JP2907875B2 - レベル制御形パルス変調装置 - Google Patents
レベル制御形パルス変調装置Info
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- JP2907875B2 JP2907875B2 JP18560089A JP18560089A JP2907875B2 JP 2907875 B2 JP2907875 B2 JP 2907875B2 JP 18560089 A JP18560089 A JP 18560089A JP 18560089 A JP18560089 A JP 18560089A JP 2907875 B2 JP2907875 B2 JP 2907875B2
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Description
【発明の詳細な説明】 a.産業上の利用分野 本発明は、連続する高周波または超高周波信号（RF信
号）のパルス変調装置に関し、特に、フィードバック系
を介し、パルス変調信号の信号レベルを制御するパルス
変調装置に関する。
号）のパルス変調装置に関し、特に、フィードバック系
を介し、パルス変調信号の信号レベルを制御するパルス
変調装置に関する。
b.従来の技術と発明が解決しようとする課題 従来、この種のパルス変調器はそれ自身フィードバッ
ク系を持たなかったため、外部要因、例えば電源電圧変
動や周囲温度の変化に対して変調出力レベルが変動し、
動作が不安定であるという問題点があった。
ク系を持たなかったため、外部要因、例えば電源電圧変
動や周囲温度の変化に対して変調出力レベルが変動し、
動作が不安定であるという問題点があった。
また、前記パルス変調器にフィードバック系を備えた
ものであっても、変調信号レベルが他の原因で変動しパ
ルス変調波の立上りが極めて遅いという問題点があっ
た。
ものであっても、変調信号レベルが他の原因で変動しパ
ルス変調波の立上りが極めて遅いという問題点があっ
た。
このため、前記パルス変調器は、例えばレーザ発振器
の励振用やプラズマ加熱用として、安定した電圧または
電力供給用の装置に使用できなかった。
の励振用やプラズマ加熱用として、安定した電圧または
電力供給用の装置に使用できなかった。
本発明はかかる点に鑑みなされたもので、その目的は
前記問題点を解消し、連続した高または超高周波信号の
パルス変調信号のレベルを一定に制御するとともに、パ
ルス変調波の立上りの早いレベル制御形パルス変調装置
を提供することにある。
前記問題点を解消し、連続した高または超高周波信号の
パルス変調信号のレベルを一定に制御するとともに、パ
ルス変調波の立上りの早いレベル制御形パルス変調装置
を提供することにある。
c.課題を解決するための手段 前記目的を達成するための本発明の構成は、連続する
高周波または超高周波信号をパルス信号で変調し、これ
を電圧制御減衰手段により、その出力レベルを制御する
パルス変調装置において、出力されるパルス変調信号の
一部を分岐する方向性結合器と、該方向性結合器によ
り、分岐される前記パルス変調信号を復調する検波回路
と、前記パルス信号に合ったタイミングで、サンプルホ
ールドゲート信号を発生するサンプルホールド制御回路
と、該サンプルホールド制御回路からのサンプルホール
ドゲート信号を受け、前記検波回路にて復調されるパル
ス信号を、前記パルス信号のタイミングで、直流化した
アナログ信号値として抜き出し、これをサンプル保持す
るサンプルホールド回路と、該サンプルホールド回路に
保持されたアナログ信号を、レベル基準信号と比較し
て、その差電圧を前記電圧制御減衰手段に出力する差動
増幅回路とからなり、前記出力されるパルス変調信号の
電圧レベルを一定に制御するレベル制御形パルス変調装
置であることを特徴とする。
高周波または超高周波信号をパルス信号で変調し、これ
を電圧制御減衰手段により、その出力レベルを制御する
パルス変調装置において、出力されるパルス変調信号の
一部を分岐する方向性結合器と、該方向性結合器によ
り、分岐される前記パルス変調信号を復調する検波回路
と、前記パルス信号に合ったタイミングで、サンプルホ
ールドゲート信号を発生するサンプルホールド制御回路
と、該サンプルホールド制御回路からのサンプルホール
ドゲート信号を受け、前記検波回路にて復調されるパル
ス信号を、前記パルス信号のタイミングで、直流化した
アナログ信号値として抜き出し、これをサンプル保持す
るサンプルホールド回路と、該サンプルホールド回路に
保持されたアナログ信号を、レベル基準信号と比較し
て、その差電圧を前記電圧制御減衰手段に出力する差動
増幅回路とからなり、前記出力されるパルス変調信号の
電圧レベルを一定に制御するレベル制御形パルス変調装
置であることを特徴とする。
d.作用 本発明は前記のように構成されており、出力したパル
ス変調信号の一部をフィードバックし、サンプルホール
ド回路部にてそのパルス信号分を直流化した信号として
出力し、差動増幅回路部にて該信号を、所定レベルとし
て設定された基準信号と比較し、この差信号を電圧増幅
する。
ス変調信号の一部をフィードバックし、サンプルホール
ド回路部にてそのパルス信号分を直流化した信号として
出力し、差動増幅回路部にて該信号を、所定レベルとし
て設定された基準信号と比較し、この差信号を電圧増幅
する。
この電圧をパルス変調回路部に接続された電圧制御減
衰器に加えて減衰量を自動的に調整し、パルス変調信号
のレベルを設定値に制御する。
衰器に加えて減衰量を自動的に調整し、パルス変調信号
のレベルを設定値に制御する。
そして、前記差動増幅回路部の入力信号を直流化する
ことにより、立上りの早いパルス信号に対しての発振や
リンギングを防止している。
ことにより、立上りの早いパルス信号に対しての発振や
リンギングを防止している。
e.実施例 以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を例示的
に詳しく説明する。
に詳しく説明する。
第１図は本発明のレベル制御形パルス変調装置の一実
施例を示すブロック図で、パルス変調信号の電力レベル
制御の場合を示す。
施例を示すブロック図で、パルス変調信号の電力レベル
制御の場合を示す。
同図において、本装置の入力端子１に連続した周波数
例えば、13.56MHz、1Wの信号を入力する。この信号は減
衰器２で減衰されてパルス変調回路３にて、端子４から
ホト・アイソレータ５を通ってきたゲート制御信号（パ
ルス信号）によりパルス変調される。
例えば、13.56MHz、1Wの信号を入力する。この信号は減
衰器２で減衰されてパルス変調回路３にて、端子４から
ホト・アイソレータ５を通ってきたゲート制御信号（パ
ルス信号）によりパルス変調される。
このパルス変調信号は、次の電圧制御減衰器６で後記
する制御電圧で減衰量が調整されて、信号レベルが制御
され、増幅回路７に送出される。この電圧制御減衰器６
は所謂ダブルバランスドミキサ（double balanced mixe
r）であり、加える電圧により減衰量が調整される。増
幅回路７を経たパルス変調信号は可変減衰器８にて、そ
の最大出力が決定された後、２段の増幅回路9,10および
低減波器（15MHz）11を経て出力端子12から出力され
る。この出力されたパルス変調信号は、図示しない外部
の増幅器で電力増幅され、負荷に供給される。
する制御電圧で減衰量が調整されて、信号レベルが制御
され、増幅回路７に送出される。この電圧制御減衰器６
は所謂ダブルバランスドミキサ（double balanced mixe
r）であり、加える電圧により減衰量が調整される。増
幅回路７を経たパルス変調信号は可変減衰器８にて、そ
の最大出力が決定された後、２段の増幅回路9,10および
低減波器（15MHz）11を経て出力端子12から出力され
る。この出力されたパルス変調信号は、図示しない外部
の増幅器で電力増幅され、負荷に供給される。
その際、その出力の一部は図示しない方向性結合器に
より分岐され、本装置のフィードバック入力端子16に入
力される。この入力信号は、減衰器17で減衰され、検波
回路18で検波され、前記パルス信号に復調される。この
パルス信号はサンプルホールド回路19に入力され、直流
化されたアナログ信号になる。このサンプルホールド回
路19は、他方でサンプルホールドゲート信号として、端
子４からホトアイソレータ５およびサンプルホールド制
御回路20を経て、前記パルス変調回路３に加えるパルス
信号に合ったタイミングでゲート制御信号（パルス信
号）を受け、前記検波回路18からのパルス信号を適時、
直流化したアナログ信号値（電圧）として抜き出し、ホ
ールドして次段の演算回路21に出力する。
より分岐され、本装置のフィードバック入力端子16に入
力される。この入力信号は、減衰器17で減衰され、検波
回路18で検波され、前記パルス信号に復調される。この
パルス信号はサンプルホールド回路19に入力され、直流
化されたアナログ信号になる。このサンプルホールド回
路19は、他方でサンプルホールドゲート信号として、端
子４からホトアイソレータ５およびサンプルホールド制
御回路20を経て、前記パルス変調回路３に加えるパルス
信号に合ったタイミングでゲート制御信号（パルス信
号）を受け、前記検波回路18からのパルス信号を適時、
直流化したアナログ信号値（電圧）として抜き出し、ホ
ールドして次段の演算回路21に出力する。
この演算回路21は２乗回路であり、制御対象がパルス
変調信号の電力レベルのための演算回路である。該演算
回路21からの出力は差動増幅回路22の一方の入力端に加
えられ、他方の入力端に加えられる基準信号と比較され
る。この基準信号は基準レベルとして設定するレベル信
号であり、端子23からアイソレーション増幅器24を介し
て加えられる直流電圧の信号である。前記差動増幅回路
22は、演算回路21からの出力信号とこの設定されたレベ
ル基準信号との差信号を増幅し、この出力電圧を前記電
圧制御減衰器６に加えて、その減衰量を調整し、前記パ
ルス変調信号の電力レベルを所定の一定値に制御するの
である。
変調信号の電力レベルのための演算回路である。該演算
回路21からの出力は差動増幅回路22の一方の入力端に加
えられ、他方の入力端に加えられる基準信号と比較され
る。この基準信号は基準レベルとして設定するレベル信
号であり、端子23からアイソレーション増幅器24を介し
て加えられる直流電圧の信号である。前記差動増幅回路
22は、演算回路21からの出力信号とこの設定されたレベ
ル基準信号との差信号を増幅し、この出力電圧を前記電
圧制御減衰器６に加えて、その減衰量を調整し、前記パ
ルス変調信号の電力レベルを所定の一定値に制御するの
である。
なお、本実施例において、制御対象がパルス変調信号
の電圧レベル制御である場合には、フィードバック系に
接続されている２乗回路を有する演算回路21を削除すれ
ばよい。
の電圧レベル制御である場合には、フィードバック系に
接続されている２乗回路を有する演算回路21を削除すれ
ばよい。
前述のように、パルス変調信号の電力レベル制御した
パルス変調装置を、例えばレーザ発振器の励振に適用す
れば、パルス立上りの極めて早いレーザ出力を得ること
ができる。また、加速器やプラズマ加熱用に本装置を適
用することにより、安定な電圧または電力を供給するこ
とができる。
パルス変調装置を、例えばレーザ発振器の励振に適用す
れば、パルス立上りの極めて早いレーザ出力を得ること
ができる。また、加速器やプラズマ加熱用に本装置を適
用することにより、安定な電圧または電力を供給するこ
とができる。
なお、本発明の技術は前記実施例における技術に限定
されるものではなく、同様な機能を果たす他の態様の手
段によってもよく、また本発明の技術は前記構成の範囲
内において種々の変更、付加が可能である。
されるものではなく、同様な機能を果たす他の態様の手
段によってもよく、また本発明の技術は前記構成の範囲
内において種々の変更、付加が可能である。
f.発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、連
続した高または超高周波信号をパルス信号で変調し、こ
れを電圧制御減衰手段を通して出力するパルス変調装置
において、その出力した変調信号の一部をフィードバッ
クするフィードバック系に、前記パルス信号分をアナロ
グ信号として出力するサンプルホールド回路部と、該ア
ナログ信号を所定のレベル基準信号と比較し、その差信
号を前記電圧制御減衰手段に出力する差動増幅回路とか
ら成り、前記パルス変調信号レベルを一定に制御すると
ともに、該パルス変調波の立上りを早くすることができ
る。
続した高または超高周波信号をパルス信号で変調し、こ
れを電圧制御減衰手段を通して出力するパルス変調装置
において、その出力した変調信号の一部をフィードバッ
クするフィードバック系に、前記パルス信号分をアナロ
グ信号として出力するサンプルホールド回路部と、該ア
ナログ信号を所定のレベル基準信号と比較し、その差信
号を前記電圧制御減衰手段に出力する差動増幅回路とか
ら成り、前記パルス変調信号レベルを一定に制御すると
ともに、該パルス変調波の立上りを早くすることができ
る。
第１図は本発明のレベル制御形パルス変調装置の一実施
例を示すブロック図である。 ３……パルス変調回路、４……ゲート制御信号（パルス
信号）入力端子、６……電圧制御形減衰器、16……フィ
ードバック入力端子、19……サンプルホールド回路、22
……差動増幅回路、23……レベル制御信号（直流電圧信
号）入力端子。
例を示すブロック図である。 ３……パルス変調回路、４……ゲート制御信号（パルス
信号）入力端子、６……電圧制御形減衰器、16……フィ
ードバック入力端子、19……サンプルホールド回路、22
……差動増幅回路、23……レベル制御信号（直流電圧信
号）入力端子。
Claims (1)
- 【請求項１】連続する高周波または超高周波信号をパル
ス信号で変調し、これを電圧制御減衰手段により、その
出力レベルを制御するパルス変調装置において、 出力されるパルス変調信号の一部を分岐する方向性結合
器と、該方向性結合器により、分岐される前記パルス変
調信号を復調する検波回路と、前記パルス信号に合った
タイミングで、サンプルホールドゲート信号を発生する
サンプルホールド制御回路と、該サンプルホールド制御
回路からのサンプルホールドゲート信号を受け、前記検
波回路にて復調されるパルス信号を、前記パルス信号の
タイミングで、直流化したアナログ信号値として抜き出
し、これをサンプル保持するサンプルホールド回路と、
該サンプルホールド回路に保持されたアナログ信号を、
レベル基準信号と比較して、その差電圧を前記電圧制御
減衰手段に出力する差動増幅回路とからなり、前記出力
されるパルス変調信号の電圧レベルを一定に制御するこ
とを特徴とするレベル制御形パルス変調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18560089A JP2907875B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | レベル制御形パルス変調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18560089A JP2907875B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | レベル制御形パルス変調装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349407A JPH0349407A (ja) | 1991-03-04 |
| JP2907875B2 true JP2907875B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=16173639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18560089A Expired - Fee Related JP2907875B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | レベル制御形パルス変調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2907875B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112468118A (zh) * | 2020-11-17 | 2021-03-09 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 电路组件、信号检测方法和半导体工艺设备 |
-
1989
- 1989-07-18 JP JP18560089A patent/JP2907875B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0349407A (ja) | 1991-03-04 |
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Legal Events
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