JP2923108B2 - Method for removing impurities from printed circuit board washing wastewater - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板洗浄排水
中の不純物除去方法に関し、より詳細にはプリント基板
洗浄用フラックス残渣等を含む洗浄排水を物理化学的吸
着処理と電気化学的処理を併用して該排水中に含有され
る微生物、金属類及び有機化合物等を除去しプリント基
板洗浄用に再使用するための方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for removing impurities from wastewater for cleaning printed circuit boards, and more particularly, to a method for cleaning wastewater containing flux residues for cleaning printed circuit boards by using both physicochemical adsorption treatment and electrochemical treatment. The present invention also relates to a method for removing microorganisms, metals, organic compounds, and the like contained in the wastewater and reusing the wastewater for cleaning printed circuit boards.

【０００２】[0002]

【従来技術】従来から電子工業におけるプリント基板の
半田付け工程に使用するフラックス残渣を洗浄除去する
ための洗浄剤としてフロン系溶剤が広く使用されてき
た。しかし該溶剤は人体に対する悪影響は勿論のこと、
例えば大気中のオゾン層を破壊する等自然環境に対して
大きな被害をもたらせつつある。そのため前記溶剤の使
用制限は全地球的規模の要請である。該溶剤を回避する
ためには、前記溶剤による洗浄を必要としない水溶性フ
ラックスを開発し、あるいは前記フロン系溶剤の代替洗
浄剤であるアルカリ鹸化剤等を使用することが必要であ
る。しかしこれらの代替技術が開発されてもフラックス
の使用は不可欠であり、プリント基板洗浄を行うと洗浄
排水中にはフラックス中に含まれる各種金属や有機物が
混入し、該排水をそのままプリント基板の洗浄に再使用
するとプリント基板の汚染を生じさせることになる。2. Description of the Related Art A CFC-based solvent has been widely used as a cleaning agent for cleaning and removing a flux residue used in a printed circuit board soldering process in the electronics industry. However, the solvent has a bad effect on the human body,
For example, it is causing great damage to the natural environment such as destruction of the ozone layer in the atmosphere. Therefore, the restriction on the use of the solvent is a global requirement. In order to avoid the solvent, it is necessary to develop a water-soluble flux that does not require washing with the solvent, or to use an alkali saponifying agent or the like which is a substitute for the fluorocarbon solvent. However, the use of flux is indispensable even if these alternative technologies are developed, and when cleaning printed circuit boards, various metals and organic substances contained in the flux are mixed into the cleaning wastewater, and the wastewater is directly used for cleaning the printed circuit board. Re-use will result in contamination of the printed circuit board.

【０００３】従って前記排水を処理して不純物を除去し
清澄な洗浄水としてプリント基板の洗浄に再使用するこ
とが必要になる。通常の排水処理は、微粒子除去工程、
有機物除去工程、及びイオン性物質除去工程等から成
る。そしてプリント基板洗浄は通常40〜70℃程度の比較
的高温で行われ、上記各工程を経て清澄化された処理水
（実質的純水）中にも菌類や黴類等の微生物が繁殖し易
く、このような処理水をプリント基板洗浄に使用する
と、洗浄用ノズルの閉塞、プリント基板の汚染等を誘発
し、プリント基板の合格率の低下を招く等のトラブルが
生ずる。Therefore, it is necessary to treat the waste water to remove impurities and reuse it as a clear washing water for cleaning a printed circuit board. Normal wastewater treatment is a fine particle removal process,
It comprises an organic substance removing step and an ionic substance removing step. Cleaning of the printed circuit board is usually performed at a relatively high temperature of about 40 to 70 ° C., and microorganisms such as fungi and molds easily propagate in the treated water (substantially pure water) clarified through the above steps. When such treated water is used for cleaning a printed circuit board, it causes clogging of the cleaning nozzle, contamination of the printed circuit board, etc., and causes troubles such as lowering the pass rate of the printed circuit board.

【０００４】そして前記イオン性物質除去等にはイオン
交換樹脂や活性炭等が使用され、前記洗浄排水中に含ま
れる金属類、有機化合物は活性炭やイオン交換樹脂等に
吸着し除去される。しかし長時間洗浄排水の処理を行う
と活性炭やイオン交換樹脂の負荷が増大し、洗浄効率が
低下することがある。又前記プリント基板の洗浄排水中
の不純物特に微生物を滅菌し除去するために紫外線照射
を行う技術も開発されているが、紫外線照射のみでは十
分な滅菌効率を達成することができず微生物を含有する
洗浄排水を再使用してプリント基板の汚染を招き易いと
いう欠点がある。[0004] An ion exchange resin, activated carbon, or the like is used for removing the ionic substances, and metals and organic compounds contained in the washing wastewater are adsorbed and removed by the activated carbon, the ion exchange resin, and the like. However, when the cleaning wastewater is treated for a long time, the load of activated carbon or ion exchange resin increases, and the cleaning efficiency may decrease. Further, a technique of irradiating ultraviolet rays to sterilize and remove impurities, particularly microorganisms, in the washing wastewater of the printed circuit board has been developed, but sufficient sterilization efficiency cannot be achieved only by ultraviolet irradiation, and microbes are contained. There is a disadvantage that the printed circuit board is easily contaminated by reusing the washing wastewater.

【０００５】[0005]

【発明が解決すべき問題点】プリント基板は微量の不純
物による汚染も極力回避しなければならず、微生物や有
機物をはじめとする洗浄排水中の不純物を可能な限り除
去した後に再使用することによりプリント基板の洗浄を
行うことが必要である。そして洗浄排水が大量に生ずる
ため大量処理を手間の掛からない手法で安価に行い得る
ことが特に望ましい。Problems to be Solved by the Invention Printed circuit boards must also avoid contamination by trace amounts of impurities as much as possible. By removing as much as possible impurities in cleaning wastewater such as microorganisms and organic substances, the printed circuit boards can be reused. It is necessary to clean the printed circuit board. In addition, since a large amount of washing wastewater is generated, it is particularly desirable that a large amount of treatment can be performed at low cost by a simple method.

【発明の目的】従って本発明は、プリント基板の洗浄排
水を処理して該洗浄排水中の微生物や有機物等の不純物
を最大限除去した後にプリント基板の洗浄に再使用する
ための方法、特に大量の洗浄排水を比較的簡単な装置を
使用して安価に処理できる方法を提供することを目的と
する。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides a method for treating printed wastewater from printed circuit boards, removing impurities such as microorganisms and organic substances in the washed wastewater to the maximum extent, and then reusing them for cleaning printed circuit boards. It is an object of the present invention to provide a method capable of inexpensively treating the washing wastewater by using a relatively simple apparatus.

【０００６】[0006]

【問題点を解決するための手段】本発明は、プリント基
板洗浄排水中の不純物除去方法において、該不純物の活
性炭及び／又はイオン交換樹脂吸着除去工程と固定床型
三次元電極を使用する電気化学的除去工程を含んで成る
ことを特徴とする不純物除去方法であり、本発明は不純
物を含有するプリント基板洗浄水を回収し再使用する方
法として使用することもできる。以下本発明を詳細に説
明する。本発明方法は、不純物の除去を物理化学的吸着
工程と電気化学的除去工程を併用することにより、該電
気化学的工程で不純物である微生物の滅菌をほぼ完全に
行うとともに他の不純物である金属や有機物を吸着や電
気化学的な酸化分解等により除去して吸着工程における
吸着剤の負荷を低減し、プリント基板の金属部分の腐食
を生じさせる可能性のあるオゾン、過酸化水素、次亜塩
素酸イオン等の酸化性薬剤を使用することなく、前記洗
浄排水をほぼ完全に清澄化された処理水としてプリント
基板洗浄用として供給し再使用することを可能にする。
なお本発明の微生物には、細菌（バクテリア）、糸状菌
（黴）、酵母、変形菌、単細胞の藻類、原生動物、ウイ
ルス等が含まれる。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method for removing impurities in printed circuit board washing wastewater, which comprises the steps of removing the impurities by activated carbon and / or an ion exchange resin and using a fixed-bed type three-dimensional electrode. The present invention can also be used as a method for collecting and reusing printed circuit board cleaning water containing impurities. Hereinafter, the present invention will be described in detail. In the method of the present invention, the physicochemical adsorption step and the electrochemical removal step are used in combination for the removal of impurities, whereby the microorganisms which are impurities are almost completely sterilized in the electrochemical step, and the metal which is another impurity is removed. Ozone, hydrogen peroxide, and hypochlorite, which can reduce the load of the adsorbent in the adsorption process by removing organic and organic substances by adsorption or electrochemical oxidative decomposition, etc., which may cause corrosion of metal parts on printed circuit boards Without using an oxidizing agent such as an acid ion, the washing wastewater can be supplied and reused as an almost completely clarified treated water for cleaning a printed circuit board.
The microorganism of the present invention includes bacteria (bacteria), filamentous fungi (molds), yeasts, deformed fungi, single-cell algae, protozoa, viruses, and the like.

【０００７】本発明における物理化学的吸着除去工程と
電気化学的除去工程による洗浄排水の処理の順序は限定
されずいずれの工程を先にしてもよく、又各工程も単一
である必要はなく複数の吸着除去工程及び電気化学的除
去工程を設けてもよい。本発明における吸着除去工程は
好ましくは活性炭吸着除去工程とイオン交換樹脂吸着除
去工程の少なくとも２工程を含むことが望ましく、この
両吸着除去工程の順序も限定されない。活性炭吸着除去
工程では洗浄排水中の有機物（主に非イオン性有機物）
を活性炭に吸着させて除去する。[0007] The order of treatment of the cleaning wastewater in the physicochemical adsorption removal step and the electrochemical removal step in the present invention is not limited, and any of the steps may be performed first, and each step does not need to be a single step. A plurality of adsorption removal steps and electrochemical removal steps may be provided. The adsorption removal step in the present invention preferably includes at least two steps of an activated carbon adsorption removal step and an ion exchange resin adsorption removal step, and the order of these two adsorption removal steps is not limited. Organic matter (mainly nonionic organic matter) in washing wastewater in the activated carbon adsorption removal process
Is adsorbed on activated carbon and removed.

【０００８】又イオン交換樹脂吸着除去工程では洗浄排
水中の不純物であるプリント基板の金属部分が溶解した
鉛，銅、亜鉛、錫、アルミニウム等の金属イオンや、フ
ラックスに由来する有機酸を除去する。使用するイオン
交換樹脂は脱イオン水製造等に従来から使用されている
ものを制限なく使用すればよく、粒状、粉状等の弱酸性
カチオン交換樹脂（交換基として例えばカルボン酸基を
有する）あるいは強酸性カチオン交換樹脂（交換基とし
て例えばスルホン酸基を有する）又は弱塩基性アニオン
交換樹脂（交換基として例えば３級アミン基を有する）
あるいは強塩基性アニオン交換樹脂（交換基として例え
ば４級アンモニウム塩基を有する）を単独であるいは組
み合わせて使用する。陽陰両イオン交換樹脂のうち、特
に水素型の強酸性カチオン交換樹脂は金属イオンの除去
に有効で、一方水酸基型の強塩基性アニオン交換樹脂は
有機物の除去に有効である。[0008] In the ion-exchange resin adsorption removal step, metal ions such as lead, copper, zinc, tin, and aluminum in which the metal portion of the printed board is dissolved, which are impurities in the washing wastewater, and organic acids derived from the flux are removed. . The ion exchange resin to be used may be any of those conventionally used in the production of deionized water or the like without limitation, and may be a granular or powdery weakly acidic cation exchange resin (having, for example, a carboxylic acid group as an exchange group) or Strongly acidic cation exchange resin (having, for example, sulfonic acid groups as exchange groups) or weakly basic anion exchange resin (having, for example, tertiary amine groups as exchange groups)
Alternatively, a strongly basic anion exchange resin (having, for example, a quaternary ammonium base as an exchange group) is used alone or in combination. Among the positive and negative ion exchange resins, a hydrogen-type strongly acidic cation exchange resin is particularly effective for removing metal ions, while a hydroxyl-type strongly basic anion exchange resin is effective for removing organic substances.

【０００９】本発明における電気化学的除去工程は、固
定床型三次元電極に洗浄排水を接触させることにより該
洗浄排水中の不純物を除去する工程である。該固定床型
三次元電極は電解槽本体に収容して固定床型三次元電極
電解槽を構成する。該固定床型三次元電極電解槽として
は次のような構成のものを使用することができる。該電
解槽は、固定床型三次元電極電解槽つまり固定床型単極
式電解槽及び固定床式複極式電解槽であり、これらの電
解槽では該電解槽の三次元電極が莫大な表面積を有する
ため電極表面と洗浄排水との接触面積を増大させること
ができ、これにより装置サイズを小さくし、かつ電気化
学的除去の効率を上げることができる点で有利である。The electrochemical removal step in the present invention is a step of removing impurities in the cleaning wastewater by bringing the cleaning wastewater into contact with the fixed-bed type three-dimensional electrode. The fixed-bed type three-dimensional electrode is housed in an electrolytic cell main body to constitute a fixed-bed type three-dimensional electrode electrolytic cell. As the fixed-bed type three-dimensional electrode electrolytic cell, one having the following configuration can be used. The electrolytic cell is a fixed-bed type three-dimensional electrode electrolytic cell, that is, a fixed-bed monopolar electrolytic cell and a fixed-bed bipolar electrode electrolytic cell. In these electrolytic cells, the three-dimensional electrode of the electrolytic cell has an enormous surface area. , The contact area between the electrode surface and the washing wastewater can be increased, which is advantageous in that the size of the apparatus can be reduced and the efficiency of electrochemical removal can be increased.

【００１０】前記洗浄排水を固定床型三次元電極電解槽
に供給すると、該洗浄排水中の微生物は液流動によって
前記電解槽の陽極や陰極あるいは後述する誘電体や固定
床形成用粒子等に接触しそれらの表面で強力な酸化還元
反応を受けたり高電位の電流に接触し、その活動が弱ま
ったり自身が死滅して滅菌が行われると考えられる。従
って本発明の電気化学的除去工程では、洗浄排水中の微
生物が電圧が印加された電極や誘電体や固定床形成用粒
子等に接触すれば充分であり、両極間に電流を流して水
素及び酸素等のガス発生を伴う実質的な電解反応を生起
させることは必須ではなく、むしろ実質的な電解反応が
生じない低い電位を電極表面に印加することが好まし
い。これは微生物を滅菌する以外のガス発生反応に無駄
な電力を使うことになり不経済であり、かつ発生ガスが
電極表面上を覆ってしまい微生物が電極表面と接触する
効率も低下させ、滅菌効率を悪くすることがあるからで
ある。When the washing wastewater is supplied to the fixed-bed type three-dimensional electrode electrolytic cell, the microorganisms in the washing wastewater come into contact with an anode or a cathode of the electrolytic tank or a dielectric or particles for forming a fixed bed, which will be described later, by liquid flow. Then, it is considered that the surface of the particles undergoes a strong oxidation-reduction reaction or comes into contact with a high-potential electric current, and their activity is weakened or the cells themselves die to be sterilized. Therefore, in the electrochemical removal step of the present invention, it is sufficient that the microorganisms in the washing wastewater come into contact with a voltage-applied electrode, a dielectric, particles for forming a fixed bed, and the like. It is not essential to cause a substantial electrolytic reaction accompanied by generation of gas such as oxygen, but rather it is preferable to apply a low potential to the electrode surface where no substantial electrolytic reaction occurs. This is uneconomical because wasteful electric power is used for gas generation reactions other than sterilizing microorganisms, and the generated gas covers the electrode surface, reducing the efficiency with which microorganisms come into contact with the electrode surface. This is because it may worsen the situation.

【００１１】従って本発明においては、陽極電位及び陰
極電位を、それぞれ＋2.0 Ｖ(vs.SHE)より卑な電位、及
び−2.0 Ｖ(vs.SHE)より貴な電位としてガス発生を伴わ
せながら電気化学的処理を行ってもよいが、印加電位を
陽極電位が実質的な酸素発生を伴わない＋0.2 〜＋1.2
Ｖ(vs.SCE)、陰極電位が実質的に水素発生を伴わない０
〜−1.0 Ｖ(vs.SCE)となるようにすることが望ましい。
つまり洗浄排水は大量に発生するため、本発明方法によ
る洗浄排水処理に必要な電力量は処理コストの大部分を
占めることが多い。電力量は、〔電力〕＝〔電圧〕×
〔電流〕で表され、電流が流れずガスが発生しない場合
には電力量は零であるが、ガス発生が生ずる程度の電流
が流れると処理すべき水量が莫大であるため消費電力量
も莫大になる。処理すべき水量が僅かで流れる電流も僅
かな場合は電圧値の増減はさほど消費電力量には影響し
ないが、本発明のように大量処理の場合には僅かな電圧
降下が大きく消費電力量を減少させる。従って本発明の
電気化学的除去工程においては実質的にガスは発生が生
じない電位を印加することが望ましく、そして実際に効
率良く処理が行われていることを確認することが必要な
場合には僅少量のガスを発生させるために必要な最小限
の電位を印加しながら電気化学的処理を行うことが望ま
しい。Accordingly, in the present invention, the anode potential and the cathode potential are respectively set to a potential lower than +2.0 V (vs. SHE) and a potential nobler than -2.0 V (vs. SHE) to generate gas. The electrochemical treatment may be performed while the anode potential is +0.2 to +1.2 which does not substantially involve oxygen generation.
V (vs. SCE), the cathode potential is 0 without substantial hydrogen generation
It is desirable that the voltage be about -1.0 V (vs. SCE).
That is, since a large amount of washing wastewater is generated, the amount of power required for the washing wastewater treatment by the method of the present invention often accounts for a large part of the treatment cost. The amount of power is [power] = [voltage] ×
It is expressed as [current], and when no current flows and no gas is generated, the amount of power is zero. However, when a current flows to the extent that gas is generated, the amount of water to be treated is enormous and the amount of power consumption is enormous. become. When the amount of water to be treated is small and the current flowing is also small, the increase or decrease of the voltage value does not affect the power consumption much, but in the case of large-volume treatment as in the present invention, the slight voltage drop is large and the power consumption is reduced. Decrease. Therefore, in the electrochemical removal step of the present invention, it is desirable to apply a potential that does not substantially generate gas, and if it is necessary to confirm that the processing is actually being performed efficiently, It is desirable to perform the electrochemical treatment while applying the minimum potential required to generate a small amount of gas.

【００１２】但し印加する陽極電位の値によって洗浄排
水中の有機物を陽極酸化により分解することができる。
従って吸着除去工程における有機物除去では不十分な場
合あるいはイオン交換樹脂の負荷を減少させたい場合に
は、電力消費量低減を犠牲にして＋0.5 〜＋1.5 Ｖ(vs.
SHE)の陽極電位を印加して該電気化学的除去工程で滅菌
と有機物分解を同時に行うことが可能である。前記固定
床型三次元電極電解槽における電極は一般に三次元電極
と給電用電極を含み、該三次元電極は前述の使用する電
解槽に応じた形状を有し、固定床型複極式電解槽を使用
する場合には、前記洗浄排水が透過可能な多孔質材料、
例えば粒状、球状、フェルト状、織布状、多孔質ブロッ
ク状等の形状を有する活性炭、グラファイト、炭素繊維
等の炭素系材料から、あるいは同形状を有するニッケ
ル、銅、ステンレス、鉄、チタン等の金属材料、更にそ
れら金属材料に貴金属のコーティングを施した材料から
形成された複数個の好ましくは粒状、球状、繊維状、フ
ェルト状、織布状、多孔質ブロック状、スポンジ状の誘
電体を電場内に置き、両端に設置した平板状又はエキス
パンドメッシュ状やパーフォレーティッドプレート状等
の多孔板体から成る給電用電極間に直流電圧あるいは交
流電圧を印加して前記誘電体を分極させ該誘電体の一端
及び他端にそれぞれ陽極及び陰極を形成させて成る三次
元電極を収容した固定床型複極式電解槽とすることが可
能であり、この他に単独で陽極としてあるいは陰極とし
て機能する三次元材料を交互に短絡しないように設置し
かつ電気的に接続して固定床型複極式電解槽とすること
ができる。However, the organic substances in the washing wastewater can be decomposed by anodic oxidation depending on the value of the applied anode potential.
Therefore, when the removal of organic substances in the adsorption removal step is insufficient or when it is desired to reduce the load of the ion exchange resin, the power consumption is reduced to +0.5 to +1.5 V (vs.
By applying the anode potential of SHE), sterilization and organic matter decomposition can be performed simultaneously in the electrochemical removal step. The electrodes in the fixed-bed type three-dimensional electrode electrolytic cell generally include a three-dimensional electrode and a power supply electrode, and the three-dimensional electrode has a shape corresponding to the electrolytic cell used as described above, and includes a fixed-bed type bipolar electrode electrolytic cell. When using a porous material through which the washing wastewater can pass,
For example, activated carbon, graphite, carbon fiber and other carbon-based materials having shapes such as granular, spherical, felt, woven, and porous blocks, or nickel, copper, stainless steel, iron, and titanium having the same shape A plurality of preferably granular, spherical, fibrous, felt, woven, porous block, and sponge-like dielectrics formed of a metal material and a material obtained by coating the metal material with a noble metal are applied to an electric field. Placed between the power supply electrodes consisting of a perforated plate such as a flat plate, expanded mesh, or perforated plate disposed at both ends, and applying a DC voltage or an AC voltage to polarize the dielectric, thereby polarizing the dielectric. It is possible to provide a fixed-bed type bipolar electrolytic cell containing a three-dimensional electrode formed by forming an anode and a cathode at one end and the other end, respectively. A three-dimensional material which functions as or cathode as the anode is placed so as not to short-circuit alternately and electrically connected may be a fixed bed multi-pole type electrolytic cell in Germany.

【００１３】前記誘電体として活性炭、グラファイト、
炭素繊維等の炭素系材料を使用しかつ陽極から酸素ガス
を発生させながら洗浄排水を処理する場合には、前記誘
電体が酸素ガスにより酸化され炭酸ガスとして溶解し易
くなる。これを防止するためには前記誘電体の陽分極す
る側にチタン等の基材上に酸化イリジウム、酸化ルテニ
ウム等の白金族金属酸化物を被覆し通常不溶性金属電極
として使用される多孔質材料を接触状態で設置し、酸素
発生が主として該多孔質材料上で生ずるようにすればよ
い。又他のタイプの固定床型複極式電解槽として、例え
ば円筒状の電解槽本体内に給電用陽極及び陰極を設置
し、該給電用両極間に、三次元電極として機能する多数
の導電性固定床形成用粒子と該固定床形成用粒子より少
数の電気絶縁性の合成樹脂等から成る絶縁粒子とをほぼ
均一に混在させた電解槽がある。該電解槽では両給電用
電極間に通電して電位を印加すると、固定床形成用粒子
が前記誘電体と同様に分極しその一端が正に又他端が負
に帯電して各固定床形成用粒子に電位が生じ、各粒子に
洗浄排水中の微生物を滅菌する機能が付与される。なお
前記絶縁粒子は、前記両給電用電極が導電性の前記固定
床形成用粒子により電気的に接続されて短絡することを
防止する機能を有する。As the dielectric, activated carbon, graphite,
When using a carbon-based material such as carbon fiber and treating washing wastewater while generating oxygen gas from the anode, the dielectric is easily oxidized by oxygen gas and easily dissolved as carbon dioxide gas. In order to prevent this, a porous material which is usually used as an insoluble metal electrode by coating a platinum group metal oxide such as iridium oxide or ruthenium oxide on a base material such as titanium on the side where the dielectric material is positively polarized is used. What is necessary is just to install in a contact state, and to generate | occur | produce oxygen mainly on this porous material. Also, as another type of fixed-bed type bipolar electrolytic cell, for example, a power supply anode and a cathode are installed in a cylindrical electrolytic cell body, and a large number of conductive electrodes functioning as three-dimensional electrodes are provided between the power supply electrodes. There is an electrolytic cell in which particles for forming a fixed bed and insulating particles made of a synthetic resin or the like having a smaller number of particles than the particles for forming a fixed bed are almost uniformly mixed. When an electric potential is applied by applying a current between both power supply electrodes in the electrolytic cell, the fixed bed forming particles are polarized in the same manner as the dielectric, and one end thereof is positively charged and the other end is negatively charged to form each fixed bed. A potential is generated in the particles for use, and each particle is given a function of sterilizing microorganisms in the washing wastewater. The insulating particles have a function of preventing the two power supply electrodes from being electrically connected by the conductive fixed bed forming particles to cause a short circuit.

【００１４】又単極式固定床型電解槽を使用する場合に
は、前記した誘電体又は単独で陽極としてあるいは陰極
として機能する三次元材料各１個を隔膜を介してあるい
は介さずに電解槽内に設置するようにする。この電気化
学的除去工程によりイオン交換樹脂の汚染を招き易く更
に洗浄排水中に残留し易い微生物類が死滅する。従って
電気化学的除去工程を経た洗浄排水を吸着除去工程のイ
オン交換樹脂塔等に供給してもイオン交換樹脂の負荷が
増大することが少なく、常にイオン交換樹脂のイオン交
換能を最大限に維持することが可能になる。When a monopolar fixed-bed electrolytic cell is used, the above-mentioned dielectric or one of the three-dimensional materials which independently function as an anode or a cathode can be used with or without a diaphragm. To be installed inside. This electrochemical removal process kills microorganisms that easily cause contamination of the ion exchange resin and that easily remain in the washing wastewater. Therefore, even if the washing wastewater that has undergone the electrochemical removal step is supplied to the ion exchange resin tower or the like in the adsorption removal step, the load on the ion exchange resin is unlikely to increase, and the ion exchange capacity of the ion exchange resin is always maintained to the maximum. It becomes possible to do.

【００１５】更に洗浄排水中には前述の鉛，銅、亜鉛、
錫、アルミニウム等の金属イオンが残留しているが、該
金属イオン中の錫及び銅は前記電解槽内の固定床型三次
元電極の陰極面上に電解析出し洗浄排水から除去され
る。従って電気化学的除去工程より下流側にイオン交換
樹脂による吸着除去工程を設置すると、該イオン交換樹
脂の負荷が低減されるため好都合である。いずれの形態
の電極を使用する場合でも、処理すべき洗浄排水が流れ
る電解槽内に液が電極や誘電体や微粒子に接触せずに流
通できる空隙があると洗浄排水の処理効率が低下するた
め、電極等は電解槽内の洗浄排水の流れがショートパス
しないように配置することが望ましい。Further, the above-mentioned lead, copper, zinc,
Although metal ions such as tin and aluminum remain, tin and copper in the metal ions are electrolytically deposited on the cathode surface of the fixed-bed type three-dimensional electrode in the electrolytic cell and removed from the washing wastewater. Therefore, it is advantageous to provide an adsorption and removal step using an ion exchange resin downstream of the electrochemical removal step because the load on the ion exchange resin is reduced. Regardless of the type of electrode used, if there is a gap through which the liquid can flow without contacting the electrodes, dielectrics, and fine particles in the electrolytic cell through which the washing wastewater to be treated flows, the treatment efficiency of the washing wastewater decreases. , Electrodes and the like are desirably arranged so that the flow of the washing wastewater in the electrolytic cell does not short-circuit.

【００１６】前記電解槽内を隔膜で区画して陽極室と陰
極室を形成しても、隔膜を使用せずにそのまま通電を行
うこともできるが、隔膜を使用せずかつ電極の極間距離
あるいは誘電体と電極、又は誘電体相互の間隔を狭くす
る場合には短絡防止のため電気絶縁性のスペーサとして
例えば有機高分子材料で作製した網状スペーサ等を両極
間あるいは前記誘電体間等に挿入することができる。又
隔膜を使用する場合には流通する洗浄排水の移動を妨害
しないように多孔質例えばその開口率が10％以上95％以
下好ましくは20％以上80％以下のものを使用することが
望ましく、該隔膜は少なくとも前記洗浄排水が透過でき
る程度の孔径の微細孔を有していなければならない。前
記電解槽に供給される洗浄排水の流量は、該洗浄排水が
効率的に電極等の表面と接触できるように規定すればよ
く、完全な層流であると横方向の移動が少なく電極、誘
電体及び微粒子表面との接触が少なくなるため、乱流状
態を形成するようにすることが好ましく、500 以上のレ
イノルズ数を有する乱流とすることが特に好ましい。Even if the anode chamber and the cathode chamber are formed by partitioning the inside of the electrolytic cell with a diaphragm, it is possible to conduct electricity as it is without using the diaphragm, but without using the diaphragm and the distance between the electrodes. Alternatively, when the distance between the dielectric material and the electrode or between the dielectric materials is reduced, a net-like spacer made of an organic polymer material or the like is inserted as an electrically insulating spacer between both electrodes or between the dielectric materials to prevent a short circuit. can do. When a diaphragm is used, it is preferable to use a porous material having an opening ratio of 10% or more and 95% or less, preferably 20% or more and 80% or less so as not to hinder the movement of the washing wastewater flowing therethrough. The diaphragm must have at least micropores of such a size that the washing wastewater can permeate. The flow rate of the washing wastewater supplied to the electrolytic cell may be defined so that the washing wastewater can efficiently contact the surface of an electrode or the like. Since contact with the body and the surface of the fine particles is reduced, a turbulent state is preferably formed, and a turbulent flow having a Reynolds number of 500 or more is particularly preferable.

【００１７】本発明ではプリント基板洗浄排水を電気化
学的除去工程と吸着除去工程を含む循環系を通して処理
し、再度プリント基板洗浄工程に供給するが、前記洗浄
排水中に含まれる微粒子や電気化学的除去工程で滅菌さ
れた微生物の死骸を除去するためにフィルターを設置す
ることが望ましい。なお本発明方法では電気化学的除去
工程と吸着除去工程の他に紫外線照射工程等の他の工程
を併設してもよい。In the present invention, printed circuit board washing wastewater is processed through a circulation system including an electrochemical removal step and an adsorption removal step, and is supplied again to the printed board washing step. It is desirable to install a filter in order to remove dead microorganisms that have been sterilized in the removal step. In the method of the present invention, other steps such as an ultraviolet irradiation step may be provided in addition to the electrochemical removal step and the adsorption removal step.

【００１８】次に添付図面に基づいて本発明方法の概要
及び本発明に使用できる電解槽の好ましい例を説明する
が、本発明方法はこれらに限定されるものではない。図
１は、本発明方法の電解槽として使用可能な固定床型複
極式電解槽の一例を示す概略縦断面図、図２は、図１の
電解槽を電気化学的除去工程に使用した本発明方法のフ
ローシートである。Next, the outline of the method of the present invention and preferred examples of the electrolytic cell that can be used in the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, but the method of the present invention is not limited thereto. FIG. 1 is a schematic vertical sectional view showing an example of a fixed-bed type bipolar electrolytic cell that can be used as an electrolytic cell in the method of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a book using the electrolytic cell of FIG. 1 in an electrochemical removal step. 3 is a flow sheet of the method of the invention.

【００１９】上下にフランジ１を有する円筒形の電解槽
本体２の内部上端近傍及び下端近傍にはそれぞれメッシ
ュ状の給電用陽極３と給電用陰極４が設けられている。
電解槽本体２は、長期間の使用又は再度の使用にも耐え
得る電気絶縁材料で形成することが好ましく、特に合成
樹脂であるポリエピクロルヒドリン、ポリビニルメタク
リレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビ
ニル、ポリ塩化エチレン、フェノール−ホルムアルデヒ
ド樹脂等が好ましく使用できる。正の直流電圧を与える
前記給電用陽極３は、例えば炭素材（例えば活性炭、
炭、コークス、石炭等）、グラファイト材（例えば炭素
繊維、カーボンクロス、グラファイト等）、炭素複合材
（例えば炭素に金属を粉状で混ぜ焼結したもの等）、活
性炭素繊維不織布（例えばＫＥ−1000フェルト、東洋紡
株式会社）、又はこれに白金、白金族金属、パラジウム
やニッケルを担持させた材料、更に寸法安定性電極 (白
金族酸化物被覆チタン材) 、白金被覆チタン材、ニッケ
ル材、ステンレス材、鉄材等から形成される。又給電用
陽極３に対向し負の直流電圧を与える給電用陰極４は、
例えば白金、ステンレス、チタン、ニッケル、銅、ハス
テロイ、グラファイト、炭素材、軟鋼あるいは白金族金
属をコーティングした金属材料等から形成される。A meshed power supply anode 3 and a power supply cathode 4 are provided near the upper end and the lower end of a cylindrical electrolytic cell main body 2 having a flange 1 on the upper and lower sides, respectively.
The electrolytic cell main body 2 is preferably formed of an electric insulating material that can withstand long-term use or re-use. Particularly, synthetic resins such as polyepichlorohydrin, polyvinyl methacrylate, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, and poly (ethylene chloride) are used. And a phenol-formaldehyde resin. The power supply anode 3 for applying a positive DC voltage is, for example, a carbon material (for example, activated carbon,
Charcoal, coke, coal, etc.), graphite material (for example, carbon fiber, carbon cloth, graphite, etc.), carbon composite material (for example, a mixture of carbon and metal in powder form and sintered), activated carbon fiber nonwoven fabric (for example, KE- 1000 felt, Toyobo Co., Ltd.) or a material carrying platinum, platinum group metal, palladium or nickel, and dimensionally stable electrode (platinum group oxide coated titanium material), platinum coated titanium material, nickel material, stainless steel It is formed from materials, iron materials and the like. Further, the power supply cathode 4 which faces the power supply anode 3 and applies a negative DC voltage,
For example, it is formed of platinum, stainless steel, titanium, nickel, copper, hastelloy, graphite, carbon material, mild steel, or a metal material coated with a platinum group metal.

【００２０】前記両給電用電極３、４間には複数個の図
示の例では３個のスポンジ状の固定床電極５が積層さ
れ、かつ該固定床電極５間及び該固定床電極５と前記両
給電用電極３、４間に４枚の多孔質の隔膜あるいはスペ
ーサー６が挟持されている。各固定床電極５は電解槽本
体２の内壁に密着し固定床電極５の内部を通過せず、固
定床電極５と電解槽本体２の側壁との間を流れる処理液
の漏洩流がなるべく少なくなるように配置されている。
隔膜を使用する場合には該隔膜として織布、素焼板、粒
子焼結ブラスチック、多孔板、イオン交換膜等が用いら
れ、スペーサーとして電気絶縁性材料で製作された織
布、多孔板、網、棒状材等が使用される。このような構
成から成る該電解槽本体２個が図２に符号２で示すよう
に、電気化学的除去工程として洗浄排水の不純物除去の
サイクル内に設置されている。A plurality of sponge-like fixed floor electrodes 5 are laminated between the power supply electrodes 3 and 4 in the illustrated example. Four porous diaphragms or spacers 6 are sandwiched between the power supply electrodes 3 and 4. Each fixed bed electrode 5 is in close contact with the inner wall of the electrolytic cell main body 2, does not pass through the inside of the fixed bed electrode 5, and the leakage flow of the processing liquid flowing between the fixed bed electrode 5 and the side wall of the electrolytic cell main body 2 is as small as possible. It is arranged to become.
When a diaphragm is used, a woven fabric, an unglazed plate, a particle sintered plastic, a perforated plate, an ion exchange membrane, or the like is used as the diaphragm, and a woven fabric, a perforated plate, a mesh made of an electrically insulating material is used as a spacer. , A rod-shaped material or the like is used. As shown by reference numeral 2 in FIG. 2, the two electrolytic cell bodies having such a configuration are installed in a cycle of removing impurities from the cleaning wastewater as an electrochemical removal step.

【００２１】図２において、11はプリント基板洗浄シス
テムで、該システム11から排出される洗浄排水は金属イ
オンや有機物を含有し、該洗浄排水は一旦排水貯槽12に
貯留される。該貯槽12を含む系路内は約45℃に維持さ
れ、菌等の微生物が繁殖し易い環境になっている。該貯
槽12内の洗浄排水はポンプにより前述の構成を有する電
解槽本体２に下方から図１に矢印で示すように供給され
る。前記固定床電極５は図１の如く下面が正に上面が負
に分極して固定床電極５内及び固定床電極５間に電位が
生じ、該電解槽内を流通する洗浄排水はこの電位を有す
る固定床電極５に接触してその中に含有される黴や細菌
等の微生物の滅菌及び有機物の分解除去が陽分極側で、
又錫や鉛等の金属イオン等の還元析出が陰分極側で行わ
れて微生物類を殆ど含まず、金属イオン及び有機物の少
なくとも一部が除去された洗浄排水が該電解槽本体２の
上方から取り出される。In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a printed circuit board cleaning system. The cleaning waste water discharged from the system 11 contains metal ions and organic substances, and the cleaning waste water is temporarily stored in a waste water storage tank 12. The inside of the system including the storage tank 12 is maintained at about 45 ° C. to provide an environment where microorganisms such as bacteria can easily propagate. The washing drainage in the storage tank 12 is supplied from below to the electrolytic cell main body 2 having the above-described configuration by a pump as shown by arrows in FIG. As shown in FIG. 1, the fixed bed electrode 5 has a lower surface polarized positively and an upper surface polarized negatively, so that a potential is generated in the fixed bed electrode 5 and between the fixed bed electrodes 5, and the washing wastewater flowing in the electrolytic cell has this potential. Sterilization of microorganisms such as molds and bacteria contained therein and decomposition and removal of organic substances by contact with the fixed bed electrode 5 having
In addition, reduction precipitation of metal ions such as tin and lead is performed on the negatively polarized side and contains almost no microorganisms, and washing wastewater from which at least a part of metal ions and organic substances has been removed is discharged from above the electrolytic cell main body 2. Taken out.

【００２２】この洗浄排水は次いで第１フィルター13に
下方から供給され、該洗浄排水は該フィルター13を通過
する間に当初から含まれる微粒子や微生物の死骸等が除
去され清澄な洗浄排水（処理水）として上方から取り出
される。この処理水は次いで活性炭充填塔（吸着除去工
程）14内に下方から供給され、該充填塔14内の活性炭と
接触して残存する有機物等の吸着除去が行われ、該処理
水は該充填塔14の上方から取り出される。この処理水は
次いでイオン交換樹脂充填塔（吸着除去工程）15内に下
方から供給され、該充填塔15内のイオン交換樹脂と接触
して残存する金属イオン、有機酸の吸着除去が行われ、
該処理水は該充填塔15の上方から取り出される。この充
填塔15内にはアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の両
者の混合樹脂を充填することが望ましい。取り出された
処理水は次いで洗浄排水貯槽12と第１フィルター13間に
設置された電解槽本体と同一の電解槽本体２に下方から
供給され、前記吸着除去工程（活性炭充填塔14及びイオ
ン交換樹脂充填塔15）で除去できなかった金属イオンや
有機物を吸着又は分解により除去して更に純度の高い処
理水として該電解槽本体２の上方から取り出される。こ
の処理水は第２フィルター16及び流量計17を通って前記
プリント基板洗浄システム11に循環され再使用される。
なお図２には電解槽本体を２個示したが１個又は３個以
上でもよく、又設置箇所も図示の位置には限定されな
い。The washing wastewater is then supplied to the first filter 13 from below. The washing wastewater passes through the filter 13 and removes fine particles and dead microorganisms originally contained therein. ) Is taken out from above. The treated water is then supplied from below into an activated carbon packed tower (adsorption removing step) 14, where the treated water is brought into contact with the activated carbon in the packed tower 14 to remove remaining organic substances by adsorption. Removed from above 14 This treated water is then supplied from below into an ion-exchange resin packed tower (adsorption removal step) 15, where the metal ions and organic acids remaining in contact with the ion-exchange resin in the packed tower 15 are removed by adsorption,
The treated water is taken out from above the packed tower 15. It is desirable to fill the packed tower 15 with a mixed resin of both an anion exchange resin and a cation exchange resin. The extracted treated water is then supplied from below to the same electrolytic cell main body 2 as the electrolytic cell main body provided between the washing drainage storage tank 12 and the first filter 13, and subjected to the adsorption and removal step (the activated carbon packed tower 14 and the ion exchange resin). Metal ions and organic substances that could not be removed in the packed tower 15) are removed by adsorption or decomposition, and are taken out from above the electrolytic cell main body 2 as treated water of higher purity. The treated water is circulated through the second filter 16 and the flow meter 17 to the printed circuit board cleaning system 11 and reused.
Although two electrolytic cell bodies are shown in FIG. 2, one or three or more electrolytic cell bodies may be provided, and the installation location is not limited to the illustrated position.

【００２３】図３は、本発明方法に使用できる複極型固
定床式電解槽の他の例を示すものである。上下にフラン
ジ21を有する円筒形の電解槽本体22の内部上端近傍及び
下端近傍にはそれぞれメッシュ状の給電用陽極23と給電
用陰極24が設けられている。電解槽本体22は、長期間の
使用又は再度の使用にも耐え得る電気絶縁材料特に合成
樹脂で形成することが好ましい。FIG. 3 shows another example of a bipolar-type fixed-bed electrolytic cell which can be used in the method of the present invention. A mesh-shaped power supply anode 23 and a power supply cathode 24 are provided near the upper end and the lower end of a cylindrical electrolytic cell main body 22 having upper and lower flanges 21, respectively. The electrolytic cell main body 22 is preferably formed of an electrically insulating material that can withstand long-term use or re-use, especially a synthetic resin.

【００２４】前記両給電用電極23、24間には、導電性材
料例えば炭素系材料で形成された多数の固定床形成用粒
子25と該固定床形成用粒子25より少数の例えば合成樹脂
製の絶縁粒子26とがほぼ均一に混在している。該絶縁粒
子26は、前記給電用陽極23及び給電用陰極24が完全に短
絡することを防止する機能を有している。このような構
成から成る電解槽本体に下方から矢印で示すように洗浄
排水を供給しながら通電を行うと、前記各固定床形成用
粒子25が給電用陽極23側が負に又給電用陰極24側が正に
分極して表面積が莫大な三次元電極として機能し、図１
の電解槽と同様にして前記洗浄排水の滅菌等が行われ
る。A large number of fixed bed forming particles 25 formed of a conductive material such as a carbon-based material and a smaller number of the fixed bed forming particles 25 such as a synthetic resin The insulating particles 26 are almost uniformly mixed. The insulating particles 26 have a function of preventing the power supply anode 23 and the power supply cathode 24 from being completely short-circuited. When electricity is supplied to the electrolytic cell main body having such a configuration while supplying washing wastewater from below as shown by an arrow, the fixed bed forming particles 25 are negative on the power supply anode 23 side and on the power supply cathode 24 side. It functions as a three-dimensional electrode that is positively polarized and has a huge surface area.
In the same manner as in the electrolyzer, sterilization of the washing drainage is performed.

【００２５】図４は、本発明に使用できる単極型固定床
式電解槽を例示するものである。上下にフランジ31を有
する円筒形の電解槽本体32の内部上端近傍及び下端近傍
にはそれぞれメッシュ状の給電用陽極33と給電用陰極34
が設けられている。電解槽本体32は、長期間の使用又は
再度の使用にも耐え得る電気絶縁材料特に合成樹脂で形
成することが好ましい。前記両給電用電極33、34間に
は、隔膜36を挟んで導電性材料例えば炭素繊維をフェル
ト状に成形した１対の固定床35が陽極室内及び陰極室内
に充填され、前記陽極室内及び陰極室内のフェルト状炭
素繊維はそれぞれ前記給電用陽極33と給電用陰極34に電
気的に接続され、陽極室内の固定床は正に陰極室内の固
定床は負に帯電されている。この電解槽に下方から矢印
で示すように原水を供給しながら通電を行うと、図１及
び図３の場合と同様に固定床35が表面積が莫大な三次元
電極として機能して洗浄排水中の黴や細菌等の微生物の
滅菌等が行われる。FIG. 4 illustrates a monopolar fixed-bed electrolytic cell that can be used in the present invention. In the vicinity of the upper end and the lower end of a cylindrical electrolytic cell body 32 having upper and lower flanges 31, a mesh-shaped power supply anode 33 and a power supply cathode 34 are provided, respectively.
Is provided. The electrolytic cell main body 32 is preferably formed of an electrically insulating material that can withstand long-term use or re-use, especially a synthetic resin. A pair of fixed floors 35 made of a conductive material such as carbon fiber in a felt shape with a diaphragm 36 interposed therebetween is filled in the anode chamber and the cathode chamber between the power supply electrodes 33 and 34, and the anode chamber and the cathode The felt-like carbon fibers in the room are electrically connected to the power supply anode 33 and the power supply cathode 34, respectively, and the fixed floor in the anode room is positively charged and the fixed floor in the cathode room is negatively charged. When electricity is supplied to this electrolytic cell while supplying raw water as indicated by an arrow from below, the fixed bed 35 functions as a three-dimensional electrode having an enormous surface area as in the case of FIGS. Sterilization of microorganisms such as molds and bacteria is performed.

【００２６】[0026]

【実施例】以下に本発明方法によるプリント基板洗浄排
水からの不純物除去の実施例を記載するが、該実施例は
本発明方法を限定するものではない。EXAMPLES Examples of removing impurities from printed circuit board cleaning wastewater by the method of the present invention will be described below, but the examples do not limit the method of the present invention.

【実施例１】図１に示した電解槽本体２個を、フィルタ
ー、活性炭充填塔、イオン交換樹脂充填塔とともに図２
に示すように接続して洗浄排水中の不純物除去サイクル
を構成した。EXAMPLE 1 Two electrolytic cell bodies shown in FIG. 1 were combined with a filter, an activated carbon packed tower and an ion exchange resin packed tower in FIG.
As shown in the figure, a cycle for removing impurities in the washing wastewater was constituted.

【００２７】前記電解槽本体は、塩化ビニル樹脂製の高
さ 100ｍｍ、内径50ｍｍのフランジ付円筒形であり、該
円筒体の内部に開孔率60％の炭素繊維から成る直径50ｍ
ｍ、厚さ10ｍｍの固定床３個を、開口率85％で直径50ｍ
ｍ及び厚さ 1.5ｍｍのポリエチレン樹脂製隔膜４枚で挟
み込み、上下両端の隔膜にそれぞれ白金をその表面にメ
ッキしたチタン製である直径48ｍｍ厚さ 1.0ｍｍのメッ
シュ状給電用陽極及び給電用陰極を接触させて設置し
た。固定床電極１個当たりの電圧を6.5 Ｖ、実効電流密
度（真の固定床電流の表面積値から算出）0.5 Ａ／ｄｍ
² となるよう通電を行った。２個のフィルターは通常の
市販されている10インチ型カートリッジフィルターを使
用し、その濾過エレメントの開孔径は10μｍのものを使
用した。活性炭充填塔は、高さ1200ｍｍ、内径100 ｍｍ
の円筒形容器に武田薬品株式会社製の活性炭を充填して
構成した。The electrolytic cell main body is made of a vinyl chloride resin and has a cylindrical shape with a flange of 100 mm in height and 50 mm in inner diameter, and has a diameter of 50 m made of carbon fiber having a porosity of 60% inside the cylindrical body.
m, 3 fixed floors 10mm thick, 50% diameter with 85% aperture ratio
m and a 1.5 mm-thick polyethylene resin membrane, sandwiched between four upper and lower diaphragms, each of which is made of titanium plated with platinum on its surface. It was installed in contact. The voltage per fixed bed electrode is 6.5 V, and the effective current density (calculated from the surface area of the true fixed bed current) is 0.5 A / dm.
Energization was performed so as to be ² . As the two filters, a common commercially available 10-inch type cartridge filter was used, and the filter element having an opening diameter of 10 μm was used. The activated carbon packed tower has a height of 1200 mm and an inner diameter of 100 mm
Was filled with activated carbon manufactured by Takeda Pharmaceutical Co., Ltd.

【００２８】前記イオン交換塔は塩化ビニル製の高さ50
0 ｍｍ、内径50ｍｍの円筒体とし、該イオン交換塔内に
粒径0.45〜0.60ｍｍの水素型の陽イオン交換樹脂アンバ
ーライトＩＲ−120 Ｂ（商品名）約400 ｇと水酸基型の
陰イオン交換樹脂アンバーライトＩＲＡ−410 （商品
名）約400 ｇを混合床として収容した。プリント基板洗
浄システムからの洗浄排水を貯留した貯槽内の該洗浄排
水中の不純物含有量は、微生物数20000 個／ミリリット
ル、全金属イオン濃度2.3 ｐｐｍ及びＴＯＣ（全有機炭
素）24ｍｇ／リットルであった。前記貯槽内の洗浄排水
を1.2 リットル／分の速度で電解槽本体、フィルター及
び充填塔を通し循環させた。貯槽内の洗浄排水中の各不
純物量、貯槽の下流の電解槽本体（第１電解槽）通過後
の洗浄排水（処理水）中の各不純物量及びイオン交換樹
脂充填塔の下流の電解槽本体（第２電解槽）通過後の各
不純物量を表１に纏めた。The ion exchange column is made of vinyl chloride and has a height of 50.
Approximately 400 g of a hydrogen-type cation exchange resin Amberlite IR-120B (trade name) having a particle size of 0.45 to 0.60 mm and a hydroxyl-type anion-exchange resin in a cylindrical body having a diameter of 0 mm and an inner diameter of 50 mm. About 400 g of Resin Amberlite IRA-410 (trade name) was stored as a mixed bed. The impurities contained in the washing wastewater in the storage tank storing the washing wastewater from the printed circuit board washing system were 20,000 microorganisms / ml, total metal ion concentration 2.3 ppm, and TOC (total organic carbon) 24 mg / liter. . The washing wastewater in the storage tank was circulated at a rate of 1.2 liter / min through the electrolytic cell body, the filter and the packed tower. The amount of each impurity in the cleaning wastewater in the storage tank, the amount of each impurity in the cleaning wastewater (treated water) after passing through the electrolytic cell body (first electrolytic tank) downstream of the storage tank, and the electrolytic cell body downstream of the ion exchange resin packed tower (Second electrolytic cell) The amounts of the respective impurities after passing through are summarized in Table 1.

【００２９】[0029]

【表１】 [Table 1]

【００３０】表１から微生物は第１電解槽通過後にはほ
ぼ零になり、金属イオンはかなり減少しＴＯＣは若干減
少することが判る。そして第２電解槽通過後の洗浄排水
（処理水）中の不純物含有量は実質的に零になっている
ことが判る。From Table 1, it can be seen that the microorganisms become almost zero after passing through the first electrolytic cell, the metal ions are considerably reduced, and the TOC is slightly reduced. And it turns out that the impurity content in the washing wastewater (processed water) after passing through the second electrolytic cell is substantially zero.

【００３１】[0031]

【比較例１】実施例１の第１電解槽及び第２電解槽の代
わりに第２電解槽の位置に紫外線照射装置を設置し、約
250 〜260 ｎｍの主波長を有する紫外線を25000 μＷ・
Ｓ／ｃｍ² の強度で洗浄排水（処理水）に照射したこと
以外は実施例１と同一条件で洗浄排水中の不純物除去を
行った。貯槽内の洗浄排水中の各不純物量、紫外線照射
装置通過後の洗浄排水（処理水）中の各不純物量を表２
に纏めた。Comparative Example 1 An ultraviolet irradiation device was installed at the position of the second electrolytic cell instead of the first electrolytic cell and the second electrolytic cell of Example 1,
UV light having a dominant wavelength of 250 to 260 nm
The impurities in the washing wastewater were removed under the same conditions as in Example 1 except that the washing wastewater (treated water) was irradiated with an intensity of S / cm ² . Table 2 shows the amount of each impurity in the cleaning wastewater in the storage tank and the amount of each impurity in the cleaning wastewater (treated water) after passing through the ultraviolet irradiation device.
I put together.

【００３２】[0032]

【表２】 [Table 2]

【００３３】表２から紫外線照射工程と吸着除去工程と
の組み合わせでは微生物以外はあまり除去できず、金属
イオン濃度及びＴＯＣも実施例１の場合より大きくなっ
ていることが判り、電気化学的除去工程と吸着除去工程
を併用すると紫外線照射と吸着除去工程の組み合わせよ
り、効率良く洗浄排水中の各種不純物を除去できること
が判る。It can be seen from Table 2 that the combination of the ultraviolet irradiation step and the adsorption removal step does not remove much other than microorganisms, and that the metal ion concentration and the TOC are higher than those in Example 1. It can be seen that the combination of the UV irradiation and the adsorption removal step can efficiently remove various impurities in the washing wastewater by using the combination of the UV irradiation and the adsorption removal step.

【００３４】[0034]

【発明の効果】本発明方法は、プリント基板洗浄排水中
の不純物除去方法において、該不純物の活性炭及び／又
はイオン交換樹脂吸着除去工程と固定床型三次元電極を
使用する電気化学的除去工程を含んで成ることを特徴と
する不純物除去方法である（請求項１）。プリント基板
洗浄排水中には、金属イオンや有機物等が含有されかつ
菌や黴等の微生物が繁殖している。これらの不純物を含
む洗浄排水をそのままプリント基板洗浄用として再使用
すると、該不純物がプリント基板上に付着する等の不都
合が生ずる。従来の薬剤添加法や紫外線照射法と吸着除
去工程を併用する方法では薬剤の残留、不純物除去の不
完全性等の問題点があった。According to the method of the present invention, there is provided a method for removing impurities in printed circuit board washing waste water, comprising the steps of removing the impurities by activated carbon and / or ion exchange resin and electrochemically using a fixed-bed type three-dimensional electrode. An impurity removing method characterized by comprising (claim 1). The printed circuit board washing wastewater contains metal ions, organic substances, and the like, and microorganisms such as bacteria and fungi are proliferating. If the cleaning wastewater containing these impurities is reused as it is for cleaning the printed circuit board, the impurities may adhere to the printed circuit board. The conventional method of adding a drug or the method of using an ultraviolet irradiation method in combination with the adsorption and removal step has problems such as residual medicine and incomplete removal of impurities.

【００３５】本発明方法では電気化学的除去工程を従来
の吸着除去工程と組み合わせることにより、洗浄排水中
の前記不純物除去をほぼ完全に行い得るようにしてい
る。本発明の電気化学的除去工程では固定床型三次元電
極を使用し、該固定床型三次元電極は洗浄排水中の微生
物と広い表面積で接触して該微生物に電位を加えて滅菌
し、金属イオンをその表面に還元的に吸着させて除去
し、更にある種の有機物を酸化又は還元的に分解して除
去できる。従って該電気化学的除去工程は、洗浄排水中
の主要不純物である微生物、金属イオン及び有機物全て
に対して作用し、吸着除去工程と組み合わせることによ
り前記不純物含有量をほぼ零にして、清澄な処理水とし
て回収しプリント基板洗浄工程に循環し再使用すること
を可能にしている（請求項３）。In the method of the present invention, the electrochemical removal step is combined with the conventional adsorption removal step so that the impurities in the cleaning wastewater can be almost completely removed. In the electrochemical removal step of the present invention, a fixed-bed type three-dimensional electrode is used, and the fixed-bed type three-dimensional electrode is brought into contact with microorganisms in the washing wastewater over a large surface area to sterilize the microorganisms by applying an electric potential to the microorganisms. Ions can be removed by reductively adsorbing them on the surface, and certain organic substances can be removed by oxidative or reductive decomposition. Therefore, the electrochemical removal step acts on all microorganisms, metal ions, and organic substances, which are main impurities in the washing wastewater, and reduces the impurity content to almost zero by combining with the adsorption removal step, thereby achieving a clear treatment. Water is recovered, circulated to the printed circuit board cleaning step, and can be reused (claim 3).

【００３６】更に本発明では薬剤を使用しないため経済
的であり又薬剤の後処理の必要もなく、特に微生物滅菌
効率が紫外線照射の場合よりかなり高く、非常に有効な
洗浄排水中の不純物除去方法である。そして吸着除去工
程の上流側に電気化学的除去工程を設置すると（請求項
２）、該電気化学的除去工程で洗浄排水中の金属イオン
や有機物等の少なくとも一部が除去されるため、前記吸
着除去工程のイオン交換樹脂や活性炭の負荷が減少し、
これらの汚染を最小限に抑えることができる。Further, the present invention is economical because no chemical is used, and does not require post-treatment of the chemical. In particular, the efficiency of sterilizing microorganisms is considerably higher than in the case of ultraviolet irradiation, and a very effective method for removing impurities from washing wastewater. It is. If an electrochemical removal step is provided upstream of the adsorption removal step (claim 2), the electrochemical removal step removes at least a portion of metal ions, organic substances, and the like in the washing wastewater. Load of ion exchange resin and activated carbon in the removal process is reduced,
These contaminations can be minimized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明方法の電解槽として使用可能な固定床型
複極式電解槽の一例を示す概略縦断面図。FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing an example of a fixed bed type bipolar electrolytic cell that can be used as an electrolytic cell in the method of the present invention.

【図２】図１の電解槽を、フィルター、活性炭充填塔及
びイオン交換樹脂充填塔と組み合わせて構成した不純物
除去サイクルのフローチャート。FIG. 2 is a flowchart of an impurity removal cycle in which the electrolytic cell of FIG. 1 is combined with a filter, an activated carbon packed tower, and an ion exchange resin packed tower.

【図３】本発明方法に使用できる複極型固定床式電解槽
の他の例を示す概略縦断面図。FIG. 3 is a schematic vertical sectional view showing another example of a bipolar fixed-bed electrolytic cell that can be used in the method of the present invention.

【図４】本発明に使用できる単極型固定床式電解槽を例
示する概略縦断面図。FIG. 4 is a schematic longitudinal sectional view illustrating a monopolar fixed bed electrolytic cell that can be used in the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・フランジ ２・・・電解槽本体 ３、４・・・
給電用電極ターミナル ５・・・固定床 ６・・・スペーサー 11・・・プリン
ト基板洗浄システム 12・・・貯槽 13・・・第１フィルター 14・・・活性
炭充填塔 15・・・イオン交換樹脂充填塔 16・・・第
２フィルター 17・・・流量計1 ... flange 2 ... electrolytic cell body 3, 4 ...
Electrode terminal for power supply 5 ・ ・ ・ Fixed bed 6 ・ ・ ・ Spacer 11 ・ ・ ・ Printed circuit board cleaning system 12 ・ ・ ・ Storage tank 13 ・ ・ ・ First filter 14 ・ ・ ・ Activated carbon filling tower 15 ・ ・ ・ Ion exchange resin filling Tower 16 ・ ・ ・ Second filter 17 ・ ・ ・ Flow meter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０２ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０３Ｇ ５０３ ５０４Ｅ ５０４ Ｈ０５Ｋ 3/26 Ｄ Ｈ０５Ｋ 3/26 Ｃ０２Ｆ 1/32 // Ｃ０２Ｆ 1/32 1/46 １０１Ｚ (72)発明者 橋本 浩幸 東京都日野市さくら町１番地コニカ株式 会社内 (72)発明者 高橋 剛 東京都日野市さくら町１番地コニカ株式 会社内 (56)参考文献 特開 平３−224685（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−224681（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−306242（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−33469（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−309362（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−13936（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−62794（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−48997（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−128584（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) C02F 1/28 C02F 1/46 - 1/48 C02F 1/42 H05K 3/26 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page continued (51) Int.Cl. ⁶ identifications FI C02F 9/00 502 C02F 9/00 503G 503 504E 504 H05K 3/26 D H05K 3/26 C02F 1/32 // C02F 1/32 1/46 101Z (72) Inventor Hiroyuki Hashimoto 1st Konica Corporation, Sakura-cho, Hino-shi, Tokyo (72) Inventor Tsuyoshi Takahashi 1st Konica Corporation, Sakura-cho, Hino-shi, Tokyo (56) References JP JP-A-3-224681 (JP, A) JP-A-3-224681 (JP, A) JP-A-2-306242 (JP, A) JP-A-49-33469 (JP, A) JP-A-5-309362 (JP, A A) JP-A-5-13936 (JP, A) JP-A-55-62794 (JP, A) JP-A-55-48997 (JP, A) JP-A-53-128584 (JP, A) (58) Survey the field (Int.Cl. ^6, DB ) C02F 1/28 C02F 1/46 - 1/48 C02F 1/42 H05K 3/26

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 プリント基板洗浄排水中の不純物除去方
法において、該不純物の活性炭及び／又はイオン交換樹
脂吸着除去工程と固定床型三次元電極を使用する電気化
学的除去工程を含んで成ることを特徴とする不純物除去
方法。1. A method for removing impurities in printed circuit board cleaning wastewater, comprising the steps of removing activated carbon and / or ion-exchange resin by adsorption of the impurities and electrochemically removing the impurities using a fixed-bed type three-dimensional electrode. Characteristic impurity removal method. 【請求項２】 吸着除去工程の上流側に電気化学的除去
工程を設置した請求項１に記載の方法。2. The method according to claim 1, wherein an electrochemical removal step is provided upstream of the adsorption removal step. 【請求項３】 プリント基板洗浄排水を、活性炭及び／
又はイオン交換樹脂吸着除去工程と固定床型三次元電極
を使用する電気化学的除去工程を通して処理して前記プ
リント基板洗浄排水中の不純物を除去して回収し、該回
収水をプリント基板洗浄水として循環使用することを特
徴とするプリント基板洗浄排水の回収方法。3. The method according to claim 1, wherein the wastewater for cleaning the printed circuit board is activated carbon and / or
Alternatively, treatment is performed through an ion-exchange resin adsorption removal step and an electrochemical removal step using a fixed-bed type three-dimensional electrode to remove and recover impurities in the printed circuit board washing wastewater, and the recovered water is used as printed board washing water. A method for recovering wastewater from washing printed circuit boards, wherein the wastewater is recycled.