JP2928154B2 - Waveguide-microstrip line converter - Google Patents

Waveguide-microstrip line converter

Info

Publication number
JP2928154B2
JP2928154B2 JP8057346A JP5734696A JP2928154B2 JP 2928154 B2 JP2928154 B2 JP 2928154B2 JP 8057346 A JP8057346 A JP 8057346A JP 5734696 A JP5734696 A JP 5734696A JP 2928154 B2 JP2928154 B2 JP 2928154B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveguide
microstrip line
slot
tube wall
converter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP8057346A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH09246816A (en
Inventor
統彦 大室
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP8057346A priority Critical patent/JP2928154B2/en
Publication of JPH09246816A publication Critical patent/JPH09246816A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2928154B2 publication Critical patent/JP2928154B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Waveguide Aerials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は導波管−マイクロス
トリップ線路変換器に関し、特にミリ波帯等の高い周波
数における導波管−マイクロストリップ線路変換器に関
する。
The present invention relates to a waveguide-to-microstrip line converter, and more particularly to a waveguide-to-microstrip line converter at a high frequency such as a millimeter wave band.

【0002】[0002]

【従来の技術】ミリ波帯等の高い周波数帯では、導波管
とマイクロストリップ線路との間で伝送信号を変換する
ための導波管−マイクロストリップ線路変換器が必要と
される。このような変換器としては、例えば、電子通信
学会「アンテナ光学ハンドブック」昭和55年10月3
0日,P.264,図4・10(a)に記載されている
ようにプローブを利用したものがある。これは、図3に
示すように、導波管11の管壁に穴11bを開け、この
穴11bを通してプローブ12を導波管11の内部に侵
入位置させたものである。プローブ12の外端部は、導
波管11に沿って延設した誘電体基板13に形成された
マイクロストリップ線路14に半田等のろう材15によ
り接続されている。
2. Description of the Related Art In a high frequency band such as a millimeter wave band, a waveguide-microstrip line converter for converting a transmission signal between a waveguide and a microstrip line is required. Such a converter is described in, for example, IEICE “Antenna Optics Handbook”, October 3, 1980.
Day 0, p. 264, there is a probe utilizing a probe as described in FIGS. As shown in FIG. 3, a hole 11b is made in the tube wall of the waveguide 11, and the probe 12 is inserted into the inside of the waveguide 11 through the hole 11b. The outer end of the probe 12 is connected to a microstrip line 14 formed on a dielectric substrate 13 extending along the waveguide 11 by a brazing material 15 such as solder.

【0003】また、同様に導波管とマイクロストリップ
線路との間で高周波信号の変換を行うための技術とし
て、特開平02−292902号公報に記載されたもの
があり、この技術では導波管の電波の伝搬方向の端部内
にリッジが設けられ、このリッジにストリップ線路が近
接配置されて電磁結合されたものがある。
A technique for similarly converting a high-frequency signal between a waveguide and a microstrip line is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 02-292902. A ridge is provided in an end portion of the radio wave in the propagation direction, and a strip line is arranged close to the ridge and electromagnetically coupled.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
において、前者の文献に記載された技術は、導波管11
内にプローブ12を挿入して同軸構造を構成し、その上
でこのプローブ12をマイクロストリップ線路14に対
して物理的に接続して導波管11とマイクロストリップ
線路14との電気的な接続を行っている。このため、プ
ローブ12とマイクロストリップ線路14とを半田やそ
の他のろう材により接続しているが、ろう材による接続
はその接続寸法精度が低いために、プローブ12とマイ
クロストリップ線路14との間、あるいは導波管11と
マイクロストリップ線路14との間のそれぞれの位置精
度が低下され、この精度誤差によって変換効率が低下さ
れ、かつ信頼性が低下されるという問題がある。また、
ろう付け作業を高精度に行うことが要求されるために変
換器の製造が困難なものになり、生産性が低下される原
因となっている。
In such a conventional technique, the technique described in the former document is related to the waveguide 11.
A probe 12 is inserted into the inside to form a coaxial structure. Then, the probe 12 is physically connected to the microstrip line 14 to electrically connect the waveguide 11 and the microstrip line 14. Is going. For this reason, the probe 12 and the microstrip line 14 are connected by solder or other brazing material. However, the connection by the brazing material has a low connection dimensional accuracy. Alternatively, there is a problem that the positional accuracy between the waveguide 11 and the microstrip line 14 is reduced, and the conversion error and reliability are reduced due to the accuracy error. Also,
Since it is required to perform the brazing operation with high precision, it is difficult to manufacture the converter, which causes a decrease in productivity.

【0005】また、後者の公報に記載された技術は、導
波管の電波の伝搬方向の開口にリッジが設けられ、かつ
これと垂直に向けてストリップ線路が設けられているた
め、導波管の管軸とストリップ線路とが直交配置される
ことになる。このため、ストリップ線路の線路長が長い
場合には、導波管の長さ方向の寸法とストリップ線路の
長さ寸法とで変換器全体が三次元方向に大きくなり、小
型の変換器を構成することが難しいという問題がある。
In the technique described in the latter publication, a ridge is provided in an opening of a waveguide in a propagation direction of a radio wave, and a strip line is provided perpendicularly to the ridge. And the strip line are orthogonally arranged. For this reason, when the line length of the strip line is long, the entire converter becomes large in the three-dimensional direction by the dimension in the length direction of the waveguide and the length dimension of the strip line, thereby forming a small converter. There is a problem that it is difficult.

【0006】本発明の目的は、変換器の製造を容易に行
うことを可能にし、かつその一方で変換器の信頼性の向
上、生産性の向上を可能にし、しかも小型化を可能にし
た導波管−マイクロストリップ線路変換器を提供するこ
とにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to make it easier to manufacture a converter, and at the same time to improve the reliability and productivity of the converter and to reduce the size. It is to provide a waveguide-microstrip line converter.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の導波管−マイク
ロストリップ変換器は、導波管の電界に垂直な管壁に、
導波管の内外に貫通されるスロットを有し、このスロッ
トにその一部が臨ませられたマイクロストリップ線路を
前記管壁の外面に沿って管長方向に配置して両者を電磁
結合したことを特徴とする。ここで、マイクロストリッ
プ線路を構成する誘電体基板の裏面は導波管の管壁外面
に密接固定され、この管壁がマイクロストリップ線路の
グラウンドとして構成され、かつ導波管内にはスロット
に対向して導波管とは別体に構成されたブロックからな
リッジが固定設置され、このリッジに階段状のインピ
ーダンス変換ステップが形成される。また、スロット
は、導波管の短絡面から管内波長の1/2またはその整
数倍の長さ位置に設けられる。
SUMMARY OF THE INVENTION A waveguide-to-microstrip converter according to the present invention is provided on a tube wall perpendicular to the electric field of the waveguide.
It has a slot penetrating inside and outside the waveguide, and a microstrip line, a part of which faces this slot, is arranged along the outer surface of the pipe wall in the pipe length direction to electromagnetically couple the two. Features. Here, the back surface of the dielectric substrate constituting the microstrip line is closely fixed to the outer surface of the waveguide wall of the waveguide, and this tube wall is configured as the ground of the microstrip line and faces the slot in the waveguide. From a block constructed separately from the waveguide.
The ridge is fixedly installed, and a step-like impedance conversion step is formed on the ridge. Further, the slot is provided at a position from the short-circuit surface of the waveguide to a length of 1 / of the guide wavelength or an integral multiple thereof.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の第1の実施形態の平
面図とAA線断面図である。導波管1の電界に垂直な方
向に対向された一対の管壁の一方の内面には導電材から
なるブロック2が固定されている。このブロック2は、
その一方の端面は前記導波管1の短絡面1aに接触さ
れ、他方の端面は管軸方向に向かって高さ寸法が階段状
に小さくされたインピーダンス変換ステップ3として構
成され、かつその管軸方向の長さは導波管の管内波長の
1/2の長さよりも十分に長く形成されている。そし
て、ブロック2の上面と前記導波管1の他方の管壁との
間には微小な空隙が画成されている。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view and a cross-sectional view taken along line AA of a first embodiment of the present invention. A block 2 made of a conductive material is fixed to one inner surface of a pair of tube walls opposed to each other in a direction perpendicular to the electric field of the waveguide 1. This block 2
One end face thereof is in contact with the short-circuit face 1a of the waveguide 1, and the other end face is configured as an impedance conversion step 3 whose height dimension is reduced stepwise in the tube axis direction. The length in the direction is formed sufficiently longer than の 長 of the guide wavelength of the waveguide. A minute gap is defined between the upper surface of the block 2 and the other tube wall of the waveguide 1.

【0009】そして、前記導波管1の他方の管壁には、
前記ブロック2の上面に対向する位置に、導波管の内外
を貫通させる管軸方向に垂直なスロット4が設けられて
いる。このスロット4は、導波管1の短絡面1aから管
内波長の約1/2の長さの位置に設けられている。
Then, on the other tube wall of the waveguide 1,
At a position facing the upper surface of the block 2, there is provided a slot 4 perpendicular to the tube axis direction that penetrates the inside and outside of the waveguide. The slot 4 is provided at a position which is about の of the guide wavelength from the short-circuit surface 1 a of the waveguide 1.

【0010】さらに、前記スロット4が形成される導波
管1の他方の管壁の外面には、誘電体基板5に形成され
たマイクロストリップ線路6が配置される。前記誘電体
基板5はその裏面が前記導波管1の管壁の外面に密接状
態に固定されており、これによりこの管壁は誘電体基板
5の表面に形成されたマイクロストリップ線路6のGN
Dとして機能することになる。また、マイクロストリッ
プ線路6では、その一部が適当な長さのスタブ7として
形成され、このスタブ7が前記スロット4に対向位置さ
れるように構成される。
Further, a microstrip line 6 formed on a dielectric substrate 5 is arranged on the outer surface of the other tube wall of the waveguide 1 in which the slot 4 is formed. The back surface of the dielectric substrate 5 is fixed in close contact with the outer surface of the tube wall of the waveguide 1, whereby the tube wall is formed by the GN of the microstrip line 6 formed on the surface of the dielectric substrate 5.
It will function as D. In the microstrip line 6, a part thereof is formed as a stub 7 having an appropriate length, and the stub 7 is configured so as to face the slot 4.

【0011】この構成によれば、導波管1の短絡面1a
から管内波長の約1/2の長さ位置にスロット4が設け
られているため、スロット4における磁界は最大とな
り、スロット4が効率よく励振される。その励振された
磁界がスタブ7を介してマイクロストリップ線路6に電
磁的に結合される。これにより、導波管1とマイクロス
トリップ線路6とがスロット4を介して非接触で電磁的
に結合することができる。このとき、前記ブロック2に
設けられたインピーダンス変換ステップ3は、スロット
4よりも手前に位置されているため、導波管1の特性イ
ンピーダンスをマイクロストリップ線路7の特性インピ
ーダンスに合わせ、インピーダンスマッチングを取るこ
とができる。
According to this configuration, the short-circuit surface 1a of the waveguide 1
Since the slot 4 is provided at a position of about 1/2 of the guide wavelength, the magnetic field in the slot 4 is maximized, and the slot 4 is efficiently excited. The excited magnetic field is electromagnetically coupled to the microstrip line 6 via the stub 7. Thereby, the waveguide 1 and the microstrip line 6 can be electromagnetically coupled via the slot 4 in a non-contact manner. At this time, since the impedance conversion step 3 provided in the block 2 is located before the slot 4, the impedance matching is performed by matching the characteristic impedance of the waveguide 1 with the characteristic impedance of the microstrip line 7. be able to.

【0012】したがって、この実施形態の変換器では、
従来のようにプローブをマイクロストリップ線路に物理
的に接続する必要がなくなり、その接続作業が不要とな
って、変換器の製造を容易なものにでき、生産性を高め
るとともに、位置精度の低下が原因とされる特性や信頼
性の低下を改善することが可能となる。また、マイクロ
ストリップ線路は導波管の電波の伝搬方向に沿って配置
されるため、マイクロストリップ線路の線路長が長い場
合でも変換器の寸法は導波管の寸法内に納めることがで
き、小型化が可能となる。
Therefore, in the converter of this embodiment,
It is no longer necessary to physically connect the probe to the microstrip line as in the past, making the connection work unnecessary, making it easier to manufacture the transducer, increasing productivity and reducing positional accuracy. It is possible to improve the cause of the characteristics and the decrease in reliability. Also, since the microstrip line is arranged along the propagation direction of the radio wave of the waveguide, even if the line length of the microstrip line is long, the dimensions of the converter can be kept within the dimensions of the waveguide, and the size is small. Is possible.

【0013】図2(a),(b)は本発明の導波管−マ
イクロストリップ線路変換器の第2の実施形態の平面図
とBB線断面図である。なお、第1の実施形態と等価な
部分には同一符号を付してある。この実施形態では、導
波管1の一方の管壁内面に固定されたブロック2Aはそ
の幅方向の寸法が導波管の内側寸法よりも小さくされ、
かつその一方の端面が導波管の短絡面に対して所要の間
隔をおいて対向される管軸方向と垂直な面として形成さ
れたリッジとして形成されている点が第1の実施形態と
は相違している。
FIGS. 2A and 2B are a plan view and a sectional view taken along the line BB of a second embodiment of the waveguide-microstrip line converter according to the present invention. Note that parts equivalent to those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. In this embodiment, the block 2A fixed to the inner surface of one tube wall of the waveguide 1 has its width dimension smaller than the inner dimension of the waveguide,
The first embodiment is different from the first embodiment in that one end face is formed as a ridge formed as a plane perpendicular to the tube axis direction facing a short-circuit plane of the waveguide at a required interval. Are different.

【0014】この第2の実施形態においても、導波管1
の短絡面1aから管内波長の約1/2の長さ位置にスロ
ット4が設けられているため、スロット4における磁界
は最大となり、スロット4が効率よく励振され、スタブ
7を介してマイクロストリップ線路7に電磁的に結合さ
れる。これにより、導波管1とマイクロストリップ線路
7とがスロット4を介して非接触で電磁的に結合するこ
とができる。このとき、リッジ2Aのインピーダンス変
換ステップ3により導波管1の特性インピーダンスとマ
イクロストリップ線路6の特性インピーダンスに合わせ
てインピーダンスマッチングを取ることができる。
In the second embodiment, the waveguide 1
Since the slot 4 is provided at a position about half the guide wavelength from the short-circuiting surface 1a, the magnetic field in the slot 4 is maximized, the slot 4 is efficiently excited, and the microstrip line is 7 is electromagnetically coupled. Thereby, the waveguide 1 and the microstrip line 7 can be electromagnetically coupled via the slot 4 in a non-contact manner. At this time, impedance matching can be performed in accordance with the characteristic impedance of the waveguide 1 and the characteristic impedance of the microstrip line 6 by the impedance conversion step 3 of the ridge 2A.

【0015】したがって、第2の実施形態においても、
従来のようなプローブをマイクロストリップ線路に物理
的に接続することが不要となり、第1の実施形態と同様
に接続作業を容易化して生産性を高めることができると
ともに、位置精度の低下が原因とされる特性や信頼性を
改善することができる。また、マイクロストリップ線路
の線路長が長い場合でも変換器の小型化が可能となる。
Therefore, also in the second embodiment,
It is not necessary to physically connect the probe to the microstrip line as in the related art, so that the connection operation can be facilitated and the productivity can be increased similarly to the first embodiment, and the position accuracy is lowered. Characteristics and reliability can be improved. Further, even when the length of the microstrip line is long, the converter can be downsized.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、導波管の
電界と垂直な管壁にスロットを設け、このスロットに臨
んでマイクロストリップ線路を配置して両者を電磁結合
し、かつ導波管内に導波管とは別体に構成されたブロッ
クからなるリッジを固定設置しているので、マイクロス
トリップ線路に対するインピーダンス整合が可能にされ
るとともに、マイクロストリップ線路に対してプローブ
を物理的に接続する必要がなく、製造を容易にして生産
性を高めるとともに、ろう付けによる位置精度誤差が防
止でき、信頼性の向上を図ることができる。また、マイ
クロストリップ線路は導波管の管長方向に沿って配設さ
れ、かつその裏面が管壁の外面に密接固定されているた
め、マイクロストリップ線路を導波管の管長範囲内に納
めることができ、小型の変換器を実現することが可能と
なる。
As described above, according to the present invention, a slot is provided in a tube wall perpendicular to the electric field of the waveguide, a microstrip line is arranged facing the slot, and the two are electromagnetically coupled to each other. A block formed separately from the waveguide in the tube
The ridge is fixedly installed, which enables impedance matching to the microstrip line and eliminates the need to physically connect the probe to the microstrip line, facilitating manufacturing and improving productivity. In addition, the positional accuracy error due to brazing can be prevented, and the reliability can be improved. Also, since the microstrip line is disposed along the length of the waveguide and the back surface is tightly fixed to the outer surface of the tube wall, the microstrip line can be accommodated within the length of the waveguide. It is possible to realize a small converter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の変換器の第1の実施形態の平面図とA
A線断面図である。
1 is a plan view of a first embodiment of a converter according to the invention and FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along line A.

【図2】本発明の変換器の第2の実施形態の平面図とB
B線断面図である。
FIG. 2 is a plan view of a second embodiment of the converter according to the invention and FIG.
It is a B sectional view.

【図3】従来の変換器の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing an example of a conventional converter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 導波管 2 ブロック 2A リッジ 3 インピーダンス変換ステップ 4 スロット 5 誘電体基板 6 マイクロストリップ線路 7 スタブ Reference Signs List 1 waveguide 2 block 2A ridge 3 impedance conversion step 4 slot 5 dielectric substrate 6 microstrip line 7 stub

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−202520(JP,A) 特開 昭52−75249(JP,A) 特開 平4−358401(JP,A) 特開 平2−230802(JP,A) 実開 昭48−72839(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01P 5/107 H01P 5/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-7-202520 (JP, A) JP-A-52-75249 (JP, A) JP-A-4-358401 (JP, A) JP-A-2- 230802 (JP, A) Actually open 48-72839 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H01P 5/107 H01P 5/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 導波管の電界に垂直な管壁に、導波管の
内外に貫通されるスロットを有し、このスロットにその
一部が臨ませられたマイクロストリップ線路を前記管壁
の外面に沿って管長方向に配置して両者を電磁結合し、
前記マイクロストリップ線路を構成する誘電体基板の裏
面は前記導波管の管壁外面に密接固定され、この管壁が
マイクロストリップ線路のグラウンドとして構成され、
かつ前記導波管内には前記スロットに対向して前記導波
管とは別体に構成されたブロックからなるリッジが固定
設置され、このリッジに階段状のインピーダンス変換ス
テップが形成されることを特徴とする導波管−マイクロ
ストリップ線路変換器。
1. A microstrip line having a slot penetrating into and out of a waveguide in a tube wall perpendicular to an electric field of a waveguide, and a microstrip line partially exposed to the slot is formed in the tube wall. It is arranged along the outer surface in the pipe length direction and electromagnetically couples both,
The back surface of the dielectric substrate constituting the microstrip line is closely fixed to the outer surface of the tube wall of the waveguide, and the tube wall is configured as a ground of the microstrip line,
And the waveguide is opposed to the slot in the waveguide.
A waveguide-microstrip line converter, wherein a ridge composed of a block formed separately from a tube is fixedly installed, and a step-like impedance conversion step is formed on the ridge.
JP8057346A 1996-03-14 1996-03-14 Waveguide-microstrip line converter Expired - Fee Related JP2928154B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8057346A JP2928154B2 (en) 1996-03-14 1996-03-14 Waveguide-microstrip line converter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8057346A JP2928154B2 (en) 1996-03-14 1996-03-14 Waveguide-microstrip line converter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09246816A JPH09246816A (en) 1997-09-19
JP2928154B2 true JP2928154B2 (en) 1999-08-03

Family

ID=13053021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8057346A Expired - Fee Related JP2928154B2 (en) 1996-03-14 1996-03-14 Waveguide-microstrip line converter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2928154B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005088763A1 (en) * 2004-03-10 2005-09-22 Tokyo Electron Limited Distributor and distributing method, plasma processing system and method, and process for fabricating lcd

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19805911A1 (en) * 1998-02-13 1999-08-19 Cit Alcatel Transition from a microstrip line to a waveguide and use of such a transition
CA2292064C (en) * 1998-12-25 2003-08-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Line transition device between dielectric waveguide and waveguide, and oscillator and transmitter using the same
KR20010091158A (en) * 2000-03-13 2001-10-23 서평원 Microstrip to waveguide transition structure and local multipoint distribution service apparatus using the same structure
US6703628B2 (en) * 2000-07-25 2004-03-09 Axceliss Technologies, Inc Method and system for ion beam containment in an ion beam guide
GB2449825A (en) * 2006-03-31 2008-12-03 Nec Corp Waveguide coupler
KR100846872B1 (en) 2006-11-17 2008-07-16 한국전자통신연구원 Apparatus for the transition of dielectric waveguide and transmission line in millimeter wave band
JP4795225B2 (en) * 2006-12-28 2011-10-19 東光株式会社 Dielectric waveguide slot antenna
JP5414364B2 (en) * 2009-05-28 2014-02-12 京セラ株式会社 High frequency substrate and high frequency module
KR101306394B1 (en) * 2010-03-09 2013-09-09 한국전자통신연구원 Radio frequency(rf) device
CN105580195B (en) 2013-10-01 2019-07-16 索尼半导体解决方案公司 Electrical connector and communication system
KR200494266Y1 (en) * 2020-05-06 2021-09-07 알에프에이치아이씨 주식회사 Structure for generating high power microwave signals

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4872839U (en) * 1971-12-14 1973-09-11
JPS5275249A (en) * 1975-12-19 1977-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Micro strip waveguide convertor
JPH0273803U (en) * 1988-11-25 1990-06-06
JPH04358401A (en) * 1991-06-05 1992-12-11 Asahi Chem Ind Co Ltd Waveguide
JPH07202520A (en) * 1993-12-28 1995-08-04 Mitsubishi Electric Corp Micro wave circuit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005088763A1 (en) * 2004-03-10 2005-09-22 Tokyo Electron Limited Distributor and distributing method, plasma processing system and method, and process for fabricating lcd
US7582569B2 (en) 2004-03-10 2009-09-01 Tokyo Electron Limited Distributor and distributing method, plasma processing system and method, and process for fabricating LCD

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09246816A (en) 1997-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6580335B1 (en) Waveguide-transmission line transition having a slit and a matching element
US6580343B2 (en) Dielectric waveguide with pairs of dielectric strips connected in an off-set manner
US7199680B2 (en) RF module using mode converting structure having short-circuiting waveguides and connecting windows
US7227428B2 (en) RF module and mode converting structure having magnetic field matching and penetrating conductor patterns
JP2928154B2 (en) Waveguide-microstrip line converter
JP2003110307A (en) Dielectric waveguide filter and mounting structure thereof
US20010040490A1 (en) Transmission line and transmission line resonator
US20050200424A1 (en) Microstripline waveguide converter
CN114188686B (en) H-face waveguide/microstrip probe conversion device
JP3045074B2 (en) Dielectric line, voltage controlled oscillator, mixer and circuit module
JPH0926457A (en) Semiconductor element evaluating device
US7183874B2 (en) Casing contained filter
JP4013851B2 (en) Waveguide planar line converter
JP3518249B2 (en) High frequency circuit element
JPH09199913A (en) Waveguide and coaixal converter
JP2765396B2 (en) Stripline filter and microstrip line filter
US5742257A (en) Offset flared radiator and probe
JP2006081160A (en) Transmission path converter
JP4200684B2 (en) Waveguide / transmission line converter
EP0883204B1 (en) Nonradiative planar dielectric line and integrated circuit using the same line
JPS642281B2 (en)
CN114050407B (en) Waveguide mode excitation structure, method and application thereof
US6166614A (en) Nonradiative planar dielectric line and integrated circuit
WO2021144828A1 (en) Converter and antenna device
JPH04358401A (en) Waveguide

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees