JP2910419B2 - 加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素の精製方法 - Google Patents
加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素の精製方法Info
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- C01B7/00—Halogens; Halogen acids
- C01B7/01—Chlorine; Hydrogen chloride
- C01B7/07—Purification ; Separation
- C01B7/0706—Purification ; Separation of hydrogen chloride
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- Silicon Compounds (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加水分解性の有機シラ
ン化合物を含む塩化水素を経済的に精製再利用すること
を可能にした塩化水素の精製方法に関する。
ン化合物を含む塩化水素を経済的に精製再利用すること
を可能にした塩化水素の精製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】加水分
解性の有機シラン化合物（特に、エステルシラン）は、
近年その反応性の良さから各種シリコーン工業製品の中
間原料や各種添加剤（例えば、塗料添加剤）として多量
に用いられるようになってきた。
解性の有機シラン化合物（特に、エステルシラン）は、
近年その反応性の良さから各種シリコーン工業製品の中
間原料や各種添加剤（例えば、塗料添加剤）として多量
に用いられるようになってきた。
【０００３】この加水分解性の有機シラン化合物の製造
は、通常クロルシランをエステル化して行われる。この
際の反応は脱塩酸反応であるので、加水分解性の有機シ
ラン化合物を含有した大量の塩化水素が発生する。現
在、この塩化水素は工業的に安価なアルカリ源である苛
性ソーダでシラン化合物と共に中和処理されている。
は、通常クロルシランをエステル化して行われる。この
際の反応は脱塩酸反応であるので、加水分解性の有機シ
ラン化合物を含有した大量の塩化水素が発生する。現
在、この塩化水素は工業的に安価なアルカリ源である苛
性ソーダでシラン化合物と共に中和処理されている。
【０００４】しかし、経済的には中和せずに副生する塩
化水素を回収再利用する方が優位であるので、回収再利
用することが望まれていたが、含有する加水分解性の有
機シラン化合物が回収操作上の障害となり、今まで実用
化には至っていなかった。
化水素を回収再利用する方が優位であるので、回収再利
用することが望まれていたが、含有する加水分解性の有
機シラン化合物が回収操作上の障害となり、今まで実用
化には至っていなかった。
【０００５】即ち、ガス中の加水分解性の有機シラン化
合物を分離する方法としては、塩化水素と加水分解性の
有機シラン化合物とが混在する状態で水或は塩酸水と接
触させて有機シラン化合物を加水分解し、ゲル状固形物
として系外に除去する方法があるが、この方法では粘着
性のゲルが生成するために濾過等の工業的な固液分離手
段では分離が困難であった。
合物を分離する方法としては、塩化水素と加水分解性の
有機シラン化合物とが混在する状態で水或は塩酸水と接
触させて有機シラン化合物を加水分解し、ゲル状固形物
として系外に除去する方法があるが、この方法では粘着
性のゲルが生成するために濾過等の工業的な固液分離手
段では分離が困難であった。
【０００６】一方、これらの方法の他に、加水分解性の
有機シラン化合物の種類に関係なくガス中の加水分解性
の有機シラン化合物を除去する方法として吸着法が知ら
れており、シラン種がクロルシラン等の無機シランであ
る場合には、活性炭等の吸着剤を用いても吸脱着操作の
繰り返し回数が多く、耐久寿命の長い工業化技術として
実用化されている。また、加水分解性の有機シラン化合
物が塩化水素と共存しない場合、例えば窒素、水素等の
単一ガス中に含まれる場合には、シラン類の除去手段と
して吸着剤を用いる吸着法は、十分かつ吸脱着操作の繰
り返し回数が多い、耐久寿命の長い実用上有効な方法で
あった。
有機シラン化合物の種類に関係なくガス中の加水分解性
の有機シラン化合物を除去する方法として吸着法が知ら
れており、シラン種がクロルシラン等の無機シランであ
る場合には、活性炭等の吸着剤を用いても吸脱着操作の
繰り返し回数が多く、耐久寿命の長い工業化技術として
実用化されている。また、加水分解性の有機シラン化合
物が塩化水素と共存しない場合、例えば窒素、水素等の
単一ガス中に含まれる場合には、シラン類の除去手段と
して吸着剤を用いる吸着法は、十分かつ吸脱着操作の繰
り返し回数が多い、耐久寿命の長い実用上有効な方法で
あった。
【０００７】しかし、加水分解性の有機シラン化合物と
塩化水素が共存する場合には、塩化水素存在下における
加水分解性の有機シラン化合物単独の反応性のために短
時間で吸着性能が低下するので、実用化するに当っては
頻繁な吸着剤の入れ替えが必要で、このため加水分解性
の有機シラン化合物を含む塩化水素を吸着法で精製する
ことは、経済的には成立し難い方法であった。
塩化水素が共存する場合には、塩化水素存在下における
加水分解性の有機シラン化合物単独の反応性のために短
時間で吸着性能が低下するので、実用化するに当っては
頻繁な吸着剤の入れ替えが必要で、このため加水分解性
の有機シラン化合物を含む塩化水素を吸着法で精製する
ことは、経済的には成立し難い方法であった。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は上記
事情に鑑み、加水分解性の有機シラン化合物を含有する
塩化水素を経済的に有利に精製再利用し得る精製方法を
開発することを目的として鋭意検討を重ねた結果、加水
分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素から加水
分解性の有機シラン化合物を除去して精製する際、上記
塩化水素１ｋｇに対して２００ｋｃａｌ以上の熱量を有
する火炎中に上記塩化水素を導入し、この塩化水素中に
含有する加水分解性の有機シラン化合物を完全に燃焼さ
せてシリカ（ＳｉＯ2）に変換した後、このシリカをフ
ィルター等を用いて除塵除去することにより、加水分解
性の有機シラン化合物を含有する塩化水素を面倒な操作
を行うことなく実用的かつ安価に、しかも効率良く工業
的に有利に精製し得て、上記目的を達成し得ることを見
出し、本発明をなすに至った。
事情に鑑み、加水分解性の有機シラン化合物を含有する
塩化水素を経済的に有利に精製再利用し得る精製方法を
開発することを目的として鋭意検討を重ねた結果、加水
分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素から加水
分解性の有機シラン化合物を除去して精製する際、上記
塩化水素１ｋｇに対して２００ｋｃａｌ以上の熱量を有
する火炎中に上記塩化水素を導入し、この塩化水素中に
含有する加水分解性の有機シラン化合物を完全に燃焼さ
せてシリカ（ＳｉＯ2）に変換した後、このシリカをフ
ィルター等を用いて除塵除去することにより、加水分解
性の有機シラン化合物を含有する塩化水素を面倒な操作
を行うことなく実用的かつ安価に、しかも効率良く工業
的に有利に精製し得て、上記目的を達成し得ることを見
出し、本発明をなすに至った。
【０００９】従って、本発明は、加水分解性の有機シラ
ン化合物を含有する塩化水素から加水分解性の有機シラ
ン化合物を除去して精製する際、該塩化水素ガス１ｋｇ
に対して２００ｋｃａｌ以上の熱量を有する火炎中に該
塩化水素を導入して、含有する加水分解性の有機シラン
化合物を完全に燃焼させた後、生成したシリカを除塵除
去する加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水
素の精製方法を提供する。
ン化合物を含有する塩化水素から加水分解性の有機シラ
ン化合物を除去して精製する際、該塩化水素ガス１ｋｇ
に対して２００ｋｃａｌ以上の熱量を有する火炎中に該
塩化水素を導入して、含有する加水分解性の有機シラン
化合物を完全に燃焼させた後、生成したシリカを除塵除
去する加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水
素の精製方法を提供する。
【００１０】以下、本発明につき更に詳述すると、本発
明において加水分解性の有機シラン化合物としては、例
えばエステルシラン類やその部分ハロゲン置換体などが
挙げられ、具体的にはトリメトキシシラン、ジメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、トリエトキシシラン、ジエトキシシラン及びこれら
の化合物のアルコキシル基をハロゲン置換した化合物等
が例示される。
明において加水分解性の有機シラン化合物としては、例
えばエステルシラン類やその部分ハロゲン置換体などが
挙げられ、具体的にはトリメトキシシラン、ジメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、トリエトキシシラン、ジエトキシシラン及びこれら
の化合物のアルコキシル基をハロゲン置換した化合物等
が例示される。
【００１１】なお、本発明ではこれらの化合物であれば
環状、直鎖状を問わず、ポリマー的な性質を持つもので
あっても良い。
環状、直鎖状を問わず、ポリマー的な性質を持つもので
あっても良い。
【００１２】本発明方法では、まず上記加水分解性の有
機シラン化合物を含有する塩化水素を火炎中に導入し、
上記塩化水素中に存在する加水分解性の有機シラン化合
物を完全に燃焼させてシラン（ＳｉＯ2）に変換する。
機シラン化合物を含有する塩化水素を火炎中に導入し、
上記塩化水素中に存在する加水分解性の有機シラン化合
物を完全に燃焼させてシラン（ＳｉＯ2）に変換する。
【００１３】ここで火炎としては、処理する加水分解性
の有機シラン化合物を含有する塩化水素１ｋｇ当たり２
００ｋｃａｌ以上の熱量を持つものを使用する。熱量が
２００ｋｃａｌに満たないと火炎の温度が低く、加水分
解性の有機シラン化合物を完全に燃焼処理できない。ま
た、火炎の熱量は高ければ高い程加水分解分解性の有機
シラン化合物を完全に燃焼処理できるので好ましいが、
熱量が８００ｋｃａｌより高くなるとコスト的に高くな
りすぎる場合がある。
の有機シラン化合物を含有する塩化水素１ｋｇ当たり２
００ｋｃａｌ以上の熱量を持つものを使用する。熱量が
２００ｋｃａｌに満たないと火炎の温度が低く、加水分
解性の有機シラン化合物を完全に燃焼処理できない。ま
た、火炎の熱量は高ければ高い程加水分解分解性の有機
シラン化合物を完全に燃焼処理できるので好ましいが、
熱量が８００ｋｃａｌより高くなるとコスト的に高くな
りすぎる場合がある。
【００１４】上記火炎は、例えばバーナーを酸素源存在
下で燃焼させることにより発生するものを利用すること
ができる。更に、バーナーとしては、上述したように加
水分解性の有機シラン化合物を完全に燃焼させ得る火力
を有するものであれば特に制限はないが、処理する塩化
水素の流量やその燃焼ガスの流量が最適となるものを選
ぶことが好ましい。バーナーの燃焼ガスとしては、例え
ば都市ガス、天然ガス、水素等を使用することができ
る。また、酸素源としては、普通に用いられる酸素ガス
でも、あるいは圧縮空気等を使用しても良い。
下で燃焼させることにより発生するものを利用すること
ができる。更に、バーナーとしては、上述したように加
水分解性の有機シラン化合物を完全に燃焼させ得る火力
を有するものであれば特に制限はないが、処理する塩化
水素の流量やその燃焼ガスの流量が最適となるものを選
ぶことが好ましい。バーナーの燃焼ガスとしては、例え
ば都市ガス、天然ガス、水素等を使用することができ
る。また、酸素源としては、普通に用いられる酸素ガス
でも、あるいは圧縮空気等を使用しても良い。
【００１５】バーナーに導入する加水分解性の有機シラ
ン化合物を含有する塩化水素の流量（処理量）は、使用
するバーナーの形状、種類によって異なるが、最外径が
２０ｍｍのバーナーの場合０．５〜３ｍ2／時間、特に
０．３〜１ｍ2／時間とすることが好ましい。
ン化合物を含有する塩化水素の流量（処理量）は、使用
するバーナーの形状、種類によって異なるが、最外径が
２０ｍｍのバーナーの場合０．５〜３ｍ2／時間、特に
０．３〜１ｍ2／時間とすることが好ましい。
【００１６】次いで、加水分解性の有機シラン化合物を
含有する塩化水素の燃焼により発生するシリカ粉の除塵
除去は、フィルター等を用いて行うことが好ましい。こ
の場合、フィルターとしては、その細孔が０．１〜１０
μｍであり、かつ塩化水素ガスとその燃焼後の温度に耐
えられる材質、例えばテフロン（ＰＴＦＥ），ＰＦＡ，
ＦＥＰ，ＰＣＴＦＥ等のフッ素樹脂、あるいはノーメッ
クス，ケブラー等のアラミド繊維等のものが好適に使用
される。
含有する塩化水素の燃焼により発生するシリカ粉の除塵
除去は、フィルター等を用いて行うことが好ましい。こ
の場合、フィルターとしては、その細孔が０．１〜１０
μｍであり、かつ塩化水素ガスとその燃焼後の温度に耐
えられる材質、例えばテフロン（ＰＴＦＥ），ＰＦＡ，
ＦＥＰ，ＰＣＴＦＥ等のフッ素樹脂、あるいはノーメッ
クス，ケブラー等のアラミド繊維等のものが好適に使用
される。
【００１７】また、上記塩化水素ガス温度がフィルター
の使用温度より高くなってしまうことも生じるので、上
記フィルターの前に冷却器を設けることが好ましい。こ
の冷却器には、塩酸の蒸発熱で冷却する方法を採用した
ものを使用することが望ましい。この塩酸の蒸発熱を利
用した冷却器の使用は、燃焼後のガス中の塩化水素濃度
が低い場合、これを水に吸収させて塩酸として回収する
際に濃度の薄い塩酸しか回収できなくなり、またこのよ
うな低濃度塩酸の濃度を上げるため、蒸留する等の後処
理を行う不利をなくす点から好適である。
の使用温度より高くなってしまうことも生じるので、上
記フィルターの前に冷却器を設けることが好ましい。こ
の冷却器には、塩酸の蒸発熱で冷却する方法を採用した
ものを使用することが望ましい。この塩酸の蒸発熱を利
用した冷却器の使用は、燃焼後のガス中の塩化水素濃度
が低い場合、これを水に吸収させて塩酸として回収する
際に濃度の薄い塩酸しか回収できなくなり、またこのよ
うな低濃度塩酸の濃度を上げるため、蒸留する等の後処
理を行う不利をなくす点から好適である。
【００１８】しかし、この塩酸の蒸発熱で冷却する方法
では、その冷却温度が露点以上に保たれるように塩酸の
使用量を調整することが望ましく、塩酸の使用量が露点
以上の冷却温度となるほど多いと塩化水素ガス中の水分
量が増え過ぎ、この水分が凝縮して燃焼時に発生するシ
リカ粉がゲル化する可能性がある。
では、その冷却温度が露点以上に保たれるように塩酸の
使用量を調整することが望ましく、塩酸の使用量が露点
以上の冷却温度となるほど多いと塩化水素ガス中の水分
量が増え過ぎ、この水分が凝縮して燃焼時に発生するシ
リカ粉がゲル化する可能性がある。
【００１９】本発明においてシリカ粉を除塵除去した精
製後の塩化水素は、水に吸収させて濃塩酸として回収す
ることが再利用の点から望ましい。
製後の塩化水素は、水に吸収させて濃塩酸として回収す
ることが再利用の点から望ましい。
【００２０】
【発明の効果】本発明の精製方法によれば、加水分解性
の有機シラン化合物を含有する塩化水素から加水分解性
の有機シラン化合物を簡単な操作で経済的に有利に精製
除去することができ、精製後の塩化水素を再利用するこ
とが可能であり、しかも従来上記塩化水素の中和処理に
使用されていたアルカリ源を節約することもできる。従
って、本発明方法は工業的に非常に有益である。
の有機シラン化合物を含有する塩化水素から加水分解性
の有機シラン化合物を簡単な操作で経済的に有利に精製
除去することができ、精製後の塩化水素を再利用するこ
とが可能であり、しかも従来上記塩化水素の中和処理に
使用されていたアルカリ源を節約することもできる。従
って、本発明方法は工業的に非常に有益である。
【００２１】
【実施例】以下、実施例及び比較例を示して本発明を具
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。
【００２２】〔実施例１〕図１に示すバーナー処理塔と
塩化水素ガス吸収塔を具備した装置を用い、下記方法で
塩化水素を精製した。
塩化水素ガス吸収塔を具備した装置を用い、下記方法で
塩化水素を精製した。
【００２３】ここで、図１の装置において、１はシラン
を収容した容器で、この容器１はオイル浴２中に設置さ
れており、上記容器１内のシラン中にはＮ2ガス導入管
３の下流端が浸漬され、該シランはＮ2ガス導入管３よ
り容器１内に導入されたＮ2ガスによって搬送管４を通
ってバーナー５に搬送される。この場合、この搬送管４
にはＨＣｌガス導入管６が接続され、上記搬送管４内を
流れるシランにこのＨＣｌガス導入管６からＨＣｌガス
が混合されるようになっていると共に、搬送管４の下流
側には酸素導入管７及びＣＨ4導入管８がそれぞれ接続
されて酸素ガス又は空気及びＣＨ4ガスがそれぞれ混合
されるようになっており、この混合ガスはバーナー５か
ら石英管９に噴射され、燃焼されるようになっている。
また、１０は冷却器で、この冷却器１０において燃焼ガ
スが塩酸の蒸発熱で冷却されるようになっている。更
に、１１は燃焼ガス中のシリカを分離除去するためのフ
ィルターであり、このフィルター１１は吸引ファン１２
を介して塩化水素ガス水吸収塔１３と接続されている。
また、この吸収塔１３には、希塩酸収容タンク１４が希
塩酸導入ポンプ１５及びセパレーター１６を介して接続
されており、上記シリカが除去された燃焼ガス中の塩化
水素ガスが、上記吸収塔１３においてこの吸収塔１３内
に希塩酸収容タンク１４から導入された希塩酸により吸
収されて、濃塩酸タンク１７に溜められるようになって
いる。なお、燃焼ガス中の窒素ガス等は、セパレーター
１６よりガスメーター１８を通って外部に排出される。
を収容した容器で、この容器１はオイル浴２中に設置さ
れており、上記容器１内のシラン中にはＮ2ガス導入管
３の下流端が浸漬され、該シランはＮ2ガス導入管３よ
り容器１内に導入されたＮ2ガスによって搬送管４を通
ってバーナー５に搬送される。この場合、この搬送管４
にはＨＣｌガス導入管６が接続され、上記搬送管４内を
流れるシランにこのＨＣｌガス導入管６からＨＣｌガス
が混合されるようになっていると共に、搬送管４の下流
側には酸素導入管７及びＣＨ4導入管８がそれぞれ接続
されて酸素ガス又は空気及びＣＨ4ガスがそれぞれ混合
されるようになっており、この混合ガスはバーナー５か
ら石英管９に噴射され、燃焼されるようになっている。
また、１０は冷却器で、この冷却器１０において燃焼ガ
スが塩酸の蒸発熱で冷却されるようになっている。更
に、１１は燃焼ガス中のシリカを分離除去するためのフ
ィルターであり、このフィルター１１は吸引ファン１２
を介して塩化水素ガス水吸収塔１３と接続されている。
また、この吸収塔１３には、希塩酸収容タンク１４が希
塩酸導入ポンプ１５及びセパレーター１６を介して接続
されており、上記シリカが除去された燃焼ガス中の塩化
水素ガスが、上記吸収塔１３においてこの吸収塔１３内
に希塩酸収容タンク１４から導入された希塩酸により吸
収されて、濃塩酸タンク１７に溜められるようになって
いる。なお、燃焼ガス中の窒素ガス等は、セパレーター
１６よりガスメーター１８を通って外部に排出される。
【００２４】この装置を用いて塩化水素精製を行うに際
し、まず、吸引ファン（ナッシュポンプ）１２の吸引量
を２ｍ3／ｈｒになるように起動させた。
し、まず、吸引ファン（ナッシュポンプ）１２の吸引量
を２ｍ3／ｈｒになるように起動させた。
【００２５】次に、燃料のメタンを四重管型の最外径が
２０ｍｍのバーナー１０に吹き込んで添加した後、酸素
ガスを吹き込み、所定の火炎を形成させた。
２０ｍｍのバーナー１０に吹き込んで添加した後、酸素
ガスを吹き込み、所定の火炎を形成させた。
【００２６】燃料ガイド管である石英管９がある程度余
熱されたことを確認後、塩化水素ガス吸収塔１３の希塩
酸導入ポンプ１５を起動させ、同時に燃焼生成物除去用
フィルター１１と接続した冷却器１０中の蒸発用希塩酸
循環ポンプも起動させた。その後、表１に示した組成の
ガスをバーナー１０に所定量吹き込み処理を開始した。
この場合、Ｎ2ガスはＮ2ガス搬入管３から搬入し、オイ
ル浴２中央に設置されたシランを入れた容器１内を通
し、またＨＣｌガス搬入管６からＨＣｌガスを搬入し、
更にＣＨ4搬入管８からＣＨ4ガス、酸素搬入管７から酸
素又は圧縮空気をそれぞれ搬入し、バーナ５に吹き込ん
だ。
熱されたことを確認後、塩化水素ガス吸収塔１３の希塩
酸導入ポンプ１５を起動させ、同時に燃焼生成物除去用
フィルター１１と接続した冷却器１０中の蒸発用希塩酸
循環ポンプも起動させた。その後、表１に示した組成の
ガスをバーナー１０に所定量吹き込み処理を開始した。
この場合、Ｎ2ガスはＮ2ガス搬入管３から搬入し、オイ
ル浴２中央に設置されたシランを入れた容器１内を通
し、またＨＣｌガス搬入管６からＨＣｌガスを搬入し、
更にＣＨ4搬入管８からＣＨ4ガス、酸素搬入管７から酸
素又は圧縮空気をそれぞれ搬入し、バーナ５に吹き込ん
だ。
【００２７】処理開始後、６０分毎にガスを石英管９の
サンプリング口９ａからサンプリングし、ガスクロマト
グラフィーにて未反応のＫＢＭ−１３とＣＯが検出され
るかどうかで処理の完璧性を評価し、ガス吹き込み開始
後、３時間の処理を行った。
サンプリング口９ａからサンプリングし、ガスクロマト
グラフィーにて未反応のＫＢＭ−１３とＣＯが検出され
るかどうかで処理の完璧性を評価し、ガス吹き込み開始
後、３時間の処理を行った。
【００２８】なお石英管９を通過したガスは、冷却器１
０、フィルター１１を通してファン１２により吸引し、
塩化水素ガス吸収塔１３内で希塩酸収容タンク１４から
の希塩酸に吸収させ、この処理で生成する濃塩酸は濃塩
酸タンク１７に回収し、最終的に回収された濃塩酸の濃
度は実験終了後にこの濃塩酸タンク１７より採取した液
を滴定することで求めた。
０、フィルター１１を通してファン１２により吸引し、
塩化水素ガス吸収塔１３内で希塩酸収容タンク１４から
の希塩酸に吸収させ、この処理で生成する濃塩酸は濃塩
酸タンク１７に回収し、最終的に回収された濃塩酸の濃
度は実験終了後にこの濃塩酸タンク１７より採取した液
を滴定することで求めた。
【００２９】
【表１】
【００３０】〔実施例２〕加熱処理時の火炎の熱量、処
理時間を表２に示すように変えた以外は実施例１と同様
にして処理を行った。
理時間を表２に示すように変えた以外は実施例１と同様
にして処理を行った。
【００３１】〔比較例〕加熱処理時の火炎の熱量を表２
に示すように変えた以外は実施例１と同様にして処理を
行った。
に示すように変えた以外は実施例１と同様にして処理を
行った。
【００３２】以上の結果を表２にまとめて示す。
【００３３】表２の結果より、本発明の精製方法によれ
ば、加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素
を簡単な操作で経済的に精製再利用できることが確認さ
れた。
ば、加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素
を簡単な操作で経済的に精製再利用できることが確認さ
れた。
【００３４】
【表２】
【図１】実施例及び比較例で使用した精製装置の概略図
である。
である。
１ シラン収容容器 ５ バーナー ６ ＨＣｌガス導入管 ７ 酸素導入管 ８ ＣＨ4導入管 ９ 石英管 １０ 冷却器 １１ フィルター １３ ＨＣｌガス吸収塔 １４ 希塩酸タンク １７ 濃塩酸タンク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 孝明 新潟県中頸城郡頸城村大字西福島28−１ 信越化学工業株式会社 合成技術研究 所内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C01B 7/07
Claims (1)
- 【請求項１】 加水分解性の有機シラン化合物を含有す
る塩化水素から加水分解性の有機シラン化合物を除去し
て精製する際、該塩化水素１ｋｇに対して２００ｋｃａ
ｌ以上の熱量を有する火炎中に該塩化水素を導入して、
含有する加水分解性の有機シラン化合物を完全に燃焼さ
せた後、生成したシリカを除塵除去することを特徴とす
る加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素の
精製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4165340A JP2910419B2 (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | 加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素の精製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4165340A JP2910419B2 (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | 加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素の精製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330804A JPH05330804A (ja) | 1993-12-14 |
| JP2910419B2 true JP2910419B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4165340A Expired - Fee Related JP2910419B2 (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | 加水分解性の有機シラン化合物を含有する塩化水素の精製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2910419B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102015201446A1 (de) | 2015-01-28 | 2016-07-28 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Reinigung von verunreinigtem gasförmigem Chlorwasserstoff |
-
1992
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05330804A (ja) | 1993-12-14 |
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