JP2915402B1 - 配管部材のセンタリング装置 - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 外輪の外周つまり筒状部の外周にヒータを取
り付け、このヒータにより、ゴム質弾性体製のＯリング
によつて熱的隔離状態にある内輪を昇温させるようにな
るので、内輪の内周面を能率的に昇温させることができ
ず、異物の付着を効果的に防止することができない。 【解決手段】 各配管部材１，２のフランジ部１ｂ，２
ｂの突き合わせ端面のそれぞれに環状に形成されるリン
グ収容空間１ｃ，２ｃと、リング収容空間１ｃ，２ｃの
それぞれに一部を受け入れて取付けられるシールリング
３と、内部空間４ａを有し、外周部両側に突出する筒状
部４ｂ，４ｃによつて両フランジ部１ｂ，２ｂの外周面
を支持するセンタリング本体４と、該本体４の内部空間
４ａに収容されるヒータ５とを備え、センタリング本体
４の両側面が各フランジ部１ｂ，２ｂから若干突出する
シールリング１３にそれぞれ弾性的に密着し、気密が保
持される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、配管部材の突き合
わせ端部の芯合わせ及び気密保持を行うためのセンタリ
ング装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及びその課題】従来のこの種のセンタリン
グ装置として、例えば図８，図９に示すものが知られて
いる。このセンタリング装置は、一対の配管部材１０，
１１を芯合わせし、かつ、気密を保持して接続するため
の器具であり、図９に示すように内輪５０と、外輪５１
と、内・外輪５０，５１間に介装するＯリング５２とを
有している。外輪５１の外周部両側には、薄い筒状部５
１ａ，５１ｂがそれぞれ突設されている。この内輪５０
及び外輪５１の中心軸線方向の幅Ｌ₁ は、同一に設定さ
れている。一方、一対の配管部材１０，１１の端部に
は、それぞれフランジ部１０ａ，１１ａが固着されてい
る。

【０００３】この両フランジ部１０ａ，１１ａの間に、
Ｏリング５２を装着した内・外輪５０，５１を挟装さ
せ、筒状部５１ａ，５１ｂによつて両側のフランジ部１
０ａ，１１ａの外周面を支持させる。この状態で、一対
の配管部材１０，１１のフランジ部１０ａ，１１ａを、
フランジ用クランプ装置のブロック６０によつて締め付
け、Ｏリング５２を挟圧させ、内・外輪５０，５１間に
配置したＯリング５２を、一対のフランジ部１０ａ，１
１ａに弾性的に強く密着させる。ブロック６０は、周方
向の所定間隔で複数個備わつており、縮径しながら一対
のフランジ部１０ａ，１１ａを締め付ける。これによ
り、一対の配管部材１０，１１の突き合わせ端部が、芯
合わせされ、かつ、気密を保持して接続される。

【０００４】そして、配管部材１０，１１の外周には配
管用ヒータ６２，６３が取り付けてあると共に、筒状部
５１ａ，５１ｂの外周にも、テープ状のヒータ６１が取
り付けてある。ヒータ６１は、内・外輪５０，５１を加
熱し、内輪５０の内周面に異物が付着することを防止す
る機能を有している。例えば、半導体製造装置におい
て、近時、ジクロルシランとアンモニアとの混合ガスを
流し、シリコンウエハー上にシリコン窒化膜（Ｓｉ₃ Ｎ
₄ ）を形成するようになり、継合させた配管部材１０，
１１又は内輪５０の内面が温度低下（約１００℃未満）
すると塩化アンモニウム（ＮＨ₄ Ｃｌ）が付着し、内部
を流れるガスに流動抵抗を生ずるようになる。このた
め、配管部材１０，１１を配管用ヒータ６２，６３によ
つて加熱するのみならず、筒状部５１ａ，５１ｂをヒー
タ６１によつて１２０〜１５０℃に加熱し、内面温度を
所定以上（約１００℃以上）に維持している。

【０００５】ところで、フランジ用クランプ装置は、例
えば実公平７−２５５０８号公報に記載されるように、
サポートブロック、結合ブロック及び被結合ブロック
が、ピンによつて揺動自在に結合されるリンク部材を介
して所定間隔で配置され、端部に位置する結合ブロック
と被結合ブロックとが、結合ブロックに回転自在に支持
され、基端部にノブ部を有する雄ねじ部材の雄ねじ部を
被結合ブロックの雌ねじ部に螺合させることによつて締
め付け結合され、無端環状に配置された各ブロック６０
の内側面によつて突き合わせたフランジ部１０ａ，１１
ａをクランプする。

【０００６】しかしながら、このような従来の配管部材
のセンタリング装置にあつては、外輪５１の外周つまり
筒状部５１ａ，５１ｂの外周にヒータ６１を取り付け、
このヒータ６１により、ゴム質弾性体製のＯリング５２
によつて熱的隔離状態にある内輪５０を昇温させるよう
になるので、内輪５０の内周面を能率的に昇温（１００
℃程度）させることができず、図８に符号Ｎにて示すよ
うに異物が付着することを効果的に防止することができ
ないという技術的課題を有している。

【０００７】これは、センタリング装置の内輪５０及び
外輪５１の中心軸線方向の幅Ｌ₁ が同一に設定され、内
輪５０及び外輪５１の両側面は、Ｏリング５２の弾性力
によつて配管部材１０，１１の各フランジ部１０ａ，１
１ａとの密着が阻止され、僅かの隙間（０．１ｍｍ程
度）が形成され、この隙間に起因して、各フランジ部１
０ａ，１１ａから内輪５０への熱伝導が抑制されている
ためである。すなわち、配管用ヒータ６２，６３によつ
てフランジ部１０ａ，１１ａは加熱されるが、各フラン
ジ部１０ａ，１１ａと内輪５０及び外輪５１の両側面と
の隙間により、内輪５０及び外輪５１の昇温は、ほとん
ど期待できない。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような従
来の技術的課題に鑑みてなされたものであり、その構成
は次の通りである。請求項１の発明は、一対の配管部材
１，２のフランジ部１ｂ，２ｂの突き合わせ端面の間に
環状に介装され、シールリングにより、各フランジ部１
ｂ，２ｂとの間を気密に封止する配管部材のセンタリン
グ装置において、各配管部材１，２のフランジ部１ｂ，
２ｂの突き合わせ端面のそれぞれに環状に形成されるリ
ング収容空間１ｃ，２ｃと、該リング収容空間１ｃ，２
ｃのそれぞれに一部を受け入れて取付けられるシールリ
ング３と、内部空間４ａを有し、外周部両側に突出する
筒状部４ｂ，４ｃによつて両フランジ部１ｂ，２ｂの外
周面を支持するセンタリング本体４と、該本体４の内部
空間４ａに収容されるヒータ５とを備え、センタリング
本体４の両側面が各フランジ部１ｂ，２ｂから若干突出
するシールリング３にそれぞれ弾性的に密着し、気密が
保持されることを特徴とする配管部材のセンタリング装
置である。請求項２の発明は、センタリング本体４がＵ
字状断面をなし、該本体４の外周両側部にそれぞれ筒状
部４ｂ，４ｃが形成されていることを特徴とする請求項
１の配管部材のセンタリング装置である。請求項３の発
明は、一対の配管部材１，２のフランジ部１ｂ，２ｂの
突き合わせ端面の間に環状に介装され、シールリングに
より、各フランジ部１ｂ，２ｂとの間を気密に封止する
配管部材のセンタリング装置において、中実状をなし、
両側面にそれぞれ独立して環状に形成されるリング収容
空間１４ｄ，１４ｅを有すると共に、外周部両側に突出
する筒状部１４ｂ，１４ｃによつて両フランジ部１ｂ，
２ｂの外周面を支持するセンタリング本体１４と、該リ
ング収容空間１４ｄ，１４ｅのそれぞれに一部を受け入
れて取付けられるシールリング１３と、筒状部１４ｂ，
１４ｃの外周面に装備されるヒータ１５とを備え、セン
タリング本体１４の両側面から若干突出する各シールリ
ング１３が各フランジ部１ｂ，２ｂの端面に弾性的に密
着し、気密が保持されることを特徴とする配管部材のセ
ンタリング装置である。請求項４の発明は、配管用ヒー
タ６２，６３を備える一対の配管部材１，２のフランジ
部１ｂ，２ｂの突き合わせ端面の間に環状に介装され、
シールリングにより、各フランジ部１ｂ，２ｂとの間を
気密に封止する配管部材のセンタリング装置において、
内輪５０と、外周部両側に突出する筒状部５１ａ，５１
ｂによつて両フランジ部１ｂ，２ｂの外周面を支持する
外輪５１と、内・外輪５０，５１間に介装するシールリ
ング５２とを有し、内輪５０の中心軸線方向の厚さを
Ａ、外輪５１の中心軸線方向の厚さをＢ、シールリング
５２の取付け自由状態での中心軸線方向の厚さをＣとし
て、Ｃ＞Ａ＞Ｂに設定され、内輪５０が各フランジ部１
ｂ，２ｂの端面に密着した状態で、外輪５１の両側面か
ら若干突出するシールリング５２が各フランジ部１ｂ，
２ｂの端面に弾性的に密着し、気密が保持されることを
特徴とする配管部材のセンタリング装置である。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１〜図３は配管部材のセ
ンタリング装置の第１実施の形態を示す。図中において
符号１，２はそれぞれ配管部材を示し、配管部材１，２
は、筒状部材１ａ，２ａの端部にそれぞれ突き合わせ用
の金属製のフランジ部１ｂ，２ｂを溶接によつて固着さ
せてある。このフランジ部１ｂ，２ｂの突き合わせ端面
には、それぞれリング収容空間１ｃ，２ｃが環状に形成
されている。リング収容空間１ｃ，２ｃは、フランジ部
１ｂ，２ｂの突き合わせ端面にシールリングであるＯリ
ング３の直径よりも若干小さい幅で環状に開口し、ゴム
質弾性体製のＯリング３の大部分を可及的緊密に受け入
れる大きさを有している。筒状部材１ａ，２ａの外周に
は、配管用ヒータ６２，６３がそれぞれ取り付けてあ
る。

【００１０】一方、センタリング装置は、Ｕ字状断面を
なして内部空間４ａを有し、全体が環状をなす金属製の
センタリング本体４と、該本体４の外周部両側に形成し
た筒状部４ｂ，４ｃとを有する。該本体４の内径は、筒
状部材１ａ，２ａ及びフランジ部１ｂ，２ｂの内径とほ
ぼ合致している。このセンタリング本体４の内部空間４
ａには、ひも状のヒータ５を巻き付けて収容し、ヒータ
５のリード線は適宜の電源（図示せず）に接続してあ
る。４ｄは、ヒータ５のリード線を通すための切欠部で
ある。

【００１１】このようなセンタリング装置は、一対の配
管部材１，２のフランジ部１ｂ，２ｂの間にセンタリン
グ本体４を挟み、筒状部４ｂ，４ｃの内側にフランジ部
１ｂ，２ｂの外周を受け入れさせ、一対の配管部材１，
２の芯合わせを行う。そして、一対のフランジ部１ｂ，
２ｂをフランジ用クランプ装置のブロック６０によつて
挟圧し、継合させる。この状態で、各Ｏリング３がセン
タリング本体４の両側面に弾性的に密着し、気密が維持
される。また、ヒータ５のリード線は、周方向に隣接す
るフランジ用クランプ装置のブロック６０の間から外部
に引き出し、電源（図示せず）に接続する。

【００１２】そして、ヒータ５に通電することにより、
センタリング本体４の内周部が内側から直接加熱され
る。これにより、省エネルギーを図りつつセンタリング
本体４の内周面が所定温度（１００℃）に十分に昇温す
るので、センタリング本体４の内周面に異物が付着する
ことを防止することができる。特に、半導体製造装置に
おいて、ジクロルシランとアンモニアとの混合ガスを流
し、シリコンウエハー上にシリコン窒化膜（Ｓｉ
₃ Ｎ₄ ）を形成する際、塩化アンモニウム（ＮＨ₄ Ｃ
ｌ）が付着し、流動抵抗を生ずるようになることが防止
される。

【００１３】図４，図５は配管部材のセンタリング装置
の第２実施の形態を示し、第１実施の形態と実質的に同
一機能部分には同一符号を付してそれらの説明は省略す
る。第２実施の形態の配管部材のセンタリング装置にあ
つては、中実をなす金属製のセンタリング本体１４と、
該本体１４の外周部両側に形成した筒状部１４ｂ，１４
ｃとを有する。該本体１４は環状をなし、その内径は、
筒状部材１ａ，２ａ及びフランジ部１ｂ，２ｂの内径と
ほぼ合致している。但し、第１実施の形態とは異なり、
フランジ部１ｂ，２ｂにリング収容空間１ｃ，２ｃは形
成されていない。

【００１４】そして、該本体１４の両側面に、環状のリ
ング収容空間１４ｄ，１４ｅが径方向に位置をずらせて
それぞれ独立して形成されている。リング収容空間１４
ｄ，１４ｅは、各側面にゴム質弾性体製のシールリング
であるＯリング１３の直径よりも若干小さい幅で環状に
開口し、Ｏリング１３の大部分を可及的緊密かつ個別に
受け入れる大きさを有している。このセンタリング本体
１４の筒状部１４ｂ，１４ｃの外周面には、テープ状の
電気のヒータ１５を巻き付けて取付け、ヒータ１５を適
宜の電源（図示せず）に接続してある。

【００１５】このようなセンタリング装置は、一対の配
管部材１，２のフランジ部１ｂ，２ｂの間にセンタリン
グ本体１４を挟み、筒状部１４ｂ，１４ｃの内側にフラ
ンジ部１ｂ，２ｂの外周を受け入れる。そして、一対の
フランジ部１ｂ，２ｂをフランジ用クランプ装置のブロ
ック６０によつて挟圧し、継合させる。この状態で、セ
ンタリング本体１４の両側面から若干突出する各Ｏリン
グ１３が各フランジ部１ｂ，２ｂの端面に弾性的に密着
し、気密が維持される。ヒータ１５のリード線は、周方
向に隣接するフランジ用クランプ装置のブロック６０の
間から外部に引き出し、電源に接続してある。

【００１６】そして、ヒータ１５に通電することによ
り、センタリング本体１４の外周部が加熱され、リング
収容空間１４ｄ，１４ｅが独立して形成されて中実状を
なすセンタリング本体１４を熱伝導し、内周部までほぼ
均一に直接的に加熱される。これにより、省エネルギー
を図りつつセンタリング本体１４の内周面が所定温度
（１００℃程度）に十分に昇温するので、センタリング
本体１４の内周面に異物が付着することを防止すること
ができ、第１実施の形態と同様の作用を得ることができ
る。

【００１７】図６，図７は配管部材のセンタリング装置
の第３実施の形態を示し、第１実施の形態と実質的に同
一機能部分には同一符号を付してそれらの説明は省略す
る。なお、第３実施の形態の構成要素の種類は従来例と
実質的に同一であり、第１実施の形態と異なり、フラン
ジ部１ｂ，２ｂにリング収容空間１ｃ，２ｃは形成され
ていない。第３実施の形態に係る配管部材のセンタリン
グ装置にあつては、金属製の内輪５０と、金属製の外輪
５１と、内・外輪５０，５１間に介装するゴム質弾性体
製のシールリングであるＯリング５２とを有している。
外輪５１の外周部両側には、薄い筒状部５１ａ，５１ｂ
が突設されている。内輪５０の内径は、筒状部材１ａ，
２ａ及びフランジ部１ｂ，２ｂの内径とほぼ合致してい
る。

【００１８】そして、図７に示すように内輪５０の中心
軸線方向の厚さをＡ、外輪５１の中心軸線方向の厚さを
Ｂ、Ｏリング５２の取付け自由状態での中心軸線方向の
厚さ（直径）をＣとして、Ｃ＞Ａ＞Ｂの関係に設定し、
外輪５１の中心軸線方向の厚さＢを内輪５０の中心軸線
方向の厚さＡよりも小さく設定してある。この外輪５１
の筒状部５１ａ，５１ｂの外周面には、テープ状のヒー
タ１５を巻き付けて取付け、ヒータ１５を適宜の電源
（図示せず）に接続してある。

【００１９】このようなセンタリング装置は、一対の配
管部材１，２のフランジ部１ｂ，２ｂの間にＯリング５
２を取付けた内・外輪５０，５１を挟み、筒状部５１
ａ，５１ｂの内側にフランジ部１ｂ，２ｂの外周を受け
入れる。そして、一対のフランジ部１ｂ，２ｂをフラン
ジ用クランプ装置のブロック６０によつて挟圧し、継合
させる。この状態で、内・外輪５０，５１の両側面から
若干突出する各Ｏリング５２が各フランジ部１ｂ，２ｂ
の端面に弾性的に密着し、気密が維持される。ヒータ１
５のリード線は、周方向に隣接するフランジ用クランプ
装置のブロック６０の間から外部に引き出し、電源に接
続してある。

【００２０】センタリング装置を組付けた状態で、外輪
５１の両側面は、Ｏリング５２の弾性力によつて配管部
材１，２の各フランジ部１ｂ，２ｂとの密着が阻止され
ており、僅かの隙間（０．１ｍｍ程度）が形成されてい
るが、内輪５０の両側面は、内輪５０の中心軸線方向の
厚さＡを外輪５１の中心軸線方向の厚さＢよりも大きく
設定した結果、各フランジ部１ｂ，２ｂに良好に密着す
る。すなわち、Ｏリング５２の弾性変形部分は、外輪５
１の両側面と各フランジ部１ｂ，２ｂとの隙間に侵入す
る。これにより、配管用ヒータ６２，６３によつて加熱
される各筒状部材１ａ，２ａ及びフランジ部１ｂ，２ｂ
から内輪５０への熱伝導が促され、省エネルギーを図り
つつ内輪５０の内周面が所定温度（１００℃程度）に十
分に昇温するので、内輪５０の内周面に異物が付着する
ことを防止することができ、第１実施の形態とほぼ同様
の作用を得ることができる。このように、内輪５０が配
管用ヒータ６２，６３によつて加熱されるようになるの
で、筒状部５１ａ，５１ｂに取付けるヒータ１５を省略
することも可能である。

【００２１】

【発明の効果】以上の説明によつて理解されるように、
本発明によれば、次の効果が得られる。請求項１に係る
発明によれば、一対の配管部材の突き合わせ端部の芯合
わせ及び気密保持を行うためのセンタリング装置におい
て、センタリング本体の内部空間にヒータを収容させた
ので、シールリングを介することなく、センタリング本
体の内周面を直接的に加熱することができる。その結
果、省エネルギーを図りつつ、センタリング本体の内周
面への異物の付着を抑制することができる。

【００２２】請求項３に係る発明によれば、同様のセン
タリング装置において、中実状をなすセンタリング本体
の両側面にそれぞれ独立させて環状のリング収容空間を
形成し、ヒータを筒状部の外周面に巻き付けて装備させ
たので、シールリングを介することなく、センタリング
本体の内周面を単一のセンタリング本体を熱伝導させて
加熱することができる。その結果、省エネルギーを図り
つつ、センタリング本体の内周面への異物の付着を抑制
することができると共に、センタリング本体への加工の
みで対応可能であり、構造が簡素になる。

【００２３】請求項４に係る発明によれば、同様のセン
タリング装置を内・外輪間にシールリングを介装して形
成したので、外輪側から内輪への熱伝導は良好になされ
ないが、外輪の両側面から若干突出するシールリングが
各フランジ部の端面に弾性的に密着した状態で、内輪が
各フランジ部の端面に密着するので、配管用ヒータを備
える一対の配管部材のフランジ部から内輪に向けて熱伝
導させて加熱することができる。その結果、省エネルギ
ーを図りつつ、内輪の内周面への異物の付着を抑制する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施の形態に係る配管部材のセ
ンタリング装置の半部を示す断面図。

【図２】 同じくセンタリング装置を示す図。

【図３】 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図。

【図４】 本発明の第２実施の形態に係る配管部材のセ
ンタリング装置の半部を示す断面図。

【図５】 同じくセンタリング装置を示す図３と同様の
断面図。

【図６】 本発明の第３実施の形態に係る配管部材のセ
ンタリング装置の半部を示す断面図。

【図７】 同じくセンタリング装置の半部を示す断面
図。

【図８】 従来の配管部材のセンタリング装置の半部を
示す断面図。

【図９】 同じくセンタリング装置の半部を示す断面
図。

【符号の説明】

１，２：配管部材、１ｂ，２ｂ：フランジ部、１ｃ，２
ｃ：リング収容空間、３，１３，５２：Ｏリング（シー
ルリング）、４：センタリング本体、４ａ：内部空間、
４ｂ，４ｃ：筒状部、５，１５：ヒータ、１４：センタ
リング本体、１４ｂ，１４ｃ：筒状部、１４ｄ，１４
ｅ：リング収容空間、５０：内輪、５１：外輪、５１
ａ，５１ｂ：筒状部、６２，６３：配管用ヒータ。

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の配管部材（１，２）のフランジ部
   （１ｂ，２ｂ）の突き合わせ端面の間に環状に介装さ
   れ、シールリングにより、各フランジ部（１ｂ，２ｂ）
   との間を気密に封止する配管部材のセンタリング装置に
   おいて、各配管部材（１，２）のフランジ部（１ｂ，２
   ｂ）の突き合わせ端面のそれぞれに環状に形成されるリ
   ング収容空間（１ｃ，２ｃ）と、該リング収容空間（１
   ｃ，２ｃ）のそれぞれに一部を受け入れて取付けられる
   シールリング（３）と、内部空間（４ａ）を有し、外周
   部両側に突出する筒状部（４ｂ，４ｃ）によつて両フラ
   ンジ部（１ｂ，２ｂ）の外周面を支持するセンタリング
   本体（４）と、該本体（４）の内部空間（４ａ）に収容
   されるヒータ（５）とを備え、センタリング本体（４）
   の両側面が各フランジ部（１ｂ，２ｂ）から若干突出す
   るシールリング（３）にそれぞれ弾性的に密着し、気密
   が保持されることを特徴とする配管部材のセンタリング
   装置。
2. 【請求項２】 センタリング本体（４）がＵ字状断面を
   なし、該本体（４）の外周両側部にそれぞれ筒状部（４
   ｂ，４ｃ）が形成されていることを特徴とする請求項１
   の配管部材のセンタリング装置。
3. 【請求項３】 一対の配管部材（１，２）のフランジ部
   （１ｂ，２ｂ）の突き合わせ端面の間に環状に介装さ
   れ、シールリングにより、各フランジ部（１ｂ，２ｂ）
   との間を気密に封止する配管部材のセンタリング装置に
   おいて、中実状をなし、両側面にそれぞれ独立して環状
   に形成されるリング収容空間（１４ｄ，１４ｅ）を有す
   ると共に、外周部両側に突出する筒状部（１４ｂ，１４
   ｃ）によつて両フランジ部（１ｂ，２ｂ）の外周面を支
   持するセンタリング本体（１４）と、該リング収容空間
   （１４ｄ，１４ｅ）のそれぞれに一部を受け入れて取付
   けられるシールリング（１３）と、筒状部（１４ｂ，１
   ４ｃ）の外周面に装備されるヒータ（１５）とを備え、
   センタリング本体（１４）の両側面から若干突出する各
   シールリング（１３）が各フランジ部（１ｂ，２ｂ）の
   端面に弾性的に密着し、気密が保持されることを特徴と
   する配管部材のセンタリング装置。
4. 【請求項４】 配管用ヒータ（６２，６３）を備える一
   対の配管部材（１，２）のフランジ部（１ｂ，２ｂ）の
   突き合わせ端面の間に環状に介装され、シールリングに
   より、各フランジ部（１ｂ，２ｂ）との間を気密に封止
   する配管部材のセンタリング装置において、内輪（５
   ０）と、外周部両側に突出する筒状部（５１ａ，５１
   ｂ）によつて両フランジ部（１ｂ，２ｂ）の外周面を支
   持する外輪（５１）と、内・外輪（５０，５１）間に介
   装するシールリング（５２）とを有し、内輪（５０）の
   中心軸線方向の厚さをＡ、外輪（５１）の中心軸線方向
   の厚さをＢ、シールリング（５２）の取付け自由状態で
   の中心軸線方向の厚さをＣとして、Ｃ＞Ａ＞Ｂに設定さ
   れ、内輪（５０）が各フランジ部（１ｂ，２ｂ）の端面
   に密着した状態で、外輪（５１）の両側面から若干突出
   するシールリング（５２）が各フランジ部（１ｂ，２
   ｂ）の端面に弾性的に密着し、気密が保持されることを
   特徴とする配管部材のセンタリング装置。