JP2909696B2 - ビーム発生方法及び装置 - Google Patents
ビーム発生方法及び装置Info
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- JP2909696B2 JP2909696B2 JP5322455A JP32245593A JP2909696B2 JP 2909696 B2 JP2909696 B2 JP 2909696B2 JP 5322455 A JP5322455 A JP 5322455A JP 32245593 A JP32245593 A JP 32245593A JP 2909696 B2 JP2909696 B2 JP 2909696B2
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
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- Plasma Technology (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、大きなエネルギーを有
するビームを発生するビーム発生方法及びビーム発生装
置に関する。
するビームを発生するビーム発生方法及びビーム発生装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、この種のビーム発生装置には、
プラズマ発生源として、加熱された陰極を使用し、この
陰極から引き出された電子を磁場装置を用いてチャンバ
ー内に導き、このチャンバー内で放電を生じさせ、結果
として、プラズマビームを発生させてるものがある。こ
のようにして発生されたプラズマビームは、通常、電子
ビームの形で、ターゲットとして配置された陽極に、磁
場装置を用いて導かれている。
プラズマ発生源として、加熱された陰極を使用し、この
陰極から引き出された電子を磁場装置を用いてチャンバ
ー内に導き、このチャンバー内で放電を生じさせ、結果
として、プラズマビームを発生させてるものがある。こ
のようにして発生されたプラズマビームは、通常、電子
ビームの形で、ターゲットとして配置された陽極に、磁
場装置を用いて導かれている。
【0003】このようなビーム発生装置では、最近、大
きなエネルギーを有するビームを発生させることが要求
される傾向にある。この要求に応えるために、プラズマ
源において低電圧により大電流放電を生じさせること
が、考慮されている。しかしながら、大電流放電を行う
ためには、特殊なプラズマ源(例えば、浦本ガン等)が
必要となり、構造が複雑になって、コスト的に高価にな
ってしまう。しかも、大電流放電を行うには、大流量の
キャリアガス(Ar、He等)が必要となり、排気速度
も大きくなって、装置自体が大型化するという欠点があ
る。また、運転状態が過酷な条件で行われるため、陰極
の損傷も増大するという欠点も指摘されている。
きなエネルギーを有するビームを発生させることが要求
される傾向にある。この要求に応えるために、プラズマ
源において低電圧により大電流放電を生じさせること
が、考慮されている。しかしながら、大電流放電を行う
ためには、特殊なプラズマ源(例えば、浦本ガン等)が
必要となり、構造が複雑になって、コスト的に高価にな
ってしまう。しかも、大電流放電を行うには、大流量の
キャリアガス(Ar、He等)が必要となり、排気速度
も大きくなって、装置自体が大型化するという欠点があ
る。また、運転状態が過酷な条件で行われるため、陰極
の損傷も増大するという欠点も指摘されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】他方、大電流放電が可
能なプラズマ源であれば、大電流で、且つ、大電圧放電
が可能となり、投入エネルギーを飛躍的に増加させるこ
とができる。放電電圧を上昇させるために、プラズマ源
として、特開昭52−72155号公報に記載されたよ
うな電子銃を使用することが考えられる。しかし、この
電子銃では、排気系が大きくなったり、複数の排気ポン
プが必要である等、構造上、問題があると共に、キャリ
アガスの流量が多くなる欠点もある。更に、プラズマの
不安定性も指摘されている。
能なプラズマ源であれば、大電流で、且つ、大電圧放電
が可能となり、投入エネルギーを飛躍的に増加させるこ
とができる。放電電圧を上昇させるために、プラズマ源
として、特開昭52−72155号公報に記載されたよ
うな電子銃を使用することが考えられる。しかし、この
電子銃では、排気系が大きくなったり、複数の排気ポン
プが必要である等、構造上、問題があると共に、キャリ
アガスの流量が多くなる欠点もある。更に、プラズマの
不安定性も指摘されている。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、プラズ
マ源から発生したプラズマビームの軌道上に、前記プラ
ズマ源との間の空間に、空間電荷を発生させるような磁
場勾配を持つ磁場を発生させる磁場発生手段を設け、該
磁場発生手段によりプラズムビーム内の電子流を加速す
ることを特徴とするビーム発生方法が得られる。
マ源から発生したプラズマビームの軌道上に、前記プラ
ズマ源との間の空間に、空間電荷を発生させるような磁
場勾配を持つ磁場を発生させる磁場発生手段を設け、該
磁場発生手段によりプラズムビーム内の電子流を加速す
ることを特徴とするビーム発生方法が得られる。
【0006】本発明によれば、プラズマビームを磁場に
より決定された軌道に沿って発生するプラズマ源と、前
記軌道上に配置され、プラズマビームを受ける電極部
と、前記プラズマ源と電極部との軌道の空間に沿って置
かれ、該空間に、空間電荷を発生させるような磁場勾配
を持つ磁場を発生する磁場発生手段とを備え、該磁場発
生手段によりプラズマビーム内の電子流を加速して、前
記電極部に供給することを特徴とするビーム発生装置が
得られる。
より決定された軌道に沿って発生するプラズマ源と、前
記軌道上に配置され、プラズマビームを受ける電極部
と、前記プラズマ源と電極部との軌道の空間に沿って置
かれ、該空間に、空間電荷を発生させるような磁場勾配
を持つ磁場を発生する磁場発生手段とを備え、該磁場発
生手段によりプラズマビーム内の電子流を加速して、前
記電極部に供給することを特徴とするビーム発生装置が
得られる。
【0007】
【作用】本発明では、陰極と陽極との間の空間に、陰極
との間に、プラズマを半閉じ込め状態できるような磁場
勾配を持つ磁場を発生する磁場発生装置を設け、この磁
場発生装置を通して、プラズマビーム内の電子流を高エ
ネルギーで取り出すことができる。
との間に、プラズマを半閉じ込め状態できるような磁場
勾配を持つ磁場を発生する磁場発生装置を設け、この磁
場発生装置を通して、プラズマビーム内の電子流を高エ
ネルギーで取り出すことができる。
【0008】
【実施例】図1を参照すると、本発明の原理を説明する
ためのビーム発生装置が示されており、図示されたビー
ム発生装置は、チャンバー(図示せず)内に、陰極11
と陽極12とを備え、両者間には放電空間が形成されて
いる。この例では、陰極11の中央部に開孔が設けられ
ており、この開孔を通して、外部からAr、He等の不
活性ガス13がチャンバー内に導入されている。陰極1
1及び陽極12とは、チャンバー外部に設けられた放電
用電源14に接続されている。
ためのビーム発生装置が示されており、図示されたビー
ム発生装置は、チャンバー(図示せず)内に、陰極11
と陽極12とを備え、両者間には放電空間が形成されて
いる。この例では、陰極11の中央部に開孔が設けられ
ており、この開孔を通して、外部からAr、He等の不
活性ガス13がチャンバー内に導入されている。陰極1
1及び陽極12とは、チャンバー外部に設けられた放電
用電源14に接続されている。
【0009】この状態で、陰極11から電子が放出され
ると、放電空間中にプラズマが発生し、当該プラズマの
ビーム19は陽極方向に向けられる。プラズマビーム1
9の軌道にそって、このプラズマビーム19を導くプラ
ズマビームガイド用コイル15が設けられており、この
コイル15は電源16によって励磁されている。これら
陰極11、コイル15、及び、電源16はプラズマを発
生させるためのプラズマ源17を構成している。一方、
図示された陽極12には、プラズマ源17から発生した
プラズマビームを導くための永久磁石18が内蔵されて
いる。
ると、放電空間中にプラズマが発生し、当該プラズマの
ビーム19は陽極方向に向けられる。プラズマビーム1
9の軌道にそって、このプラズマビーム19を導くプラ
ズマビームガイド用コイル15が設けられており、この
コイル15は電源16によって励磁されている。これら
陰極11、コイル15、及び、電源16はプラズマを発
生させるためのプラズマ源17を構成している。一方、
図示された陽極12には、プラズマ源17から発生した
プラズマビームを導くための永久磁石18が内蔵されて
いる。
【0010】更に、本発明に係るビーム発生装置は、プ
ラズマ源17と陽極12との間に、後述するような磁場
装置20が設けられており、この磁場装置20により、
磁場装置20とプラズマ源17との間に、プラズマビー
ム19の軌道にそって、カスプ状、或いは、ミラー状の
磁場勾配を有する磁場を発生させる。
ラズマ源17と陽極12との間に、後述するような磁場
装置20が設けられており、この磁場装置20により、
磁場装置20とプラズマ源17との間に、プラズマビー
ム19の軌道にそって、カスプ状、或いは、ミラー状の
磁場勾配を有する磁場を発生させる。
【0011】磁場装置20の発生する磁場勾配により、
プラズマビーム19は磁場装置20の片側又は両側でプ
ラズマビーム20の流れが阻害され、プラズマビーム1
9は半閉じ込め状態となる。この半閉じ込め状態にある
プラズマビーム19では、熱拡散のため、電子の密度n
eがイオンの密度niより大きい状態、即ち、ne≧n
iとなる状態が生成される。
プラズマビーム19は磁場装置20の片側又は両側でプ
ラズマビーム20の流れが阻害され、プラズマビーム1
9は半閉じ込め状態となる。この半閉じ込め状態にある
プラズマビーム19では、熱拡散のため、電子の密度n
eがイオンの密度niより大きい状態、即ち、ne≧n
iとなる状態が生成される。
【0012】この状態は、電子流にとって電気的に陰性
の空間電荷となり、放電電圧を上昇させることになる。
更に、中和ガス、中和粒子を閉じ込められたプラズマの
端部から注入すると、空間での電子密度とイオン密度と
の差が大きくなり(ne>ni)、結果的に、放電電圧
を上昇させる。
の空間電荷となり、放電電圧を上昇させることになる。
更に、中和ガス、中和粒子を閉じ込められたプラズマの
端部から注入すると、空間での電子密度とイオン密度と
の差が大きくなり(ne>ni)、結果的に、放電電圧
を上昇させる。
【0013】ここで、プラズマビームを半閉じ込め状態
にするための磁場装置20は、電子ビームの軌道を修正
したり、或いは、プラズマビームをガイドするための磁
場装置、例えば、15、18等とは異なり、電子流の流
れを阻害するためのものである。このため、磁場装置2
0は、他の磁場装置に比較して、プラズマビーム19の
軌道にそって急激に変化する磁場勾配を作り出すような
永久磁石、或いは、複数の電磁石によって構成すれば良
い。
にするための磁場装置20は、電子ビームの軌道を修正
したり、或いは、プラズマビームをガイドするための磁
場装置、例えば、15、18等とは異なり、電子流の流
れを阻害するためのものである。このため、磁場装置2
0は、他の磁場装置に比較して、プラズマビーム19の
軌道にそって急激に変化する磁場勾配を作り出すような
永久磁石、或いは、複数の電磁石によって構成すれば良
い。
【0014】図2を参照すると、磁場装置20の具体例
が示されている。図2では、環状の永久磁石21を用い
ており、環状永久磁石21の環状の一端をN極、他端を
S極にし、N極側をプラズマ源17を構成するコイル1
5側に向けている。このような環状永久磁石21を使用
した場合、カスプ状の磁場が発生しプラズマビームを半
閉じ込め状態にすることができる。カスプ状の磁場を発
生させた場合、環状永久磁石21の内側空間を貫くよう
な磁力線が発生すると共に、環状永久磁石21の外側空
間にも、N極からS極へ向かう磁力線が発生する。この
ようなカスプ状の磁場により、環状永久磁石21の内側
空間部分がプラズマビームの閉じ込め端部となり、電子
密度neは環状永久磁石21に対してプラズマ源17側
で高くなり、且つ、この環状永久磁石21の内側空間を
通して負電荷空間を通り抜けた電子流が陽極側に送り出
される。したがって、環状永久磁石21をプラズマビー
ムにそって配置することにより、高出力大電流ビームを
得ることができる。
が示されている。図2では、環状の永久磁石21を用い
ており、環状永久磁石21の環状の一端をN極、他端を
S極にし、N極側をプラズマ源17を構成するコイル1
5側に向けている。このような環状永久磁石21を使用
した場合、カスプ状の磁場が発生しプラズマビームを半
閉じ込め状態にすることができる。カスプ状の磁場を発
生させた場合、環状永久磁石21の内側空間を貫くよう
な磁力線が発生すると共に、環状永久磁石21の外側空
間にも、N極からS極へ向かう磁力線が発生する。この
ようなカスプ状の磁場により、環状永久磁石21の内側
空間部分がプラズマビームの閉じ込め端部となり、電子
密度neは環状永久磁石21に対してプラズマ源17側
で高くなり、且つ、この環状永久磁石21の内側空間を
通して負電荷空間を通り抜けた電子流が陽極側に送り出
される。したがって、環状永久磁石21をプラズマビー
ムにそって配置することにより、高出力大電流ビームを
得ることができる。
【0015】図3を参照すると、磁場装置20として使
用できる他の例が示されており、ここでは、図2の環状
永久磁石21の極性を図2とは逆にし、S極をプラズマ
源17の方向に向け、N極を陽極に向けている。この例
でも、環状永久磁石によってカスプ状の磁場が発生し
て、図2の場合と同様に、プラズマビームを半閉じ込め
状態にできることが判明した。
用できる他の例が示されており、ここでは、図2の環状
永久磁石21の極性を図2とは逆にし、S極をプラズマ
源17の方向に向け、N極を陽極に向けている。この例
でも、環状永久磁石によってカスプ状の磁場が発生し
て、図2の場合と同様に、プラズマビームを半閉じ込め
状態にできることが判明した。
【0016】図4に示された磁場装置20の他の例は、
複合永久磁石22により、カスプ状磁場を発生させてい
る。図4の複合永久磁石は、中央部分に開口を有する環
状形状を有しており、水平方向内側にN極が設けられ、
且つ、水平方向外側にS極が設けられている。他方、垂
直方向上部及び下部に、それぞれN極及びS極が配置さ
れている。したがって、水平方向には、磁力線が内側か
ら外側へと延びており、これによって、プラズマビーム
を半閉じ込め状態にできると共に、環状の内側開口に
は、複合永久磁石22の上部から下部へ延びる磁力線が
発生しているため、当該開口を通過する電子流を制限で
きる。したがって、この構成の複合永久磁石22を用い
ても、高出力の電子ビームを生成することができる。
複合永久磁石22により、カスプ状磁場を発生させてい
る。図4の複合永久磁石は、中央部分に開口を有する環
状形状を有しており、水平方向内側にN極が設けられ、
且つ、水平方向外側にS極が設けられている。他方、垂
直方向上部及び下部に、それぞれN極及びS極が配置さ
れている。したがって、水平方向には、磁力線が内側か
ら外側へと延びており、これによって、プラズマビーム
を半閉じ込め状態にできると共に、環状の内側開口に
は、複合永久磁石22の上部から下部へ延びる磁力線が
発生しているため、当該開口を通過する電子流を制限で
きる。したがって、この構成の複合永久磁石22を用い
ても、高出力の電子ビームを生成することができる。
【0017】図4では、単一の磁石部材を着磁すること
によって、図示された複合永久磁石22を得る場合を説
明したが、複数の永久磁石を積み重ねることによって、
図示された構造の複合永久磁石を構成しても良い。ま
た、実験によれば、図とは逆の極性を有する複合永久磁
石を用いても、同様な結果が得られた。
によって、図示された複合永久磁石22を得る場合を説
明したが、複数の永久磁石を積み重ねることによって、
図示された構造の複合永久磁石を構成しても良い。ま
た、実験によれば、図とは逆の極性を有する複合永久磁
石を用いても、同様な結果が得られた。
【0018】図5の例では、複数の環状永久磁石を積層
した構造の複合永久磁石23によって、カスプ状磁場を
発生させている。この例の場合、互いに隣接する環状永
久磁石の極性は互いに逆極性を有するように、積層され
ている。
した構造の複合永久磁石23によって、カスプ状磁場を
発生させている。この例の場合、互いに隣接する環状永
久磁石の極性は互いに逆極性を有するように、積層され
ている。
【0019】図2乃至図5に示した環状永久磁石は、必
ずしも円形の環状形状でなくても良く、例えば、4角形
の形状を有していても良い。
ずしも円形の環状形状でなくても良く、例えば、4角形
の形状を有していても良い。
【0020】図6及び図7を参照すると、磁場装置20
として使用できる電磁コイルの例が示されている。図6
の電磁コイルは、プラズマ源側に配置される直径の大き
な第1のコイル26と、陽極側に配置される第1のコイ
ル26より直径の小さな第2のコイル27とを有し、こ
れら第1及び第2のコイル26及び27には、磁力線か
らも明らかな通り、互いに逆極性の電流が流されてい
る。この構成では、カスプ状の磁場を発生することがで
き、図2乃至図5に示した永久磁石の場合と同様に、プ
ラズマビームを半閉じ込め状態にすることができる。
として使用できる電磁コイルの例が示されている。図6
の電磁コイルは、プラズマ源側に配置される直径の大き
な第1のコイル26と、陽極側に配置される第1のコイ
ル26より直径の小さな第2のコイル27とを有し、こ
れら第1及び第2のコイル26及び27には、磁力線か
らも明らかな通り、互いに逆極性の電流が流されてい
る。この構成では、カスプ状の磁場を発生することがで
き、図2乃至図5に示した永久磁石の場合と同様に、プ
ラズマビームを半閉じ込め状態にすることができる。
【0021】図7では、第1のコイル26´と第2のコ
イル27´とに、同極性の電流を流し、ミラー状の磁場
を発生させている。このようなミラー状磁場によって
も、プラズマビームを半閉じ込め状態に置くことができ
た。
イル27´とに、同極性の電流を流し、ミラー状の磁場
を発生させている。このようなミラー状磁場によって
も、プラズマビームを半閉じ込め状態に置くことができ
た。
【0022】図8を参照すると、本発明の一実施例に係
るビーム発生装置は、図1と同一の参照番号で示された
部分を有している。図示された例では、チャンバー30
が示されており、このチャンバー30は接地(E)され
た状態にある。また、プラズマ源17には、第1及び第
2のグリッド電極G1、G2が含まれている。チャンバ
ー30の外部に設けられたプラズマガイド用コイル15
に通電することによって発生する磁場によって、チャン
バー30内に発生したプラズマビームは陽極12に方向
に曲げられる。この例では、陽極12に隣接して、カス
プ状磁場を発生する環状永久磁石20(例えば、図2の
環状永久磁石)が配置されており、この環状永久磁石2
0によって、プラズマビームはチャンバー内に半閉じ込
め状態になり、陽極12には、高出力の電子流が流れ込
む。実験では、環状永久磁石20により、100G/c
m以上の磁場勾配を与えれば、プラズマビームの半閉じ
込め状態が得られることが判明した。
るビーム発生装置は、図1と同一の参照番号で示された
部分を有している。図示された例では、チャンバー30
が示されており、このチャンバー30は接地(E)され
た状態にある。また、プラズマ源17には、第1及び第
2のグリッド電極G1、G2が含まれている。チャンバ
ー30の外部に設けられたプラズマガイド用コイル15
に通電することによって発生する磁場によって、チャン
バー30内に発生したプラズマビームは陽極12に方向
に曲げられる。この例では、陽極12に隣接して、カス
プ状磁場を発生する環状永久磁石20(例えば、図2の
環状永久磁石)が配置されており、この環状永久磁石2
0によって、プラズマビームはチャンバー内に半閉じ込
め状態になり、陽極12には、高出力の電子流が流れ込
む。実験では、環状永久磁石20により、100G/c
m以上の磁場勾配を与えれば、プラズマビームの半閉じ
込め状態が得られることが判明した。
【0023】図9を参照すると、陰極11から陽極12
までの各部の電圧と、陽極に流れ込む電流との関係が示
されている。図9からも明らかな通り、グリッド電極G
2から陽極12との間で、大きく電圧が上昇している。
また、陽極12の電圧は電流が大きい程、高くなること
が判る。図示された例の場合、20Aの放電電流で、約
550ボルトの高放電電圧が記録されている。因みに、
従来のビーム発生装置では、250Aの放電であって
も、80〜100ボルト程度の放電電圧しか得られてい
ない。
までの各部の電圧と、陽極に流れ込む電流との関係が示
されている。図9からも明らかな通り、グリッド電極G
2から陽極12との間で、大きく電圧が上昇している。
また、陽極12の電圧は電流が大きい程、高くなること
が判る。図示された例の場合、20Aの放電電流で、約
550ボルトの高放電電圧が記録されている。因みに、
従来のビーム発生装置では、250Aの放電であって
も、80〜100ボルト程度の放電電圧しか得られてい
ない。
【0024】尚、図8の実施例において、環状永久磁石
20の下側から中和粒子として、銅イオンを注入した場
合、イオン密度の異なる層ができ、空間電荷2重層が生
成されることも判った。
20の下側から中和粒子として、銅イオンを注入した場
合、イオン密度の異なる層ができ、空間電荷2重層が生
成されることも判った。
【0025】
【発明の効果】本発明では、プラズマビーム軌道にそっ
て急激な磁場勾配を与える磁場装置を配置することによ
り、大電流、大電圧の放電を行わせることができ、結果
として、高出力ビームを簡単な構成により達成できる。
て急激な磁場勾配を与える磁場装置を配置することによ
り、大電流、大電圧の放電を行わせることができ、結果
として、高出力ビームを簡単な構成により達成できる。
【図1】本発明の原理を説明するための概略構成図であ
る。
る。
【図2】図1に示される磁場装置として使用できる永久
磁石の例を示す図である。
磁石の例を示す図である。
【図3】図1に使用される磁場装置として使用できる永
久磁石の他の例を示す図である。
久磁石の他の例を示す図である。
【図4】図1に使用される磁場装置として使用できる永
久磁石のもう一つの例を示す図である。
久磁石のもう一つの例を示す図である。
【図5】図1に使用される磁場装置として使用できる永
久磁石の更に他の例を示す図である。
久磁石の更に他の例を示す図である。
【図6】図1に使用される磁場装置として使用できる電
磁コイルの例を示す図である。
磁コイルの例を示す図である。
【図7】図1に使用される磁場装置として使用できる電
磁コイルのもう一つの例を示す図である。
磁コイルのもう一つの例を示す図である。
【図8】本発明に係るビーム発生装置の一実施例を示す
図である。
図である。
【図9】図8に示すビーム発生装置の特性を説明するた
めの図である。
めの図である。
11 陰極 12 陽極 13 キャリアガス 14 電源 15 プラズマビームガイド
用コイル 16 電源 17 プラズマ源 18 プラズマビームガイド
用磁石 19 プラズマビーム 20 磁場装置 21〜23 永久磁石 26、27、26´、27´ 電磁コイル
用コイル 16 電源 17 プラズマ源 18 プラズマビームガイド
用磁石 19 プラズマビーム 20 磁場装置 21〜23 永久磁石 26、27、26´、27´ 電磁コイル
Claims (5)
- 【請求項1】 プラズマ源から発生したプラズマビーム
の軌道上に、前記プラズマ源との間の空間に、空間電荷
を発生させるような磁場勾配を持つ磁場を発生させ、前
記プラズマ源の間の空間に、前記プラズマビームを半閉
じ込め状態にする環状構造の磁場発生手段と、該磁場発
生手段からのプラズマビーム内の電子流を加速するため
の電極部とを有することを特徴とするビーム発生方法。 - 【請求項2】 請求項第1項において、前記磁場発生手
段はカスプ状磁場及びミラー状磁場の少なくとも一方を
発生することを特徴とするビーム発生方法。 - 【請求項3】 請求項第1項において、前記磁場発生手
段は、前記プラズマビームの軌道を取り囲むように設け
られた永久磁石によって構成されていることを特徴とす
るビーム発生方法。 - 【請求項4】 請求項第1項において、前記磁場発生手
段は、電磁コイルと永久磁石の組み合わせ、及び、複数
の電磁コイルの組み合わせのいずれかによって構成され
ていることを特徴とするビーム発生方法。 - 【請求項5】 プラズマビームを磁場により決定された
軌道に沿って発生するプラズマ源と、前記軌道上に配置
され、プラズマビームを受ける電極部と、前記プラズマ
源と電極部との軌道の空間に沿って置かれ、該空間に、
空間電荷を発生させるような磁場勾配を持つ磁場を発生
させ、前記プラズマ源の間の空間に、前記プラズマビー
ムを半閉じ込め状態にする環状構造の磁場発生手段とを
備え、該磁場発生手段からのプラズマビーム内の電子流
は、加速されて前記電極部に供給されることを特徴とす
るビーム発生装置。
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US08/359,543 US5557172A (en) | 1993-12-21 | 1994-12-20 | Plasma beam generating method and apparatus which can generate a high-power plasma beam |
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1993
- 1993-12-21 JP JP5322455A patent/JP2909696B2/ja not_active Expired - Fee Related
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