JP2902839B2 - Magnetic disk, magnetic head, and manufacturing method thereof - Google Patents
Magnetic disk, magnetic head, and manufacturing method thereofInfo
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドの浮上と走行
を安定化させることができる磁気ディスクおよび磁気ヘ
ッドとそれらの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk, a magnetic head capable of stabilizing the floating and running of a magnetic head, and a method of manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コンピュータの磁気記録装置などに用い
られている円盤状の磁気ディスクにあっては、磁気ヘッ
ドによって信号の書き込みと読み取りがなされている。
この磁気ヘッドは、磁気ディスクが停止している時は磁
気ディスク表面に接触し、磁気ディスクが回転すると磁
気ディスク表面に発生する気流の圧力によって浮上する
いわゆるＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）を
行なう。そして磁気ヘッドは浮上した状態で信号の書き
込みと読み取りを行なうようになっている。2. Description of the Related Art In a disk-shaped magnetic disk used in a magnetic recording device of a computer, signals are written and read by a magnetic head.
This magnetic head is in contact with the magnetic disk surface when the magnetic disk is stopped, so-called CSS to fly by the pressure of the airflow magnetic disk is generated in the magnetic disk surface and you rotate (contact start stop) Do. The magnetic head writes and reads signals while flying.
【０００３】ここで、磁気ヘッドの停止状態と浮上走行
状態について更に詳細に説明する。磁気ディスクの起動
時において、磁気ヘッドはそれ自身を支持するばね板部
材のばね圧により磁気ディスク表面に押し付けられた状
態になっている。この状態から磁気ディスクが回転を開
始すると、磁気ヘッドは回転する磁気ディスクに接触し
たまま摺動する。次に磁気ディスクの回転速度の向上に
伴ない、磁気ディスクの表面に生じた気流による揚力が
上昇し、この揚力が磁気ヘッドに対する前記ばね圧に打
ち勝つと、磁気ヘッドはゆるやかに磁気ディスク表面か
ら浮上し、磁気ヘッドの形状とばね圧と磁気ディスクの
周速とにより決定される浮上高さを保ちつつ磁気ディス
クに対して浮上走行する。Here, the stopped state of the magnetic head and the flying traveling state will be described in more detail. When the magnetic disk is started, the magnetic head is pressed against the surface of the magnetic disk by the spring pressure of the spring plate member supporting itself. When the magnetic disk starts rotating from this state, the magnetic head slides while being in contact with the rotating magnetic disk. Next, as the rotational speed of the magnetic disk increases, the lift due to the airflow generated on the surface of the magnetic disk increases, and when this lift overcomes the spring pressure on the magnetic head, the magnetic head slowly floats from the surface of the magnetic disk. Then, the magnetic head levitates with respect to the magnetic disk while maintaining the floating height determined by the shape of the magnetic head, the spring pressure, and the peripheral speed of the magnetic disk.
【０００４】即ち、磁気ヘッドは、磁気ディスクの回転
開始時点から磁気ヘッドの浮上開始時点までは、ばね圧
で抑え付けられながら磁気ディスク表面を擦り付けるこ
とになる。このため従来、磁気ディスク表面あるいは磁
気ヘッドの媒体対向面が摩耗し、場合によっては摩擦力
が異常に上昇して磁気ディスクの表面破壊（クラッシ
ュ）を起こし、磁気ディスクの記録内容を読み出すこと
ができなくなることがあった。また、磁気ヘッドと磁気
ディスクの摩擦力が異常に上昇して磁気ディスクの回転
トルク以上の値になると、もはや磁気ディスクは回転し
なくなり、磁気記録装置の故障につながることがある。That is, the magnetic head rubs against the surface of the magnetic disk from the start of rotation of the magnetic disk to the start of floating of the magnetic head while being suppressed by the spring pressure. For this reason, conventionally, the surface of the magnetic disk or the medium facing surface of the magnetic head is worn, and in some cases, the frictional force is abnormally increased, causing the magnetic disk surface to be destroyed (crash), and the recorded contents of the magnetic disk can be read. Sometimes disappeared. If the frictional force between the magnetic head and the magnetic disk abnormally rises to a value equal to or higher than the rotational torque of the magnetic disk, the magnetic disk will no longer rotate, which may lead to failure of the magnetic recording device.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような問題を解決
するために、従来、磁気ヘッドのスライダに浮上走行用
のレール部を設けたり、レール部の端部に傾斜面を形成
して浮上時の揚力を向上させ、磁気ヘッドが速やかに浮
上し得る構成を採用して磁気ヘッドを構成しているが、
このような構成を採用しても未だに磁気ディスクの表面
破壊が起こる可能性を有するものであった。なお、磁気
ヘッドの媒体対向面側の面は鏡面仕上とされ、磁気ディ
スクの表面も鏡面仕上が施されるが、鏡面仕上どうしの
部分が接触すると、鏡面どうしで吸着を引き起こす結
果、磁気ヘッドが磁気ディスクに吸着して動かなくな
り、前記の場合と同様に磁気記録装置の故障につながる
問題がある。In order to solve such a problem, conventionally, a slider for a magnetic head is provided with a rail portion for flying and running, or an inclined surface is formed at an end of the rail portion when the slider is used for flying. The magnetic head is configured by improving the lift of the head and adopting a configuration that allows the magnetic head to fly quickly.
Even if such a configuration is adopted, there is still a possibility that the surface of the magnetic disk is broken. The surface of the magnetic head on the medium facing surface side is mirror-finished, and the surface of the magnetic disk is also mirror-finished. There is a problem that the magnetic recording device is stuck to the magnetic disk and does not move, leading to a failure of the magnetic recording device as in the case described above.
【０００６】一方、磁気ディスクは一定の速度で回転
し、その表面内周部分と表面外周部分では磁気ディスク
の周速に差異を生じるので、生じる気流の大きさは磁気
ディスクの場所によって差異を生じる。即ち、磁気ヘッ
ドの浮上量は、磁気ディスク表面内周部分では低く、表
面外周部分では高くなる傾向がある。ここで、磁気ヘッ
ドの記録磁界と、磁気ディスクのもれ磁界は、磁気ディ
スクとの距離に応じて小さくなる。従って磁気ヘッドの
浮上量が磁気ディスクの表面内周側と表面外周側で変化
することは、磁気記録再生の面では不都合なことであ
る。On the other hand, the magnetic disk rotates at a constant speed, and the peripheral speed of the magnetic disk differs between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the surface. Therefore, the magnitude of the generated air current varies depending on the location of the magnetic disk. . That is, the flying height of the magnetic head tends to be low at the inner peripheral portion of the magnetic disk surface and higher at the outer peripheral portion thereof. Here, the recording magnetic field of the magnetic head and the leakage magnetic field of the magnetic disk become smaller according to the distance from the magnetic disk. Therefore, the fact that the flying height of the magnetic head changes between the inner circumferential side and the outer circumferential side of the surface of the magnetic disk is inconvenient in terms of magnetic recording and reproduction.
【０００７】そこで従来、このような問題点を解消する
目的で、磁気ヘッドにスキュー角と呼ばれる傾斜をつけ
て磁気ディスクに対向させ、磁気ディスク表面の内周部
では磁気ヘッドの中心線と磁気ディスクの接線方向を一
致させ、外周部ほどこれをずらすことで周速と浮上量の
関係を変えるように構成した磁気ヘッドが提供されてい
る。ところが、通常の磁気ヘッドの浮上量は０.１〜０.
３μｍ程度であって極めて小さい値であり、スキュー角
により磁気ヘッドの浮上量を磁気ディスク表面内周側で
同じにすることは、高い加工精度が要求される上、充分
な浮上量安定性を得ることが困難である。Therefore, in order to solve such a problem, the magnetic head is conventionally provided with an inclination called a skew angle to face the magnetic disk, and the center line of the magnetic head and the magnetic disk at the inner peripheral portion of the surface of the magnetic disk. Are provided so that the relationship between the peripheral speed and the flying height is changed by making the tangential directions coincide with each other and shifting the tangential direction toward the outer periphery. However, the flying height of a normal magnetic head is 0.1 to 0.1.
It is about 3 μm, which is an extremely small value. Making the flying height of the magnetic head the same on the inner peripheral side of the magnetic disk surface by the skew angle requires high processing accuracy and obtains sufficient flying height stability. It is difficult.
【０００８】以上のような問題点を解決する目的で本願
出願人は、平成３ー３１７０５９号明細書において、空
気圧縮部を備えたパターンを備えた磁気ディスクと磁気
ヘッドについて特許出願している。そこで更に本願発明
者は、磁気ヘッドの浮上を容易にするべく前記特許出願
の磁気ディスクと磁気ヘッドについて研究を重ねた結
果、本願発明に到達した。For the purpose of solving the above problems, the present applicant has filed a patent application for a magnetic disk and a magnetic head having a pattern with an air compression section in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-317059. Then, the inventor of the present application has further studied on the magnetic disk and the magnetic head of the patent application in order to facilitate the floating of the magnetic head, and as a result, the present invention has been reached.
【０００９】本願発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、磁気ディスクの回転時に磁気ヘッドを速やかに浮上
させることができるとともに、磁気ヘッドの浮上量を安
定化でき、さらに吸着を防止し、摩擦、摩耗を低減でき
る磁気ディスクと磁気ヘッドおよびそれらの製造方法を
提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and allows the magnetic head to fly quickly during rotation of the magnetic disk, stabilizes the flying height of the magnetic head, further prevents sticking, and reduces friction. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic disk and a magnetic head capable of reducing abrasion and a method of manufacturing the same.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は前
記課題を解決するために、磁気ヘッドによって情報の読
み書きがなされ、回転駆動される磁気ディスクにおい
て、磁気ディスクの表面と裏面の少なくとも一方であっ
て、磁気ヘッドに相対摺動される面に、磁気ディスクの
回転方向前方側に向く空気圧縮部を具備するパターン突
部を複数形成し、前記パターン突部の表面にパターン突
部よりも小さな突起を複数形成してなるものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk in which information is read and written by a magnetic head and which is driven to rotate, and at least one of a front surface and a rear surface of the magnetic disk. So
A plurality of pattern projections each having an air compression section facing the front side in the rotation direction of the magnetic disk on a surface relatively slid with the magnetic head, and a projection smaller than the pattern projection on the surface of the pattern projection. Are formed.
【００１１】請求項２記載の発明は前記課題を解決する
ために、磁気ヘッドによって情報の読み書きがなされ、
回転駆動される磁気ディスクであって、磁気ディスクの
表面と裏面の少なくとも一方であって、磁気ヘッドに相
対摺動される面に磁気ディスクの回転方向前方側に向く
空気圧縮部を具備するパターン突部を複数形成し、前記
パターン突部の表面にパターン突部よりも小さな突起を
複数形成してなる磁気ディスクを製造する方法におい
て、磁気ディスクの基板上に第１のマスクパターンを形
成し、この第１のマスクパターンに沿って選択的に基板
の一部をエッチングして基板表面または基板裏面にパタ
ーン突部を形成するとともに、このパターン突部を形成
した基板上に更に第２のマスクパターンを形成し、この
第２のマスクパターンに沿って選択的にパターン突部の
一部をエッチングしてパターン突部の表面に突起を複数
形成するものである。According to a second aspect of the present invention, in order to solve the above problems, information is read and written by a magnetic head.
A magnetic disk that is rotationally driven, and is at least one of the front and back surfaces of the magnetic disk and is compatible with the magnetic head.
A plurality of pattern projections each having an air compression section facing the rotation direction front side of the magnetic disk are formed on the surface to be slid, and a plurality of projections smaller than the pattern projections are formed on the surface of the pattern projection. In a method of manufacturing a magnetic disk, a first mask pattern is formed on a substrate of a magnetic disk, and a portion of the substrate is selectively etched along the first mask pattern to form a pattern on a front surface or a back surface of the substrate. A projection is formed, a second mask pattern is further formed on the substrate on which the pattern projection has been formed, and a part of the pattern projection is selectively etched along the second mask pattern. A plurality of protrusions are formed on the surface of the protrusion.
【００１２】請求項３記載の発明は前記課題を解決する
ために、回転状態の磁気ディスクに対して浮上走行し、
停止状態の磁気ディスクに対してレール部によって接触
する磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドの磁気ディスク側
のレール部に、磁気ディスクの回転方向後方側に向く空
気圧縮部を具備するパターン突部を形成し、前記パター
ン突部の表面にパターン突部よりも小さな柱状の突起を
複数形成してなるものである。According to a third aspect of the present invention, in order to solve the above problem, the magnetic disk floats and runs on a rotating magnetic disk,
In a magnetic head that is in contact with a magnetic disk in a stopped state by a rail portion , a pattern protrusion having an air compression portion that is directed rearward in the rotational direction of the magnetic disk is formed on a rail portion of the magnetic head on the magnetic disk side, A plurality of columnar projections smaller than the pattern projections are formed on the surface of the pattern projections.
【００１３】請求項４記載の発明は前記課題を解決する
ために、回転状態の磁気ディスクに対して浮上走行し、
停止状態の磁気ディスクに対して接触する磁気ヘッドで
あって、磁気ヘッドの磁気ディスク側の面に、磁気ディ
スクの回転方向後方側に向く空気圧縮部を具備するパタ
ーン突部を形成してなり、前記パターン突部の表面にパ
ターン突部よりも小さな突起を複数形成してなる磁気ヘ
ッドを製造する方法において、磁気ヘッドの磁気ディス
ク側の面に被覆層を形成し、この被覆層上に第１のマス
クパターンを形成し、この第１のマスクパターンに沿っ
て選択的に被覆層の一部をエッチングして被覆層表面に
パターン突部を形成するとともに、このパターン突部を
形成した被覆層上に更に第２のマスクパターンを形成
し、この第２のマスクパターンに沿って選択的にパター
ン突部の一部をエッチングしてパターン突部の表面に突
起を複数形成するものである。According to a fourth aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, the magnetic disk floats and runs on a rotating magnetic disk.
A magnetic head that comes into contact with the magnetic disk in a stopped state, wherein a pattern protrusion having an air compression portion facing the rotation direction rear side of the magnetic disk is formed on the surface of the magnetic head on the magnetic disk side, In a method of manufacturing a magnetic head in which a plurality of projections smaller than the pattern projection are formed on the surface of the pattern projection, a coating layer is formed on a surface of the magnetic head on a magnetic disk side, and a first layer is formed on the coating layer. Forming a pattern projection on the surface of the coating layer by selectively etching a part of the coating layer along the first mask pattern, and forming the pattern projection on the coating layer on which the pattern projection is formed. Then, a second mask pattern is further formed, and a plurality of protrusions are formed on the surface of the pattern protrusion by selectively etching a part of the pattern protrusion along the second mask pattern. It is.
【００１４】[0014]
【作用】磁気ディスクの回転方向前方側に向く空気圧縮
部を備えたパターン突部を磁気ディスク表面に複数形成
したので、磁気ディスク回転時において、各パターン突
部の空気圧縮部が作用して磁気ディスク表面部分に正圧
領域を発生させ、これに起因する気流を発生させる。そ
して、この気流が磁気ヘッドに作用して磁気ヘッドを速
やかに浮上させる。パターン突部を形成していない通常
の磁気ディスクにおいても回転によって気流を生じる
が、パターン突部を形成した磁気ディスクにあっては、
回転開始時にパターン突部の空気圧縮効果により生じる
正圧により、直ちに強い気流を発生させ得るので、従来
よりも早く磁気ヘッドが浮上する。よって磁気ディスク
の回転開始時に磁気ヘッドが磁気ディスクに接触してこ
れを擦り付ける時間が短くなり、磁気ディスクの損傷の
おそれも少なくなる。Since a plurality of pattern projections having air compression portions facing forward in the rotation direction of the magnetic disk are formed on the surface of the magnetic disk, the air compression portions of the pattern projections act upon the magnetic disk during rotation of the magnetic disk. A positive pressure region is generated on the surface of the disk, and an airflow is generated due to the region. Then, this air current acts on the magnetic head and causes the magnetic head to fly quickly. An airflow is generated by rotation even in a normal magnetic disk having no pattern protrusion, but in a magnetic disk having a pattern protrusion,
At the start of rotation, a strong airflow can be immediately generated by the positive pressure generated by the air compression effect of the pattern projection, so that the magnetic head flies faster than before. Therefore, the time when the magnetic head contacts and rubs the magnetic disk at the start of rotation of the magnetic disk is shortened, and the possibility of damage to the magnetic disk is reduced.
【００１５】また、磁気ディスクの停止時において、磁
気ヘッドが磁気ディスクに接触している際に、磁気ヘッ
ドは磁気ディスク上に形成された複数のパターン突部上
の突起を介して磁気ディスクに接触する。すると、従来
の鏡面どうしの接触ではなくなり、接触面積が少なくな
るので、磁気ヘッドが磁気ディスクに吸着する現象は生
じない。よって磁気ヘッドの吸着現象に伴って従来生じ
ていた磁気記録装置の故障は生じない。Further, when the magnetic head is in contact with the magnetic disk when the magnetic disk is stopped, the magnetic head contacts the magnetic disk via projections on a plurality of pattern protrusions formed on the magnetic disk. I do. Then, the conventional mirror-to-mirror contact does not occur and the contact area is reduced, so that the phenomenon that the magnetic head is attracted to the magnetic disk does not occur. Therefore, the failure of the magnetic recording apparatus which has conventionally occurred due to the magnetic head adsorption phenomenon does not occur.
【００１６】更にまた、磁気ヘッドの磁気ディスク側の
レール部に磁気ディスクの回転方向後方側に向く空気圧
縮部を備えたパターン突部を形成したので、磁気ディス
ク回転時において、パターン突部の空気圧縮部が作用し
て発生させた正圧が磁気ヘッド底面側に生じる。従って
この正圧により磁気ヘッドが従来の磁気ヘッドよりも速
やかに浮上する。よって磁気ディスクの回転開始時に磁
気ヘッドが磁気ディスクに接触してこれを擦り付ける時
間が短くなり、磁気ディスクの損傷のおそれも少なくな
る。なお、磁気ディスクの停止時において、磁気ヘッド
が磁気ディスクに接触している際に、磁気ヘッドは自身
に形成されたパターン突部上の突起を介して磁気ディス
ク面に接触する。このため従来の鏡面どうしの接触では
なくなるので、磁気ヘッドが磁気ディスクに吸着する現
象は生じない。よって磁気ヘッドの吸着現象に伴って従
来生じていた磁気記録装置の故障は生じない。Furthermore, the magnetic head on the side of the magnetic disk
Since the rails are provided with pattern protrusions with air compression portions facing the rear side in the direction of rotation of the magnetic disk, the positive pressure generated by the air compression portions of the pattern protrusions is generated when the magnetic disk rotates. It occurs on the bottom side of the head. Therefore, this positive pressure causes the magnetic head to fly more quickly than the conventional magnetic head. Therefore, the time when the magnetic head contacts and rubs the magnetic disk at the start of rotation of the magnetic disk is shortened, and the possibility of damage to the magnetic disk is reduced. When the magnetic disk is stopped, when the magnetic head is in contact with the magnetic disk, the magnetic head comes into contact with the surface of the magnetic disk via a projection on a pattern projection formed on the magnetic head. This eliminates the conventional mirror-to-mirror contact, so that the magnetic head does not stick to the magnetic disk. Therefore, the failure of the magnetic recording apparatus which has conventionally occurred due to the magnetic head adsorption phenomenon does not occur.
【００１７】一方、磁気ディスクの基板あるいは磁気ヘ
ッドに形成した被覆層に、第１のマスクパターンを形成
してからエッチングを施してパターン突部を形成し、そ
の上に次いで第２のマスクパターンを形成してからエッ
チングを施して突起を形成することで、パターン突部上
に突起を形成した２段構造のものが得られる。よってこ
の方法を実施することにより、優れた浮上特性と摺動特
性を発揮できる磁気ディスクと磁気ヘッドを製造するこ
とができる。On the other hand, a first mask pattern is formed on a substrate of a magnetic disk or a coating layer formed on a magnetic head, followed by etching to form a pattern protrusion, and then a second mask pattern is formed thereon. By forming the protrusions by performing etching after the formation, a two-stage structure in which the protrusions are formed on the pattern protrusions can be obtained. Therefore, by performing this method, a magnetic disk and a magnetic head that can exhibit excellent flying characteristics and sliding characteristics can be manufactured.
【００１８】[0018]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図１は本発明構造を採用した磁気ディスク
の一実施例を示すものである。この例の磁気ディスク１
は、金属、ガラスあるいは樹脂からなる円盤状の基板の
表面あるいは表裏両面に磁性膜、保護膜あるいは必要に
応じて複数の下地膜などを被覆した構成であって、コン
ピュータの磁気記録装置などの磁気記録媒体として用い
られるものである。また、磁気ディスク１の表面側ある
いは表裏両面側には、磁気ヘッド２が、ばね板３により
所定のばね圧で押し付けられている。この磁気ヘッド２
は、ばね板３を支持する図示略の駆動装置に接続されて
いて、ばね板３を回転移動あるいは平行移動させること
で磁気ヘッド２が磁気ディスク１の内周側の所望の位置
から外周側の所望の位置まで移動できるようになってい
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a magnetic disk employing the structure of the present invention. Magnetic disk 1 of this example
Is composed of a disk-shaped substrate made of metal, glass or resin, with a magnetic film, a protective film or, if necessary, a plurality of underlayers coated on the surface or both sides of the substrate. It is used as a recording medium. A magnetic head 2 is pressed by a spring plate 3 at a predetermined spring pressure on the front surface side or both front and back surfaces of the magnetic disk 1. This magnetic head 2
Is connected to a driving device (not shown) that supports the spring plate 3. The magnetic head 2 is moved from a desired position on the inner periphery of the magnetic disk 1 to the outer periphery by rotating or moving the spring plate 3 in parallel. It can be moved to a desired position.
【００１９】この実施例の磁気ヘッド２は、図２に示す
ように、板状のスライダ２ａとこのスライダ２ａの後端
部側（トレーリング側）に形成されたコア部２ｂとコア
部２ｂに巻回された巻線コイル２ｃを具備するもので、
スライダ２ａの先端部側（リーディング側）の底面には
浮上用の傾斜面２ｄが形成されている。As shown in FIG. 2, the magnetic head 2 of this embodiment has a plate-like slider 2a, a core 2b formed on the rear end side (trailing side) of the slider 2a, and a core 2b. It comprises a wound winding coil 2c,
An inclined surface 2d for floating is formed on the bottom surface on the leading end side (leading side) of the slider 2a.
【００２０】前記磁気ディスク１の表面と裏面の少なく
とも一方において、磁気ヘッド２の移動領域には、Ｖ字
状のパターン突部５…が磁気ディスク１の周方向に沿っ
て所定間隔で多数形成されている。このパターン突部５
は、図２に示すように磁気ディスク１の表面から突出し
て形成されたもので、図３に示すように直線状の空気案
内部５ａ、５ａをＶ字状に接合したものである。また、
傾斜状態で接合されている空気案内部５ａ、５ａに挟ま
れて構成される平面三角状の空間領域は空気圧縮部５ｂ
とされている。On at least one of the front surface and the back surface of the magnetic disk 1, a large number of V-shaped pattern protrusions 5 are formed at predetermined intervals along the circumferential direction of the magnetic disk 1 in the moving area of the magnetic head 2. ing. This pattern protrusion 5
Is formed so as to protrude from the surface of the magnetic disk 1 as shown in FIG. 2, and is formed by joining linear air guide portions 5a, 5a in a V-shape as shown in FIG. Also,
The plane triangular space region formed by being sandwiched between the air guide portions 5a, 5a joined in an inclined state is an air compression portion 5b.
It has been.
【００２１】前記パターン突部５の高さ（厚さ）は、空
気圧縮効果を考慮し、空気の平均自由行程を考慮すると
６０ｎｍ程度以上が好ましいが、６０ｎｍの数分の一程
度に低く（薄く）形成しても空気圧縮効果を生じるので
前記値に特に限定されるものではない。また、磁気ディ
スク１の表面または裏面において、パターン突部５が形
成された面であって、パターン突部５の上面、および、
パターン突部５が形成されていない部分には、いずれも
多数の突起６が形成されている。この突起６は円柱状に
形成されたものであり、その直径は、パターン突部５の
空気案内部５ａの幅の数分の一〜数十分の一の値に形成
されている。これらの突起６の高さは、１０〜２０ｎｍ
程度が好ましいが、これより高く形成しても良いのは勿
論である。更に、突起６が占める面積は、パターン突部
５の全面積に対して０.５％以下が好ましい。なお、こ
の実施例では突起６を円柱状に形成したが、角柱状、あ
るいは、円錐台状、角錐台状などのいずれの形状を採用
しても良い。The height (thickness) of the pattern protrusion 5 is preferably about 60 nm or more in consideration of the air compression effect and the mean free path of air, but is as low as a fraction of 60 nm (thin). ) Is not particularly limited to the above value since an air compression effect occurs even if formed. Further, on the surface or the back surface of the magnetic disk 1, the surface on which the pattern protrusions 5 are formed, the upper surface of the pattern protrusions 5, and
A large number of protrusions 6 are formed on portions where the pattern protrusions 5 are not formed. The protrusion 6 is formed in a columnar shape, and has a diameter of a value several tenths to several tenths of the width of the air guide part 5 a of the pattern protrusion 5. The height of these projections 6 is 10 to 20 nm.
Although the degree is preferable, it is needless to say that it may be formed higher. Further, the area occupied by the protrusion 6 is preferably 0.5% or less with respect to the entire area of the pattern protrusion 5. In this embodiment, the projections 6 are formed in a columnar shape, but may be formed in any shape such as a prismatic shape, a truncated cone shape, or a truncated pyramid shape.
【００２２】次に前記のように構成されたパターン突部
５を備えた磁気ディスク１の作用について説明する。こ
の実施例の磁気ディスク１は、通常の磁気ディスクと同
様にコンピュータの磁気記憶装置用に用いられるもの
で、図示略のモータにより定速回転されるものである。
そして、磁気ヘッド２は、通常の磁気ヘッドと同様に、
磁気ディスク１の停止時に磁気ディスク１の表面に接触
し、磁気ディスク１の回転により浮上走行し、必要に応
じて磁気情報の書き込みと読み出しを行なうものであ
る。Next, the operation of the magnetic disk 1 having the pattern protrusions 5 configured as described above will be described. The magnetic disk 1 of this embodiment is used for a magnetic storage device of a computer like a normal magnetic disk, and is rotated at a constant speed by a motor (not shown).
And the magnetic head 2 is similar to a normal magnetic head,
When the magnetic disk 1 is stopped, the magnetic disk 1 comes into contact with the surface of the magnetic disk 1, floats and travels by the rotation of the magnetic disk 1, and writes and reads magnetic information as necessary.
【００２３】ここで前記磁気ディスク１が回転し始める
と、パターン突部５も空気中を移動する。そして、パタ
ーン突部５はその空気圧縮部５ｂに入り込んだ空気を空
気案内部５ａ、５ａで両側から圧縮するので、パターン
突部５の上方には気圧の高い正圧の領域が発生する。When the magnetic disk 1 starts rotating, the pattern protrusions 5 also move in the air. Then, the pattern protrusion 5 compresses the air that has entered the air compressor 5b from both sides by the air guides 5a, 5a, so that a positive pressure region with a high atmospheric pressure is generated above the pattern protrusion 5.
【００２４】磁気ディスク１の表面または裏面に無数に
形成されたパターン突部５はそれぞれその上方に正圧領
域を形成しつつ回転するので、大きな気流を生じさせ、
磁気ディスク１に押し付けられている磁気ヘッド２は、
この気流により生じる揚力によって容易に浮上して図２
に示す状態となり、磁気ディスク１に対して浮上走行す
る。ここで、パターンを形成していない通常の磁気ディ
スクにおいても回転によって気流を生じるが、パターン
突部５…を形成した磁気ディスク１にあっては、回転開
始時にパターン突部５の空気圧縮効果により生じる正圧
により、直ちに強い気流を発生させ得るので、従来より
も早く磁気ヘッド２が浮上走行する。よって磁気ディス
ク１の回転開始時に磁気ヘッド２が磁気ディスク１に接
触してこれを擦り付ける時間が短くなり、磁気ディスク
１を損傷させるおそれも少なくなる。The countless pattern protrusions 5 formed on the front surface or the back surface of the magnetic disk 1 rotate while forming a positive pressure region above them, so that a large air flow is generated.
The magnetic head 2 pressed against the magnetic disk 1
As shown in FIG.
In this state, the magnetic disk 1 levitates and travels. Here, an airflow is generated by rotation even in a normal magnetic disk on which no pattern is formed, but in the magnetic disk 1 on which the pattern protrusions 5 are formed, the air compression effect of the pattern protrusions 5 at the start of rotation causes the airflow. A strong airflow can be immediately generated by the generated positive pressure, so that the magnetic head 2 floats and travels faster than before. Therefore, the time when the magnetic head 2 contacts and rubs the magnetic disk 1 at the start of rotation of the magnetic disk 1 is shortened, and the possibility of damaging the magnetic disk 1 is reduced.
【００２５】また、磁気ヘッド２の底面（媒体対向面）
は鏡面仕上され、磁気ディスク１の表面も鏡面仕上され
るが、この実施例の構成では、磁気ヘッド２の底面に対
し、パターン突部５上の突起６…が接触するので、接触
面積が少なくなり、鏡面どうしの接触ではなくなるの
で、吸着現象を引き起こすこともなくなる。更に、磁気
ディスク１の回転開始時において、磁気ヘッド２は磁気
ディスク１の突起６を擦りつつ摺動した後に浮上開始す
る。従って突起６…は磁気ヘッド２との摺動によって多
少損耗するおそれがあるが、突起６は柱状であるので、
多少損耗しても磁気ヘッド２との接触面積が変化するこ
とはない。よって磁気ヘッド２の摩擦を低減するという
突起６の効果を長期間発揮させることができる。The bottom surface of the magnetic head 2 (the medium facing surface)
Are mirror-finished, and the surface of the magnetic disk 1 is also mirror-finished. However, in the configuration of this embodiment, since the protrusions 6 on the pattern protrusions 5 contact the bottom surface of the magnetic head 2, the contact area is small. In other words, since the mirror surfaces are no longer in contact with each other, no adsorption phenomenon is caused. Further, at the start of rotation of the magnetic disk 1, the magnetic head 2 starts flying after sliding while rubbing the protrusion 6 of the magnetic disk 1. Therefore, the projections 6 may be slightly worn due to sliding with the magnetic head 2, but since the projections 6 are columnar,
Even if it is slightly worn, the contact area with the magnetic head 2 does not change. Therefore, the effect of the protrusion 6 of reducing the friction of the magnetic head 2 can be exerted for a long time.
【００２６】図４は前記パターン突部５の他の構成例を
示すもので、この例では磁気ディスク１上に形成された
パターン突部５’の空気案内部５ａにおいて、磁気ディ
スク１の回転方向の前方側５Ａを先の実施例のものより
も厚く形成し、回転方向の後方側５Ｂを前方側５Ａより
も薄く形成し、更に多数の突起６を設けている。その他
の構成は前記実施例のパターン突部５と同等である。図
４に示す構成を採用することで、空気圧縮部５ｂの体積
を大きくすることができ、パターン突部５’の空気案内
部５ａ、５ａが圧縮する空気量を多くすることができる
ので、図３に示すパターン突部５よりも高い正圧を発生
させることができ、磁気ヘッド２をより早く浮上させる
ことができる。FIG. 4 shows another example of the structure of the pattern protrusion 5. In this example, the rotation direction of the magnetic disk 1 is controlled by the air guide 5 a of the pattern protrusion 5 ′ formed on the magnetic disk 1. The front side 5A is formed thicker than that of the previous embodiment, the rear side 5B in the rotational direction is formed thinner than the front side 5A, and more projections 6 are provided. Other configurations are the same as those of the pattern protrusion 5 of the above embodiment. By adopting the configuration shown in FIG. 4, the volume of the air compressor 5b can be increased, and the amount of air compressed by the air guides 5a, 5a of the pattern protrusion 5 'can be increased. 3, a higher positive pressure can be generated than the pattern protrusion 5 shown in FIG. 3, and the magnetic head 2 can fly faster.
【００２７】図５は前記パターン突部５と突起６…を形
成した磁気ディスク１の他の構成例を示すものである。
この例の磁気ディスク１０においては、パターン突部５
の空気圧縮部５ｂの下方であって、磁気ディスク１０の
表面部分に、空気圧縮補助用の溝部１１を形成した例で
ある。この溝部１１の深さは、パターン突部５におい
て、磁気ディスク１の回転方向の前方側５Ａの下方側で
深く、磁気ディスク１の回転方向の後方側５Ｂの下方側
で浅くなるように形成されている。図５に示す構成を採
用することで、空気圧縮部５ｂの体積を大きくし、空気
案内部５ａ、５ａが圧縮する空気量を多くすることがで
きるので、これにより、図２と図３に示す構成よりも高
い正圧を発生させることができ、磁気ヘッド２をより早
く浮上させることができる。FIG. 5 shows another configuration example of the magnetic disk 1 on which the pattern protrusions 5 and the protrusions 6 are formed.
In the magnetic disk 10 of this example, the pattern protrusion 5
This is an example in which a groove 11 for assisting air compression is formed on the surface of the magnetic disk 10 below the air compressor 5b. The depth of the groove 11 is formed so as to be deep below the front side 5A in the rotation direction of the magnetic disk 1 and shallow below the rear side 5B in the rotation direction of the magnetic disk 1 in the pattern protrusion 5. ing. By adopting the configuration shown in FIG. 5, the volume of the air compressor 5b can be increased, and the amount of air compressed by the air guides 5a, 5a can be increased. As a result, as shown in FIGS. A higher positive pressure can be generated than in the configuration, and the magnetic head 2 can fly faster.
【００２８】図６は本発明に係るパターン突部の第２の
構成例を示すもので、この例のパターン突部１２は、空
気案内部１２ａ、１２ａを壁部１２ｃで連結して構成し
たコ字状に形成され、空気案内部１２ａ、１２ａと壁部
１２ｃとで囲まれた領域が空気圧縮部１２ｂとされ、空
気案内部１２ａ、１２ａの上に複数の突起６が形成され
ている。この構成のパターン突部１２と突起６…によっ
ても先に記載したパターン突部５および突起６…と同様
な効果を得ることができる。FIG. 6 shows a second example of the configuration of the pattern projection according to the present invention. The pattern projection 12 of this embodiment is formed by connecting air guides 12a, 12a with a wall 12c. A region formed in a letter shape and surrounded by the air guide portions 12a, 12a and the wall portion 12c is an air compression portion 12b, and a plurality of protrusions 6 are formed on the air guide portions 12a, 12a. With the pattern protrusions 12 and the protrusions 6 having this configuration, the same effects as those of the pattern protrusions 5 and the protrusions 6 described above can be obtained.
【００２９】図７は本発明に係るパターン突部の第３の
構成例を示すもので、この例のパターン突部１３は、空
気案内部１３ａ、１３ａをＸ字状に結合して構成され、
空気案内部１３ａの端部と他の空気案内部１３ａの端部
との間に空気圧縮部１３ｂが形成され、空気案内部１３
ａ、１３ａの上に突起６…が複数形成されている。この
構成のパターン突部１３と突起６…によっても先に記載
したパターン突部５および突起６…と同様な効果を得る
ことができる。FIG. 7 shows a third configuration example of the pattern projection according to the present invention. The pattern projection 13 of this example is formed by connecting air guides 13a, 13a in an X-shape.
An air compressor 13b is formed between an end of the air guide 13a and an end of another air guide 13a.
A plurality of projections 6 are formed on a, 13a. With the pattern projections 13 and the projections 6 having this configuration, the same effects as those of the pattern projections 5 and the projections 6 described above can be obtained.
【００３０】図８は本発明に係るパターン突部の第４の
構成例を示すもので、この例のパターン突部１４は、横
長の壁部１４ｃの両端部に、短い空気案内部１４ａ、１
４ａを直角に延設し、突起６を複数形成したものであ
る。この構成のパターン突部１４によっても先に記載し
たパターン突部５および突起６…と同様な効果を得るこ
とができる。FIG. 8 shows a fourth structural example of the pattern projection according to the present invention. In this example, the pattern projection 14 has short air guides 14a, 1a at both ends of a horizontally long wall 14c.
4a is extended at a right angle, and a plurality of projections 6 are formed. The same effect as the pattern protrusions 5 and the protrusions 6 described above can be obtained by the pattern protrusions 14 having this configuration.
【００３１】ところで、磁気ディスク１においては磁性
層を表面のみに形成する片面タイプのものと磁性層を表
裏面の両方に形成する両面タイプのものがあるので、片
面タイプのものには表面のみにパターン突部５と突起６
を形成し、両面タイプの場合は表裏両面にパターン突部
５と突起６を形成する。The magnetic disk 1 includes a single-sided type in which a magnetic layer is formed only on the front surface and a double-sided type in which a magnetic layer is formed on both the front and back surfaces. Pattern protrusion 5 and protrusion 6
Are formed, and in the case of a double-sided type, pattern protrusions 5 and protrusions 6 are formed on both front and back surfaces.
【００３２】次に前記のように構成された磁気ディスク
１の製造方法の一例について図９を基に説明する。な
お、この例においては最も一般的な積層構造の磁気ディ
スクを例にとって説明する。磁気ディスク１を製造する
には、Ａｌ、Ａｌ合金あるいはガラスなどからなる円盤
状の素材基板２０を用意し、この素材基板２０に面取加
工や表面加工を施した後に表面にＮｉ-Ｐなどの被覆膜
２１をメッキなどの手段により図９（ａ）に示すように
形成して基板１９を得る。Next, an example of a method of manufacturing the magnetic disk 1 configured as described above will be described with reference to FIG. In this example, a magnetic disk having the most general laminated structure will be described as an example. In order to manufacture the magnetic disk 1, a disk-shaped material substrate 20 made of Al, Al alloy, glass, or the like is prepared, and after chamfering or surface processing the material substrate 20, Ni-P or the like is formed on the surface. The coating film 21 is formed by plating or the like as shown in FIG.
【００３３】次に、被覆膜２１の表面を図９（ｂ）に示
す段階でポリッシュ加工する。そして、この工程の後に
おいて、被覆膜２１の表面に、先に説明したパターン突
部以外の部分を露光できるマスクを被せ、イオンミリン
グなどのフォトリソグラフィ技術を用いて被覆膜２１の
上にパターン突部と突起を多数形成する。Next, the surface of the coating film 21 is polished at the stage shown in FIG. Then, after this step, a mask capable of exposing a portion other than the pattern protrusions described above is placed on the surface of the coating film 21 and the photolithography technique such as ion milling is used. A large number of pattern protrusions and protrusions are formed.
【００３４】ここで以下にパターン突部と突起をフォト
リソグラフィ技術を用いて形成する方法の一例について
図１０と図１１を基に詳細に説明する。まず、図１０を
基に以下に説明する工程を実施することでパターン突部
５を形成する。それには、図１０（ａ）に示す基板１９
の表面に、図１０（ｂ）に示すように第１のフォトレジ
スト４０を塗布し、これに対して図１０（ｃ）に示すよ
うに第１のフォトマスク４１を被せてその上から紫外線
を照射する。ここで用いる第１のフォトマスク４１は、
先に説明した磁気ディスク１の表面を考えた場合に、パ
ターン突部５を除く部分の領域と同じ領域を紫外線が通
過できるように紫外線通過部４１ａが形成され、その他
の部分は紫外線遮光部４１ｂが形成されたものである。Here, an example of a method of forming pattern projections and projections by using photolithography will be described in detail with reference to FIGS. First, a pattern projection 5 by implementing more Engineering described below based on FIG. 10. To do this, the substrate 19 shown in FIG.
10B, a first photoresist 40 is applied to the surface as shown in FIG. 10B, and a first photomask 41 is put on the first photoresist 40 as shown in FIG. Irradiate. The first photomask 41 used here is
When the surface of the magnetic disk 1 described above is considered, an ultraviolet light passing portion 41a is formed so that ultraviolet light can pass through the same region as the region except for the pattern protrusions 5, and the other portions are ultraviolet light shielding portions 41b. Is formed.
【００３５】第１のフォトマスク４１を被せてその上か
ら紫外線を照射することで、図１０（ｃ）に示すように
第１のフォトレジスト４０に溶解性変化部４０ａを形成
する。この溶解性変化部４０ａは、前記パターン突部５
を除く部分の領域と同じ平面形状を有する。次に第１の
フォトレジスト４０を現像すると、図１０（ｄ）に示す
ように第１のマスクパターン４２が形成されるので、こ
の状態で基板１９の表面部を図１０（ｅ）に示すように
エッチングで彫り込み、次いで第１のマスクパターン４
２を除去すれば、パターン突部５が表面部に複数形成さ
れた基板１８を得ることができる。By irradiating the first photomask 41 with ultraviolet light from above, a solubility change portion 40a is formed in the first photoresist 40 as shown in FIG. The solubility change portion 40a is formed by the pattern protrusion 5
Has the same planar shape as that of the region other than the region. Next, when the first photoresist 40 is developed, a first mask pattern 42 is formed as shown in FIG. 10D. In this state, the surface of the substrate 19 is exposed as shown in FIG. Carved by etching, then the first mask pattern 4
By removing 2, a substrate 18 having a plurality of pattern protrusions 5 formed on the surface can be obtained.
【００３６】次にこの基板１８に対し、図１１を基に以
下に説明する工程を実施して突起６を形成する。まず、
基板１８の表面に図１１（ａ）に示すように第２のフォ
トレジスト４３を塗布し、これに対して図１１（ｂ）に
示すように第２のフォトマスク４５を被せてその上から
紫外線を照射する。ここで用いる第２のフォトマスク４
５は、先に説明した磁気ディスク１の表面を考えた場合
において、突起６の形成部分を除く部分の領域と同じ領
域を紫外線が通過できるように紫外線通過部４５ａが形
成され、その他の部分は紫外線遮光部４５ｂが形成され
たものである。[0036] Next to this substrate 18, and carried out as engineering described below based on FIG. 11 to form a protrusion 6. First,
A second photoresist 43 is applied to the surface of the substrate 18 as shown in FIG. 11A, and a second photomask 45 is applied thereto as shown in FIG. Is irradiated. Second photomask 4 used here
5, when the surface of the magnetic disk 1 described above is considered, an ultraviolet ray passing portion 45a is formed so that ultraviolet rays can pass through the same region as the region except for the portion where the protrusion 6 is formed, and the other portions are formed. An ultraviolet light shielding portion 45b is formed.
【００３７】第２のフォトマスク４５を被せたならば、
その上から紫外線を照射して図１１（ｂ）に示すように
第２のフォトレジスト４３に溶解性変化部４３ａを形成
する。この溶解性変化部４３ａは、突起６を除く部分の
領域と同じ平面形状を有する。次に第２のフォトレジス
ト４３の一部を現像すると、図１１（ｃ）に示すように
第２のマスクパターン４６が形成されるので、この状態
で基板１８の表面部を図１１（ｄ）に示すようにエッチ
ングで彫り込み、次いで第２のマスクパターン４６を除
去すれば、パターン突部と突起が表面部に形成された基
板１８を得ることができる。After covering the second photomask 45,
Irradiation of ultraviolet light from above is performed to form a solubility changing portion 43a in the second photoresist 43 as shown in FIG. The solubility changing portion 43a has the same planar shape as the region other than the protrusion 6. Next, when a part of the second photoresist 43 is developed, a second mask pattern 46 is formed as shown in FIG. 11C. In this state, the surface of the substrate 18 is removed as shown in FIG. When the second mask pattern 46 is removed by engraving by etching as shown in (1), the substrate 18 having the pattern projections and projections formed on the surface can be obtained.
【００３８】次いで、図９（ｃ）に示すようにテクスチ
ュアリング２２を形成する加工を施し、その後にスパッ
タなどの成膜手段により、図９（ｄ）に示すようにＣｒ
などからなる下地膜２３を被覆する。なお、この工程に
おいてテクスチュアリング２２を形成する工程は省略し
ても良い。Next, as shown in FIG. 9C, a process for forming the texture ring 22 is performed, and thereafter, Cr is formed as shown in FIG.
A base film 23 made of, for example, is coated. In this step, the step of forming the texture ring 22 may be omitted.
【００３９】次に、前記下地膜２３の上にＣｏ-Ｎｉ-Ｃ
ｒ膜などからなる磁性膜２４をスパッタなどの成膜手段
で図９（ｅ）に示すように被覆し、更にカーボンなどか
らなる保護膜２５をスパッタなどの成膜手段で図９
（ｆ）に示すように被覆し、更にフッ素系の潤滑剤など
からなる潤滑膜２６をディップコート法などの方法によ
り形成して磁気ディスク１を完成する。前記製造方法に
おいては、図９（ｂ）で示すポリッシュ加工後に、図１
０と図１１で説明した工程を実施してパターン突部と突
起を形成するので、それらの上に形成される各積層膜は
順次それらの上に被覆され、パターン突部や突起の形を
忠実に複写しつつ積層される結果、磁気ディスク１の表
面にはパターン突部５と突起６が多数形成される。な
お、ここで形成する下地膜２３と磁性膜２４と保護膜２
５と潤滑膜２６は厚さが数百〜千数百Å程度であるの
で、基板１８に形成した厚さ数十ｎｍ以上のパターン突
部と突起を忠実に複写する。以上説明したように磁気デ
ィスク１を製造することでパターン突部５と突起６が多
数形成された磁気ディスク１を得ることができる。Next, Co-Ni-C
The magnetic film 24 made of an r film or the like is coated by a film forming means such as sputtering as shown in FIG. 9E, and a protective film 25 made of carbon or the like is further formed by a film forming means such as sputtering as shown in FIG.
As shown in (f), the magnetic disk 1 is completed by forming a lubricating film 26 made of a fluorine-based lubricant or the like by a dip coating method or the like. In the manufacturing method, after the polishing shown in FIG.
0 and the steps described with reference to FIG. 11 are performed to form the pattern protrusions and protrusions, so that the respective laminated films formed thereon are sequentially coated on them, and the shapes of the pattern protrusions and protrusions are faithfully determined. As a result, a large number of pattern protrusions 5 and protrusions 6 are formed on the surface of the magnetic disk 1. Note that the base film 23, the magnetic film 24, and the protective film 2 formed here are formed.
Since the thickness of the lubricating film 5 and the lubricating film 26 are about several hundreds to several hundreds of millimeters, the pattern protrusions and protrusions having a thickness of several tens nm or more formed on the substrate 18 are faithfully copied. By manufacturing the magnetic disk 1 as described above, it is possible to obtain the magnetic disk 1 on which a number of pattern protrusions 5 and protrusions 6 are formed.
【００４０】ところで、前記実施例では多数の膜を積層
する途中でパターン突部と突起を形成し、その上に磁性
膜２４や保護膜２５などを被覆してパターン突部と突起
を転写して磁気ディスク１の表面にパターン突部５と突
起６を形成したが、パターン突部や突起を形成する工程
を保護膜２５の形成後に行ない、保護膜２５の上面にパ
ターン突部や突起を形成しても良い。この場合は保護膜
２５、を充分に厚く形成し、パターン突部や突起の型を
多数形成したスタンパを押し付けて一度に多数のパター
突部や突起を転写するようにしても良い。また、保護膜
２５が硬い膜である場合は、保護膜２５を形成する工程
の前に新たな中間膜を形成する工程を組み込み、この中
間膜にスタンパを用いてパターンを多数形成し、これに
保護膜２５を被せることもできる。In the above embodiment, pattern protrusions and projections are formed during the lamination of a large number of films, and the pattern protrusions and protrusions are transferred by coating the magnetic film 24 and the protective film 25 thereon. The pattern protrusions 5 and the protrusions 6 are formed on the surface of the magnetic disk 1. The step of forming the pattern protrusions and the protrusions is performed after the formation of the protective film 25, and the pattern protrusions and the protrusions are formed on the upper surface of the protective film 25. May be. In this case, the protective film 25 may be formed sufficiently thick, and a stamper on which a large number of pattern protrusions and projections are formed may be pressed to transfer a large number of putter protrusions and protrusions at once. When the protective film 25 is a hard film, a process of forming a new intermediate film is incorporated before the process of forming the protective film 25, and a number of patterns are formed on the intermediate film using a stamper. A protective film 25 can be provided.
【００４１】次に、磁気ディスク上に形成されるパター
ン突部の配列状態と大きさの関係について説明する。図
１２は磁気ディスクの回転方向に沿って配列されたパタ
ーンの一例を示している。この例では、パターン突部３
０〜３４が配列されているが、磁気ディスクの外周側の
パターン突部３４よりも内周側のパターンの方が順次小
さくなるようにしかも密に配列されるように形成されて
いる。Next, the relationship between the arrangement state and the size of the pattern projections formed on the magnetic disk will be described. FIG. 12 shows an example of a pattern arranged along the rotation direction of the magnetic disk. In this example, the pattern protrusion 3
Although the patterns 0 to 34 are arranged, the pattern is formed so that the pattern on the inner peripheral side is sequentially smaller and more densely arranged than the pattern protrusions 34 on the outer peripheral side of the magnetic disk.
【００４２】この例の構成は、磁気ディスクの回転数が
一定であり、内周側と外周側とで周速度に差異を生じ、
これにより磁気ヘッドの浮上量に差異を生じるという現
象に対処するための構成である。即ち、通常のパターン
突部がない磁気ディスクにおいては、周速度の大きな外
周部では生じる気流が強いので、磁気ヘッドの浮上量が
大きくなり、周速度の小さな内周部では生じる気流が小
さいので磁気ヘッドの浮上量が小さくなる。これに対
し、図１２に示す構成では、周速度の小さな内周部にお
いて、より強い気流を生じさせることができるようにパ
ターン３０を小さくして密に配置し、外周部においては
パターン３４を大きくして疎に配列してある。このよう
な構成を採用することにより、磁気ディスクにおいて、
周速の小さい内周側と周速の大きな外周側で発生する気
流の差異を少なくして磁気ヘッドの浮上量を内周側と外
周側で均一化することができる。In the configuration of this example, the rotational speed of the magnetic disk is constant, and a difference occurs in the peripheral speed between the inner peripheral side and the outer peripheral side.
This is a configuration for coping with the phenomenon that the flying height of the magnetic head causes a difference. That is, in a magnetic disk having no normal pattern protrusion, the airflow generated at the outer peripheral portion having a high peripheral velocity is strong, so that the flying height of the magnetic head is large, and the airflow generated at the inner peripheral portion having a low peripheral velocity is small, so that the magnetic flow is small. The flying height of the head is reduced. On the other hand, in the configuration shown in FIG. 12, the pattern 30 is made smaller and densely arranged so that a stronger airflow can be generated in the inner peripheral portion where the peripheral velocity is low, and the pattern 34 is made larger in the outer peripheral portion. And sparsely arranged. By adopting such a configuration, in the magnetic disk,
It is possible to reduce the difference between the airflows generated on the inner peripheral side where the peripheral velocity is low and the outer peripheral side where the peripheral velocity is high, and to make the flying height of the magnetic head uniform on the inner peripheral side and the outer peripheral side.
【００４３】図１３〜図１５は本発明をモノリシック型
の３レール形式の磁気ヘッドに適用した第１実施例を示
すものである。この例の磁気ヘッド５０は、３本のレー
ル部５１を形成したスライダ５２を備え、スライダ５２
の後端部中央にコア部５３を接合して構成されている。
各レール部５１の先端部には浮上走行補助用の傾斜面５
５が形成されている。この例の磁気ヘッド５０におい
て、図の右側先端部がリーディング側、即ち磁気ディス
クの回転方向後方側になり、図の左側後端部がトレーリ
ング側、即ち、磁気ディスクの回転方向前方側となる。FIGS. 13 to 15 show a first embodiment in which the present invention is applied to a monolithic three-rail type magnetic head. The magnetic head 50 of this example includes a slider 52 on which three rail portions 51 are formed.
A core 53 is joined to the center of the rear end.
At the tip of each rail 51, there is a slope 5 for assisting the levitation.
5 are formed. In the magnetic head 50 of this example, the right end in the figure is the leading side, that is, the rear side in the rotation direction of the magnetic disk, and the left rear end in the figure is the trailing side, that is, the front side in the rotation direction of the magnetic disk. .
【００４４】この例の磁気ヘッド５０においては、レー
ル部５１にＶ字状のパターン突部５６が形成されてい
る。このパターン突部５６は２本の空気案内部５６ａを
連結したものであり、それらの間に形成される空気圧縮
部５６ｂを磁気ディスクの回転方向後方側に向けてい
る。また、パターン突部５６の底面（磁気ディスク側の
面）には、複数の突起６が形成されている。In the magnetic head 50 of this example, a V-shaped pattern protrusion 56 is formed on the rail 51. The pattern protrusion 56 connects two air guides 56a, and directs an air compressor 56b formed between them to the rear side in the rotation direction of the magnetic disk. A plurality of protrusions 6 are formed on the bottom surface (the surface on the magnetic disk side) of the pattern protrusion 56.
【００４５】この実施例の磁気ヘッド５０は通常のパタ
ーン突部の無い磁気ディスクに従来と同様に使用される
か、あるいは、先に説明した構成の磁気ディスク１に使
用される。前記いずれの磁気ディスクに使用しても、磁
気ディスクの回転により生じる気流をパターン突部５６
の空気圧縮部５６ｂで圧縮して揚力に変換することがで
きるので、従来の磁気ヘッドに比べてより早く浮上する
ことができ、これにより磁気ヘッド５０の浮上走行を安
定化して磁気ディスクの表面破壊のおそれを軽減するこ
とができる。また、レール部５１にパターン突部５６と
突起６…を形成しているので、磁気ディスクの停止時に
磁気ヘッド５０がパターン突部５６の突起６…を介して
磁気ディスクに接触することになる。すると、磁気ディ
スクの鏡面と磁気ヘッドの鏡面との接触の場合とは異な
り、鏡面どうしの吸着現象は生じないので、吸着現象に
起因して磁気ヘッドが走行しなくなるといった問題は生
じない。The magnetic head 50 of this embodiment is used for a conventional magnetic disk having no pattern protrusions in the same manner as in the related art, or is used for the magnetic disk 1 having the configuration described above. Regardless of which of the magnetic disks is used, the airflow generated by the rotation of the magnetic disk
Can be converted to lift by the air compression section 56b, so that the magnetic head 50 can fly faster than conventional magnetic heads, thereby stabilizing the flying movement of the magnetic head 50 and destructing the surface of the magnetic disk. Can be reduced. Since the pattern projections 56 and the projections 6 are formed on the rail portion 51, the magnetic head 50 comes into contact with the magnetic disk via the projections 6 of the pattern projections 56 when the magnetic disk is stopped. Then, unlike the case where the mirror surface of the magnetic disk and the mirror surface of the magnetic head are in contact with each other, the attracting phenomenon between the mirror surfaces does not occur, so that the problem that the magnetic head stops running due to the attracting phenomenon does not occur.
【００４６】次に前記構成の磁気ヘッド５０にパターン
突部５６と突起６を形成する方法を説明する。磁気ヘッ
ド５０のスライダ５２は、この例のものではフェライト
などの磁性材料から構成されるので、スライダ５２の底
面に、磁気ディスク２の基板を構成するガラスあるいは
非磁性材料からなる被覆層を形成する。次にこの被覆層
に、図１０と図１１を基に説明した方法と同等の方法を
施し、フォトリソグラフィ技術によりパターン突部５６
と突起６…を形成することで、レール部５１、５１にパ
ターン突部５６と突起６…を備えた磁気ヘッド５０を製
造することができる。Next, a method of forming the pattern protrusions 56 and the protrusions 6 on the magnetic head 50 having the above-described structure will be described. Since the slider 52 of the magnetic head 50 is made of a magnetic material such as ferrite in this example, a coating layer made of glass or a non-magnetic material constituting the substrate of the magnetic disk 2 is formed on the bottom surface of the slider 52. . Next, a method equivalent to the method described with reference to FIGS. 10 and 11 is applied to this coating layer, and the pattern protrusion 56 is formed by photolithography.
By forming the protrusions 6 and the magnetic head 50 having the pattern protrusions 56 and the protrusions 6 on the rails 51, 51, the magnetic head 50 can be manufactured.
【００４７】[0047]
【試験例】（試験例１） 図１６は図１〜図３に示す構成の磁気ディスクと磁気ヘ
ッドを用いて走行試験を行なった場合に、磁気ディスク
の回転開始初期時において現われるＡＥ（アコースティ
ックエミッション）出力を測定した結果を示すものであ
る。ＡＥ出力とは、磁気ディスクの回転開始時におい
て、磁気ヘッドが磁気ディスク表面と当接したまま摺動
する場合に、磁気ヘッドから放出される弾性波を圧電変
換した微小電気信号成分を意味している。なお、この試
験には、モノシリック型の３レール形式の磁気ヘッドを
用い、３.５インチサイズの磁気ディスクを回転数３６
００ｒｐｍで回転させる形式の磁気ディスク装置を用い
た。また、磁気ディスクの表面に、Ｖ字状の形状であっ
て、その厚さ６０ｎｍ、全体の長さ０.４６ｍｍ、空気
圧縮部の最大幅０.０７ｍｍ、空気案内部の幅を５μｍ
に設定したパターン突部をピッチ０.１ｍｍで多数形成
し、更に、磁気ディスクの表面全体に高さ２０ｎｍ、直
径３μｍの突起を多数形成したものを用いた。図１６に
示す結果から明らかなように、本願発明に係る突起を多
数形成した磁気ヘッドは従来の磁気ヘッドに比較してＡ
Ｅ出力が発生している時間が短くなっている。これは、
本発明に係る磁気ヘッドが従来の磁気ヘッドよりも早く
浮上し、これによりＡＥ出力が早く消失したことを意味
している。以上のことにより本発明構造によれば磁気ヘ
ッドの浮上を早くすることができる効果が明らかになっ
た。Test Example (Test Example 1) FIG. 16 shows an AE (acoustic emission) that appears at the beginning of the rotation start of a magnetic disk when a running test is performed using the magnetic disk and the magnetic head having the configuration shown in FIGS. 3) shows the results of measuring the output. The AE output means a small electric signal component obtained by piezoelectrically converting an elastic wave emitted from the magnetic head when the magnetic head slides while being in contact with the surface of the magnetic disk at the start of rotation of the magnetic disk. I have. In this test, a 3.5-inch magnetic disk was rotated at a rotational speed of 36 using a monolithic 3-rail magnetic head.
A magnetic disk drive of a type rotated at 00 rpm was used. On the surface of the magnetic disk, a V-shape is formed, having a thickness of 60 nm, an overall length of 0.46 mm, a maximum width of the air compressing portion of 0.07 mm, and a width of the air guiding portion of 5 μm.
A large number of pattern projections having a pitch of 0.1 mm were formed, and a large number of projections having a height of 20 nm and a diameter of 3 μm were formed on the entire surface of the magnetic disk. As is clear from the results shown in FIG. 16, the magnetic head having a large number of protrusions according to the present invention has a larger A than the conventional magnetic head.
The time during which the E output is generated is shortened. this is,
This means that the magnetic head according to the present invention levitated earlier than the conventional magnetic head, which caused the AE output to disappear earlier. From the above, it has been clarified that the structure of the present invention has the effect of speeding up the floating of the magnetic head.
【００４８】（試験例２）次に、磁気ヘッドが磁気ディ
スクに対する接触と離間を繰り返し行なった場合に摩擦
係数がどの程度変化するかについて試験を行なった。そ
の結果を図１７に示す。この試験には、試験例１で用い
たものと同一の磁気ヘッドと磁気ディスクを用いた。図
１７は磁気ディスクに対する磁気ヘッドの接触状態と浮
上走行状態を２００００回以上繰り返し施した場合の摩
擦係数の値の変化を示している。この試験例の摩擦係数
は、所定のＣＳＳ回数後に、磁気ヘッドと磁気ディスク
を接触させた状態で１分間放置した後、１ｒｐｍで磁気
ディスクを回転させ、起動時あるいは定常摺動時の最大
摩擦力より求めた。摩擦力は、磁気ヘッドを接続した歪
ゲージ式ロードセルにより測定した。図１７から明らか
なように、本発明に係る磁気ディスクにあっては従来の
磁気ディスクに対して摩擦係数が小さくなっていること
が明らかになった。Test Example 2 Next, a test was performed to determine how much the friction coefficient changes when the magnetic head repeatedly contacts and separates from the magnetic disk. The result is shown in FIG. In this test, the same magnetic head and magnetic disk as those used in Test Example 1 were used. FIG. 17 shows a change in the value of the friction coefficient when the contact state of the magnetic head with the magnetic disk and the flying traveling state are repeatedly performed 20,000 times or more. The coefficient of friction in this test example was obtained by, after a predetermined number of CSS times, leaving the magnetic head in contact with the magnetic disk for 1 minute, rotating the magnetic disk at 1 rpm, and starting up or steady sliding. I asked more. The friction force was measured by a strain gauge type load cell connected to a magnetic head. As is clear from FIG. 17, it was found that the friction coefficient of the magnetic disk according to the present invention was smaller than that of the conventional magnetic disk.
【００４９】[0049]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、磁
気ディスクの回転方向前方側に向く空気圧縮部を備えた
パターン突部を磁気ディスク表面に複数形成したので、
磁気ディスク回転時において、各パターン突部の空気圧
縮部が作用して磁気ディスク表面部分に正圧領域を発生
させ、これに起因する気流を磁気ディスク表面に発生さ
せることができる。従ってこの気流を磁気ヘッドに作用
させることで、磁気ディスクの回転開始時に磁気ヘッド
を速やかに浮上させることができる。なお、パターン突
部を形成していない通常の磁気ディスクにおいても回転
によって気流を生じるが、パターン突部を形成した磁気
ディスクにあっては、回転開始時にパターン突部の空気
圧縮効果により生じる正圧により、直ちに強い気流を発
生させ得るので、従来の磁気ディスクよりも早く磁気ヘ
ッドが浮上する。よって磁気ディスクの回転開始時に磁
気ヘッドが磁気ディスクに接触してこれを擦り付ける時
間が短くなり、磁気ディスクが損傷するおそれがなくな
る。As described above, according to the present invention, a plurality of pattern projections each having an air compression portion facing forward in the rotation direction of the magnetic disk are formed on the surface of the magnetic disk.
During rotation of the magnetic disk, the air compressing portion of each pattern protrusion acts to generate a positive pressure region on the surface of the magnetic disk, thereby generating an airflow on the surface of the magnetic disk. Therefore, by applying this airflow to the magnetic head, the magnetic head can be quickly levitated at the start of rotation of the magnetic disk. In addition, an airflow is generated by rotation even in a normal magnetic disk having no pattern protrusion, but in a magnetic disk having a pattern protrusion, a positive pressure generated due to an air compression effect of the pattern protrusion at the start of rotation. As a result, a strong airflow can be immediately generated, and the magnetic head flies faster than a conventional magnetic disk. Therefore, the time when the magnetic head contacts and rubs the magnetic disk at the start of the rotation of the magnetic disk is shortened, and the magnetic disk is not likely to be damaged.
【００５０】また、磁気ディスクの停止時において、磁
気ヘッドが磁気ディスクに接触している際に、磁気ディ
スク上に形成されたパターン突部上の突起を介して磁気
ヘッドを磁気ディスクに接触させることができる。する
と、従来の鏡面どうしの接触ではなくなり、接触面積が
少なくなるので、磁気ヘッドが磁気ディスクに吸着する
現象は生じない。よって磁気ヘッドの吸着現象に伴って
従来生じるおそれのあった磁気記録装置の故障は生じな
い。Further, when the magnetic head is in contact with the magnetic disk when the magnetic disk is stopped, the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk via a projection on a pattern projection formed on the magnetic disk. Can be. Then, the conventional mirror-to-mirror contact does not occur and the contact area is reduced, so that the phenomenon that the magnetic head is attracted to the magnetic disk does not occur. Therefore, the failure of the magnetic recording device which may occur conventionally due to the magnetic head adsorption phenomenon does not occur.
【００５１】一方、磁気ヘッドの磁気ディスク側のレー
ル部に磁気ディスクの回転方向後方側に向く空気圧縮部
を備えたパターン突部を形成したものにあっては、磁気
ディスク回転時において、パターン突部の空気圧縮部が
作用して発生させた正圧が磁気ヘッドに作用する。従っ
てこの正圧の作用により強い揚力を磁気ヘッドが受ける
ことができ、磁気ヘッドが従来の磁気ヘッドよりも速や
かに浮上する。また、パターン突部の表面に突起が複数
形成されているので、磁気ディスクのパターン突部が磁
気ディスクと接触する場合、従来の鏡面仕上のものより
接触面積が少なくなり、磁気ヘッドが磁気ディスクに吸
着するおそれは生じない。よって磁気ディスクの回転開
始時に磁気ヘッドが磁気ディスクに接触してこれを擦り
付ける時間が短くなり、磁気ディスク損傷のおそれを少
なくすることができる。[0051] On the other hand, the magnetic disk side of the rate of the magnetic head
In the case where the pattern protrusion having an air compression portion facing the rear side in the rotation direction of the magnetic disk is formed in the magnetic disk portion, the air pressure is generated by the action of the air compression portion of the pattern protrusion during the rotation of the magnetic disk. Positive pressure acts on the magnetic head. Accordingly, the magnetic head can receive a strong lift by the action of the positive pressure, and the magnetic head flies more quickly than the conventional magnetic head. Also, there are multiple protrusions on the surface of the pattern protrusion.
Because it is formed, when the pattern projection of the magnetic disk is in contact with the magnetic disk, a small contact area than that of the conventional mirror finishing Ri, a possibility that the magnetic head is adsorbed on the magnetic disk does not occur. Therefore, the time when the magnetic head contacts and rubs the magnetic disk at the start of rotation of the magnetic disk is shortened, and the possibility of damage to the magnetic disk can be reduced.
【００５２】また、磁気ディスクの基板あるいは磁気ヘ
ッドに形成した被覆層に、第１のマスクパターンを形成
してからエッチングを施してパターン突部を形成し、そ
の上に次いで第２のマスクパターンを形成してからエッ
チングを施して突起を形成することで、磁気ディスク上
に、あるいは、磁気ヘッドの磁気ディスク側の面上に、
２段階構造であって、パターン突部上に突起を形成した
構造のものを製造することができ、前述の如く優れた磁
気ヘッドの浮上特性と摺動特性を備えた磁気ディスクと
磁気ヘッドを製造することができる。A first mask pattern is formed on a magnetic disk substrate or a coating layer formed on a magnetic head, followed by etching to form pattern protrusions, and then a second mask pattern is formed thereon. By forming and then forming a projection by etching, on the magnetic disk, or on the surface of the magnetic head on the magnetic disk side,
It is possible to manufacture a two-stage structure in which a projection is formed on a pattern projection, and manufacture a magnetic disk and a magnetic head having excellent magnetic head flying characteristics and sliding characteristics as described above. can do.
【図１】図１は本発明に係る磁気ディスクの一実施例と
磁気ヘッドの配置状態を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a magnetic disk according to the present invention and an arrangement state of a magnetic head.
【図２】図２は図１に示す磁気ディスクと磁気ヘッドの
配置状態の側面図である。FIG. 2 is a side view of an arrangement state of a magnetic disk and a magnetic head shown in FIG. 1;
【図３】図３は図１に示す磁気ディスクに形成されたパ
ターンの一例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an example of a pattern formed on the magnetic disk shown in FIG. 1;
【図４】図４は図３に示すパターンの他の例を示す断面
図である。FIG. 4 is a sectional view showing another example of the pattern shown in FIG. 3;
【図５】図５は図３に示すパターンの別の例を示す断面
図である。FIG. 5 is a sectional view showing another example of the pattern shown in FIG. 3;
【図６】図６は本発明に係るパターンの第２の例を示す
斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a second example of the pattern according to the present invention.
【図７】図７は本発明に係るパターンの第３の例を示す
斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a third example of the pattern according to the present invention.
【図８】図８は本発明に係るパターンの第４の例を示す
斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a fourth example of the pattern according to the present invention.
【図９】図９は本発明方法を実施して磁気ディスクを製
造する方法を説明するための説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining a method of manufacturing a magnetic disk by implementing the method of the present invention.
【図１０】図１０は図９を基に説明した方法においてパ
ターン突部を形成する工程の詳細を説明するための説明
図である。FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining details of a step of forming a pattern protrusion in the method described with reference to FIG. 9;
【図１１】図１１は図９を基に説明した方法において突
起を形成する工程の詳細を説明するための説明図であ
る。FIG. 11 is an explanatory diagram for describing details of a step of forming a projection in the method described with reference to FIG. 9;
【図１２】図１２は磁気ディスクに形成されたパターン
の配列状態の一例を示す拡大斜視図である。FIG. 12 is an enlarged perspective view showing an example of an arrangement state of patterns formed on a magnetic disk.
【図１３】図１３は本発明に係るパターンを形成した磁
気ヘッドを示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing a magnetic head on which a pattern according to the present invention is formed.
【図１４】図１４は図１３に示す磁気ヘッドの側面図で
ある。FIG. 14 is a side view of the magnetic head shown in FIG. 13;
【図１５】図１５は図１３に示す磁気ヘッドの底面図で
ある。FIG. 15 is a bottom view of the magnetic head shown in FIG. 13;
【図１６】図１６は本発明に係る磁気ディスクに対して
磁気ヘッドを走行実験した際のＡＥ出力特性を示す図で
ある。FIG. 16 is a diagram showing AE output characteristics when a magnetic disk according to the present invention is used in a running test of a magnetic head.
【図１７】図１７は本発明に係る磁気ディスクに対して
磁気ヘッドを走行実験した際の摩擦係数を示す図であ
る。FIG. 17 is a diagram showing a friction coefficient when a magnetic disk according to the present invention is run with a magnetic head in a running test.
１ 磁気ディスク、 ２ 磁気ヘッド、 ２ａ スライ
ダ、５、５’ パターン突部、１２、１３、
１４ パターン突部、 ６ 突起、1 magnetic disk, 2 magnetic head, 2a slider, 5, 5 'pattern protrusion, 12, 13,
14 pattern protrusions, 6 protrusions,
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/82 G11B 5/84 G11B 21/21 101 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G11B 5/82 G11B 5/84 G11B 21/21 101
Claims (4)
され、回転駆動される磁気ディスクにおいて、磁気ディ
スクの表面と裏面の少なくとも一方であって、磁気ヘッ
ドに相対摺動される面に、磁気ディスクの回転方向前方
側に向く空気圧縮部を具備するパターン突部が複数形成
され、前記パターン突部の表面にパターン突部よりも小
さな突起が複数形成されてなることを特徴とする磁気デ
ィスク。1. A magnetic disk on which information is read and written by a magnetic head and which is driven to rotate, the magnetic head being located on at least one of the front and back surfaces of the magnetic disk.
A plurality of pattern protrusions each having an air compressing portion facing forward in the rotation direction of the magnetic disk are formed on a surface which is slid relative to the magnetic disk, and a plurality of protrusions smaller than the pattern protrusions are formed on the surface of the pattern protrusion. A magnetic disk characterized by being made.
され、回転駆動される磁気ディスクにおいて、磁気ディ
スクの表面と裏面の少なくとも一方であって、磁気ヘッ
ドに相対摺動される面に、磁気ディスクの回転方向前方
側に向く空気圧縮部を具備するパターン突部が複数形成
され、前記パターン突部の表面にパターン突部よりも小
さな突起が複数形成されてなる磁気ディスクを製造する
方法において、 磁気ディスクの基板上に第１のマスクパターンを形成
し、この第１のマスクパターンに沿って選択的に基板の
一部をエッチングして基板表面または基板裏面にパター
ン突部を形成するとともに、このパターン突部を形成し
た基板上に更に第２のマスクパターンを形成し、この第
２のマスクパターンに沿って選択的にパターン突部の一
部をエッチングしてパターン突部の表面に突起を複数形
成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。2. A magnetic disk on which information is read and written by a magnetic head and which is driven to rotate, the magnetic head being located on at least one of the front surface and the back surface of the magnetic disk.
A plurality of pattern protrusions each having an air compressing portion facing forward in the rotation direction of the magnetic disk are formed on a surface which is slid relative to the magnetic disk, and a plurality of protrusions smaller than the pattern protrusions are formed on the surface of the pattern protrusion. A method of manufacturing a magnetic disk, comprising: forming a first mask pattern on a substrate of a magnetic disk, and selectively etching a part of the substrate along the first mask pattern to form a substrate surface or a substrate; A pattern protrusion is formed on the back surface, a second mask pattern is further formed on the substrate on which the pattern protrusion is formed, and a part of the pattern protrusion is selectively etched along the second mask pattern. Forming a plurality of projections on the surface of the pattern projections.
行し、停止状態の磁気ディスクに対してレール部によっ
て接触する磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドの磁気ディ
スク側のレール部に、磁気ディスクの回転方向後方側に
向く空気圧縮部を具備するパターン突部が形成され、前
記パターン突部の表面にパターン突部よりも小さな柱状
の突起が複数形成されてなることを特徴とする磁気ヘッ
ド。3. The magnetic disk in a floating state floats and travels, and the magnetic disk in a stopped state is moved by rails.
In the magnetic head contacting with the magnetic head, a pattern protrusion having an air compressing portion facing rearward in the rotation direction of the magnetic disk is formed on a rail portion on the magnetic disk side of the magnetic head, and the pattern protrusion is formed on the surface of the pattern protrusion. Columnar smaller than
A plurality of protrusions are formed.
行し、停止状態の磁気ディスクに対して接触する磁気ヘ
ッドであって、磁気ヘッドの磁気ディスク側の面に、磁
気ディスクの回転方向後方側に向く空気圧縮部を具備す
るパターン突部が形成され、前記パターン突部の表面に
パターン突部よりも小さな突起が複数形成されてなる磁
気ヘッドを製造する方法において、 磁気ヘッドの磁気ディスク側の面に被覆層を形成し、こ
の被覆層上に第１のマスクパターンを形成し、この第１
のマスクパターンに沿って選択的に被覆層の一部をエッ
チングして被覆層表面にパターン突部を形成するととも
に、このパターン突部を形成した被覆層上に更に第２の
マスクパターンを形成し、この第２のマスクパターンに
沿って選択的にパターン突部の一部をエッチングしてパ
ターン突部の表面に突起を複数形成することを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。4. A magnetic head which levitates and runs on a rotating magnetic disk and comes into contact with a stopped magnetic disk. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: forming a pattern protrusion having an air compression portion facing the magnetic head, wherein a plurality of protrusions smaller than the pattern protrusion are formed on the surface of the pattern protrusion; Forming a coating layer on the surface; forming a first mask pattern on the coating layer;
A portion of the coating layer is selectively etched along the mask pattern to form a pattern protrusion on the surface of the coating layer, and a second mask pattern is further formed on the coating layer on which the pattern protrusion is formed. Forming a plurality of projections on the surface of the pattern projection by selectively etching a part of the pattern projection along the second mask pattern.
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|---|---|---|---|
| JP33093891A JP2902839B2 (en) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | Magnetic disk, magnetic head, and manufacturing method thereof |
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