JP2895673B2 - Sample equipment such as electron microscope - Google Patents
Sample equipment such as electron microscopeInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡等の試料装置
に係わり、特に試料受台のシャフトを直線動させること
により試料取付台を回転することができる試料装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample apparatus such as an electron microscope, and more particularly to a sample apparatus which can rotate a sample mounting table by linearly moving a shaft of a sample receiving table.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のサイドエントリータイプのゴニオ
メータは、球面軸受された試料操作軸の外周部に電子線
光軸方向、および電子線光軸に直角方向に試料操作軸を
駆動させる駆動装置が取り付けられると共に、試料操作
軸を軸方向に移動可能にし、試料ホルダをゴニオメータ
側から装着する構造のものが使用されている。2. Description of the Related Art A conventional side entry type goniometer is provided with a driving device for driving a sample operation shaft in the direction of the electron beam optical axis and in the direction perpendicular to the electron beam optical axis on the outer periphery of the sample operation shaft having a spherical bearing. At the same time, a structure in which the sample operation shaft is movable in the axial direction and the sample holder is mounted from the goniometer side is used.
【０００３】このようなゴニオメータを超高真空装置に
使用すると、ゴニオメータ、試料ホルダの真空シール用
にどうしてもＯリングを使用しなくてはならず、Ｏリン
グからのガス放出が大きいため、真空焼だし温度は最大
で１００〜１２０℃であり、またガスの透過等のために
超高真空の達成は困難であった。When such a goniometer is used in an ultra-high vacuum apparatus, an O-ring must be used for sealing the vacuum of the goniometer and the sample holder, and gas release from the O-ring is large. The maximum temperature was 100 to 120 ° C., and it was difficult to achieve an ultra-high vacuum due to gas permeation and the like.
【０００４】そこで、本出願人は超高真空用ゴニオメー
タとして全てメタルシール化した試料装置を既に出願し
ている（特願平２−２９２６３３）。このメタルシール
化した試料装置について図３、図４により説明する。Accordingly, the present applicant has already filed an application for a sample apparatus in which all pieces are metal-sealed as a goniometer for ultra-high vacuum (Japanese Patent Application No. 2-292633). This sample device with a metal seal will be described with reference to FIGS.
【０００５】図３は試料装置の電子線光軸に垂直な断面
図、図４試料装置の電子線光軸方向における断面図であ
る。図３において、試料装置の先端部は試料室壁３５を
通して試料室３６に挿入され、電子線光軸に垂直な軸心
を持つ中空パイプ状フレーム３１内にはマグネット１２
により、回転駆動されるＸ軸傾斜用パイプ２６が設けら
れ、さらにパイプ２６内にはＹ軸試料傾斜用シャフト２
５が設けられている。フレーム３１はＸ，Ｙ，Ｚ動等の
動きを許容するメタル製ベローズ２の一端に取り付けら
れた基本フレームであり、ベローズ２の他端は試料装置
に固定されて試料室内と試料装置の大気側との真空シー
ルを行っている。また、フレーム３１と一体にその周囲
に設けられたフレーム８には球面状膨出部が設けられ、
球面軸受２７により転動可能に支持されている。この軸
受部はＹ，Ｚ動の中心となっており、軸受面にはベロー
ズ２にかかる大気圧分とスプリング２８で常に軸受部２
７にフレーム８の球面が押し付けられている。FIG. 3 is a sectional view of the sample device perpendicular to the electron beam optical axis, and FIG. 4 is a sectional view of the sample device in the electron beam optical axis direction. In FIG. 3, the tip of the sample apparatus is inserted into a sample chamber 36 through a sample chamber wall 35, and a magnet 12 is inserted into a hollow pipe-shaped frame 31 having an axis perpendicular to the electron beam optical axis.
, An X-axis tilting pipe 26 that is driven to rotate is provided, and a Y-axis sample tilting shaft 2 is further provided in the pipe 26.
5 are provided. The frame 31 is a basic frame attached to one end of a metal bellows 2 that allows movements such as X, Y, and Z movements. The other end of the bellows 2 is fixed to a sample device, and the sample room and the atmosphere side of the sample device are fixed. And vacuum sealing. Further, the frame 8 provided integrally with the frame 31 around the frame 31 is provided with a spherical bulge,
Rolled by a spherical bearing 27. This bearing part is the center of the Y and Z movements, and the bearing part is always provided with the atmospheric pressure applied to the bellows 2 and the spring 28.
The spherical surface of the frame 8 is pressed against 7.
【０００６】フレーム３１の外周部材の外側にはフレー
ム８が取り付けられ、フレーム８と３１とは同時に同じ
方向に動かすことができるようになっており、フレーム
８をネジ７でＹ軸方向に押すことによりＹ動が得られ
る。[0006] A frame 8 is attached to the outside of the outer peripheral member of the frame 31 so that the frames 8 and 31 can be simultaneously moved in the same direction. Yields a Y motion.
【０００７】Ｚ動については、図４に示すように、Ｚ軸
駆動用モータ（図示せず）によりギヤ４２が回転駆動さ
れ、その結果ネジ４３が駆動されてスライダ４４がスラ
イドし、Ｚ軸用テコ４４が支点を中心に回転して、フレ
ーム８をＺ軸方向に変位させるようになっている。反対
側への移動はスプリング２２によって行われ、試料をＺ
軸方向に動かせるようになっている。As for the Z movement, as shown in FIG. 4, a gear 42 is driven to rotate by a Z-axis driving motor (not shown), and as a result, a screw 43 is driven and a slider 44 slides, and The lever 44 rotates around the fulcrum to displace the frame 8 in the Z-axis direction. The movement to the opposite side is performed by the spring 22, and the sample is moved to Z
It can be moved in the axial direction.
【０００８】また、ブロック５（図３）にはベアリング
３が取り付けられ、Ｘ軸傾斜用の軸受になっているとと
もに、ネジ４でブロック５を押すことにより、ゴニオメ
ータ全体の軸合わせ（ユーセントリック合わせ）ができ
るようになっている。A bearing 3 is attached to the block 5 (FIG. 3) to provide a bearing for tilting the X-axis. The block 5 is pushed by a screw 4 so that the entire goniometer can be aligned (eucentric alignment). ) Can be done.
【０００９】Ｘ軸傾斜については、Ｘ軸傾斜用ガイド９
に傾斜用ギヤ６が取り付けられていて、Ｘ軸傾斜用モー
タ６０によりウォームギヤ６１と傾斜用ギヤ６が回転駆
動され、その結果フレーム６２を介してガイド９がガイ
ド１０に案内されて回転し、傾斜用カバー１１が回転駆
動される。傾斜用カバー１１にはマグネット１２が取り
付けられており、このマグネットと磁気結合するマグネ
ット１２がフレーム３１内に設けられ、ガイド９の回転
によりマグネット１２が回転し、その結果パイプ２６が
回転して試料をＸ軸の周りに傾斜させることができる。
このときベアリング１３がマグネット１２、パイプ２６
の軸受となっている。Regarding the X-axis tilt, the X-axis tilt guide 9
The worm gear 61 and the tilting gear 6 are driven to rotate by the X-axis tilting motor 60. As a result, the guide 9 is guided by the guide 10 via the frame 62, and rotates. Cover 11 is driven to rotate. A magnet 12 is attached to the tilting cover 11, and a magnet 12 magnetically coupled to the magnet is provided in a frame 31, and the rotation of the guide 9 causes the magnet 12 to rotate. Can be tilted around the X axis.
At this time, the bearing 13 includes the magnet 12 and the pipe 26.
Bearing.
【００１０】また、ガイド１０を外して傾斜用カバー１
１を回転させると、パイプ２６を３６０°エンドレスで
回転させることもできるので、ガイド１０というストッ
パーを外すと、任意に試料ホルダーをＸ軸に対して回転
することができる。Further, the guide 10 is removed and the cover 1 for tilting is removed.
By rotating the pipe 1, the pipe 26 can be rotated 360 ° endlessly. Therefore, if the stopper called the guide 10 is removed, the sample holder can be arbitrarily rotated with respect to the X axis.
【００１１】Ｘ動については、フレーム８にギヤ１８が
取り付けられ、ギヤ１８の内面側はフレーム８とネジ結
合しており、Ｘ軸駆動用モータ１９によりギヤ１７、１
８を回転させることにより、ネジ駆動によりフレーム
８、傾斜用カバー１１をＸ軸方向に移動できるようにな
っており、これと一体にフレーム３１が移動し、試料を
Ｘ軸方向に移動させることができる。For the X movement, a gear 18 is attached to the frame 8, and the inner surface of the gear 18 is screw-coupled to the frame 8.
By rotating the frame 8, the frame 8 and the tilt cover 11 can be moved in the X-axis direction by screw driving, and the frame 31 moves integrally with the frame 8 to move the sample in the X-axis direction. it can.
【００１２】フレーム３１には試料をＹ軸の周りに傾斜
させるために、パイプ２６内部に一端がメタルベローズ
１４に接続されたシャフト２５が設けられている。図示
しないモータによりつまみ１６を回すとネジ１５が前後
し、これによってシャフト２５が前後する。シャフト２
５の前後動は金属製ベローズ１４によって許容されると
ともに、この部分の真空シールが行われる。シャフト２
５の前後動により、シャフト２５の先端部に設けられた
操作棒２０が前後し、操作棒２０でテコ２１を軸２１ａ
を中心にして回動させることにより、試料ホルダ２３を
Ｙ軸の周りに回転させる。試料ホルダ２３のＹ軸周りの
復帰はバネ３８によって行われる。The frame 31 is provided with a shaft 25 having one end connected to the metal bellows 14 inside a pipe 26 in order to incline the sample around the Y axis. When the knob 16 is turned by a motor (not shown), the screw 15 moves forward and backward, and thereby the shaft 25 moves forward and backward. Shaft 2
The forward and backward movement of 5 is allowed by the metal bellows 14, and a vacuum seal of this portion is performed. Shaft 2
5, the operating rod 20 provided at the tip of the shaft 25 moves back and forth, and the operating rod 20 moves the lever 21 to the shaft 21a.
The sample holder 23 is rotated about the Y axis by rotating the sample holder 23 around the center. The return of the sample holder 23 around the Y axis is performed by a spring 38.
【００１３】なお、試料ホルダ２３は受台支え２４によ
って支持された試料ホルダ受台２９によって反対側を支
えられており、試料ホルダの動きにつれて動けるように
支持されている。そして、試料ホルダ受台側を冷却され
ることにより、試料ホルダを冷却することができる。The sample holder 23 is supported on the opposite side by a sample holder receiving table 29 supported by a receiving table support 24, and is supported so as to be movable as the sample holder moves. Then, by cooling the sample holder receiving side, the sample holder can be cooled.
【００１４】次に試料台ホルダを動かす操作方法につい
て説明すると、ゴニオメータ全体の軸合わせ、即ちユー
セントリック合わせはスクリュー４を調節し、ブロック
５を押すことより行う。Ｘ動は、モータ１９を駆動する
ことによりギヤ１８を回転させると、このギヤに対して
フレーム８がネジ結合をしているので、フレーム８と一
体のフレーム３１がＸ軸方向に移動する。Ｙ動について
はＹ軸駆動用のネジ７を調節することにより反対側のス
プリング２２の力に抗してＹ軸方向への移動を行うこと
ができる。Ｚ動についてはモータによりギヤを介してテ
コ４５を支点を中心に回動させることにより、スプリン
グ２２の力に抗してフレーム３１をＺ軸方向に移動させ
ることができる。Next, an operation method for moving the sample stage holder will be described. Alignment of the entire goniometer, that is, eucentric alignment, is performed by adjusting the screw 4 and pushing the block 5. In the X movement, when the gear 18 is rotated by driving the motor 19, the frame 8 is screwed to the gear, so that the frame 31 integrated with the frame 8 moves in the X-axis direction. As for the Y movement, the movement in the Y axis direction can be performed against the force of the spring 22 on the opposite side by adjusting the screw 7 for driving the Y axis. As for the Z motion, the frame 31 can be moved in the Z-axis direction against the force of the spring 22 by rotating the lever 45 about the fulcrum by a motor via a gear.
【００１５】Ｘ軸周りの傾斜はモータ６０を回転させる
ことにより、ウォームギヤ６１、フレーム６２を介して
傾斜用カバー１１を回転させ、これに結合された磁石１
２を回転させることによりフレーム３１内に設けられた
磁石を回転させ、これによってパイプ２６を回転させる
ことにより行う。また、Ｙ軸周りの試料傾斜はつまみ１
６を回転させることによりねじ１５を前後させ、パイプ
２６内に設けられたシャフト２５を前後させることによ
り行う。By rotating the motor 60, the tilt cover 11 is rotated via the worm gear 61 and the frame 62 to rotate the tilt cover 11 around the X axis.
By rotating the magnet 2, the magnet provided in the frame 31 is rotated, thereby rotating the pipe 26. The tilt of the sample around the Y axis is controlled by knob 1.
By rotating the screw 6, the screw 15 is moved back and forth, and the shaft 25 provided in the pipe 26 is moved back and forth.
【００１６】このようにしてＸ，Ｙ，Ｚ動、Ｘ軸周り傾
斜、Ｙ軸周り傾斜の５軸ユーセントリックに試料移動さ
せることができ、これらの動きは金属製ベローズを用い
ることにより、超真空を保持したまま行うことができ
る。In this manner, the sample can be moved in a 5-axis eucentric manner in which the X, Y, and Z motions, the tilt around the X axis, and the tilt around the Y axis are performed. Can be carried out while holding.
【００１７】[0017]
【発明が解決しようとする課題】図３、図４で示したメ
タルシール化した超高真空用ゴニオメータにおいては、
従来タイプの試料ホルダ構造を用いることができず、試
料ホルダを受ける受台を設定し、試料ホルダを小型化し
てチップ交換式にする必要があった。また、従来の試料
装置では試料傾斜を行うことはできるものの、試料を回
転することは不可能であった。SUMMARY OF THE INVENTION In the ultrahigh vacuum goniometer with a metal seal shown in FIGS.
The conventional type of sample holder structure cannot be used, and it is necessary to set a cradle for receiving the sample holder, to reduce the size of the sample holder, and to make the chip exchangeable. Further, although the conventional sample apparatus can perform sample tilt, it was impossible to rotate the sample.
【００１８】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、試料ホルダを小型化かつチップ化し、試料受台に超
高真空中で搬送、装着できると共に、回転することがで
きる電子顕微鏡等の試料装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a sample holder such as an electron microscope which can be rotated and rotated while being transported and mounted in an ultra-high vacuum on a sample holder in a miniaturized and chip-shaped sample holder. It is intended to provide a device.
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】本発明は、球面軸受で支
持されると共に、一端が試料室と大気とをシールする金
属ベローに接続された中空フレームを有し、中空フレー
ム外周部に設けられた駆動手段により中空フレーム自体
を駆動すると共に、磁気結合により中空フレーム内に設
けられた中空パイプを駆動して試料を動かすようにした
サイドエントリーゴニオメータであって、前記中空パイ
プ先端に取り付けられた押し棒により駆動されるテコ、
テコにより押されて回転する試料取付台、試料取付台に
接続されて回転した試料取付台を復帰させるためのスプ
リングを備え、押し棒の直線動により試料を回転するこ
とができる構造としたことを特徴とする。According to the present invention, a hollow frame supported by a spherical bearing and having one end connected to a metal bellow for sealing a sample chamber and the atmosphere is provided on an outer peripheral portion of the hollow frame. A side entry goniometer for driving the hollow frame itself by the driving means and moving the sample by driving the hollow pipe provided in the hollow frame by magnetic coupling, the pusher attached to the tip of the hollow pipe. Lever driven by a rod,
It has a structure that is equipped with a sample mount that is pushed and rotated by a lever, a spring that is connected to the sample mount, and that returns the sample mount that has been rotated, and that can rotate the sample by linear movement of the push rod. Features.
【００２０】[0020]
【作用】本発明は、押し棒により駆動されるテコ、ロー
ラにより支持され、テコにより押されて回転する試料取
付台、試料取付台に接続されて回転した試料取付台を復
帰させるためのスプリング、試料取付台に接続され、試
料取付台の回転を吸収可能な電極により試料ホルダを構
成し、試料ホルダを小型化、かつチップ化してゴニオメ
ータ先端に設けられた試料受台に取り付けられるように
したものであり、操作棒の直線動によりローラで支持さ
れた試料取付台が回転できる。また、ゴニオメータは３
６０°傾斜可能であり、試料ホルダを試料受台に装着
後、９０°回転させて試料面を電子線光軸にほぼ平行と
し、この状態で電子ビームを試料面に平行に当てて、試
料表面の反射像を見ることができ、この時試料を回転さ
せることによりいろいろな角度からの反射像をみること
が可能となる。According to the present invention, a lever driven by a push rod, a sample mount supported by rollers, and rotated by being pushed by the lever, a spring connected to the sample mount and returning the rotated sample mount, A sample holder composed of electrodes connected to the sample mounting table and capable of absorbing the rotation of the sample mounting table. The sample holder is downsized and chipped so that it can be mounted on the sample receiving table provided at the tip of the goniometer. The sample mounting table supported by the rollers can be rotated by the linear movement of the operating rod. The goniometer is 3
The sample holder can be tilted by 60 °, and after the sample holder is mounted on the sample holder, it is rotated by 90 ° to make the sample surface almost parallel to the electron beam optical axis. In this case, it is possible to see the reflection images from various angles by rotating the sample.
【００２１】[0021]
【実施例】図１は本発明の試料装置の全体図、図２は本
発明の試料装置の詳細を示す図である。図中、２９は試
料受台、７１は操作棒、７２は接点、７４は加熱用リー
ド線、８０は試料ホルダ、８１は電極、８２ａ，８２
ｂ，８２ｃはローラ、８３は試料取付台、８５はバネ、
８６はテコ、８７は絶縁碍子、８８は試料、９０ａ，９
０ｂは分割片、９１ａ，９１ｂは試料押さえである。な
お、図２（ａ）は試料ホルダの蓋を取った時の平面図、
図２（ｂ）は横断面図、図２（ｃ）は裏面図である。1 is an overall view of a sample apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a view showing details of the sample apparatus according to the present invention. In the figure, 29 is a sample receiving table, 71 is an operation rod, 72 is a contact, 74 is a heating lead wire, 80 is a sample holder, 81 is an electrode, 82a, 82
b and 82c are rollers, 83 is a sample mount, 85 is a spring,
86 is a lever, 87 is an insulator, 88 is a sample, 90a, 9
0b is a divided piece, and 91a and 91b are sample holders. FIG. 2A is a plan view when the lid of the sample holder is removed,
FIG. 2B is a cross-sectional view, and FIG. 2C is a rear view.
【００２２】図１において、試料ホルダ８０はゴニオメ
ータの先端に設けられた試料受台２９に取り付けられ、
図３、図４で説明した中空パイプの先端に接続された操
作棒７１によってＸ方向に押されるようになっている。
試料受台２９には加熱用リード線７４が接続された電気
的接点７２が設けられており、試料ホルダ８０を試料受
台２９に取り付けると、後述するように試料ホルダの電
極がこれらの接点と接続し、試料を通電加熱することが
できるようになっている。In FIG. 1, a sample holder 80 is attached to a sample receiving table 29 provided at the tip of a goniometer.
It is configured to be pushed in the X direction by the operation rod 71 connected to the tip of the hollow pipe described in FIGS.
The sample holder 29 is provided with electrical contacts 72 to which heating leads 74 are connected. When the sample holder 80 is mounted on the sample holder 29, the electrodes of the sample holder are connected to these contacts as described later. It is connected so that the sample can be electrically heated.
【００２３】図２（ａ）は試料ホルダ８０の蓋を取った
状態であり、円形の試料取付台８３が３つのローラ８２
ａ，８２ｂ，８２ｃで支持され、操作棒７１を押した時
にテコ８６により試料取付台８３と一体の分割片９０ｂ
を通して回転力が与えられ、時計方向に回転されるよう
になっており、同時に試料取付台にはバネ８５が接続さ
れ、そのバネ力により反時計方向に復帰できるようにな
っている。また、試料取付台８３と一体の分割片９０ａ
には波型の電極８１が取り付けられ、試料取付台８３が
回転した時にその回転を吸収できるようになっていると
共に、図２（ｂ）に示すように、この電極が接点７２に
接触している。分割片９０ａは絶縁碍子８７で電気的に
浮いており、一方分割片９０ｂはアースレベルに落ちて
おり、この分割片を通して試料に通電し過熱されるよう
になっている。FIG. 2A shows a state in which the lid of the sample holder 80 is removed, and the circular sample mounting base 83 has three rollers 82.
a, 82b, and 82c, and a split piece 90b integrated with the sample mount 83 by the lever 86 when the operating rod 71 is pressed.
, A rotating force is applied to the sample mounting table, and at the same time, a spring 85 is connected to the sample mounting table so that the sample mounting table can return in a counterclockwise direction. Also, a divided piece 90a integral with the sample mounting table 83
The sample mounting table 83 is capable of absorbing the rotation when the sample mounting table 83 rotates, and as shown in FIG. I have. The split piece 90a is electrically floating on the insulator 87, while the split piece 90b is at the ground level, and the sample is energized and heated through this split piece.
【００２４】このような構造の試料ホルダは小型化、か
つチップ化して構成されており、試料受台２９に取り付
けられる。試料受台２９の接点７２，７３は、試料ホル
ダをセットした状態で波型の電極８１と接触し、電極８
１を通して試料ホルダ全体を操作棒７１側に押さえつ
け、試料ホルダががたつくのを防止している。The sample holder having such a structure is miniaturized and formed into a chip, and is attached to the sample receiving table 29. The contacts 72 and 73 of the sample receiving table 29 come into contact with the corrugated electrode 81 with the sample holder set, and the electrode 8
1, the entire sample holder is pressed against the operation rod 71 to prevent the sample holder from rattling.
【００２５】このような構成において、小型化、かつチ
ップ化した試料ホルダ８０を試料受台２９にセットする
と、絶縁碍子８７で浮いている電極８１が接点７２に接
触し、試料に通電して加熱することができる。また、前
述した軸廻りの回転により試料を電子線光軸にほぼ平行
にした状態で試料に電子ビームを当て、操作棒７１を押
して試料を回転させながら試料表面の反射像を見ること
が可能である。また、試料ホルダは小型化、かつチップ
化されているので、単に試料受台にセットするだけで試
料室へ搬送することが可能である。In such a configuration, when the miniaturized and chipped sample holder 80 is set on the sample receiving table 29, the electrode 81 floating on the insulator 87 comes into contact with the contact 72, and the sample is energized and heated. can do. In addition, it is possible to view the reflection image of the sample surface while rotating the sample by pressing the operation rod 71 while irradiating the sample with the sample in a state where the sample is substantially parallel to the electron beam optical axis by the rotation about the axis described above. is there. Further, since the sample holder is miniaturized and made into a chip, it is possible to transfer the sample holder to the sample chamber simply by setting it on the sample receiving table.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、試料ホル
ダを小型化、かつチップ化して試料受台に超高真空中で
搬送して装着することが可能であり、受台のシャフトを
直線動させることにより試料ホルダのテコを動かして試
料取付台を回転させることにより試料を回転することが
可能となる。As described above, according to the present invention, the sample holder can be reduced in size and formed into chips, which can be transported and mounted on the sample receiving table in an ultra-high vacuum. The sample can be rotated by moving the lever of the sample holder by moving it linearly and rotating the sample mount.
【図１】 本発明の試料装置の全体図である。FIG. 1 is an overall view of a sample device of the present invention.
【図２】 本発明の試料装置の詳細を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing details of a sample device of the present invention.
【図３】 従来のメタルシール化した試料装置を示す図
である。FIG. 3 is a view showing a conventional metal-sealed sample device.
【図４】 従来のメタルシール化した試料装置を示す図
である。FIG. 4 is a view showing a conventional metal-sealed sample device.
２９…試料受台、７１…操作棒、７２…接点、７４…加
熱用リード線、７５…高圧用リード線、８０…試料ホル
ダ、８１…電極、８２ａ，８２ｂ，８２ｃ…ローラ、８
３…試料取付台、８５…バネ、８６…テコ、８７…絶縁
碍子、８８…試料、９０ａ，９０ｂ…分割片、９１ａ，
９１ｂ…試料押さえ。29: sample receiving table, 71: operation rod, 72: contact, 74: heating lead, 75: high pressure lead, 80: sample holder, 81: electrode, 82a, 82b, 82c: roller, 8
3 ... Sample mounting table, 85 ... Spring, 86 ... Lever, 87 ... Insulator, 88 ... Sample, 90a, 90b ... Split piece, 91a,
91b: Sample holder.
Claims (1)
料室と大気とをシールする金属ベローに接続された中空
フレームを有し、中空フレーム外周部に設けられた駆動
手段により中空フレーム自体を駆動すると共に、磁気結
合により中空フレーム内に設けられた中空パイプを駆動
して試料を動かすようにしたサイドエントリーゴニオメ
ータであって、前記中空パイプ先端に取り付けられた押
し棒により駆動されるテコ、テコにより押されて回転す
る試料取付台、試料取付台に接続されて回転した試料取
付台を復帰させるためのスプリングを備え、押し棒の直
線動により試料を回転することができる構造としたこと
を特徴とする電子顕微鏡等の試料装置。1. A hollow frame supported by a spherical bearing and having one end connected to a metal bellow for sealing a sample chamber and the atmosphere, wherein the hollow frame itself is driven by driving means provided on an outer peripheral portion of the hollow frame. A side entry goniometer for driving and moving a sample by driving a hollow pipe provided in a hollow frame by magnetic coupling, wherein the lever is driven by a push rod attached to the tip of the hollow pipe. It has a structure that can be rotated by pushing the sample mounting base, a spring connected to the sample mounting base to return the rotated sample mounting base, and the sample can be rotated by the linear movement of the push rod. A sample device such as an electron microscope.
Priority Applications (1)
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| JP4437092A JP2895673B2 (en) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | Sample equipment such as electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
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| JPH05242846A JPH05242846A (en) | 1993-09-21 |
| JP2895673B2 true JP2895673B2 (en) | 1999-05-24 |
Family
ID=12689630
Family Applications (1)
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Also Published As
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