JP2906377B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は超音波振動を駆動源とする超音波モータに
関するものであり、特に、その起動性を改良した超音波
モータに関するものである。Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to an ultrasonic motor using ultrasonic vibration as a driving source, and more particularly to an ultrasonic motor having improved start-up performance.

［従来の技術］ 従来より弾性体に接合した圧電体によって表面進行波
を発生させ、これによって移動体を駆動する超音波モー
タが知られている。これらの超音波モータでは、弾性体
に発生した振動エネルギーが摩擦力によって移動体に伝
達されることによって移動体を駆動するものである。次
に、その事例を説明する。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an ultrasonic motor that generates a surface traveling wave by a piezoelectric body bonded to an elastic body, and thereby drives a moving body. In these ultrasonic motors, the moving body is driven by transmitting vibration energy generated in the elastic body to the moving body by frictional force. Next, the case will be described.

第６図は従来の超音波モータの構成を示す断面図、第
７図は従来の超音波モータ本体の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 6 is a sectional view showing the structure of a conventional ultrasonic motor, and FIG. 7 is a perspective view showing the structure of a conventional ultrasonic motor main body.

図において、１は超音波モータの回転軸、２は移動体
であるロータ、３はロータ２を駆動する固定子であるス
テータ、４は回転軸１を軸支するベアリング、５は軸受
として機能するブッシュ、６はブッシュ５の反対側に位
置するブッシュ、７及び８は超音波モータの外郭をなす
ハウジング、９は回転軸１と一体で回転するフランジ部
材、10はロータ２とステータ３との接触圧力を増大させ
るための皿バネ、11は防振材及びトルク伝達部材として
機能するゴムシートである。20はロータ２のステータ３
側に貼設した摩擦材であり、ロータ２とステータ３との
摩擦力を増大している。30は応力により弾性変形する弾
性体であり、前記ロータ２側は櫛歯部30aとなってい
る。この櫛歯部30aは弾性体30に発生する表面進行波の
振幅等を大きくするために形成されている。また、31は
ステータ３の反ロータ２側に接合されている圧電体であ
る。In the figure, 1 is a rotating shaft of an ultrasonic motor, 2 is a rotor which is a moving body, 3 is a stator which is a stator for driving the rotor 2, 4 is a bearing which supports the rotating shaft 1, and 5 functions as a bearing. A bush, 6 is a bush located on the opposite side of the bush 5, 7 and 8 are housings forming the outer periphery of the ultrasonic motor, 9 is a flange member that rotates integrally with the rotating shaft 1, and 10 is contact between the rotor 2 and the stator 3. A disc spring 11 for increasing the pressure is a rubber sheet that functions as a vibration isolator and a torque transmitting member. 20 is the stator 3 of the rotor 2
The friction material is attached to the side, and increases the frictional force between the rotor 2 and the stator 3. Numeral 30 denotes an elastic body that is elastically deformed by stress, and the rotor 2 side is a comb tooth portion 30a. The comb teeth 30a are formed to increase the amplitude and the like of the surface traveling wave generated in the elastic body 30. Reference numeral 31 denotes a piezoelectric body joined to the stator 3 on the side opposite to the rotor 2.

従来の超音波モータは上記のように構成されており、
ロータ２の弾性体30に接合した圧電体31に位相のずれた
所定の周波数の電圧信号を順次印加して、圧電体31及び
弾性体30を振動させ、当該周波数に応じた所定の共振状
態の表面進行波を発生させている。そして、この進行波
による摩擦駆動を利用してロータ２を回転し、この回転
力は皿バネ10及びフランジ部材９を介して回転軸１に伝
達され、前記回転軸１が回転する。The conventional ultrasonic motor is configured as described above,
A voltage signal of a predetermined frequency with a phase shift is sequentially applied to the piezoelectric body 31 bonded to the elastic body 30 of the rotor 2 to vibrate the piezoelectric body 31 and the elastic body 30, and a predetermined resonance state corresponding to the frequency is obtained. A surface traveling wave is generated. Then, the rotor 2 is rotated using the friction drive by the traveling wave, and the rotating force is transmitted to the rotating shaft 1 via the disc spring 10 and the flange member 9, and the rotating shaft 1 rotates.

上記のような超音波モータは、通常の電磁モータに比
べ高トルク低回転を特徴としている。そして、より大き
なトルクを得るために、付勢手段たる皿バネ10により、
ロータ２をステータ３方向に加圧し、ステータ３とロー
タ２との接触圧力を増大させている。The ultrasonic motor as described above is characterized by high torque and low rotation as compared with a normal electromagnetic motor. Then, in order to obtain a larger torque, the disc spring 10 serving as an urging means
The rotor 2 is pressurized in the direction of the stator 3 to increase the contact pressure between the stator 3 and the rotor 2.

通常、ロータ２が回転している間、ロータ２はステー
タ３から高い周波数を有する振動圧力を受け、法線方向
と接線方向に振動する（第７図参照）。この時、ロータ
２に生じる振動はステータ３の振動と同じ周波数を有し
ている。ロータ２の振動とステータ３の振動が同じ周波
数を有している状態では、超音波モータの出力はステー
タ３に供給される電力の大きさに応じて増大する。Normally, while the rotor 2 is rotating, the rotor 2 receives a vibration pressure having a high frequency from the stator 3 and vibrates in a normal direction and a tangential direction (see FIG. 7). At this time, the vibration generated in the rotor 2 has the same frequency as the vibration of the stator 3. In a state where the vibration of the rotor 2 and the vibration of the stator 3 have the same frequency, the output of the ultrasonic motor increases according to the magnitude of the electric power supplied to the stator 3.

［発明が解決しようとする課題］ ところが、上記の構成の超音波モータでは、起動開始
前にはロータ２とステータ３とは圧接状態にあり、起動
初期にはロータ２とステータ３とが一体となって振動系
を構成するために、印加電圧及び起動周波数の大きさに
よっては、ロータ２の駆動ができなかった。これを、第
８図によって説明する。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the ultrasonic motor having the above-described configuration, the rotor 2 and the stator 3 are in a pressure-contact state before the start of the start, and the rotor 2 and the stator 3 are integrally formed at the initial stage of the start. As a result, the rotor 2 could not be driven depending on the magnitude of the applied voltage and the starting frequency. This will be described with reference to FIG.

第８図は超音波モータの起動時及び駆動時のロータと
ステータの状態を拡大して展開した要部断面図であり、
（ａ）はステータとロータが一体となって振動している
状態を示し、（ｂ）は正常な起動時及び駆動時のロータ
とステータの振動状態を示している。なお、図中、
（２）、（３）及び（20）は上記第６図及び第７図の構
成部分と同一または相当する構成部分である。FIG. 8 is an enlarged sectional view of a main part of the state of the rotor and the stator at the time of starting and driving the ultrasonic motor,
(A) shows a state where the stator and the rotor are vibrating integrally, and (b) shows a vibration state of the rotor and the stator at the time of normal startup and driving. In the figure,
(2), (3) and (20) are components which are the same as or correspond to the components in FIGS. 6 and 7.

例えば、第８図の（ａ）のように、ロータ２とステー
タ３とが一緒になって振動し、全く同一の振動状態（同
一波長、同一振幅及び同一位相の振動波）のときは、ロ
ータ２を摩擦駆動することができない。これは、ロータ
２がステータ３の振動に対して追随性が良すぎるために
生じる現象である。この追随性はロータ２とステータ３
との圧接力、ロータ２の剛性或いはステータ３の振動時
の振幅の大きさ等によって変化していた。For example, as shown in FIG. 8A, when the rotor 2 and the stator 3 vibrate together and are in exactly the same vibration state (vibration waves having the same wavelength, the same amplitude and the same phase), the rotor 2 2 cannot be driven by friction. This is a phenomenon that occurs because the rotor 2 follows the vibration of the stator 3 too well. This followability is achieved by the rotor 2 and the stator 3
, The rigidity of the rotor 2 or the magnitude of the amplitude during vibration of the stator 3.

このため、従来は、圧電体31への印加電圧を大きくし
て、ステータ３の振動時の振幅を大きくし、密着状態に
あるロータ２とステータ３を振動波に応じて離反されて
いた。すなわち、第８図の（ｂ）のように、ロータ２と
ステータ３との間に所定の隙間Ｓを形成していた。この
結果、ステータ３の進行波による摩擦力はロータ２に適
当に伝達され、正常な起動が行なわれていた。そして、
起動後に、正常な駆動状態に移行していた。For this reason, conventionally, the voltage applied to the piezoelectric body 31 was increased to increase the amplitude of the stator 3 during vibration, and the rotor 2 and the stator 3 in close contact were separated from each other in accordance with the vibration wave. That is, as shown in FIG. 8B, a predetermined gap S is formed between the rotor 2 and the stator 3. As a result, the frictional force due to the traveling wave of the stator 3 was appropriately transmitted to the rotor 2, and the normal start was performed. And
After starting, the system was shifted to the normal driving state.

しかし、このような印加電圧を調整する起動方法で
は、ロータ２とステータ３との接触圧力を増大すると、
これに伴って印加する電圧も高くする必要があり、ま
た、この方法では印加電圧の調整に限度があった。さら
に、ロータ２とステータ３との接触圧力が均一でない場
合には、起動性にばらつきがあった。加えて、高電圧を
印加できないような構造の超音波モータには使用できな
かった。However, in such a starting method of adjusting the applied voltage, when the contact pressure between the rotor 2 and the stator 3 is increased,
Accordingly, it is necessary to increase the applied voltage, and in this method, there is a limit in adjusting the applied voltage. Further, when the contact pressure between the rotor 2 and the stator 3 is not uniform, the startability varies. In addition, it cannot be used for an ultrasonic motor having a structure that cannot apply a high voltage.

また、他の起動方法として特開昭62−2868号公報に開
示されているような対策も採られていた。この方法は駆
動体のインピーダンスの周波数特性は起動時と駆動時と
で変動し、起動時と駆動時では共振周波数が異なること
に着目して、起動時と駆動時の各々の共振周波数近傍で
振動させるものであった。すなわち、起動時には起動時
の共振周波数近傍で振動させ、起動後に、瞬間的に駆動
時の共振周波数近傍に変化させるものであった。As another starting method, a countermeasure as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-2868 has been adopted. This method focuses on the fact that the frequency characteristic of the impedance of the driving body fluctuates between startup and driving, and that the resonance frequency differs between startup and driving, and vibrates near each resonance frequency at startup and driving. It was to let. That is, at the time of start-up, vibration is performed near the resonance frequency at the time of start-up, and after start-up, the frequency is momentarily changed to near the resonance frequency at the time of drive.

しかし、この方法では、予め、起動周波数を調整して
おく必要があるが、ロータ２とステータ３の接触状態、
加圧力及び周辺温度等のばらつき等により、必ずしも一
定の値にはならなかった。このため、この調整に手間が
かかっていた。However, in this method, it is necessary to adjust the starting frequency in advance.
The value did not always become constant due to variations in the pressing force and the ambient temperature. For this reason, this adjustment was troublesome.

そこで、この発明はロータとステータとの接触圧力が
均一化でき、低電圧でも容易に起動できる超音波モータ
の提供を課題とするものである。Accordingly, it is an object of the present invention to provide an ultrasonic motor that can make the contact pressure between the rotor and the stator uniform and can easily start even at a low voltage.

［課題を解決するための手段］ 請求項１にかかる超音波モータは、弾性進行波を発生
させるステータと、前記ステータの振動によって駆動さ
れ回転するロータと、前記ステータに向かってロータを
加圧する付勢手段と、前記ロータと前記付勢手段の間に
配設され、少なくとも一端面にリング状突起を有する加
圧伝達手段とを備え、前記リング状突起の直径は、前記
ステータの振動によって前記ロータが回転しているとき
のロータ先端の軸方向の加速度が起動時におけるステー
タ先端の軸方向の加速度よりも小となるように定められ
ているものである。[Means for Solving the Problems] An ultrasonic motor according to claim 1, wherein a stator that generates an elastic traveling wave, a rotor that is driven by vibration of the stator, and a rotor that presses the rotor toward the stator. Biasing means, and pressure transmitting means disposed between the rotor and the biasing means and having a ring-shaped protrusion on at least one end surface, wherein the diameter of the ring-shaped protrusion is determined by the vibration of the stator. Is determined such that the axial acceleration of the rotor tip when the rotor is rotating is smaller than the axial acceleration of the stator tip at the time of startup.

請求項２にかかる超音波モータは、弾性進行波を発生
させるステータと、前記ステータの振動によって駆動さ
れ回転するロータと、前記ステータに向かってロータを
加圧する付勢手段と、前記ロータと前記付勢手段の間に
配設され、少なくとも一端面にリング状突起を有する加
圧伝達手段とを備え、前記リング状突起の直径は、前記
ステータの振動によって前記ロータが回転しているとき
のロータ先端の軸方向の加速度が定常時におけるステー
タ先端の軸方向の加速度よりも大となるように定められ
ているものである。An ultrasonic motor according to claim 2, wherein: a stator that generates an elastic traveling wave; a rotor that is driven and rotated by vibration of the stator; urging means that presses the rotor toward the stator; Pressure transmitting means disposed between the biasing means and having at least one end surface with a ring-shaped protrusion, wherein the diameter of the ring-shaped protrusion is equal to the tip of the rotor when the rotor is rotating due to the vibration of the stator. Is set to be larger than the axial acceleration of the stator tip in the steady state.

請求項３にかかる超音波モータは、弾性進行波を発生
させるステータと、前記ステータの振動によって駆動さ
れ回転するロータと、前記ステータに向かってロータを
加圧する付勢手段と、前記ロータと前記付勢手段の間に
配設され、少なくとも一端面にリング状突起を有する加
圧伝達手段とを備え、前記リング状突起の直径は、前記
ステータの振動によって前記ロータが回転しているとき
のロータ先端の軸方向の加速度が起動時におけるステー
タ先端の軸方向の加速度よりも小、前記ロータ先端の軸
方向の加速度が定常時におけるステータ先端の軸方向の
加速度よりも大となるように定められているものであ
る。An ultrasonic motor according to claim 3, wherein the stator generates an elastic traveling wave, the rotor is driven to rotate by the vibration of the stator, the urging means pressurizes the rotor toward the stator, Pressure transmitting means disposed between the biasing means and having at least one end surface with a ring-shaped protrusion, wherein the diameter of the ring-shaped protrusion is equal to the tip of the rotor when the rotor is rotating due to the vibration of the stator. Is set to be smaller than the axial acceleration of the stator tip at the time of start-up, and the axial acceleration of the rotor tip is larger than the axial acceleration of the stator tip at a steady state. Things.

［作用］ この請求項１の超音波モータにおいては、加圧伝達手
段のリング状突起の直径を、ロータ先端の加速度が起動
時におけるステータ先端の加速度よりも小となるように
定め、起動時にステータの振動に対してロータが追随で
きなくなるから、密着状態にあるロータとステータは振
動波に応じて離反し、ステータに進行波を起すことがで
きる。In the ultrasonic motor according to the first aspect, the diameter of the ring-shaped projection of the pressure transmitting means is determined such that the acceleration at the tip of the rotor is smaller than the acceleration at the tip of the stator at the time of startup. Since the rotor cannot follow the vibration, the rotor and the stator in a close contact state are separated from each other in accordance with the vibration wave, and a traveling wave can be generated in the stator.

また、請求項２の超音波モータにおいては、加圧伝達
手段のリング状突起の直径を、ロータ先端の加速度が定
常時におけるステータ先端の加速度よりも大となるよう
に定め、定常時にステータの振動に対してロータが追随
でき、ステータの進行波による摩擦力はロータに適当に
伝達することができる。Further, in the ultrasonic motor according to the present invention, the diameter of the ring-shaped projection of the pressure transmitting means is determined so that the acceleration of the tip of the rotor is larger than the acceleration of the tip of the stator in a steady state. , The frictional force due to the traveling wave of the stator can be appropriately transmitted to the rotor.

そして、請求項３の超音波モータにおいては、リング
状突起の直径をロータ先端の加速度が起動時におけるス
テータ先端の加速度よりも小、前記ロータ先端の加速度
が定常時におけるステータ先端の加速度よりも大となる
ように定め、起動時にステータの振動に対してロータが
追随できなくなるから、密着状態にあるロータとステー
タは振動波に応じて離反し、ステータに進行波を起すこ
とができ、定常時にステータの振動に対してロータが追
随でき、ステータに進行波による摩擦力はロータに適当
に伝達することができる。In the ultrasonic motor according to the third aspect, the diameter of the ring-shaped projection is set such that the acceleration of the rotor tip is smaller than the acceleration of the stator tip when the rotor is started, and the acceleration of the rotor tip is larger than the acceleration of the stator tip in the steady state. Since the rotor cannot follow the vibration of the stator at the time of startup, the rotor in close contact with the stator separates according to the vibration wave, and a traveling wave can be generated in the stator. The rotor can follow the vibration, and the frictional force by the traveling wave can be appropriately transmitted to the rotor.

［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例である超音波モータ本体
の要部構成を示す断面図、第２図は第１図のさらに要部
に示す拡大断面図、第３図はこの発明の一実施例の超音
波モータに使用される押圧部材を示す斜視図である。な
お、図中、（１）から（３）、（９）から（11）、（2
0）及び（30）から（31）は上記従来例の構成部分と同
一または相当する構成部分であるから、ここでは、重複
する説明を省略する。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a main part of an ultrasonic motor body according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a further main part of FIG. 1, and FIG. FIG. 2 is a perspective view showing a pressing member used in the ultrasonic motor according to one embodiment of the present invention. In the figures, (1) to (3), (9) to (11), (2
The components (0) and (30) to (31) are the same as or correspond to the components of the above-described conventional example.

図において、付勢手段である皿バネ10による加圧力を
ロータ２に伝達する押圧部材40は、その円板状の全周に
亘って直径φの突起部40aがフランジとして形成されて
いる（第３図参照）。ゴムシート41は押圧部材40の突起
部40aとロータ２の当接部との間に介在させ、防振機能
及びロータ２の回転を回転軸１へ伝達する機能を果た
す。In the figure, the pressing member 40 for transmitting the pressing force of the disc spring 10 as the urging means to the rotor 2 has a projection 40a having a diameter φ formed as a flange over the entire circumference of the disk (see FIG. (See FIG. 3). The rubber sheet 41 is interposed between the protrusion 40a of the pressing member 40 and the contact portion of the rotor 2, and has a vibration-proof function and a function of transmitting the rotation of the rotor 2 to the rotating shaft 1.

この実施例の超音波モータ本体は上記のように構成さ
れており、皿バネ10とロータ２との間に押圧部材40が配
設されている。この押圧部材40はロータ２を全周に亘
り、所謂、線接触状態または面接状態で加圧する。そし
て、この接触位置（以下、F1作用点という）に加圧力F1
が作用し、この反力F2がステータ３からロータ２の接触
面に作用する（第２図参照）。したがって、皿バネ10に
よる加圧力はロータ２の全周に亘って均等に伝達され
る。The ultrasonic motor body of this embodiment is configured as described above, and the pressing member 40 is disposed between the disc spring 10 and the rotor 2. The pressing member 40 presses the rotor 2 over the entire circumference in a so-called line contact state or face contact state. The pressing force F1 is applied to this contact position (hereinafter referred to as F1 action point).
The reaction force F2 acts on the contact surface of the rotor 3 from the stator 3 (see FIG. 2). Therefore, the pressing force of the disc spring 10 is transmitted evenly over the entire circumference of the rotor 2.

このように、この実施例の押圧部材40は、皿バネ10に
よるロータ２の加圧変位をロータ２の全周に亘って均等
に伝達する加圧伝達手段として機能している。そして、
この押圧部材40の介在させることにより、ロータ２とス
テータ３の接触状態、加圧力のばらつき等の改善が図ら
れている。この結果、ロータ２とステータ３は常に安定
した圧接状態が維持される。As described above, the pressing member 40 of this embodiment functions as a pressure transmitting unit that uniformly transmits the pressure displacement of the rotor 2 by the disc spring 10 over the entire circumference of the rotor 2. And
By interposing the pressing member 40, the contact state between the rotor 2 and the stator 3 and the variation in the pressing force are improved. As a result, the rotor 2 and the stator 3 are constantly maintained in a stable press-contact state.

この押圧部材40のF1作用点は、ロータ２とステータ３
との接触位置の上方から直接加圧するものではなく、ス
テータ３の直径、加圧力、ロータ２自体の剛性等に応じ
た弾性力をロータ２の先端部にもたせるために、所定の
直径φとなる位置にF1作用点を定めている。これはロー
タ２のステータ３の振動に対する追随性を考慮して、ロ
ータ２の起動性を改善するためである。以下、この原理
について第４図を用いて説明する。The F1 action point of the pressing member 40 is determined by the rotor 2 and the stator 3
The pressure is not directly applied from above the position of contact with the rotor 2, but has a predetermined diameter φ in order to give the distal end of the rotor 2 an elastic force corresponding to the diameter of the stator 3, the pressing force, the rigidity of the rotor 2 itself, and the like. The F1 action point is set at the position. This is to improve the startability of the rotor 2 in consideration of the followability of the rotor 2 to the vibration of the stator 3. Hereinafter, this principle will be described with reference to FIG.

第４図は押圧部材の直径φとロータの先端部の加速度
（追随性）との関係を示す特性図である。この図はステ
ータ３の直径が60［mm］、加圧力が18［kg］、ロータ２
の材質がアルミニユウムの場合の特性を示している。な
お、この図の横軸はF1作用点の直径φであり、縦軸はロ
ータ２の先端部の下方向の加速度、すなわち、反力F2を
急激に取除いたときの加速度を示している。したがっ
て、この特性図はステータ３の振動に対するロータ２の
追随性、すなわち、応答時の加速度を表わすことにな
る。FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the diameter φ of the pressing member and the acceleration (followability) of the tip of the rotor. In this figure, the diameter of the stator 3 is 60 [mm], the pressing force is 18 [kg], and the rotor 2 is
Shows the characteristics when the material is aluminum. Note that the horizontal axis of this figure is the diameter φ of the F1 action point, and the vertical axis is the downward acceleration of the tip of the rotor 2, that is, the acceleration when the reaction force F2 is suddenly removed. Therefore, this characteristic diagram represents the followability of the rotor 2 to the vibration of the stator 3, that is, the acceleration at the time of response.

この種の、ステータ３に発生した振動エネルギーが摩
擦力によってロータ２に伝達され、ロータ２が回転する
超音波モータでは、従来例でも述べたように、起動時に
はステータ３の振動に対してロータ２は追随しないのが
理想的である。しかし、一旦、駆動を開始した後は、摩
擦駆動を維持するために、ある程度追随すべきである。
そこで、皿バネ10の加圧力がロータ２に作用する位置を
調整し、ロータ２の追随性を調整すれば、起動性の向上
を図ることができることになる。As described in the conventional example, in this type of ultrasonic motor in which the vibration energy generated in the stator 3 is transmitted to the rotor 2 by frictional force, the rotor 2 responds to the vibration of the stator 3 at startup as described in the conventional example. Ideally do not follow. However, once the drive is started, it should be followed to some extent in order to maintain the friction drive.
Therefore, if the position where the pressure of the disc spring 10 acts on the rotor 2 is adjusted and the followability of the rotor 2 is adjusted, the startability can be improved.

そこで、この押圧部材40の直径φの値を実施例により
求めると、第４図のＡ領域またはＢ領域となる。これ
は、起動周波数を35［KHz］とし、駆動周波数を32［KH
z］とした場合に、上記要件を満すロータ２の先端部の
加速度の限界線（第４図の破線）から求まる。すなわ
ち、第４図の定常時における駆動周波数の32［KHz］の
破線の上の領域では、押圧部材40の直径φの値を、ロー
タ２の先端の加速度が定常時におけるステータ３の先端
の加速度よりも大となり、定常時にステータ３の振動に
対してロータ２が追随可能となり、ステータ３の進行波
による摩擦力はロータ２に適当に伝達される領域とな
る。また、第４図の起動時における駆動周波数の35［KH
z］の破線の下の領域では、ロータ２の先端の加速度が
起動時におけるステータ３の先端の加速度よりも小であ
り、起動時にステータ３の振動に対してロータ２が追随
できなくなるから、密着状態にあるロータ２とステータ
３は振動波に応じて離反されて、ステータ３の進行波に
よる摩擦力によってロータ２が起動される。Therefore, when the value of the diameter φ of the pressing member 40 is obtained according to the embodiment, the area becomes the area A or the area B in FIG. This means that the starting frequency is 35 [KHz] and the driving frequency is 32 [KH
z], it is determined from the limit line of acceleration of the tip end of the rotor 2 satisfying the above requirements (broken line in FIG. 4). That is, in the region above the broken line of the driving frequency of 32 [KHz] in FIG. 4, the value of the diameter φ of the pressing member 40 is determined by the acceleration of the tip of the stator 3 when the acceleration of the tip of the rotor 2 is steady. The rotor 2 can follow the vibration of the stator 3 in a steady state, and the frictional force due to the traveling wave of the stator 3 is appropriately transmitted to the rotor 2. In addition, the driving frequency of 35 [KH
In the region below the broken line of z], the acceleration of the tip of the rotor 2 is smaller than the acceleration of the tip of the stator 3 at the time of starting, and the rotor 2 cannot follow the vibration of the stator 3 at the time of starting. The rotor 2 and the stator 3 in the state are separated from each other according to the vibration wave, and the rotor 2 is started by the frictional force of the traveling wave of the stator 3.

この結果、この二本の破線で挟まれた範囲内であるＡ
領域またはＢ領域内の直径φを有する押圧部材40を使用
することにより、円滑な起動が可能となる。具体的には
直径φ＝42〜45［mm］または直径φ＝51.2〜51.6［mm］
である。なお、この直径φの値はステータ３の直径、加
圧力、ロータ２自体の剛性等に応じて適宜変化する。As a result, A within the range between the two broken lines
The use of the pressing member 40 having the diameter φ in the region or the region B enables smooth activation. Specifically, the diameter φ = 42 to 45 [mm] or the diameter φ = 51.2 to 51.6 [mm]
It is. The value of the diameter φ varies as appropriate according to the diameter of the stator 3, the pressing force, the rigidity of the rotor 2 itself, and the like.

このように、この実施例の超音波モータでは、上記所
定のＡ領域またはＢ領域内の直径のF1作用点を形成する
押圧部材40をロータ２と付勢手段たる皿バネ10との間に
位置させ、付勢手段によるロータ２の加圧力をロータ２
の全周に亘り均等に付与し、起動時にはステータ３の振
動に対してロータ２が追随できないが、定常状態時には
ステータ３の振動に対してロータ２が追随できるような
加圧力として伝達する加圧伝達手段を備えている。As described above, in the ultrasonic motor of this embodiment, the pressing member 40 forming the F1 action point having the diameter in the predetermined area A or area B is positioned between the rotor 2 and the disc spring 10 as the urging means. The pressing force of the rotor 2 by the urging means is
Is applied uniformly over the entire circumference, and the rotor 2 cannot follow the vibration of the stator 3 at the time of startup, but is transmitted as a pressing force that allows the rotor 2 to follow the vibration of the stator 3 in a steady state. It has transmission means.

つぎに、本発明の実施例の超音波モータの駆動回路に
ついて述べる。Next, a drive circuit of the ultrasonic motor according to the embodiment of the present invention will be described.

第５図はこの発明の実施例の超音波モータの駆動回路
の概略構成を示すブロック図である。なお、図中、
（３）、（30）及び（31）は上記従来例及び実施例の構
成部分と同一または相当する構成部分である。FIG. 5 is a block diagram showing a schematic configuration of a drive circuit of the ultrasonic motor according to the embodiment of the present invention. In the figure,
(3), (30) and (31) are the same or corresponding components as those of the above-mentioned conventional example and the embodiment.

図において、発振回路50は電圧制御により発振周波数
を変化させる、いわゆる、VCO（電圧制御形発振回路）
からなり、90度移相回路51は前記発振回路50からの信号
の位相を90度ずらす回路である。また、52a及び52bはド
ライバ回路である。電圧変換用のトランス53a,53bは、
圧電体31にsin信号またはcos信号の電圧を印加するもの
である。Ｃ−Ｒ充電回路等の時定数回路54は起動周波数
の初期値設定用であり、この起動周波数は起動時の共振
周波数よりも若干高めに設定される。弾性体30に配設し
たセンサ55は、圧電体31による弾性体30の振動時の歪み
量を検知する。56はセンサ55からの電圧信号を平滑化す
る平滑回路、57はこの超音波モータの回転軸１の回転速
度を調整するための速度調整器、58は速度調整器57から
の電圧信号と平滑回路56からの電圧信号とを比較する比
較回路であり、この比較回路58からの電圧信号により発
振回路50の発振周波数は変化する。In the figure, an oscillation circuit 50 changes the oscillation frequency by voltage control, a so-called VCO (voltage controlled oscillation circuit).
The 90-degree phase shift circuit 51 shifts the phase of the signal from the oscillation circuit 50 by 90 degrees. 52a and 52b are driver circuits. Transformers 53a and 53b for voltage conversion
This is for applying a voltage of a sin signal or a cos signal to the piezoelectric body 31. A time constant circuit 54 such as a CR charging circuit is used for setting an initial value of a starting frequency, and the starting frequency is set to be slightly higher than a resonance frequency at the time of starting. The sensor 55 disposed on the elastic body 30 detects the amount of distortion of the elastic body 30 caused by the vibration of the piezoelectric body 31. 56 is a smoothing circuit for smoothing the voltage signal from the sensor 55, 57 is a speed adjuster for adjusting the rotation speed of the rotary shaft 1 of the ultrasonic motor, 58 is a voltage signal from the speed adjuster 57 and a smoothing circuit. The comparison circuit compares the voltage signal from 56, and the oscillation frequency of the oscillation circuit 50 changes according to the voltage signal from the comparison circuit 58.

この超音波モータの駆動回路は上記のように構成され
ており、まず、時定数回路54で起動時の起動周波数を設
定している。この起動周波数は通常の定常状態時の駆動
周波数よりも高い周波数である。また、速度調整器57で
設定した回転速度と超音波モータの実際の回転速度とを
比較して、設定速度よりも実際の回転速度が速い場合に
は周波数を増加し、逆に、設定速度よりも回転速度が遅
い場合には周波数を低減させて、一定の回転速度を維持
するような駆動周波数をステータ３に供給している。The drive circuit of the ultrasonic motor is configured as described above. First, the time constant circuit 54 sets the starting frequency at the time of starting. This starting frequency is higher than the driving frequency in a normal steady state. In addition, the rotation speed set by the speed adjuster 57 is compared with the actual rotation speed of the ultrasonic motor, and when the actual rotation speed is higher than the set speed, the frequency is increased, and conversely, the frequency is increased. Also, when the rotation speed is low, the frequency is reduced, and a driving frequency that maintains a constant rotation speed is supplied to the stator 3.

しかも、この超音波モータの実施例では、上記の駆動
回路の起動時にはステータ３の振動に対してロータ２が
追随できない程度の高い起動周波数を、定常状態時には
ステータ３の振動に対してロータ２が追随できる程度の
前記起動周波数よりも低い駆動周波数をステータ３に供
給する周波数供給手段としても機能する。なお、これら
の周波数はロータ２に伝達される加圧力及びロータ２の
剛性に応じて適宜変化するので、通常は、各超音波モー
タ毎に応じて異なる。In addition, in this embodiment of the ultrasonic motor, the starting frequency of the rotor 2 is so high that the rotor 2 cannot follow the vibration of the stator 3 when the driving circuit is started. It also functions as a frequency supply unit that supplies the stator 3 with a drive frequency lower than the start frequency that can be followed. Since these frequencies change as appropriate according to the pressure transmitted to the rotor 2 and the rigidity of the rotor 2, they usually differ according to each ultrasonic motor.

また、この超音波モータにおいても、ロータ２と付勢
手段たる皿バネ10との間に押圧部材40が配設されてお
り、付勢手段によるロータ２の加圧力をロータ２の全周
に亘って均等に付与して伝達する加圧力伝達手段を有し
ている。Also in this ultrasonic motor, a pressing member 40 is provided between the rotor 2 and the disc spring 10 as urging means, and the pressing force of the rotor 2 by the urging means is applied to the entire circumference of the rotor 2. Pressure transmitting means for applying and transmitting the pressure uniformly.

したがって、この実施例の超音波モータは、ロータ２
とステータ３は安定した圧接状態であり、安定した起動
が確保できる。しかも、上記周波数供給手段の影響によ
り、起動時には、密着状態にあるロータ２とステータ３
は振動波に応じて離反し、ステータ３に発生する進行波
による摩擦力がロータ２に適当に伝達される。また、同
様に、定常状態時には、ステータ３の進行波による摩擦
力はロータ２に適当に伝達され、信頼性の高い駆動が実
現できる。Therefore, the ultrasonic motor of this embodiment is
And the stator 3 are in a stable pressure contact state, and a stable startup can be ensured. In addition, due to the influence of the frequency supply means, at the time of startup, the rotor 2 and the stator 3 which are in close contact with each other.
Are separated in accordance with the vibration wave, and the frictional force due to the traveling wave generated in the stator 3 is appropriately transmitted to the rotor 2. Similarly, in a steady state, the frictional force due to the traveling wave of the stator 3 is appropriately transmitted to the rotor 2, and highly reliable driving can be realized.

このように、上記実施例の超音波モータは、弾性進行
波を発生させるステータ３と、前記ステータ３に当接
し、前記ステータ３の振動によって駆動され回転するロ
ータ２と、前記ステータ３に向かってロータ２を加圧す
る皿バネ10等からなる付勢手段と、前記ロータ２と前記
付勢手段の間に配設され、少なくとも一端面にリング状
突起を有し、前記リング状突起が前記ステータ３に当接
した押圧部材40等からなる加圧伝達手段とを備え、前記
リング状突起の直径は、ロータ２の先端の加速度が起動
時におけるステータ３の先端の加速度よりも小、前記ロ
ータ２の先端の加速度が定常時におけるステータ３の先
端の加速度よりも大となるように定めている。As described above, the ultrasonic motor according to the above-described embodiment includes the stator 3 that generates the elastic traveling wave, the rotor 2 that is in contact with the stator 3, and is driven by the vibration of the stator 3 and rotates, and An urging means comprising a disc spring 10 or the like for pressurizing the rotor 2; and a ring-shaped projection provided at least on one end surface between the rotor 2 and the urging means. A pressure transmitting means comprising a pressing member 40 or the like abutting on the rotor 2. The diameter of the ring-shaped projection is smaller than the acceleration of the tip of the stator 3 when the tip of the rotor 2 starts. It is determined that the acceleration of the tip is larger than the acceleration of the tip of the stator 3 in a steady state.

したがって、この実施例の超音波モータは、ロータ２
とステータ３は安定した圧接状態であり、起動時には密
着状態にあるロータ２とステータ３は振動波に応じて離
反し、ステータ３に発生する進行波による摩擦力がロー
タ２に適当に伝達されて、信頼性の高い始動が実現でき
る。また、同様に、定常状態時には、ステータ３の進行
波による摩擦力はロータ２に適当に伝達され、効率の良
い駆動が実現できる。故に、起動時に印加電圧を高める
ことなく起動が可能になり、起動性が向上する。Therefore, the ultrasonic motor of this embodiment is
And the stator 3 are in a stable pressure contact state, and the rotor 2 and the stator 3 which are in close contact with each other at the time of startup are separated from each other in accordance with the vibration wave, and the frictional force due to the traveling wave generated in the stator 3 is appropriately transmitted to the rotor 2. , A highly reliable starting can be realized. Similarly, in a steady state, the frictional force due to the traveling wave of the stator 3 is appropriately transmitted to the rotor 2, and efficient driving can be realized. Therefore, starting can be performed without increasing the applied voltage at the time of starting, and startability is improved.

しかし、上記実施例の超音波モータの駆動回路は、時
定数回路54で起動時の起動周波数を設定し、この起動周
波数は通常の定常状態時の駆動周波数よりも高い周波数
としており、起動時と定常状態で駆動する周波数を変更
している。However, the driving circuit of the ultrasonic motor of the above embodiment sets the starting frequency at the time of starting by the time constant circuit 54, and the starting frequency is set to a higher frequency than the driving frequency in the normal steady state. The driving frequency in the steady state is changed.

この種の起動時と定常状態で駆動する周波数を変更す
るものでは、弾性進行波を発生させるステータ３と、前
記ステータ３に当接し、前記ステータ３の振動によって
駆動され回転するロータ２と、前記ステータ３に向かっ
てロータ２を加圧する皿バネ10等からなる付勢手段と、
前記ロータ２と前記付勢手段の間に配設され、少なくと
も一端面にリング状突起を有し、前記リング状突起が前
記ステータ３に当接した押圧部材40等からなる加圧伝達
手段とを備え、前記リング状突起の直径は、ロータ２の
先端の加速度が起動時におけるステータ３の先端の加速
度よりも小、または前記ロータ２の先端の加速度が定常
時におけるステータ３の先端の加速度よりも大となるよ
うに定めることができる。In this type of changing the driving frequency at the time of startup and in the steady state, the stator 3 that generates an elastic traveling wave, the rotor 2 that contacts the stator 3 and rotates by being driven by the vibration of the stator 3, Biasing means including a disc spring 10 for pressing the rotor 2 toward the stator 3;
A pressure transmitting means, which is provided between the rotor 2 and the urging means, has a ring-shaped projection on at least one end surface, and the ring-shaped projection includes a pressing member 40 or the like in contact with the stator 3; The diameter of the ring-shaped protrusion is smaller than the acceleration of the tip of the stator 3 at the time of starting, or the acceleration of the tip of the rotor 2 is smaller than the acceleration of the tip of the stator 3 when the rotor 2 is stationary. It can be determined to be large.

前記リング状突起の直径をロータ２の先端の加速度が
起動時におけるステータ３の先端の加速度よりも小とし
たものでは、起動時に、密着状態にあるロータ２とステ
ータ３は振動波に応じて離反し、ステータ３に発生する
進行波による摩擦力がロータ２に適当に伝達されて、信
頼性の高い始動が実現できる。When the diameter of the ring-shaped protrusion is smaller than the acceleration of the tip of the stator 3 at the time of starting when the acceleration of the tip of the rotor 2 is started, the rotor 2 and the stator 3 in the close contact state separate at the time of starting according to the vibration wave. Then, the frictional force due to the traveling wave generated in the stator 3 is appropriately transmitted to the rotor 2, and a highly reliable starting can be realized.

また、前記リング状突起の直径をロータ２の先端の加
速度が起動時におけるステータ３の先端の加速度よりも
大としたものでは、定常状態時に、ステータ３の進行波
による摩擦力はロータ２に適当に伝達され、効率の良い
駆動が実現できる。Further, if the diameter of the ring-shaped projection is set such that the acceleration of the tip of the rotor 2 is larger than the acceleration of the tip of the stator 3 at the time of starting, the frictional force due to the traveling wave of the stator 3 is appropriate for the rotor 2 in a steady state. And efficient driving can be realized.

ところで、上記実施例では加圧力伝達手段として円筒
状の押圧部材40を用いたが、半円球状或いはコイル状、
螺旋状等としてもよく、その形状は任意に変化できる。By the way, in the above-described embodiment, the cylindrical pressing member 40 is used as the pressing force transmitting means.
It may be a spiral shape or the like, and the shape can be arbitrarily changed.

また、上記実施例では移動体であるロータ２が回転駆
動する超音波モータの起動装置について説明したが、移
動体が直線運動等の円運動以外の運動を行なう超音波モ
ータにも利用できる。Further, in the above-described embodiment, the starter of the ultrasonic motor in which the rotor 2 as the moving body is driven to rotate is described. However, the present invention can be applied to an ultrasonic motor in which the moving body performs a motion other than a circular motion such as a linear motion.

［発明の効果］ 以上説明したとおり、この請求項１の超音波モータ
は、弾性進行波を発生させるステータの振動によって駆
動され回転するロータと、前記ステータに向かってロー
タを加圧する付勢手段と、前記ロータと前記付勢手段の
間に配設され、少なくとも一端面にリング状突起を有
し、該リング状突起が前記ステータに当接した加圧伝達
手段とを備え、前記リング状突起の直径は、ステータの
振動によって前記ロータが回転しているときのロータ先
端の軸方向の加速度が起動時におけるステータ先端の軸
方向の加速度よりも小となるように定めたものである。[Effects of the Invention] As described above, the ultrasonic motor according to claim 1 includes a rotor that is driven by the vibration of a stator that generates an elastic traveling wave and rotates, and an urging unit that presses the rotor toward the stator. A pressure transmitting means disposed between the rotor and the urging means and having at least one end surface with a ring-shaped protrusion, the ring-shaped protrusion being in contact with the stator; The diameter is determined so that the axial acceleration of the tip of the rotor when the rotor is rotating due to the vibration of the stator is smaller than the axial acceleration of the tip of the stator at startup.

したがって、起動時にはステータの振動に対してロー
タが追随できない加速度状態となるから、起動時のステ
ータの振動に対してのロータの追随性が悪くなり、起動
時に密着状態にあるロータとステータは振動波に応じて
離反し、ステータの進行波による摩擦力はロータに適当
に伝達される。したがって、低電圧でも確実に起動がで
き、信頼性の高い起動が実現でき、電圧変換用のトラン
ス等の小形化が図れ、制御回路自体も簡略化できる。Therefore, at the time of startup, the rotor is in an acceleration state in which the rotor cannot follow the vibration of the stator, and the followability of the rotor to the vibration of the stator at the time of startup is deteriorated. The frictional force due to the traveling wave of the stator is appropriately transmitted to the rotor. Therefore, starting can be performed reliably even at a low voltage, reliable starting can be realized, a transformer for voltage conversion can be downsized, and the control circuit itself can be simplified.

また、請求項２の超音波モータの超音波モータのリン
グ状突起の直径は、ステータの軸方向の振動によって前
記ロータが回転しているときのロータ先端の軸方向の加
速度が、定常時におけるステータ先端の軸方向の加速度
よりも大となるように定めたものである。The diameter of the ring-shaped projection of the ultrasonic motor of the ultrasonic motor according to claim 2 is such that the axial acceleration of the rotor tip when the rotor is rotating due to the axial vibration of the stator, This is determined so as to be larger than the axial acceleration of the tip.

したがって、定常時にステータの振動に対してロータ
が追随でき、ステータの進行波による摩擦力はロータに
適当に伝達され、モータの効率を良くすることができ
る。Therefore, the rotor can follow the vibration of the stator in a steady state, and the frictional force due to the traveling wave of the stator is appropriately transmitted to the rotor, so that the efficiency of the motor can be improved.

そして、請求項３の超音波モータは、ステータの振動
によって前記ロータが回転しているときのロータ先端の
軸方向の加速度が、起動時におけるステータ先端の軸方
向の加速度よりも小、前記ロータ先端の加速度が定常時
におけるステータ先端の加速度よりも大となるように定
められているので上記請求項１及び請求項２の効果を奏
することができる。The ultrasonic motor according to claim 3, wherein the axial acceleration of the tip of the rotor when the rotor is rotating due to the vibration of the stator is smaller than the axial acceleration of the tip of the stator at startup. Is set to be greater than the acceleration of the stator tip in the steady state, so that the effects of the first and second aspects can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図はこの発明の一実施例である超音波モータの要部
構成を示す断面図、第２図は第１図のさらに要部を示す
拡大断面図、第３図はこの発明の一実施例の超音波モー
タに使用される押圧部材を示す斜視図、第４図は超音波
モータを構成する押圧部材の直径とロータの先端部の追
随性との関係を示す特性図、第５図はこの発明の一実施
例の超音波モータの駆動回路の概略構成を示すブロック
図、第６図は従来の超音波モータ本体の構成を示す断面
図、第７図は従来の超音波モータの構成を示す斜視図、
第８図は超音波モータの起動時及び定常状態時のロータ
とステータの状態を示す要部断面図である。 図において、 2:ロータ、3:ステータ 10:皿バネ、31:圧電体 40:押圧部材、50:発振回路 51:90度移相回路、54:時定数回路 である。 なお、図中、同一符号及び同一記号は同一または相当部
分を示すものである。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a main part of an ultrasonic motor according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a further main part of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a perspective view showing a pressing member used in the ultrasonic motor of the example, FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the diameter of the pressing member constituting the ultrasonic motor and the followability of the tip of the rotor, and FIG. FIG. 6 is a block diagram showing a schematic configuration of a drive circuit of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a sectional view showing a configuration of a conventional ultrasonic motor main body, and FIG. Perspective view,
FIG. 8 is a sectional view of a main part showing the state of the rotor and the stator when the ultrasonic motor is started and in the steady state. In the figure, 2: rotor, 3: stator 10: disc spring, 31: piezoelectric body 40: pressing member, 50: oscillation circuit 51: 90-degree phase shift circuit, 54: time constant circuit. In the drawings, the same reference numerals and symbols indicate the same or corresponding parts.

フロントページの続き (72)発明者 梅村 千明 愛知県刈谷市朝日町２丁目１番地 アイ シン精機株式会社内 (72)発明者 相良 信治 埼玉県上尾市菅谷３丁目105番地 株式 会社フコク内 (72)発明者 村上 忠良 埼玉県上尾市菅谷３丁目105番地 株式 会社フコク内 審査官 栗林 敏彦 (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H02N 2/00 - 2/18 Continued on the front page (72) Inventor Chiaki Umemura 2-1-1 Asahi-cho, Kariya-shi, Aichi Aisin Seiki Co., Ltd. (72) Inventor Shinji Sagara 3-105, Sugaya, Ageo-shi, Saitama Pref. (72) Inventor Tadayoshi Murakami 3-105 Sugaya, Ageo-shi, Saitama Examiner at Fukoku Co., Ltd. Toshihiko Kuribayashi (58) Field surveyed (Int.Cl. ⁶ , DB name) H02N 2/00-2/18

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】弾性進行波を発生させるステータと、 前記ステータの振動によって駆動され回転するロータ
と、 前記ステータに向かってロータを加圧する付勢手段と、 前記ロータと前記付勢手段の間に配設され、少なくとも
一端面にリング状突起を有する加圧伝達手段と、を備
え、 前記リング状突起の直径は、前記ステータの振動によっ
て前記ロータが回転しているときのロータ先端の軸方向
の加速度が起動時におけるステータ先端の軸方向の加速
度よりも小となるように定められていることを特徴とし
た超音波モータ。A stator that generates an elastic traveling wave; a rotor that is driven and rotated by vibration of the stator; a biasing unit that presses the rotor toward the stator; and a biasing unit between the rotor and the biasing unit. Pressure transmitting means having a ring-shaped projection on at least one end surface thereof, wherein the diameter of the ring-shaped projection is in the axial direction of the tip of the rotor when the rotor is rotated by the vibration of the stator. An ultrasonic motor characterized in that the acceleration is set to be smaller than the axial acceleration of the tip of the stator at the time of starting. 【請求項２】弾性進行波を発生させるステータと、 前記ステータの振動によって駆動され回転するロータ
と、 前記ステータに向かってロータを加圧する付勢手段と、 前記ロータと前記付勢手段の間に配設され、少なくとも
一端面にリング状突起を有する加圧伝達手段と、を備
え、 前記リング状突起の直径は、前記ステータの振動によっ
て前記ロータが回転しているときのロータ先端の軸方向
の加速度が定常時におけるステータ先端の軸方向の加速
度よりも大となるように定められていることを特徴とし
た超音波モータ。2. A stator that generates an elastic traveling wave, a rotor that is driven and rotated by vibration of the stator, an urging unit that presses the rotor toward the stator, and between the rotor and the urging unit. Pressure transmitting means having a ring-shaped projection on at least one end surface thereof, wherein the diameter of the ring-shaped projection is in the axial direction of the tip of the rotor when the rotor is rotated by the vibration of the stator. An ultrasonic motor, characterized in that the acceleration is determined to be greater than the axial acceleration of the stator tip in a steady state. 【請求項３】弾性進行波を発生させるステータと、 前記ステータの振動によって駆動され回転するロータ
と、 前記ステータに向かってロータを加圧する付勢手段と、 前記ロータと前記付勢手段の間に配設され、少なくとも
一端面にリング状突起を有する加圧伝達手段と、を備
え、 前記リング状突起の直径は、前記ステータの振動によっ
て前記ロータが回転しているときのロータ先端の軸方向
の加速度が起動時におけるステータ先端の軸方向の加速
度よりも小、前記ロータ先端の軸方向の加速度が定常時
におけるステータ先端の軸方向の加速度よりも大となる
ように定められていることを特徴とした超音波モータ。3. A stator that generates an elastic traveling wave, a rotor that is driven and rotated by vibration of the stator, an urging unit that presses the rotor toward the stator, and between the rotor and the urging unit. Pressure transmitting means having a ring-shaped projection on at least one end surface thereof, wherein the diameter of the ring-shaped projection is in the axial direction of the tip of the rotor when the rotor is rotated by the vibration of the stator. The acceleration is set to be smaller than the axial acceleration of the stator tip at the time of startup, and the axial acceleration of the rotor tip is set to be larger than the axial acceleration of the stator tip at a steady state. Ultrasonic motor.