JP2892132B2 - 疑似太陽光照射装置 - Google Patents

疑似太陽光照射装置

Info

Publication number
JP2892132B2
JP2892132B2 JP25421390A JP25421390A JP2892132B2 JP 2892132 B2 JP2892132 B2 JP 2892132B2 JP 25421390 A JP25421390 A JP 25421390A JP 25421390 A JP25421390 A JP 25421390A JP 2892132 B2 JP2892132 B2 JP 2892132B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
filter
predetermined wavelength
shielding
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP25421390A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04133017A (ja
Inventor
昌樹 楠原
丈志 内久根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wakomu KK
Original Assignee
Wakomu KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wakomu KK filed Critical Wakomu KK
Priority to JP25421390A priority Critical patent/JP2892132B2/ja
Publication of JPH04133017A publication Critical patent/JPH04133017A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2892132B2 publication Critical patent/JP2892132B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は疑似太陽光照射装置に関するものであり、特
に、主光源より照射される疑似太陽光に特定波長の光線
を重畳し、これを試験体に照射することのできる疑似太
陽光照射装置に関するものである。
(従来の技術) 従来の疑似太陽光照射装置(ソーラーシミュレータ)
は、通常は、その光源として、太陽光線に近いスペクト
ル特性を有する光源を放射するキセノンショートアーク
ランプを使用し、この疑似太陽光を試験体に対して均一
に照射することができるように構成されている。
第4図は疑似太陽光照射装置の基本構成の一例を示す
ブロク図である。
図において、キセノンショートアークランプ等の光源
1から放射される光は、楕円鏡2で集光された後、第1
反射鏡3で反射され、該光をさらに太陽光のスペクトル
特性に近付けるためのスペクトル補正フィルタ4、及び
インテグレータ(積分光学系)5を介して、さらに第2
反射鏡6で反射され、そして、コリメータレンズ7を介
して、太陽電池等の試験体8に照射される。
ところで、試験体8として、複数層構造(例えば3層
構造)を有する太陽電池を用いるように場合には、疑似
太陽光に対して、所定波長のスペクトルを有する光(以
下、所定波長光という)を重畳させたものを、試験光と
して用いる必要がある。
第5図は、疑似太陽光に対して所定波長光を重畳させ
たものを試験光とする疑似太陽光照射装置の一例のブロ
ック図である。第5図において、第4図と同一の符号
は、同一又は同等部分をあらわしている。
第5図において、光源1から放射された光は、楕円鏡
2で集光され、スペクトル補正フィルタ4を通過するこ
とにより、疑似太陽光となる。
また光源11から放射された光は、楕円鏡12で集光さ
れ、重畳用フィルタ14を通過することにより、疑似太陽
光に対して重畳されるべき所定波長のスペクトルを有す
る所定波長光となる。
これら疑似太陽光及び所定波長光は、ハーフミラー10
により同一の光軸を有するように重畳、合成される。
この合成試験光は、インテグレータ5、第2反射鏡6
及びコリメータレンズ7を介して、試験体8に照射され
る。
この第5図に示された例は、ハーフミラー10を1枚の
み用いて、疑似太陽に対して1種類の所定波長光を重畳
させるものであるが、ハーフミラーの数を増やせば、2
種類以上の所定波長光を疑似太陽光に重畳させることも
可能となる。
また、ハーフミラーを用いなくても、例えば、試験体
に対して垂直に照射される疑似太陽光のわきから、所定
波長光を試験体に照射すれば、疑似太陽光に所定波長光
を重畳させて試験体に照射することになる。
(発明が解決しようとする課題) 上記した従来の技術は、次のような問題点を有してい
た。
(1)第5図に示された疑似太陽光照射装置では、所定
波長光の重畳のためにハーフミラーを用いる必要がある
ので、疑似太陽光照射用の光源1及び所定波長光照射用
の光源11のエネルギロスが大きく、不経済である。
また、このために、大形の光源1,11を必要とする。
さらに、複数の光源を用いる必要があるために、重畳
させるべき所定波長光の種類が多いほど、当該疑似太陽
光照射装置の構成が複雑化、かつ大形化する。
(2)ハーフミラーを用いず、試験体に照射される疑似
太陽光のわきから、試験体に対して直接所定波長長を照
射する場合においても、複数の光源を用いる必要がある
ために、当該疑似太陽光照射装置の構成が複雑化、かつ
大形化する。
また、このように疑似太陽光のわきから所定波長光を
試験体に照射する場合には、疑似太陽光及び所定波長光
の光軸が一致しないので、試験体に対する所定波長光の
入射角度が、疑似太陽光の入射角度と異なることにな
る。
したがって、疑似太陽光及び所定波長光の強度制御、
例えばそれらの強度比の設定を行いにくい。
(3)一般に、疑似太陽光照射装置においては、光源の
光量変動を防止するために、照射光の光量を検出して、
光源をフィードバック制御する必要がある。
したがって、前述したような多灯式の疑似太陽光照射
装置においては、主光源の光(疑似太陽光)と重畳した
光(所定波長光)とを分離して、それぞれの光源をフィ
ードバック制御しなければならず、当該照射装置の構成
が複雑化、かつ大形化する。また、疑似太陽光と所定波
長光との分離は、それぞれの光源からの光を、共通部分
がないように完全に行なわなければならないので、該分
離装置(例えばフィルタ装置)の構成が複雑となる。
本発明は、前述の問題点を解決するためになされたも
のであり、その目的は、単一の光源で疑似太陽光に所定
波長光を発生し、かつそれらの光軸が一致するようにそ
れらの光を重畳させて、試験体に照射することのできる
疑似太陽光照射装置を提供することにある。
(課題を解決するための手段及び作用) 前記の問題点を解決するために、本発明は、疑似太陽
光を照射すべき光源より放射される光の光路の一部に、
所定波長光発生用のフィルタを設け、該フィルタを通過
した光、及び該フィルタを通過しなかった光を合成する
ようにした点に特徴がある。
また、前記フィルタを遮蔽する遮蔽手段を設けると共
に、該遮蔽手段を移動可能に構成し、前記遮蔽手段によ
り遮蔽されるフィルタの遮蔽度を調整するようにした点
にも特徴がある。
さらに、前記遮蔽手段を設ける代りに、前記フィルタ
を移動可能に構成し、該フィルタに対する前記光の通過
率を調整するようにした点にも特徴がある。
フィルタ遮蔽手段の遮蔽度、あるいはフィルタの光通
過率を調整可能とすれば、疑似太陽光に重畳される所定
波長光の光量を任意に調整することができる。
(実施例) 以下に、図面を参照して、本発明を詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例のブロック図である。第1
図において、第4図及び第5図と同一の符号は、同一又
は同等部分をあらわしている。
第1図において、この実施例では、キセノンショート
アークランプ等の光源1とインテグレータ5との間に、
所定波長光制御装置20が配置されている。この所定波長
光制御装置20は、疑似太陽光に対して重畳すべき所定波
長光のスペクトルを通過する複数種のフィルタ(この例
では、A〜Cの3種のフィルタ)よりなるフィルタ装置
21と、前記各フィルタを通過する光の光量を制御する遮
蔽装置22とより構成されている。前記フィルタ装置21及
び遮蔽装置22の平面図を、それぞれ第2図及び第3図に
示す。
フィルタ装置21は、光源1から放射され、楕円鏡2で
集光された疑似太陽光の光束を囲むように設けられた取
付枠21Aと、該取付枠21Aの内側に隣接して取り付けられ
たフィルタA〜Cより構成されている。この例では、前
記フィルタA〜Cは、それぞれ3枚ずつ隣接して取付枠
21Aに取り付けられている。
遮蔽装置22は、前記フィルタ装置21よりも光源1側に
設けられていて、前記各フィルタA〜Cを遮蔽可能とす
るように、遮蔽板a〜cを備えている。この遮蔽板a〜
cは、遮蔽装置22の外側に移動可能となるように構成さ
れていて、これにより、光源1より放射される光の、フ
ィルタA〜Cを通過する光量を制御することができる。
図示されない遮蔽制御手段は、前記各遮蔽板a〜cの
移動を制御し、これにより、該遮蔽板a〜cにより遮蔽
されるフィルタA〜Cの遮蔽度を調整、制御する。
なお、この第1図には、第4図に示されたスペクトル
補正フィルタ4が示されていないが、該フィルタ4は、
必要に応じて、光源1より照射される光の光路上、すな
わち所定波長光制御装置20から、光源1側あるいは試験
体8側に配置される。この場合、光源1より放射された
光の全ての光束が前記スペクトル補正フィルタ4を通過
するように、該フィルタ4を配置すれば、所定波長光
は、スペクトル補正フィルタ4及びフィルタA〜Cを通
過することにより得られることになる。つまり、フィル
タA〜Cは、スペクトル補正フィルタ4の特性を考慮し
て決定される。
逆に、前記スペクトル補正フィルタ4を、例えばフィ
ルタ装置21内の、各フィルタA〜Cの内側の領域に配置
するようにすれば、フィルタA〜Cを通過した光は前記
スペクトル補正フィルタ4を通過しないことになるの
で、所定波長光は、各フィルタA〜Cの特性のみにより
決定される。つまり、フィルタA〜Cは、スペクトル補
正フィルタ4の特性を考慮しないで決定される。
さて、以上の構成を有する本発明の一実施例におい
て、光源1を点灯すると、該光源1より放射される疑似
太陽光は、所定波長光制御装置20、第1反射鏡3、イン
テグレータ5、第2反射鏡6及びコリメータレンズ7を
介して、試験体8に照射される。ここで、遮蔽装置22の
各遮蔽板a〜cが、フィルタ装置21の各フィルタA〜C
を完全に遮蔽している場合には、光源1より放射される
疑似太陽光は、環状に配置された各フィルタA〜Cの内
側のみを通過するので、所定波長光が重畳されない疑似
太陽光のみが試験体8に照射されることになる。
この状態において、遮蔽装置22の、例えば遮蔽板b
を、第3図の矢印で示されるように、その外側に移動さ
せれば(同図の二点鎖線参照)、光源1より放射された
疑似太陽光は、環状に配置された各フィルタA〜Cの内
側のみならず、フィルタB(第2図)をも通過すること
になる。したがって、疑似太陽光、及びフィルタBを通
過した所定波長光がインテグレータ5に入射されること
になる。
インテグレータ5は、前記疑似太陽光及び所定波長光
を合成するから、これにより、フィルタBの通過スペク
トルを有する所定波長光が、疑似太陽光に対して、光軸
が一致するように重畳され、これが試験体8に参照され
ることになる。
フィルタBの遮蔽度を変えれば、該フィルタBを通過
する光の光量、すなわちフィルタBの通過スペクトルを
有する所定波長光の光量が変わるから、フィルタBの移
動距離を調整することにより、前記所定波長光の光量を
制御することができる。
同様に、遮蔽装置22の遮蔽板a及び/あるいはcを移
動させて、光源1より放射される光をフィルタA及び/
あるいはCを通過させれば、さらに、フィルタA及び/
あるいはCの通過スペクトルを有する所定波長光を、疑
似太陽光に重畳させることができる。
さて、例えばインテグレータ5を通過した光を取出
し、分離用フィルタをかけて重畳前の疑似太陽光を取出
し、その光量を検出すれば、光源1より放射される光の
光量を一定に保つように、該光源1をフィードバック制
御することが可能である。勿論、インテグレータ5に入
射される前の、所定波長光が重畳される前の疑似太陽光
の光路上に光量検出用センサを配置すれば、前記した分
離用フィルタは不要である。
また、光源1が、その光量変化に応じてスペクトル特
性があまり変らないものであれば、分離用フィルタを用
いずに重畳光の光量を検出することによっても、光源1
のフィードバック制御が可能である。この場合、スペク
トス特性が変わるものであっても、光量変化に応じたス
ペクトル特性が予めわかっていれば、光源1の光量制
御、及び遮蔽装置22の制御を行なうことにより、照射光
を、そのスペクトル特性をあまり変えることなく、光量
一定に制御できる。
さて、前記遮蔽板a〜cを連動させて、フィルタA〜
Cの遮蔽度を同じに変化させても良いが、遮蔽板a〜c
を個別に移動可能にすれば、各所定波長光の強度を個別
に変えることができ、試験体8の種類や大きさによっ
て、試験光のスペクトル特性を変更することができる。
また、遮蔽装置22は、各フィルタA〜Cのそれぞれに
対応するように、該フィルタA〜Cの光源1側に遮蔽板
a〜cを配置することにより構成されるものとして説明
したが、本考案は、特にこれのみに限定されることはな
く、いかなる遮蔽装置を用いても良い。また、遮蔽板a
〜cを連動して駆動するような場合には、例えば光学カ
メラの絞り機構のような遮蔽装置を用いても良い。
さらに、前記実施例では、疑似太陽光に対して3種類
の所定波長光を重畳させる場合を例にとって説明した
が、1種類若しくは2種類、又は4種類以上の所定波長
光を重畳する場合にも、本発明は適用可能であることは
いうまでもない。
さらにまた、前記実施例では、各種所定波長光を発生
させるためのフィルタは、第2図に示したように、光源
1より放射される光の光路上に環状に配置されるものと
して説明したが、疑似太陽光及び所定波長光はインテグ
レータ5により合成されるので、必ずしも環状に配置さ
れることはなく、光源1より放射される光の光路の一部
に配置されるようにすれば良い。また、第2図では、各
種の所定波長光を発生させるために、それぞれ3枚ずつ
の遮蔽板が配置されているが、これらは少なくとも1枚
であれば良い。
また、前記実施例では、光源1より放射される光の光
路上にフィルタを固定配置し、該フィルタの光源1側に
該フィルタを遮蔽する遮蔽板を移動可能に配置するもの
として説明したが、前記フィルタを第3図に示した遮蔽
板のように移動可能に構成すれば、遮蔽板を設けること
なく、各フィルタを通過する光の光量(光の通過率)を
調整、制御することができる。すなわち、遮蔽板を設け
ることなく、フィルタのみで所定波長光制御装置を構成
することが可能である。
さらに、第1図には、疑似太陽光及び所定波長光、あ
るいはそれらが合成された光の光路を変更して、該光を
試験体8に指向させるための第1反射鏡3及び第2反射
鏡6が設けられているが、これら反射鏡は、光源1や楕
円鏡2のレイアウト等によっては省略可能であり、また
必要に応じてさらに他の反射鏡が配置されることもでき
る。
さらにまた、所定波長光の強度を変更する必要のない
場合には、遮蔽板又はフィルタの移動手段は不要であ
る。
(発明の効果) 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、次
のような効果が達成される。
(1)請求項1記載の疑似太陽光照射装置によれば、疑
似太陽光を照射すべき光源より放射される光の光路の一
部に、所定波長光発生用のフィルタを設け、該フィルタ
を通過した光、及び該フィルタを通過しなかった光を合
成するようにしたので、1の光源で、疑似太陽光に所定
スペクトルの所定波長光を重畳させることができる。ま
た、光源のエネルギロスもない。
したがって、当該疑似太陽光照射装置の構成を簡略化
かつ小形化することができる。
また、疑似太陽光及び所定波長光の光軸を一致させた
状態で、試験光を試験体に照射することができるので、
疑似太陽光及び所定波長光の試験体に対する入射角度が
一致し、それらの強度制御が容易である。
さらに、所定波長光を重畳する前の光(疑似太陽光)
の光量を検出することにより、光量一定のための光源の
フィードバック制御が可能なので、当該疑似太陽光照射
装置の構成がさらに簡単である。
光源を複数用いる従来の場合には、それぞれの光源か
ら放射される光を個別に検出し、制御しなければならな
いので、その構成は複雑化する。
(2)請求項2及び3記載の疑似太陽光照射装置によれ
ば、疑似太陽光に重畳される所定波長光の光量を任意に
調整することができるので、試験体の種類や大きさによ
って、試験光のスペクトル特性を変更することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例のブロック図である。 第2図は第1図のフィルタ装置の平面図である。 第3図は第1図の遮蔽装置の平面図である。 第4図は疑似太陽光照射装置の基本構成の一例を示すブ
ロック図である。 第5図は、疑似太陽光に対して所定波長光を重畳させた
ものを試験光とする疑似太陽光照射装置の一例のブロッ
ク図である。 1……光源、2……楕円鏡、5……インテグレータ、8
……試験体、20……所定波長光制御装置、21……フィル
タ装置、21A……取付枠、22……遮蔽装置、A〜C……
フィルタ、a〜c……遮蔽板

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】疑似太陽光に所定波長の光を重畳させて、
    試験体に照射する疑似太陽光照射装置において、 光源と、 前記光源より放射される光の光路の一部に配置された少
    なくとも1種類のフィルタと、 前記光源より放射され、前記フィルタを通過した光、及
    び該フィルタを通過しなかった光を合成する積分光学系
    とを具備したことを特徴とする疑似太陽光照射装置。
  2. 【請求項2】前記フィルタを遮蔽する遮蔽手段と、 前記遮蔽手段を移動し、該遮蔽手段により遮蔽されるフ
    ィルタの遮蔽度を調整する遮蔽制御手段とをさらに具備
    したことを特徴とする請求項1記載の疑似太陽光照射装
    置。
  3. 【請求項3】前記フィルタを移動し、該フィルタに対す
    る前記光の通過率を調整する光通過率制御手段をさらに
    具備したことを特徴とする請求項1記載の疑似太陽光照
    射装置。
JP25421390A 1990-09-26 1990-09-26 疑似太陽光照射装置 Expired - Lifetime JP2892132B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25421390A JP2892132B2 (ja) 1990-09-26 1990-09-26 疑似太陽光照射装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25421390A JP2892132B2 (ja) 1990-09-26 1990-09-26 疑似太陽光照射装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04133017A JPH04133017A (ja) 1992-05-07
JP2892132B2 true JP2892132B2 (ja) 1999-05-17

Family

ID=17261836

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25421390A Expired - Lifetime JP2892132B2 (ja) 1990-09-26 1990-09-26 疑似太陽光照射装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2892132B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1399180B1 (it) * 2009-06-12 2013-04-11 Sharp Kk Simulatore solare
JP4668348B1 (ja) 2010-01-25 2011-04-13 シャープ株式会社 擬似太陽光照射装置及び擬似太陽光照射方法
JP4856266B1 (ja) * 2010-06-29 2012-01-18 シャープ株式会社 光源装置およびそれを備えた擬似太陽光照射装置
JP5692193B2 (ja) 2012-09-27 2015-04-01 ダイキン工業株式会社 擬似太陽光照射装置
JP6596492B2 (ja) 2014-10-14 2019-10-23 ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド 明視野暗視野対物レンズを使用する独自の斜角照明法及びそれに関連した撮像方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04133017A (ja) 1992-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5525880B2 (ja) 走査型レーザ顕微鏡
US6961080B2 (en) Color translating UV microscope
US4225771A (en) Method and apparatus for monitoring arc welding
RU97112635A (ru) Способ для отслеживания кромок перед сваркой и контроля кромок (варианты) и аппарат для его осуществления (варианты)
US4123172A (en) Comparison type colorimeter
WO2004051220A3 (en) Apparatus and methods for removing optical abberations during an optical inspection
CN102608098B (zh) 共焦拉曼光谱仪及其激光光路的处理方法
TW201606284A (zh) 用於在一基板上產生多個空間上分隔之檢驗區域之方法,裝置及系統
JP2892132B2 (ja) 疑似太陽光照射装置
JP2004110017A (ja) 走査型レーザ顕微鏡
CN107255525B (zh) 测量部分相干光空间关联结构的方法及***
CN110109320A (zh) 一种全息透镜投影屏的制作方法和制作装置
EP2790469B1 (en) Multi-lamp solar simulator
CN107703616A (zh) 多通道激光输出设备和荧光显微镜
JPH11277231A (ja) 溶接部モニタリング装置
JP2022504212A (ja) Euvプラズマ源において励起レーザービームを測定するための計測システムおよび方法
EP1403675A2 (en) Colour translating UV microscope
JP2011081274A (ja) 疑似スペクトル発生装置
WO2015166524A1 (ja) 極端紫外光生成装置
KR102139670B1 (ko) 레이저 대즐링 효과도 측정 장치 및 방법
JP3588990B2 (ja) 像投影装置
JPS5492790A (en) Spectral information measuring device of body
JPS5451540A (en) Method and apparatus for reconstruction of holograms
JPS62219939A (ja) 半導体層の厚さ測定法及びそれに使用する装置
CN104880934A (zh) 一种全息照相方法及***

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080226

Year of fee payment: 9

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090226

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090226

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100226

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100226

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110226

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110226

Year of fee payment: 12