery / outer periphery including a lower end of the rotor to an opposing surface thereof,
A turbo-molecular pump provided with cooling means for cooling a bearing.