JP2906314B2 - Calibration device for vibration sensor - Google Patents
Calibration device for vibration sensorInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は振動センサの校正装置に
関し、特に基準ピツクアツプを用いて振動ピツクアツプ
の感度を校正する校正装置に適用して好適なものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a calibration device for a vibration sensor, and more particularly to a calibration device for calibrating the sensitivity of a vibration pickup using a reference pickup.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の校正装置として、図１１
に示すように、ＦＦＴ（Fast FourierTransform）分析
器２を用いて複数の周波数ポイントによつて被校正ピツ
クアツプ３の感度を校正するようになされた校正装置１
がある。この校正装置１においては、基準ピツクアツプ
５の出力信号Ｓ１を電荷増幅器４を介してＦＦＴ分析器
２に入力すると共に、被校正ピツクアツプ３の出力信号
Ｓ３を電荷増幅器６を介してＦＦＴ分析器２に入力する
ようになされている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a calibration apparatus of this kind, FIG.
As shown in FIG. 1, a calibration apparatus 1 that uses an FFT (Fast Fourier Transform) analyzer 2 to calibrate the sensitivity of a pickup 3 to be calibrated at a plurality of frequency points.
There is. In the calibration apparatus 1, the output signal S1 of the reference pickup 5 is input to the FFT analyzer 2 via the charge amplifier 4, and the output signal S3 of the calibration target 3 is input to the FFT analyzer 2 via the charge amplifier 6. It is made to enter.
【０００３】ＦＦＴ分析器２は電荷増幅器４の出力信号
Ｓ２及び電荷増幅器６の出力信号Ｓ４に対して高速フー
リエ変換を施すことにより、それぞれ任意の周波数での
信号レベルを知ることができ、さらにそれらの信号レベ
ル比（Ｓ２／Ｓ４）を得ることができる。これにより校
正装置１においては、上記信号レベル比と電荷増幅器４
及び電荷増幅器６の設定値と基準ピツクアツプ５の感度
とから、被校正ピツクアツプ３の任意の周波数における
感度を校正し得るようになされている。[0003] The FFT analyzer 2 performs a fast Fourier transform on the output signal S2 of the charge amplifier 4 and the output signal S4 of the charge amplifier 6, thereby being able to know the signal level at an arbitrary frequency. Signal level ratio (S2 / S4) can be obtained. Accordingly, in the calibration device 1, the signal level ratio and the charge amplifier 4
From the set value of the charge amplifier 6 and the sensitivity of the reference pickup 5, the sensitivity of the pickup 3 at any frequency can be calibrated.
【０００４】ところが、校正装置１においては、ＦＦＴ
分析器２を用いていることにより装置全体が非常に大型
化すると共に非常に高価となり、この結果実際上据置型
専用の装置として用いられている。However, in the calibration device 1, the FFT
The use of the analyzer 2 makes the whole apparatus very large and very expensive, and as a result, is actually used as a dedicated apparatus for stationary use.
【０００５】これに対して従来、測定現場やユーザによ
る簡易校正を目的とした簡易型の校正装置が提案されて
いる。この種の校正装置は、図１２に示すように構成さ
れている。すなわち校正装置１０においては、装置本体
に被校正ピツクアツプ１１を固定し、この状態で加振器
１２によつて基準ピツクアツプ１３及び被校正ピツクア
ツプ１１に同じレベルの振動を与えるようになされてい
る。Conventionally, there has been proposed a simple calibration apparatus for simple calibration by a measurement site or a user. This type of calibration device is configured as shown in FIG. That is, in the calibration device 10, the pickup 11 to be calibrated is fixed to the main body of the device, and in this state, the same level of vibration is applied to the reference pickup 13 and the pickup 11 to be calibrated by the vibrator 12.
【０００６】校正装置１は加振部１４、感度検出部１５
及び電源遮断部１６でなり、加振部１４の発振器１７に
よつて発生した所定周波数の発信信号Ｓ１０をＡＧＣ回
路１８に送出する。ＡＧＣ回路１８は比較器１９からの
制御信号Ｓ１１によつて利得制御され、この結果校正周
波数信号Ｓ１２を発生し、当該校正周波数信号Ｓ１２を
ドライブアンプ２０を介して加振信号Ｓ１３として加振
器１２に送出するようになされている。これにより校正
装置１０においては、加振器１２を加振信号Ｓ１３に基
づいて所定の周波数かつ所定の加振レベルで加振駆動す
るようになされている。The calibrating device 1 includes a vibration unit 14 and a sensitivity detection unit 15
And a power cutoff unit 16 for transmitting a transmission signal S10 of a predetermined frequency generated by an oscillator 17 of the vibration unit 14 to an AGC circuit 18. The gain of the AGC circuit 18 is controlled by a control signal S11 from a comparator 19, and as a result, a calibration frequency signal S12 is generated. The calibration frequency signal S12 is converted into an excitation signal S13 via a drive amplifier 20 as an excitation signal S13. To be sent to the user. Thus, in the calibration device 10, the vibrator 12 is driven to vibrate at a predetermined frequency and a predetermined vibration level based on the vibration signal S13.
【０００７】校正装置１０においては、このとき基準ピ
ツクアツプ１３から発生する検出信号Ｓ１４を増幅器２
１及び検波器２２を介して積分器２３に送出する。積分
器２３は検波器２２からの出力信号Ｓ１６を直流成分で
なる積分信号Ｓ１７に変換し、当該積分信号Ｓ１７を比
較器１９に送出するようになされている。比較器１９は
積分器２３からの積分信号Ｓ１７と共に基準電源２４か
らの基準信号Ｓ１８を入力し、当該積分信号Ｓ１７と基
準信号Ｓ１８の電圧レベルが等しくなるような制御信号
Ｓ１１をＡＧＣ回路１８に送出する。In the calibrating apparatus 10, the detection signal S14 generated from the reference pickup 13 at this time is supplied to the amplifier 2
1 and to the integrator 23 via the detector 22. The integrator 23 converts the output signal S16 from the detector 22 into an integrated signal S17 composed of a DC component, and sends the integrated signal S17 to the comparator 19. The comparator 19 inputs the reference signal S18 from the reference power supply 24 together with the integration signal S17 from the integrator 23, and sends a control signal S11 to the AGC circuit 18 so that the voltage level of the integration signal S17 and the reference signal S18 become equal. I do.
【０００８】すなわち比較器１９は積分器２３からの積
分信号Ｓ１７の電圧レベルが基準信号Ｓ１８の電圧レベ
ルよりも小さい場合には、ＡＧＣ回路１８に当該ＡＧＣ
回路１８から出力される校正周波数信号Ｓ１２の信号レ
ベルが大きくなるような制御信号Ｓ１１を送出し、これ
に対して積分信号Ｓ１７の電圧レベルが基準信号Ｓ１８
の電圧レベルよりも大きい場合には、ＡＧＣ回路１８に
当該ＡＧＣ回路１８から出力される校正周波数信号Ｓ１
２の信号レベルが小さくなるような制御信号Ｓ１１を送
出する。That is, when the voltage level of the integration signal S17 from the integrator 23 is lower than the voltage level of the reference signal S18, the comparator 19 sends the AGC circuit 18 the AGC signal.
A control signal S11 is output such that the signal level of the calibration frequency signal S12 output from the circuit 18 is increased, and the voltage level of the integration signal S17 is changed to the reference signal S18.
Is higher than the voltage level of the calibration frequency signal S1 output from the AGC circuit 18 to the AGC circuit 18.
The control signal S11 is transmitted such that the signal level of the signal No. 2 decreases.
【０００９】かくして、加振部１４はサーボループを形
成し、加振器１２の加振レベルを目的とする所定の値に
保持し得るようになされている。これにより校正装置１
０においては、被校正ピツクアツプ１１の質量が変化し
た場合においても被校正ピツクアツプ１１を常に一定の
加振レベルで加振し得るようになされている。ここで被
校正ピツクアツプ１１からの検出信号Ｓ１９は感度検出
部１５の増幅器２４、検波器２５及び積分器２６を介し
て波形整形された後、表示器２７に送出され、これによ
り校正装置１０においては、所定の加振レベルで被校正
ピツクアツプ１１を加振した際の被校正ピツクアツプ１
１の感度を表示器２７に表示し得るようになされてい
る。Thus, the vibrating section 14 forms a servo loop so that the vibration level of the vibrator 12 can be maintained at a desired predetermined value. Thus, the calibration device 1
At 0, the calibration target pickup 11 can always be vibrated at a constant excitation level even when the mass of the calibration target pickup 11 changes. Here, the detection signal S19 from the pickup 11 to be calibrated is subjected to waveform shaping via the amplifier 24, the detector 25 and the integrator 26 of the sensitivity detecting section 15, and then sent to the display 27, whereby the calibrating device 10 When the pickup 11 to be calibrated is vibrated at a predetermined vibration level, the pickup 1 to be calibrated
1 can be displayed on the display 27.
【００１０】また校正装置１０においては、ドライブア
ンプ２０から出力される加振信号Ｓ１３を電源遮断部１
６の検波器２８及び積分器２９によつて波形整形した
後、比較器３０に送出するようになされている。比較器
３０は積分器２９からの積分信号Ｓ２４と基準電源３１
からの基準信号Ｓ２５とを比較し、ここで得られる比較
結果信号Ｓ２６を電源制御回路３２に送出するようにな
されている。電源制御回路３２は比較結果信号Ｓ２６に
応じて電源３３に電源遮断信号Ｓ２７を送出するように
なされている。In the calibrating device 10, the excitation signal S 13 output from the drive amplifier 20 is supplied to the power cutoff unit 1.
The waveform is shaped by a detector 28 and an integrator 29, and then sent to a comparator 30. The comparator 30 is provided with an integrated signal S24 from the integrator 29 and the reference power supply 31.
Is compared with the reference signal S25, and a comparison result signal S26 obtained here is sent to the power supply control circuit 32. The power supply control circuit 32 sends a power cutoff signal S27 to the power supply 33 in response to the comparison result signal S26.
【００１１】すなわち電源遮断部１６においては、被校
正ピツクアツプ１１の質量に対応した加振信号Ｓ１３の
電圧レベルが所定の電圧レベルよりも大きい場合に電源
３３を遮断することにより校正装置１０の校正動作を停
止させ、これにより加振部１４の加振能力を超えた校正
を未然に回避するようになされている。That is, the power supply cutoff section 16 cuts off the power supply 33 when the voltage level of the excitation signal S13 corresponding to the mass of the pickup 11 to be calibrated is higher than a predetermined voltage level, thereby performing the calibration operation of the calibration apparatus 10. Is stopped, so that calibration exceeding the vibration capability of the vibration unit 14 is avoided.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】ところで、振動ピツク
アツプはそれぞれ使用周波数範囲が設定されており、こ
の使用周波数範囲全域での感度校正をすることが望まし
い。ところが、簡易型の校正装置１０においては、周波
数ポイントが１つに決められている結果、使用周波数範
囲全域に亘る校正はできなかつた。The frequency range of use for each vibration pickup is set, and it is desirable to calibrate the sensitivity over the entire frequency range. However, in the simple calibration device 10, the calibration was not performed over the entire use frequency range as a result of the fact that the frequency point was determined to be one.
【００１３】ここで校正装置１０において、発信周波数
の異なる複数の発信器１７を設けることにより加振器１
２を複数の周波数ポイントにおいて加振すれば、複数の
周波数ポイントにおいて被校正ピツクアツプ１１の感度
を校正することができると考えられる。ところが、この
ように校正する周波数ポイントを増やそうとすると、基
準ピツクアツプ１３自体が所定の周波数特性を有するこ
とにより基準ピツクアツプ１３が校正する周波数ポイン
ト全てに亘つて一定の値でなる検出信号Ｓ１４を得るこ
とは実際上困難であり、この結果各周波数ポイントで所
望の加振レベルを得られないことにより校正精度が劣化
する問題がある。Here, in the calibrating device 10, by providing a plurality of transmitters 17 having different transmission frequencies, the vibrator 1 is provided.
It is considered that if the sample 2 is vibrated at a plurality of frequency points, the sensitivity of the pickup 11 to be calibrated can be calibrated at the plurality of frequency points. However, when trying to increase the frequency points to be calibrated in this way, the detection signal S14 having a constant value over all the frequency points to be calibrated by the reference pickup 13 is obtained because the reference pickup 13 itself has a predetermined frequency characteristic. Is practically difficult, and as a result, there is a problem that the calibration accuracy deteriorates because a desired excitation level cannot be obtained at each frequency point.
【００１４】かかる問題を解決する一つの方法として、
例えば各周波数ポイント毎に基準ピツクアツプ１３の感
度を調整し加振レベルの精度を全校正周波数ポイントに
亘つて目的の精度に収まるように調整する方法や、また
は各校正周波数に対応した被校正ピツクアツプ用増幅器
を用意して調整する方法が考えられる。ところがこれ等
の方法においては、校正する周波数ポイントを変える毎
に非常に煩雑な調整作業が必要となる問題があると共
に、回路規模が大きくなることにより装置自体が大型化
し携帯用の校正装置としては実現が困難になる問題があ
る。As one method for solving such a problem,
For example, a method of adjusting the sensitivity of the reference pickup 13 for each frequency point and adjusting the accuracy of the excitation level so as to be within the target accuracy over all the calibration frequency points, or for a pickup to be calibrated corresponding to each calibration frequency. A method of preparing and adjusting an amplifier is conceivable. However, in these methods, there is a problem that a very complicated adjustment work is required every time the frequency point to be calibrated is changed, and the apparatus itself becomes large due to a large circuit scale, so that as a portable calibration apparatus, There is a problem that it is difficult to realize.
【００１５】また校正装置１０においては、上述したよ
うに電源遮断部１６を設けることにより、加振能力を超
えるような質量の被校正ピツクアツプ１１が取り付けら
れた際に自動的に電源３３を遮断して校正動作を停止す
るようになされている。ところが、校正装置１０におい
ては、被校正ピツクアツプ１１の質量の検出点を複数点
設定する場合、回路規模が大きくなると共に、検出点を
変えるごとに回路の特性を変える必要があり、この結果
回路の調整に要する工数が増え非常に煩雑な問題があ
る。Further, in the calibration apparatus 10, the power supply cut-off section 16 is provided as described above, so that the power supply 33 is automatically cut off when the pickup 11 having a mass exceeding the vibration capability is attached. The calibration operation is stopped. However, in the calibration device 10, when a plurality of detection points of the mass of the pickup 11 to be calibrated are set, the circuit scale becomes large, and it is necessary to change the characteristics of the circuit each time the detection point is changed. The man-hour required for adjustment increases and there is a very complicated problem.
【００１６】すなわち従来のＦＦＴ分析器２を有する据
置型の校正装置１を用いれば簡単に複数の周波数ポイン
トにおいて高精度の感度校正を行うことができるが、こ
の校正装置１は測定現場での校正やユーザによる簡易校
正には不向きな問題があつた。That is, if a stationary calibration apparatus 1 having a conventional FFT analyzer 2 is used, high-precision sensitivity calibration can be easily performed at a plurality of frequency points. There is a problem that is not suitable for simple calibration by a user.
【００１７】これに対して、携帯可能な校正装置１０に
おいては、容易に複数の周波数ポイントにおいて感度校
正ができるようなものは実現されていない。また校正装
置１０においては、ユーザが校正結果を表示器２７から
読み取り記録紙等に記入していた。この作業は多数の被
校正ピツクアツプ１１を校正する場合には非常に煩雑で
あると共に記入の誤りも多かつた。さらに校正結果をデ
ータベース化する際にも非常に手間がかかる欠点があつ
た。On the other hand, in the portable calibrating device 10, a device which can easily perform sensitivity calibration at a plurality of frequency points has not been realized. In the calibration device 10, the user reads the calibration result from the display 27 and writes the result on a recording paper or the like. This operation is very complicated when a large number of pickups 11 to be calibrated are to be calibrated, and there are many errors in entry. Furthermore, there is a disadvantage that it takes a lot of time to make the calibration results into a database.
【００１８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、簡易な構成により複数の周波数ポイントで高精度の
校正ができると共に使い勝手の向上した振動センサの校
正装置を提案しようとするものである。The present invention has been made in view of the above points, and is intended to propose a vibration sensor calibrating device that can perform high-precision calibration at a plurality of frequency points with a simple configuration and has improved usability. is there.
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、所定の加振器１２により基準ピツ
クアツプ１３及び校正対象となる振動センサ１１を等し
い所定の加振レベルで加振し、このとき振動センサ１１
より得られる出力信号Ｓ１９に基づいて振動センサ１１
の感度を校正する校正装置５０において、基準ピツクア
ツプ１３からの出力信号Ｓ１４に基づいて加振器１２の
振動レベルを検出する振動検出手段１３及び６２と、振
動センサ１１からの出力信号Ｓ１９に基づいて振動セン
サ１１の感度を検出する感度検出手段６３と、振動検出
手段１３及び６２からの検出データＤ１を入力すると共
に、感度検出手段６３からの検出データＤ２を入力する
中央処理ユニツト６０と、中央処理ユニツト６０から出
力される制御信号Ｓ６６及びＳ６７に基づいて加振器１
２を加振する加振信号Ｓ１３を形成する加振信号形成手
段６１とを備え、振動検出手段１３及び６２の検出デー
タＤ１に基づいて加振器１２の加振レベルを所望の値に
制御するようにする。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the reference pickup 13 and the vibration sensor 11 to be calibrated are vibrated at the same predetermined vibration level by the predetermined vibrator 12. At this time, the vibration sensor 11
Vibration sensor 11 based on output signal S19 obtained from
In a calibrating device 50 for calibrating the sensitivity of the vibrator 12, vibration detecting means 13 and 62 for detecting the vibration level of the vibrator 12 based on the output signal S14 from the reference pickup 13, and based on the output signal S19 from the vibration sensor 11. A sensitivity detection means 63 for detecting the sensitivity of the vibration sensor 11, a central processing unit 60 for inputting the detection data D1 from the vibration detection means 13 and 62 and the detection data D2 from the sensitivity detection means 63; The vibrator 1 is controlled based on the control signals S66 and S67 output from the unit 60.
And a vibration signal forming means 61 for forming a vibration signal S13 for vibrating the vibration signal 2, and controlling the vibration level of the vibrator 12 to a desired value based on the detection data D1 of the vibration detecting means 13 and 62. To do.
【００２０】また本発明においては、振動センサの校正
装置５０は、データ記憶手段６６を備え、データ記憶手
段６６に予め振動検出手段１３及び６１の各周波数ポイ
ントにおける特性を表わす周波数特性データＣi （ｉ＝
１、２、……、ｎ）を記憶し、中央処理ユニツト６０
は、振動検出手段１３及び６２により検出される検出デ
ータＤ１と周波数特性データＣi とを比較し、比較結果
がほぼ等しくなるように加振信号形成手段６１を制御す
ることにより加振器１２の加振レベルを所望の値に制御
するようにする。[0020] In the present invention, the calibration device 50 of the vibration sensor comprises a data storage means 66, the frequency characteristic in advance represents the characteristics at each frequency point of the vibration detecting means 13 and 61 in the data storage unit 66 data C i ( i =
1, 2,..., N) are stored in the central processing unit 60.
Compares the detection data D1 and the frequency characteristic data C i to be detected by the vibration detecting means 13 and 62, the comparison result is vibrator 12 by controlling the excitation signal generating means 61 to be substantially equal The excitation level is controlled to a desired value.
【００２１】さらに本発明においては、振動センサの校
正装置５０は、入出力回路６７を備え、入出力回路６７
を介して外部入力装置６８からの入力データＳ３１に基
づいて中央処理ユニツト６０を制御し、及び又は入力デ
ータＳ３１をデータ記憶手段６６に書き込むと共に、入
出力回路６７を介して校正結果を外部出力装置６９に送
出するようにする。Further, in the present invention, the vibration sensor calibrating device 50 includes an input / output circuit 67.
The CPU 60 controls the central processing unit 60 based on the input data S31 from the external input device 68 via the external input device 68, and / or writes the input data S31 to the data storage means 66, and outputs the calibration result via the input / output circuit 67 to the external output device 69.
【００２２】さらに本発明においては、所定の加振器１
２により基準ピツクアツプ１３及び校正対象となる振動
センサ１１を等しい所定の加振レベルで加振し、このと
き振動センサ１１より得られる出力信号Ｓ１９に基づい
て振動センサ１１の感度を校正する校正装置５０におい
て、中央処理ユニツト６０と、中央処理ユニツト６０か
ら出力される制御信号Ｓ６６及びＳ６７に基づいて加振
器１２を加振する加振信号Ｓ１３を形成する加振信号形
成手段６１と、加振信号Ｓ１３に基づいて加振信号Ｓ１
３の信号レベルを検出する信号レベル検出手段６４と、
質量検出用データＤ（Ｖ１）及びＤ（Ｖ２）を記憶した
データ記憶手段６６とを備え、中央処理ユニツト６０
は、信号レベル検出手段６４から出力される検出データ
Ｄ３とデータ記憶手段６６に記憶された質量検出用デー
タＤ（Ｖ１）及びＤ（Ｖ２）を比較し、比較結果に基づ
いて校正する周波数を選定するようにする。Further, in the present invention, the predetermined vibrator 1
2, the reference pickup 13 and the vibration sensor 11 to be calibrated are vibrated at the same predetermined vibration level, and the sensitivity of the vibration sensor 11 is calibrated based on the output signal S19 obtained from the vibration sensor 11 at this time. A central processing unit 60; an excitation signal forming means 61 for generating an excitation signal S13 for exciting the vibrator 12 based on the control signals S66 and S67 output from the central processing unit 60; The excitation signal S1 based on S13
3, signal level detecting means 64 for detecting the signal level of
A central processing unit 60 including data storage means 66 storing mass detection data D (V1) and D (V2);
Compares the detection data D3 output from the signal level detection means 64 with the mass detection data D (V1) and D (V2) stored in the data storage means 66, and selects a frequency to be calibrated based on the comparison result. To do it.
【００２３】[0023]
【作用】中央処理ユニツト６０は振動検出手段１３及び
６２からの検出データＤ１とデータ記憶手段６６に記憶
された振動検出手段１３及び６２の周波数特性データＣ
i （ｉ＝１、２、……、ｎ）とを比較し、この比較結果
がほぼ等しくなるように加振信号形成手段６１を制御す
る。この結果加振器１２の加振レベルを各周波数ポイン
トにおいて所望の値に制御することができる。かくして
簡易な構成により複数の周波数ポイントにおいて高精度
の校正を行うことができる振動センサの校正装置５０を
得ることができる。The central processing unit 60 detects the detection data D1 from the vibration detecting means 13 and 62 and the frequency characteristic data C of the vibration detecting means 13 and 62 stored in the data storage means 66.
i (i = 1, 2,..., n), and controls the excitation signal forming means 61 so that the comparison result becomes substantially equal. As a result, the excitation level of the exciter 12 can be controlled to a desired value at each frequency point. Thus, it is possible to obtain the vibration sensor calibrating device 50 capable of performing high-precision calibration at a plurality of frequency points with a simple configuration.
【００２４】[0024]
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
【００２５】（１）外観構成 図１において、５０は全体として振動ピツクアツプの校
正装置を示し携帯可能な構成となつている。校正装置５
０においては、外筐の上面に複数の操作ボタン５１から
なるコントロールパネル５２が設けられていると共に表
示部５３が設けられており、これによりユーザがコント
ロールパネル５２上の操作ボタン５１を操作して手動に
より校正周波数等を所望の値に設定できるようになされ
ていると共に、表示部５３に校正結果を表示し得るよう
になされている。(1) Appearance Configuration In FIG. 1, reference numeral 50 denotes a vibration pickup calibration device as a whole, which is portable. Calibration device 5
0, a control panel 52 including a plurality of operation buttons 51 is provided on the upper surface of the outer casing and a display unit 53 is provided, so that the user can operate the operation buttons 51 on the control panel 52. The calibration frequency and the like can be manually set to desired values, and the calibration result can be displayed on the display unit 53.
【００２６】また校正装置５０の外筐上面には、コント
ロールパネル５１及び表示部５３の配置面に対して一段
高く形成された段部５４が設けられ、この段部５４に設
けられた被校正ピツクアツプ取付け部５５に被校正ピツ
クアツプを取り付けるようになされている。すなわち校
正装置５０の被校正ピツクアツプ取付け部５５にはめね
じ部５６が形成されており、このめねじ部５６に所定の
取付けねじを介して被校正ピツクアツプを取り付けるこ
とができるようになされている。この結果、外筐に内蔵
された加振器及び基準ピツクアツプと被校正ピツクアツ
プとが一体となり、加振器により基準ピツクアツプ及び
被校正ピツクアツプに振動周波数及び振動レベルの等し
い振動を与え得るようになされている。On the upper surface of the outer casing of the calibration device 50, there is provided a step 54 formed one step higher than the arrangement surface of the control panel 51 and the display section 53, and the pickup to be calibrated provided on this step 54 is provided. The pickup to be calibrated is mounted on the mounting portion 55. That is, a female screw portion 56 is formed on the calibration pickup mounting portion 55 of the calibration device 50, and the calibration target pickup can be mounted on the female screw portion 56 via a predetermined mounting screw. As a result, the vibrator and the reference pick-up incorporated in the outer casing and the pickup to be calibrated are integrated, and the vibrator can apply vibrations of the same vibration frequency and vibration level to the reference pickup and the calibrated pickup. I have.
【００２７】また校正装置５０の外筐上面にはコネクタ
５７が設けられ、当該コネクタ５７に被校正ピツクアツ
プに設けられた検出信号出力用のリード線を接続するこ
とにより内部回路に被校正ピツクアツプの検出信号を送
出するようになされている。さらに外筐の背面には外部
端子（図示せず）が設けられ、これにより校正装置５０
においては、この外部端子を介して外部の記録装置又は
コンピユータ等を接続し得るようになされている。A connector 57 is provided on the upper surface of the outer casing of the calibration device 50, and a lead for detection signal output provided on the pickup to be calibrated is connected to the connector 57 to detect the pickup to be calibrated in the internal circuit. A signal is transmitted. Further, an external terminal (not shown) is provided on the rear surface of the outer casing, so that the calibration device 50 is provided.
, An external recording device or a computer or the like can be connected through the external terminal.
【００２８】（２）回路構成 図１２との対応部分に同一符号を付して示す図２におい
て、校正装置５０はＣＰＵ（中央処理ユニツト）６０を
有し、当該ＣＰＵ６０によつて所定の演算を施すことに
より複数の周波数ポイントで被校正ピツクアツプ１１の
感度を高精度で校正し得るようになされている。校正装
置５０においては、加振信号形成部６１によつて形成し
た加振信号Ｓ１３を加振器１２に送出すると共に、基準
ピツクアツプ１３からの検出信号Ｓ１４を振動検出部６
２に入力するようになされている。(2) Circuit Configuration Referring to FIG. 2, in which parts corresponding to those in FIG. 12 are assigned the same reference numerals, the calibrating device 50 has a CPU (central processing unit) 60, and the CPU 60 performs predetermined calculations. By performing the calibration, the sensitivity of the pickup 11 to be calibrated can be calibrated with high precision at a plurality of frequency points. In the calibration device 50, the vibration signal S13 formed by the vibration signal forming section 61 is sent to the vibrator 12, and the detection signal S14 from the reference pickup 13 is transmitted to the vibration detecting section 6.
2 is input.
【００２９】また校正装置５０においては、被校正ピツ
クアツプ１１からの検出信号Ｓ１９を感度検出部６３に
入力すると共に、加振信号形成部６１からの加振信号Ｓ
１３を加振信号検出部６４に入力するようになされてい
る。校正装置５０においては、ＣＰＵ６０をプログラム
メモリ６５に記憶されたプログラムに基づいて動作させ
ると共に、ＣＰＵ６０による演算結果をデータメモリ６
６に格納するようになされている。In the calibration device 50, the detection signal S19 from the pickup 11 to be calibrated is input to the sensitivity detection unit 63, and the excitation signal S from the excitation signal forming unit 61 is input.
13 is input to the excitation signal detection unit 64. In the calibration device 50, the CPU 60 is operated based on the program stored in the program memory 65, and the calculation result by the CPU 60 is stored in the data memory 6
6 is stored.
【００３０】また校正装置５０においては、コントロー
ルパネル５２からのコントロール信号Ｓ３０に基づいて
ＣＰＵ６０を制御し得ると共に、外部のコンピユータ６
８からのコントロール信号Ｓ３１をインターフエース６
７を介してＣＰＵ６０に入力することによりＣＰＵ６０
を制御し得るようになされている。さらに校正装置５０
においては、ＣＰＵ６０による演算結果等を表示部５３
に表示し得ると共に、当該演算結果をインターフエース
６７を介して外部のプリンタ６９に送出することにより
演算結果を所定の記録紙上に記録できるようになされて
いる。In the calibration device 50, the CPU 60 can be controlled based on the control signal S30 from the control panel 52, and the external computer 6 can be controlled.
Control signal S31 from the interface 6
7 to the CPU 60,
Is controlled. Calibration device 50
In the display section 53, the calculation results and the like by the CPU 60 are displayed.
The calculation result is sent to an external printer 69 via an interface 67, so that the calculation result can be recorded on a predetermined recording sheet.
【００３１】ここで振動検出部６２は、積分器２３の出
力信号Ｓ１７をアナログデイジタル変換器７０によりデ
イジタル信号Ｄ１に変換し、これをＣＰＵ６０に送出す
る。このときＣＰＵ６０はデイジタル信号Ｄ１とデータ
メモリ６６内に格納された記録データとを比較し、デイ
ジタル信号Ｄ１がデータメモリ６６内の記録データと等
しくなるような制御信号Ｓ６６をＡＧＣ回路１８に送出
しＡＧＣ回路１８を制御するようになされている。また
ＣＰＵ６０はデータメモリ６６に格納された周波数ポイ
ントデータに基づいて発振器１７に制御信号Ｓ６７を送
出することにより、発振器１７によつて発生される発振
信号Ｓ１０の周波数を周波数ポイントデータに応じて可
変し得るようになされている。Here, the vibration detecting section 62 converts the output signal S17 of the integrator 23 into a digital signal D1 by the analog digital converter 70 and sends it to the CPU 60. At this time, the CPU 60 compares the digital signal D1 with the recording data stored in the data memory 66, and sends a control signal S66 to the AGC circuit 18 so that the digital signal D1 becomes equal to the recording data in the data memory 66 to the AGC circuit 18. The circuit 18 is controlled. Also, the CPU 60 sends a control signal S67 to the oscillator 17 based on the frequency point data stored in the data memory 66, thereby varying the frequency of the oscillation signal S10 generated by the oscillator 17 according to the frequency point data. Have been made to gain.
【００３２】感度検出部６３は、積分器２６の出力信号
Ｓ２２をアナログデイジタル変換器７１によりデイジタ
ル信号Ｄ２に変換し、これをＣＰＵ６０に送出する。Ｃ
ＰＵ６０はデイジタル信号Ｄ２に基づいて所定の演算を
行い、当該演算結果を被校正ピツクアツプ１１の感度と
して表示部５３に送出すると共にインターフエース６７
を介してプリンタ６９に出力するようになされている。
加振信号検出部６４は、積分器２９の出力信号Ｓ２４を
アナログデイジタル変換器７２によりデイジタル信号Ｄ
３に変換し、これをＣＰＵ６０に送出する。ＣＰＵ６０
はデイジタル信号Ｄ３に基づいて所定の演算を行い、当
該演算結果に基づいた遮断制御信号Ｓ６９を電源３３に
送出するようになされている。The sensitivity detector 63 converts the output signal S22 of the integrator 26 into a digital signal D2 by the analog digital converter 71 and sends it to the CPU 60. C
The PU 60 performs a predetermined operation based on the digital signal D2, sends the operation result to the display unit 53 as the sensitivity of the pickup 11 to be calibrated, and sends the result to the interface 67.
Through the printer 69.
The excitation signal detector 64 converts the output signal S24 of the integrator 29 into a digital signal D by the analog digital converter 72.
3 and sends it to the CPU 60. CPU 60
Performs a predetermined operation on the basis of the digital signal D3, and sends a shutoff control signal S69 to the power supply 33 based on the operation result.
【００３３】 （３）システム及び基準ピツクアツプの校正 ここで校正装置５０においては、図３に示すようなシス
テム校正手順に従つて、予めデータメモリ６６に校正装
置５０の特性を表わすデータを記憶することにより校正
装置５０のシステム校正及び基準ピツクアツプ１３の校
正を行うようになされている。(3) Calibration of System and Reference Pickup Here, in the calibration device 50, data representing characteristics of the calibration device 50 is stored in the data memory 66 in advance according to a system calibration procedure as shown in FIG. , The system calibration of the calibration device 50 and the calibration of the reference pickup 13 are performed.
【００３４】すなわちステツプＳＰ０から入つてステツ
プＳＰ１において、オペレータが予め各周波数ポイント
において正確な感度に校正された校正用標準ピツクアツ
プの各周波数ポイントにおける感度Ｑi （ｉ＝１、２、
……、ｎ）（ｎは校正周波数のポイント数）を、データ
メモリ６６に記憶させる。次にオペレータはステツプＳ
Ｐ２において、増幅器２４に校正用標準ピツクアツプの
感度Ｑi （ｉ＝１、２、……、ｎ）に相当する電気的信
号を入力し、このとき得られるアナログデイジタル変換
器７１の出力値Ｄ２（またはその換算値）と増幅器２４
に入力した電気的信号の値に基づいて各周波数ポイント
における感度検出部６３の伝達関数Ｇi （ｉ＝１、２、
……、ｎ）を計算し、この伝達関数Ｇi の値をデータメ
モリ６６に記憶させる。That is, at step SP1 starting from step SP0, the operator sets the sensitivity Q i (i = 1, 2,...) At each frequency point of the calibration standard pickup which has been calibrated to an accurate sensitivity in advance at each frequency point.
.., N) (n is the number of points of the calibration frequency) is stored in the data memory 66. Next, the operator proceeds to step S
At P2, an electrical signal corresponding to the sensitivity Q i (i = 1, 2,..., N) of the calibration standard pickup is input to the amplifier 24, and the output value D2 ( Or its converted value) and the amplifier 24
, The transfer function G i (i = 1, 2,...) Of the sensitivity detector 63 at each frequency point based on the value of the electrical signal input to
...... calculates the n), and stores the value of the transfer function G i in the data memory 66.
【００３５】オペレータは続くステツプＳＰ３におい
て、校正装置５０の被校正ピツクアツプ取付け部５５
（図１）に校正用標準ピツクアツプを取り付け、この状
態で各周波数ポイントにおいて加振器１２の加振レベル
を徐々に上げていく。ここでＣＰＵ６０は、このとき得
られる各周波数ポイントにおけるアナログデイジタル変
換器７１の出力値（またはその換算値）Ｄi （ｉ＝１、
２、……、ｎ）と、ステツプＳＰ２においてデータメモ
リ６６に記憶した各周波数ポイントにおける感度検出部
６３の伝達関数Ｇi （ｉ＝１、２、……、ｎ）とから、
感度検出部６３の伝達関数Ｇi を考慮した校正用標準ピ
ツクアツプの感度Ｑi ´＝Ｄi／Ｇi （ｉ＝１、２、…
…、ｎ）を算出する。ここでＣＰＵ６０はデータメモリ
６６から校正用標準ピツクアツプの感度Ｑi を読み出し
て、算出結果Ｑi ´が感度Ｑi と等しくなるような制御
信号Ｓ６６をＡＧＣ回路１８に送出する。In the next step SP3, the operator sets the pick-up mounting portion 55 of the calibration device 50 to be calibrated.
A calibration standard pickup is attached to (FIG. 1), and the excitation level of the exciter 12 is gradually increased at each frequency point in this state. Here, the CPU 60 outputs the output value (or its converted value) D i (i = 1, 1) of the analog digital converter 71 at each frequency point obtained at this time.
,..., N) and the transfer function G i (i = 1, 2,..., N) of the sensitivity detector 63 at each frequency point stored in the data memory 66 in step SP2.
The sensitivity Q i ′ = D i / G i (i = 1, 2,...) Of the calibration standard pickup in consideration of the transfer function G i of the sensitivity detector 63.
.., N) are calculated. Here CPU60 reads the sensitivity Q i of the calibration standard pickup from the data memory 66, and sends a control signal S66 as the calculation result Q i 'is equal to the sensitivity Q i to the AGC circuit 18.
【００３６】すなわち校正装置５０においては、ステツ
プＳＰ３において、感度Ｑi ´が感度Ｑi よりも小さい
場合には加振器１２の加振レベルを上げるようになされ
ており、これに対して感度Ｑi ´が感度Ｑi よりも大き
い場合には加振器１２の加振レベルを下げるようになさ
れている。このようにして校正装置５０においては、各
周波数ポイントにおいて感度検出部６３の周波数特性に
応じた加振レベルを得ることができる。That is, in the calibration device 50, in step SP3, when the sensitivity Q i ′ is smaller than the sensitivity Q i, the excitation level of the vibrator 12 is increased. If i 'is greater than the sensitivity Q i is adapted to reduce the level excitation of the vibrator 12. In this manner, in the calibration device 50, it is possible to obtain an excitation level corresponding to the frequency characteristic of the sensitivity detection unit 63 at each frequency point.
【００３７】ここで校正装置５０においては、このとき
アナログデイジタル変換器７０から出力される各周波数
ポイントにおける出力値（又はその換算値）Ｄ１を基準
ピツクアツプ校正データＣi （ｉ＝１、２、……、ｎ）
としてデータメモリ６６に記憶するようになされてい
る。この後ステツプＳＰ４において校正装置５０のシス
テム校正処理を終了する。かくして校正装置５０におい
ては、データメモリ６６に基準ピツクアツプ校正データ
Ｃi を記憶するようにしたことにより、各周波数ポイン
トにおいて基準ピツクアツプ校正データＣi を基準とし
て加振器１２を加振すれば、基準ピツクアツプ１３自体
が所定の周波数特性を有する場合でも、各周波数ポイン
トにおいて所望の加振レベルを得ることができるように
なされている。At this time, in the calibration device 50, the output value (or its converted value) D1 at each frequency point output from the analog digital converter 70 at this time is used as the reference pickup calibration data C i (i = 1, 2,...). …, N)
Is stored in the data memory 66. Thereafter, in step SP4, the system calibration processing of the calibration device 50 is completed. In this way the calibration device 50, by which is adapted to store the reference pickup calibration data C i to the data memory 66, if the vibrator 12 vibrating relative to the reference pickup calibration data C i at each frequency point, the reference Even when the pickup 13 itself has a predetermined frequency characteristic, a desired excitation level can be obtained at each frequency point.
【００３８】（４）校正周波数ポイントの選定 ここで校正装置５０においては、加振信号形成部６１及
び加振器１２による加振能力の限界を考慮して被校正ピ
ツクアツプ１１の質量に応じて、ＣＰＵ６０により校正
する周波数ポイントを選定し得るようになされている。(4) Selection of Calibration Frequency Point In the calibration device 50, considering the limitation of the excitation capability of the excitation signal forming unit 61 and the exciter 12, the calibration frequency is adjusted according to the mass of the pickup 11 to be calibrated. A frequency point to be calibrated by the CPU 60 can be selected.
【００３９】すなわち校正装置５０においては、被校正
ピツクアツプ１１の質量が大きくなると、特に高い周波
数ポイントにおける加振レベルが所望の値以下となり、
この結果高い周波数ポイントでは正確な校正結果が得ら
れない場合がある。実施例の場合、校正装置５０は、80
〔Hz〕、159.2 〔Hz〕、１〔ｋHz〕、４〔ｋHz〕、８
〔ｋHz〕の各周波数ポイントにおいて所望の加振レベル
を得ることができ、この周波数ポイントにおいて被校正
ピツクアツプ１１の感度を校正し得るようになされてい
る。That is, in the calibrating device 50, when the mass of the pickup 11 to be calibrated becomes large, the excitation level particularly at a high frequency point becomes lower than a desired value.
As a result, accurate calibration results may not be obtained at high frequency points. In the case of the embodiment, the calibration device 50
[Hz], 159.2 [Hz], 1 [kHz], 4 [kHz], 8
A desired excitation level can be obtained at each frequency point of [kHz], and the sensitivity of the pickup 11 to be calibrated can be calibrated at these frequency points.
【００４０】また実施例の場合、校正装置５０は、校正
周波数ポイントが80〔Hz〕及び159.２〔Hz〕の場合には
0.5〔Ｇ〕の加振レベルで加振するのに対して、校正周
波数ポイントが１〔ｋHz〕、４〔ｋHz〕及び８〔ｋHz〕
の場合には 0.1〔Ｇ〕の加振レベルで加振するようにな
されている。Further, in the case of the embodiment, the calibration device 50 operates when the calibration frequency points are 80 [Hz] and 159.2 [Hz].
While the vibration is applied at an excitation level of 0.5 [G], the calibration frequency points are 1 [kHz], 4 [kHz] and 8 [kHz].
In this case, the vibration is applied at a vibration level of 0.1 [G].
【００４１】また実施例の校正装置５０においては、被
校正ピツクアツプ１１の質量Ｍが第１の質量Ｍ１（例え
ば70〔gr〕）以下の場合には上述した全周波数ポイント
において所望の加振レベルを得ることができる構成とな
つているのに対して、被校正ピツクアツプ１１の質量Ｍ
が第１の質量Ｍ１から第２の質量Ｍ２（例えば 150〔g
r〕）の範囲にある場合には80〔Hz〕、159.2 〔Hz〕の
周波数ポイントにおいては所望の加振レベルが得られる
が１〔ｋHz〕、４〔ｋHz〕、８〔ｋHz〕の周波数ポイン
トにおいては所望の加振レベルが得られない構成となつ
ている。In the calibration apparatus 50 of the embodiment, when the mass M of the pickup 11 to be calibrated is equal to or less than the first mass M1 (for example, 70 [gr]), the desired excitation level is set at all the frequency points described above. While the configuration is such that the mass M of the pickup 11 to be calibrated can be obtained.
From the first mass M1 to the second mass M2 (for example, 150 [g
r]), the desired excitation level can be obtained at the frequency points of 80 Hz and 159.2 Hz, but the frequency points of 1 kHz, 4 kHz and 8 kHz Has a configuration in which a desired excitation level cannot be obtained.
【００４２】そこでオペレータは、先ず被校正ピツクア
ツプ取付け部５５に第１の質量Ｍ１の加速度ピツクアツ
プを取り付け、この状態で加振器１２を加振させる。校
正装置５０は、このときのアナログデイジタル変換器７
２からの出力Ｄ（Ｖ１）をデータメモリ６６に記憶す
る。次にオペレータは、被校正ピツクアツプ取付け部５
５に第２の質量Ｍ２の加速度ピツクアツプを取付け、こ
の状態で加振器１２を加振させる。このとき校正装置５
０は、アナログデイジタル変換器７２からの出力Ｄ（Ｖ
２）をデータメモリ６６に記憶する。Therefore, the operator first attaches the acceleration pickup of the first mass M1 to the pickup pickup mounting portion 55 to be calibrated, and vibrates the vibrator 12 in this state. The calibration device 50 is connected to the analog digital converter 7 at this time.
2 is stored in the data memory 66. Next, the operator operates the pick-up mounting section 5 to be calibrated.
5, an acceleration pickup of the second mass M2 is attached, and the vibrator 12 is excited in this state. At this time, the calibration device 5
0 is the output D (V) from the analog digital converter 72.
2) is stored in the data memory 66.
【００４３】このように校正装置５０においては、予め
データメモリ６６に第１及び第２の質量検出データＤ
（Ｖ１）及びＤ（Ｖ２）を記憶するようになされてい
る。これにより校正装置５０においては、ＣＰＵ６０が
データメモリ６６から第１及び第２の質量検出データＤ
（Ｖ１）及びＤ（Ｖ２）を読み出して、図４に示すよう
な校正周波数選定手順を実行することにより被校正ピツ
クアツプ１１の質量に応じて加振能力を超えないような
校正周波数ポイントを選定するようになされている。As described above, in the calibration device 50, the first and second mass detection data D are stored in the data memory 66 in advance.
(V1) and D (V2) are stored. As a result, in the calibration device 50, the CPU 60 stores the first and second mass detection data D from the data memory 66.
By reading (V1) and D (V2) and executing a calibration frequency selection procedure as shown in FIG. 4, a calibration frequency point that does not exceed the vibration capability is selected according to the mass of the pickup 11 to be calibrated. It has been made like that.
【００４４】すなわちＣＰＵ６０は、ステツプＳＰ５か
ら入つてステツプＳＰ６において、アナログデイジタル
変換器７２から、被校正ピツクアツプ１１の質量Ｍに応
じた出力値Ｄ（Ｖ）を入力する。続いてＣＰＵ６０はス
テツプＳＰ７に移り、ここでデータメモリ６６に記憶し
た第１の質量検出データＤ（Ｖ１）を読み出して、アナ
ログデイジタル変換器７２の出力値Ｄ（Ｖ）が第１の質
量検出データＤ（Ｖ１）よりも大きいか否かを判断し、
ここで否定結果が得られると、ステツプＳＰ８に移る。That is, the CPU 60 enters the output value D (V) corresponding to the mass M of the pickup 11 to be calibrated from the analog digital converter 72 at step SP6 after entering at step SP5. Subsequently, the CPU 60 proceeds to step SP7, where the first mass detection data D (V1) stored in the data memory 66 is read out, and the output value D (V) of the analog-to-digital converter 72 is changed to the first mass detection data. Judge whether it is larger than D (V1),
Here, if a negative result is obtained, the process proceeds to step SP8.
【００４５】ＣＰＵ６０はステツプＳＰ８において、校
正周波数ポイントＦをＦi （ｉ＝１、２、……、ｎ）
（実施例の場合、ｎ＝5 でＦ1 ＝80〔Hz〕、Ｆ2 ＝159.
2 〔Hz〕、Ｆ3 ＝１〔ｋHz〕、Ｆ4 ＝４〔ｋHz〕、Ｆ5
＝８〔ｋHz〕) に設定する。これに対して、ＣＰＵ６０
はステツプＳＰ７において肯定結果が得られるとステツ
プＳＰ９に移り、ここでデータメモリ６６に記憶した第
２の質量検出データＤ（Ｖ２）を読み出して、アナログ
デイジタル変換器７２の出力値Ｄ（Ｖ）が第２の質量検
出データＤ（Ｖ２）よりも大きいか否かを判断し、ここ
で否定結果が得られると、ステツプＳＰ１０に移る。In step SP8, the CPU 60 sets the calibration frequency point F to F i (i = 1, 2,..., N).
(In the case of the embodiment, n = 5, F 1 = 80 [Hz], F 2 = 159.
2 [Hz], F 3 = 1 [kHz], F 4 = 4 [kHz], F 5
= 8 [kHz]). In contrast, the CPU 60
When a positive result is obtained in step SP7, the process proceeds to step SP9, where the second mass detection data D (V2) stored in the data memory 66 is read out, and the output value D (V) of the analog digital converter 72 is changed. It is determined whether it is larger than the second mass detection data D (V2). If a negative result is obtained here, the process proceeds to step SP10.
【００４６】ＣＰＵ６０はステツプＳＰ１０において、
校正周波数ポイントＦをＦi （ｉ＝１、２、……、ｍ：
ｍ＜ｎ）（実施例の場合、ｍ＝2 でＦ1 ＝80〔Hz〕、Ｆ
2 ＝159.2 〔Hz〕）に設定する。これに対して、ＣＰＵ
６０はステツプＳＰ９において肯定結果が得られるとス
テツプＳＰ１１に移り、ここで電源３３に電源遮断制御
信号Ｓ６９を送出し電源３３を遮断すると共に表示部５
３に「オーバーロード」を表示する。The CPU 60 in step SP10
The calibration frequency point F is defined as F i (i = 1, 2,..., M:
m <n) (in the case of the embodiment, m = 2, F 1 = 80 [Hz], F
2 = 159.2 [Hz]). On the other hand, CPU
When a positive result is obtained in step SP9, the process proceeds to step SP11, where a power cutoff control signal S69 is sent to the power supply 33 to cut off the power supply 33 and to display the display unit 5 (step S60).
3 displays "Overload".
【００４７】かくして校正装置５０においては、加振信
号形成部６１及び加振器１２の加振能力に応じて有効に
複数の校正周波数ポイントで被校正ピツクアツプ１１を
校正し得るようになされている。Thus, in the calibrating device 50, the pickup 11 to be calibrated can be calibrated effectively at a plurality of calibration frequency points according to the vibrating capabilities of the vibrating signal forming unit 61 and the vibrator 12.
【００４８】（５）コンピユータによるシステム校正 ここで校正装置５０においては、オペレータが外部のコ
ンピユータ６８を用いて上述したシステム校正を容易に
行うことができるようになされている。(5) System Calibration by Computer Here, the calibrating device 50 allows an operator to easily perform the above-described system calibration using an external computer 68.
【００４９】すなわちコンピユータ６８は、図５に示す
ように、ステツプＳＰ１５から入つてステツプＳＰ１６
において、校正装置５０のＣＰＵ６０に校正モードを設
定する命令を送出し、続くステツプＳＰ１７においてシ
ステム校正データ及び又はピツクアツプ校正データをＣ
ＰＵ６０に送出し、ステツプＳＰ１８において当該処理
手順を終了する。That is, as shown in FIG. 5, the computer 68 enters from step SP15 and returns to step SP16.
At step SP17, a command for setting the calibration mode is sent to the CPU 60 of the calibration device 50. At the next step SP17, the system calibration data and / or the pickup calibration data are stored in C.
The data is sent to the PU 60, and the processing procedure ends in step SP18.
【００５０】このとき校正装置５０のＣＰＵ６０は、図
６に示すように、ステツプＳＰ２０から入つてステツプ
ＳＰ２１においてコンピユータ６８からの命令を受信す
ると、ステツプＳＰ２２に移つてコンピユータ６８から
の命令がシステムを校正する命令か否かを判断し、ここ
で肯定結果が得られると校正サブルーチンＲＴ１に移つ
てコンピユータ６８からの命令に従つてシステムの校正
を行うようになされている。これに対してＣＰＵ６０は
ステツプＳＰ２２において否定結果が得られると、ステ
ツプＳＰ２３に移つてステツプＳＰ２１において受信し
た命令が被校正ピツクアツプ１１を校正する命令か否か
を判断する。At this time, as shown in FIG. 6, when the CPU 60 of the calibration device 50 receives the command from the computer 68 at step SP20 and receives the command from the computer 68 at step SP21, the command from the computer 68 is transferred to step SP22 to calibrate the system. It is determined whether or not the command is a command to be executed. If a positive result is obtained, the process proceeds to a calibration subroutine RT1 to calibrate the system in accordance with the command from the computer 68. On the other hand, if a negative result is obtained in step SP22, the CPU 60 proceeds to step SP23 and determines whether or not the command received in step SP21 is a command for calibrating the pickup 11 to be calibrated.
【００５１】ここで肯定結果が得られると、ＣＰＵ６０
は測定サブルーチンＲＴ２に移つてコンピユータ６８か
らの命令に従つて被校正ピツクアツプ１１の校正を行
う。これに対して、ＣＰＵ６０はステツプＳＰ２３にお
いて否定結果が得られるとステツプＳＰ２１に戻つてコ
ンピユータ６８からの命令を待ち受けるようになされて
いる。If a positive result is obtained here, the CPU 60
Moves to the measurement subroutine RT2 and calibrates the pickup 11 to be calibrated in accordance with the command from the computer 68. On the other hand, if a negative result is obtained in step SP23, the CPU 60 returns to step SP21 and waits for an instruction from the computer 68.
【００５２】ここで校正装置５０のＣＰＵ６０が校正サ
ブルーチンＲＴ１に入ると、コンピユータ６８は、図７
に示すように、ステツプＳＰ２５から入つてステツプＳ
Ｐ２６において、標準ピツクアツプの校正データＱi を
データメモリ６６に記憶する命令、各Ａ／Ｄ変換器７
０、７１、７２の出力Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３のうちの一つを
データメモリ６６に記憶する命令、又はデータメモリ６
６へのデータの書込み及び読出しを行う等の命令をＣＰ
Ｕ６０に送出し、ステツプＳＰ２７においてステツプＳ
Ｐ２６で送出した命令に対応するデータをＣＰＵ６０に
送出又はＣＰＵ６０から受信するなどの処理を行う。次
にコンピユータ６８はステツプＳＰ２８に進み、ここで
当該処理ルーチンを終了しない場合にはステツプＳＰ２
６に戻り、終了する場合にはステツプＳＰ２９に移つて
図５に示すメインルーチンに戻るようになされている。Here, when the CPU 60 of the calibration device 50 enters the calibration subroutine RT1, the computer 68 returns to FIG.
As shown in FIG.
In P26, the instruction for storing calibration data Q i standard pickup in the data memory 66, the A / D converter 7
0, 71, 72, an instruction to store one of the outputs D1, D2, D3 in the data memory 66, or the data memory 6
6 to write and read data to and from
U60, and in step SP27, step S
Processing such as transmitting data corresponding to the command transmitted in P26 to the CPU 60 or receiving data from the CPU 60 is performed. Next, the computer 68 proceeds to step SP28, and if the processing routine is not ended here, step SP2.
Returning to step SP6, when ending, the process proceeds to step SP29 and returns to the main routine shown in FIG.
【００５３】このとき校正装置５０のＣＰＵ６０は、図
８に示すような校正サブルーチンＲＴ１を実行する。す
なわちＣＰＵ６０はステツプＳＰ３０においてコンピユ
ータ６８からの命令を受信し、続くステツプＳＰ３１に
おいて、コンピユータ６８から送出される各種のデータ
をデータメモリ６６に書き込むか、またはコンピユータ
６８にデータを送出するか、またはＡ／Ｄ変換器７０、
７１、７２の出力Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３のうち選択された出
力をデータメモリ６６に記憶するなどの処理を行う。次
にＣＰＵ６０はステツプＳＰ３２に進み、ここで当該校
正サブルーチンＲＴ１を終了しない場合にはステツプＳ
Ｐ３０に戻り、終了する場合にはステツプＳＰ３３に移
つて図６に示すメインルーチンに戻るようになされてい
る。At this time, the CPU 60 of the calibration device 50 executes a calibration subroutine RT1 as shown in FIG. That is, the CPU 60 receives the command from the computer 68 at step SP30 and writes various data sent from the computer 68 to the data memory 66, sends the data to the computer 68, or A / D converter 70,
Processing such as storing the output selected from the outputs D1, D2, and D3 of the outputs 71 and 72 in the data memory 66 is performed. Next, the CPU 60 proceeds to step SP32, and if the calibration subroutine RT1 is not terminated here, step S32.
Returning to P30, when ending, the process proceeds to step SP33 and returns to the main routine shown in FIG.
【００５４】これに対して校正装置５０のＣＰＵ６０
が、測定サブルーチンＲＴ２に入ると、コンピユータ６
８は、図９に示すように、ステツプＳＰ３５から入つて
ステツプＳＰ３６において、これから送るデータが校正
周波数を変えるデータであることをＣＰＵ６０に知らせ
たり、またはＣＰＵ６０に校正結果をコンピユータ６８
に送出することを示す命令を送出する。コンピユータ６
８は続くステツプＳＰ３７において、校正周波数を指定
する場合にはＣＰＵ６０に指定する周波数データを送出
し、ステツプＳＰ３６で校正結果をコンピユータ６８に
送出する命令を送出した場合には、ＣＰＵ６０から校正
結果を受ける。次にコンピユータ６８はステツプＳＰ３
８に進み、ここで当該処理ルーチンを終了しない場合に
はステツプＳＰ３６に戻り、終了する場合にはステツプ
ＳＰ３９に移つて図５に示すメインルーチンに戻るよう
になされている。On the other hand, the CPU 60 of the calibration device 50
Enters the measurement subroutine RT2, the computer 6
As shown in FIG. 9, 8 is entered from step SP35, and in step SP36, informs the CPU 60 that the data to be transmitted is data for changing the calibration frequency, or sends the calibration result to the computer 68.
To send the instruction. Computer 6
In step SP37, the frequency data to be specified is transmitted to the CPU 60 when the calibration frequency is specified, and the calibration result is received from the CPU 60 when the instruction to transmit the calibration result to the computer 68 is transmitted in step SP36. . Next, the computer 68 proceeds to step SP3.
Then, if the processing routine is not ended, the process returns to step SP36. If the processing routine is ended, the process proceeds to step SP39 and returns to the main routine shown in FIG.
【００５５】このとき校正装置５０のＣＰＵ６０は、図
１０に示すような測定サブルーチンＲＴ２を実行するこ
とにより被校正ピツクアツプ１１の校正動作を行うよう
になされている。すなわちＣＰＵ６０はステツプＳＰ４
０において上述したステツプＳＰ３６でコンピユータ６
８から送出される命令を受信し、続くステツプＳＰ４１
において、校正する周波数ポイントをコンピユータ６８
により指定された周波数に切り換えると共に、校正結果
をコンピユータ６８に送出するようになされている。Ｃ
ＰＵ６０は続くステツプＳＰ４２において当該処理ルー
チンを終了するか否かを判断し、終了しない場合にはス
テツプＳＰ４０に戻り、終了する場合にはステツプＳＰ
４３に移つて図６に示すメインルーチンに戻るようにな
されている。At this time, the CPU 60 of the calibration device 50 performs the calibration operation of the pickup 11 to be calibrated by executing the measurement subroutine RT2 as shown in FIG. That is, the CPU 60 executes step SP4.
In step SP36 described above, the computer 6
8 receives the command sent from step 8 and proceeds to step SP41.
In step 68, the frequency point to be calibrated is
And the calibration result is sent to the computer 68. C
The PU 60 determines whether or not to end the processing routine in the following step SP42, and returns to step SP40 if not ended, and to step SP40 if ended.
The process moves to 43 and returns to the main routine shown in FIG.
【００５６】かくして、校正装置５０においては、ユー
ザが外部のコンピユータ６８を用いて容易に校正装置５
０のシステムを校正し得ると共に、容易に校正周波数ポ
イントを所望の値に選定することができるようになされ
ている。また校正装置５０においては、校正結果をコン
ピユータ６８に送出し得ることにより、校正結果を容易
にデータベース化することができるようになされてい
る。Thus, in the calibration device 50, the user can easily use the external computer 68 to
The system of zero can be calibrated and the calibration frequency point can be easily selected to a desired value. In the calibration device 50, the calibration results can be sent to the computer 68, so that the calibration results can be easily made into a database.
【００５７】（６）実施例の動作 以上の構成において、ユーザは被校正ピツクアツプ取付
け部５５に被校正ピツクアツプ１１を取り付ける。次に
ユーザがコントロールパネル５２上の校正開始ボタンを
押圧操作すると、校正装置５０はアナログデイジタル変
換器７０からの出力値Ｋi （ｉ＝１、２、……、ｎ）が
システム校正時にデータメモリ６６に記憶したアナログ
データ変換回路７０の出力値Ｃi （ｉ＝１、２、……、
ｎ）に等しくなるように各周波数ポイントにおける加振
レベルを調節する。(6) Operation of Embodiment In the above configuration, the user attaches the pickup 11 to be calibrated to the pickup attachment portion 55 to be calibrated. Next, when the user presses the calibration start button on the control panel 52, the calibration device 50 stores the output value K i (i = 1, 2,..., N) from the analog digital converter 70 in the data memory at the time of system calibration. 66, the output value C i of the analog data conversion circuit 70 (i = 1, 2,...,
Adjust the excitation level at each frequency point to be equal to n).
【００５８】すなわち校正装置５０においては、アナロ
グデイジタル変換器７０からの出力値Ｄi が記憶値Ｃi
よりも小さい場合には加振器１２の加振レベルを上げる
ように加振信号形成部６１を制御し、これに対してアナ
ログデイジタル変換器７０からの出力値Ｄi が記憶値Ｃ
i よりも大きい場合には加振器１２の加振レベルを下げ
るように加振信号形成部６１を制御する。[0058] That is, in the calibration device 50, the output value D i from the analog-to-digital converter 70 is stored values C i
Controls excitation signal former 61 as is smaller than increase the level excitation of the vibrator 12, which output value D i from the analog-to-digital converter 70 with respect to the stored value C
If it is larger than i, the excitation signal forming section 61 is controlled so as to lower the excitation level of the exciter 12.
【００５９】これにより校正装置５０においては、各周
波数ポイントにおいて高精度で所定の加振レベルを得る
ことができる。Thus, in the calibration device 50, a predetermined excitation level can be obtained with high accuracy at each frequency point.
【００６０】このとき校正装置５０においては、各周波
数ポイントにおけるアナログデイジタル変換器７１から
の出力値Ｓi （ｉ＝１、２、……、ｎ）をＣＰＵ６０に
取り込み、このときＣＰＵ６０はデータメモリ６６に記
憶した感度検出部６３の各周波数ポイントにおける伝達
関数Ｇi （ｉ＝１、２、……、ｎ）を読み出して、出力
値Ｓi を伝達関数Ｇi で除算する。At this time, in the calibration device 50, the output value S i (i = 1, 2,..., N) from the analog digital converter 71 at each frequency point is taken into the CPU 60. At this time, the CPU 60 the transfer function G i at each frequency point of the sensitivity detector 63 stored in the (i = 1,2, ......, n ) reads out, dividing the output value S i by a transfer function G i.
【００６１】この結果、校正装置５０はこの除算結果Ｓ
i ／Ｇi （ｉ＝１、２、……、ｎ）を被校正ピツクアツ
プ１１の感度として表示部５３に表示すると共に、外部
のプリンタ６９によつて所定の記録紙に記録するように
なされている。かくして校正装置においては、簡易な構
成により複数の周波数ポイントにおいて被校正ピツクア
ツプの感度を高精度で校正することができる。As a result, the calibration device 50 calculates the division result S
i / G i (i = 1, 2,..., n) is displayed on the display unit 53 as the sensitivity of the pickup 11 to be calibrated, and is recorded on a predetermined recording paper by an external printer 69. I have. Thus, in the calibration device, the sensitivity of the pickup to be calibrated can be calibrated with high accuracy at a plurality of frequency points with a simple configuration.
【００６２】また校正装置５０は除算結果Ｓi ／Ｇi が
前時点と現時点とでほぼ等しい値になつた場合に、校正
周波数を切り換えて次の校正周波数における校正を行う
ようになされている。これにより校正装置５０において
は、自動的に校正周波数を切り換えることができること
により、ユーザによる手間を低減することができる。When the division result S i / G i becomes substantially equal between the previous time and the present time, the calibration device 50 switches the calibration frequency and performs calibration at the next calibration frequency. This allows the calibration device 50 to automatically switch the calibration frequency, thereby reducing the user's labor.
【００６３】（７）実施例の効果 以上の構成によれば、ＣＰＵ６０及びデータメモリ６６
を設け、このデータメモリ６６に予め基準ピツクアツプ
校正データＣi を記憶させ、ＣＰＵ６０に入力される加
振信号検出部６２の出力信号Ｋi が基準ピツクアツプ校
正データＣi に等しくなるように加振器１２を加振する
ようにしたことにより、簡易な校正により複数の周波数
ポイントにおいて高精度に被校正ピツクアツプ１１の感
度を校正し得る校正装置５０を実現することができる。(7) Effects of the Embodiment According to the above configuration, the CPU 60 and the data memory 66
The provided this is stored in advance reference pickup calibration data C i to the data memory 66, equal as vibrator output signal K i of vibration signal detector 62 to be input to the reference pickup calibration data C i to CPU60 By vibrating 12, the calibration device 50 capable of calibrating the sensitivity of the pickup 11 to be calibrated at a plurality of frequency points with high accuracy by simple calibration can be realized.
【００６４】また予めデータメモリ６６に第１及び第２
の質量検出データＤ（Ｖ１）及びＤ（Ｖ２）を記憶さ
せ、加振信号検出部６４の出力信号Ｄ３と、第１及び第
２の質量検出データＤ（Ｖ１）及びＤ（Ｖ２）とを比較
し、当該比較結果に基づいて校正する周波数ポイントを
選定するようにしたことにより、加振能力を有効に利用
した校正ができる校正装置５０を実現することができ
る。The first and second data are stored in the data memory 66 in advance.
Is stored, and the output signal D3 of the excitation signal detection unit 64 is compared with the first and second mass detection data D (V1) and D (V2). Then, by selecting the frequency point to be calibrated based on the comparison result, it is possible to realize the calibrating device 50 capable of performing the calibration by effectively using the vibration capability.
【００６５】さらにインターフエース６７を設け、校正
装置５０による校正結果をプリンタ６９によつて記録し
得るようにすると共に、外部のコンピユータ６８によつ
て校正装置５０の校正動作を制御し得るようにしたこと
により、格段に使い勝手が向上した校正装置５０を実現
することができる。Further, an interface 67 is provided so that the calibration result of the calibration device 50 can be recorded by the printer 69, and the calibration operation of the calibration device 50 can be controlled by the external computer 68. This makes it possible to realize the calibration device 50 with significantly improved usability.
【００６６】（８）他の実施例 なお上述の実施例においては、ＣＰＵ６０が被校正ピツ
クアツプ１１の質量が大きくなるに従つて校正する周波
数ポイントを低い周波数に限定する場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、被校正ピツクアツプ１１の
質量が大きくなり加振能力を超えた場合に高い周波数ポ
イントおける加振レベルを意図的に例えば1/2 の加振レ
ベルに下げるようにしても良い。(8) Other Embodiments In the above-described embodiment, the case where the frequency point to be calibrated by the CPU 60 as the mass of the pickup 11 to be calibrated increases is limited to a low frequency has been described. However, the present invention is not limited to this. The excitation level at a high frequency point may be intentionally reduced to, for example, 加 the excitation level when the mass of the pickup 11 to be calibrated becomes large and exceeds the excitation capability.
【００６７】また上述の実施例においては、データメモ
リ６６に第１及び第２の質量検出用データＤ（Ｖ１）及
びＤ（Ｖ２）を記憶させ、当該質量検出用データＤ（Ｖ
１）及びＤ（Ｖ２）に基づいて校正周波数ポイントを選
定する場合について述べたが、データメモリ６６に記憶
させる質量検出用データの数及び値はこれに限らず、所
望の数及び値の質量検出用データを記憶させれば、これ
に基づいて校正周波数ポイントを選定することができ
る。In the above-described embodiment, the first and second mass detection data D (V1) and D (V2) are stored in the data memory 66, and the mass detection data D (V
Although the case where the calibration frequency point is selected based on 1) and D (V2) has been described, the number and value of the mass detection data stored in the data memory 66 are not limited to this, and the desired number and value of mass detection can be obtained. If the application data is stored, a calibration frequency point can be selected based on the data.
【００６８】[0068]
【発明の効果】上述のように本発明によれば、所定の加
振器により基準ピツクアツプ及び校正対象となる振動セ
ンサを等しい所定の加振レベルで加振し、このとき振動
センサより得られる出力信号に基づいて振動センサの感
度を校正する校正装置において、基準ピツクアツプから
の出力信号に基づいて加振器の振動レベルを検出する振
動検出手段と、振動センサからの出力信号に基づいて振
動センサの感度を検出する感度検出手段と、振動検出手
段からの検出データを入力すると共に、感度検出手段か
らの検出データを入力する中央処理ユニツトと、中央処
理ユニツトから出力される制御信号に基づいて加振器を
加振する加振信号を形成する加振信号形成手段とを設
け、振動検出手段の検出データに基づいて加振器の加振
レベルを所望の値に制御するようにしたことにより、簡
易な構成により複数の周波数ポイントで高精度の校正が
できると共に使い勝手の向上した振動センサの校正装置
を実現することができる。As described above, according to the present invention, the reference pickup and the vibration sensor to be calibrated are vibrated at the same predetermined vibration level by the predetermined vibrator, and the output obtained from the vibration sensor at this time is obtained. In a calibration device for calibrating the sensitivity of a vibration sensor based on a signal, vibration detection means for detecting a vibration level of a vibrator based on an output signal from a reference pickup, and a vibration sensor based on an output signal from the vibration sensor. A central processing unit for inputting detection data from the sensitivity detecting means, detecting data from the vibration detecting means, and inputting detection data from the sensitivity detecting means, and vibrating based on a control signal output from the central processing unit; And a vibration signal forming means for forming a vibration signal for vibrating the vibrator, and the vibration level of the vibrator is set to a desired value based on the detection data of the vibration detecting means. By the Gosuru way, it is possible to realize a calibration device of the vibration sensor with improved usability it is highly accurate calibration at multiple frequency points with a simple configuration.
【００６９】また本発明によれば、中央処理ユニツト
と、中央処理ユニツトから出力される制御信号に基づい
て加振器を加振する加振信号を形成する加振信号形成手
段と、加振信号に基づいて加振信号の信号レベルを検出
する信号レベル検出手段と、質量検出用データを記憶し
たデータ記憶手段とを設け、中央処理ユニツトにより、
信号レベル検出手段から出力される検出データとデータ
記憶手段に記憶された質量検出用データを比較し、この
比較結果に基づいて校正する周波数を選定するようにし
たことにより、簡易な構成により振動センサの質量に応
じて校正周波数ポイントを選定し得る振動センサの校正
装置を実現することができる。According to the present invention, the central processing unit, excitation signal forming means for generating an excitation signal for exciting the vibrator based on a control signal output from the central processing unit, and an excitation signal Signal level detecting means for detecting the signal level of the excitation signal based on the data, and data storage means for storing data for mass detection, provided by a central processing unit.
By comparing the detection data output from the signal level detection means with the data for mass detection stored in the data storage means and selecting a frequency to be calibrated based on the comparison result, the vibration sensor has a simple configuration. A calibration device for a vibration sensor that can select a calibration frequency point according to the mass of the vibration sensor can be realized.
【図１】本発明による振動センサの校正装置の一実施例
の外観構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an external configuration of an embodiment of a vibration sensor calibration device according to the present invention.
【図２】本発明による振動センサの校正装置の一実施例
の回路構成を示すブロツク図である。FIG. 2 is a block diagram showing a circuit configuration of an embodiment of a vibration sensor calibration device according to the present invention.
【図３】実施例による校正装置のシステム校正手順を示
すフローチヤートである。FIG. 3 is a flowchart showing a system calibration procedure of the calibration device according to the embodiment.
【図４】実施例による校正装置の校正周波数選定手順を
示すフローチヤートである。FIG. 4 is a flowchart showing a calibration frequency selection procedure of the calibration device according to the embodiment.
【図５】コンピユータによるシステム校正を行う際のコ
ンピユータ側の校正処理手順を示すフローチヤートであ
る。FIG. 5 is a flowchart showing a calibration processing procedure on the computer side when performing system calibration by the computer.
【図６】コンピユータによるシステム校正を行う際の校
正装置側の校正処理手順を示すフローチヤートである。FIG. 6 is a flowchart showing a calibration processing procedure on the calibration device side when performing system calibration by a computer.
【図７】システム校正モードにおけるコンピユータ側の
処理手順を示すフローチヤートである。FIG. 7 is a flowchart showing a processing procedure on a computer side in a system calibration mode.
【図８】システム校正モードにおける校正装置側の処理
手順を示すフローチヤートである。FIG. 8 is a flowchart showing a processing procedure on the calibration device side in a system calibration mode.
【図９】ピツクアツプ校正モードにおけるコンピユータ
側の処理手順を示すフローチヤートである。FIG. 9 is a flowchart showing a processing procedure on the computer side in a pickup calibration mode.
【図１０】ピツクアツプ校正モードにおける校正装置側
の処理手順を示すフローチヤートである。FIG. 10 is a flowchart showing a processing procedure on the calibration device side in the pickup calibration mode.
【図１１】ＦＦＴ分析器を用いた従来の据置型の校正装
置を示すブロツク図である。FIG. 11 is a block diagram showing a conventional stationary calibration apparatus using an FFT analyzer.
【図１２】従来の簡易型の校正装置の回路構成を示すブ
ロツク図である。FIG. 12 is a block diagram showing a circuit configuration of a conventional simple calibration device.
【符号の説明】 １１……被校正ピツクアツプ、１２……加振器、１３…
…基準ピツクアツプ、６０……ＣＰＵ、６１……加振信
号形成部、６２……振動検出部、６３……感度検出部、
６４……加振信号検出部、６６……データメモリ、６７
……インターフエース、６８……コンピユータ、６９…
…プリンタ、Ｃi ……基準ピツクアツプ校正データ、Ｄ
（Ｖ１）、Ｄ（Ｖ２）……質量検出用データ。[Explanation of Signs] 11 ... Pick-up to be calibrated, 12 ... Exciter, 13 ...
... Reference pickup, 60... CPU, 61... Excitation signal forming unit, 62... Vibration detecting unit, 63.
64: Excitation signal detector, 66: Data memory, 67
...... Interface, 68 ... Computer, 69 ...
… Printer, C i …… Reference pickup calibration data, D
(V1), D (V2)... Data for mass detection.
Claims (4)
校正対象となる振動センサを等しい所定の加振レベルで
加振し、このとき上記振動センサより得られる出力信号
に基づいて上記振動センサの感度を校正する校正装置に
おいて、 上記基準ピツクアツプからの出力信号に基づいて上記加
振器の振動レベルを検出する振動検出手段と、 上記振動センサからの出力信号に基づいて上記振動セン
サの感度を検出する感度検出手段と、 上記振動検出手段からの検出データを入力すると共に、
上記感度検出手段からの検出データを入力する中央処理
ユニツトと、 上記中央処理ユニツトから出力される制御信号に基づい
て上記加振器を加振する加振信号を形成する加振信号形
成手段とを具え、上記振動検出手段の検出データに基づ
いて上記加振器の加振レベルを所望の値に制御するよう
にしたことを特徴とする振動センサの校正装置。1. A reference vibration and a vibration sensor to be calibrated are vibrated at an equal predetermined vibration level by a predetermined vibrator. At this time, the sensitivity of the vibration sensor is determined based on an output signal obtained from the vibration sensor. A vibration detecting means for detecting a vibration level of the vibrator based on an output signal from the reference pickup, and a sensitivity of the vibration sensor based on an output signal from the vibration sensor. Sensitivity detection means, and input detection data from the vibration detection means,
A central processing unit for inputting detection data from the sensitivity detection unit; and an excitation signal forming unit for generating an excitation signal for exciting the vibrator based on a control signal output from the central processing unit. A vibration sensor calibration device for controlling a vibration level of the vibrator to a desired value based on detection data of the vibration detecting means.
手段を具え、 上記データ記憶手段に予め上記振動検出手段の各周波数
ポイントにおける特性を表わす周波数特性データを記憶
し、 上記中央処理ユニツトは、上記振動検出手段により検出
される検出データと上記周波数特性データとを比較し、
当該比較結果がほぼ等しくなるように上記加振信号形成
手段を制御することにより上記加振器の加振レベルを所
望の値に制御するようにしたことを特徴とする請求項１
に記載の振動センサの校正装置。2. The apparatus for calibrating a vibration sensor according to claim 1, further comprising data storage means, wherein said data storage means previously stores frequency characteristic data representing characteristics at each frequency point of said vibration detection means, said central processing unit comprising: Comparing the detection data detected by the vibration detection means with the frequency characteristic data,
2. The vibration level of the vibrator is controlled to a desired value by controlling the vibration signal forming means so that the comparison result becomes substantially equal.
A calibration device for a vibration sensor according to claim 1.
を具え、 上記入出力回路を介して外部入力装置からの入力データ
に基づいて上記中央処理ユニツトを制御し、及び又は上
記入力データを上記データ記憶手段に書き込むと共に、
上記入出力回路を介して校正結果を外部出力装置に送出
するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の振動
センサの校正装置。3. The apparatus for calibrating a vibration sensor according to claim 1, further comprising an input / output circuit, controlling the central processing unit based on input data from an external input device via the input / output circuit, and / or transmitting the input data. While writing to the data storage means,
2. The vibration sensor calibration device according to claim 1, wherein the calibration result is sent to an external output device via the input / output circuit.
校正対象となる振動センサを等しい所定の加振レベルで
加振し、このとき上記振動センサより得られる出力信号
に基づいて上記振動センサの感度を校正する校正装置に
おいて、 中央処理ユニツトと、 上記中央処理ユニツトから出力される制御信号に基づい
て上記加振器を加振する加振信号を形成する加振信号形
成手段と、 上記加振信号に基づいて上記加振信号の信号レベルを検
出する信号レベル検出手段と、 質量検出用データを記憶したデータ記憶手段とを具え、 上記中央処理ユニツトは、上記信号レベル検出手段から
出力される検出データと上記データ記憶手段に記憶され
た質量検出用データを比較し、当該比較結果に基づいて
校正する周波数を選定するようにしたことを特徴とする
振動センサの校正装置。4. A vibration sensor to be used as a reference pickup and to be calibrated is vibrated at a predetermined vibration level by a predetermined vibrator. At this time, the sensitivity of the vibration sensor is determined based on an output signal obtained from the vibration sensor. A central processing unit; excitation signal forming means for forming an excitation signal for exciting the vibrator based on a control signal output from the central processing unit; and the excitation signal Signal level detecting means for detecting the signal level of the excitation signal based on the data, and data storage means for storing mass detection data, wherein the central processing unit detects the detection data output from the signal level detecting means. And comparing the mass detection data stored in the data storage means, to select a frequency to be calibrated based on the comparison result, Calibration device for a vibration sensor that.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|
| JPH0755837A JPH0755837A (en) | 1995-03-03 |
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